專(zhuān)利名稱(chēng)：糊狀物分配器以及用于以均勻的圖案分配定量糊狀物的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種能夠在基板上以均勻的(uniform)圖案分配定量糊狀物(paste)的糊狀物分配器，以及一種用于在基板上以均勻的圖案中分配定量糊狀物的方法。
背景技術(shù)：
與相同屏幕尺寸的大體積陰極射線管(CRT)相比，液晶顯示器(LCD)能耗低、尺寸相對(duì)較小、且圖像品質(zhì)優(yōu)良。LCD作為用于計(jì)算機(jī)、交通工具、通訊設(shè)備、儀表設(shè)備的平板顯示器已在市場(chǎng)上牢牢站穩(wěn)了腳跟，并且對(duì)于電視機(jī)來(lái)說(shuō)越來(lái)越重要。
薄膜晶體管(TFT)LCD由TFT陣列基板和濾色鏡陣列基板組成。這兩個(gè)基板隔開(kāi)4-5μm，并且將液晶層夾入中間。在顯示器觀看區(qū)域的外圍處，膠狀密封劑(glue seal)將兩個(gè)基板粘結(jié)在一起，并且還防止?jié)駳夂臀廴疚镞M(jìn)入LC流體。
糊狀物分配器在一個(gè)基板上以給定圖案分配用于粘結(jié)這兩個(gè)基板的密封劑。
糊狀物分配器包括工作臺(tái)，其上安裝有基板；分配頭部，其上設(shè)置有噴嘴，糊狀物通過(guò)該噴嘴分配；頭部支撐框架，其上設(shè)置有分配頭部；以及控制單元，控制移動(dòng)頭部支撐框架的電機(jī)以及移動(dòng)分配頭部的電機(jī)。
容納有糊狀物的注射器連接于噴嘴。然后，連接于噴嘴的注射器被設(shè)置于分配頭部。
當(dāng)改變基板與噴嘴之間的相對(duì)距離時(shí)，糊狀物分配器在基板上形成糊狀物圖案。
即，當(dāng)分配糊狀物時(shí)，基板沿一個(gè)方向移動(dòng)，并且頭部支撐框架上的分配頭部沿與基板移動(dòng)方向相垂直的方向移動(dòng)。
在這點(diǎn)上，需要向連接于噴嘴(糊狀物通過(guò)該噴嘴分配)的注射器施加氣壓。
一個(gè)液晶母板(其為上基板和下基板的組件)被分成不連續(xù)的液晶板。糊狀物圖案形成在上基板和下基板中的任何一個(gè)上，以密封上基板和下基板。因此，糊狀物圖案的規(guī)格根據(jù)液晶板的規(guī)格而變化。糊狀物圖案形成于基板上，與從一個(gè)液晶母板分出的不連續(xù)液晶板一樣多。形成糊狀物圖案的參數(shù)存儲(chǔ)在設(shè)置于糊狀物分配器的控制單元中。
在基板上均勻地形成糊狀物圖案，糊狀物圖案的寬度和橫截面積是關(guān)鍵參數(shù)。為做到這點(diǎn)，諸如分配頭部相對(duì)于基板的相對(duì)速度、分配頭部與基板之間的相對(duì)距離、以及氣壓大小等這些參數(shù)必須被控制為彼此相配合。
噴嘴與基板之間的相對(duì)距離通過(guò)傳感器實(shí)時(shí)測(cè)量，并且通過(guò)Z軸電動(dòng)機(jī)控制。糊狀物圖案由照相機(jī)拍照并且進(jìn)行圖像處理以計(jì)算糊狀物圖案的寬度。糊狀物圖案的橫截面積通過(guò)使用稱(chēng)重傳感器(load cell)測(cè)量注射器重量的變化來(lái)計(jì)算。當(dāng)通過(guò)噴嘴分配糊狀物時(shí)，注射器的重量變化。糊狀物圖案的橫截面積可以通過(guò)將激光束施加于糊狀物圖案來(lái)計(jì)算。
傳統(tǒng)糊狀物分配器所采用的傳統(tǒng)氣壓控制器將氣壓施加于注射器，使得不管注射器內(nèi)還剩余多少糊狀物，都會(huì)在基板上分配定量的糊狀物。
