專利名稱：：壓敏粘合劑組合物和壓敏粘合劑片的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及壓敏粘合劑組合物和壓敏粘合劑片。具體來(lái)說(shuō)，本發(fā)敏粘合劑組合物組成的壓敏粘合劑層的可以用于半導(dǎo)體晶片加工及其它情況的壓敏粘合劑片。
背景技術(shù)：
：常規(guī)上，當(dāng)已經(jīng)制備電氣部件、電子部件和半導(dǎo)體部件時(shí)，為了固定所述部件和在處理工藝?yán)缜衅斜Ｗo(hù)電路等，已經(jīng)使用了壓敏粘合劑帶。此種壓敏粘合劑帶包括其中可移除丙烯酸系壓敏粘合劑層形成于基膜上的壓敏粘合劑帶，和用光可交聯(lián)型可移除壓敏粘合劑層形成的壓敏粘合劑帶，該光可交聯(lián)型可移除壓敏粘合劑層在粘貼之后在處理工藝中具有強(qiáng)的剝離阻力，但是當(dāng)剝離掉該壓敏粘合劑帶時(shí)可以通過小力量剝離掉。在規(guī)定的處理工藝之后剝離掉壓敏粘合劑帶。在剝離時(shí)，稱作"剝離起靜電"的靜電在部件和壓敏粘合劑帶之間產(chǎn)生。為了抑制由起靜電所引起的對(duì)粘附體的不利影響(例如，電路斷裂)，已經(jīng)使用其中對(duì)基膜的背表面提供了抗靜電處理的壓敏粘合劑帶，其中抗靜電劑被添加和混合在壓敏粘合劑層中的壓敏粘合劑帶，和其中在基膜和壓敏粘合劑層之間形成了抗靜電中間層的壓敏粘合劑帶。但是，如果部件中的用于形成電路的襯底是絕緣材料例如陶瓷和玻璃，則靜電的產(chǎn)生量大，并且它的衰減花費(fèi)大量時(shí)間。在此情況下，即使使用上述壓敏粘合劑帶，抗靜電性能的效果仍不足夠，并且仍存在電路斷裂的較大可能性。因此，在上述部件的制備方法中，例如，實(shí)際上通過進(jìn)一步使用靜電移除器件例如電離器抑制在周圍環(huán)境中產(chǎn)生靜電。然而，已存在的問題是，即使采用上述對(duì)策，仍不能獲得足夠的抗靜電效果，生產(chǎn)率低，并且保護(hù)作用也不足夠。此外，已經(jīng)注意到，為了防止壓敏粘合劑帶的剝離起靜電，在壓敏粘合劑的那側(cè)上提供處理是有效的，而不是在基膜的那側(cè)上提供處理。作為常規(guī)抗靜電壓敏粘合劑，一般而言，其中導(dǎo)電材料例如銅粉、銀粉、鎳粉和鋁粉分散在壓敏粘合劑中的抗靜電壓敏粘合劑已經(jīng)用于許多用途。然而，如果將大量導(dǎo)電材料包舍在此種抗靜電壓敏粘合劑中以增加導(dǎo)電材料顆粒的相互作用接觸而獲得優(yōu)異導(dǎo)電性能，則粘合強(qiáng)度降低。另一方面，如果在此種抗靜電壓敏粘合劑中降低導(dǎo)電材料的含量以增加粘合強(qiáng)度，則上述接觸不足夠并且導(dǎo)電性能降低。因此，已經(jīng)存在對(duì)立問題。為了解決該問題，已經(jīng)提出了一種壓敏粘合劑帶，其中通過在壓敏粘合劑中混合碳納米管和碳微線圏中任一種或這兩種而獲得的導(dǎo)電性壓敏粘合劑被施加在通過蒸氣沉積而金屬化的織物上(參見專利文獻(xiàn)JP2001-172582)。然而，在該專利文獻(xiàn)中上述的壓敏粘合劑帶中，基底材料(栽體)層是通過蒸氣沉積金屬化的織物。因此，該導(dǎo)電性壓敏粘合劑不適于在商品壓敏粘合劑帶中用作基底材料的樹脂膜材料。因此，存在通過使用該樹脂膜作為基底材料層不足夠發(fā)揮導(dǎo)電性能的可能性。此外，因?yàn)樘技{米管具有強(qiáng)的聚集性能，所以存在即使將碳納米管單獨(dú)地混合在樹脂中，足夠的分散仍得不到維持并且碳納米管的性能仍得不到充分發(fā)揮的問題。
發(fā)明內(nèi)容作為考慮了上述常規(guī)技術(shù)的情況的結(jié)果，提供了本發(fā)明。本發(fā)明的目的是提供具有優(yōu)異抗靜電性能或優(yōu)異導(dǎo)電性能的壓敏4粘合劑組合物，和具有由該壓敏粘合劑組合物組成的壓敏粘合劑層的壓敏粘合劑片。本發(fā)明的另一個(gè)目的是提供當(dāng)通過輻射能量射線固化壓敏粘合劑組合物時(shí)，在固化后具有優(yōu)異抗靜電性能或優(yōu)異導(dǎo)電性能的固化壓敏粘合劑組合物，和其壓敏粘合劑片。具體來(lái)說(shuō)，本發(fā)明提供壓敏粘合劑組合物，其包含壓敏粘合劑、碳納米材料和分散劑，該碳納米材料采用分散劑分散在壓敏粘合劑中。此外，本發(fā)明提供上述壓敏粘合劑組合物，其中該碳納米材料具有1-1，OOO該的平均外圍尺寸和lOnm-100nm的平均長(zhǎng)度。此外，本發(fā)明提供上述壓敏粘合劑組合物，其中該分散劑是具有醚骨架結(jié)構(gòu)的聚合物。此外，本發(fā)明提供上述壓敏粘合劑組合物，其中該壓敏粘合劑組合物進(jìn)一步包含含能量射線可聚合基團(tuán)的化合物。此外，本發(fā)明提供上述壓敏粘合劑組合物，其中該壓敏粘合劑組合物還包含光致聚合引發(fā)劑。另外，本發(fā)明提供上述壓敏粘合劑組合物，其中以占該壓敏粘合劑組合物的固體含量的0.05-15質(zhì)量％的比例包含該碳納米材料。