本發(fā)明涉及一種在基板上形成劃片線以便切割基板的劃片設(shè)備。
背景技術(shù)：
：：一般而言，用于平板顯示器的液晶顯示面板、有機(jī)電致發(fā)光面板、無(wú)機(jī)電致發(fā)光面板、透射投影基板、反射投影基板等是通過(guò)使用單元玻璃面板(下文中，稱為“單元基板”)制造，單元玻璃面板是通過(guò)將脆性母體玻璃面板(下文中，稱為“基板”)切割成預(yù)定尺寸而制成。切割基板的處理(工藝)包括：劃片處理，通過(guò)用預(yù)定按壓力將由諸如金剛石的硬質(zhì)材料制成的劃片輪壓在基板上，并沿著預(yù)定切割線(基板將沿著該預(yù)定切割線進(jìn)行切割)移動(dòng)該劃片輪來(lái)形成劃片線；以及裂片處理，通過(guò)沿著該劃片線按壓基板來(lái)切割基板以便獲得單元基板。在相關(guān)技術(shù)中的劃片設(shè)備的情況下，用于供應(yīng)基板的裝置、用于對(duì)齊供應(yīng)的基板的裝置、用于將對(duì)齊的基板運(yùn)送到劃片處理的裝置、以及用于執(zhí)行劃片處理的裝置水平地布置成一行，其結(jié)果是，存在需要較大空間來(lái)安裝這些裝置，以及因此執(zhí)行劃片處理所需的成本增加的問(wèn)題。此外，如圖1中所示，在相關(guān)技術(shù)中的劃片設(shè)備的情況下，基板s被放置在工作臺(tái)200上，多個(gè)按壓構(gòu)件300物理推壓基板s的橫向側(cè)，從而對(duì)準(zhǔn)基板s。其結(jié)果是存在這樣的問(wèn)題，當(dāng)基板被按壓構(gòu)件300推壓和移動(dòng)(和/或旋轉(zhuǎn))時(shí)，會(huì)對(duì)基板s的與工作臺(tái)200接觸的表面引起諸如刮擦的損壞。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：本發(fā)明旨在提供一種劃片設(shè)備，其能夠防止在對(duì)準(zhǔn)基板的處理中對(duì)基板的損壞。本發(fā)明還旨在提供一種劃片設(shè)備，其能夠減少運(yùn)送和對(duì)準(zhǔn)基板所需的時(shí)間和空間。本發(fā)明的示例性實(shí)施例提供了一種劃片設(shè)備，包括：基板支撐單元，其支撐由基板供應(yīng)單元供應(yīng)的基板；裝載臺(tái)，其設(shè)置在基板支撐單元之下；劃片單元，其設(shè)置在裝載臺(tái)的一側(cè)并在基板上形成劃片線；基板運(yùn)送單元，其將放置在裝載臺(tái)上的基板運(yùn)送到劃片單元；以及基板傳遞單元，其將基板從基板支撐單元傳遞到裝載臺(tái)，其中基板支撐單元形成供基板穿過(guò)的開(kāi)口，以便基板傳遞單元通過(guò)該開(kāi)口將基板傳遞到裝載臺(tái)，且基板傳遞單元包括位置調(diào)整單元，該位置調(diào)整單元在基板傳遞單元將基板傳遞到裝載臺(tái)的同時(shí)調(diào)整基板的位置，使得基板的位置與基板將被定位在裝載臺(tái)上的準(zhǔn)確位置一致。根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施例的劃片設(shè)備，在基板被基板保持構(gòu)件保持的狀態(tài)下，基板傳遞單元的基板保持構(gòu)件被位置調(diào)整單元旋轉(zhuǎn)或沿x軸方向或y軸方向移動(dòng)，其結(jié)果是，基板s的位置可被調(diào)整。因此，基板的位置可被調(diào)整而無(wú)需物理地按壓基板的一部分來(lái)定位基板，其結(jié)果是，在定位和對(duì)準(zhǔn)基板的過(guò)程期間能夠防止基板被損壞。