專利名稱：液體自動(dòng)供給機(jī)構(gòu)和具備其的涂布裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種能夠防止在液體中混入氣泡或顆粒的液體自動(dòng)供給機(jī)構(gòu)和具備其的涂布裝置。
背景技術(shù)：
在制造液晶顯示器的エ序中，存在使兩塊相対的基板貼合并在其間形成液晶層的嵌板エ序(也稱為單元エ序)。特別是在制造大型的面板時(shí)，進(jìn)行在將液晶滴下到貼合前的ー個(gè)基板之后進(jìn)行貼合的滴下注入法。在滴下注入法中，為了將液晶滴下到基板，使用了這樣的裝置，即具有貯存液晶的容器，并通過氣體壓力或機(jī)械的壓力的作用從設(shè)置在該容器的噴嘴每次按規(guī)定量進(jìn)行吐出的分配器。近年來，伴隨著液晶顯示器的大型化，成為其基礎(chǔ)的基板也正在大型化。若基板大型化，則由于液晶的使用量也増加，因此以往在分配器所使用的那樣的小的貯存容器(注射器)中變得難以應(yīng)對(duì)。原因在于，在小的貯存容器中液晶馬上用完，要頻繁地更換容器等，因此，在生產(chǎn)性、作業(yè)性方面效率會(huì)降低。另外，在更換貯存容器之時(shí)，也有混入氣泡或異物(以下，稱為“顆粒”)的擔(dān)憂。對(duì)此，進(jìn)行各種嘗試:通過在裝置外設(shè)置大型的罐，并從那里供給液體材料來解決這些問題。例如，在專利文獻(xiàn)I中，公開了液滴吐出裝置，其特征在于，具備裝置主體、可載置エ件的載置部、具有對(duì)エ件吐出液滴的多個(gè)液滴吐出頭部的頭部單元、支承頭部單元的頭部単元支承體、使エ件載置部與頭部單元支承體相對(duì)移動(dòng)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)、貯存從各液滴吐出頭部吐出的吐出液井能夠進(jìn)行更換和/或吐出液的補(bǔ)充的具有至少ー個(gè)一次罐的一次罐系統(tǒng)、相對(duì)于頭部単元支承體固定地設(shè)置并從一次罐流入吐出液的二次罐、連接一次罐系統(tǒng)與二次罐并從一次罐系統(tǒng)向二次罐供給吐出液的一次流路、以及連接二次罐與頭部単元并從二次罐分別向各液滴吐出頭部供給吐出液的多條二次流路，一次流路的條數(shù)比二次流路的條數(shù)少。另外，在專利文獻(xiàn)2中，公開了液晶滴下裝置，其特征在于，被構(gòu)成為，包含:基板所位于的工作臺(tái)、以能夠?qū)⒁壕У蜗禄蛲坎嫉交宓姆绞骄邆渥⑸淦骱蛧娮斓姆峙淦黝^部、配備在工作臺(tái)的周邊來支承分配器頭部的頭部支承構(gòu)件、將滴下或涂布到基板的液晶供給至分配器頭部的注射器的供給線路、連結(jié)于分配器頭部的注射器的供需線路、以及在供給線路與供需線路的連接部配備在任ー側(cè)且防止這些線路相互連結(jié)或分離時(shí)異質(zhì)物流入的異質(zhì)物防止蓋，通過頭部支承構(gòu)件和分配器頭部從工作臺(tái)的上部分離而移動(dòng)至供給線路所位于的ー側(cè)，從而供需線路連結(jié)于供給線路井能夠從液晶供給器將液晶填充至注射器?，F(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)
專利文獻(xiàn)1:日本特開2004-167430號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2:日本特開2009-172585號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明所要解決的技術(shù)問題然而，在文獻(xiàn)I的裝置中，液體供給流路(管)從罐連接至頭部，因而氣泡或顆粒難以混入到液體中，另ー方面，頭部相對(duì)移動(dòng)時(shí)管也一起移動(dòng)，因此，必須預(yù)測(cè)移動(dòng)范圍而延長(zhǎng)管，并保持余量來配設(shè)。另外，頭部相對(duì)移動(dòng)時(shí)管也一起移動(dòng)也會(huì)成為管加速劣化的原因。