專利名稱：涂膠機和使用該涂膠機形成密封膠圖案的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于在基板上形成密封膠圖案的涂膠機以及使用 該涂膠機形成密封膠圖案的方法。
背景技術(shù)：
涂膠機是在制造多種平板顯示器(FPDs)的工藝中將密封膠(密封 劑)以預(yù)定圖案施加至基板，以便粘附或密封基板的裝置。
此類涂膠機包括托臺，其上安裝有基板；頭單元，其裝配有排出 密封膠的噴嘴；頭支承件，其支承頭單元；以及X軸驅(qū)動單元，其置于 頭單元和頭支承件之間，并沿頭支承件延伸的方向(X軸方向)移動頭 單元.該涂膠機設(shè)置有多個頭單元，這些頭單元在大面積的基板上同時 形成多個密封膠圖案，并因此提高了產(chǎn)量。
此類涂膠機在調(diào)節(jié)噴嘴和基板之間的間隙的同時，在基板上形成密 封膠圖案。為此，頭單元包括測量噴嘴和基板之間的間隙的激光位移傳 感器，以及沿Z軸方向、即豎直方向移動噴嘴和激光位移傳感器的Z 軸驅(qū)動單元。此外，頭單元設(shè)置有截面積傳感器，該截面積傳感器測量
施加至基板的密封膠圖案的截面積，從而檢查密封膠圖案的有缺陷部 分。
激光位移傳感器包括發(fā)射激光的發(fā)射部，以及與發(fā)射部隔開預(yù)定距 離并接收激光的接收部。激光位移傳感器將對應(yīng)于從發(fā)射部發(fā)射并在基 板上反射的激光的圖像形成位置而產(chǎn)生的電信號輸出至控制單元，從而 測量基板和噴嘴之間的間隙。
截面積傳感器將激光發(fā)射至形成在基板上的密封膠圖案，以掃描密 封膠圖案，并根據(jù)從反射的激光重新得到的數(shù)據(jù)測量密封膠圖案的截面 積?；谟山孛娣e傳感器測量到的截面積數(shù)據(jù)確定密封膠圖案是否有缺 陷。然而，常規(guī)涂膠機的問題在于每個截面積傳感器都具有不同的測量 基準，以致當(dāng)每個截面積傳感器測量均勻施加的密封膠圖案的截面積 時，按照截面積傳感器測量到不同的截面積。同樣，數(shù)值取決于截面積 傳感器而發(fā)生改變的原因是由于外部環(huán)境、諸如基板或玻璃的施加密封 膠的物體的種類、以及將截面積傳感器安裝至頭單元的過程中的誤差的 變化。
因此，常規(guī)涂膠機的問題在于每個截面積傳感器的測量值的差異可
導(dǎo)致生產(chǎn)FPDs的過程中的誤差。

發(fā)明內(nèi)容
因此，考慮到現(xiàn)有技術(shù)中出現(xiàn)的上述問題已經(jīng)作出本發(fā)明，且本發(fā) 明的目的是提供一種涂膠機和使用該涂膠機形成密封膠圖案的方法，其 中在由涂膠機施加密封膠之前或之后，使用提供用于密封膠圖案的截面 積的基準的基準單元校準安裝至頭單元的截面積傳感器，因此提高了截
面積傳感器的測量精度，從而防止生產(chǎn)有缺陷的產(chǎn)品。
為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種涂膠機，包括托臺，其上安 置有基板；頭單元，其包括用于排出密封膠的噴嘴和用于測量形成在基 板上的密封膠圖案的截面積的截面積傳感器；以及基準單元，其提供用 于密封膠圖案的截面積的基準，以便校準截面積傳感器。
基準單元可包括平板，以及施加至該板并具有預(yù)設(shè)截面積的至少一 個樣本?？蓪⒒鶞蕟卧陌鍢?gòu)造成安置在托臺上。
此外，為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種用于使用涂膠機形成密 封膠圖案的方法，該涂膠機具有托臺，其上安置有基板；頭單元，其 包括用于排出密封膠的噴嘴和用于測量形成在基板上的密封膠圖案的 截面積的截面積傳感器；以及基準單元，其提供用于密封膠圖案的截面 積的基準，以便校準截面積傳感器，該方法包括第一步驟，將用于基 準單元的密封膠圖案的截面積的基準與截面積的測量值進行對比，并檢 測測量誤差；以及第二步驟，使用在第一步驟檢測到的測量誤差校準截 面積傳感器。
基準單元可包括平板，以及施加至該板并具有預(yù)設(shè)截面積的至少一個樣本，并且第一步驟可包括(a)使用截面積傳感器測量樣本的截面 積，以及(b)將在(a)測量到的樣本的截面積與樣本的預(yù)設(shè)截面積進 行對比。
該方法可包括將樣本施加在其上的板安置在托臺上，并在執(zhí)行(a) 之前，將板或截面積傳感器中的至少一個移動至可測量的位置.