傳統(tǒng)氣壓控制器支撐一個(gè)分配頭部，并且具有多個(gè)通道，這些通道具有各自的分配基準(zhǔn)氣壓。操作者對(duì)氣壓控制器編程，以便以采樣模式(sampling mode)向每個(gè)通道分配基準(zhǔn)氣壓，從而施加與注射器內(nèi)糊狀物的剩余量成比例的氣壓。這是所謂的采樣工藝(sampling process)。當(dāng)分配條件改變時(shí)，或當(dāng)氣壓被重置(reset)以施加于新注射器時(shí)，進(jìn)行采樣工藝。
圖3是示出由氣壓控制器所進(jìn)行的采樣工藝的流程圖。氣壓控制器具有分別連接于兩個(gè)注射器的兩個(gè)出口。一個(gè)出口通過(guò)管連接于充滿(mǎn)糊狀物的注射器，另一個(gè)出口通過(guò)管連接于空注射器(S301)。氣壓控制器將氣體施加于兩個(gè)注射器中的每一個(gè)至預(yù)定水平(level)，并且然后將氣體從兩個(gè)注射器中的每一個(gè)放出。做這些是為了測(cè)量氣壓控制器將氣體施加于兩個(gè)注射器中的每一個(gè)至預(yù)定水平并將氣體從兩個(gè)注射器中的每一個(gè)放出花費(fèi)了多少時(shí)間(S303)?；跉鈮嚎刂破鲗怏w施加于兩個(gè)注射器中的每一個(gè)至預(yù)定水平并將氣體從兩個(gè)注射器中的每一個(gè)放出所花費(fèi)的時(shí)間，來(lái)為兩個(gè)注射器中的每一個(gè)確定糊狀物剩余量的基準(zhǔn)值。糊狀物剩余量的基準(zhǔn)值被存儲(chǔ)于氣壓控制器中，用于將來(lái)控制待施加于注射器的氣壓。
操作者設(shè)定待施加于注射器的氣壓的范圍(S305)。根據(jù)注射器中剩余糊狀物的量，向每個(gè)通道分配氣壓。因此，每個(gè)通道顯示注射器中糊狀物的剩余量。傳統(tǒng)氣壓控制器的問(wèn)題在于，氣壓控制器探測(cè)的數(shù)值范圍(scale)的單位較大。結(jié)果，氣壓控制器不能根據(jù)注射器中糊狀物的剩余量準(zhǔn)確地控制氣壓。操作者為每個(gè)通道設(shè)定適于注射器中糊狀物剩余量的氣壓值(S307)。適于注射器中糊狀物剩余量的氣壓值可以從操作者的經(jīng)驗(yàn)(即，經(jīng)驗(yàn)數(shù)據(jù))而獲得。氣壓值被存儲(chǔ)于氣壓控制器中(S309)。
開(kāi)始進(jìn)行糊狀物分配(S311)。氣壓控制器將分配給第一通道的氣壓值施加到注射器，以使得糊狀物以給定的圖案分配于基板上(S313)。
在糊狀物分配停止的點(diǎn)(例如，這樣的路徑上的點(diǎn)，該路徑通往用于在完成一個(gè)糊狀物圖案之后形成下一糊狀物圖案的下一起始點(diǎn))處測(cè)量氣體從注射器中放出至預(yù)定水平所花費(fèi)的時(shí)間。通過(guò)將測(cè)得的時(shí)間與將氣體施加于充滿(mǎn)糊狀物的注射器至預(yù)定水平并將氣體從充滿(mǎn)糊狀物的注射器放出所花費(fèi)的時(shí)間以及與將氣體施加于空注射器至預(yù)定水平并將氣體從空注射器放出所花費(fèi)的時(shí)間進(jìn)行比較，測(cè)量在該點(diǎn)處的注射器中剩余糊狀物的當(dāng)前量(S315)。然后，選擇與所測(cè)得的注射器中剩余糊狀物的量相對(duì)應(yīng)的通道，并選擇被分配到所選定的通道的氣壓值(S317)。假定通道的數(shù)量為五個(gè)?？梢詮?(空)到5(滿(mǎn))的范圍來(lái)限定五份(division)。每當(dāng)糊狀物的剩余量減少1/5時(shí)，可以將當(dāng)前的通道設(shè)置成變?yōu)橄乱煌ǖ?。?dāng)通道改變時(shí)，氣壓控制器將分配到下一通道的氣壓施加于注射器。
在形成完一個(gè)糊狀物圖案后，糊狀物分配器繼續(xù)形成下一糊狀物圖案(S319)。
