專利名稱：旋涂系統(tǒng)及用于其液體回收的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明關(guān)于一種旋涂系統(tǒng)及用于其液體回收的方法，特別是關(guān)于一種旋涂系統(tǒng)及用于其液體回收的方法，可將流入旋涂系統(tǒng)中的不同液體，分別的流入不同儲存裝置中，以利于后續(xù)的回收再利用。
背景技術(shù)：
于LCD陣列微影制作工藝中，會將光阻液均勻的涂布于玻璃基板的表面，而為使光阻液可均勻的涂布于玻璃基板上，通?？赏ㄟ^一旋涂系統(tǒng)，以達到可均勻涂布的目的。
請參閱圖1，圖1為傳統(tǒng)旋涂系統(tǒng)10示意圖。旋涂系統(tǒng)10包括一旋涂機11、一第一管線13、一第二管線14、一導出裝置15、一回收管線18以及一回收槽19。旋涂機11用以帶動一玻璃基板12，使玻璃基板12可進行轉(zhuǎn)動，以利于后續(xù)玻璃基板12可進行旋涂制作工藝。其中，旋涂機11包括一基座111、一轉(zhuǎn)軸112、一旋轉(zhuǎn)平臺113以及一旋涂室114。其中，基座111設(shè)置在旋涂室114中。轉(zhuǎn)軸112樞接于基座111內(nèi)的一電機(未顯示)，通過電機，使得轉(zhuǎn)軸112可進行轉(zhuǎn)動。而旋轉(zhuǎn)平臺113設(shè)置在轉(zhuǎn)軸112的上方，通過轉(zhuǎn)軸112，以帶動旋轉(zhuǎn)平臺113轉(zhuǎn)動，進而使設(shè)置在其上方的一玻璃基板12，可進行轉(zhuǎn)動。
另外，第一管線13連接于旋涂機11，且用以導入光阻液13a于轉(zhuǎn)動中的玻璃基板12上。通過旋轉(zhuǎn)涂布的方式，將光阻液13a均勻的涂布于玻璃基板12上。其中，在涂布過程中，大約僅有10％以下的光阻液可涂布于玻璃基板12上，而多余的光阻液(約90％以上)會在后續(xù)流入導出裝置15中。
導出裝置15設(shè)置在旋涂機11的下方，且用以將多余液體排出于旋涂室114中。其中，導出裝置15具有一流道151以及一出液口152，流道151通常設(shè)置在旋涂機11的下方，且具有斜度，以利于將液體集中，并通過出液口152，以將液體排出于旋涂室114中。
另外，回收管線18的兩端分別連接于出液口152以及回收槽19。其中，來自于導出裝置15的液體，可經(jīng)由回收管線18，以流入回收槽19中。
此外，旋涂機11進行多片玻璃基板17的涂布后，第二管線14將清洗液14a導入旋涂機11中，以清洗旋涂機11(特別是旋涂機11中的旋轉(zhuǎn)平臺113)，此清洗目的在于避免旋涂機11因沾附過多的光阻液13a，而影響后續(xù)其它玻璃基板的涂布。其中，所用以清洗旋涂機11的清洗液14a會在后續(xù)經(jīng)由導出裝置15以及回收管線18，流入回收槽19中。
對于上述傳統(tǒng)旋涂系統(tǒng)10而言，旋涂系統(tǒng)10將多余的光阻液以及清洗液，通過導出裝置15以及回收管線18，以回收于回收槽19中。其中，此回收槽19中的混合液體會在后續(xù)通過一液體分離程序，以使混合液體中的光阻液以及清洗液，可回收再利用。
然而，由于上述光阻液于混合液體中的濃度很低，因此，要將光阻液于混合液體中分離出來，必需耗費大量的成本，才得以將光阻液分離于混合液體中。有鑒于此，本發(fā)明提供一種旋涂系統(tǒng)，可分別將光阻液以及清洗液分別儲存于不同回收槽，以避免因光阻液于混合液體中的濃度過低，而增加液體分離程序的成本。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的主要目的提供一種旋涂系統(tǒng)及用于其液體回收的方法，可將流入旋涂系統(tǒng)中的不同液體，分別的流入不同儲存裝置中，以利于后續(xù)的回收再利用。
本發(fā)明提供一種旋涂系統(tǒng)，包括一旋涂機、一第一管線、一導出裝置、一第一回收管線以及一檢測裝置。第一管線用以導入一第一液體至旋涂機。導出裝置用以導出流經(jīng)旋涂機的第一液體，其中導出裝置具有一切換裝置。第一回收管線連接至導出裝置。檢測裝置設(shè)置在第一管線中，并電性連接至切換裝置。其中，當?shù)谝灰后w流經(jīng)于第一管線中時，檢測裝置傳送信號至切換裝置，使得來自于旋涂機中的第一液體，可經(jīng)由導出裝置，流入第一回收管線中。