另外，在文獻(xiàn)2的裝置中，以在配管的中途能夠分離 連結(jié)的方式構(gòu)成，因而沒有液體供給流路(管)所涉及的上述問題，另一方面，存在這樣的技術(shù)問題:由于成為在連結(jié)部接觸的機(jī)構(gòu)，因而成為在該部分摩擦而產(chǎn)生顆粒的原因。而且，構(gòu)成異質(zhì)物防止蓋的鉸鏈或凸輪等部件自身在動(dòng)作部分摩擦也會(huì)成為顆粒產(chǎn)生的原因。此外，在文獻(xiàn)2的裝置中，存在這樣的技術(shù)問題:在連結(jié)部中，成為將液體從上直接注入到注射器的機(jī)構(gòu)，因而從上注入的液體敲打積存在下方的液體的液面，此時(shí)氣泡會(huì)混入。因此，本發(fā)明的目的在于，提供一種解決上述技術(shù)問題的液體自動(dòng)供給機(jī)構(gòu)和具備其的涂布裝置。解決技術(shù)問題的技術(shù)手段發(fā)明人為了消除因暫時(shí)或一直物理地連接液體材料貯存部和吐出裝置而引起的弊病，采用了使液體材料貯存部與吐出裝置一直分離的結(jié)構(gòu)。此外，可以提供ー種通過設(shè)置消除由使液體材料貯存部與吐出裝置一直分離而產(chǎn)生的氣泡的弊病的氣泡除去機(jī)構(gòu)來使氣泡不流入到吐出裝置的液體自動(dòng)供給機(jī)構(gòu)和具備其的涂布裝置。S卩，第I發(fā)明涉及ー種液體自動(dòng)供給機(jī)構(gòu)，其特征在于，具備:貯存液體材料的液體貯存部；具有供給貯存在液體貯存部的液體材料的供給ロ的供給部；具有接受從供給部排出的液體材料的接受口和氣泡除去機(jī)構(gòu)的接受部；以及使接受部移動(dòng)的接受部驅(qū)動(dòng)裝置，接受部移動(dòng)至接受ロ位于供給ロ的正下方的接受位置，從供給ロ接受液體材料的滴下供給，并將氣泡被氣泡除去機(jī)構(gòu)除去了的液體材料供給吐出裝置。第2發(fā)明，其特征在于，在第I發(fā)明中，氣泡除去機(jī)構(gòu)具備:貯存液體材料的氣泡除去用容器、一端浸潰于貯存在氣泡除去用容器的液體內(nèi)且另一端與接受ロ連通的流入管、以及一端浸潰于貯存在氣泡除去用容器的液體內(nèi)且另一端與吐出裝置連通的流出管。 第3發(fā)明，其特征在于，在第2發(fā)明中，氣泡除去機(jī)構(gòu)具備:對(duì)氣泡除去用容器減壓的泵裝置、以及一端連接于泵裝置且另一端配置在氣泡除去用容器內(nèi)的空間的工作氣體供給管。第4發(fā)明，其特征在于，在第2或第3發(fā)明中，具備檢測(cè)液體貯存部和/或氣泡除去用容器內(nèi)的液體材料的量的檢測(cè)裝置。第5發(fā)明，其特征在干，在第I 4中的任ー個(gè)發(fā)明中，接受ロ具有擴(kuò)徑的開ロ，且是能夠暫時(shí)貯存一定量的液體材料的形狀。第6發(fā)明，其特征在于，在第I 5中的任一個(gè)發(fā)明中，具備在處于供給ロ的正下方的第I位置以及與第I位置不同的第2位置進(jìn)退移動(dòng)的液體材料接受構(gòu)件。第7發(fā)明，其特征在于，在第I 6中的任一個(gè)發(fā)明中，具備控制從液體貯存部向供給部的液體材料的供給量的夾管閥和/或控制從接受部向吐出裝置的液體材料的供給
量的夾管閥。第8發(fā)明涉及一種涂布裝置，其特征在于，具備:配設(shè)有保持エ件的工作臺(tái)的架臺(tái)；具有吐出液體材料的噴嘴的吐出裝置；使吐出裝置與工作臺(tái)相對(duì)移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)裝置；以及第I 7中的任一個(gè)發(fā)明所涉及的液體自動(dòng)供給機(jī)構(gòu)。第9發(fā)明，其特征在于，在第8發(fā)明中，具備配設(shè)有多個(gè)吐出裝置的梁、以及使各吐出裝置沿著梁的延伸設(shè)置方向自由移動(dòng)的吐出部驅(qū)動(dòng)裝置，所述接受部與吐出裝置設(shè)置相同數(shù)量。第10發(fā)明，其特征在于，在第9發(fā)明中，所述供給部配設(shè)有多個(gè)。第11發(fā)明，其特征在于，在第8 10中的任一個(gè)發(fā)明中，具備覆蓋工作臺(tái)和吐出裝置的蓋體。第12發(fā)明，其特征在干，在第11發(fā)明中，所述液體貯存部配設(shè)在所述蓋體的外側(cè)。發(fā)明的效果根據(jù)本發(fā)明，由于不需要將液體材料貯存部與吐出裝置物理連接，且未配設(shè)有伴隨著吐出裝置的移動(dòng)形狀可變的液體供給流路(管)，因此，能夠消除配設(shè)液體供給流路時(shí)的空間的問題或液體供給流路的劣化的問題。另外，由于不使液體材料貯存部側(cè)與吐出裝置側(cè)接觸而供給液體材料，因此，能夠有效地防止顆粒的產(chǎn)生和混入。此外，由于設(shè)置氣泡除去機(jī)構(gòu)，因此，能夠防止氣泡流入到吐出裝置。