此外，本發(fā)明提供壓敏粘合劑片，其包括基片和由上述壓敏粘合劑組合物組成的壓敏粘合劑層，該壓敏粘合劑層形成于該基片的一個(gè)表面或兩個(gè)表面上。另外，本發(fā)明提供上述壓敏粘合劑片，其中該壓敏粘合劑片是用于半導(dǎo)體晶片加工的壓敏粘合劑片。本發(fā)明的效果本發(fā)明的壓敏粘合劑組合物具有優(yōu)異的抗靜電性能或優(yōu)異的導(dǎo)電性能。當(dāng)通過輻射能量射線固化該壓敏粘合劑組合物時(shí)，在固化后該固化的壓敏粘合劑組合物也具有優(yōu)異的抗靜電性能或優(yōu)異的導(dǎo)電性能。此外，如果將本發(fā)明的壓敏粘合劑片粘到粘附體例如半導(dǎo)體晶片上，該壓敏粘合劑片具有優(yōu)異的抗靜電性能或優(yōu)異的導(dǎo)電性能。當(dāng)通過輻射能量射線固化壓敏粘合劑片，在固化后該固化的壓敏粘合劑片也具有優(yōu)異的抗靜電性能或優(yōu)異的導(dǎo)電性能。因此，可以更有效地進(jìn)行半導(dǎo)體等的生產(chǎn)。實(shí)施本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方案本發(fā)明的壓敏粘合劑組合物包含壓敏粘合劑、碳納米材料和分散劑。碳納米材料采用分散劑均勻分散在壓敏粘合劑中。在本發(fā)明中，術(shù)語(yǔ)"均勻分散"是指碳納米材料分散在壓敏粘合劑組合物和使用該壓敏粘合劑組合物形成的壓敏粘合劑層中而沒有可見聚集的狀態(tài)。碳納米材料的均勻分散發(fā)揮優(yōu)異的抗靜電性能或優(yōu)異的導(dǎo)電性能。在本發(fā)明中，術(shù)語(yǔ)"具有抗靜電性能"是指表面電阻率小于1013Q/口，術(shù)語(yǔ)"具有導(dǎo)電性能"是指表面電阻率小于1()8Q/口。在壓敏粘合劑組合物包含含能量射線可聚合基團(tuán)的化合物的情形下，如果在壓敏粘合劑組合物的固化之前和/或固化之后表面電阻率在上述范圍中，則壓敏粘合劑組合物意味著具有抗靜電性能或具有導(dǎo)電性能。所述壓敏粘合劑可以是水溶性壓敏粘合劑，或有機(jī)溶劑可溶性壓敏粘合劑。所述壓敏粘合劑包括例如，天然橡膠基壓敏粘合劑、合成橡膠基壓敏粘合劑、丙烯酸系樹脂基壓敏粘合劑、聚乙烯基醚樹脂基壓敏粘合劑、氨基曱酸酯樹脂基壓敏粘合劑和硅酮樹脂基壓敏粘合劑。合成橡膠基壓敏粘合劑的具體實(shí)例包括苯乙烯-丁二烯橡膠、異丁烯-異戊二烯橡膠、聚異丁烯橡膠、聚異戊二烯橡膠、苯乙烯-異戊二烯嵌段共聚物、苯乙烯-丁二烯嵌段共聚物、苯乙烯-乙烯-丁烯嵌段共聚物和乙烯-乙酸乙烯酯熱塑性彈性體。丙烯酸系樹脂基壓敏粘合劑的具體實(shí)例包括含(甲基)丙烯酸酯共聚物作為基礎(chǔ)樹脂的丙烯酸系樹脂基壓敏粘合劑。(曱基)丙烯酸酯共聚物包括烷基(甲基)丙烯酸烷基酯例如丙烯酸甲酯、丙烯酸乙酯、丙烯酸丙酯、丙烯酸丁酯、丙烯酸2-乙基己基酯、曱基丙烯酸曱酯、甲基丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸丙酯和甲基丙烯酸丁酯中一種或多種單體，與任選地，一種或多種選自以下可共聚合單體的單體的共聚物含羥基的(曱基)丙烯酸烷基酯例如丙烯酸2-幾乙酯、丙烯酸2-羥丙酯、丙烯酸3-羥丙酯、丙烯酸3-羥丁酯和丙烯酸4-羥丁酯、甲基丙烯酸2-羥乙酯、甲基丙烯酸2-羥丙酯、甲基丙烯酸3-羥丙酯、甲基丙烯酸3-羥丁酯和甲基丙烯酸4-羥丁酯；(甲基)丙烯酸，例如丙烯酸和甲基丙烯酸；乙烯基酯例如乙酸乙烯酯和丙酸乙烯酯；含氰基的化合物例如丙烯腈和甲基丙烯腈；含酰氨基的化合物例如丙烯酰胺，和芳族化合物例如苯乙烯和乙烯基吡啶。(甲基)丙烯酸酯共聚物中基于(甲基)丙烯酸酯的單元的含量?jī)?yōu)選是50-98質(zhì)量％，更優(yōu)選60-95質(zhì)量％,最優(yōu)選70-93質(zhì)量％。(甲基)丙烯酸酯共聚物的重均分子量?jī)?yōu)選是300，000-2，500，000，更優(yōu)選400，000-1，500，000,尤其優(yōu)選450，000-1,000，000。在本申請(qǐng)說(shuō)明書中，術(shù)語(yǔ)"重均分子量"是指通過凝膠滲透色諳法測(cè)量的轉(zhuǎn)換成標(biāo)準(zhǔn)聚苯乙烯的值。聚乙烯基醚樹脂基壓敏粘合劑的具體實(shí)例包括含聚乙烯基乙基醚或聚乙烯基異丁基醚作為基礎(chǔ)樹脂的壓敏粘合劑。氨基曱酸酯樹脂基壓敏粘合劑的具體實(shí)例包括這樣的壓敏粘合劑，它們包含多元醇與環(huán)狀或鏈異氰酸酯的反應(yīng)產(chǎn)物作為基礎(chǔ)樹脂，和添加劑例如增粘劑和增塑劑。硅酮樹脂基壓敏粘合劑的具體實(shí)例包括含二曱基聚硅氧烷作為基礎(chǔ)樹脂的壓敏粘合劑。這些壓敏粘合劑可以各自單獨(dú)地使用或以兩種或更多種的組合使用。這些壓敏粘合劑當(dāng)中優(yōu)選的是丙烯酸系樹脂基壓敏粘合劑。