本實(shí)用新型涉及一種單晶爐領(lǐng)域，尤其涉及一種單晶爐裝爐裝置。

背景技術(shù)：

單晶爐是一種在惰性氣體（氮?dú)?、氦氣為主）環(huán)境中,用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化，并使用直拉法生長無錯(cuò)位單晶的設(shè)備?，F(xiàn)有的單晶爐主要由提拉頭、副室、爐蓋、爐筒、下爐筒、底座機(jī)架、坩堝下傳動(dòng)裝置和熱場等組成。熱場包括壓環(huán)、保溫蓋、保溫罩、石墨坩堝、石英坩堝、坩堝托盤、電極、加熱器、導(dǎo)流筒、螺栓等。石英坩堝設(shè)置在石墨坩堝內(nèi)部，由加熱器將石英坩堝內(nèi)的多晶硅等多晶材料熔化。 單晶爐裝爐是指裝入石英坩堝等所有拉晶必須的原輔材料。現(xiàn)有的單晶爐裝爐工序中石英坩堝的安裝往往由工作人員手動(dòng)完成，工作人員戴上手套，將石英坩堝搬起運(yùn)送至石墨坩堝上方，然后將石英坩堝放置在石墨坩堝內(nèi)，傳統(tǒng)的人工搬運(yùn)工作強(qiáng)度大，且搬運(yùn)安裝過程中極易發(fā)生石英坩堝掉落、磕碰等損壞，造成企業(yè)損失。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的目的是提供一種單晶爐裝爐裝置，能夠快速安全的進(jìn)行石英坩堝的搬運(yùn)及安裝，提高工作效率，降低勞動(dòng)強(qiáng)度，避免石英坩堝損壞。

本實(shí)用新型采用下述技術(shù)方案：

一種單晶爐裝爐裝置，包括吊架、石英坩堝外側(cè)固定裝置和石英坩堝上端固定裝置；

所述的吊架包括移動(dòng)底座、豎直升降桿、水平移動(dòng)桿和吊繩，移動(dòng)底座上設(shè)置有豎直升降桿驅(qū)動(dòng)裝置，豎直升降桿由豎直升降桿驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)，豎直升降桿的活動(dòng)端設(shè)置有水平移動(dòng)桿驅(qū)動(dòng)裝置，水平移動(dòng)桿由水平移動(dòng)桿驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)，水平移動(dòng)桿的活動(dòng)端設(shè)置有吊繩，吊繩前端設(shè)置有吊鉤；

所述的石英坩堝外側(cè)固定裝置包括多組弧形卡盤，每組弧形卡盤的內(nèi)弧面均與石英坩堝外表面的弧面相匹配，每組弧形卡盤的左右兩側(cè)均設(shè)置有連接板，連接板上開設(shè)有連接孔，相鄰兩組弧形卡盤通過對應(yīng)的連接板及連接板上設(shè)置的連接孔利用外側(cè)固定裝置旋緊螺栓連接；每組弧形卡盤的上端面均設(shè)置有向外延伸的上端固定裝置固定板；上端固定裝置固定板上設(shè)置有固定孔；

所述的石英坩堝上端固定裝置包括外套固定筒和多個(gè)內(nèi)套弧形頂緊板，外套固定筒的內(nèi)徑大于石英坩堝的外徑且差值為N，2cm ≤ N ≤ 3cm ，內(nèi)套弧形頂緊板的外弧面與石英坩堝內(nèi)表面的弧面相匹配，外套固定筒的中部設(shè)置有螺孔，每個(gè)內(nèi)套弧形頂緊板對應(yīng)高度處也設(shè)置有螺孔，內(nèi)套弧形頂緊板設(shè)置于外套固定筒內(nèi)部且通過上端固定裝置旋緊螺栓連接；外套固定筒內(nèi)表面下部設(shè)置有防滑橡膠，外套固定筒的下端面設(shè)置有向外延伸的外側(cè)固定裝置固定板，外側(cè)固定裝置固定板的數(shù)量與上端固定裝置固定板的數(shù)量相對應(yīng)，外側(cè)固定裝置固定板上設(shè)置有固定孔和掛鉤孔。

所述的石英坩堝外側(cè)固定裝置包括四組弧形卡盤。

所述的弧形卡盤的內(nèi)表面設(shè)置有防滑層。

所述的石英坩堝上端固定裝置包括四個(gè)內(nèi)套弧形頂緊板。

所述的內(nèi)套弧形頂緊板外表面下部設(shè)置有防滑層。

所述的防滑層采用防滑橡膠層。

所述的豎直升降桿驅(qū)動(dòng)裝置和水平移動(dòng)桿驅(qū)動(dòng)裝置采用步進(jìn)電機(jī)或液壓桿。

本實(shí)用新型在使用時(shí)，石英坩堝上端固定裝置中的外套固定筒既能夠夾緊石英坩堝上端部，又能有效防止石英坩堝受力不均而導(dǎo)致夾碎。石英坩堝外側(cè)固定裝置能夠卡緊石英坩堝外沿并保證受力均勻。石英坩堝上端固定裝置和石英坩堝外側(cè)固定裝置的連接能夠在吊裝過程中，使石英坩堝受到的加持力更為平均，不易發(fā)生碎落。本實(shí)用新型能夠快速安全的進(jìn)行石英坩堝的搬運(yùn)及安裝，提高工作效率，降低勞動(dòng)強(qiáng)度，避免石英坩堝損壞。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型中吊架的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型中石英坩堝外側(cè)固定裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本用新型中石英坩堝上端固定裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖和實(shí)施例對本實(shí)用新型作以詳細(xì)的描述：

