專利名稱：膠泵的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及應(yīng)用于光刻工藝中的光刻膠涂敷裝置，特別涉及一種膠泵。
背景技術(shù)：
目前，半導(dǎo)體制造在光刻工藝中使用膠泵將光刻膠均勻涂敷于晶圓上完成光刻工藝的重要一環(huán)，還在許多其它工藝中廣 泛使用膠泵來完成諸多其它藥液的涂布，如顯影液分配、旋涂玻璃、擴(kuò)散源涂布、聚酰亞胺涂布等等，每種工藝都要求膠泵在藥液分配的精確計(jì)量、過程精確控制、重復(fù)精度、易操作和易維護(hù)等方面有極好的性能與表現(xiàn)。現(xiàn)有的膠泵體積較大?？ü吭O(shè)于過濾單元的下部。更換濾芯時(shí)，先要擰開用螺絲固定的卡箍，然后將過濾單元倒過來，利用工具拔出濾芯，更換濾芯很不方便。
實(shí)用新型內(nèi)容根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)方面，提供了膠泵。其包括支架、泵體和過濾單元。所述泵體和過濾單元裝設(shè)于支架上。所述過濾單元包括外殼和濾芯。還包括連接件。所述過濾單元的外殼為上下兩部分，即第一部分和第二部分。所述連接件卡設(shè)于第一部分和第二部分的連接處。在一些實(shí)施方式中，所述外殼上下兩部分連接處設(shè)于濾芯的上方。方便將第二部分取下，更換濾芯。在一些實(shí)施方式中，所述連接件采用U型螺栓卡箍。只需將螺栓擰開就能打開卡箍，簡(jiǎn)單便捷。在一些實(shí)施方式中，還包括微處理器控制單元，所述微處理器控制單元連接于泵體和過濾單元。能精準(zhǔn)的控制膠泵，減少工作強(qiáng)度。在一些實(shí)施方式中，還包括手持終端，所述手持終端連接于微處理器控制單元。便于遠(yuǎn)距離控制。
圖I為本實(shí)用新型一實(shí)施方式的膠泵的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實(shí)用新型圖I中連接件的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說明。圖I示意性地顯示了膠泵的結(jié)構(gòu)示意圖。膠泵，其包括支架I、泵體2和過濾單元3，還包括連接件4、微處理器控制單元5和手持終端6。泵體2和過濾單元3裝設(shè)于支架I上。過濾單元3包括外殼和濾芯301。過濾單元3的外殼為上下兩部分，即第一部分302和第二部分303。外殼上下兩部分連接處設(shè)于濾芯301的上方。方便將第二部分303取下，更換濾芯。連接件4卡設(shè)于第一部分302和第二部分303的連接處。本實(shí)用新型中的連接件4采用U型螺栓卡箍。如圖2所示，只需將螺栓擰開就能打開卡箍，簡(jiǎn)單便捷。微處理器控制單元5連接于泵體2和過濾單元3。能精準(zhǔn)的控制膠泵，減少工作強(qiáng)度。手持終端6連接于微處理器控制單元5。便于遠(yuǎn)距離控制。本實(shí)用新型所述的膠泵，體積小巧。過濾單元3的濾芯301更換非常簡(jiǎn)單方便。泵體2連接有微處理器控制單元5，減少了工作人員的工作強(qiáng)度。還可以將膠泵安裝在較遠(yuǎn)的地方，使用手持終端6方便地讀取信息和進(jìn)行操控。以上所述的僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施方式。對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實(shí)用新型創(chuàng)造構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進(jìn)，這些都屬于本實(shí)用 新型的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求1.膠泵，包括支架、泵體和過濾單元，所述泵體和過濾單元裝設(shè)于支架上，所述過濾單元包括外殼和濾芯，其特征在于，還包括連接件，所述過濾單元的外殼為上下兩部分，即第一部分和第二部分，所述連接件卡設(shè)于第一部分和第二部分的連接處。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的膠泵，其特征在于，所述外殼上下兩部分連接處設(shè)于濾芯的上方。
3.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的膠泵，其特征在于，所述連接件采用U型螺栓卡箍。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的膠泵，其特征在于，還包括微處理器控制單元，所述微處理器控制單元連接于泵體和過濾單元。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的膠泵，其特征在于，還包括手持終端，所述手持終端連接于微處理器控制單元。
專利摘要本實(shí)用新型公開了膠泵。其包括支架、泵體和過濾單元，還包括微處理器控制單元和手持終端，所述泵體和過濾單元裝設(shè)于支架上，所述過濾單元包括外殼和濾芯，其特征在于，還包括連接件，所述過濾單元的外殼為上下兩部分，即第一部分和第二部分，所述連接件卡設(shè)于第一部分和第二部分的連接處，所述微處理器控制單元連接于泵體和過濾單元，所述手持終端連接于微處理器控制單元。本實(shí)用新型過濾單元的濾芯更換非常簡(jiǎn)單方便，且體積小巧，可安裝在較遠(yuǎn)的地方，使用手持終端方便地讀取信息和進(jìn)行操控。
文檔編號(hào)B05C5/00GK202683405SQ20122010461
公開日2013年1月23日 申請(qǐng)日期2012年3月20日 優(yōu)先權(quán)日2012年3月20日
發(fā)明者沈培宏 申請(qǐng)人:無錫宏源芯盛半導(dǎo)體科技有限公司