圖1是說明本發(fā)明所涉及的液體自動(dòng)供給機(jī)構(gòu)的示意圖。圖2是具備實(shí)施例所涉及的液體自動(dòng)供給機(jī)構(gòu)的涂布裝置的概略立體圖。圖3是放大了實(shí)施例所涉及的液體自動(dòng)供給機(jī)構(gòu)的主要部分的放大圖。圖4是表示實(shí)施例所涉及的氣泡除去機(jī)構(gòu)的其他方式的側(cè)面圖。符號(hào)的說明1:液體自動(dòng)供給機(jī)構(gòu)、2:供給部、3:接受部、4:罐(液體材料貯存部)、5:壓縮氣體供給管、6:液體送出管、7:檢測(cè)裝置、8:配管、9:閥A、10:閥B、ll:閥C、12:供給ロ、13:供給管、14:支承構(gòu)件、15:擋板(shutter)、16:接受ロ、17:漏斗、18:瓶(氣泡除去用容器)、19:流入管、20:流出管、21:工作氣體供給管、22:上限傳感器、23:下限傳感器、24:吐出裝置、25:涂布裝置、26:液體材料、27:涂布對(duì)象物(エ件)、28:工作臺(tái)、29:架臺(tái)、30:梁、31:梁移動(dòng)方向、32:吐出裝置移動(dòng)方向、33:蓋體、34:空氣潔凈裝置、35:活塞、36:計(jì)量部、37:切換閥、38:噴嘴、39:吐出ロ、40:流入ロ、41:氣泡除去機(jī)構(gòu)、42:顆粒、43:接受部驅(qū)動(dòng)裝置(X驅(qū)動(dòng)裝置)、44:梁驅(qū)動(dòng)裝置(Y驅(qū)動(dòng)裝置)
具體實(shí)施例方式以下，說明用于實(shí)施本發(fā)明的ー個(gè)方式。
圖1表示說明本發(fā)明所涉及的液體自動(dòng)供給機(jī)構(gòu)的示意圖。在同圖中，涂黑的箭頭表示液體的流動(dòng)，空白的箭頭表示氣體的流動(dòng)。液體自動(dòng)供給機(jī)構(gòu)I以貯存液體材料26的容量大的罐(液體材料貯存部)4、具備排出從罐4送出的液體材料26的供給ロ 12的供給部2、在吐出裝置24上部與吐出裝置24一體地設(shè)置并接受從供給部2排出的液體材料26的接受部3、以及使接受部3移動(dòng)的接受部驅(qū)動(dòng)裝置為主要的構(gòu)成要素。在這些當(dāng)中，從罐4至供給部2用配管8A連結(jié)，從接受部3至吐出裝置24用配管8B、8C連結(jié)。供給部2與接受部3之間以擋板(shutter) 15能夠自由地通過的程度分離。另外，在罐4與供給部2的途中的配管8A，控制向供給部2的流動(dòng)的閥A9設(shè)置在供給部2附近，在罐4，設(shè)置有用于檢測(cè)罐4內(nèi)的液體材料26的余量的檢測(cè)裝置7。通過設(shè)置檢測(cè)裝置7，能夠在液體材料26低于規(guī)定量時(shí)基于來自檢測(cè)裝置7的信號(hào)發(fā)出警報(bào)。這里，作為檢測(cè)裝置7，可以使用例如按重量進(jìn)行檢測(cè)的稱量単元等。除此以外，也可以使用用超聲波檢測(cè)液面的超聲波傳感器、依照光量的不同檢測(cè)液體的有無的光傳感
輿坐-nfr サ o在供給部2，設(shè)置有具備將從罐4送來的液體材料26排出的供給ロ 12的供給管