如圖1至圖3所示，本實(shí)用新型所述的單晶爐裝爐裝置，包括吊架、石英坩堝外側(cè)固定裝置和石英坩堝上端固定裝置；

吊架包括移動(dòng)底座1、豎直升降桿2、水平移動(dòng)桿3和吊繩4，移動(dòng)底座1底部設(shè)置有車輪5，便于吊架的移動(dòng)。移動(dòng)底座1上設(shè)置有豎直升降桿驅(qū)動(dòng)裝置6，豎直升降桿2由豎直升降桿驅(qū)動(dòng)裝置6驅(qū)動(dòng)，豎直升降桿2的活動(dòng)端設(shè)置有水平移動(dòng)桿驅(qū)動(dòng)裝置7，水平移動(dòng)桿3由水平移動(dòng)桿驅(qū)動(dòng)裝置7驅(qū)動(dòng)，水平移動(dòng)桿3的活動(dòng)端設(shè)置有吊繩4，吊繩4前端設(shè)置有吊鉤8。豎直升降桿驅(qū)動(dòng)裝置6和水平移動(dòng)桿驅(qū)動(dòng)裝置7可采用步進(jìn)電機(jī)或液壓桿。

石英坩堝外側(cè)固定裝置包括多組弧形卡盤9，本實(shí)施例中，石英坩堝外側(cè)固定裝置包括四組弧形卡盤9。每組弧形卡盤9的內(nèi)弧面均與石英坩堝外表面的弧面相匹配，弧形卡盤9的內(nèi)表面還設(shè)置有防滑層10，防滑層10可采用防滑橡膠層。每組弧形卡盤9的左右兩側(cè)均設(shè)置有連接板11，連接板11上開設(shè)有連接孔，相鄰兩組弧形卡盤9通過對應(yīng)的連接板11及連接板11上設(shè)置的連接孔利用外側(cè)固定裝置旋緊螺栓12連接；每組弧形卡盤9的上端面均設(shè)置有向外延伸的上端固定裝置固定板13；上端固定裝置固定板13上設(shè)置有固定孔14；

石英坩堝上端固定裝置包括外套固定筒15和多個(gè)內(nèi)套弧形頂緊板16，本實(shí)施例中，石英坩堝上端固定裝置包括四個(gè)內(nèi)套弧形頂緊板16。外套固定筒15的內(nèi)徑大于石英坩堝的外徑且差值為N，2cm ≤ N ≤ 3cm ，內(nèi)套弧形頂緊板16的外弧面與石英坩堝內(nèi)表面的弧面相匹配，外套固定筒15的中部設(shè)置有螺孔，每個(gè)內(nèi)套弧形頂緊板16對應(yīng)高度處也設(shè)置有螺孔，內(nèi)套弧形頂緊板16設(shè)置于外套固定筒15內(nèi)部且通過上端固定裝置旋緊螺栓17連接；外套固定筒15內(nèi)表面下部設(shè)置有防滑橡膠18，內(nèi)套弧形頂緊板16外表面下部對應(yīng)設(shè)置有防滑層，防滑層可采用防滑橡膠層。外套固定筒15的下端面設(shè)置有向外延伸的外側(cè)固定裝置固定板19，外側(cè)固定裝置固定板19的數(shù)量與上端固定裝置固定板13的數(shù)量相對應(yīng)，外側(cè)固定裝置固定板19上設(shè)置有固定孔14和掛鉤孔。

本實(shí)用新型在使用時(shí)，首先將石英坩堝上端固定裝置中的外套固定筒15套設(shè)在石英坩堝上端，然后利用上端固定裝置旋緊螺栓17依次連接每個(gè)內(nèi)套弧形頂緊板16并旋緊，使外套固定筒15套和四個(gè)內(nèi)套弧形頂緊板16夾緊石英坩堝上端。由于外套固定筒15內(nèi)表面下部設(shè)置有防滑橡膠18，內(nèi)套弧形頂緊板16外表面下部對應(yīng)設(shè)置有防滑橡膠層，既能夠夾緊石英坩堝上端部，又能有效防止石英坩堝受力不均而導(dǎo)致夾碎。將石英坩堝上端固定裝置安裝好后，再安裝石英坩堝外側(cè)固定裝置。利用外側(cè)固定裝置旋緊螺栓12依次連接相鄰兩組弧形卡盤9，并利用四組弧形卡盤9卡緊石英坩堝外沿，然后利用螺栓將外側(cè)固定裝置固定板19和上端固定裝置固定板13連接，即完成石英坩堝上端固定裝置和石英坩堝外側(cè)固定裝置的連接，這樣在吊裝過程中，石英坩堝受到的加持力更為平均，不易發(fā)生碎落。最后將吊繩4前端設(shè)置的吊鉤8分別勾住外側(cè)固定裝置固定板19上設(shè)置的掛鉤孔。利用移動(dòng)底座1將石英坩堝運(yùn)輸至石墨坩堝上方時(shí)，先撤下石英坩堝外側(cè)固定裝置，然后利用水平移動(dòng)桿3將吊住的石英坩堝運(yùn)輸至熱場中的石墨坩堝正上方中心位置，然后利用豎直升降桿2使石英坩堝緩慢下降直至完成安裝到位，最后撤下石英坩堝上端固定裝置。