根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施例的劃片設(shè)備，基板支撐單元和裝載臺(tái)被設(shè)置在相同的豎直線上，且基板傳遞單元可將基板直接傳遞到裝載臺(tái)，同時(shí)位置調(diào)整單元調(diào)整基板的位置，其結(jié)果是，能夠減少運(yùn)送基板和調(diào)整基板的位置所需的時(shí)間，并提高劃片設(shè)備的空間利用率。附圖說(shuō)明圖1是示意性示出相關(guān)技術(shù)中的用于對(duì)準(zhǔn)基板的設(shè)備的側(cè)視圖。圖2是示意性示出根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施例的劃片設(shè)備的側(cè)視圖。圖3是示意性示出圖2中所示的劃片設(shè)備的俯視圖。圖4和圖5是示意性示出圖2中所示的劃片設(shè)備的基板支撐單元的俯視圖。圖6和圖7是示意性示出位置調(diào)整單元的視圖，該位置調(diào)整單元被設(shè)置在圖2中所示的劃片設(shè)備的基板傳遞單元中。圖8到圖10是用于說(shuō)明圖6和圖7中所示的位置調(diào)整單元的操作的示意圖。圖11到圖14是用于說(shuō)明圖2中所示的劃片設(shè)備的操作的示意圖。具體實(shí)施方式在下文中，將參照附圖描述根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施例的劃片設(shè)備。如圖2和圖3所示，根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施例的劃片設(shè)備包括：基板供應(yīng)單元10，其從外部供應(yīng)基板s；基板支撐單元20，由基板供應(yīng)單元10供應(yīng)的基板s被支撐在基板支撐單元20上；裝載臺(tái)30，其設(shè)置在基板支撐單元20之下；劃片單元50，其設(shè)置在裝載臺(tái)30的一側(cè)并在基板s上形成劃片線；基板運(yùn)送單元60，其將放置在裝載臺(tái)30上的基板s運(yùn)送到劃片單元50；以及基板傳遞單元70，其將基板s從基板支撐單元20傳遞到裝載臺(tái)30。作為示例，如圖2中所示，基板供應(yīng)單元10可包括多個(gè)運(yùn)送帶或運(yùn)送輥，使得基板s通過(guò)帶或輥的旋轉(zhuǎn)被供應(yīng)到基板支撐單元20。作為另一示例，基板供應(yīng)單元10可被構(gòu)造成，通過(guò)夾持或真空抽吸來(lái)保持基板s，且隨后將基板s供應(yīng)到基板支撐單元20。作為示例，如圖2到圖5所示，基板支撐單元20可包括多條運(yùn)送帶22。作為另一示例，基板支撐單元20可包括多個(gè)輥，或者包括向基板s噴射空氣以便浮起基板s的多個(gè)氣動(dòng)工作臺(tái)(airtable，空氣臺(tái))?；逯螁卧?0可形成供基板s穿過(guò)的開(kāi)口21，使得基板傳遞單元70可通過(guò)開(kāi)口21將基板s傳遞到裝載臺(tái)30。為此，如圖5所示，基板支撐單元20的多條帶22可構(gòu)造成沿著軸23、在垂直于基板s被運(yùn)送的方向(x軸方向)的方向(y軸方向)上移動(dòng)。為了沿y軸方向移動(dòng)所述多條帶22，線性運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)24(比如通過(guò)氣壓或液壓操作的致動(dòng)器、通過(guò)電磁相互作用操作的線性電機(jī)、或滾珠絲杠機(jī)構(gòu))可通過(guò)軸23連接到所述多條帶22。裝載臺(tái)30和基板支撐單元20可被設(shè)置在相同的豎直線上。