蓋2設(shè)置在坩禍I上,圓管模具3和凸球面模具4并排設(shè)置在坩禍I內(nèi);圓管模具3和凸球面模具4的頂端伸出坩禍蓋2。
[0040]圓管模具3為圓柱體結(jié)構(gòu),圓柱體結(jié)構(gòu)內(nèi)設(shè)置有以圓柱體結(jié)構(gòu)的中軸線為中心的圓環(huán)狀第一毛細縫5 (第一毛細縫5為圓環(huán)狀,與圓柱體結(jié)構(gòu)同軸對稱)。
[0041]凸球面模具4包括凸球面體401和圓柱空腔體402,圓柱空腔體402套設(shè)在凸球面體401外,凸球面體401和圓柱空腔體402之間設(shè)置有第二毛細縫6,凸球面體401的頂端伸出圓柱空腔體402。
[0042]第一毛細縫5與第二毛細縫半徑6相同,當(dāng)生長出圓管的長度達到預(yù)定的長度以后拉脫,平移籽晶桿使長出的圓管尾部位于凸球面模具的正上方,繼續(xù)生長出試管底部,第一毛細縫5與第二毛細縫半徑6相同。
[0043]凸球面體401的頂面為球面形狀,用于生長藍寶石試管的底部。
[0044]圓管模具3的第一毛細縫5與坩禍I的內(nèi)腔相連通,坩禍內(nèi)的熔液能進入毛細縫。
[0045]凸球面體401和圓柱空腔體402之間的第二毛細縫6與坩禍I的內(nèi)腔相連通。
[0046]圓管模具3和凸球面模具4的直徑為5 mm -50mm,依據(jù)時間試管的需求選擇。
[0047]圓管模具3和凸球面模具4材質(zhì)為鉬或者鎢或者銥或者鉬、鎢、銥相互組合。
[0048]如圖3所示,一種藍寶石試管的生長方法,包括以下步驟:
[0049]S01,裝爐:選用M向或C向籽晶,將籽晶固定在籽晶夾頭上,圓管模具和凸球面模具裝入鉬制坩禍中,圓管模具和凸球面模具并排放置,模具之間間隔5 _?10_,裝入鉬坩禍5kg?7kg焰熔法碎料,將籽晶桿設(shè)置在圓管模具的毛細縫正上方,圓管模具口放料粒;
[0050]S02,抽真空及充氬氣:關(guān)閉爐門,開啟機械泵進行抽真空,真空度達到3Pa?1Pa時關(guān)閉真空設(shè)備,充氬氣至標(biāo)準大氣壓;
[0051]S03,升溫:打開加熱電源升溫到2100?2300 °C,使模具口料粒熔化;
[0052]S04,引晶:待圓管模具口的料粒熔化后將籽晶搖下,對籽晶進行烤晶后進行引晶,使籽晶塊與恪體恪接,并向上以5mm/h?20mm/h提拉籽晶;
[0053]S05,放肩:將籽晶桿提拉速率調(diào)至放肩限定速度(20mm/h~30mm/h),通過放肩使晶體沿著籽晶從圓管模具中間向外生長;
[0054]S06,等徑生長:放肩結(jié)束后,進行等徑生長,提高拉速,在溫場穩(wěn)定的情況下,等徑生長時的加熱功率和提拉速率保持不變;生長出圓管的長度達到預(yù)定的長度以后拉脫,平移籽晶桿使長出的圓管尾部位于凸球面模具的正上方,圓管的底部位于凸球面模具的毛細縫處,并與毛細縫里的熔體結(jié)合,開始提拉,直到長出完整的試管底部后拉脫;
[0055]圓管尾部(圓弧部)形成過程如圖2所示,圖2a表示圓管的底部接觸凸球面模具的毛細縫處,2b表示圓管提拉5_時,圓管底部生長出試管弧度,2c表示圓管提拉10_時,試管的底面圓弧逐漸形成,2d表示圓管提拉13mm時,試管的底面圓弧形成,但仍舊試管底面與凸球面模具的頂部接觸,圖2e表示圓管提拉20mm時,已經(jīng)生長完成的試管底面與凸球面模具的頂部脫離,圖2f表示生長完成的藍寶石試管與凸球面模具拉脫。
[0056]S07,降溫:拉脫晶體脫離凸球面模具,開始降溫,1h以后降到室溫出爐;
[0057]S08,對長出的試管底部進行后道加工。
[0058]以上僅是本實用新型的優(yōu)選實施方式,應(yīng)當(dāng)指出:對于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說,在不脫離本實用新型原理的前提下,還可以做出若干改進和潤飾,這些改進和潤飾也應(yīng)視為本實用新型的保護范圍。