但是，在傳統(tǒng)的糊狀物分配器中，用于測(cè)量將氣體施加于充滿(mǎn)糊狀物的注射器和空注射器中的每一個(gè)至預(yù)定水平并然后將氣體從兩個(gè)注射器中的每一個(gè)放出所花費(fèi)的時(shí)間的這樣的過(guò)程耗時(shí)長(zhǎng)且較麻煩。而且，該過(guò)程還需要頻繁地將氣體從注射器放出，以在分配期間測(cè)量注射器中剩余糊狀物的量。由于將每一個(gè)注射器連接到氣壓控制器時(shí)可能出現(xiàn)錯(cuò)誤，所以可能發(fā)生空氣泄漏。數(shù)值范圍的單位太大，以至于不能根據(jù)注射器中剩余糊狀物的量而精確地控制氣壓。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明的一個(gè)目的在于當(dāng)改變糊狀物圖案的規(guī)格時(shí)，縮短用于設(shè)置糊狀物分配參數(shù)的時(shí)間。
本發(fā)明的另一目的在于向注射器施加適當(dāng)?shù)臍鈮?，以通過(guò)設(shè)置于注射器的噴嘴分配定量的糊狀物。
根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，提供了一種用于在基板上以統(tǒng)一的圖案分配定量糊狀物的方法，該方法包括設(shè)置被依次選擇的參數(shù)組，每個(gè)組包括圖案參考數(shù)量(number)以及施加于圖案參考數(shù)量的糊狀物分配參數(shù)；根據(jù)所應(yīng)用的糊狀物分配參數(shù)來(lái)分配定量的糊狀物；以及當(dāng)達(dá)到屬于當(dāng)前參數(shù)組的圖案參考數(shù)量時(shí)，應(yīng)用屬于下一參數(shù)組的糊狀分配參數(shù)，并且根據(jù)屬于下一參數(shù)組的糊狀物分配參數(shù)來(lái)分配定量的糊狀物。
根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供了一種能夠在基板上以均勻的圖案分配定量糊狀物的糊狀物分配器，該糊狀物分配器包括分配頭部，通過(guò)設(shè)置于注射器的噴嘴來(lái)分配注射器中的糊狀物；驅(qū)動(dòng)單元，驅(qū)動(dòng)分配頭部和其上安裝有基板的工作臺(tái)中的任何一個(gè)；以及控制單元，根據(jù)給定的糊狀物圖案向分配頭部和驅(qū)動(dòng)單元中的每一個(gè)施加控制信號(hào)，該控制單元包括氣壓控制單元，向注射器施加適合于分配定量糊狀物的氣壓，該氣壓屬于參數(shù)組；以及主控制單元，根據(jù)屬于被依次選擇的參數(shù)組的糊狀物分配參數(shù)分別向控制單元和氣壓控制單元傳輸控制信號(hào)和氣壓設(shè)定信號(hào)。
本發(fā)明的上述和其它目的、特征、方面和優(yōu)點(diǎn)將通過(guò)下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的詳細(xì)描述而變得更加顯而易見(jiàn)。


附圖被包括進(jìn)來(lái)以提供對(duì)本發(fā)明的進(jìn)一步理解，且包含在說(shuō)明書(shū)中并構(gòu)成本說(shuō)明書(shū)的一部分，其示出本發(fā)明的實(shí)施例，并與描述一起用來(lái)解釋本發(fā)明的原理。
圖1是示意性地示出根據(jù)本發(fā)明的能夠在基板上以均勻的圖案分配定量糊狀物的糊狀物分配器的實(shí)施例的視圖；圖2是示意性地示出根據(jù)本發(fā)明的用于在基板上以均勻的圖案分配定量糊狀物的方法的實(shí)施例的流程圖；圖3是示出由傳統(tǒng)氣壓控制器所執(zhí)行的采樣工藝的流程圖；以及圖4是氣壓控制單元的監(jiān)視器上顯示出的示例表。
具體實(shí)施例方式
下面將對(duì)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)描述，本發(fā)明的實(shí)例示于附圖中。