該方法可包括通過在已執(zhí)行笫二步驟之后再次執(zhí)行第一步驟以確 定是否校準截面積傳感器，以及在檢測到測量誤差時再次執(zhí)行第二步。


通過以下結(jié)合附圖進行的詳細說明，將更清楚地理解本發(fā)明的上述 和其它的目的、特征和優(yōu)點，附圖中
圖l是示出根據(jù)本發(fā)明的涂膠機的立體圖2是示出圖1的涂膠機的頭單元的立體圖3是示出圖1的涂膠機的截面積傳感器的示意圖4是示出圖1的涂膠機的基準單元的立體圖；以及
圖5是按順序示出校準根據(jù)本發(fā)明的涂膠機的截面積傳感器的方法 的流程圖。
具體實施例方式
在下文中，將參照附閨說明根據(jù)本發(fā)明的涂膠機和使用該涂膠機形 成密封膠圖案的方法。
圖l是示出根據(jù)本發(fā)明的涂膠機的立體圖，圖2是示出圖1的涂膠 機的頭單元的立體圖，圖3是示出圖1的涂膠機的截面積傳感器的示意 圖，以及圖4是示出圖1的涂膠機的基準單元的立體圖。
如圖1和圖2中所示，根據(jù)本發(fā)明的涂膠機包括底架10、托臺30、 一對線性(LM)導(dǎo)引件40、頭支承件50、多個頭單元60、 X軸驅(qū)動 單元70和控制單元(未示出)。托臺30緊固于底架10，并且托臺30上安置有基板20。 LM導(dǎo)引件40沿Y軸方向安裝在托臺30的兩側(cè)上。 將頭支承件50安裝成由這對LM導(dǎo)引件40支承并沿X軸方向延伸。 多個頭單元60安裝于頭支承件50。每個X軸驅(qū)動單元70的作用是， 除了沿布置有多個頭單元60的X軸方向水平移動頭單元60外，還將相 關(guān)的頭單元60安裝于頭支承件50?？刂茊卧刂祁^單元60和X軸驅(qū) 動單元70的操作。
可在底架10上設(shè)置第一驅(qū)動裝置(未示出)，以在底架10上前后 (Y軸方向，垂直于頭單元60的布置方向的方向)移動托臺30,并且 可在頭支承件50上設(shè)置第二驅(qū)動裝置59，以沿LM導(dǎo)引件40移動頭 支承件50。在基板20具有大面積的情況下，可安裝多個頭支承件50 以增加密封膠圖案形成過程的效率。
每個頭單元60包括填充有密封膠的注射器61、與注射器61連通并 排出密封膠的噴嘴62、放置成與噴嘴62相鄰并測量噴嘴62和基板20 之間的間隙的激光位移傳感器63、沿Y軸方向移動噴嘴62和激光位移 傳感器63的Y軸驅(qū)動單元64、以及沿Z軸方向移動噴嘴62和激光位 移傳感器63的Z軸驅(qū)動單元65。
激光位移傳感器63包括發(fā)射激光的發(fā)射部631，以及與發(fā)射部631 隔開預(yù)定距離并接收從基板20反射的激光的接收部632。激光位移傳感 器63將對應(yīng)于從發(fā)射部631發(fā)射、并在基板20上反射的激光的圖像形 成位置而產(chǎn)生的電信號輸出至控制單元，從而測量基板20和噴嘴62之 間的間隙。
