專利名稱：用于糊狀物分配器的頭部單元的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于糊狀物分配器的頭部單元，更特別地，涉 及一種配備有能夠水平轉(zhuǎn)動(dòng)或與"X"軸成角度的傳感器的頭部單元。
背景技術(shù)：
平板顯示器包含有越來越多的4支術(shù)，使得一見頻顯示器比傳統(tǒng)上 使用陰極射線管的電視和一見頻顯示器更輕并且更薄，通常其厚度小 于10 cm (4英寸)。需要持續(xù)刷新的平板顯示器包括液晶顯示器 (LCD)，等離子顯示器、場(chǎng)致發(fā)射顯示器(FED)、有機(jī)發(fā)光二極 管顯示器(OLED)、表面?zhèn)鲗?dǎo)電子發(fā)射顯示器(SED)、納米發(fā)光 顯示器(NED)、以及電致發(fā)光顯示器(ELD)。
液晶顯示器(LCD)是薄的平板顯示器，其由排列在光源或反 射體前面的任意數(shù)量的彩色或單色像素組成。由于液晶顯示器^f吏用 非常少的電量，所以其^皮廣泛〗吏用。
用于液晶顯示器中的液晶面4反制造過程如下。
濾色片和公共電極的圖樣形成在上玻璃基板上。薄膜晶體管 (TFT )和像素電極的圖樣形成在與上玻璃基板相對(duì)的下玻璃基板上。對(duì)準(zhǔn)層沉積在上^皮璃基^反和下玻璃基一反上。對(duì)準(zhǔn)層凈皮摩〗察4吏得 兩個(gè)對(duì)準(zhǔn)層之間的液晶分子具有預(yù)傾名牛角度和方向。
糊狀物圖樣形成在上玻璃基板和下玻璃基板中的任何一個(gè)上， 以便密封其間將要放入液晶層的上基板和下基板。接著，液晶層被 沉積在其上形成有糊狀物圖樣的玻璃基4反上。最后，上下玻璃基—反 組裝在一起制成液晶面4反。
糊狀物分配器用于在玻璃基板上形成糊狀物圖樣。糊狀物分配
器包括工作臺(tái)，其上放置玻璃基板；頭部單元，具有噴嘴，糊狀 物通過噴嘴被分配到玻璃基板上；以及頭部支承單元，支承頭部單元。
糊狀物分配器將粘貼圖樣分配到玻璃基板上，同時(shí)改變玻璃基 板與噴嘴之間的相對(duì)距離。通過沿垂直于工作臺(tái)的方向(即X軸方 向)移動(dòng)頭部，同時(shí)沿Y軸方向移動(dòng)工作臺(tái)，糊狀物分配器改變玻 璃基^^反與噴嘴之間的相對(duì)距離。通過沿Y軸方向移動(dòng)頭部支7取單 元，糊狀物分配器可以沿Y軸方向移動(dòng)頭部單元。
如圖1所示，糊狀物分配器設(shè)置有傳感器1。傳感器1用來檢 查糊狀物圖樣是否以糊狀物圖樣具有統(tǒng)一的橫截面面積的方式形 成在玻璃基4反上。傳感器1 4皮安裝在可以沿X軸方向或沿X軸和Y 軸方向移動(dòng)的頭部單元上。
如圖1中的箭頭所示，傳感器1有規(guī)律地來回轉(zhuǎn)動(dòng)。從透鏡2 中射出的光束沿一個(gè)方向?qū)π纬稍诓ＡЩ迳系暮隣钗飯D樣"P" 進(jìn)行掃描。這使得有可能測(cè)量糊狀物圖樣"P"的橫截面面積。
但是，如圖2所示，傳感器1無法掃描垂直于掃描方向的糊狀 物圖樣"P"的才黃截面面積。
當(dāng)傳感器i -陂安裝在頭部單元中以沿X軸方向掃描糊狀物圖樣 "P"的4黃截面面積時(shí)，傳感器1無法沿Y軸方向掃描糊狀物圖樣"P"的橫截面面積。這使得不可能沿Y軸方向檢查糊狀物圖樣是 否正確地形成在玻璃基^反上。
為了解決這個(gè)問題，可以將兩個(gè)傳感器安裝在頭部單元中，一
個(gè)沿X軸方向，另一個(gè)沿Y軸方向。 <旦是，這增加了購買傳感器 所用的成本。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明的目的在于，使得頭部單元能夠同時(shí)沿X軸方向 和Y軸方向測(cè)量糊狀物圖才羊的才黃截面面積。
根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，i殳置有用于糊狀物分配器的頭部單 元，在改變頭部單元的噴嘴與基才反之間的相^j^巨離時(shí)，糊狀物分配 器通過噴嘴將糊狀物圖樣分配到基纟反上，該頭部單元包4舌頭部本 體，支承噴嘴；傳感器，通過沿一個(gè)方向掃描形成在基板上的糊狀 物圖樣來測(cè)量形成在基板上的糊狀物圖樣的橫截面面積；以及驅(qū)動(dòng) 單元，4吏得傳感器能夠相對(duì)于頭部本體水平地來回轉(zhuǎn)動(dòng)，以測(cè)量糊 狀物圖才羊的沿X軸方向的4黃截面面積和糊狀物圖才羊的沿Y軸方向 的才黃截面面積。