圖1是示意性地示出根據(jù)本發(fā)明的糊狀物分配器的實(shí)施例的視圖。如圖1所示，根據(jù)本發(fā)明的糊狀物分配器包括分配頭部20，通過(guò)設(shè)置于注射器的噴嘴21分配糊狀物；驅(qū)動(dòng)單元31、32、70和91，驅(qū)動(dòng)分配頭部；以及主控制單元40和氣壓控制單元43，分別根據(jù)給定的糊狀物圖案向驅(qū)動(dòng)單元31、32、70和91以及分配頭部20施加控制信號(hào)。
基板10安裝于工作臺(tái)50上。工作臺(tái)50可以包括可沿X軸或Y軸方向移動(dòng)的X-Y工作臺(tái)，該X-Y工作臺(tái)將基板保持于適當(dāng)位置。一對(duì)Y軸方向運(yùn)送單元31和32設(shè)置于工作臺(tái)50的兩側(cè)?？裳豗-Y’方向移動(dòng)的X軸方向運(yùn)送單元70設(shè)置于Y軸方向運(yùn)送單元31和32。X軸方向運(yùn)送單元70由設(shè)置于Y軸方向運(yùn)送單元31和32的線性運(yùn)動(dòng)(LM)導(dǎo)向件引導(dǎo)。X軸方向運(yùn)送單元70通過(guò)將旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換成直線運(yùn)動(dòng)的滾珠絲杠而移動(dòng)。
可沿X-X’方向移動(dòng)的Z軸方向運(yùn)送單元91設(shè)置于X軸方向運(yùn)送單元70。Z軸方向運(yùn)送單元91通過(guò)設(shè)置于X軸方向運(yùn)送單元70的線性電動(dòng)機(jī)而移動(dòng)。注射器25連接于移動(dòng)塊93，該移動(dòng)塊通過(guò)Z軸方向運(yùn)送單元91而沿Z-Z’方向移動(dòng)。
分配頭部20通過(guò)將旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換成直線運(yùn)動(dòng)的滾珠絲杠而上下移動(dòng)。分配頭部20由線性運(yùn)動(dòng)(未示出)導(dǎo)向件引導(dǎo)。具有噴嘴(通過(guò)該噴嘴分配糊狀物)的注射器25設(shè)置于分配頭部20。氣壓被施加于注射器25內(nèi)的糊狀物。照相機(jī)23設(shè)置于分配頭部20。
分配頭部20可以沿X軸方向移動(dòng)，而工作臺(tái)50可以沿Y軸方向移動(dòng)。工作臺(tái)50可以移動(dòng)，而分配頭部20靜止。
氣壓控制單元43向注射器25施加被設(shè)定用以分配定量糊狀物的氣壓。根據(jù)依次選擇的參數(shù)組，主控制單元40分別向驅(qū)動(dòng)單元31、32、70和91發(fā)送驅(qū)動(dòng)控制信號(hào)，并向氣壓控制單元43發(fā)送氣壓設(shè)定信號(hào)。
氣壓控制單元43具有多個(gè)通道。分配定量糊狀物所必須的氣壓被分配至每個(gè)通道。氣壓控制單元43選擇具有適合于注射器25中當(dāng)前剩余糊狀物量的氣壓的通道，以將氣壓施加于注射器25。
主控制單元40控制沿X軸方向移動(dòng)分配頭部20的線性電動(dòng)機(jī)、沿Y軸方向移動(dòng)工作臺(tái)50的電動(dòng)機(jī)、以及沿Z軸方向移動(dòng)的移動(dòng)塊93。連接于虛鏈線(dotting chain line)(這些虛鏈線連接在圖1中的主控制單元40與每個(gè)電動(dòng)機(jī)之間)的標(biāo)記有“D”的方框示出了電路板，主控制單元40通過(guò)該電路板將信號(hào)傳輸給每個(gè)電動(dòng)機(jī)。
主控制單元40包括計(jì)算機(jī)，具有存儲(chǔ)有控制程序和糊狀物分配參數(shù)的存儲(chǔ)器；以及監(jiān)視器，其上以表的形式顯示糊狀物分配參數(shù)組。計(jì)算機(jī)連接于氣壓控制單元。