此外，在每個頭單元60上可安裝截面積傳感器66，以測量施加至 基板20的密封膠圖案P的截面積。如圖3中所示，在截面積傳感器66 中，以在預(yù)定的角范圍內(nèi)上下移動并旋轉(zhuǎn)的方式設(shè)置有透鏡661。通過 將激光經(jīng)透鏡661連續(xù)發(fā)射至基板20，并掃描密封膠圖案P來測量密 封膠圖案P的截面積.由截面積傳感器66測量到的密封膠圖案P的截 面積數(shù)據(jù)用以確定密封膠圖案P是否有缺陷。
此外，根據(jù)本發(fā)明的涂膠機設(shè)置有基準單元卯，其提供用于密封膠 圖案P的基準，以便校準截面積傳感器66。如圖4中所示，基準單元 90包括平板91，以及至少一個樣本92,該樣本92以預(yù)定形式施加至板91，并具有預(yù)設(shè)為基準值的截面積。
因此，施加至基準單元卯的板91的樣本92充當(dāng)用于密封膠圖案P 的截面積的基準。樣本92的截面積由截面積傳感器66測量，并且將以 此方式測量到的截面積的數(shù)值與樣本92的預(yù)設(shè)截面積的基準值進行對 比。通過該過程，確定截面積傳感器66正在測量的截面積是否準確。 如果由截面積傳感器66測量到的截面積的數(shù)值與樣本92的預(yù)設(shè)截面積 的基準值不同，則校準截面積傳感器66。
優(yōu)選地，基準單元90的板91安置在托臺30上，從而不通過使用 輔助裝置，而是通過將基準單元卯直接安裝于涂膠機來校準截面積傳 感器66。但是，本發(fā)明并不限于上述結(jié)構(gòu)，而且可使用本發(fā)明的基準單 元卯安裝于其上的輔助裝置來校準截面積傳感器66。為此，基準單元 90的板91可具有適用于校準裝置的結(jié)構(gòu)。同時，板91的形狀和材料可 與基板20的相同，以便提供與實際工藝中存在的條件相同的條件.此 外，基準單元卯可以與涂膠機以可拆卸方式集成。
優(yōu)選的是，基準單元卯設(shè)置有多個樣本92，以便使用一個基準單 元90同時校準多個截面積傳感器66。此外，基準單元90根據(jù)可施加至 基板20的每個密封膠圖案P的截面積設(shè)置有多個樣本92,從而不論何 時改變施加至涂膠機的密封膠圖案P的截面積，都消除了用另一個基準 單元代替基準單元卯的必要性。當(dāng)然，本發(fā)明并不限制基準單元90的 樣本92的數(shù)目，并且可按需設(shè)置適當(dāng)數(shù)目的樣本92，即一個或多個。 在將樣本92施加至板91后，使用用于測量截面積的傳感器或其它測量 裝置來測量截面積，并且所測量的樣本92的截面積充當(dāng)用于基準單元 卯的截面積的基準值。同時，樣本92可由與施加至基板20的密封膠相 同的材料制成，以提供與真實過程的條件相同的條件。
同樣，根據(jù)本發(fā)明的涂膠機使用截面積傳感器66掃描施加至基準 單元90的樣本92，以測量樣本92的截面積。將由截面積傳感器66測 量到的截面積的數(shù)值與基準值進行對比，該基準值為樣本92的真實的 截面積。當(dāng)測量誤差出現(xiàn)時，可用該測量誤差校準截面積傳感器66，從 而提高截面積傳感器66的精度。
