本發(fā)明涉及一種配制系統(tǒng)，尤其是一種三氯化鐵ITO刻蝕液配制系統(tǒng)，屬于化工設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)：

銦錫氧化物（ITO）導(dǎo)電膜具有電阻率低、透光性好、高溫穩(wěn)定性好及制備和圖形加工工藝簡(jiǎn)單等諸多優(yōu)點(diǎn)，是一種理想的透明電極材料，被廣泛應(yīng)用于LCD、PDP、FED、OLED/PLED等平板顯示器上作為透明電極。

為制備所需要的電極圖形，就要對(duì)ITO導(dǎo)電膜進(jìn)行蝕刻。蝕刻是將材料使用化學(xué)反應(yīng)或物理撞擊作用而移除的技術(shù)。蝕刻技術(shù)分為濕蝕刻和干蝕刻，其中，濕蝕刻是采用化學(xué)試劑，經(jīng)由化學(xué)反應(yīng)達(dá)到蝕刻的目的。FeCl₃系ITO蝕刻液，為黃褐色液體，有氣味酸性，在現(xiàn)有技術(shù)中，主要由鹽酸或硝酸、FeCl₃、純水經(jīng)攪拌混勻過濾制得。在現(xiàn)有的FeCl₃系ITO蝕刻液制備過程中，一般就是采用人工進(jìn)行操作，自動(dòng)化程度較低，物料混配效果較差，產(chǎn)品配制的精度不夠。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的是克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足，提供一種三氯化鐵ITO刻蝕液配制系統(tǒng)，自動(dòng)化程度高，混配效果好，保證產(chǎn)品精度。

按照本發(fā)明提供的技術(shù)方案，所述三氯化鐵ITO刻蝕液配制系統(tǒng)，其特征是：包括混配罐、溶解桶和抽料循環(huán)泵，混配罐的頂部設(shè)有第一進(jìn)料口，溶解桶的出料口通過抽料管連接混配罐頂部的第二進(jìn)料口，抽料循環(huán)泵的一端通過第一管道連接混配罐的底部，抽料循環(huán)泵的出料端分別連接混配罐的第二進(jìn)料口和第二管道，第二管道的輸出端連接過濾灌裝設(shè)備，在抽料循環(huán)泵的出料端設(shè)置取樣支路，在取樣支路上設(shè)置取樣閥。

進(jìn)一步的，在所述混配罐的中部連接第三管道，第三管道分別連接抽料循環(huán)泵的出料端管道和溶解桶。

進(jìn)一步的，在所述溶解桶的底部安裝稱重秤。

進(jìn)一步的，在所述混配罐上安裝壓力表和液位計(jì)。

進(jìn)一步的，在所述抽料管、第一管道和第二管道上均設(shè)有閥體。

本發(fā)明具有以下優(yōu)點(diǎn)：（1）本發(fā)明能夠?qū)崿F(xiàn)三氯化鐵ITO刻蝕液的自動(dòng)化配制；（2）本發(fā)明能夠通過稱重秤對(duì)FeCl₃、純水進(jìn)行稱重，保證混配的精度；（3）本發(fā)明通過抽料循環(huán)泵實(shí)現(xiàn)混配罐中物料的混配，混配效果好，以保證產(chǎn)品精度。

附圖說明

圖1為本發(fā)明所述三氯化鐵ITO刻蝕液配制系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合具體附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步說明。

如圖1所示：所述三氯化鐵ITO刻蝕液配制系統(tǒng)包括混配罐1、溶解桶2、抽料循環(huán)泵3、稱重秤4、第一進(jìn)料口5、抽料管6、第二進(jìn)料口7、第一管道8、第二管道9、取樣閥10、回流管道11、調(diào)節(jié)閥12、壓力表13、液位計(jì)14等。

如圖1所示，本發(fā)明所述三氯化鐵ITO刻蝕液配制系統(tǒng)，包括混配罐1、溶解桶2和抽料循環(huán)泵3，混配罐1的頂部設(shè)有第一進(jìn)料口5，溶解桶2的出料口通過抽料管6連接混配罐1頂部的第二進(jìn)料口7，抽料循環(huán)泵3的一端通過第一管道8連接混配罐1的底部，抽料循環(huán)泵3的出料端分別連接混配罐1的第二進(jìn)料口和第二管道9，第二管道9的輸出端連接過濾灌裝設(shè)備，在抽料循環(huán)泵3的出料端設(shè)置取樣支路，在取樣支路上設(shè)置取樣閥10，通過取樣閥10以確定抽料循環(huán)泵3出料口的物料是回混配罐1繼續(xù)攪拌混合還是出樣至過濾灌裝設(shè)備。

在所述混配罐1的頂部和第二管道9的輸出端之間連接回流管道11，回流管道11上設(shè)置調(diào)節(jié)閥12，調(diào)節(jié)閥12用以調(diào)節(jié)壓力和流量，并且回流管道11能夠?qū)⒌诙艿?中多余的物料回流至混配罐1。

在所述混配罐1的中部連接第三管道13，第三管道13分別連接抽料循環(huán)泵3的出料端管道和溶解桶2，用于對(duì)混配罐1內(nèi)的物料進(jìn)行放液排空。

在所述溶解桶2的底部安裝稱重秤4，用于對(duì)FeCl₃、純水進(jìn)行稱重。

在所述混配罐1上安裝壓力表13和液位計(jì)14。

在所述抽料管6、第一管道8和第二管道9上均設(shè)有閥體。

本發(fā)明的工作過程：FeCl₃、純水在溶解桶2中溶解后由抽料管6送入混配罐1中，混配罐1由頂部的第一進(jìn)料口5加入鹽酸；抽料循環(huán)泵3能夠?qū)⒒炫涔?內(nèi)的物料由底部抽出再由頂部送入，以實(shí)現(xiàn)混配罐1中物料的混合均勻；當(dāng)從抽料循環(huán)泵3的出料口的取樣閥10取樣得到物料混配符合要求時(shí)，抽料循環(huán)泵3的出料口由第二管道9將物料排至過濾灌裝設(shè)備。