根據(jù)本發(fā)明的另 一個(gè)方面，設(shè)置有用于糊狀物分配器中的頭部 單元，在改變頭部單元的噴嘴與基板之間的相對(duì)距離的同時(shí)，糊狀 物分配器通過噴嘴將糊狀物圖樣分配到基板上，該頭部單元包括支 承噴嘴的頭部本體以及傳感器，該傳感器設(shè)置在頭部本體上，以相 對(duì)于X軸和Y軸成特定角度的方式掃描形成在基板上的糊狀物圖 樣，從而測(cè)量糊狀物圖樣的沿X軸方向的橫截面面積及糊狀物圖樣 的沿Y 4由方向的一黃截面面積、。
結(jié)合附圖，從下面對(duì)本發(fā)明的詳細(xì)描述中，本發(fā)明的前述以及 其它目的、特4正、方面、和伊乙點(diǎn)爿尋變4尋顯而易見。


的附圖示出了本發(fā)明的實(shí)施例，并與i兌明一起用于解釋本發(fā)明的原
理，附圖中
量糊狀物圖樣的4黃截面面積的方法的^f見圖3是示出根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的其中安裝有頭部單元的糊 狀物分配器的透^L圖4是示出圖3中的頭部單元的透—見圖5是示出圖4中的傳感器組件的透^L圖6是圖5的仰一見圖7是示出圖5中的傳感器組件的透視圖，其中傳感器轉(zhuǎn)動(dòng)了 90度；
圖8是圖7的仰視圖9是用于解釋圖5中的傳感器是如何掃描糊狀物圖樣的橫截 面面積、的一見圖IO是示出才艮據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施例的頭部單元的透一見圖11是圖10的仰一見圖12是用于解釋圖10中具有45度傾角的傳感器是如何掃描 糊狀物圖樣的橫截面面積的視圖；以及圖13是用于解釋當(dāng)糊狀物圖樣形成在相對(duì)于X軸成一特定角 度的基板上時(shí)，圖10中的傳感器是如何掃描糊狀物圖樣的橫截面 面,只的一見圖。
具體實(shí)施例方式
現(xiàn)在將對(duì)于本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例進(jìn)4亍詳細(xì)描述，附圖中示出了
其實(shí)例。
圖3是示出根據(jù)本發(fā)明 一 個(gè)實(shí)施例的其中安裝有頭部單元的糊 狀物分配器的透視圖。糊狀物分配器將糊狀物分配到基板上的指定 圖樣中。
如圖3所示，糊狀物分配器10包4舌沖匡架11。帔壓在地面上的
框架11支承糊狀物分配器的整個(gè)才幾體10的重量并為糊狀物分配器 IO提供穩(wěn)定性。
其上放置有基板的工作臺(tái)12被設(shè)置在框架11上。設(shè)置工作臺(tái) 12以支承從框架11的一側(cè)^皮裝載的基板"S"。
工作臺(tái)12由沖匡架11支岸義。工作臺(tái)12可通過Y軸驅(qū)動(dòng)單元沿 Y軸方向滑動(dòng)。Y軸馬區(qū)動(dòng)單元可以包4舌線4生電動(dòng)才幾。線'1"生電動(dòng)枳^ (LM)引導(dǎo)部可以進(jìn)一步地設(shè)置在工作臺(tái)12與框架11之間，以 使得工作臺(tái)12能夠滑動(dòng)。
工作臺(tái)12可#皮X軸驅(qū)動(dòng)單元沿X軸方向滑動(dòng)，并可通過0軸 驅(qū)動(dòng)單元沿0軸方向水平轉(zhuǎn)動(dòng)。工作臺(tái)12可固定在沖匡架11上。
頭部支承單元13 "i殳置在工作臺(tái)12的上方。頭部支承單元13 沿X軸方向在工作臺(tái)12的上方延伸，其兩端由框架11支承。由框架11支7 、的頭部單元13可通過Y軸馬區(qū)動(dòng)單元沿Y軸方向滑動(dòng)。Y
軸驅(qū)動(dòng)單元可包^:線性電動(dòng)才幾。