當(dāng)達(dá)到屬于當(dāng)前施加的參數(shù)組的圖案參考數(shù)量時(shí)，主控制單元40施加屬于下一參數(shù)組的糊狀物分配參數(shù)。圖案參考數(shù)量表示待形成于基板上的圖案的累加量。
圖2是示出根據(jù)本發(fā)明的用于在基板上以均勻的圖案分配定量糊狀物的方法的實(shí)施例的流程圖。該方法包括設(shè)置被依次施加的參數(shù)組，每個(gè)組包括糊狀物分配參數(shù)以及施加有糊狀物分配參數(shù)的圖案參考數(shù)量；根據(jù)屬于當(dāng)前施加的參數(shù)組的糊狀物分配參數(shù)而分配定量的糊狀物；以及當(dāng)達(dá)到屬于當(dāng)前施加的參數(shù)組的圖案參考數(shù)量時(shí)，根據(jù)屬于下一組的糊狀物分配參數(shù)而分配定量的糊狀物。
更特別地，一個(gè)充滿(mǎn)糊狀物的注射器25連接于氣壓控制單元43(S201)。設(shè)置依次被施加的參數(shù)組。每個(gè)組均包括圖案的參考數(shù)量。
圖4示出了氣壓控制單元43的監(jiān)視器上顯示的示例表。每個(gè)參數(shù)組均包括圖案的參考數(shù)量以及施加于圖案參考數(shù)量的糊狀物分配參數(shù)。每個(gè)參數(shù)組示于表的列中。參數(shù)組從左手列(即，從第0號(hào)組開(kāi)始)依次施加。圖案的參考數(shù)量表示待形成于基板上的圖案的累加量。
第一行中的“圖案的參考數(shù)量”是表示待形成于基板上的圖案的目標(biāo)數(shù)量的參數(shù)。圖案的參考數(shù)量與注射器中當(dāng)前剩余糊狀物的量成反比。
被稱(chēng)為糊狀物分配參數(shù)的剩余參數(shù)涉及用于分配定量糊狀物的條件。第二行中的“速度”表示分配速度。第三行中的“R”表示曲率半徑，分配頭部在改變分配頭部移動(dòng)方向的點(diǎn)處以該曲率半徑沿圓弧移動(dòng)。第四行中的“H_1壓力”表示施加于第一分配頭部的氣壓。第五行中的“H_2壓力”表示施加于第二分配頭部的氣壓。第六行中的“H_1距離偏移量”表示一距離，該距離增加到分配頭部與基板之間的距離中或從該距離中減去以在分配頭部與基板之間設(shè)置適當(dāng)?shù)木嚯x。“延時(shí)”表示在重新開(kāi)始分配定量糊狀物之前，分配頭必須在改變分配方向以形成給定圖案(例如，四邊形圖案)的4個(gè)點(diǎn)處等待多長(zhǎng)時(shí)間。表中存在1至4四個(gè)延時(shí)參數(shù)，以形成給定圖案(例如，四邊形圖案)?！癋.O.S”表示分配頭部停止期間的時(shí)間長(zhǎng)度，即，分配頭部沿圓弧移動(dòng)以改變移動(dòng)方向的期間的時(shí)間長(zhǎng)度。表中還存在1至4四個(gè)F.O.S，以形成給定圖案(例如，四邊形圖案)。
之后，確定是否依次選擇參數(shù)組(S205)。當(dāng)未選擇依次施加的參數(shù)組時(shí)，施加默認(rèn)的參數(shù)組(S221)。根據(jù)施加的參數(shù)組開(kāi)始糊狀物分配(S223)。
當(dāng)選擇了依次施加的參數(shù)組時(shí)，首先施加屬于第一參數(shù)組(例如，圖4的表中所示的第0號(hào)組)的糊狀物分配參數(shù)，直至在基板上形成“1000”個(gè)糊狀物圖案。繼續(xù)分配定量糊狀物，直至施加屬于最后一個(gè)參數(shù)組(例如，圖4的表中所示的第14號(hào)組)的糊狀物分配參數(shù)。從左手列開(kāi)始施加屬于每個(gè)組的糊狀物分配參數(shù)。分配頭部根據(jù)所施加的糊狀物分配參數(shù)分配定量的糊狀物以在基板上形成給定的糊狀物圖案(S209)。