在下文中，將參照圖5說明如上所述構(gòu)造的根據(jù)本發(fā)明的涂膠機的操作和效果。圖5是按順序示出校準根據(jù)本發(fā)明的涂膠機的截面積傳感 器的方法的流程圖。
首先，通過在沿X軸或Y軸方向水平移動每個頭單元60的同時， 經(jīng)噴嘴62將注射器61內(nèi)部的密封膠排出至基板20來執(zhí)行將密封膠施 加至基板20的過程。此時，基于通過激光位移傳感器63測量到的基板 20和噴嘴62之間的間隙數(shù)據(jù)，沿Z軸方向移動噴嘴62，從而保持基板 20和噴嘴62之間的間隙恒定。
此外，截面積傳感器66測量在基板20上形成的密封膠圖案的截面 積。由截面積傳感器66測量到的密封膠圖案的截面積數(shù)據(jù)用以確定密 封膠圖案是否有缺陷。
此處，如上所述，截面積傳感器66的測量值可依賴于密封膠施加 于其上的物體的種類或外部環(huán)境而改變。因此，在將密封膠施加至基板 20之前或之后，可執(zhí)行確定截面積傳感器66是否準確地進行測量的步 驟。如果測量值具有測量誤差，則執(zhí)行校準截面積傳感器66的步驟。
即，將具有相關(guān)的截面積的數(shù)值的樣本92施加至基準單元90的板 91，并且使用能夠測量準確值的傳感器或其它截面積測量裝置測量每個 樣本92的截面積。以此方式測量到的樣本92的截面積充當(dāng)用于校準截 面積傳感器66的基準。
此外，在將基準單元卯安置到托臺30上之后，移動頭單元60以 使截面積傳感器66位于基準單元90的樣本92處，或者移動托臺30或 基準單元90以使樣本92位于截面積傳感器66處。在此狀態(tài)下，由截 面積傳感器66測量樣本92的截面積。此時，在步驟SIO，當(dāng)具有不同 截面積的多個樣本92設(shè)置在基準單元90的板91上時，由截面積傳感 器66測量具有實際施加至基板20的尺寸的截面積的樣本92。
接下來，在步驟S20，致動截面積傳感器66以測量樣本92的截面 積。進一步地，在步驟S30，在截面積傳感器66測量樣本92的截面積 之后，控制單元將由截面積傳感器66測量到的截面積的數(shù)值與相關(guān)樣 本92的實際截面積的基準值進行對比。在步稞S40,確定截面積傳感 器66是否準確地測量了樣本92的截面積，即測量值和基準值之間是否 存在測量誤差。在步驟S50，當(dāng)截面積傳感器66并未測量到樣本92的準確截面積 時，即，當(dāng)測量誤差出現(xiàn)時，校準截面積傳感器66。此時，在步驟S20， 在校準截面積傳感器66之后，再次測量樣本92以確定截面積傳感器66 測量的截面積是否準確。在步驟S30將測量值和基準值互相對比，并且 在步驟S40確定測量誤差是否再次出現(xiàn)。
此外，當(dāng)截面積傳感器66測量到準確值時，或者準確校準截面積 傳感器66的測量誤差時，從托臺30移除基準單元卯，并且將基板20 安置在托臺30上，然后在步驟S60將密封膠圖案施加至基板20。同時， 如果基準單元卯固定于涂膠機，則可省略從托臺30移除基準單元90 的步驟.