線性電動(dòng)4幾14可i殳置在頭部支承單元13的一端與框架11之 間以及在頭部支承單元13的另一端與框架11之間，以便使得頭部 支承單元可以滑動(dòng)。頭部支承單元13的兩端安裝于設(shè)置在線性導(dǎo) 4九14上的并沿Y軸方向移動(dòng)的移動(dòng)單元。因》匕，頭部支 K單元可 沿線性導(dǎo)^L滑動(dòng)。兩個(gè)或兩個(gè)以上的頭部支4義單元13可以i殳置在 工作臺(tái)的上方，以便更有效地在大尺寸的基板上形成糊狀物圖樣。
才艮據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的頭部單元100 i殳置在頭部支岸義單元 13的一側(cè)。頭部支/fc單元100用來爿夸糊爿犬物分配到凈皮;改置在工作臺(tái) 12上的基才反上。頭部單元100以可沿X軸方向滑動(dòng)的方式由頭部 支4義單元13支tR。頭部單元100可通過X軸驅(qū)動(dòng)單元沿X軸方向 滑動(dòng)。X軸驅(qū)動(dòng)單元可包4舌線性電動(dòng)才幾。
如圖3所示，4艮據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的頭部單元100包括頭部 本體110和傳感器組件160。
分配頭部120 i殳置在頭部本體110上。噴p觜121和連4妾至噴嘴 121的注射器(syringe) 122 i殳置在分配頭部120上。糊狀物通過 噴嘴121被分配在基板"S"上。注射器122包含有將要通過噴嘴 121 ^皮分配的糊狀物。傳感器123可i殳置在分配頭部120上以測(cè)量 基板"S"與噴嘴121之間的距離。
分配頭部120可以以調(diào)節(jié)基纟反"S"上方噴嘴121的位置的方 式謬皮Z軸驅(qū)動(dòng)單元130向上和向下移動(dòng)。Z軸馬區(qū)動(dòng)單元130i殳置在 分配頭部120上，^f旦是卻定4立在與噴嘴121相反的方向上?？捎蒢 4由電動(dòng)4幾131 (例:^4爭(zhēng)動(dòng)電動(dòng)才幾或線'f生電動(dòng)才幾)沿Z 4由方向移動(dòng)的上升/下降單元#皮固定在分配頭部120的頭部支架124上。因此，Z 軸驅(qū)動(dòng)單元130沿Z軸方向移動(dòng)分配頭部120。
分西己頭部120可凈皮Y軸驅(qū)動(dòng)單元140以沿Y軸方向水平移動(dòng) 噴嘴121的方式沿Y軸方向移動(dòng)。這里，Y軸驅(qū)動(dòng)單元可i殳置在Z 軸驅(qū)動(dòng)單元130的側(cè)部。即，可#皮Y軸驅(qū)動(dòng)單元140沿Y軸方向 移動(dòng)的移動(dòng)單元^皮固定在Z軸驅(qū)動(dòng)單元130上。因此，分配頭部120 隨Z軸驅(qū)動(dòng)單元130 —起沿Y軸方向移動(dòng)。Y軸驅(qū)動(dòng)單元140可包 」括線性電動(dòng)才幾。
在分配頭部120上還可i殳置ZZ軸驅(qū)動(dòng)單元150,以將噴嘴121 的位置調(diào)節(jié)到很小的水平。如上所述，Z軸驅(qū)動(dòng)單元130沿Z軸方 向向上移動(dòng)或移動(dòng)至噴嘴121以上。ZZ軸驅(qū)動(dòng)單元150通過沿Z 軸方向向上或向下移動(dòng)噴嘴121而調(diào)節(jié)噴嘴121的位置。
上升/下降組件125以4吏得上升/下降組件125能夠向上和向下 移動(dòng)的方式i殳置在頭部支架124上。噴嘴121、注射器122、和傳 感器123i殳置在上升/下降組件125上。因此，噴嘴121可^皮ZZ軸 驅(qū)動(dòng)單元150向上和向下移動(dòng)?？杀籞Z軸馬區(qū)動(dòng)單元150上下移動(dòng) 的上升/下降單元#皮固定在上升/下降組件125上。因此，噴嘴121 可沿Z軸方向移動(dòng)。ZZ軸馬區(qū)動(dòng)單元可包4舌線'l"生電動(dòng)才幾。
傳感器組件160i殳置在頭部本體110上。傳感器組件160可固 定在位于Z軸驅(qū)動(dòng)單元130下部的頭部支架124上。為此，頭部支 架124必須以傳感器組件160不會(huì)向下突出超過噴嘴121的方式i殳 置在Z軸驅(qū)動(dòng)單元130上。當(dāng)傳感器組件160以這種方式i殳置在頭 部本體110上時(shí)，傳感器組件160不會(huì)沿X軸方向/人頭部本體110 突出出來。這^f吏得頭部單元IOO可以具有緊湊結(jié)構(gòu)。此外，當(dāng)兩個(gè) 或兩個(gè)以上的頭部單元i殳置在頭部支7K單元13上時(shí)，頭部單元100之間的距離可以比傳統(tǒng)傳感器沿X軸方向突出于頭部本體的距離
