專利名稱：平臺用反作用力處理裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種平臺用反作用力處理裝置，尤其涉及一種在清潔間設(shè)置平臺裝置這種結(jié)構(gòu)的平臺用反作用力處理裝置。
背景技術(shù)：
使平臺精確移動的平臺裝置被設(shè)置在清潔室內(nèi)，例如，門型的Y型平臺在吸附于桌子上的基板的上方以一定的速度移動。(例如，參照專利文獻(xiàn)1)此外，上述Y型平臺沿著移動方向(Y方向)和垂直方向(X方向)延伸，跨越桌子上的基板，兩端部通過一對引導(dǎo)部件可移動的被支撐，并且，通過一對直線檢測元件(位置檢測器)檢測移動位置。而且，Y型平臺的兩端，通過一對直線電動機(驅(qū)動機構(gòu))向移動方向驅(qū)動。一對直線電動機被固定于地面的直線電動機支撐部所支撐。
因此，在上述平臺裝置中，通過直線電動機的驅(qū)動力驅(qū)動Y型平臺時，其反作用力傳遞給支撐直線電動機定子(永久磁鐵)的直線電動機支撐部，通過直線電動機支撐部到達(dá)地面。
在上述結(jié)構(gòu)的平臺裝置設(shè)置的直線電動機地面上，使通過配置在頂棚的過濾器的空氣流流入到地面下空間，并使之回流到空氣凈化裝置中。并且，在設(shè)置于直線電動機地面的地面下凹部，設(shè)置有使上述空氣流通過的空間和為支撐平臺裝置而組合鋼筋構(gòu)成的地面下結(jié)構(gòu)體。
專利文獻(xiàn)1 日本特開2005-52823號公報但是，在以前的平臺用反作用力處理裝置中，因為平臺裝置的直線電動機支撐部和支撐桌面的石板被上述地面下結(jié)構(gòu)體所支撐，例如，伴隨基板的大型化，Y型平臺也在大型化，在使Y型平臺更快速的移動時，需要更大的驅(qū)動力，同時其反作用力也增大，直線電動機支撐部根據(jù)反作用力做彎曲動作。
此外，驅(qū)動Y型平臺時的反作用力從支撐直線電動機定子的直線電動機支撐部傳遞到地面下結(jié)構(gòu)體，因為也會進(jìn)一步傳遞到被地面支撐的石板，所以產(chǎn)生加工精度下降的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明鑒于上述情況，目的在于提供一種解決上述問題的平臺用的反作用力處理裝置。
為解決上述問題，本發(fā)明具有以下機構(gòu)。
本發(fā)明是關(guān)于一個設(shè)置平臺裝置的平臺用反作用力處理裝置，該平臺裝置具有固定于地面的固定臺、平行配置在該固定臺側(cè)面的驅(qū)動機構(gòu)、支撐該驅(qū)動機構(gòu)的支撐部、可移動地支撐在上述固定臺上并通過上述驅(qū)動機構(gòu)的驅(qū)動力移動的平臺，通過將支撐上述固定臺的第一地面下結(jié)構(gòu)體和支撐上述支撐部的第二地面下結(jié)構(gòu)體分開設(shè)置，解決上述問題。
此外，本發(fā)明設(shè)有將上述第一地面下結(jié)構(gòu)體和上述第二地面下結(jié)構(gòu)體收納到上述地面下方的地面下凹部，通過在上述凹部內(nèi)使上述第一地面下結(jié)構(gòu)體和上述第二地面下結(jié)構(gòu)體以設(shè)定的距離分開，解決上述問題。
此外，本發(fā)明通過在上述地面下凹部的內(nèi)部設(shè)置非接觸空間，該非接觸空間使上述第一地面下結(jié)構(gòu)體和上述第二地面下結(jié)構(gòu)體之間形成非接觸，解決上述課題。
此外，希望在上述地面架設(shè)具有通氣孔的篩條部件。
