一種無殘留的存儲器環(huán)保拋光液的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種無殘留的存儲器環(huán)保拋光液，其特征在于，包括下列重量份數(shù)的物質(zhì)：雙酚A型聚碳酸酯5-9份，多聚甲醛5-19份，硫酸1份，氯化鈉5-10份，氯化鈣2-8份，氯化鋁1-3份，多聚甲醛4-6份，硫酸鋅6-8份，硫酸鎂1-3份，硫酸銀4-9份，硫酸銅3-8份，分子篩2-3份，硅藻土5-12份，硼酸鈉3-10份，納米有機(jī)蒙脫土4-10份，十二烷基苯磺酸鈉1-2份。本發(fā)明的拋光液性能穩(wěn)定，拋光效果好，可滿足制備納電子相變存儲器中工藝的需要。
【專利說明】一種無殘留的存儲器環(huán)保拋光液

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本發(fā)明涉及一種無殘留的存儲器環(huán)保拋光液。

【背景技術(shù)】
[0002]相變存儲器因具有高速讀取、高可擦寫次數(shù)、非易失性、元件尺寸小、功耗低、抗強(qiáng)震動和抗輻射、成本具有競爭力等優(yōu)點，而被國際半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會認(rèn)為是最有可能取代目前的閃存存儲器的下一代非易失性存儲器。相變存儲器技術(shù)的基本原理是以硫系化合物為存儲介質(zhì)，利用電能使材料在晶態(tài)與非晶態(tài)(高阻)之間相互轉(zhuǎn)換實現(xiàn)信息的寫入與擦除，信息的讀出則靠測量電阻的變化實現(xiàn)。存儲單元包括由電介質(zhì)材料定義的細(xì)孔，相變材料沉積在細(xì)孔中，相變材料在細(xì)孔的一端上連接電極。電極接觸使電流通過該通道產(chǎn)生焦耳熱對該單元進(jìn)行編程，或者讀取該單元的電阻狀態(tài)。
[0003]目前，在構(gòu)建相變存儲單元時，通行的做法是:先通過磁控濺射的方法沉積相變材料在由電介質(zhì)材料定義的細(xì)孔中，然后通過反應(yīng)離子刻蝕CRIE)或者化學(xué)機(jī)械拋光的方法，將細(xì)空上方的相變材料進(jìn)行去除。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種無殘留的存儲器環(huán)保拋光液。
[0005]為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采用的技術(shù)方案是: 一種無殘留的存儲器環(huán)保拋光液，其特征在于，包括下列重量份數(shù)的物質(zhì):雙酚A型聚碳酸酯5-9份，多聚甲醛5-19份，硫酸1份，氯化鈉5-10份，氯化鈣2-8份，氯化鋁1-3份，多聚甲醛4-6份，硫酸鋅6-8份，硫酸鎂1-3份，硫酸銀4-9份，硫酸銅3-8份，分子篩2-3份，硅藻土 5-12份，硼酸鈉3-10份，納米有機(jī)蒙脫土 4-10份，十二烷基苯磺酸鈉1-2份。
[0006]本發(fā)明的拋光液性能穩(wěn)定，拋光效果好，可滿足制備納電子相變存儲器中工藝的需要。

【具體實施方式】
[0007]實施例1
一種無殘留的存儲器環(huán)保拋光液，其特征在于，包括下列重量份數(shù)的物質(zhì):雙酚A型聚碳酸酯5-9份，多聚甲醛5-19份，硫酸1份，氯化鈉5-10份，氯化鈣2-8份，氯化鋁1-3份，多聚甲醛4-6份，硫酸鋅6-8份，硫酸鎂1-3份，硫酸銀4-9份，硫酸銅3-8份，分子篩2-3份，硅藻土 5-12份，硼酸鈉3-10份，納米有機(jī)蒙脫土 4-10份，十二烷基苯磺酸鈉1-2份。
【權(quán)利要求】
1.一種無殘留的存儲器環(huán)保拋光液，其特征在于，包括下列重量份數(shù)的物質(zhì):雙酚A型聚碳酸酯5-9份，多聚甲醛5-19份，硫酸1份，氯化鈉5-10份，氯化鈣2-8份，氯化鋁1-3份，多聚甲醛4-6份，硫酸鋅6-8份，硫酸鎂1-3份，硫酸銀4-9份，硫酸銅3-8份，分子篩2-3份，硅藻土 5-12份，硼 酸鈉3-10份，納米有機(jī)蒙脫土 4-10份，十二烷基苯磺酸鈉1-2份。
【文檔編號】C09G1/02GK104046250SQ201410282461
【公開日】2014年9月17日 申請日期:2014年6月23日 優(yōu)先權(quán)日:2014年6月23日
【發(fā)明者】范向奎 申請人:青島寶泰新能源科技有限公司