口 62傳輸給尾氣換熱器50。
[0045]在具體實施過程中，請繼續(xù)參考圖1，裝置還包括鐘罩水閃蒸罐70和精餾塔80 ;
[0046]其中，鐘罩水閃蒸罐70與還原爐出口 62相連，鐘罩水閃蒸罐70用于接收還原爐60的鐘罩的冷卻水，并將冷卻水的一部分閃蒸為蒸汽，并將蒸汽傳輸給精餾塔80 ;
[0047]精餾塔80與鐘罩水閃蒸罐70相連，精餾塔80用于接收蒸汽，并通過蒸汽攜帶的熱量提高或保持精餾塔80內(nèi)的溫度，對還原爐冷卻水中的熱量進(jìn)行了進(jìn)一步利用，進(jìn)一步提高了還原爐的熱能利用率，從而提高了在制備多晶硅時的熱能利用率，降低了制備多晶硅時的能耗。
[0048]在具體實施過程中，請繼續(xù)參考圖1，裝置還包括鐘罩水栗90，鐘罩水栗90與鐘罩水閃蒸罐70和還原爐60相連，鐘罩水栗90用于將冷卻水中未閃蒸為蒸汽的部分栗入還原爐60的鐘罩中。
[0049]在具體實施過程中，還原爐60內(nèi)設(shè)置有72對硅芯。當(dāng)然，在其他實施例中，還原爐內(nèi)可以設(shè)置的硅芯數(shù)量為24對、36對、144對等等，在此不做限制。
[0050]在具體實施過程中，硅芯為Φ 10X2800mm的圓柱體硅芯。
[0051]在具體實施過程中，請繼續(xù)參考圖1，還原爐60還通過還原爐出口 62與混合器40相連，并通過還原爐出口 62將還原爐60尾氣傳輸給混合器40。在本實施例中，還原爐60與混合器40相連是通過尾氣換熱器50間接相連的，在其他實施例中，還原爐60可以與混合器40直接相連，在此不做限制。
[0052]混合器40在接收還原爐尾氣后，即能夠通過還原爐尾氣中攜帶的熱量對混合器40中的氣體進(jìn)行加熱，對還原爐尾氣中的熱量進(jìn)行了進(jìn)一步利用，進(jìn)一步提高了還原爐的熱能利用率，從而提高了在制備多晶硅時的熱能利用率，降低了制備多晶硅時的能耗。
[0053]在具體實施過程中，請繼續(xù)參考圖1，還原爐60還通過還原爐出口 62與氫氣預(yù)熱器30相連，并通過還原爐出口 62將還原爐尾氣傳輸給氫氣預(yù)熱器30。在本實施例中，還原爐60與氫氣預(yù)熱器30相連是通過尾氣換熱器50和混合器40間接相連的，在其他實施例中，還原爐60可以與混合器40直接相連，在此不做限制。
[0054]氫氣預(yù)熱器30在接收還原爐尾氣后，即能夠通過還原爐尾氣中攜帶的熱量對氫氣預(yù)熱器30中的氫氣進(jìn)行加熱，對還原爐尾氣中的熱量進(jìn)行了進(jìn)一步利用，進(jìn)一步提高了還原爐的熱能利用率，從而提高了在制備多晶硅時的熱能利用率，降低了制備多晶硅時的能耗。
[0055]在具體實施過程中，請繼續(xù)參考圖1，還原爐60還通過還原爐出口 62與三氯氫硅預(yù)熱器10相連，并通過還原爐出口 62將還原爐60尾氣傳輸給三氯氫硅預(yù)熱器10。在本實施例中，還原爐60與三氯氫硅預(yù)熱器10相連是通過尾氣換熱器50、混合器40和氫氣預(yù)熱器30間接相連的，在其他實施例中，還原爐60可以與混合器40直接相連，在此不做限制。
[0056]三氯氫硅預(yù)熱器10在接收還原爐尾氣后，即能夠通過還原爐尾氣中攜帶的熱量對三氯氫硅預(yù)熱器10中的三氯氫硅進(jìn)行加熱，對還原爐尾氣中的熱量進(jìn)行了進(jìn)一步利用，進(jìn)一步提高了還原爐的熱能利用率，從而提高了在制備多晶硅時的熱能利用率，降低了制備多晶硅時的能耗。
[0057]上述本實用新型實施例中的技術(shù)方案，至少具有如下的技術(shù)效果或優(yōu)點:
[0058]1、由于還原爐通過還原爐出口與尾氣換熱器相連，并將還原爐尾氣通過還原爐出口傳輸給尾氣換熱器，使得尾氣換熱器能夠通過還原爐尾氣對將被送入還原爐進(jìn)行還原反應(yīng)的氣體進(jìn)行加熱，提高了還原爐的熱能利用率，從而提高了在制備多晶硅時的熱能利用率，降低了制備多晶硅時的能耗。
[0059]2、由于鐘罩水閃蒸罐通過還原爐出口與還原爐相連，并將還原爐的鐘罩的冷卻水中的一部分閃蒸為蒸汽，并將蒸汽傳輸給精餾塔，使得精餾塔能夠利用蒸汽攜帶的熱量提高或者保持精餾塔內(nèi)的溫度，對還原爐冷卻水中的熱量進(jìn)行了進(jìn)一步利用，進(jìn)一步提高了還原爐的熱能利用率，從而提高了在制備多晶硅時的熱能利用率，降低了制備多晶硅時的能耗。
[0060]3、由于還原爐通過還原爐出口分別與混合器、氫氣預(yù)熱器或三氯氫硅預(yù)熱器相連，使得混合器、氫氣預(yù)熱器或三氯氫硅預(yù)熱器能夠利用還原爐尾氣中攜帶的熱量進(jìn)行加熱，對還原爐尾氣中的熱量進(jìn)行了進(jìn)一步利用，進(jìn)一步提高了還原爐的熱能利用率，從而提高了在制備多晶硅時的熱能利用率，降低了制備多晶硅時的能耗。