因此，基板傳遞單元70可通過(guò)從基板支撐單元20向下移動(dòng)來(lái)將基板s直接地傳遞到裝載臺(tái)30。裝載臺(tái)30提供一個(gè)區(qū)域，基板s在該區(qū)域被裝載到劃片單元50。同時(shí)，卸載臺(tái)40可被設(shè)置在裝載臺(tái)30的基于劃片單元50的相對(duì)側(cè)，該卸載臺(tái)40提供一個(gè)區(qū)域，具有由劃片單元50形成的劃片線的基板s在該區(qū)域從劃片單元50被卸載。裝載臺(tái)30和卸載臺(tái)40可分別包括多條帶32、42。所述多條帶32、42可沿y軸方向被彼此隔開(kāi)。每條帶32或42均由多個(gè)輥33或43支撐，且所述多個(gè)輥33或43中的至少一個(gè)輥可以是驅(qū)動(dòng)輥，該驅(qū)動(dòng)輥提供驅(qū)動(dòng)力以使每條帶32或42旋轉(zhuǎn)。劃片單元50可包括：框架51，其沿y軸方向延伸；以及劃片頭52，其安裝在框架51上從而能夠沿y軸方向移動(dòng)。多個(gè)劃片頭52可沿y軸方向以預(yù)定間隔設(shè)置在框架51上。這些劃片頭52可被設(shè)置在基板s的上方和下方從而彼此面對(duì)。然而，本發(fā)明并不局限于此，劃片頭52可被設(shè)置在基板s的上方或下方。每個(gè)劃片頭52均設(shè)有用于在基板s的表面上形成劃片線的劃片輪53。舉例來(lái)說(shuō)，一對(duì)劃片頭52可被設(shè)置在基板s的上方和下方從而彼此面對(duì)，由此一對(duì)劃片輪53可被設(shè)置在基板s的上方和下方從而彼此面對(duì)。因此，在這對(duì)劃片輪53被壓靠在基板s的上表面和下表面上的狀態(tài)下，通過(guò)基板s相對(duì)于劃片頭52的相對(duì)運(yùn)動(dòng)和/或劃片頭52相對(duì)于基板s的相對(duì)運(yùn)動(dòng)，多條劃片線可被分別地形成在基板s的上表面和下表面上?；暹\(yùn)送單元60可包括：保持基板s的保持構(gòu)件61；以及沿x軸方向延伸的導(dǎo)軌62。線性運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)(比如通過(guò)氣壓或液壓操作的致動(dòng)器、通過(guò)電磁相互作用操作的線性電機(jī)、或滾珠絲杠機(jī)構(gòu))可被設(shè)置在保持構(gòu)件61與導(dǎo)軌62之間。因此，在保持構(gòu)件61保持基板s的狀態(tài)下，隨著保持構(gòu)件61通過(guò)線性運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)沿x軸方向移動(dòng)，基板s可沿x軸方向被運(yùn)送。在這種情況下，帶32配合著保持構(gòu)件61的移動(dòng)而旋轉(zhuǎn)，因此可穩(wěn)定地支撐基板s的下表面。保持構(gòu)件61可以是物理地按壓并且保持基板s的后緣的夾具。然而，本發(fā)明并不局限于此，保持構(gòu)件61可設(shè)有與真空源連接的至少一個(gè)真空孔，且可構(gòu)造成通過(guò)抽吸來(lái)保持基板s的后緣。導(dǎo)軌62可被設(shè)置在多條帶32之間。導(dǎo)軌62用于引導(dǎo)保持構(gòu)件61沿x軸方向的移動(dòng)。基板傳遞單元70可包括：基板保持構(gòu)件71，其保持放置在基板支撐單元20上的基板s；支撐構(gòu)件72，其支撐基板保持構(gòu)件71；以及升降裝置73，其通過(guò)支撐構(gòu)件72連接到基板保持構(gòu)件71并沿豎直方向移動(dòng)基板保持構(gòu)件71?；灞３謽?gòu)件71可設(shè)有與真空源連接的至少一個(gè)真空孔，且可被構(gòu)造為通過(guò)抽吸來(lái)保持基板s的上表面。