在本發(fā)明中，通過使支撐固定臺的第一地面下結(jié)構(gòu)體和支撐支撐部的第二地面下結(jié)構(gòu)體分開，即使通過驅(qū)動機構(gòu)驅(qū)動平臺時的反作用力的震動通過支撐部傳播到第二地面下結(jié)構(gòu)體，也能防止從第二地面下結(jié)構(gòu)體直接向第一地面下結(jié)構(gòu)體的震動的傳播，驅(qū)動機構(gòu)的反作用力產(chǎn)生的震動在第一、第二地面下結(jié)構(gòu)體間衰減，能夠防止傳播到平臺。


圖1是構(gòu)成本發(fā)明的平臺用反作用力處理裝置的一個實施例的斜視圖；圖2是圖1所示的平臺用反作用力處理裝置的正面圖；圖3是圖1所示的平臺用反作用力處理裝置的側(cè)面圖；圖4是圖1所示的平臺用反作用力處理裝置的平面圖；圖5是直線電動機支撐結(jié)構(gòu)的擴大正面圖。
附圖標(biāo)記說明10-平臺裝置；12-架臺；14-石板；16-工件載置臺；18-Y型平臺；20-直線電動機；32-滑塊；40-定子；42-可動子；46-直線電動機支撐部；100-平臺用的反作用力處理裝置；110-第一地面下結(jié)構(gòu)體；120-第二地面下結(jié)構(gòu)體；130-地面；140-地面下凹部；150-非接觸空間；170-篩條部件；180-第三地面下結(jié)構(gòu)體具體實施方式
下面，參照附圖對本發(fā)明的最佳實施例進(jìn)行說明。
圖1是構(gòu)成本發(fā)明的平臺用反作用力處理裝置的一個實施例的斜視圖。圖2是圖1所示的平臺用反作用力處理裝置的正面圖。圖3是圖1所示的平臺用反作用力處理裝置的側(cè)面圖。圖4是圖1所示的平臺用反作用力處理裝置的平面圖。
如圖1至圖4所示，平臺用的反作用力處理裝置100例如設(shè)置在清潔室內(nèi)，具有支撐平臺裝置10的架臺12的第一地面下結(jié)構(gòu)體110和支撐線性電動機支撐部46的第二地面下結(jié)構(gòu)體120。第一地面下結(jié)構(gòu)體110和第二地面下結(jié)構(gòu)體120被分開設(shè)置，構(gòu)成所謂的分邊結(jié)構(gòu)。
此外，第一地面下結(jié)構(gòu)體110和第二地面下結(jié)構(gòu)體120被收納在地面下凹部140內(nèi)，該地面下凹部140形成在地面130的平臺裝置10所設(shè)置的平臺設(shè)置部132的下方。在該地面下凹部140內(nèi)，使第一地面下結(jié)構(gòu)體110和第二地面下結(jié)構(gòu)體120以設(shè)定的距離分開，使第一地面下結(jié)構(gòu)體110和第二地面下結(jié)構(gòu)體120之間形成非接觸的非接觸空間150。
此外，地面下凹部140是由混凝土形成的地基構(gòu)成的，在此地基上固定第一地面下結(jié)構(gòu)體110和第二地面下結(jié)構(gòu)體120。此外，地面下結(jié)構(gòu)體110、120用圖中的點劃線所示的部分通過鋼筋或是混凝土等形成，通過非接觸空間150而分開，相互不干涉地設(shè)置。
這樣，因為第一地面下結(jié)構(gòu)體110和第二地面下結(jié)構(gòu)體120被分開設(shè)置，即使平臺驅(qū)動時的反作用力傳播到第二地面下結(jié)構(gòu)體120的情況下，震動也不會從地面130直接傳播到架臺12，而是通過第二地面下結(jié)構(gòu)體120、地面下凹部140、第一地面下結(jié)構(gòu)體110，傳達(dá)到架臺12。因此，平臺驅(qū)動時的反作用力在傳播給第二地面下結(jié)構(gòu)體120、地面下凹部140、第一地面下結(jié)構(gòu)體110的過程中會衰減。