[0061]顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對本實用新型進(jìn)行各種改動和變型而不脫離本實用新型的精神和范圍。這樣，倘若本實用新型的這些修改和變型屬于本實用新型權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本實用新型也意圖包含這些改動和變型在內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種制備棒狀多晶硅的裝置，其特征在于，所述裝置包括:三氯氫硅預(yù)熱器、汽化器、氫氣預(yù)熱器、混合器、尾氣換熱器和還原爐，所述還原爐具有還原爐入口與還原爐出P ； 其中，所述三氯氫硅預(yù)熱器用于對液態(tài)三氯氫硅進(jìn)行加熱； 所述汽化器與所述三氯氫硅預(yù)熱器相連，用于將所述液態(tài)三氯氫硅加熱為氣態(tài)三氯氫娃; 所述氫氣預(yù)熱器用于對氫氣進(jìn)行加熱，獲得加熱后的氫氣； 所述混合器分別與所述汽化器和所述氫氣預(yù)熱器相連，用于將所述液態(tài)三氯氫硅和所述加熱后的氫氣進(jìn)行充分混合，獲得第一混合氣體； 所述尾氣換熱器與所述混合器相連，且同時與所述還原爐入口和所述還原爐出口相連，所述尾氣換熱器用于接收所述混合氣體，并根據(jù)所述還原爐出口排放的尾氣對所述第一混合氣體進(jìn)行加熱，獲得第二混合氣體，并將所述第二混合氣體通過所述還原爐入口傳輸給所述還原爐； 所述還原爐通過所述還原爐入口和所述還原爐出口與所述尾氣換熱器相連，用于通過所述還原爐入口接收所述第二混合氣體，以使得所述第二混合氣體中的三氯氫硅在所述還原爐中還原為棒狀多晶硅，并將所述第二混合氣體反應(yīng)后的還原爐尾氣通過所述還原爐出口傳輸給所述尾氣換熱器。2.如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述裝置還包括鐘罩水閃蒸罐和精餾塔； 其中，所述鐘罩水閃蒸罐與所述還原爐出口相連，所述鐘罩水閃蒸罐用于接收所述還原爐的鐘罩的冷卻水，并將所述冷卻水的一部分閃蒸為蒸汽，并將所述蒸汽傳輸給所述精飽塔； 所述精餾塔與所述鐘罩水閃蒸罐相連，所述精餾塔用于接收所述蒸汽，并通過所述蒸汽攜帶的熱量提高或保持所述精餾塔內(nèi)的溫度。3.如權(quán)利要求2所述的裝置，其特征在于，所述裝置還包括鐘罩水栗，所述鐘罩水栗與所述鐘罩水閃蒸罐和所述還原爐相連，所述鐘罩水栗用于將所述冷卻水中未閃蒸為蒸汽的部分栗入所述還原爐的鐘罩中。4.如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述還原爐內(nèi)設(shè)置有72對硅芯。5.如權(quán)利要求4所述的裝置，其特征在于，所述硅芯為Φ10X 2800mm的圓柱體硅芯。6.如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述還原爐還通過所述還原爐出口與所述混合器相連，并通過所述還原爐出口將所述還原爐尾氣傳輸給所述混合器。7.如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述還原爐還通過所述還原爐出口與所述氫氣預(yù)熱器相連，并通過所述還原爐出口將所述還原爐尾氣傳輸給所述氫氣預(yù)熱器。8.如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述還原爐還通過所述還原爐出口與所述三氯氫硅預(yù)熱器相連，并通過所述還原爐出口將所述還原爐尾氣傳輸給所述三氯氫硅預(yù)熱器。
【專利摘要】本實用新型實施例公開了一種制備棒狀多晶硅的裝置，該裝置包括：三氯氫硅預(yù)熱器、汽化器、氫氣預(yù)熱器、混合器、尾氣換熱器和還原爐，還原爐具有還原爐入口與還原爐出口；其中，尾氣換熱器與混合器相連，且同時與還原爐入口和還原爐出口相連，尾氣換熱器用于接收混合氣體，并根據(jù)還原爐出口排放的尾氣對第一混合氣體進(jìn)行加熱，獲得第二混合氣體，并將第二混合氣體通過還原爐入口傳輸給還原爐。由于還原爐將還原爐尾氣通過還原爐出口傳輸給尾氣換熱器，使得尾氣換熱器能夠通過還原爐尾氣對將被送入還原爐進(jìn)行還原反應(yīng)的氣體進(jìn)行加熱，提高了還原爐的熱能利用率，從而提高了在制備多晶硅時的熱能利用率，降低了制備多晶硅時的能耗。
【IPC分類】C01B33/035
【公開號】CN205045831
【申請?zhí)枴緾N201520804736
【發(fā)明人】陳廉, 王輝
【申請人】武漢東立光伏電子有限公司
【公開日】2016年2月24日
【申請日】2015年10月16日