尤其優(yōu)選的是通過用一種或多種交聯(lián)劑例如多異氰酸酯基交聯(lián)劑、環(huán)氧樹脂基交聯(lián)劑、氮丙啶基交聯(lián)劑和螯合物基交聯(lián)劑使丙烯酸系共聚物交聯(lián)而獲得的丙烯酸系樹脂基壓敏粘合劑。多異氰酸酯基交聯(lián)劑的實(shí)例包括甲苯二異氰酸酯(TDI)、六亞曱基二異氰酸酯(HMDI)、異佛爾酮二異氰酸酯(IPDI)、苯二曱基二異氰酸酯(XDI)、氫化甲苯二異氰酸酯、二苯曱烷二異氰酸酯和其氫化產(chǎn)物、多亞曱基多苯基多異氰酸酯、萘-l，5-二異氰酸酯、多異氰酸酯預(yù)聚物和多羥曱基丙烷改性TDI。環(huán)氧樹脂基交聯(lián)劑的實(shí)例包括乙二醇二縮水甘油醚、1，6-己二醇二縮水甘油醚、三羥甲基丙烷二縮水甘油醚、二縮水甘油基苯胺和二縮水甘油基胺。氮丙啶基交聯(lián)劑的實(shí)例包括2，2-雙羥曱基丁醇-三[3-(l-氮丙啶基)丙酸酯]、4，4-雙(亞乙基亞氨基羧氨基)二苯曱烷、三-2，4，6-(1-氮丙啶基)-1，3，5-三嗪、三[1-(2-甲基)氮丙啶基]氧化膦和六[l-(2-曱基)氮丙啶基]三磷雜三嗪。螯合物基交聯(lián)劑的實(shí)例包括鋁螯合物和鈦螯合物。交聯(lián)劑可以各自單獨(dú)地使用或以兩種或更多種的組合使用。交聯(lián)劑的使用量相對(duì)于100質(zhì)量份丙烯酸系共聚物優(yōu)選為0.01-20質(zhì)量份。當(dāng)通過輻射能量射線固化本發(fā)明的壓敏粘合劑組合物時(shí)，使用能量射線可固化壓敏粘合劑，其在該壓敏粘合劑組合物中包含含能量射線可聚合基團(tuán)的化合物。該含能量射線可聚合基團(tuán)的化合物包括例如，含能量射線可聚合基團(tuán)的粘合劑的基礎(chǔ)樹脂，和含能量射線可聚合基團(tuán)的單體和低聚物。含能量射線可聚合基團(tuán)的粘合劑的基礎(chǔ)樹脂的實(shí)例包括如下獲得的基礎(chǔ)樹脂使所述(甲基)丙烯酸酯共聚物與在分子中含能量射線可聚合基團(tuán)和可以與之前描述的(甲基)丙烯酸酯共聚物中的羥基或羧基(例如，丙烯酸等)反應(yīng)的官能團(tuán)的化合物發(fā)生加成反應(yīng)。此種化合物的實(shí)例包括2-甲基丙烯酰基氧乙基異氰酸酯和甲基丙烯酸縮水甘油酯。含能量射線可聚合基團(tuán)的單體和低聚物(其包含在能量射線可固化壓敏粘合劑中)的實(shí)例包括例如，含兩個(gè)或更多個(gè)官能團(tuán)的多官能能量射線可固化丙烯酸系化合物例如多官能丙烯酸酯、氨基曱酸酯丙烯酸酯和聚酯丙烯酸酯。它們當(dāng)中，氨基甲酸酯丙烯酸酯低聚物和聚酯丙烯酸酯低聚物是優(yōu)選的，氨基甲酸酯丙烯酸酯低聚物是更優(yōu)選的。多官能丙烯酸酯的實(shí)例包括乙二醇二(曱基)丙烯酸酯、丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、丁二醇二(曱基)丙烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、己二醇二(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基乙烷三(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三(曱基)丙烯酸酯、季戊四醇三(曱基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(曱基)丙烯酸酯、甘油三(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸三烯丙基酯和雙酚A環(huán)氧乙烷改性的二(曱基)丙烯酸酯。氨基曱酸酯丙烯酸酯低聚物例如通過用聚氨酯低聚物的羥基將(甲基)丙烯酸酯化來(lái)獲得，該聚氨酯低聚物是通過使聚醚多元醇或聚酯多元醇與多異氰酸酯反應(yīng)制備的。此外，通過使含羥基的(甲基)丙烯酸酯與含端異氰酸酯基的聚氨酯低聚物反應(yīng)獲得氨基甲酸酯丙烯酸酯低聚物，該聚氨酯低聚物是通過使聚醚多元醇或聚酯多元醇與多異氰酸酯反應(yīng)制備的。多異氰酸酯的實(shí)例包括2，4-曱苯二異氰酸酯、2，6-甲苯二異氰酸酯、1，3-苯二曱基二異氰酸酯、1，4-苯二曱基二異氰酸酯、二苯基甲烷-4，4-二異氰酸酯。此外，含羥基的(甲基)丙烯酸酯的實(shí)例包括丙烯酸2-羥乙酯、曱基丙烯酸2-羥乙酯、丙烯酸2-羥丙酯和曱基丙烯酸2-羥丙酯。聚酯丙烯酸酯低聚物例如通過用兩端含羥基的聚酯低聚物的羥基將(甲基)丙烯酸酯化來(lái)獲得，該兩端含羥基的聚酯低聚物是通過使多元羧酸與多元醇縮合制備的；或通過用使多元羧酸與環(huán)氧烷烴發(fā)生加成反應(yīng)制備的低聚物的端羥基將(曱基)丙烯酸酯化來(lái)獲得。含能量射線可聚合基團(tuán)的低聚物的分子量(重均分子量)優(yōu)選是1，000-100，000。