檢查是否完成了在一個(gè)基板上形成所有的糊狀物圖案，或者是否用光了注射器中所包含的糊狀物(S211)。當(dāng)完成了在一個(gè)基板上形成所有的糊狀物圖案，或者用光了注射器中所包含的糊狀物時(shí)，則結(jié)束糊狀物分配并繼續(xù)進(jìn)行諸如在工作臺(tái)上安裝另一基板，以及替換現(xiàn)有注射器的下一工序。當(dāng)未完成在一個(gè)基板上形成所有的糊狀物圖案，或者未用光注射器中所包含的糊狀物，但已達(dá)到圖案的參考數(shù)量(即，在基板上形成了1000個(gè)糊狀物圖案)時(shí)，則施加屬于第二組(即，第1號(hào)組)的糊狀物分配參數(shù)(S207)。繼續(xù)施加屬于第1號(hào)組的糊狀物分配參數(shù)，直至達(dá)到屬于第1號(hào)組的圖案參考數(shù)量“2,000”(S209)。再次檢查是否完成了在一個(gè)基板上形成所有的糊狀物圖案，或者是否用光了注射器中所包含的糊狀物(S211)。當(dāng)完成了在一個(gè)基板上形成所有的糊狀物圖案，或者用光了注射器中所包含的糊狀物時(shí)，則糊狀物分配結(jié)束并繼續(xù)進(jìn)行諸如在工作臺(tái)上安裝另一基板以及替換現(xiàn)有注射器的下一過(guò)程。當(dāng)未完成在一個(gè)基板上形成所有的糊狀物圖案，或者未用光注射器中所包含的糊狀物，但已達(dá)到圖案的參考數(shù)量(即，在基板上累積形成了2000個(gè)糊狀物圖案)時(shí)，則施加屬于第三組(即第2號(hào)組)的糊狀物分配參數(shù)(S213)。如此重復(fù)糊狀物分配工藝。
如在流程圖中一樣，周期性地執(zhí)行檢查是否完成了在一個(gè)基板上形成所有的糊狀物圖案，或者是否用光了注射器中所包含的糊狀物的步驟。但是，根據(jù)給定的糊狀物圖案控制糊狀物分配的主控制單元40可以獨(dú)立地確定是否完成了在一個(gè)基板上形成所有的糊狀物圖案，或者是否用光了注射器中所包含的糊狀物。計(jì)數(shù)器對(duì)形成于基板上的圖案數(shù)進(jìn)行計(jì)數(shù)。通過(guò)檢查計(jì)數(shù)器所計(jì)數(shù)的圖案數(shù)，來(lái)確定是否達(dá)到了屬于每個(gè)參數(shù)組的圖案參考數(shù)量。
根據(jù)本發(fā)明，通過(guò)根據(jù)注射器中剩余糊狀物的多少而向注射器施加不同的氣壓，可以在基板上以給定的圖案分配定量糊狀物。而且，通過(guò)對(duì)形成于基板上的圖案數(shù)量進(jìn)行計(jì)數(shù)，可以檢查注射器中剩余糊狀物的多少。
由于在不背離本發(fā)明的精神或?qū)嵸|(zhì)性特征的前提下，本發(fā)明可以以多種形式來(lái)實(shí)施，還應(yīng)該理解，除非另有說(shuō)明，否則上述實(shí)施例不限于上面描述中的任何細(xì)節(jié)，而是應(yīng)該在如所附權(quán)利要求中所限定的本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)被廣泛構(gòu)造，因此，落在權(quán)利要求的界限和范圍內(nèi)或者這些界限和范圍的等同物范圍內(nèi)的所有變化和修改均旨在被所附權(quán)利要求所包括。
權(quán)利要求
1.一種用于在基板上以均勻的圖案分配定量糊狀物的方法，所述方法包括設(shè)置被依次選擇的參數(shù)組，每個(gè)組包括圖案參考數(shù)量以及應(yīng)用于所述圖案參考數(shù)量的糊狀物分配參數(shù)；根據(jù)施加的所述糊狀物分配參數(shù)來(lái)分配定量的糊狀物；以及當(dāng)達(dá)到屬于當(dāng)前參數(shù)組的所述圖案參考數(shù)量時(shí)，應(yīng)用屬于下一參數(shù)組的糊狀物分配參數(shù)，并且根據(jù)屬于所述下一參數(shù)組的所述糊狀物分配參數(shù)來(lái)分配所述定量的糊狀物。