此外，在地面130的全面上鋪設(shè)篩條部件170。此篩條部件170是具有多個通氣孔172的格子狀的床部件，例如，由鑄造物等形成四角形狀的格子狀塊構(gòu)成。并且，篩條部件170在第二地面下結(jié)構(gòu)體120的外側(cè)通過固定于地面下凹部140的第三地面下結(jié)構(gòu)體180支撐。并且，第三地面下結(jié)構(gòu)體180鄰接在第二地面下結(jié)構(gòu)體120的外側(cè)，但是和第二地面下結(jié)構(gòu)體120分開設(shè)置。此外，代替上述篩條部件170也可以將具有通氣孔的混凝土板鋪設(shè)在地面130上。
在這里，說明一下關(guān)于上述平臺裝置10的結(jié)構(gòu)。平臺裝置10是使機架(gantry)部移動的機架移動型平臺，具有固定于混凝土制的地面的架臺12、支撐在架臺12上的石板14、被石板14支撐的工件載置臺16、跨越工件載置臺16上方橫架的Y型平臺18、向Y方向驅(qū)動Y型平臺18的兩端部的一對直線電動機(驅(qū)動機構(gòu))20。并且，在本實施例中，固定臺由上述架臺12、石板14、工件載置臺16構(gòu)成。
直線電動機20基于來自檢測Y型平臺18的兩端部的移動位置的直線電動機的位置檢測信號，被并行驅(qū)動地控制。
架臺12是把鋼筋組合成格子狀的堅固的結(jié)構(gòu)，支撐在第一地面下結(jié)構(gòu)體110上。此外，被支撐在架臺12上面的石板14形成コ字型，具有將工件載置臺16以穩(wěn)定狀態(tài)進(jìn)行支撐的支撐平面部14a和從平面部14a的兩側(cè)向上方站立的引導(dǎo)部14b、14c。此外，工件載置臺16設(shè)有真空吸附部(圖中未示出)，該真空吸附部用于吸附作為工件的基板(例如液晶基板等)。
Y型平臺18具有橫架部(梁)30和一對滑塊32，橫架部在引導(dǎo)部14b、14c的上方向X方向延伸，滑塊連接橫架部30兩端，在引導(dǎo)部14b、14c的側(cè)面從外側(cè)相對。橫架部30上安裝有加工用的夾具(圖中未示出)，該夾具對吸附在工件載置臺16上的工件(基板)進(jìn)行預(yù)定的加工。此外，橫架部30和滑塊32具有靜壓空氣軸承(靜壓墊)36、38，靜壓空氣軸承利用氣壓相對于引導(dǎo)部14b、14c非接觸地進(jìn)行移動。因此，Y型平臺18能夠以幾乎沒有摩擦的狀態(tài)向Y方向移動。
直線電動機20由形成コ字形的定子(具有永久磁鐵)40和從定子40側(cè)面插入的可動子(具有線圈)42構(gòu)成，控制線圈附加電壓，使得隔開微小的間隙，以非接觸的狀態(tài)使可動子42向Y方向移動，?？蓜幼?2與滑塊32的側(cè)面接合，通過在線圈上附加電壓，將與定子40之間產(chǎn)生的推力傳遞給滑塊32，向Y方向驅(qū)動滑塊32。此時，定子40受到由驅(qū)動可動子42的推力產(chǎn)生的反作用力。
并且，在引導(dǎo)部14b、14c的外側(cè)，支撐直線電動機20的定子40的直線電動機支撐部46立起。此直線電動機支撐部46是一個將鋼筋組合成格子狀的結(jié)構(gòu)，具有被第二地面下結(jié)構(gòu)體120支撐的一對腳部46a和橫架在腳部46a之間的梁46b。因此，通過直線電動機20的驅(qū)動力，使Y型平臺18向Y方向移動時產(chǎn)生的反作用力，通過直線電動機支撐部46傳達(dá)到第二地面下結(jié)構(gòu)體120。
由此，直線電動機20受到的反作用力從直線電動機支撐部46傳播到第二地面下結(jié)構(gòu)體120、地面下凹部140、第一地面下結(jié)構(gòu)體110，但是，因為在那個過程中幾乎所有的震動被衰減，所以反作用力的震動沒有傳遞到固定于地面130的架臺12。因此，通過第二地面下結(jié)構(gòu)體120、地面下凹部140、第一地面下結(jié)構(gòu)體110，被傳播到石板14和工件載置臺16的直線電動機20的反作用力已經(jīng)變得極小。