本發(fā)明提供一種用于旋涂系統(tǒng)的液體回收的方法，包括下列步驟1)設(shè)置一旋涂機。2)設(shè)置一第一管線，其中第一管線用以導入一第一液體至旋涂機。3)設(shè)置一導出裝置，而導出裝置用以導出流經(jīng)旋涂機的第一液體，其中導出裝置具有一切換裝置。4)連接一第一回收管線至導出裝置。5)設(shè)置一檢測裝置于第一管線中，其中，檢測裝置電性連接至切換裝置。6)當?shù)谝灰后w流經(jīng)于第一管線中時，檢測裝置傳送信號至切換裝置，使得來自于旋涂機中的第一液體，可經(jīng)由導出裝置，流入第一回收管線中。
關(guān)于本發(fā)明的優(yōu)點與精神可以借由以下的發(fā)明詳述及附圖得到進一步的了解。


借由以下詳細的描述結(jié)合所附圖標，將可輕易的了解上述內(nèi)容及此項發(fā)明的諸多優(yōu)點，其中圖1為傳統(tǒng)旋涂系統(tǒng)示意圖；圖2為本發(fā)明旋涂系統(tǒng)示意圖；圖3為本發(fā)明另一實施例旋涂系統(tǒng)示意圖；圖4為本發(fā)明線性滑軌設(shè)置在底盤下的示意圖；以及圖5為本發(fā)明另一實施例旋涂系統(tǒng)示意圖。
主要組件符號說明


具體實施方式
請參閱圖2，圖2為本發(fā)明旋涂系統(tǒng)20示意圖。旋涂系統(tǒng)20包括一旋涂機21、一第一管線23、一第二管線24、一導出裝置25、一第一回收管線27、一第二回收管線28、一回收筒29、一回收槽285、一控制單元32以及一檢測裝置26。旋涂機21用以帶動一玻璃基板22，使玻璃基板22可進行轉(zhuǎn)動，以利于后續(xù)玻璃基板22可進行旋涂制作工藝。其中，旋涂機21包括一基座211、一轉(zhuǎn)軸212、一旋轉(zhuǎn)平臺213以及一旋涂室214。其中，基座211設(shè)置在旋涂室214中。轉(zhuǎn)軸212樞接于基座211內(nèi)的一電機(未顯示)，通過電機，以使轉(zhuǎn)軸212可進行轉(zhuǎn)動。而旋轉(zhuǎn)平臺213設(shè)置在轉(zhuǎn)軸212的上方，通過轉(zhuǎn)軸212，以帶動旋轉(zhuǎn)平臺213轉(zhuǎn)動，進而使設(shè)置在其上方的一玻璃基板22，可進行轉(zhuǎn)動。
另外，第二管線24連接于旋涂機21，并用以導入一第二液體24a至旋涂機21。在本實施例中，上述第二液體24a為一光阻液，且用以涂布于轉(zhuǎn)動中的玻璃基板22上。通過玻璃基板22轉(zhuǎn)動時的離心力，可使得光阻液可均勻的分布于玻璃基板22上。而大多的光阻液因玻璃基板22轉(zhuǎn)動時的離心力，會濺散于旋涂室214中，并在后續(xù)流入導出裝置25中。
以及，第一管線23連接于旋涂機21，并用以導入一第一液體23a至旋涂機21。在本實施例中，上述第一液體23a為一清潔液，而清潔液的主要目的在于清洗旋涂機21(特別是旋涂機21中的旋轉(zhuǎn)平臺213)，以避免旋涂機21因沾附過多的光阻液，而影響后續(xù)其它玻璃基板的涂布。而清洗旋涂機21后的清潔液，會在后續(xù)流入導出裝置25中。
并且，導出裝置25設(shè)置在旋涂機21的下方，用以導出流經(jīng)旋涂機21的第一液體23a以及第二液體24a。以本實施例而言，導出裝置25具有一流道251、一出液口252、一導出管線254以及一切換裝置253。流道251通常設(shè)置在旋涂機21的下方，且具有斜度，以利于將液體(23a、24a)集中，并通過出液口252，以將液體(23a、24a)排出于旋涂室214中。導出管線254的一端連接于出液口252，另一端則連接于切換裝置253。切換裝置253具有第一流道口25a、第二流道口25b以及第三流道口25c。
其中，第一流道口25a連接導出管線254，第二流道口25b連接第一回收管線27，而第三流道口25c連接第二回收管線28。通過切換裝置253，可將來自于第一流道口25a中的液體，經(jīng)由第二流道口25b，流入第一回收管線27中，或經(jīng)由第三流道口25c，流入第二回收管線28中。其中，上述切換裝置253可為三相閥，但不以此為限，只要切換裝置253具有三個流道口(A流道口、B流道口以及C流道口)，且可將來自于A流道口的液體，流入B流道口或C流道口中，均應屬于本發(fā)明切換裝置253的發(fā)明范疇之內(nèi)。
以上述實施例而言，導出裝置25具有一流道251、一出液口252、一導出管線254以及一切換裝置253，此外，導出裝置25亦可如圖3所示，具有一流道251、一出液口252以及一切換裝置253，其中不同的是，圖3所示的切換裝置253的第一流道口25a連接出液口252，并不需要通過圖2所示實施例中的導出管線254。然而，本發(fā)明導出裝置25并非僅局限于上述實施例的情形，只要導出裝置25可將來自于旋涂機21的液體導出，且具有一切換裝置253，可用以切換流道，均應屬于本發(fā)明導出裝置25的發(fā)明范疇之內(nèi)。