然而，本發(fā)明不限于此，基板保持構(gòu)件71可為物理地按壓并保持基板s的夾具。升降裝置73可被構(gòu)造為線性運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，比如通過(guò)氣壓或液壓操作的致動(dòng)器、通過(guò)電磁相互作用操作的線性電機(jī)、或滾珠絲杠機(jī)構(gòu)。基板保持構(gòu)件71可通過(guò)升降裝置73的操作而沿豎直方向移動(dòng)，因此基板s可沿豎直方向移動(dòng)。同時(shí)，基板傳遞單元70可包括位置調(diào)整單元74，當(dāng)基板傳遞單元70將基板s傳遞到裝載臺(tái)30時(shí)，位置調(diào)整單元74調(diào)整基板s的位置。如圖2所示，位置調(diào)整單元74可被安裝在基板保持構(gòu)件71與支撐構(gòu)件72之間，且可調(diào)整基板保持構(gòu)件71關(guān)于支撐構(gòu)件72的相對(duì)水平位置。位置調(diào)整單元74可包括旋轉(zhuǎn)基板s的基板旋轉(zhuǎn)裝置、水平地且直線地移動(dòng)基板s的基板移動(dòng)裝置、或者基板旋轉(zhuǎn)裝置和基板移動(dòng)裝置這兩者。此處，基板旋轉(zhuǎn)裝置可包括連接基板保持構(gòu)件71和支撐構(gòu)件72的旋轉(zhuǎn)電機(jī)。而且，基板移動(dòng)裝置被設(shè)置在基板保持構(gòu)件71與支撐構(gòu)件72之間，且可為線性運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，比如通過(guò)氣壓或液壓操作的致動(dòng)器、通過(guò)電磁相互作用操作的線性電機(jī)、或滾珠絲杠機(jī)構(gòu)。如圖6到圖10所示的另一示例，可設(shè)置一對(duì)位置調(diào)整單元74，且該位置調(diào)整單元74可包括：連接構(gòu)件75，其與基板保持構(gòu)件71連接；x軸驅(qū)動(dòng)單元76，其沿x軸方向移動(dòng)連接構(gòu)件75；以及y軸驅(qū)動(dòng)單元77，其沿y軸方向移動(dòng)連接構(gòu)件75。x軸驅(qū)動(dòng)單元76和/或y軸驅(qū)動(dòng)單元77可被構(gòu)造為線性運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，比如通過(guò)氣壓或液壓操作的致動(dòng)器、通過(guò)電磁相互作用操作的線性電機(jī)、或滾珠絲杠機(jī)構(gòu)。連接構(gòu)件75可通過(guò)旋轉(zhuǎn)軸78可旋轉(zhuǎn)地連接到x軸驅(qū)動(dòng)單元76或y軸驅(qū)動(dòng)單元77。因此，當(dāng)這對(duì)位置調(diào)整單元74中的一個(gè)位置調(diào)整單元74的連接構(gòu)件75直線移動(dòng)時(shí)，另一個(gè)位置調(diào)整單元74的連接構(gòu)件75可圍繞旋轉(zhuǎn)軸78旋轉(zhuǎn)。這對(duì)位置調(diào)整單元74可被設(shè)置在基板保持構(gòu)件71與支撐構(gòu)件72之間，使得基板s可在多個(gè)支撐點(diǎn)處被支撐，從而更穩(wěn)定地進(jìn)行調(diào)整基板s的位置的操作。當(dāng)這對(duì)位置調(diào)整單元74中的一個(gè)位置調(diào)整單元74的連接構(gòu)件75沿x軸方向或y軸方向移動(dòng)時(shí)，另一個(gè)位置調(diào)整單元74的連接構(gòu)件75可旋轉(zhuǎn)，其結(jié)果是，基板保持構(gòu)件71可旋轉(zhuǎn)。