本發(fā)明涉及基板切斷裝置及方法，更詳細而言涉及光學(xué)基板切斷裝置及方法、適用其的顯示裝置用玻璃基板以及顯示裝置的制造方法。

背景技術(shù)：

1、顯示裝置通常形成在玻璃等基板上，包括在一個大的基板上形成多個單元之后切割各單元來進行分離的工序。由此，執(zhí)行用于完美地形成各單元的切割面的切斷面倒角作業(yè)時，其過程復(fù)雜且所需費用多。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本發(fā)明要解決的課題在于，提供可以容易執(zhí)行基板切斷和切斷面的圓角或倒角的裝置以及方法。

2、本發(fā)明的一實施例涉及的光學(xué)基板切斷裝置包括：光變換器，將入射光束變換為貝塞爾光束；投影透鏡，放大所述光變換器的射出光束的能量；光束分割器，分割所述投影透鏡的射出光束；以及物鏡，放大所述光束分割器的射出光束來切斷基板，所述物鏡的射出光束包括第一峰值和第二峰值，所述第二峰值具有比所述第一峰值低的強度。

3、可以是，所述光束分割器包括形成有多個圖案的衍射光學(xué)元件。

4、可以是，所述衍射光學(xué)元件以與所述投影透鏡的射出光束的行進方向垂直的軸為中心能夠旋轉(zhuǎn)。

5、可以是，所述第二峰值的相對強度是所述第一峰值的強度的30％～90％，使所述衍射光學(xué)元件旋轉(zhuǎn)來改變所述衍射光學(xué)元件的入射面和所述投影透鏡的射出面形成的角度，從而調(diào)節(jié)所述第二峰值的相對強度。

6、可以是，所述第一峰值與所述第二峰值之間的距離是3μm～30μm，所述第一峰值和所述第二峰值各自的直徑是2μm～5μm。

7、可以是，所述第二峰值是兩個且以所述第一峰值為中心對稱地配置在兩側(cè)。

8、可以是，所述第一峰值和所述第二峰值的組合按一列形成為多個。

9、本發(fā)明的一實施例涉及的光學(xué)基板切斷方法包括：形成從光學(xué)基板切斷裝置射出的具有第一峰值和第二峰值的射出光束的步驟；對齊所述射出光束與基板的步驟；以及向所述基板照射所述射出光束來切斷所述基板的步驟，所述第二峰值具有比所述第一峰值低的強度。

10、可以是，所述第二峰值的相對強度是所述第一峰值的強度的30％～90％。

11、可以是，所述第一峰值與所述第二峰值之間的距離是3μm～30μm，所述第一峰值和所述第二峰值各自的直徑是2μm～5μm。

12、可以是，所述基板的厚度是30μm至500μm。

13、可以是，所述第二峰值是兩個且以所述第一峰值為中心對稱地配置在兩側(cè)。

14、可以是，所述第一峰值和所述第二峰值的組合按一列形成為多個。

15、本發(fā)明的一實施例涉及的顯示裝置用玻璃基板是包括多個像素的顯示裝置用玻璃基板，在所述顯示裝置用玻璃基板中，邊緣位置的截面是圓弧形狀，所述顯示裝置用玻璃基板的厚度是30μm至500μm。

16、可以是，所述圓弧的半徑是1.5mm至6mm。

17、可以是，所述顯示裝置用玻璃基板的邊緣位置照射具有兩種峰值的光束進行各向同性蝕刻來形成。

18、本發(fā)明的一實施例涉及的顯示裝置的制造方法包括：在基板形成多個顯示裝置單元的步驟；形成從光學(xué)基板切斷裝置射出的具有第一峰值和第二峰值的射出光束的步驟；對齊所述射出光束與所述基板的步驟；以及使所述基板暴露于所述射出光束來切斷所述基板從而分離所述多個顯示裝置單元的步驟，所述第二峰值具有比所述第一峰值低的強度。

19、可以是，所述第二峰值的相對強度是所述第一峰值的強度的30％～90％，所述第一峰值與所述第二峰值之間的距離是3μm～30μm，所述第一峰值和所述第二峰值各自的直徑是2μm～5μm，所述基板的厚度是30μm至500μm。

20、可以是，所述顯示裝置的制造方法在切斷所述基板的步驟之后還包括：對所述基板進行各向同性蝕刻來處理所述基板的表面且調(diào)節(jié)厚度的步驟。

21、可以是，在進行蝕刻的所述步驟之后，所述基板的邊緣位置的截面是圓弧形狀，所述圓弧的半徑是1.5mm至6mm。

22、由此，可以在切斷基板的同時加工切斷面來制造成圓或者倒角形態(tài)。

技術(shù)特征：

1.一種光學(xué)基板切斷裝置，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)基板切斷裝置，其中，

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光學(xué)基板切斷裝置，其中，

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的光學(xué)基板切斷裝置，其中，

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的光學(xué)基板切斷裝置，其中，

6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的光學(xué)基板切斷裝置，其中，

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的光學(xué)基板切斷裝置，其中，

8.一種光學(xué)基板切斷方法，包括：

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的光學(xué)基板切斷方法，其中，

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的光學(xué)基板切斷方法，其中，

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的光學(xué)基板切斷方法，其中，

12.根據(jù)權(quán)利要求8所述的光學(xué)基板切斷方法，其中，

13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的光學(xué)基板切斷方法，其中，

14.一種顯示裝置用玻璃基板，所述顯示裝置用玻璃基板包括多個像素，在所述顯示裝置用玻璃基板中，

15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的顯示裝置用玻璃基板，其中，

16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的顯示裝置用玻璃基板，其中，

17.一種顯示裝置的制造方法，包括：

18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的顯示裝置的制造方法，其中，

19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的顯示裝置的制造方法，其中，

20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的顯示裝置的制造方法，其中，

技術(shù)總結(jié)
提供光學(xué)基板切斷裝置及方法、適用其的顯示裝置用玻璃基板以及顯示裝置的制造方法。本發(fā)明的一實施例涉及的光學(xué)基板切斷裝置包括：光變換器，將入射光束變換為貝塞爾光束；投影透鏡，放大所述光變換器的射出光束的能量；光束分割器，分割所述投影透鏡的射出光束；以及物鏡，放大所述光束分割器的射出光束來切斷基板，所述物鏡的射出光束包括第一峰值和第二峰值，所述第二峰值具有比所述第一峰值低的強度。

技術(shù)研發(fā)人員：張昇勛,康斯坦丁·米?？?金亨植,樸成圭
受保護的技術(shù)使用者：三星顯示有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/10/24