請回到圖2，第一回收管線27的一端連接于導出裝置25中切換裝置253的第二流道口25b，另一端則連接于回收槽285。而且，第二回收管線28的一端連接于導出裝置25中切換裝置253的第三流道口25c，另一端則連接于回收筒29。
另外，檢測裝置26設(shè)置在第一管線23中，且可用以判別第一液體23a是否流經(jīng)于第一管線23中。其中，檢測裝置26電性連接至切換裝置253。另外，檢測裝置26可為一流量檢測器，但不以此為限，只要檢測裝置26可用以檢測第一液體23a流動于第一管線23，且可在后續(xù)傳送信號至切換裝置253，均應屬于本發(fā)明檢測裝置26的發(fā)明范疇之內(nèi)。
以及，控制單元32電性連接至檢測裝置26以及切換裝置253，借此，以使得檢測裝置26可電性連接至切換裝置253。其中，當?shù)谝灰后w23a流經(jīng)于第一管線23中時，檢測裝置26會傳送信號至切換裝置253，使得來自于旋涂機21的第一液體23a，可經(jīng)由導出裝置25，流入第一回收管線27中，進而流入回收槽285中。而且，當檢測裝置26并未傳送信號至切換裝置253時，來自于旋涂機21中的第二液體24a經(jīng)由導出裝置25，流入第二回收管線28中，進而流入回收筒29中。其中，在本實施例中，控制單元32可為一可編程邏輯控制器(programmable logic controller，PLC)，此外亦可為微控制芯片或已建立旋涂系統(tǒng)20中的控制模塊(未顯示)，但并未以此為限，只要可將檢測裝置26所檢測的信息傳至切換裝置253，均應屬于本發(fā)明控制單元32的發(fā)明范疇之內(nèi)。
此外，值得一提的是，上述本發(fā)明實施例的第一液體23a為一清潔液，而第二液體24a為一光阻液，其中，當檢測裝置26檢測清潔液流動于第一管線23時，通過切換裝置253，使清潔液在后續(xù)流入回收槽285中，但并不以此為限，本發(fā)明的第一液體23a亦可為一光阻液，而第二液體24a可為一清潔液，因此，當檢測裝置26檢測光阻液流動于第一管線23時，通過切換裝置253，可使光阻液在后續(xù)流入回收筒29中，而當檢測裝置26并未傳送信號至切換裝置253時，通過切換裝置253，可使來自于旋涂機21中的清潔液在后續(xù)流入回收槽285中。此外，本發(fā)明第一液體23a或第二液體24a除了可為上述光阻液、清潔液之外，所有運用于本發(fā)明旋涂系統(tǒng)20的任何液體，均應屬于本發(fā)明第一液體及第二液體的發(fā)明范疇之內(nèi)。
此外，本發(fā)明旋涂系統(tǒng)20還包括一液位檢測裝置33、一底盤34、一泄漏感測裝置35、一填充裝置36、一排氣裝置37以及兩線性滑軌57。液位檢測裝置33設(shè)置在回收筒29，且用以檢測回收筒29中的液位，以避免回收筒29中因第二液體過多而溢出的情形。其中，液位檢測裝置33電性連接至控制單元32，借此，使得液位檢測裝置33可將回收筒29中的液位高度的數(shù)據(jù)，送至控制單元32中。其中，當液位高度過于一液位臨界高度時，控制單元32會輸出一警示信號，以告知現(xiàn)場人員，或者，可停止旋涂系統(tǒng)20的運作，以避免回收筒29中第二液體的泄漏。
另外，底盤34設(shè)置在回收筒29的下方。并且，泄漏感測裝置35設(shè)置在未放置回收筒29的底盤34中，并用以感測第二液體是否泄漏自回收筒29。其中，泄漏感測裝置35電性連接至控制單元32，借此，使得泄漏感測裝置35可將第二液體是否泄漏自回收筒29的數(shù)據(jù)，送至控制單元32中。其中，當?shù)诙后w泄漏自回收筒29時，控制單元32會輸出一警示信號，以告知現(xiàn)場人員，或者，可停止旋涂系統(tǒng)20的運作，以避免回收筒29中第二液體的繼續(xù)泄漏。
并且，填充裝置36連接至回收筒29，且用以填充一惰性氣體(如氮氣)至回收筒29中。而排氣裝置37連接至回收筒29，且用以排出回收筒29中的部份惰性氣體。通過填充裝置36與排氣裝置37，可使得惰性氣體循環(huán)于回收筒29中，以避免回收筒29中的第二液體因與空氣接觸，而造成第二液體的變質(zhì)或?qū)е潞蔬^高的情形。
另外，進一步參閱圖4，兩線性滑軌57設(shè)置在底盤34的下方，且底盤34下具有相對應于兩線性滑軌57的兩滑槽571。通過線性滑軌57以及滑槽571，可使得底盤34可移動于線性滑軌57上，借此，使得回收筒29可輕易進行搬動，以利于回收筒29中第二液體的回收。