特別地，氨基曱酸酯丙烯酸酯低聚物的分子量?jī)?yōu)選是1，000-50，000，更優(yōu)選2，000-30，000。含能量射線可聚合基團(tuán)的單體和/或低聚物可以各自單獨(dú)地使用或以兩種或更多種的組合4吏用。含能量射線可聚合基團(tuán)的單體和/或低聚物的含量不受特別限制，但是優(yōu)選占?jí)好粽澈蟿┙M合物的固體含量的5-80質(zhì)量％，更優(yōu)選15-60術(shù)語(yǔ)"固體含量"是指當(dāng)形成壓敏粘合劑層時(shí)，除了通過干燥除去的組分之外的組分。具體來(lái)說(shuō)，固體含量是指除此后提及的溶劑和分散介質(zhì)之外的組分。能量射線包括紫外線、電子束、oc-射線、0-射線和Y-射線。當(dāng)使用紫外線時(shí)，可固化組合物優(yōu)選包含光致聚合引發(fā)劑。光致聚合引發(fā)劑包括常規(guī)光致聚合引發(fā)劑例如苯乙酮基化合物例如2-甲基-1-[4-(曱基硫基)苯基]-2-嗎啉基(morphorino)丙烷-l-酮、曱氧基苯乙酮、2，2-二曱氧基-2-苯基苯乙酮和2，2-二乙氧基苯乙酮；二苯曱酮基化合物，例如二苯曱酮、苯甲?；綍跛岷?，3'-二曱基-4-甲氧基二苯甲酮；苯偶姻醚基化合物例如苯偶姻乙基醚、苯偶姻異丙基醚和茴香偶姻甲基醚；縮酮基化合物例如節(jié)基二甲基縮酮；芳族磺酰氯基化合物，例如2-萘磺酰氯；光活性肟(oxyme)基化合物例如l-苯酮-1,1-丙二酮-2-(鄰乙氧基羰基)肟。此外，可以使用低聚物型光致聚合引發(fā)劑。用。相對(duì)于IOO質(zhì)量份含能量射線可聚合基團(tuán)的化合物，光致聚合引發(fā)劑的配制量?jī)?yōu)選是0.1-15質(zhì)量份，更優(yōu)選0.2-10質(zhì)量份，最優(yōu)選0.5-5質(zhì)量份。碳納米材料具有優(yōu)選1-1，OOO認(rèn)，更優(yōu)選2-100nm，最優(yōu)選3-50nm的平均外圍尺寸和優(yōu)選10nm-100jum,更優(yōu)選10nm-50)am，最優(yōu)選100nm-30jam的平均長(zhǎng)度。平均外圍尺寸是使用電子顯微鏡測(cè)量碳納米材料的100個(gè)隨機(jī)點(diǎn)獲得的測(cè)量值的平均值。平均長(zhǎng)度是使用電子顯微鏡測(cè)量碳納米材料的100個(gè)隨機(jī)點(diǎn)獲得的測(cè)量值的平均值。此外，在沿著碳納米材料的長(zhǎng)度方向的中心段進(jìn)行平均外圍尺寸的測(cè)量。如果碳納米材料的形狀是具有同心圓的橫截面形狀的圓柱形形狀，則外圍尺寸是指外圓周直徑。碳納米材料的平均長(zhǎng)度與平均外圍尺寸的比值優(yōu)選是100-5，000，更優(yōu)選200-3，000。碳納米材料的實(shí)例包括例如，碳納米線圏、單層或多層碳納米管。它們當(dāng)中，單層或多層碳納米管是優(yōu)選的，多層碳納米管是更優(yōu)選的。碳納米線圏具有優(yōu)選10-100nm，更優(yōu)選10-50nm，最優(yōu)選15-40nm的平均外圍尺寸和優(yōu)選10nm-100jum，更優(yōu)選10nm-50jam，最優(yōu)選15nm-30jLim的平均長(zhǎng)度。碳納米線圏的平均長(zhǎng)度與平均外圍尺寸的比值優(yōu)選是200-5，000，更優(yōu)選300-3，000。單層碳納米管具有優(yōu)選l-10nm，更優(yōu)選1-8nm，最優(yōu)選2-7nm的平均外圍尺寸，和優(yōu)選10nm-100jum，更優(yōu)選10nm-50Mm，優(yōu)選12nm-30Mm的平均長(zhǎng)度。單層碳納米管的平均長(zhǎng)度與平均外圍尺寸的比值優(yōu)選是1，000-5,000，更優(yōu)選1，000-3，000。多層碳納米管具有優(yōu)選10-100nra，更優(yōu)選10-50mn，最優(yōu)選10-30nm的平均外圍尺寸，和優(yōu)選1Onra-l00mm,更優(yōu)選1Onm-50jum，最優(yōu)選10nm-30uffl的平均長(zhǎng)度。多層碳納米管的平均長(zhǎng)度與平均外圍尺寸的比值優(yōu)選是200-5，000，更優(yōu)選300-3，000。碳納米線圏的形狀可以是圓柱形和中空纖維形狀或沒有中空部分的纖維形狀。碳納米線圏的末端形狀不需要一定是圓柱形形狀。例如，碳納米線圏的末端形狀可以是變形后的形狀例如錐形。此外，碳納米線圏的末端形狀可以是封閉結(jié)構(gòu)或開放結(jié)構(gòu)。此外，碳納米管的形狀通常是圓柱形和中空纖維形狀。但是，碳納米管的末端形狀不需要一定是圓柱形形狀。例如，碳納米管的末端形狀可以是變形后的形狀例如錐形。此外，碳納米管的末端形狀可以是封閉結(jié)構(gòu)或開放結(jié)構(gòu)。石灰納米管的商業(yè)產(chǎn)品優(yōu)選包括由IRDINENANOTECHNOLOGYCORPORATION制造的商品名"CVD-MWNTCM-95"的產(chǎn)品。