【主權(quán)項】
1.一種用于藍寶石試管生長的坩禍結(jié)構(gòu),包括坩禍(I)和坩禍蓋(2),其特征在于,還包括圓管模具(3 )和凸球面模具(4 ); 所述坩禍蓋(2)設(shè)置在坩禍(I)上,圓管模具(3)和凸球面模具(4)并排設(shè)置在坩禍(O內(nèi);所述圓管模具(3)和凸球面模具(4)的頂端伸出坩禍蓋(2)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于藍寶石試管生長的坩禍結(jié)構(gòu),其特征在于,所述圓管模具(3)為圓柱體結(jié)構(gòu),圓柱體結(jié)構(gòu)內(nèi)設(shè)置有以圓柱體結(jié)構(gòu)的中軸線為中心的圓環(huán)狀第一毛細縫(5); 所述凸球面模具(4 )包括凸球面體(401)和圓柱空腔體(402 ),所述圓柱空腔體(402 )套設(shè)在所述凸球面體(401)外,凸球面體(401)和圓柱空腔體(402之間設(shè)置有第二毛細縫(6 ),所述凸球面體(401)的頂端伸出所述圓柱空腔體(402 )。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于藍寶石試管生長的坩禍結(jié)構(gòu),其特征在于,所述第一毛細縫(5)與第二毛細縫(6)半徑相同。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于藍寶石試管生長的坩禍結(jié)構(gòu),其特征在于,所述凸球面體(401)的頂面為球面形狀。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于藍寶石試管生長的坩禍結(jié)構(gòu),其特征在于,所述圓管模具(3 )的第一毛細縫(5 )與坩禍(I)的內(nèi)腔相連通。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于藍寶石試管生長的坩禍結(jié)構(gòu),其特征在于,所述凸球面體(401)和圓柱空腔體(402)之間的第二毛細縫(6)與坩禍(I)的內(nèi)腔相連通。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于藍寶石試管生長的坩禍結(jié)構(gòu),其特征在于,所述圓管模具(3)和凸球面模具(4)的直徑為5 mm -50mm。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于藍寶石試管生長的坩禍結(jié)構(gòu),其特征在于,所述圓管模具(3)和凸球面模具(4)材質(zhì)為鉬或者鎢或者銥或者鉬、鎢、銥相互組合。
【專利摘要】本實用新型公開了一種用于藍寶石試管生長的坩堝結(jié)構(gòu),包括坩堝(1)、坩堝蓋(2)、圓管模具(3)和凸球面模具(4);坩堝蓋(2)設(shè)置在坩堝(1)上,圓管模具(3)和凸球面模具(4)并排設(shè)置在坩堝(1)內(nèi)。本實用新型從加工試管底部的內(nèi)圓,轉(zhuǎn)為底部的外圓的加工,降低藍寶石試管加工難度,生長速度快,晶體尺寸可以精確控制,簡化晶體的加工程序,降低生產(chǎn)成本。
【IPC分類】C30B29-20, C30B29-66, C30B15-34
【公開號】CN204370042
【申請?zhí)枴緾N201420785088
【發(fā)明人】王東海, 錢梅仙, 徐祥奇, 杜小紅, 張寒貧, 朱雁風(fēng), 舒暢, 閆杰
【申請人】江蘇蘇博瑞光電設(shè)備科技有限公司
【公開日】2015年6月3日
【申請日】2014年12月15日