相較于傳統(tǒng)技術(shù)，本發(fā)明旋涂系統(tǒng)20明顯的具有下述優(yōu)點1)第一液體23a以及第二液體24a，可分別回收于回收槽285以及回收筒29中，使得回收槽285中的第一液體23a以及回收筒29中的第二液體24a，均具有較高的濃度，借此，便可降低傳統(tǒng)技術(shù)中因混合液的濃度過低，而得大幅增加液體分離程序的成本。2)由于本發(fā)明的切換裝置253、一控制單元32、一檢測裝置26、第二回收管線28以及回收筒29，可直接套用于傳統(tǒng)既有的旋涂系統(tǒng)(如圖1所示的傳統(tǒng)旋涂系統(tǒng)10)，便可具有本發(fā)明檢測液體以及切換流道的功效，因此，可設(shè)置在需要進行各別液體回收的旋涂系統(tǒng)，且由于設(shè)置上并不需要變動既有的旋涂系統(tǒng)，因此，具有設(shè)置上的便利性。3)通過本發(fā)明液位檢測裝置33或泄漏感測裝置35，使得當發(fā)生不預期的泄漏時，控制單元32可發(fā)出警訊或停止機臺動作，進而避免不必要的工安危害。4)通過本發(fā)明填充裝置36與排氣裝置37，可使得惰性氣體循環(huán)于回收筒29中，以避免回收筒29中的第二液體因與空氣接觸，而造成第二液體的變質(zhì)或?qū)е潞蔬^高的情形。
由于當回收筒已滿時，旋涂系統(tǒng)20必需先停止作動，等待另一回收筒的置入，才可繼續(xù)作動。有鑒于此，本發(fā)明提供另一實施例的旋涂系統(tǒng)30，以解決上述的問題。請參閱圖5，圖5為本發(fā)明另一實施例旋涂系統(tǒng)30示意圖。其中，本實施例旋涂系統(tǒng)30的一旋涂機21、一第一管線23、一第一液體23a、一第二管線24、一第二液體24a、一導出裝置25、一第一回收管線27、一回收槽285、一控制單元32、一檢測裝置26其及彼此間設(shè)置關(guān)系、功能等，均與圖2所示實施例類似或相同，在此，便不再予以贅述。
本實施例旋涂系統(tǒng)30除相同于圖2所示的上述組件外，還包括一第二回收管線28、一第二液體切換裝置41、一第三回收管線42、一回收筒29、一第一液位檢測裝置331、一第一底盤46、一第一泄漏感測裝置471、一第四回收管線44以及一回收備用筒45。第二回收管線28的一端連接于切換裝置253，另一端則連接于第二液體切換裝置41。第二液體切換裝置41具有一第四流道口41a、一第五流道口41b以及一第六流道口41c。其中，第四流道口41a連接第二回收管線28，第五流道口41b連接第三回收管線42，而第六流道口41c連接第四回收管線44。其中，上述第二液體切換裝置41可為三相閥，但不以此為限，只要第二液體切換裝置41具有三個流道口(A流道口、B流道口以及C流道口)，且可將來自于A流道口的液體，流入B流道口或C流道口中，均應屬于本發(fā)明第二液體切換裝置41的發(fā)明范疇內(nèi)。
另外，第一液位檢測裝置331設(shè)置在回收筒29，且用以檢測回收筒29中的液位，以避免回收筒29中因液體過多而溢出的情形。其中，第一液位檢測裝置331電性連接至控制單元32，借此，使得第一液位檢測裝置331可將回收筒29中液位高度的數(shù)據(jù)，送至控制單元32中。
另外，第一底盤46設(shè)置在回收筒29的下方。并且，第一泄漏感測裝置471設(shè)置在未放置回收筒29的第一底盤46中，并用以感測第一液體是否泄漏自回收筒29。其中，第一泄漏感測裝置471電性連接至控制單元32，借此，使得第一泄漏感測裝置471可將第一液體是否泄漏自回收筒29的數(shù)據(jù)，送至控制單元32中。
其中，當控制單元32并未接受來自于第一液位檢測裝置331中液位高于液位臨界高度的信號，或是第一泄漏感測裝置471的警告信號時，來自于第二回收管線28中的第二液體，會經(jīng)由第二液體切換裝置41以及第三回收管線42，流入回收筒29中。而當液位高度過于一液位臨界高度時或當?shù)谝灰后w泄漏自回收筒29時，控制單元32會輸出信號至第二液體切換裝置41，使得來自于第二回收管線28中的第二液體，僅可經(jīng)由第二液體切換裝置41以及第四回收管線44，以流入回收備用筒45中。
其中，本實施例旋涂系統(tǒng)30還包括一第二液位檢測裝置332、一第二泄漏感測裝置472、一第二底盤48。其中，第二液位檢測裝置332設(shè)置在回收備用筒45，且用以檢測回收備用筒45中的液位，以避免回收備用筒45中因液體過多而溢出的情形。
并且，第二底盤48設(shè)置在回收備用筒45的下方。第二泄漏感測裝置472設(shè)置在未放置回收備用筒45的第二底盤48中，并用以感測第二液體是否泄漏自回收備用筒45。其中，第二泄漏感測裝置472電性連接至控制單元32，借此，使得第二泄漏感測裝置472可將第二液體是否泄漏自回收備用筒45的數(shù)據(jù)，送至控制單元32中。其中，當液位高度過于一液位臨界高度時，或是當?shù)诙后w泄漏自回收備用筒45時，控制單元32會輸出一警示信號，以告知現(xiàn)場人員，或者，可停止旋涂系統(tǒng)30的運作，以避免回收備用筒45中第二液體的繼續(xù)泄漏。