碳納米材料的含量?jī)?yōu)選占?jí)好粽澈蟿┙M合物固體含量的0.05-15質(zhì)量％，更優(yōu)選0.5-10質(zhì)量％。分散劑可以是水溶性分散劑，或有機(jī)溶劑可溶性分散劑。當(dāng)此后提及的分散介質(zhì)是水分散介質(zhì)時(shí)，水溶性分散劑是優(yōu)選的。當(dāng)此后提及的分散介質(zhì)是有機(jī)溶劑時(shí)有機(jī)溶劑可溶性分散劑是優(yōu)選的，分散劑優(yōu)選是具有醚骨架結(jié)構(gòu)的聚合物。該聚合物的實(shí)例包括陰離子聚醚例如含羧基的聚醚，陽(yáng)離子聚醚例如含氨基的聚醚和非離子聚醚。聚醚骨架結(jié)構(gòu)包括具有聚氧亞烷基基團(tuán)的骨架結(jié)構(gòu)，具體來(lái)說(shuō)，聚氧亞烷基均聚物例如聚亞乙基醚，聚亞丙基醚和聚亞丁基醚；和具有兩個(gè)或更多個(gè)氧化亞烷基基團(tuán)例如氧化亞乙基基團(tuán)、氧化亞丙基基團(tuán)和氧化亞丁基基團(tuán)的聚氧亞烷基共聚物。它們當(dāng)中，非離子聚醚是優(yōu)選的。分散劑的重均分子量不受特別限制，但是優(yōu)選1，000-100，000，更優(yōu)選5，000-70，000。非離子聚醚的商業(yè)產(chǎn)品優(yōu)選包括由KyoeishaChemicalCo,，Ltd.制造的商品名"FLOWLENNC-500"的產(chǎn)品。分散劑的含量相對(duì)于100質(zhì)量份碳納米材料優(yōu)選是50-1,OOO質(zhì)量份，更優(yōu)選60-500質(zhì)量份。為了均勻地將碳納米材料采用分散劑分散在壓敏粘合劑中，優(yōu)選的方法是包括將壓敏粘合劑、碳納米材料和分散劑在分散介質(zhì)中混合以獲得壓敏粘合劑的分散液，然后攪拌該壓敏粘合劑的分散液的方法。攪拌可以通過常規(guī)的攪拌方法進(jìn)行。特別是，通過施加超聲波振動(dòng)的攪拌是優(yōu)選的。攪拌時(shí)間不受特別限制，但是通常優(yōu)選0.5-5小時(shí)。為了將碳納米材料采用分散劑更均勻地分散在壓敏粘合劑中，以下方法是優(yōu)選的包括預(yù)先將碳納米材料和分散劑在分散介質(zhì)中混合以制備碳納米材料的分散液，然后在壓敏粘合劑中混合該碳納米材料的分散液的方法。分散介質(zhì)包括含水溶劑和有機(jī)溶劑。有機(jī)溶劑是優(yōu)選的。有機(jī)溶劑包括醇例如異丁醇和異丙醇；芳族烴例如苯、曱苯和二曱苯；脂族烴例如己烷、庚烷、辛烷、壬烷和癸烷；酯例如乙酸乙酯和乙酸丁酯；酮例如甲基乙基酮、二乙基酮和二異丙基酮；溶纖劑溶劑例如乙基溶纖劑；和二醇醚溶劑例如丙二醇一曱基醚。它們當(dāng)中，芳族溶劑是優(yōu)選的。在這種情況下，碳納米材料在碳納米材料的分散液中的含量?jī)?yōu)選是O.05-3質(zhì)量％，更優(yōu)選0.1-2.5質(zhì)量％，最優(yōu)選0.2-2.3質(zhì)量％。在這種情況下，為了通過攪拌均勻地分散碳納米材料，碳納米材料的分散液是優(yōu)選的?？梢酝ㄟ^常規(guī)攪拌方法進(jìn)行攪拌，但是尤其優(yōu)選通過施加超聲波振動(dòng)進(jìn)行攪拌。攪拌時(shí)間不受特別限制，但是通常優(yōu)選0.5-5小時(shí)。當(dāng)在壓敏粘合劑中混合碳納米材料的分散液時(shí)，壓敏粘合劑優(yōu)選呈壓敏粘合劑的分散液或溶液狀態(tài)，其中該壓敏粘合劑分散于或溶于溶劑或含能量射線可聚合基團(tuán)的單體和/或低聚物中。溶劑包括含水溶劑和有機(jī)溶劑。當(dāng)施加壓敏粘合劑組合物并然后將其干燥時(shí)，有機(jī)溶劑是優(yōu)選的。有機(jī)溶劑包括與上文所述相同的在分散介質(zhì)中的溶劑。它們當(dāng)中，芳族溶劑是優(yōu)選的。溶劑的配制量可以根據(jù)要求的粘度適當(dāng)?shù)剡x擇。作為本發(fā)明壓敏粘合劑片中的基片，可以使用各種塑料的片材和薄膜。基片的實(shí)例包括如下各種合成樹脂的片材或薄膜聚烯烴樹脂例如聚乙烯樹脂和聚丙烯樹脂；聚酯樹脂例如聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯樹脂、聚萘二甲酸乙二醇酯樹脂和聚對(duì)苯二甲酸丁二醇酯樹脂；聚氯乙烯樹脂；聚苯乙烯樹脂；聚氨酯樹脂；聚碳酸酯樹酯；聚酰胺樹脂；聚酰亞胺樹脂；氟樹脂等。鑒于高強(qiáng)度和廉價(jià)成本，聚酯樹脂例如聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯樹脂的片材或薄膜是優(yōu)選的?；梢允菃螌踊蚓哂袃蓚€(gè)或更多個(gè)同樣類型或不同類型的層的多層。當(dāng)使用能量射線可固化壓敏粘合劑作為壓敏粘合劑時(shí)，能量射線可透射基片是優(yōu)選的。