減小很多。
如圖5所示，傳感器組件160包括傳感器161和來回轉(zhuǎn)動(dòng)傳感 器161的驅(qū)動(dòng)單元170。如圖9所示，傳感器161沿一個(gè)方向掃描 形成在基板上的糊狀物圖樣，以測(cè)量糊狀物圖樣的橫截面面積。傳 感器161將被掃描的糊狀物圖樣的數(shù)據(jù)傳輸?shù)教幚韱卧?，以?jì)算被 掃描的糊狀物圖樣的^黃截面面積"P"。
傳感器161可包括激光傳感器。激光傳感器持續(xù)地通過圍繞樞 轉(zhuǎn)點(diǎn)在預(yù)定角度內(nèi)來回轉(zhuǎn)動(dòng)的透鏡發(fā)射激光束。激光傳感器以從激 光傳感器發(fā)射的激光束入射到糊狀物圖樣"P"上的方式被定位， /人而掃描糊狀物圖樣"P"。
驅(qū)動(dòng)單元170〗吏得傳感器161相對(duì)于頭部本體110水平地來回 轉(zhuǎn)動(dòng)，以〗更測(cè)量糊狀物圖樣的沿X軸方向的4黃截面面積以及糊狀物 圖才羊的沿Y軸方向的4黃截面面積。
驅(qū)動(dòng)單元170可4吏得傳感器161圍繞樞轉(zhuǎn)點(diǎn)在90度角以內(nèi)來 回轉(zhuǎn)動(dòng)。在大多數(shù)情況下，如圖9所示，形成在基板上的糊狀物圖 樣"P，，采用四邊形形狀。因此，傳感器161在90度角以內(nèi)的轉(zhuǎn)動(dòng) 4吏其可以掃描糊狀物圖樣的X軸線和Y軸線。因此，利用單獨(dú)一 個(gè)傳感器，可以測(cè)量糊狀物圖4f的沿X軸方向的4黃截面面積以及糊 狀物圖樣的沿Y軸方向的4黃截面面積。
驅(qū)動(dòng)單元170可以在傳感器161能夠沿X軸方向掃描糊狀物圖 樣的位置與傳感器161能夠沿Y軸方向掃描糊狀物圖樣的位置之間 來回4爭(zhēng)動(dòng)。例如，如圖5所示，驅(qū)動(dòng)單元170可以^)尋傳感器161定 位在傳感器161能夠沿X軸方向掃描糊狀物圖樣的位置上。如圖7 所示，通過將傳感器161轉(zhuǎn)動(dòng)90度角，驅(qū)動(dòng)單元170可以將傳感器161定位在傳感器161能夠沿Y軸方向掃描糊狀物圖樣的位置 上。即，驅(qū)動(dòng)單元170可以4吏傳感器圍繞才區(qū)壽爭(zhēng)點(diǎn)在90度角以內(nèi)來 回轉(zhuǎn)動(dòng)。
如圖5所示，當(dāng)糊狀物圖樣的X軸線與糊狀物圖樣的Y軸線 分別與X軸和Y軸對(duì)齊時(shí)，傳感器161在相對(duì)于Y軸成90度角度 的位置上能夠掃描糊狀物圖樣的X軸線。這使得可以精確地測(cè)量糊 狀物圖樣沿X軸的一黃截面面積。而且，傳感器161在相對(duì)于X軸 成90度角度的位置上能夠掃描糊狀物圖樣的Y軸線。這使得可以 姊青確i也測(cè)量糊狀物圖才羊沿Y軸的沖黃截面面積。
以這種方式，單獨(dú)一個(gè)傳感器161能夠精確地測(cè)量糊狀物圖樣 沿X軸的沖黃截面面積以及糊狀物圖才羊沿Y軸的4黃截面面積。因ot匕， 可以有效地才企測(cè)出有缺陷的糊狀物圖樣，而無需對(duì)傳感器進(jìn)4亍額外 的投資。
傳感器圍繞樞轉(zhuǎn)點(diǎn)轉(zhuǎn)動(dòng)的最大角度范圍不限于90度。驅(qū)動(dòng)單 元170可以圍繞沖區(qū)轉(zhuǎn)點(diǎn)在4壬<可角度內(nèi)來回轉(zhuǎn)動(dòng)傳感器161，以<更掃 描糊狀物圖樣沿X軸的4黃截面面積以及糊狀物圖樣沿Y軸的4黃截 面面,只。
如圖5至圖8所示，驅(qū)動(dòng)單元170可以包括旋轉(zhuǎn)致動(dòng)器以及將 旋轉(zhuǎn)致動(dòng)器產(chǎn)生的旋轉(zhuǎn)力傳遞給傳感器161的力傳遞單元。