此外，本實施例旋涂系統(tǒng)30還包括一第一填充裝置51、一第一排氣裝置52、一第二填充裝置53以及一第二排氣裝置54。第一填充裝置51連接至回收筒29，且用以填充一惰性氣體至回收筒29中，而第一排氣裝置52連接至回收筒29，且用以排出回收筒29中的部份惰性氣體。而第二填充裝置53連接至回收備用筒45，且用以填充一惰性氣體至回收備用筒45中，而第二排氣裝置54連接至回收備用筒45，且用以排出回收備用筒45中的部份惰性氣體。其中，第一填充裝置51及第一排氣裝置52(或第二填充裝置53及第二排氣裝置54)與前述圖2所示的填充裝置36及排氣裝置37其功能與目的均相似，在此便不在予以贅述。
本實施例旋涂系統(tǒng)30亦具有線性滑軌(第一線性滑軌462以及第二線性滑軌482)以及相對應線性滑軌的滑槽(第一滑槽461以及第二滑槽481)，其中本實施例中的線性滑軌462、482以及滑槽461、481均于圖2所示實施例中的線性滑軌57及滑槽571具有類似或相同的功能，在此便不再予以贅述。
相較于傳統(tǒng)技術(shù)，本實施例旋涂系統(tǒng)30不僅具有圖2所示實施例的優(yōu)點外，更具有下述優(yōu)點，當回收筒56已滿時，本實施例旋涂系統(tǒng)30不需要停止運轉(zhuǎn)，而是將第二液體回收至回收備用筒45中，如此一來，本實施例旋涂系統(tǒng)30將會具有更高的使用效率。
本發(fā)明提供一種用于旋涂系統(tǒng)20的液體回收的方法，如圖2所示，包括下列步驟首先，設(shè)置一旋涂機21。旋涂機21用以帶動一玻璃基板22，使玻璃基板22可進行轉(zhuǎn)動，以利于后續(xù)玻璃基板22可進行旋涂制作工藝。其中，旋涂機21包括一基座211、一轉(zhuǎn)軸212、一旋轉(zhuǎn)平臺213以及一旋涂室214。其中，基座211設(shè)置在旋涂室214中。轉(zhuǎn)軸212樞接于基座211內(nèi)的一電機(未顯示)，通過電機，以使轉(zhuǎn)軸212可進行轉(zhuǎn)動。而旋轉(zhuǎn)平臺213設(shè)置在轉(zhuǎn)軸212的上方，通過轉(zhuǎn)軸212，以帶動旋轉(zhuǎn)平臺213轉(zhuǎn)動，進而使設(shè)置在其上方的一玻璃基板22，可進行轉(zhuǎn)動。
另外，連接一第一管線23于旋涂機21。第一管線23用以導入一第一液體23a至旋涂機21。并且，亦連接一第二管線24于旋涂機21。第二管線24用以導入一第二液體24a至旋涂機21。其中，上述第一液體23a可為一清潔液，而第二液體24a可為一光阻液。
接著，設(shè)置一導出裝置25于旋涂機21的下方。導出裝置25用以導出流經(jīng)旋涂機21的第一液體23a以及第二液體24a。以本實施例而言，導出裝置25具有一流道251、一出液口252、一導出管線254以及一切換裝置253。流道251通常設(shè)置在旋涂機21的下方，且具有斜度，以利于將液體(23a、24a)集中，并通過出液口252，以將液體(23a、24a)排出于旋涂室214中。導出管線254的一端連接于出液口252，另一端則連接于切換裝置253。切換裝置253具有第一流道口25a、第二流道口25b以及第三流道口25c。其中，第一流道口25a連接導出管線254，第二流道口25b連接第一回收管線27，而第三流道口25c連接第二回收管線28。通過切換裝置253，可將來自于第一流道口25a中的液體，經(jīng)由第二流道口25b，流入第一回收管線27中，或經(jīng)由第三流道口25c，流入第二回收管線28中。其中，上述切換裝置253可為三相閥。
另外，連接一第一回收管線27的一端至導出裝置25中切換裝置253的第二流道口25b，另一端則連接于回收槽285。并且，連接一第二回收管線28的一端至導出裝置25中切換裝置253的第三流道口25c，另一端則連接于回收筒29。
然后，設(shè)置一檢測裝置26在第一管線23中，并電性連接至切換裝置253。檢測裝置26可用以判別第一液體23a是否流經(jīng)于第一管線23中。其中，檢測裝置26可為一流量檢測器。
另外，電性連接一控制單元32于檢測裝置26與切換裝置253之間，借此，以使得檢測裝置26可電性連接至切換裝置253。其中，當?shù)谝灰后w23a流經(jīng)于第一管線23中時，檢測裝置26會傳送信號至切換裝置253，使得來自于旋涂機21的第一液體23a，可經(jīng)由導出裝置25，流入第一回收管線27中，進而流入回收槽285中。而且，當檢測裝置26并未傳送信號至切換裝置253時，來自于旋涂機21中的第二液體24a經(jīng)由導出裝置25，流入第二回收管線28中，進而流入回收筒29中。其中，在本實施例中，控制單元32可為一可程控器、一微控制芯片或于建立旋涂系統(tǒng)20中的控制模塊(未顯示)。