13。供給管13在排出側(cè)端向下彎曲，將液體材料26垂直地供給(滴下供給)至接受部3。供給部2與接受部3不用配管連結(jié)，不會(huì)有供給部2下降或者接受部3上升。g卩，不將供給ロ 12連接接受ロ 16，從分離的位置在非接觸狀態(tài)下供給液體材料，由此防止顆粒的產(chǎn)生自身，并防止顆?；烊氲揭后w材料26。另外，在供給管13下方，具備在從供給ロ 12垂下多余的液體材料26時(shí)用于接受其的擋板15。擋板15具有上面開ロ的貯存用凹部，并且沿著水平方向進(jìn)行滑動(dòng)動(dòng)作，在供給時(shí)以外，位于供給ロ 12的正下方。另外，擋板15不與供給ロ12和接受ロ 16接觸。這與上述同樣，也是為了不產(chǎn)生顆粒。接受部3配設(shè)有具有接受從供給部2供給的液體材料26的接受ロ 16的漏斗17、暫時(shí)收集所供給的液體材料26并進(jìn)行氣泡除去的氣泡除去用瓶18、以及控制液體的流動(dòng)的閥BlO和閥C11，并分別用配管8連結(jié)。對(duì)于閥A C而言，考慮到維護(hù)性，優(yōu)選使用通過將配管夾入而使配管彈性變形來進(jìn)行流路的開閉的夾管閥(pinch valve)。由于夾管閥的閥自身不接觸液體，因此進(jìn)行配管的更換等時(shí)容易進(jìn)行作業(yè)。另外，也不會(huì)混入有時(shí)由閥動(dòng)作而產(chǎn)生的顆粒。這里，閥BlO控制向瓶18的流入，閥Cll控制從瓶18的流出。從漏斗17向瓶18的液體材料26的流入經(jīng)流入管19而進(jìn)行，從瓶18向吐出裝置24的液體材料26的送出經(jīng)流出管20而進(jìn)行。另外，由于將漏斗17配設(shè)在比瓶18更高的位置，因此液體材料26即使不借助壓カ等也能自然地流下，能夠收集在比罐4容量小的瓶(氣泡除去用容器)18。氣泡除去用的瓶18與連接于工作氣體供給管21的加減壓泵(未圖示)一起構(gòu)成氣泡除去機(jī)構(gòu)41。加減壓泵供給在從瓶18向吐出裝置24送出液體材料26時(shí)作用的壓縮氣體、以及在除去瓶?jī)?nèi)18內(nèi)的液體材料26的氣泡時(shí)作用的真空。加減壓泵也可以兼用作用于在工作臺(tái)上吸附エ件的真空源。另外，在能夠通過吐出裝置側(cè)的吸引機(jī)構(gòu)(例如活塞)吸引瓶18內(nèi)的液體材料的情況下，也可以替代加減壓泵而使用減壓泵。瓶18由玻璃或硬質(zhì)的樹脂等透明材質(zhì)制作，能夠確認(rèn)內(nèi)部所裝滿的液體材料的液面位置或氣泡混入狀況。另夕卜，在瓶18的外側(cè)面附近，檢測(cè)瓶18內(nèi)的液面的傳感器設(shè)置在上限位置(符號(hào)22)和下限位置(符號(hào)23)。這里，作為傳感器，可以使用依照光量的不同來檢測(cè)液體的有無的光傳感器等。如后述那樣，在連接于瓶18的各種管的關(guān)系上，優(yōu)選液面的位置被正確地捕捉。接受部3通過接受部驅(qū)動(dòng)裝置能夠沿著水平方向移動(dòng)，并且能夠取得接受ロ 16的中央位于供給ロ 12的正下方的供給位置。在接受部3的下方，配設(shè)有吐出裝置24，用配管8C與接受部3連結(jié)。吐出裝置24被供給在接受部3氣泡被除去了的液體材料26，由噴嘴38進(jìn)行液體材料26的吐出。接著,針對(duì)上述為止的液體自動(dòng)供給機(jī)構(gòu)I如何工作進(jìn)行說明。首先，將液體材料26填充至罐4，連接壓縮氣體供給管5和液體送出管6(步驟I )。也可以不直接向罐4填充液體材料26，而是設(shè)置已填充了液體材料26的罐4。接著，向罐4供給壓縮氣體來進(jìn)行加壓(步驟2)。此時(shí)，閥A9關(guān)閉。然后，使接受部3和吐出裝置24向供給部2之下的供給位置移動(dòng)(步驟3)。移動(dòng)后，使擋板15后退，打開閥A9 (步驟4)。于是，從供給ロ 12排出液體材料26，經(jīng)接受部3的接受ロ 16注入到漏斗17(步驟5)。此時(shí)，閥BlO和閥Cll打開。其后，液體材料26通過閥B10，從流入管19流入到瓶18 (步驟6)。這里，如上述那樣，液體材料26自然流下，但若關(guān)閉閥C11，對(duì)瓶18內(nèi)吸真空，則能夠加快供給速度。接著，如果瓶18內(nèi)的液體材料26到達(dá)上限傳感器22位置，則關(guān)閉閥A9、閥BlO和閥C11，使擋板15進(jìn)入，并將向罐4的加壓設(shè)為關(guān)閉(OFF)(步驟7)。然后，由工作氣體供給管21進(jìn)行吸真空，進(jìn)行瓶18內(nèi)的液體材料26的氣泡除去(步驟8)。氣泡除去結(jié)束后，這一次由工作氣體供給管21供給壓縮氣體來進(jìn)行加壓(步驟9)。