旋轉(zhuǎn)致動(dòng)器可以包括氣壓致動(dòng)器171。氣壓致動(dòng)器171將壓縮 的空氣能量轉(zhuǎn)化成用于在預(yù)定角度內(nèi)來回轉(zhuǎn)動(dòng)軸的機(jī)械轉(zhuǎn)動(dòng)能量。 氣壓致動(dòng)器171具有能夠交替運(yùn)動(dòng)的緊湊結(jié)構(gòu)。
通過4吏用氣壓致動(dòng)器171中的控向閥，轉(zhuǎn)動(dòng)軸順時(shí)針或逆時(shí)針 轉(zhuǎn)動(dòng)，或停止轉(zhuǎn)動(dòng)。氣壓致動(dòng)器171具有兩個(gè)管件172a、 172b，通過管件172a、 172b供應(yīng)壓縮的空氣。通過4吏用閥控制壓縮空氣的 :流動(dòng)方向，可以僅)爭(zhēng)動(dòng)4由順時(shí)4十或逆時(shí)4十壽爭(zhēng)動(dòng)，或4亭止4爭(zhēng)動(dòng)。
當(dāng)傳感器161需要在90度以內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，軸在氣壓致動(dòng)器內(nèi)轉(zhuǎn) 動(dòng)的角度可被限制在90度。第一限制傳感器可以設(shè)置在轉(zhuǎn)動(dòng)軸停 止轉(zhuǎn)動(dòng)的第一位置上，并且在轉(zhuǎn)動(dòng)軸從第一位置轉(zhuǎn)動(dòng)90度以后， 第二限制傳感器可以設(shè)置在轉(zhuǎn)動(dòng)軸停止轉(zhuǎn)動(dòng)的第二位置上。根據(jù)第 一和第二限制傳感器提供的信號(hào)，可對(duì)控向閥進(jìn)行控制以將軸的轉(zhuǎn) 動(dòng)范圍限制在90度以內(nèi)。
氣壓致動(dòng)器171的軸^皮i殳置成面向傳感器161。該軸^皮安裝在 致動(dòng)器支架173上，該致動(dòng)器支架173固定于Z軸驅(qū)動(dòng)單元130下 部的頭部支架124。旋轉(zhuǎn)致動(dòng)器不限于氣壓致動(dòng)器171。即，可使 用能夠轉(zhuǎn)動(dòng)傳感器161的任何旋轉(zhuǎn)致動(dòng)器。
傳感器支架181 -沒置在運(yùn)動(dòng)傳遞單元上。傳感器支架181固定 于傳感器161的上部，并可固定地連4妄于氣壓致動(dòng)器的軸。氣壓致 動(dòng)器的軸的轉(zhuǎn)動(dòng)使得傳感器支架能夠被轉(zhuǎn)動(dòng)。因此，傳感器161被 轉(zhuǎn)動(dòng)。在附圖中，傳感器支架181的構(gòu)造方式是至少包圍傳感器161 的部分側(cè)部，^旦不限于這種結(jié)構(gòu)。
還可將軸承182設(shè)置在運(yùn)動(dòng)傳遞單元上，以在氣壓致動(dòng)器^皮轉(zhuǎn) 動(dòng)進(jìn)而轉(zhuǎn)動(dòng)傳感器161的同時(shí)支承軸負(fù)載。
轉(zhuǎn)動(dòng)限制單元可設(shè)置在驅(qū)動(dòng)單元170上。從氣壓致動(dòng)器171的 外部，轉(zhuǎn)動(dòng)限制單元將傳感器161的轉(zhuǎn)動(dòng)限制在90度以內(nèi)。其目 的是在90度以內(nèi)準(zhǔn)確;也來回4爭(zhēng)動(dòng)。
轉(zhuǎn)動(dòng)限制單元可以包括設(shè)置在致動(dòng)器支架173上的第一擋塊 (stopper) 191以及設(shè)置在傳感器支架l81上的第二擋塊l92和第三擋塊193。第二擋塊192和第三擋塊193與第一擋塊191配合， 以當(dāng)傳感器161乂人圖5所示的位置處來回轉(zhuǎn)動(dòng)至圖7所示的位置時(shí) 防止傳感器161轉(zhuǎn)動(dòng)超過90度。
擋塊192以與位于圖5所示位置上的擋塊191相^妾觸的方式^殳 置。擋塊193以如下方式i殳置，即當(dāng)傳感器161 乂人圖5所示的4立置 轉(zhuǎn)動(dòng)90度至圖7所示的位置時(shí)擋塊193與擋塊191相接觸。這使 得傳感器161能夠準(zhǔn)確地在90度以內(nèi)來回轉(zhuǎn)動(dòng)。