此外，值得一提的是，上述本發(fā)明實施例的第一液體23a為一清潔液，而第二液體24a為一光阻液，其中，當檢測裝置26檢測清潔液流動于第一管線23時，通過切換裝置253，使清潔液在后續(xù)流入回收槽285中，但并不以此為限，本發(fā)明的第一液體23a亦可為一光阻液，而第二液體24a可為一清潔液，因此，當檢測裝置26檢測光阻液流動于第一管線23時，通過切換裝置253，可使光阻液在后續(xù)流入回收筒29中，而當檢測裝置26并未傳送信號至切換裝置253時，通過切換裝置253，可使來自于旋涂機21中的清潔液在后續(xù)流入回收槽285中。
接著，設(shè)置一液位檢測裝置33于回收筒29。液位檢測裝置33用以檢測回收筒29中的液位，以避免回收筒29中因第二液體過多而溢出的情形。其中，液位檢測裝置33電性連接至控制單元32，借此，使得液位檢測裝置33可將回收筒29中的液位高度的數(shù)據(jù)，送至控制單元32中。其中，當液位高度過于一液位臨界高度時，控制單元32會輸出一警示信號，以告知現(xiàn)場人員，或者，可停止旋涂系統(tǒng)20的運作，以避免回收筒29中第二液體的泄漏。
并且，設(shè)置一底盤34于回收筒29的下方。另外，設(shè)置一泄漏感測裝置35于未放置回收筒29的底盤34中，泄漏感測裝置35用以感測第二液體是否泄漏自回收筒29。其中，泄漏感測裝置35電性連接至控制單元32，借此，使得泄漏感測裝置35可將第二液體是否泄漏自回收筒29的數(shù)據(jù)，送至控制單元32中。其中，當?shù)诙后w泄漏自回收筒29時，控制單元32會輸出一警示信號，以告知現(xiàn)場人員，或者，可停止旋涂系統(tǒng)20的運作，以避免回收筒29中第二液體的繼續(xù)泄漏。
另外，連接一填充裝置36至回收筒29，填充裝置36用以填充一惰性氣體(如氮氣)至回收筒29中。并且，連接一排氣裝置37至回收筒29，排氣裝置37用以排出回收筒29中的部份惰性氣體。通過填充裝置36與排氣裝置37，可使得惰性氣體循環(huán)于回收筒29中，以避免回收筒29中的第二液體因與空氣接觸，而造成第二液體的變質(zhì)或?qū)е潞蔬^高的情形。
以及，設(shè)置兩線性滑軌57于底盤34的下方，且更設(shè)置相對應于兩線性滑軌57的兩滑槽571于底盤34下。通過線性滑軌57以及滑槽571，可使得底盤34可移動于線性滑軌57上，借此，使得回收筒29可輕易進行搬動，以利于回收筒29中第二液體的回收。
有鑒于此，本發(fā)明用于旋涂系統(tǒng)的液體回收的方法，具有下述優(yōu)點1)由于可將第一液體23a以及第二液體24a分別回收于回收槽285以及回收筒29中，使得回收槽285中的第一液體23a以及回收筒29中的第二液體24a，均具有較高的濃度，借此，便可降低傳統(tǒng)技術(shù)中因混合液的濃度過低，而得大幅增加液體分離程序的成本。2)當回收筒中的液位過高，或回收筒中第二液體泄露時，通過控制單元32，可發(fā)出警訊或停止機臺動作，進而避免不必要的工安危害。3)通過將惰性氣體循環(huán)于回收筒29中，以避免回收筒29中的第二液體因與空氣接觸，而造成第二液體的變質(zhì)或?qū)е潞蔬^高的情形。
而且，當回收筒已滿時，上述方法實施例中的旋涂系統(tǒng)20必需先停止作動，等待另一回收筒的置入，才可繼續(xù)作動。有鑒于此，本發(fā)明提供另一方法實施例，以解決上述的問題。其中，如圖5所示，本方法實施例旋涂系統(tǒng)30的一旋涂機21、一第一管線23、一第一液體23a、一第二管線24、一第二液體24a、一導出裝置25、一第一回收管線27、一回收槽285、一控制單元32、一檢測裝置26其及彼此間設(shè)置關(guān)系、功能等，均與圖2所示實施例類似或相同，在此，便不再予以贅述。
本實施例方法還包括下列步驟首先，連接一第二液體切換裝置41至第二回收管線28的一端。第二液體切換裝置41具有一第四流道口41a、一第五流道口41b以及一第六流道口41c。其中，第四流道口41a連接第二回收管線28。
首先，設(shè)置一第三回收管線42。其中，第三回收管線42的一端連接至第二液體切換裝置41的第五流道口41b，另一端則連接至一回收筒29。
接著，設(shè)置一第四回收管線44。其中，第四回收管線44的一端連接至第二液體切換裝置41的第六流道口41c，另一端則連接至一回收備用筒45。