接著，打開閥Cl I，使瓶18內(nèi)的液體材料26從流出管20向吐出裝置24送出(步驟10)。如果在吐出裝置24的液體材料26的填充完成，則關(guān)閉閥C11，并將對(duì)瓶18的加壓設(shè)為關(guān)閉(步驟11)。然后，通過吐出裝置24進(jìn)行吐出執(zhí)行(步驟12)。此時(shí)，直到瓶18內(nèi)的液體材料26達(dá)到下限傳感器23位置為止，在吐出裝置24內(nèi)的液體材料26變少時(shí)重復(fù)上述步驟9到步驟11，向吐出裝置24填充液體材料26。另外，如果瓶18內(nèi)的液體材料26到達(dá)下限傳感器23位置，則再次執(zhí)行上述步驟2到步驟8，將液體材料26供給至接受部3(步驟13)。罐4內(nèi)的液體殘余量的管理由檢測(cè)裝置7進(jìn)行。罐4的液體材料26的補(bǔ)充如果是在供給動(dòng)作時(shí)以外則可以進(jìn)行。如以上所述，即使不連結(jié)配管8而從上垂直地供給，由于暫且在接受部3的瓶18進(jìn)行氣泡除去后向吐出裝置24供給，因此氣泡不流入到吐出裝置24。另外，通過不連結(jié)配管8而從上垂直地供給，從而供給時(shí)不會(huì)有接觸、摩擦等，不會(huì)產(chǎn)生顆粒。由此，能夠使用不混入氣泡或顆粒的液體，因而能夠進(jìn)行精確量的吐出或向正確位置的涂布。本發(fā)明能夠適用于液晶、油墨、有機(jī)EL材料、溶劑(こ醇、丙酮等)、紫外線硬化樹脂等的粘度為lOOOOcps以下的液體材料，特別適合于粘度為lOOOcps以下的液體材料。在氣泡除去機(jī)構(gòu)中，根據(jù)液體材料的種類，施加約50 90kPa的負(fù)壓約I 5分鐘。以下，通過實(shí)施例更加詳細(xì)地說明本發(fā)明，但是本發(fā)明絲毫不限定于實(shí)施例。實(shí)施例實(shí)施例涉及ー種涂布裝置，是ー邊使吐出裝置與保持エ件的工作臺(tái)相對(duì)移動(dòng)ー邊將液晶涂布于エ件的涂布裝置，且被稱為梁在工作臺(tái)上移動(dòng)的所謂的臺(tái)架型。圖2表示具備實(shí)施例所涉及的液體自動(dòng)供給機(jī)構(gòu)的涂布裝置的概略立體圖，圖3表示放大了實(shí)施例所涉及的自動(dòng)供給機(jī)構(gòu)的主要部分的圖。以下，說明圖2時(shí)，有時(shí)將設(shè)置有罐4的ー側(cè)稱為“左”，將其相反側(cè)(符號(hào)9側(cè))稱為“右”，將設(shè)置有吐出裝置24的ー側(cè)稱為“前”，將其相反側(cè)稱為“后”。另外，以左右方向?yàn)椤癤方向”，以前后方向?yàn)椤癥方向”。
如圖2所示，涂布裝置25在架臺(tái)29上具備載置涂布液體材料26的涂布對(duì)象物27(以下，稱為エ件)的工作臺(tái)28，并具備使吐出液體材料26的吐出裝置24相對(duì)于工作臺(tái)28相對(duì)移動(dòng)的梁驅(qū)動(dòng)裝置(Y驅(qū)動(dòng)裝置)44和接受部驅(qū)動(dòng)裝置(X驅(qū)動(dòng)裝置)43。Y驅(qū)動(dòng)裝置44具有支承梁30的滑塊和配設(shè)在架臺(tái)29上的滑塊座，使梁30在工作臺(tái)28上可以沿著前后方向(符號(hào)31)移動(dòng)。吐出裝置24通過設(shè)置在梁30的X驅(qū)動(dòng)裝置43，可以在梁30上沿著左右方向(符號(hào)32)移動(dòng)。吐出裝置24具有多個(gè)相同的吐出裝置，所有的吐出裝置可以沿著梁移動(dòng)。再有，吐出裝置24的數(shù)量由向エ件27的涂布的方法決定，不限于圖2所示的數(shù)目。此外，涂布裝置25具備覆蓋這些各裝置的外周的蓋體33。在用虛線圖示的蓋體33，用于作業(yè)者進(jìn)入內(nèi)部的門扇(未圖示)設(shè)置在前面?zhèn)?，在進(jìn)行吐出裝置24等的維護(hù)作業(yè)時(shí)使用。另外，具備設(shè)置在蓋體33的頂板部分并將除去了顆粒的空氣供給至蓋體33內(nèi)的空氣潔凈裝置34。這里，作為空氣潔凈裝置34，可以使用例如風(fēng)扇過濾器單元，即具備HEPA、ULPA過濾器等的小型送風(fēng)機(jī)等。