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于在基板上以均勻的圖案分配定量糊狀物的方法，其中，所述圖案參考數(shù)量表示待形成于所述基板上的圖案的數(shù)量。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的用于在基板上以均勻的圖案分配定量糊狀物的方法，其中，所述糊狀物分配參數(shù)包括曲率半徑，分配頭部在改變分配方向的點(diǎn)處以所述曲率半徑沿圓弧移動(dòng)；分配速度；氣壓，其待施加于注射器；以及數(shù)據(jù)，用于調(diào)節(jié)所述分配頭部與所述基板之間的相對(duì)距離。
4.一種能夠在基板上以均勻的圖案分配定量糊狀物的糊狀物分配器，所述糊狀物分配器包括分配頭部，通過(guò)設(shè)置于注射器的噴嘴來(lái)分配所述注射器中的糊狀物；驅(qū)動(dòng)單元，驅(qū)動(dòng)所述分配頭部和其上安裝有基板的工作臺(tái)中的任何一個(gè)；以及控制單元，根據(jù)給定的糊狀物圖案向所述分配頭部和所述驅(qū)動(dòng)單元中的每一個(gè)施加控制信號(hào)，所述控制單元包括氣壓控制單元，向所述注射器施加適合于分配所述定量糊狀物的氣壓，所述氣壓屬于參數(shù)組；以及主控制單元，根據(jù)屬于被依次選擇的參數(shù)組的糊狀物分參數(shù)，分別向所述控制單元和所述氣壓控制單元傳輸控制信號(hào)和氣壓設(shè)定信號(hào)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的能夠在基板上以均勻的圖案分配定量糊狀物的糊狀物分配器，其中，當(dāng)達(dá)到屬于當(dāng)前選擇的參數(shù)組的圖案參考數(shù)量時(shí)，所述主控制單元選擇屬于下一參數(shù)組的所述糊狀物分配參數(shù)。
6.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的能夠在基板上以均勻的圖案分配定量糊狀物的糊狀物分配器，其中，所述圖案參考數(shù)量表示待形成于所述基板上的圖案的數(shù)量。
7.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的能夠在基板上以均勻的圖案分配定量糊狀物的糊狀物分配器，其中，所述主控制單元包括計(jì)算機(jī)，運(yùn)行存儲(chǔ)于其中的控制程序和數(shù)據(jù)；以及監(jiān)視器，以表的形式顯示屬于參數(shù)組的所述圖案參考數(shù)量和所述糊狀物分配參數(shù)。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種用于在基板上以均勻圖案分配定量糊狀物的方法，包括設(shè)置被依次選擇的參數(shù)組，每個(gè)組包括圖案參考數(shù)量以及應(yīng)用于圖案參考數(shù)量的糊狀物分配參數(shù)；根據(jù)應(yīng)用的糊狀物分配參數(shù)來(lái)分配定量的糊狀物；以及當(dāng)達(dá)到屬于當(dāng)前參數(shù)組的圖案參考數(shù)量時(shí)，應(yīng)用屬于下一參數(shù)組的糊狀物分配參數(shù)，并且根據(jù)屬于下一參數(shù)組的糊狀物分配參數(shù)來(lái)分配定量的糊狀物。本發(fā)明提供的優(yōu)點(diǎn)在于，其通過(guò)根據(jù)注射器中剩余糊狀物的多少來(lái)向注射器施加不同的氣壓，從而在基板上以給定的圖案分配定量糊狀物。
文檔編號(hào)B05C5/00GK101025525SQ20071009035
公開(kāi)日2007年8月29日 申請(qǐng)日期2007年4月4日 優(yōu)先權(quán)日2006年4月4日
發(fā)明者樸在鎬 申請(qǐng)人:塔工程有限公司