聚酰亞胺膜的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明設(shè)及尺寸穩(wěn)定性優(yōu)良、適合于半導(dǎo)體封裝體用途、半導(dǎo)體制造工藝用途、顯 示器用途、太陽(yáng)能電池基板、細(xì)節(jié)距電路用基板等要求尺寸穩(wěn)定性的用途的聚酷亞胺膜。
【背景技術(shù)】
[0002] 伴隨曉性印刷基板（FPC)、半導(dǎo)體封裝體的高精細(xì)化，對(duì)它們中使用的聚酷亞胺膜 的要求事項(xiàng)也增多，可W列舉例如：縮小由與金屬的貼合引起的尺寸變化和卷邊、使操作性 高等，作為聚酷亞胺膜的物性，要求具有與金屬同等的熱膨脹系數(shù)W及高彈性模量，進(jìn)一步 要求由吸水引起的尺寸變化小的膜，開(kāi)發(fā)了應(yīng)對(duì)該要求的聚酷亞胺膜。
[0003] 例如，已知為了提高彈性模量而使用對(duì)苯二胺的聚酷亞胺膜的例子（專利文獻(xiàn)1、 2、3)。另外，已知為了在保持高彈性的同時(shí)降低由吸水引起的尺寸變化而在使用對(duì)苯二胺 的基礎(chǔ)上使用聯(lián)苯四甲酸二酢的聚酷亞胺膜的例子（專利文獻(xiàn)4、5)。
[0004] 此外，已知為了抑制與金屬的貼合工序中的尺寸變化而將膜的機(jī)械輸送方向（W 下也稱為MD)的熱膨脹系數(shù)設(shè)定得比膜的寬度方向（W下也稱為TD)的熱膨脹系數(shù)小、具 有各向異性的聚酷亞胺膜的例子。其目的在于，在通常的FPC制造工藝中采用利用漉對(duì)漉 加熱而進(jìn)行與金屬的貼合的層壓方式，在該工序中沿膜的MD施加張力而產(chǎn)生伸長(zhǎng)率，另一 方面，將在TD上產(chǎn)生收縮的現(xiàn)象抵消（專利文獻(xiàn)6)。 陽(yáng)0化]作為聚酷亞胺膜的最近的用途，從輕量化、曉性等優(yōu)點(diǎn)考慮，可W列舉半導(dǎo)體封裝 體用途、半導(dǎo)體制造工藝用途、電子紙等顯示器的基膜、太陽(yáng)能電池基板的用途等。W往，聚 酷亞胺膜多被用于電路基板用途，其熱膨脹系數(shù)大多W形成布線的銅的熱膨脹系數(shù)為標(biāo)準(zhǔn) 進(jìn)行調(diào)整。但是，最近的運(yùn)些用途中，大多使用具有比銅低的熱膨脹系數(shù)的二氧化娃、玻璃， 對(duì)于現(xiàn)有的聚酷亞胺膜而言，有時(shí)尺寸穩(wěn)定性不充分、或者由于MD與TD的熱膨脹系數(shù)的差 異而產(chǎn)生翅曲。另外，在W往的電路用基板用途中也出現(xiàn)了要求細(xì)節(jié)距的情況，在運(yùn)種情況 下，對(duì)于現(xiàn)有的聚酷亞胺膜而言，尺寸穩(wěn)定性不充分。
[0006] 現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0007] 專利文獻(xiàn)
[0008]專利文獻(xiàn)1:日本特開(kāi)昭60-210629號(hào)公報(bào)
[0009]專利文獻(xiàn)2 :日本特開(kāi)昭64-16832號(hào)公報(bào)
[0010] 專利文獻(xiàn)3 :日本特開(kāi)平1-131241號(hào)公報(bào)
[0011] 專利文獻(xiàn)4 :日本特開(kāi)昭59-164328號(hào)公報(bào)
[0012]專利文獻(xiàn)5:日本特開(kāi)昭61-111359號(hào)公報(bào)
[0013]專利文獻(xiàn)6:日本特開(kāi)平4-25434號(hào)公報(bào)

【發(fā)明內(nèi)容】

[0014] 發(fā)明所要解決的問(wèn)題
[0015] 本發(fā)明是W解決上述現(xiàn)有技術(shù)中的問(wèn)題作為課題進(jìn)行研究而得到的結(jié)果，其目的 在于得到膜的尺寸變化得W減小、并且MD與TD的熱膨脹系數(shù)差小而呈各向同性、適合于半 導(dǎo)體封裝體用途、半導(dǎo)體制造工藝用途、顯示器用途、太陽(yáng)能電池基板、細(xì)節(jié)距電路用基板 等要求尺寸穩(wěn)定性的用途的聚酷亞胺膜。
[0016] 用于解決問(wèn)題的方法
[0017] 本發(fā)明人為了解決上述課題而反復(fù)進(jìn)行了深入研究，結(jié)果發(fā)現(xiàn)了一種聚酷亞胺 膜，其使用含有對(duì)苯二胺的芳香族二胺成分和酸酢成分而得到，其特征在于，使用島津制作 所制造的TMA-50在測(cè)定溫度范圍為50~200°C、升溫速度為10°C/分鐘的條件下進(jìn)行測(cè) 定而得到的膜的機(jī)械輸送方向（MD)的熱膨脹系數(shù)aMD和寬度方向（TD)的熱膨脹系數(shù)aTD 運(yùn)兩者在化pm/°CW上且小于7.化pm/°C的范圍內(nèi)，且滿足IaMD-aTDI< 3的關(guān)系，該聚酷 亞胺膜是膜的尺寸變化得W減小并且MD與TD的熱膨脹系數(shù)差小的各向同性的膜。