由此，保持蓋體33內(nèi)特別是工作臺(tái)28的上方的空間的清潔度。但是，在涂布裝置25設(shè)置在潔凈室(Clean Room)內(nèi)的情況或設(shè)置在與此同等潔凈的空間的情況下，也可以不設(shè)置空氣潔凈裝置34，而在頂板形成大的開ロ或撤去頂板，取入保持了清潔度的空氣。再有，也可以一體地構(gòu)成蓋體33與架臺(tái)29，并覆蓋架臺(tái)29上的各要素。液體自動(dòng)供給機(jī)構(gòu)I具有上述的圖1的結(jié)構(gòu)，以收納液體材料26的罐4、具備排出從罐4送出的液體材料26的供給ロ 12的供給部2、在吐出裝置24上部與吐出裝置24—體地設(shè)置并接受從供給部2排出的液體材料26的接受部3、以及使接受部3和吐出裝置24相對(duì)移動(dòng)的X驅(qū)動(dòng)裝置43和Y驅(qū)動(dòng)裝置44為主要的構(gòu)成要素。在液體自動(dòng)供給機(jī)構(gòu)I中，將收納液體材料26的罐4可拆卸地固定設(shè)置在蓋體33的外側(cè)，將具備排出液體材料26的供給ロ 12的供給部2固定設(shè)置在蓋體33的內(nèi)側(cè)。另外，如圖3所示，在吐出裝置24的上方，接受從供給部2排出的液體材料26的接受部3與吐出裝置24 —體地設(shè)置并通過X驅(qū)動(dòng)裝置43 —體地移動(dòng)。在通過Y驅(qū)動(dòng)裝置44使梁30移動(dòng)至接受部3的附近為止且通過X驅(qū)動(dòng)裝置43使與吐出裝置24成為一體的接受部3移動(dòng)至供給部2的下方為止的供給位置，接受部3從供給部2接受液體材料26的供給。在如圖2那樣設(shè)置多個(gè)吐出裝置24的情況下，在每個(gè)吐出裝置24設(shè)置接受部3。從罐4到供給部2用配管8A連結(jié)，從接受部3到吐出裝置24用配管8B、8C連結(jié)，供給部2與接受部3之間分離。在罐4與供給部2之間，控制向供給部2的流動(dòng)的閥A9固定設(shè)置在蓋體33內(nèi)側(cè)的對(duì)應(yīng)的供給部2附近。在罐4之下，設(shè)置有用于檢測(cè)罐4內(nèi)的液體材料26的余量的檢測(cè)裝置7。從罐4向供給部2的配管8，在罐4的很近的地方貫通蓋體33，進(jìn)入到蓋體33內(nèi)。即，僅罐4和檢測(cè)裝置7設(shè)置在蓋體33之外。通過將頻繁地進(jìn)行填充或更換等作業(yè)的罐4設(shè)置在蓋體3之外，可以盡量地減少將顆粒帶進(jìn)蓋體33內(nèi)。而且，即使涂布裝置25在涂布動(dòng)作中也可以對(duì)罐4進(jìn)行作業(yè)。液體自動(dòng)供給機(jī)構(gòu)I中的供給ロ 12的數(shù)目?jī)?yōu)選根據(jù)吐出裝置24的數(shù)目來變更。原因在于，當(dāng)將多個(gè)吐出裝置24挨緊排列在梁30的一側(cè)時(shí)的總計(jì)寬度超過左右方向的沖程(Stroke)長(zhǎng)度的一半時(shí)，即使在梁上的ー個(gè)地方設(shè)置供給ロ 12，也無法將所有的吐出裝置24移動(dòng)到該供給ロ 12。在這種情況下，在兩個(gè)地方以上設(shè)置供給ロ 12，多個(gè)吐出裝置24能夠移動(dòng)到任一個(gè)供給ロ 12。如以上所述，在實(shí)施例的涂布裝置25中，供給部2與接受部3之間分離，因而配管8不會(huì)與吐出裝置24或吐出部驅(qū)動(dòng)裝置一起移動(dòng)。因此，不會(huì)產(chǎn)生延長(zhǎng)用于平滑的驅(qū)動(dòng)的配管來配設(shè)，或者由于配管移動(dòng)而加速劣化等的問題。下面，ー邊參照?qǐng)D3 —邊詳細(xì)地說明液體自動(dòng)供給機(jī)構(gòu)I。該圖中，涂黑的箭頭表示液體的流動(dòng)，空白的箭頭表示氣體的流動(dòng)。在供給部2設(shè)置有具備將從罐4送來的液體材料26排出的供給ロ 12的供給管13。供給管13在途中被支承構(gòu)件14支撐，在供給ロ 12附近向下彎曲。這里從供給ロ 12至支承構(gòu)件14的部分由金屬等的保持形狀的材料制作。