然后，設(shè)置一第一液位檢測裝置331于回收筒29。第一液位檢測裝置331用以檢測回收筒29中的液位，以避免回收筒29中因液體過多而溢出的情形。其中，第一液位檢測裝置331電性連接至控制單元32，借此，使得第一液位檢測裝置331可將回收筒29中液位高度的數(shù)據(jù)，送至控制單元32中。
以及，設(shè)置一第一底盤46于回收筒29的下方。另外，設(shè)置一第一泄漏感測裝置471于未放置回收筒29的第一底盤46中。第一泄漏感測裝置471用以感測第一液體是否泄漏自回收筒29。其中，第一泄漏感測裝置471電性連接至控制單元32，借此，使得第一泄漏感測裝置471可將第一液體是否泄漏自回收筒29的數(shù)據(jù)，送至控制單元32中。
其中，當控制單元32并未接受來自于第一液位檢測裝置331中液位高于液位臨界高度的信號，或是第一泄漏感測裝置471的警告信號時，來自于第二回收管線28中的第二液體，會經(jīng)由第二液體切換裝置41以及第三回收管線42，流入回收筒29中。而當液位高度過于一液位臨界高度時或當?shù)谝灰后w泄漏自回收筒29時，控制單元32會輸出信號至第二液體切換裝置41，使得來自于第二回收管線28中的第二液體，僅可經(jīng)由第二液體切換裝置41以及第四回收管線44，以流入回收備用筒45中。
此外，本實施例方法還包括，設(shè)置第二液位檢測裝置332于回收備用筒45。第二液位檢測裝置332用以檢測回收備用筒45中的液位，以避免回收備用筒45中因液體過多而溢出的情形。
并且，設(shè)置一第二底盤48于回收備用筒45的下方。以及，設(shè)置一第二泄漏感測裝置472于未放置回收備用筒45的第二底盤48中。第二泄漏感測裝置472用以感測第二液體是否泄漏自回收備用筒45。其中，第二泄漏感測裝置472電性連接至控制單元32，借此，使得第二泄漏感測裝置472可將第二液體是否泄漏自回收備用筒45的數(shù)據(jù)，送至控制單元32中。其中，當液位高度過于一液位臨界高度時，或是當?shù)诙后w泄漏自回收備用筒45時，控制單元32會輸出一警示信號，以告知現(xiàn)場人員，或者，可停止旋涂系統(tǒng)30的運作，以避免回收備用筒45中第二液體的繼續(xù)泄漏。
接著，連接第一填充裝置51至回收筒29，且用以填充一惰性氣體至回收筒29中。并且，連接第一排氣裝置52至回收筒29，且用以排出回收筒29中的部份惰性氣體。
另外，連接第二填充裝置53至回收備用筒45，且用以填充一惰性氣體至回收備用筒45中，且第二排氣裝置54連接至回收備用筒45，且用以排出回收備用筒45中的部份惰性氣體。其中，第一填充裝置51及第一排氣裝置52(或第二填充裝置53及第二排氣裝置54)與前述圖2所示的填充裝置36及排氣裝置37其功能與目的均相似，在此便不在予以贅述。
然后，設(shè)置兩第一線性滑軌462于第一底盤46的下方，且更設(shè)置相對應于兩第一線性滑軌462的兩第一滑槽461在第一底盤46下。通過第一線性滑軌462以及第一滑槽461，可使得第一底盤46可移動于第一線性滑軌462上，借此，使得回收筒29可輕易進行搬動，以利于回收筒29中第二液體的回收。
并且，設(shè)置兩第二線性滑軌482在第二底盤48的下方，且更設(shè)置相對應于兩第二線性滑軌482的兩第二滑槽481在第二底盤48下。通過第二線性滑軌482以及第二滑槽481，可使得第二底盤48可移動于第二線性滑軌482上，借此，使得回收備用筒45可輕易進行搬動，以利于回收備用筒45中第二液體的回收。
有鑒于此，本實施例用于旋涂系統(tǒng)的液體回收的方法，不僅可將第一液體23a以及第二液體24a分別回收于回收槽285以及回收筒29中，以利于后續(xù)的回收再使用之外，更具有當回收筒56已滿時，本實施例的方法并不需要停止運轉(zhuǎn)，而是將第二液體回收至回收備用筒45中，如此說來，本實施例的方法將會具有更高的使用效率。
本發(fā)明雖以優(yōu)選實例闡明如上，然其并非用以限定本發(fā)明精神與發(fā)明實體僅止于上述實施例。對業(yè)內(nèi)人士，當可輕易了解并利用其它組件或方式來產(chǎn)生相同的功效。所以，在不脫離本發(fā)明的精神與范圍內(nèi)所作的修改，均應包括在下述的權(quán)利要求書內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種旋涂系統(tǒng)，包括一旋涂機；一第一管線，用以導入一第一液體至該旋涂機；一導出裝置，用以導出流經(jīng)該旋涂機的該第一液體，其中該導出裝置具有一切換裝置；一第一回收管線，連接至該導出裝置；以及一檢測裝置，設(shè)置在該第一管線中，并電性連接至該切換裝置，其中，當該第一液體流經(jīng)于第一管線中時，該檢測裝置傳送信號至該切換裝置，使得來自于該旋涂機中的該第一液體，可經(jīng)由該導出裝置，流入該第一回收管線中。