對(duì)基片的厚度沒有特別的限制；然而，通常優(yōu)選厚度落入10-350jum，更優(yōu)選25-300jjm，尤其優(yōu)選50-250jum的范圍內(nèi)。在基片的表面上，可以提供用于改進(jìn)粘附的處理。用于改進(jìn)粘附的處理沒有特別地限制，但是包括例如，電暈放電處理。在本發(fā)明的壓敏粘合劑片中，在該基片的一個(gè)表面或兩個(gè)表面上形成了由上迷壓敏粘合劑組合物組成的壓敏粘合劑層。對(duì)壓敏粘合劑層的厚度沒有特別的限制；然而，通常優(yōu)選厚度落入3-150jjm，更優(yōu)選5-100jjffl，尤其優(yōu)選10-60jum的范圍內(nèi)?？梢酝ㄟ^在基片的一個(gè)表面或兩個(gè)表面上施加上述壓敏粘合劑并任選地干燥而在基片一個(gè)表面或兩個(gè)表面上形成壓敏粘合劑層。在基片上施加上述壓敏粘合劑組合物的方法的實(shí)例包括常規(guī)方法，例如，棒涂法、刀涂法、輥涂法、刮涂法、才莫涂法、凹版涂法和幕涂法。優(yōu)選通常在20-150t:下進(jìn)行干燥。本發(fā)明的壓敏粘合劑片在用途方面不受限制并且可以用于各種領(lǐng)域，只要將壓敏粘合劑片粘到其中要求抗靜電性能或?qū)щ娦阅艿念I(lǐng)域中的粘附體上。本發(fā)明的壓敏粘合劑片可以用于在將壓敏粘合劑片粘貼到粘附體上之后不輻射能量射線的用途，此外還可以用于在將壓敏粘合劑片粘貼到粘附體上并輸入處理工藝之后，通過能量射線輻射該壓敏粘合劑片以降低粘合強(qiáng)度，然后從該粘附體上剝離以移除的用途。后面的用途包括例如，用于半導(dǎo)體晶片等的切片片材，它們用來(lái)粘在半導(dǎo)體晶片的背表面上以在切片過程中固定晶片，在該切片過程中，在通過粘貼而固定半導(dǎo)體晶片期間切割成型的元件并分成小片，然后通過拾取方法自動(dòng)地回收該小元件；和用于半導(dǎo)體晶片等的表面保護(hù)片材，該保護(hù)片材用來(lái)在打磨半導(dǎo)體晶片背表面的過程中保護(hù)該半導(dǎo)體晶片的表面。作為輻射的能量射線，可以使用從各種能量射線產(chǎn)生器件產(chǎn)生的能量射線。例如，作為紫外線，通常使用從紫外線燈輻射的紫外線。作為紫外線燈，紫外線燈例如高壓汞燈、FusionH燈和氙燈，它們可以產(chǎn)生光譜分布在300-400nm的波長(zhǎng)區(qū)內(nèi)的紫外線。通常，輻射的量?jī)?yōu)選是50-3，000mJ/cm2。具體實(shí)施方式實(shí)施例下文中，將參照實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行具體描述。然而，本發(fā)明完全不受這些實(shí)施例限制。(實(shí)施例1)(1)碳納米管的分散液的制備將多層碳納米管(由IRDINE謹(jǐn)0TEC畫L0GYCORPORATION制造的商品名"CVD-MWNTCM-95"的產(chǎn)品，圓柱形和中空纖維形狀，平均外圓周直徑為12nm，平均長(zhǎng)度15iam，平均長(zhǎng)度與平均外圓周直徑的比值為1250)和具有聚氧亞烷基基團(tuán)的非離子聚醚分散劑(由KyoeishaChemicalCo.,Ltd.制造的商品名"FL0WLENNC-500"的產(chǎn)品)按各自相同的量加入曱苯中，然后利用超聲洗滌機(jī)(42kHz,125W)施加超聲波振動(dòng)2小時(shí)而進(jìn)行分散以制備分散碳納米管的甲苯溶液，其中碳納米管和分散劑在該分散甲苯溶液中的濃度各自是2質(zhì)量％。通過使用掃描型電子顯微鏡(由HitachiHigh-TechnologiesCorporation制造的商品名"S-4700"的產(chǎn)品)各自按50,OOO放大率和15，000放大率觀察而測(cè)量平均外圓周直徑和平均長(zhǎng)度的值。(2)壓敏粘合劑組合物的制備如下制備混合物液體將10質(zhì)量份異氰酸酯基交聯(lián)劑(商品名"olibainBHS8515"，由TOYOINKMFG.CO.，LTD.制造，固體含量濃度37.5質(zhì)量％)、70質(zhì)量份作為含能量射線可聚合基團(tuán)的低聚物的氨基曱酸酯丙烯酸酯基低聚物(商品名"UV-2250EA"，由TheNipponSyntheticChemicalIndustryCo.，Ltd.制造，重均分子量10，000,固體含量濃度30質(zhì)量％)和1.0重量份作為光致聚合引發(fā)劑的2-曱基-1-[4-(曱基疏基)苯基]-2-嗎啉基(morphorino)丙烷-l-酮(商品名"IRGAC薩907",由CibaSpecialityChemicalsInc.制造)添加到100質(zhì)量份作為壓敏粘合劑的基礎(chǔ)樹脂的丙烯酸酯共聚物樹脂(丙烯酸正丁酯/丙烯酸的質(zhì)量比-90/10,重均分子量700,000,甲苯溶劑，固體含量濃度40質(zhì)量％)中。