[0018] 除上述W外，本發(fā)明人還得到了如下各種意想不到的新見(jiàn)解，并進(jìn)一步反復(fù)進(jìn)行 了深入研究，從而完成了本發(fā)明。
[0019]旨P，本發(fā)明設(shè)及W下的發(fā)明。
[0020] [1] 一種聚酷亞胺膜，使用含有對(duì)苯二胺的芳香族二胺成分和酸酢成分而得到， 其特征在于，使用島津制作所制造的TMA-50在測(cè)定溫度范圍為50~200°C、升溫速度為 10°C/分鐘的條件下進(jìn)行測(cè)定而得到的膜的機(jī)械輸送方向（MD)的熱膨脹系數(shù)aMD和寬度 方向（TD)的熱膨脹系數(shù)Qtd運(yùn)兩者在〇ppm/°CW上且小于7.0ppm/°C的范圍內(nèi)，且滿足 IaMD-aTDI< 3 的關(guān)系。
[0021] [2] -種聚酷亞胺膜，使用含有對(duì)苯二胺的芳香族二胺成分和酸酢成分而得到， 其特征在于，使用島津制作所制造的TMA-50在測(cè)定溫度范圍為50~200°C、升溫速度為 10°C/分鐘的條件下進(jìn)行測(cè)定而得到的膜的機(jī)械輸送方向（MD)的熱膨脹系數(shù)aMD和寬度 方向（TD)的熱膨脹系數(shù)Qtd運(yùn)兩者在〇ppm/°CW上且小于7.0ppm/°C的范圍內(nèi)，且滿足 曰MD-曰TD< 2的關(guān)系。
[0022] [3]如上述[1]或[2]所述的聚酷亞胺膜，其特征在于，膜的MD和TD的200°C加 熱收縮率均為0.05%W下。
[002引W如上述山~閒中任一項(xiàng)所述的聚酷亞胺膜，其特征在于，膜的MD和TD的 200°(：加熱收縮率均為0.03%^下。
[0024] 閒如上述山~W中任一項(xiàng)所述的聚酷亞胺膜，其特征在于，膜的拉伸彈性模 量為6.OGPaW上。
[00巧][6]如上述[1]~[5]中任一項(xiàng)所述的聚酷亞胺膜，其特征在于，膜的吸水率為 3. 0 %W下。
[00%] [7]如上述[1]~[6]中任一項(xiàng)所述的聚酷亞胺膜，其特征在于，對(duì)苯二胺相對(duì)于 芳香族二胺成分總量為至少31摩爾％W上。
[0027][引如上述[1]~[7]中任一項(xiàng)所述的聚酷亞胺膜，其特征在于，還含有選自由 4, 4'-二氨基二苯基酸和3, 4'-二氨基二苯基酸組成的組中的一種W上作為芳香族二胺成 分。
[0028] [9]如上述[1]~巧]中任一項(xiàng)所述的聚酷亞胺膜，其特征在于，酸酢成分為選自 由均苯四酸二酢和3, 3' -4,4'-聯(lián)苯四甲酸二酢組成的組中的一種W上。
[0029][10] -種覆銅錐層壓體，其特征在于，使用上述[1]~[9]中任一項(xiàng)所述的聚酷亞 胺膜。
[0030] [11] 一種玻璃/聚酷亞胺層壓體，其特征在于，使用上述[1]~[10]中任一項(xiàng)所 述的聚酷亞胺膜。
[00川發(fā)明效果
[0032] 本發(fā)明的聚酷亞胺膜的尺寸穩(wěn)定性優(yōu)良，因而能夠適合用于半導(dǎo)體封裝體用途、 半導(dǎo)體制造工藝用途、顯示器用途、太陽(yáng)能電池基板、細(xì)節(jié)距電路用基板等要求尺寸穩(wěn)定性 的用途。
[003引另外，本發(fā)明的聚酷亞胺膜是MD與TD的熱膨脹系數(shù)差小的各向同性的膜，因此， 在用于半導(dǎo)體封裝體用途、半導(dǎo)體制造工藝用途、顯示器用途、太陽(yáng)能電池基板、細(xì)節(jié)距電 路用基板等用途時(shí)能夠減少翅曲的產(chǎn)生。
【具體實(shí)施方式】
[0034] 本發(fā)明的聚酷亞胺膜是使用含有對(duì)苯二胺的芳香族二胺成分和酸酢成分而得到 的聚酷亞胺膜，其特征在于，使用島津制作所制造的TMA-50在測(cè)定溫度范圍為50~200°C、 升溫速度為l〇°C/分鐘的條件下進(jìn)行測(cè)定而得到的膜的機(jī)械輸送方向（MD)的熱膨脹系數(shù) 曰MD和寬度方向（TD)的熱膨脹系數(shù)aTD運(yùn)兩者在化pm/°CW上且小于7.化pm/°C的范圍內(nèi)， 且滿足IaMD-aTDI< 3的關(guān)系。
[0035] 本發(fā)明的聚酷亞胺膜的機(jī)械輸送方向（MD)的熱膨脹系數(shù)aMD和寬度方向（TD)的 熱膨脹系數(shù)aTD均通常為化pm/°CW上且小于7.化pm/°C的范圍，優(yōu)選為1.化pm/°CW上且 小于7.化pm/°C的范圍，更優(yōu)選為2.化pm/°CW上且6. 5卵m/°CW下的范圍，進(jìn)一步優(yōu)選為 2. 0ppm/°CW上且6. 0ppm/°CW下的