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的旋涂系統(tǒng)，其特征在于，該切換裝置為三相閥。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的旋涂系統(tǒng)，其特征在于，該檢測裝置為一流量檢測裝置。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的旋涂系統(tǒng)，其特征在于，進一步包括一第二管線，用以導入一第二液體至該旋涂機；以及一第二回收管線，連接至該導出裝置，其中，當該檢測裝置并未傳送該信號至該切換裝置時，來自于該旋涂機中的該第二液體經(jīng)由該導出裝置，流入該第二回收管線中。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的旋涂系統(tǒng)，其特征在于，進一步包括一回收筒，連接該第二回收管線，且用以回收該第二液體。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的旋涂系統(tǒng)，其特征在于，進一步包括一液位檢測裝置，設(shè)置在該回收筒，且用以檢測回收筒中的該第二液體的液位。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的旋涂系統(tǒng)，其特征在于，進一步包括一底盤，設(shè)置在該回收筒的下方；以及一泄漏感測裝置，設(shè)置在該底盤中，且用以感測該第二液體是否泄漏自該回收筒。
8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的旋涂系統(tǒng)，其特征在于，進一步包括一填充裝置，連接至該回收筒，且用以填充一惰性氣體至該回收筒中；以及一排氣裝置，連接至該回收筒，且用以排出該回收筒中的部份該惰性氣體。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的旋涂系統(tǒng)，其特征在于，進一步包括一第二液體切換裝置，連接該第二回收管線；一第三回收管線，一端連接至該第二液體切換裝置，另一端連接至一回收筒；一第四回收管線，一端連接至該第二液體切換裝置，另一端連接至一回收備用筒；以及一液位檢測裝置，設(shè)置在該回收筒，且用以檢測回收筒中的該第二液體的液位，其中該液位檢測裝置電性連接至該第二液體切換裝置；其中，當該回收筒中的該第二液體的液位高于一預定高度時，該液位檢測裝置傳送信號至該第二液體切換裝置，使得來自于該第二回收管線的該第二液體，經(jīng)由該第二管線，流入該回收備用筒中。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的旋涂系統(tǒng)，其特征在于，該第二液體切換裝置為三相閥。
11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的旋涂系統(tǒng)，其特征在于，進一步包括一第一底盤，設(shè)置在該回收筒的下方；一第一泄漏感測裝置，設(shè)置在該第一底盤中，且用以感測該第二液體是否泄漏自該回收筒；一第二底盤，設(shè)置在該回收備用筒的下方；以及一第二泄漏感測裝置，設(shè)置在該第二底盤中，且用以感測該第二液體是否泄漏自該回收備用筒。
12.根據(jù)權(quán)利要求9所述的旋涂系統(tǒng)，其特征在于，進一步包括一第一填充裝置，連接至該回收筒，且用以填充一惰性氣體至該回收筒中；一第一排氣裝置，連接至該回收筒，且用以排出該回收筒中的部份該惰性氣體；一第二填充裝置，連接至該回收備用筒，且用以填充一惰性氣體至該回收備用筒中；以及一第二排氣裝置，連接至該回收備用筒，且用以排出該回收備用筒中的部份該惰性氣體。
全文摘要
一種旋涂系統(tǒng)，包括一旋涂機、一第一管線、一導出裝置、一第一回收管線以及一檢測裝置。第一管線用以導入一第一液體至旋涂機。導出裝置用以導出流經(jīng)旋涂機的第一液體，其中導出裝置具有一切換裝置。第一回收管線連接至導出裝置。檢測裝置設(shè)置在第一管線中，并電性連接至切換裝置。其中，當?shù)谝灰后w流經(jīng)于第一管線中時，檢測裝置傳送信號至切換裝置，使得來自于旋涂機中的第一液體，可經(jīng)由導出裝置，流入第一回收管線中。
文檔編號B05C11/10GK1887446SQ200610105630
公開日2007年1月3日 申請日期2006年7月17日 優(yōu)先權(quán)日2006年7月17日
發(fā)明者陳志慧, 顏瑞伯 申請人:友達光電股份有限公司