馬區(qū)動(dòng)單元170和傳感器161可以容納在用作保護(hù)的殼體165中。 在殼體165內(nèi)設(shè)置有充足的空間以使得傳感器能夠無頓挫地轉(zhuǎn)動(dòng)。 殼體165在其下部具有開口 165a,通過該開口傳感器161的感應(yīng)部 分161a暴露于外部。開口 165a可采用與在圖6所示位置與圖8所 示位置之間來回轉(zhuǎn)動(dòng)的傳感器161的軌跡相對(duì)應(yīng)的形狀。這使得當(dāng) 傳感器161在圖6和圖8所示的兩個(gè)位置之間來回轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，感應(yīng)部 分161a能夠暴露于外部。
殼體165在其側(cè)面可具有開口 ，通過該開口驅(qū)動(dòng)單元170和傳 感器161很方便地被容納在殼體中?？蓪?duì)殼體165的橫向開口進(jìn)行 設(shè)置，使得其間設(shè)置有傳感器161的空間是密閉的，其中傳感器組 4牛160附于頭部本體110。殼體165不限于該結(jié)構(gòu)，而是可以包4舌 各種結(jié)構(gòu)。
圖10和圖11是示出根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施例的頭部單元的祁L 圖。在附圖中，相同參考標(biāo)號(hào)表示相同元件。
參照?qǐng)D10和圖11，在第二實(shí)施例中的傳感器組件260與第一 實(shí)施例中的4專感器160不同。
根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施例，傳感器組件260具有的結(jié)構(gòu)是，傳感 器261以相對(duì)于X軸和Y軸預(yù)定角度掃描在基4反上形成的圖樣"P"。這^f吏得傳感器271既可以測(cè)量糊狀物圖樣"P"的沿X軸方向的才黃 截面面積又可以測(cè)量該糊a犬物圖才羊的沿Y軸方向的一黃截面面積。
第一實(shí)施例中的傳感器261將掃描到的糊狀物圖樣的數(shù)據(jù)傳送 到處理單元，以計(jì)算掃描到的糊狀物圖樣的橫截面面積"P"。傳感 器261可以包4舌j敫光傳感器。
傳感器組件160包括傳感器支承組件262，其使得傳感器261 具有相對(duì)于X軸的角度00 。即，傳感器支承組件262具有傾斜面 263，其與相對(duì)于X軸成角度9o的傳感器261相接觸。傳感器組件 262固定于頭部支架124。另外，傳感器紐j牛262和頭部支架124 形成為一體。因此，傳感器261以相對(duì)于X軸和Y軸成預(yù)定角度 的方式^皮-沒置。
傳感器支^K組件262可以i殳置在Z軸驅(qū)動(dòng)單元130的下部。這 防止傳感器組件260沿X軸方向/人頭部本體110中突出。因此，頭 部單元200可以具有緊湊結(jié)構(gòu)。而且，當(dāng)兩個(gè)或更多的頭部單元200 i殳置在頭部支4義單元13上時(shí)，頭部單元200之間的距離可以凈皮減 小。
相對(duì)于X軸和Y軸具有預(yù)定角度的傳感器261可以掃描四邊 形的糊狀物圖樣的X軸線和Y軸線。因此，利用單獨(dú)一個(gè)傳感器 261,就可以測(cè)量糊狀物圖樣的沿X軸方向的橫截面面積以及糊狀 物圖才羊的沿Y軸方向的4黃截面面積。
當(dāng)9o過小或過大時(shí)，傳感器261無法測(cè)量糊狀物圖樣的沿Y 軸方向的橫截面面積。傳感器優(yōu)選地具有45度角，但不限于45度。
當(dāng)通過傳感器261掃描時(shí)，糊狀物圖樣的沿X軸方向的橫截面 面積和沿Y軸方向的^黃截面面積可由以下z^式獲4尋。公式
沿x 4由方向的對(duì)黃截面面積、=Aq x cos (e。 - e)
沿Y 4由方向的4黃截面面積、=Aq x sin ( 0o - 0i )
其中，A。表示由傳感器261測(cè)得的數(shù)值；0o表示傳感器相對(duì)于 X軸所成的角度；e,表示基板"S"相對(duì)于X軸所成的角度。