而且，這對(duì)位置調(diào)整單元74的兩個(gè)連接構(gòu)件75均可通過(guò)x軸驅(qū)動(dòng)單元76和/或y軸驅(qū)動(dòng)單元77的操作而沿x軸方向和/或y軸方向移動(dòng)，其結(jié)果是，基板保持構(gòu)件71可沿x軸方向和/或y軸方向移動(dòng)。因此，如圖8所示，即使在由基板保持構(gòu)件71保持的基板s的位置從將要被定位在裝載臺(tái)30上的基板s的準(zhǔn)確位置t偏離一角度，和/或從準(zhǔn)確位置t沿x軸方向和/或y軸方向偏離一距離的情況下，由于基板保持構(gòu)件71如圖9所示地旋轉(zhuǎn)，基板s的角度可變得與準(zhǔn)確位置t處的角度一致，并且由于基板保持構(gòu)件71如圖10所示沿x軸方向和/或y軸方向移動(dòng)，基板s的位置可變得與準(zhǔn)確位置t一致。借助這對(duì)位置調(diào)整單元74，基板s可旋轉(zhuǎn)并沿水平方向移動(dòng)。因此，相比于具有沉重重量和高負(fù)載的基板保持構(gòu)件71和基板s由單一旋轉(zhuǎn)電機(jī)旋轉(zhuǎn)的情況，其能夠更穩(wěn)定地旋轉(zhuǎn)基板s，其結(jié)果是，能夠精確地調(diào)整基板s的位置。如上所述，可旋轉(zhuǎn)基板保持構(gòu)件71且可沿x軸方向和/或y軸方向移動(dòng)基板保持構(gòu)件71的位置調(diào)整單元74被設(shè)置在基板保持構(gòu)件71與支撐構(gòu)件72之間，其結(jié)果是，當(dāng)基板傳遞單元70將基板s傳遞到裝載臺(tái)30時(shí)，能夠調(diào)整基板s的位置。因此，相比于獨(dú)立于基板傳遞單元70設(shè)置一個(gè)單獨(dú)裝置以調(diào)整基板s的位置的情況，運(yùn)送基板s和執(zhí)行劃片處理所需的空間和時(shí)間可被最小化。同時(shí)，根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施例的劃片設(shè)備可包括位置檢測(cè)單元80，其檢測(cè)由基板傳遞單元70保持的基板s的至少一部分的位置。位置檢測(cè)單元80可安裝在裝載臺(tái)30上從而檢測(cè)基板s的下表面的位置。然而，位置檢測(cè)單元80的安裝位置并不受限，例如，位置檢測(cè)單元80可被安裝在基板傳遞單元70上以便檢測(cè)放置在基板支撐單元20上的基板s的上表面的位置。位置檢測(cè)單元80可包括圖像采集單元，該圖像采集單元采集基板s的圖像，并基于所采集的基板s的圖像來(lái)確定基板s是否偏離準(zhǔn)確位置t。作為另一示例，位置檢測(cè)單元80可包括光學(xué)傳感器，該光學(xué)傳感器朝向基板s的至少一部分發(fā)光并確定是否接收到來(lái)自基板s的反射光，從而確定基板s是否偏離準(zhǔn)確位置t。而且，基于由位置檢測(cè)單元80檢測(cè)的基板s的位置，位置調(diào)整單元74可旋轉(zhuǎn)基板保持構(gòu)件71或可沿x軸方向和/或y軸方向移動(dòng)基板保持構(gòu)件71。在下文中，將參照?qǐng)D11到圖14描述根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施例的劃片設(shè)備的操作。首先，如圖11所示，基板s被基板供應(yīng)單元10從外部供應(yīng)到基板支撐單元20。在這種情況下，基板傳遞單元70被設(shè)置成與基板支撐單元20隔開(kāi)預(yù)定間隔。同時(shí)，基板支撐單元20上可設(shè)置止動(dòng)件，使得基板s可被放置在基板支撐單元20上的適當(dāng)位置。