如上所述構(gòu)造和操作的根據(jù)本發(fā)明的涂膠機設(shè)置有基準單元90，其 校準截面積傳感器66,因此當(dāng)截面積傳感器66的測量基準由于外部環(huán) 境或密封膠施加于其上的物體的種類而改變時，使截面積傳感器66測 量到準確值，從而防止生產(chǎn)有缺陷的產(chǎn)品，并增加了產(chǎn)品的產(chǎn)量。
如上所述，本發(fā)明提供一種涂膠機，其使用基準單元校準每個截面 積傳感器，因此不論外部環(huán)境或密封膠施加于其上的物體的種類變化如 何，都使得能夠從所有截面積傳感器獲得一致的測量值。
因此，根據(jù)本發(fā)明的涂膠機使得由截面積傳感器測量到的截面積能 夠?qū)?yīng)于實際施加至基板的密封膠圖案的截面積，從而防止生產(chǎn)有缺陷 的產(chǎn)品，并增加了產(chǎn)品的產(chǎn)量。
于此說明的本發(fā)明的實施方式可單獨實施或互相結(jié)合。盡管已出于 說明性的目的而公開本發(fā)明的優(yōu)選實施方式，但是本領(lǐng)域的技術(shù)人員將 理解，在不背離在所附權(quán)利要求中所公開的本發(fā)明的范圍和精神的前提 下，多種改型、增加和替代是可能的。
權(quán)利要求
1.一種涂膠機，包括托臺，所述托臺上安置有基板；頭單元，其包括用于排出密封膠的噴嘴，以及用于測量形成在所述基板上的密封膠圖案的截面積的截面積傳感器；以及基準單元，其提供用于所述密封膠圖案的截面積的基準，以便校準所述截面積傳感器。
2. 如權(quán)利要求l所述的涂膠機，其中，所述基準單元包括 板；以及施加至所述板并具有預(yù)設(shè)截面積的至少 一個樣本。
3. 如權(quán)利要求2所述的涂膠機，其中，將所述基準單元構(gòu)造成安置 在所述托臺上。
4. 如權(quán)利要求3所述的涂膠機，其中，所述基準單元與所述涂膠機 以可拆卸方式集成。
5. —種使用涂膠機形成密封膠圖案的方法，所述涂膠機具有其上安 置有基板的托臺、包括用于排出密封膠的噴嘴和用于測量形成在所述基 板上的密封膠圖案的截面積的截面積傳感器的頭單元、以及提供用于所 述密封膠圖案的截面積的基準以便校準所述截面積傳感器的基準單元， 所述方法包括第一步驟，將用于所述基準單元的密封膠圖案的截面積的所述基準 與所述截面積傳感器的測量值進行對比，并檢測測量誤差；以及第二步驟，使用在所述第一步驟檢測到的所述測量誤差校準所述截 面積、傳感器。
6. 如權(quán)利要求5所述的方法，其中，所述基準單元包括板，以及施 加至所述板并具有預(yù)設(shè)截面積的至少一個樣本，并且所述第一步驟包 括(a) 使用所述截面積傳感器測量所述樣本的截面積；以及(b) 將在(a)測量到的所述樣本的截面積與所述樣本的預(yù)設(shè)截面 積進行對比。
7. 如權(quán)利要求6所述的方法，包括 將所述樣本施加于其上的所述板安置在所述托臺上；以及 在執(zhí)行(a)之前，將所述板或所述截面積傳感器中的至少一個移動至可測量的位置。
8. 如權(quán)利要求6或7所述的方法，包括通過在已經(jīng)執(zhí)行所述第二步驟之后再次執(zhí)行所述第一步驟以確定 是否校準所述截面積傳感器，以及在檢測到測量誤差時，再次執(zhí)行所述 第二步驟。
全文摘要
于此公開的是一種涂膠機。該涂膠機使用提供用于密封膠圖案的基準的基準單元校準安裝至頭單元的截面積傳感器，因此提高了截面積傳感器的測量精度，從而防止生產(chǎn)有缺陷的產(chǎn)品。
文檔編號B05C5/00GK101642744SQ20091016094
公開日2010年2月10日 申請日期2009年7月31日 優(yōu)先權(quán)日2008年8月8日
發(fā)明者南嬉禎 申請人:塔工程有限公司