專利名稱：一種超純氬凈化系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及工業(yè)氣體加工領(lǐng)域，具體是一種超純氬凈化系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
按國(guó)標(biāo)気氣的純度可分為純IS、高純IS和超純IS三級(jí),超純IS是電子加工領(lǐng)中一種重要的工業(yè)原料，其對(duì)氬氣純度的要求非常高，即使是痕量的雜質(zhì)，也會(huì)導(dǎo)致產(chǎn)品報(bào)廢。然而，遺憾的是即使工廠能夠把氬氣提純到足夠的純度，但由于氣體在充裝、儲(chǔ)存、使用、運(yùn)輸?shù)拳h(huán)節(jié)中，高純氣體都存在被污染的可能，為了確保進(jìn)入使用系統(tǒng)的高純氬純度免遭污染，通常在使用點(diǎn)裝有超純氣體終端凈化器，避免雜質(zhì)進(jìn)入生產(chǎn)設(shè)備。但因氬氣在各環(huán)節(jié)中可能遭受的污染程度不一，進(jìn)入終端凈化器的氬氣雜質(zhì)含量也有差別，當(dāng)入口雜質(zhì)超標(biāo)，終端凈化器未必能夠有效的去除氬氣中的雜質(zhì)，進(jìn)而會(huì)影響到后續(xù)生產(chǎn)。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的技術(shù)目的是解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的問(wèn)題，提供一種能夠?qū)τ诟鞣N污染程度的超純氬做出針對(duì)性處理的超純氬凈化系統(tǒng)，其包括電路系統(tǒng)及氣路管道系統(tǒng)，其特征在于，包括以下構(gòu)件I)、控制系統(tǒng)； 2)、氬氣雜質(zhì)成分分析設(shè)備，所述分析設(shè)備與所述控制系統(tǒng)連接；3)、凈化裝置，所述凈化裝置設(shè)有多級(jí)凈化單元，所述凈化單元分別與所述控制系統(tǒng)連接，所述凈化裝置與氣源連接的主氣路管道在氣源接口處設(shè)有一密封抽樣裝置，所述密封抽樣裝置設(shè)有抽樣口，所述氣源通過(guò)主氣路管道與一多向電磁閥連接，所述凈化單元分別通過(guò)支路管道與所述多向電磁閥連接；4)、抽真空裝置，所述抽真空裝置與所述主氣路管道連接，所述抽真空裝置通過(guò)電路與所述控制系統(tǒng)連接。進(jìn)一步的，所述抽真空裝置可與一廢氣收集罐連接。本裝置在使用時(shí)，首先打開(kāi)氣源的閥門(mén)，然后從所述密封抽樣裝置的抽樣口通過(guò)人工或自動(dòng)抽樣，將樣品送至所述氬氣雜質(zhì)成分分析設(shè)備，所述分析設(shè)備完成分析后，將分析結(jié)果傳輸給所述控制系統(tǒng)，所述控制系統(tǒng)通過(guò)相應(yīng)的軟件分析得出氣源所含雜質(zhì)所適用的凈化單元，然后控制所述多向電磁閥打開(kāi)上述凈化單元的分支管路與所述主氣路管路連通，其余分支管路仍保持關(guān)閉，當(dāng)氣源完成凈化后，更換氣源，進(jìn)行下一次的凈化時(shí)，控制系統(tǒng)控制所述抽真空裝置抽出所述主氣路管路內(nèi)殘留的氣體，可通過(guò)廢氣收集罐將所述殘留氣體收集以回收利用。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，安裝方便，能夠有效保障氬氣的純凈化質(zhì)量，防止雜質(zhì)含量超標(biāo)的氣體進(jìn)入生產(chǎn)設(shè)備，有效維護(hù)生產(chǎn)工藝的穩(wěn)定運(yùn)行。

[0011]圖I是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
為了闡明本實(shí)用新型的技術(shù)方案及技術(shù)目的，