在供給管14的下方，具備在從供給ロ 12垂下多余的液體材料26時(shí)用于接受的擋板15。擋板15為上面開ロ的S子形狀(帶有柄的器具形狀)，進(jìn)行滑動(dòng)動(dòng)作，在供給時(shí)以外位于供給ロ 12的正下方。接受部3由三個(gè)部位構(gòu)成，在最高的位置配設(shè)有具有接受從供給部2供給的液體材料26的接受ロ 16的漏斗17、在最低的位置配設(shè)有暫時(shí)收集所供給的液體材料26并進(jìn)行氣泡除去的瓶18。再者，在漏斗17與瓶18的中間的位置并排配設(shè)有控制液體的流動(dòng)的閥BlO和閥Cl I。漏斗17以上端成為接受ロ 16的方式開ロ，液體材料26從供給ロ 12滴下供給。這里，蓋體33內(nèi)保持著潔凈度，因而，即使接受ロ 16向上部開ロ，也不會(huì)有顆?；烊氲膿?dān)憂。氣泡除去用的瓶18與連接于工作氣體供給管21的加減壓泵(未圖示)一起構(gòu)成氣泡除去機(jī)構(gòu)41。加減壓泵供給在從瓶18向吐出裝置24送出液體材料26時(shí)作用的壓縮氣體、以及在除去瓶?jī)?nèi)18內(nèi)的液體材料26的氣泡時(shí)作用的真空。另外，在瓶18的外側(cè)面附近，檢測(cè)瓶18內(nèi)的液面的傳感器設(shè)置在上限位置(符號(hào)22)和下限位置(符號(hào)23)。上限傳感器22配置在比工作氣體供給管21的出ロ更往下的位置，下限傳感器23配置在比流出管20的入口更往上的位置。通過這樣做，能夠防止從工作氣體供給管21吸入液體材料26，或者從流出管20吸入氣體。接受部3處于比供給部2低的位置，且設(shè)置于在供給部2移動(dòng)到接受部3的下方時(shí)與供給部2不接觸的位置。吐出裝置24—體地配置在接受部3的下方。在接受部3被除去氣泡的液體材料26供給至吐出裝置24，進(jìn)行對(duì)エ件27的吐出。在本實(shí)施例中，作為吐出裝置24圖示了活塞式吐出裝置，但不言而喻可以使用活塞式吐出裝置以外的吐出裝置。作為可以適用的吐出裝置，例示了將調(diào)壓后的空氣施加于在前端具有噴嘴的注射器內(nèi)的液體材料僅所期望時(shí)間的空氣式、具有扁平管道機(jī)構(gòu)或旋轉(zhuǎn)管道機(jī)構(gòu)的管道式、通過螺桿的旋轉(zhuǎn)吐出液體材料的螺桿式、通過閥的開閉吐出控制施加了所期望壓カ的液體材料的閥式
坐寸o本實(shí)施例的活塞式吐出裝置24具有管形狀的計(jì)量部36、內(nèi)接于計(jì)量部36的活塞35、具備吐出ロ 39的噴嘴38、以及切換計(jì)量部36與噴嘴38和計(jì)量部36與流入ロ 40的連通的切換閥。再者，使密接在計(jì)量部36內(nèi)進(jìn)行進(jìn)退移動(dòng)的活塞35高速地進(jìn)入移動(dòng)，從而使液體材料26從吐出ロ 39飛行吐出。也可以通過設(shè)置多個(gè)氣泡除去機(jī)構(gòu)41來可靠地防止氣泡的混入。另外，也可以替代或兼用本實(shí)施例的氣泡除去機(jī)構(gòu)14，具備如圖4所示不具有加減壓泵的簡(jiǎn)易的氣泡除去機(jī)構(gòu)。通過將流出管20的入口設(shè)置在與氣泡除去用容器18的底面分離的上方，從而能夠防止堆積在底面或在底面附近浮揚(yáng)的顆粒42被吸入。所涉及的簡(jiǎn)易的氣泡除去機(jī)構(gòu)在有必要謀求接受部3的小型化的情況下是有效的。
權(quán)利要求
1.一種液體自動(dòng)供給機(jī)構(gòu)，其特征在于， 具備: 液體貯存部，貯存液體材料； 供給部，具有供給貯存于液體貯存部的液體材料的供給口； 接受部，具有接受從供給部排出的液體材料的接受口和氣泡除去機(jī)構(gòu)；以及 接受部驅(qū)動(dòng)裝置，使接受部移動(dòng)， 接受部移動(dòng)至接受口位于供給口的正下方的接受位置，從供給口接受液體材料的滴下供給，并將氣泡被氣泡除去機(jī)構(gòu)除去了的液體材料供給至吐出裝置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液體自動(dòng)供給機(jī)構(gòu)，其特征在于， 氣泡除去機(jī)構(gòu)具備:貯存液體材料的氣泡除去用容器、一端浸潰于貯存于氣泡除去用容器的液體內(nèi)且另一端與接受口連通的流入管、以及一端浸潰于貯存于氣泡除去用容器的液體內(nèi)且另一端與吐出裝置連通的流出管。