專利名稱：陶瓷研磨液的制作方法
陶瓷研磨液
(一) 技術(shù)領(lǐng)域 本發(fā)明涉及一種研磨液，特別是一種陶瓷研磨液。
(二)
背景技術(shù)：
研磨是切片后陶瓷表面的第一次機(jī)械加工，磨片的目的去除陶瓷 表面的切片刀痕和凹凸不平，使表面加工損傷達(dá)到一致，這樣在化學(xué)
腐蝕過(guò)程中，表面腐蝕速率才能達(dá)到均勻一致。美國(guó)發(fā)明的多氨19-C 是世界上唯一銷售量最大的懸浮狀磨削液。多氨19-C是一種白色微
有刺激性氣味的奶狀液體，顯弱堿性。它的特征有具有非常高的稀
釋能力，很強(qiáng)的懸浮特性，具有生物降解能力。多氨19-C的缺點(diǎn)是 價(jià)格昂貴，粘度大，表面吸附比嚴(yán)重，不容易清洗，導(dǎo)致磨片清洗后 表面易出花斑，這些直接影響磨片的成品率，并且對(duì)下道工序加工帶 來(lái)危害。因此，如何提高研磨液性能，提高研磨效率，減少陶瓷粉、 磨料等粒子和金屬離子在表面的吸附，便于清洗，是當(dāng)前研磨中需解 決的問(wèn)題之一。
(三)

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提供一種陶瓷研磨液，它解決了目前存在的問(wèn)題，克服了 懸浮能力差和金屬離子含量高等缺點(diǎn)。
本發(fā)明的技術(shù)方案 一種陶瓷研磨液，其特征在于它是由磨料、
滲透劑、潤(rùn)滑劑、PH值調(diào)節(jié)劑、表面活性劑、螯合劑和去離子水組 成，各種成分所占的重量百分比為磨料5.0% 20.0%; PH值調(diào)節(jié)
劑10% 20%;滲透劑3% 5%;潤(rùn)滑劑1% 3%;表面活性劑0. 1% 1.0%;螯合劑0. 1% 1.0%;去離子水為余量。
上述所說(shuō)的磨料是指Si02、 A1A、 Ce02、 Ti02或碳化硼。
上述所說(shuō)的PH調(diào)節(jié)劑是指氫氧化鈉、氫氧化鉀、多羥多胺和胺 中的一種或其組合。
上述所說(shuō)的表面活性劑系采用非離子型表面活性劑，如脂肪醇聚 氧乙稀醚或垸基醇酰胺。
上述所說(shuō)的滲透劑是指脂肪醇聚氧乙烯醚或磷酸脂。
上述所說(shuō)的潤(rùn)滑劑是指甘油或聚乙二醇。
上述所說(shuō)的螯合劑具有水溶性和不含金屬離子，可為EDTA、 EDTA 二鈉、羥胺、胺鹽和胺中的一種或其組合。
本發(fā)明所制備的研磨液的優(yōu)點(diǎn)是具有一定的潤(rùn)滑、冷卻防銹作 用，易于研磨后的清洗，懸浮性能好，金屬離子螯合能力強(qiáng)。 具體實(shí)施例方式
實(shí)施例l: 一種陶瓷研磨液，其特征在于它是由碳化硼磨料、烷 基醇酰胺、NaOH、磷酸脂、甘油、六羥基丙基丙二胺和去離子水組成,
各種成分所占的重量百分比為碳化硼磨料10%;烷基醇酰胺0.3%; K0H 10%;磷酸脂3%;甘油1%;六羥基丙基丙二胺0. 6%;去離子水 為余量。
將上述研磨液與去離子水按1:100稀釋，在研磨機(jī)上做實(shí)驗(yàn)，研 磨后的晶片表面光潔，平坦度良好，研磨后的易于清洗。
實(shí)施例2: —種陶瓷研磨液，其特征在于它是由A1A磨料、三乙 醇胺、脂肪醇聚氧乙稀醚、JFC、甘油、四羥基乙基乙二胺和去離子
水組成，各種成分所占的重量百分比為Al必，15%;三乙醇胺20%; 脂肪醇聚氧乙稀醚0.4%; JFC5%;甘油2%;四羥基乙基乙二胺0.9%;
去離子水為余量。
將上述研磨液與去離子水按1:100稀釋，在研磨機(jī)上做實(shí)驗(yàn)，研 磨后的晶片表面光潔，平坦度良好，易于清洗。
權(quán)利要求
1、一種陶瓷研磨液，其特征在于它是由磨料、滲透劑、潤(rùn)滑劑、PH值調(diào)節(jié)劑、表面活性劑、螯合劑和去離子水組成，各種成分所占的重量百分比為磨料5.0％～20.0％；PH值調(diào)節(jié)劑10％～20％；滲透劑3％～5％；潤(rùn)滑劑1％～3％；表面活性劑0.1％～1.0％；螯合劑0.1％～1.0％；去離子水為余量。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種陶瓷研磨液，其特征在于所說(shuō)的磨料是指SiO" A1A、 Ce02、 Ti02或碳化硼。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種陶瓷研磨液，其特征在于所說(shuō)的ra調(diào)節(jié)劑是指氫氧化鈉、氫氧化鉀、多羥多胺和胺中的一種或其組 厶
4、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種陶瓷研磨液，其特征在于所說(shuō)的 表面活性劑系采用非離子型表面活性劑，如脂肪醇聚氧乙稀醚或垸基 醇酰胺。
5、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種陶瓷研磨液，其特征在于所說(shuō)的 滲透劑是指脂肪醇聚氧乙烯醚或磷酸脂。
6、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種陶瓷研磨液，其特征在于所說(shuō)的 潤(rùn)滑劑是指甘油或聚乙二醇。
7、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種陶瓷研磨液，其特征在于所說(shuō)的 螯合劑具有水溶性和不含金屬離子，可為EDTA、 EDTA二鈉、羥胺、胺鹽和胺中的一種或其組合。
全文摘要
一種陶瓷研磨液，其特征在于它是由磨料、滲透劑、潤(rùn)滑劑、pH值調(diào)節(jié)劑、表面活性劑、螯合劑和去離子水組成，各種成分所占的重量百分比為磨料5.0％～20.0％；pH值調(diào)節(jié)劑10％～20％；滲透劑3％～5％；潤(rùn)滑劑1％～3％；表面活性劑0.1％～1.0％；螯合劑0.1％～1.0％；去離子水為余量。本發(fā)明所制備的研磨液的優(yōu)點(diǎn)是具有一定的潤(rùn)滑、冷卻防銹作用，易于研磨后的清洗，懸浮性能好，金屬離子螯合能力強(qiáng)。
文檔編號(hào)C09G1/04GK101096574SQ200610014598
公開(kāi)日2008年1月2日 申請(qǐng)日期2006年6月30日 優(yōu)先權(quán)日2006年6月30日
發(fā)明者仲躋和, 周云昌, 李家榮, 李薇薇 申請(qǐng)人:天津晶嶺電子材料科技有限公司