向所獲得的混合物液體中配制和混合170質(zhì)量份上述(1)中制備的分散碳納米管的曱苯溶液以制備壓敏粘合劑組合物。碳納米管的含量占?jí)好粽澈蟿┙M合物的固體含量的4.7質(zhì)量％。(3)壓敏粘合劑片的制備將上述(2)中制備的壓敏粘合劑組合物施加在由聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯樹脂組成的并且具有50jum的厚度的基片的一個(gè)表面上以形成干燥厚度為15jam的壓敏粘合劑層，然后千燥以制備壓敏粘合劑片。(實(shí)施例2)按與實(shí)施例1中描述的相同方法制備壓敏粘合劑組合物，不同之處在于配制和混合136質(zhì)量份上迷(1)中制備的分散碳納米管的甲苯溶液，而不是實(shí)施例1中配制量的分散碳納米管的甲苯溶液。碳納米管的含量占?jí)好粽澈蟿┙M合物的固體含量的3.8質(zhì)量％。此外，按與實(shí)施例1中描述的相同方法制備壓敏粘合劑片。(實(shí)施例3)按與實(shí)施例1中描述的相同方法制備壓敏粘合劑組合物，不同之處在于配制和混合102質(zhì)量份上述(1)中制備的分散碳納米管的曱苯溶液，而不是實(shí)施例1中的配制量的分散碳納米管的甲苯溶液。碳納米管的含量占?jí)好粽澈蟿┙M合物的固體含量的2.9質(zhì)量％。此外，按與實(shí)施例1中描述的相同方法制備壓敏粘合劑片。(實(shí)施例4)按與實(shí)施例1中描述的相同方法制備壓敏粘合劑組合物，不同之處在于配制和混合68質(zhì)量份上述(1)中制備的分散碳納米管的曱苯溶液，而不是實(shí)施例1中的配制量的分散碳納米管的甲苯溶液。碳納米管的含量占?jí)好粽澈蟿┙M合物的固體含量的2.0質(zhì)量％。此外，按與實(shí)施例1中描述的相同方法制備壓敏粘合劑片。(實(shí)施例5)按與實(shí)施例1中描述的相同方法制備壓敏粘合劑組合物，不同之處在于配制和混合257質(zhì)量份分散碳納米管的曱苯溶液，而不是實(shí)施例1中的配制量的分散碳納米管的甲苯溶液。碳納米管的含量占?jí)好粽澈蟿┙M合物的固體含量的6.8質(zhì)量％。此外，按與實(shí)施例1中描述的相同方法制備壓敏粘合劑片。(實(shí)施例6)按與實(shí)施例1中描述的相同方法制備壓敏粘合劑組合物，不同之處在于配制和混合370質(zhì)量份上述(1)中制備的分散碳納米管的甲苯溶液，而不是配制量的分散碳納米管的甲苯溶液。碳納米管的含量占?jí)好粽澈蟿┙M合物的固體含量的9.2質(zhì)量％。此外，按與實(shí)施例1中描述的相同方法制備壓敏粘合劑片。(對(duì)比例1)按與實(shí)施例1中描述的相同方法制備壓敏粘合劑組合物，不同之處在于沒有配制分散碳納米管的曱苯溶液。此外，按與實(shí)施例l中描述的相同方法制備壓敏粘合劑片。(對(duì)比例2)按與實(shí)施例1中描述的相同方法制備壓敏粘合劑組合物，不同之處在于不制備分散碳納米管的甲苯溶液，而是將5質(zhì)量份碳納米管直接地在壓敏粘合劑中配制。此外，按與實(shí)施例l中描述的相同方法制備壓敏粘合劑片。本發(fā)明實(shí)施例和對(duì)比例中制備的壓敏粘合劑片的分散性能、表面電阻率和起電電壓在表l中示出。本發(fā)明實(shí)施例和對(duì)比例中制備的壓敏粘合劑片的粘合強(qiáng)度在表2中示出。按以下方法測(cè)量分散性能、表面電阻率、起電電壓和粘合強(qiáng)度并進(jìn)行評(píng)價(jià)。(1)分散性能的評(píng)價(jià)通過視覺觀察尺寸為300mm和200腿的壓敏粘合劑片。通過以下標(biāo)準(zhǔn)評(píng)價(jià)分散性能。好沒有觀察到碳納米管的聚集。差觀察到碳納米管的聚集。(2)起電電壓的測(cè)量將尺寸為40mm和40mm的壓敏粘合劑片安置在電衰減測(cè)量?jī)x(商品名"STATICHONESTMER"，由SHISHID0CompanyCo.,Ltd.制造)上，并在1,300rpm下旋轉(zhuǎn)。在旋轉(zhuǎn)期間，在該壓敏粘合劑的表面上施加10kV的電壓。在60秒之后，測(cè)量起電電壓。將測(cè)量值作為在紫外線輻射之前的起電電壓。通過使用皮帶傳送器型紫外線輻射裝置在10m/min的傳送器速度的條件下，用紫外線從基片的表面輻射類似的壓敏粘合劑片10次(l，OOOmJ/cm2的總光量)，該紫外線輻射裝置裝配有一個(gè)240W/cm的具有fusionH電子管的燈。在紫外線的輻射之后，按上述相同的方法測(cè)量壓敏粘合劑片的起電電壓。(3)表面電阻率的測(cè)量將尺寸為100mm和100mm的壓敏粘合劑片安置在電阻測(cè)量計(jì)(商品名"R8252ELECTROMETER",由ADVANTESTCORPORATION制造)上，并測(cè)量該壓敏粘合劑片的壓敏粘合劑表面上的表面電阻率。將測(cè)量值作為在紫外線輻射之前的表面電阻率。