專利名稱：低溫等離子體放電管的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型是一種低溫等離子體放電管。
目前，在低溫等離子體處理工業(yè)廢氣等裝置中使用的放電管，其外電極一般為管狀，內(nèi)電極為棒狀，并用絕緣材料如陶瓷管等作為單電介質(zhì)層。管狀外電極套在管狀絕緣材料外側(cè)。這種結(jié)構(gòu)的放電管往往出現(xiàn)絲狀電放或局部放電現(xiàn)象，使放電不均勻。此外，氣體通過放電區(qū)域時(shí)，分子會(huì)被解離，同時(shí)生成大量自由基或其他活性物質(zhì)等。而管狀外電極的放電區(qū)域是連續(xù)的，于是這些活性物質(zhì)將反復(fù)受到電激活，直到流出放電管，其能量不能得到充分利用，因而使工作效率不高。另外，用該放電管處理工業(yè)廢氣時(shí)，需要大功率電源，且連續(xù)運(yùn)作棒狀內(nèi)電極容易發(fā)熱，影響使用壽命。
本實(shí)用新型的目的在于提供一種能夠大大提高工作效率，且可適合于大功率連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)工作狀態(tài)的低溫等離子體放電管。
本實(shí)用新型設(shè)計(jì)的低溫等離子體放電管由內(nèi)、外電極和隔阻電介質(zhì)構(gòu)成。其中電介質(zhì)采用內(nèi)、外管雙層結(jié)構(gòu)形式，內(nèi)、外管之間有通氣空間，外電極采用帶狀形式，以螺旋形狀纏繞于外管外側(cè)面，內(nèi)電極采用管狀或絲狀結(jié)構(gòu)，置于內(nèi)管里面。內(nèi)、外管在兩端處同軸固定，需處理的氣體可進(jìn)入放電管的內(nèi)、外管之間。內(nèi)管可通氣或通水，以便對(duì)內(nèi)電極進(jìn)行氣冷或水冷。其結(jié)構(gòu)如


圖1和圖2所示。
本實(shí)用新型設(shè)計(jì)的放電管，其內(nèi)、外管采用絕緣材料，如陶瓷或石英、玻璃等，長(zhǎng)度一般為100～500mm，壁厚2-3mm，外管的內(nèi)徑一般為15～100mm，內(nèi)管外徑可為10～96mm。
本放電管的內(nèi)、外電極可采用不銹鋼或鎳或其它金屬材料，帶狀外電極寬度為5-20mm，內(nèi)電極直徑只要小于內(nèi)管內(nèi)徑即可。內(nèi)、外電極分別與電源連接。
本實(shí)用新型設(shè)計(jì)的低溫等離子體放電管，由于外電極成螺旋狀，每一個(gè)放電區(qū)域具有一定間隔，氣體中的活性粒子在非放電區(qū)域中有一定時(shí)間與有害氣體分子作用，使有害氣體分子產(chǎn)生充分的化學(xué)變化。這樣，使這些活性物質(zhì)的能量得到充分利用，其結(jié)果是對(duì)有害氣體的去除率大為提高，即提高了能量的利用效率，也提高了處理廢氣的工作效率。而且，由于電介質(zhì)采用雙層管狀結(jié)構(gòu)，處理的氣體從兩管中間流過，避免了絲狀放電或局部放電現(xiàn)象，使放電均勻，也有利于提高處理廢氣的工作效率。由于對(duì)內(nèi)電極設(shè)計(jì)有冷卻裝置(內(nèi)管通氣或通水)，可避免因長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的高溫，延長(zhǎng)使用壽命。
本實(shí)用新型設(shè)計(jì)的低溫等離子體放電管可用于工業(yè)廢氣處理裝置，也可以用于臭氧發(fā)生裝置等。
圖1為本實(shí)用新型設(shè)計(jì)的放電管的結(jié)構(gòu)圖。
圖2為本放電管的兩端的內(nèi)、外管的叉形固定支架。
其中，1為外管，2為內(nèi)管，3為外電極，4為內(nèi)電極，5為上支架，6為下支架。
實(shí)施例如附圖所示，內(nèi)、外管采用石英玻璃材料制作，放電管長(zhǎng)度為300mm，外管1的內(nèi)徑為40mm，內(nèi)管2外徑10mm，帶狀外電極3采用不銹鋼材料，帶寬為5mm，以螺旋形狀纏繞于外管外側(cè)面，螺距為5mm。內(nèi)電極4采用不銹鋼管，外直徑為8mm，置于內(nèi)管2中間。上、下支架5和6制成三叉形狀，將內(nèi)、外管同軸固定。本放電管可用于低溫等離子體處理工業(yè)廢氣的裝置。
權(quán)利要求1．一種低溫等離子體放電管，由內(nèi)、外電極和隔阻電介質(zhì)構(gòu)成，其特征在于隔阻介質(zhì)采用內(nèi)、外管雙層結(jié)構(gòu)形式，在兩端處同軸固定，內(nèi)、外管之間有通氣空間，外電極采用帶狀金屬，以螺旋形狀纏繞于外管外側(cè)面，內(nèi)電極采用管狀或絲狀結(jié)構(gòu)，置于內(nèi)管里面，內(nèi)管可通氣或通水。
2．根據(jù)權(quán)利要求1所述的低溫等離子體放電管，其特征在于所說的放電管長(zhǎng)度為100～500mm，壁厚2-3mm，外管內(nèi)徑15～100mm，內(nèi)管外徑10～96mm。
3．根據(jù)權(quán)利要求1所述的低溫等離子體放電管，其特征在于所說的帶狀外電極寬度為5-20mm，內(nèi)電極外直徑小于內(nèi)管內(nèi)徑。
專利摘要本實(shí)用新型是一種低溫等離子體放電管,其隔阻介質(zhì)利用內(nèi)、外管狀雙層結(jié)構(gòu)形式,同軸固定。外電極采用帶狀形式以螺旋形狀纏繞于外管外側(cè)面,內(nèi)電極采用管狀或絲狀結(jié)構(gòu),置于內(nèi)管里面。內(nèi)管可通氣或通水,對(duì)內(nèi)電極進(jìn)行冷卻。本放電管可避免絲狀放電或局部放電現(xiàn)象,使放電均勻;可充分利用由電離產(chǎn)生的活性粒子的能量,提高工作效率;可防止因長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的高溫,延長(zhǎng)使用壽命。本放電管可用于工業(yè)廢氣處理裝置和臭氧發(fā)生裝置等。
文檔編號(hào)C01B13/11GK2312518SQ9724275
公開日1999年3月31日 申請(qǐng)日期1997年11月28日 優(yōu)先權(quán)日1997年11月28日
發(fā)明者侯惠奇, 劉先年, 潘循晢, 張振滿 申請(qǐng)人:復(fù)旦大學(xué)