而且，如圖12所示，當(dāng)基板s被放置在基板支撐單元20上時(shí)，基板傳遞單元70的基板保持構(gòu)件71向下移動(dòng)并保持被放置在基板支撐單元20上的基板s。在這種情況下，位置檢測(cè)單元80可檢測(cè)基板s的至少一部分的位置，以便確定基板s是否偏離準(zhǔn)確位置t。而且，如圖13所示，在基板保持構(gòu)件71保持基板s的狀態(tài)下，基板保持構(gòu)件71從基板支撐單元20向上移動(dòng)。在這種情況下，基板保持構(gòu)件71通過(guò)位置調(diào)整單元74進(jìn)行旋轉(zhuǎn)或沿x軸方向和/或y軸方向移動(dòng)，其結(jié)果是，基板s的位置可被調(diào)整。而且，基板支撐單元20可形成供基板s穿過(guò)的開(kāi)口21，使得基板傳遞單元70可通過(guò)開(kāi)口21將基板s傳遞到裝載臺(tái)30。而且，如圖14所示，基板保持構(gòu)件71向下移動(dòng)同時(shí)穿過(guò)開(kāi)口21，其結(jié)果是，基板s可被傳遞到裝載臺(tái)30。當(dāng)基板s被放置在裝載臺(tái)30上時(shí)，基板運(yùn)送單元60保持基板s的后緣，并且隨后將基板s移動(dòng)到劃片單元50。而且，劃片單元50在基板s上形成劃片線。此后，具有劃片線的基板s經(jīng)由卸載臺(tái)40被卸載向后續(xù)處理。根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施例的劃片設(shè)備，在由基板傳遞單元70的基板保持構(gòu)件71保持基板s的狀態(tài)下，基板保持構(gòu)件71通過(guò)位置調(diào)整單元74進(jìn)行旋轉(zhuǎn)或沿x軸方向和/或y軸方向移動(dòng)，其結(jié)果是，基板s的位置可被調(diào)整。因此，不用物理地按壓基板s的一部分來(lái)對(duì)準(zhǔn)和定位基板s，基板s的位置就可被調(diào)整，其結(jié)果是，能夠防止在定位和對(duì)準(zhǔn)基板s的處理期間對(duì)基板s的損壞。根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施例的劃片設(shè)備，基板支撐單元20和裝載臺(tái)30被設(shè)置在相同的豎直線上，且基板傳遞單元70可將基板s直接傳遞到裝載臺(tái)30，同時(shí)位置調(diào)整單元74調(diào)整基板s的位置，其結(jié)果是，能夠減少運(yùn)送基板s和調(diào)整基板s的位置所需的時(shí)間，并能夠提高劃片設(shè)備的空間利用率。此外，根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施例的劃片設(shè)備，當(dāng)基板傳遞單元70將基板s傳遞到裝載臺(tái)30時(shí)，基板s的位置可被設(shè)置在基板傳遞單元70中的位置調(diào)整單元74調(diào)整。因此，不需要在運(yùn)送基板s所沿循的路徑中設(shè)置單獨(dú)裝置來(lái)定位和對(duì)準(zhǔn)基板s，其結(jié)果是，能夠最小化運(yùn)送基板s和進(jìn)行劃片處理所需的水平空間。本文已經(jīng)為說(shuō)明性目的描述了本發(fā)明的多個(gè)示例性實(shí)施例。然而應(yīng)認(rèn)識(shí)到，本發(fā)明的范圍不局限于具體的示例性實(shí)施例，并且在不脫離所附權(quán)利要求書(shū)限定的范圍的前提下，可以進(jìn)行各種修改。當(dāng)前第1頁(yè)12當(dāng)前第1頁(yè)12