通過使用皮帶傳送器型紫外線輻射裝置在10m/min的傳送器速度的條件下，用紫外線從基片的表面輻射類似的壓敏粘合劑片10次(l，OOOmJ/cm2的總光量)，該紫外線輻射裝置裝配有一個(gè)2術(shù)/cm的具有fusionH電子管的燈。在紫外線的輻射之后，按上述相同的方法測(cè)量壓敏粘合劑片的表面電阻率。表l<table>tableseeoriginaldocumentpage18</column></row><table>分散性能表面電阻率(Q/口)起電電壓(kV)(4)粘合強(qiáng)度的測(cè)量將上述實(shí)施例和對(duì)比例中制備的壓敏粘合劑片粘在直徑8英寸和厚度600ym的硅晶片的表面(鏡面)上。并且根據(jù)JISZ0237測(cè)量180度剝離的粘合強(qiáng)度(在UV輻射之前的粘合強(qiáng)度)。通過類似的方法，將壓敏粘合劑片粘在硅晶片上。然后，通過使用皮帶傳送器型紫外線輻射裝置在10m/min的傳送器速度的條件下，用紫外線從基片的表面輻射該壓敏粘合劑片(l，OOOmJ/cm2的總光量)，該紫外線輻射裝置裝配有一個(gè)240W/cm的具有fusionH電子管的燈。在紫外線的輻射之后，讓該壓敏粘合劑片靜置30分鐘。然后，根據(jù)JISZ0237測(cè)量180度剝離的粘合強(qiáng)度(在UV輻射之后的粘合強(qiáng)度)。(5)晶片切片試驗(yàn)將上述實(shí)施例1-6中制備的壓敏粘合劑片粘在直徑8英寸和厚度350ium的硅晶片的背表面上，然后，按以下條件進(jìn)行晶片的切片。在切片之后，通過使用皮帶傳送器型紫外線輻射裝置在10m/min的傳送器速度的條件下，用紫外線從基片的表面輻射該壓敏粘合劑片(i，ooomJ/cii^的總光量)，該紫外線輻射裝置裝配有一個(gè)240W/cm的具有fusionH電子管的燈。在紫外線的輻射之后，拾取通過切片獲得的芯片。所有壓敏粘合劑片不導(dǎo)致芯片在切片過程中飛起并且能保持和固定晶片和芯片。此外，在紫外線輻射之后，能容易地拾取芯片。切片條件裝置商品名"AWD-4008B"，由TOKYOSEIMISTUCO.，LTD.制造。切片刀片商品名"NBC-ZH20502HECC"，由DISCOCorporation制造刀片的旋轉(zhuǎn)數(shù)30，000rpm切片速度100mm/sec切片尺寸(芯片尺寸)10nun和10mm切割模式下切表2<table>tableseeoriginaldocumentpage20</column></row><table>本發(fā)明的壓敏粘合劑組合物在抗靜電性能或?qū)щ娦阅芊矫鎯?yōu)異并因此可以用于其中要求抗靜電性能或?qū)щ娦阅艿母鞣N用途。此外，本發(fā)明的壓敏粘合劑片可以用于其中要求抗靜電性能或?qū)щ娦阅艿母鞣N用途，并且尤其可以優(yōu)選用作半導(dǎo)體晶片等的切片片材和半導(dǎo)體晶片等的表面保護(hù)片材。權(quán)利要求1.壓敏粘合劑組合物，其包含壓敏粘合劑、碳納米材料和分散劑，該碳納米材料采用該分散劑分散在該壓敏粘合劑中。2.根據(jù)權(quán)利要求1的壓敏粘合劑組合物，其中該碳納米材料具有1-1，OOOnm的平均外圍尺寸和lOnm-100jam的平均長(zhǎng)度。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2的壓敏粘合劑組合物，其中該分散劑是具有醚骨架結(jié)構(gòu)的聚合物。4.根據(jù)權(quán)利要求1-3中任一項(xiàng)的壓敏粘合劑組合物，其中該壓敏粘合劑組合物進(jìn)一步包含含能量射線可聚合基團(tuán)的化合物。5.根據(jù)權(quán)利要求4的壓敏粘合劑組合物，其中該壓敏粘合劑組合物還包含光致聚合引發(fā)劑。6.根據(jù)權(quán)利要求1-5中任一項(xiàng)的壓敏粘合劑組合物，其中該碳納米材料占該壓敏粘合劑組合物的固體含量的0.05-15質(zhì)量％。7.壓敏粘合劑片，其包括基片和由根據(jù)權(quán)利要求l-6中任一項(xiàng)的壓敏粘合劑組合物組成的壓敏粘合劑層，該壓敏粘合劑層形成于該基片的一個(gè)表面或兩個(gè)表面上。8.根據(jù)權(quán)利要求7的壓敏粘合劑片，其中該壓敏粘合劑片是用于半導(dǎo)體晶片加工的壓敏粘合劑片。全文摘要本發(fā)明提供壓敏粘合劑組合物，其包含壓敏粘合劑、碳納米材料和分散劑，該碳納米材料采用該分散劑分散在該壓敏粘合劑中，和提供壓敏粘合劑片，其包括基片和由本發(fā)明的壓敏粘合劑組合物組成的壓敏粘合劑層，該壓敏粘合劑層形成于該基片的一個(gè)表面或兩個(gè)表面上。該壓敏粘合劑組合物和壓敏粘合劑片在抗靜電性能或?qū)щ娦阅芊矫鎯?yōu)異。文檔編號(hào)C09J9/00GK101525523SQ20091011859公開日2009年9月9日申請(qǐng)日期2009年3月4日優(yōu)先權(quán)日2008年3月4日發(fā)明者樫尾干廣,永繩智史申請(qǐng)人:琳得科株式會(huì)社