如圖12所示，當(dāng)基板"S"以相對(duì)于X軸成角度的方式被放置 在工作臺(tái)12上時(shí)，利用上述7>式計(jì)算沿X軸方向的4黃截面面積和 沿Y軸方向的才黃截面面積。當(dāng)基4反"S，，以相對(duì)于X軸成角度的方 式被放置在工作臺(tái)12上時(shí)，通過從傳感器相對(duì)于X軸的角度0o中
減去傳感器相對(duì)于該基板的角度e,來獲得傳感器相對(duì)于x軸的實(shí)
際角度。
才艮據(jù)本發(fā)明，利用來回轉(zhuǎn)動(dòng)的或相對(duì)于X軸和Y軸成預(yù)定角 度的單一傳感器可以測(cè)量糊狀物圖樣的沿X軸方向的4黃截面面積 和沿Y軸方向的4黃截面面積。因此，可以有效地;險(xiǎn)測(cè)出有缺陷的糊 狀物圖樣，而無需對(duì)傳感器進(jìn)行額外的投資。
此外，通過在Z軸驅(qū)動(dòng)單元的下部i殳置傳感器，頭部單元可具 有緊湊結(jié)構(gòu)。這使得當(dāng)兩個(gè)或更多的頭部單元設(shè)置在頭部支承單元 中時(shí)頭部單元之間的3巨離可以#皮減d、。
由于在不背離本發(fā)明的精神和實(shí)質(zhì)特點(diǎn)的前提下本發(fā)明可以 以多種形式實(shí)現(xiàn)，所以也應(yīng)該理解，上述實(shí)施例并不受上文描述中 的任何細(xì)節(jié)所限制，除非另有說明，相反它們應(yīng)該在所附權(quán)利要求 限定的精神和范圍內(nèi)被廣泛地理解，因此，所有的改進(jìn)、》,改或等 同替換都包含在所附權(quán)利要求所限定的范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種在改變噴嘴與基板之間的相對(duì)距離的同時(shí)通過頭部單元的噴嘴將糊狀物圖樣分配到所述基板上的糊狀物分配器中使用的頭部單元，所述頭部單元包括頭部本體，支承所述噴嘴；傳感器，通過沿一個(gè)方向掃描形成在所述基板上的所述糊狀物圖樣來測(cè)量形成在所述基板上的所述糊狀物圖樣的橫截面面積；以及驅(qū)動(dòng)單元，使得所述傳感器能夠相對(duì)于所述頭部本體水平地來回轉(zhuǎn)動(dòng)，以測(cè)量所述糊狀物圖樣沿X軸方向的橫截面面積和所述糊狀物圖樣沿Y軸方向的橫截面面積。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的在改變噴嘴與基板之間的相對(duì)距離的 同時(shí)通過頭部單元的噴嘴將糊狀物圖樣分配到所述基板上的 糊狀物分配器中4吏用的頭部單元，其中，所述驅(qū)動(dòng)單元使得所 述傳感器圍繞樞轉(zhuǎn)點(diǎn)在90度角以內(nèi)來回轉(zhuǎn)動(dòng)。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的在改變噴嘴與基板之間的相對(duì)距離的 同時(shí)通過頭部單元的噴嘴將糊狀物圖樣分配到所述基板上的 糊狀物分配器中使用的頭部單元，其中，所述驅(qū)動(dòng)單元包括設(shè) 置在所述頭部本體上的旋轉(zhuǎn)致動(dòng)器和將所述旋轉(zhuǎn)致動(dòng)器產(chǎn)生 的旋轉(zhuǎn)力傳遞到所述傳感器上的力傳遞單元。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的在改變噴嘴與基板之間的相對(duì)距離的 同時(shí)通過頭部單元的噴嘴將糊狀物圖樣分配到所述基板上的糊狀物分配器中使用的頭部單元，其中，所述旋轉(zhuǎn)致動(dòng)器包括氣壓致動(dòng)器，所述氣壓致動(dòng)器的軸在90度角以內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)。