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的液體自動(dòng)供給機(jī)構(gòu)，其特征在于， 氣泡除去機(jī)構(gòu)具備:對(duì)氣泡除去用容器減壓的泵裝置、以及一端連接于泵裝置且另一端配置于氣泡除去用容器內(nèi)的空間的工作氣體供給管。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的液體自動(dòng)供給機(jī)構(gòu)，其特征在于， 具備檢測(cè)液體貯存部和/或氣泡除去用容器內(nèi)的液體材料的量的檢測(cè)裝置。
5.根據(jù)權(quán)利要求1 4中的任一項(xiàng)所述的液體自動(dòng)供給機(jī)構(gòu)，其特征在于， 接受口具有擴(kuò)徑的開口，且是能夠暫時(shí)貯存一定量的液體材料的形狀。
6.根據(jù)權(quán)利要求1 5中的任一項(xiàng)所述的液體自動(dòng)供給機(jī)構(gòu)，其特征在于， 具備液體材料接受構(gòu)件，該液體材料接受構(gòu)件在處于供給口的正下方的第I位置以及與第I位置不同的第2位置進(jìn)退移動(dòng)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1 6中的任一項(xiàng)所述的液體自動(dòng)供給機(jī)構(gòu)，其特征在于， 具備控制從液體貯存部向供給部的液體材料的供給量的夾管閥和/或控制從接受部向吐出裝置的液體材料的供給量的夾管閥。
8.一種涂布裝置，其特征在于， 具備: 架臺(tái)，配設(shè)有保持工件的工作臺(tái)； 吐出裝置，具有吐出液體材料的噴嘴； 驅(qū)動(dòng)裝置，使吐出裝置與工作臺(tái)相對(duì)移動(dòng)；以及 權(quán)利要求1 7中的任一項(xiàng)所述的液體自動(dòng)供給機(jī)構(gòu)。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的涂布裝置，其特征在于， 具備配設(shè)有多個(gè)吐出裝置的梁、以及使各吐出裝置沿著梁的延伸設(shè)置方向自由移動(dòng)的吐出部驅(qū)動(dòng)裝置， 所述接受部與吐出裝置設(shè)置相同數(shù)量。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的涂布裝置，其特征在于， 所述供給部配設(shè)有多個(gè)。
11.根據(jù)權(quán)利要求8 10中的任一項(xiàng)所述的涂布裝置，其特征在于， 具備覆蓋工作臺(tái)和吐出裝置的蓋體。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的涂布裝置，其特征在干，所述液體貯存部配設(shè)在所述蓋 體的外側(cè)。
全文摘要
技術(shù)問題提供一種不需要將液體材料貯存部與吐出裝置物理連接，能夠有效地防止顆粒的產(chǎn)生和混入的液體自動(dòng)供給機(jī)構(gòu)以及具備其的涂布裝置。解決手段一種液體自動(dòng)供給機(jī)構(gòu)以及具備其的涂布裝置，其特征在于，具備貯存液體材料的液體貯存部、具有供給貯存在液體貯存部的液體材料的供給口的供給部、具有接受從供給部排出的液體材料的接受口和氣泡除去機(jī)構(gòu)的接受部、以及使接受部移動(dòng)的接受部驅(qū)動(dòng)裝置，接受部移動(dòng)至接受口位于供給口的正下方的接受位置，從供給口接受液體材料的滴下供給，并將氣泡被氣泡除去機(jī)構(gòu)除去了的液體材料供給至吐出裝置。
文檔編號(hào)B05C11/10GK103118802SQ20118004292
公開日2013年5月22日 申請(qǐng)日期2011年9月14日 優(yōu)先權(quán)日2010年9月16日
發(fā)明者生島和正 申請(qǐng)人:武藏工業(yè)株式會(huì)社