以下結(jié)合附圖及具體實(shí)施方式
對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步的介紹。如圖I所示，一種超純氬凈化系統(tǒng)，包括電路系統(tǒng)及氣路管道系統(tǒng)，具體包括以下構(gòu)件I)、控制系統(tǒng)I;2)、氬氣雜質(zhì)成分分析設(shè)備2，如色譜分析儀等，所述分析設(shè)備2與所述控制系統(tǒng)I連接；3)、凈化裝置，所述凈化裝置設(shè)有多級(jí)凈化單元，分別為凈化單元6、凈化單元7和凈化單元8，分別針對(duì)超純氬不同級(jí)別的雜質(zhì)含量進(jìn)行處理，所述凈化單元分別與所述控制系統(tǒng)I連接，所述凈化裝置與氣源4連接的主氣路管道在氣源4接口處設(shè)有一密封抽樣裝·置9，所述密封抽樣裝置9設(shè)有抽樣口，所述氣源4通過(guò)主氣路管道與一多向電磁閥5連接，所述凈化單元分別通過(guò)支路管道與所述多向電磁閥5連接；4)、抽真空裝置3，所述抽真空裝置3的進(jìn)氣口與所述主氣路管道連接，所述抽真空裝置3的出氣口與一廢氣收集罐10連接。所述抽真空裝置3通過(guò)電路與所述控制系統(tǒng)I連接。以上已以較佳實(shí)施例公開(kāi)了本實(shí)用新型，然其并非用以限制本實(shí)用新型，凡采用等同替換或者等效變換方式所獲得的技術(shù)方案，均落在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種超純氬凈化系統(tǒng)，包括電路系統(tǒng)及氣路管道系統(tǒng)，其特征在于，包括以下構(gòu)件 1)、控制系統(tǒng)； 2)、氬氣雜質(zhì)成分分析設(shè)備，所述分析設(shè)備與所述控制系統(tǒng)連接； 3)、凈化裝置，所述凈化裝置設(shè)有多級(jí)凈化單元，所述凈化單元分別與所述控制系統(tǒng)連接，所述凈化裝置與氣源連接的主氣路管道在氣源接口處設(shè)有一密封抽樣裝置，所述密封抽樣裝置設(shè)有抽樣口，所述氣源通過(guò)主氣路管道與一多向電磁閥連接，所述凈化單元分別通過(guò)支路管道與所述多向電磁閥連接； 4)、抽真空裝置，所述抽真空裝置與所述主氣路管道連接，所述抽真空裝置通過(guò)電路與所述控制系統(tǒng)連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種超純氬凈化系統(tǒng)，其特征在于 所述抽真空裝置與一廢氣收集罐連接。
專利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種超純氬凈化系統(tǒng)，包括以下構(gòu)件控制系統(tǒng)；氬氣雜質(zhì)成分分析設(shè)備，所述分析設(shè)備與所述控制系統(tǒng)連接；凈化裝置，所述凈化裝置設(shè)有多級(jí)凈化單元，所述凈化單元分別與所述控制系統(tǒng)連接，所述凈化裝置與氣源連接的主氣路管道在氣源接口處設(shè)有一密封抽樣裝置，所述密封抽樣裝置設(shè)有抽樣口，所述氣源通過(guò)主氣路管道與一多向電磁閥連接，所述凈化單元分別通過(guò)支路管道與所述多向電磁閥連接；抽真空裝置，所述抽真空裝置與所述主氣路管道連接，所述抽真空裝置通過(guò)電路與所述控制系統(tǒng)連接。本實(shí)用新型通過(guò)分析設(shè)備分析氬氣氣源內(nèi)含有的雜質(zhì)成分及含量，根據(jù)分析結(jié)果將氬氣輸送至對(duì)應(yīng)的凈化單元中進(jìn)行針對(duì)性的凈化，保障了凈化質(zhì)量。
文檔編號(hào)C01B23/00GK202440312SQ20122003797
公開(kāi)日2012年9月19日 申請(qǐng)日期2012年2月7日 優(yōu)先權(quán)日2012年2月7日
發(fā)明者周旻, 陳軍 申請(qǐng)人:南京特種氣體廠有限公司