5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的在改變噴嘴與基板之間的相對(duì)距離的 同時(shí)通過頭部單元的噴嘴將糊狀物圖樣分配到所述基板上的 糊狀物分配器中4吏用的頭部單元，其中，所述驅(qū)動(dòng)單元還包括 轉(zhuǎn)動(dòng)限制單元，所述轉(zhuǎn)動(dòng)限制單元使得所述傳感器只能在90 度角以內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的在改變噴嘴與基板之間的相對(duì)距離的 同時(shí)通過頭部單元的噴嘴將糊狀物圖樣分配到所述基板上的 糊狀物分配器中使用的頭部單元，其中，所述頭部本體包括分配頭部，其上"i殳置有所述噴嘴；以及Z軸驅(qū)動(dòng)單元，其i殳置在所述分配頭部上〗旦定位在與所述 噴嘴相反的方向上，所述Z軸驅(qū)動(dòng)單元^f吏所述分配頭部向上 和向下移動(dòng)，其中，所述傳感器^皮設(shè)置在所述Z軸驅(qū)動(dòng)單元的下部。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的在改變噴嘴與基板之間的相對(duì)距離的 同時(shí)通過頭部單元的噴嘴將糊狀物圖樣分配到所述基板上的 糊狀物分配器中4吏用的頭部單元，其中，所述傳感器包括激光 傳感器，所述激光傳感器通過圍繞所述樞轉(zhuǎn)點(diǎn)在預(yù)定角度內(nèi)沿 一個(gè)方向來回轉(zhuǎn)動(dòng)的透4竟持續(xù)地發(fā)射激光束，以掃描所述糊狀 物圖樣。
8. —種在改變噴嘴與基才反之間的相對(duì)距離的同時(shí)通過頭部單元 的噴嘴將糊狀物圖樣分配到所述基板上的糊狀物分配器中使 用的頭部單元，所述頭部單元包4舌頭部本體，支承所述噴嘴；以及傳感器，以相對(duì)于X軸和Y軸成特定角度的方式設(shè)置在 所述頭部本體上，以掃描形成在所述基板上的所述糊狀物圖 樣，從而測(cè)量所述糊狀物圖樣沿X軸方向的橫截面面積以及 所述糊狀物圖樣沿Y軸方向的4黃截面面積。
9. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的在改變噴嘴與基板之間的相對(duì)距離的 同時(shí)通過頭部單元的噴嘴將糊狀物圖樣分配到所述基板上的 糊狀物分配器中使用的頭部單元，其中，所述傳感器以相對(duì)于 所述X軸和Y軸具有45度傾角的方式i殳置。
10. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的在改變噴嘴與基板之間的相對(duì)距離的 同時(shí)通過頭部單元的噴嘴將糊狀物圖樣分配到所述基板上的 糊狀物分配器中使用的頭部單元，其中，所述頭部本體包括分配頭部，其上設(shè)置有所述噴嘴；以及Z軸驅(qū)動(dòng)單元，其設(shè)置在所述分配頭部上^f旦定位在與所述 噴嘴相反的方向上，所述Z軸驅(qū)動(dòng)單元4吏所述分配頭部向上 和向下移動(dòng)，其中所述傳感器被設(shè)置在所述Z軸驅(qū)動(dòng)單元的下部。
11. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的在改變噴嘴與基板之間的相對(duì)距離的 同時(shí)通過頭部單元的噴嘴將糊狀物圖樣分配到所述基板上的 糊狀物分配器中使用的頭部單元，其中，所述傳感器包括激光 傳感器，所述激光傳感器通過圍繞樞轉(zhuǎn)點(diǎn)在預(yù)定角度內(nèi)沿一個(gè) 方向來回轉(zhuǎn)動(dòng)的透4竟持續(xù)地發(fā)射激光束，以掃描所述糊狀物圖 樣。
全文摘要
本發(fā)明提供一種用于糊狀物分配器的頭部單元，在改變?cè)擃^部單元的噴嘴與基板之間的相對(duì)距離時(shí)，糊狀物分配器通過噴嘴將糊狀物圖樣分配到基板上，該頭部單元包括頭部本體，支承該噴嘴；傳感器，通過沿一個(gè)方向掃描形成在基板上的糊狀物圖樣來測(cè)量形成在基板上的糊狀物圖樣的橫截面面積；以及驅(qū)動(dòng)單元，其使得傳感器相對(duì)于該頭部本體水平地來回轉(zhuǎn)動(dòng)，以測(cè)量糊狀物圖樣的沿X軸方向的橫截面面積以及糊狀物圖樣的沿Y軸方向的橫截面面積。
文檔編號(hào)B05B13/04GK101320168SQ20081012654
公開日2008年12月10日 申請(qǐng)日期2006年10月30日 優(yōu)先權(quán)日2005年10月31日
發(fā)明者孫世豪, 趙容柱, 金潤(rùn)會(huì), 金熙根 申請(qǐng)人:塔工程有限公司