如圖5所示，因為直線電動機20是一種在形成コ字形的定子40內(nèi)部插入從滑塊32的側(cè)面向水平方向突出的可動子42的結(jié)構(gòu)，作為反作用力的震動對策，使定子40的上下內(nèi)面和可動子42的上下面之間的間隙S比通常大幅增大，例如設(shè)定S＝7mm(通常是1mm)。因此，在直線電動機20中，即使通過反作用力產(chǎn)生向X方向的震動，也由于增大了上述間隙S，所以可防止定子40的上下內(nèi)面與可動子42的上下面接觸。
在上述實施例中，以機架型的平臺裝置來舉例說明，但是并不局限于此，本發(fā)明也能適用設(shè)置上述實施例以外的平臺裝置(例如，具有X型平臺和Y型平臺的平臺裝置等)的平臺用的反作用力處理裝置，這一點是顯然的。
權(quán)利要求
1.一種設(shè)置平臺裝置的平臺用反作用力處理裝置，該平臺裝置具有固定于地面的固定臺、與該固定臺側(cè)面平行配置的驅(qū)動機構(gòu)、支撐該驅(qū)動機構(gòu)的支撐部、可移動地支撐在上述固定臺并通過上述驅(qū)動機構(gòu)的驅(qū)動力移動的平臺，其特征在于，將支撐上述固定臺的第一地面下結(jié)構(gòu)體和支撐上述支撐部的第二地面下結(jié)構(gòu)體分開設(shè)置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的平臺用反作用力處理裝置，其特征在于，設(shè)有將上述第一地面下結(jié)構(gòu)體和上述第二地面下結(jié)構(gòu)體收納到上述地面下方的地面下凹部，在上述凹部內(nèi)使上述第一地面下結(jié)構(gòu)體和上述第二地面下結(jié)構(gòu)體分開預(yù)定的距離。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的平臺用反作用力處理裝置，其特征在于，在上述地面下凹部的內(nèi)部設(shè)置非接觸空間，使上述第一地面下結(jié)構(gòu)體和上述第二地面下結(jié)構(gòu)體之間形成非接觸。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3的任一項所述的平臺用反作用力處理裝置，其特征在于，在上述地面鋪設(shè)了具有通氣孔的篩條部件。
全文摘要
本發(fā)明提供一種平臺用的反作用力處理裝置，使直線電動機的反作用力不通過地面?zhèn)鞑サ狡脚_。平臺用反作用力處理裝置(100)具有第一地面下結(jié)構(gòu)體(110)和第二地面下結(jié)構(gòu)體(120)，第一地面下結(jié)構(gòu)體(110)支撐平臺裝置(10)的架臺(12)，第二地面下結(jié)構(gòu)體(120)支撐直線電動機支撐部(46)。第一地面下結(jié)構(gòu)體和第二地面下結(jié)構(gòu)體被收納到地面下凹部(140)內(nèi)，該地面下凹部形成于地面(130)的平臺裝置所設(shè)置的平臺設(shè)置部(132)的下方。在此地面下凹部(140)內(nèi)形成非接觸空間(150)，使第一地面下結(jié)構(gòu)體和第二地面下結(jié)構(gòu)體分開。
文檔編號B05B13/02GK101090086SQ20071011181
公開日2007年12月19日 申請日期2007年6月15日 優(yōu)先權(quán)日2006年6月16日
發(fā)明者原田真, 小原達(dá)也, 小林雄二 申請人:住友重機械工業(yè)株式會社