一種微電子表面耐熱涂層及其制備方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及化學涂層領(lǐng)域，尤其涉及一種微電子表面耐熱涂層及其制備方法。
【背景技術(shù)】
[0002] 微電子技術(shù)是高科技和信息產(chǎn)業(yè)的核心技術(shù)。微電子產(chǎn)業(yè)是基礎(chǔ)性產(chǎn)業(yè)，之所以 發(fā)展得如此之快，除了技術(shù)本身對國民經(jīng)濟的巨大貢獻之外，還與它極強的滲透性有關(guān)。另 外，現(xiàn)代戰(zhàn)爭將是以集成電路為關(guān)鍵技術(shù)、以電子戰(zhàn)和信息戰(zhàn)為特點的高技術(shù)戰(zhàn)爭。
[0003] 70年代，微電子技術(shù)進入了以大規(guī)模集成電路為中心的新階段。隨著集成密度日 益提高，集成電路正向集成系統(tǒng)發(fā)展，電路的設(shè)計也日益復雜、費時和昂貴。實際上如果沒 有計算機的輔助，較復雜的大規(guī)模集成電路的設(shè)計是不可能的。70年代以來，集成電路利用 計算機的設(shè)計有很大的進展。制版的計算機輔助設(shè)計、器件模擬、電路模擬、邏輯模擬、布局 布線的計算輔助設(shè)計等程序，都先后研宄成功，并發(fā)展成為包括校核、優(yōu)化等算法在內(nèi)的混 合計算機輔助設(shè)計，乃至整套設(shè)備的計算機輔助設(shè)計系統(tǒng)。
[0004] 微電子產(chǎn)品在使用過程中經(jīng)常因溫度過高而損壞，此外，高溫也會影響其使用壽 命。因此，為了提高微電子產(chǎn)品的使用壽命以及提高其利用效率，需要對其外部結(jié)構(gòu)做出一 定的改進。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005] 解決的技術(shù)問題：本發(fā)明提供了一種微電子表面耐熱涂層及其制備方法，通過將 原料加工成水劑噴霧的方法，制備得到一種可直接噴灑在微電子產(chǎn)品表面，形成一層致密、 緊實的隔溫層。
[0006] 為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案： 一種微電子表面耐熱涂層，主要由以下原料按重量份數(shù)配比制成：石英砂12~40份、石 油焦13~38份、木肩11~24份、氯化鈉9~18份、磷酸二氫鎂2~11份、二氧化硅1~9份、乙醇 12~33 份、水 32~60 份。
[0007] 作為本發(fā)明的一種改進，所述微電子表面耐熱涂層主要由以下原料按重量份數(shù)配 比制成：石英砂36份、石油焦32份、木肩18份、氯化鈉15份、磷酸二氫鎂9份、二氧化硅7 份、乙醇30份、水55份。
[0008] 一種微電子表面耐熱涂層的制備方法，包含以下步驟： (1) 將石英砂、石油焦和木肩研磨成粉，粉末粒徑均為500~700目； (2) 將步驟（1)獲得的粉末、氯化鈉粉末和磷酸二氫鎂粉末投入高溫電阻爐中，輻射加 熱，溫度維持在1100~1300°C，0. 5~1小時； (3) 經(jīng)步驟（2)高溫冶煉后的粉末與二氧化硅按重量比7~11:1混合后加入水中，邊攪 拌邊向其中加入乙醇，至全部溶解即可獲得微電子表面耐熱涂層。
[0009] 作為本發(fā)明的一種優(yōu)選方案，步驟（2)中將步驟（1)獲得的粉末、氯化鈉粉末和磷 酸二氫鎂粉末投入高溫電阻爐中，輻射加熱，溫度維持在1250°C，1小時。
[0010] 作為本發(fā)明的一種優(yōu)選方案，步驟（3)中，經(jīng)步驟（2)高溫冶煉后的粉末與二氧化 硅按重量比9:1混合后加入水中，邊攪拌邊向其中加入乙醇，至全部溶解即可獲得微電子 表面耐熱涂層。
[0011] 有益效果 與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明采用以上技術(shù)方案后能夠帶來以下技術(shù)效果： 首先，本發(fā)明制備的微電子表面耐熱涂層可以直接噴灑至產(chǎn)品表面，操作簡便且對環(huán) 境無害、無毒、易清洗； 其次，本發(fā)明制備的微電子表面耐熱涂層除了能夠防水之外，具有極強的耐熱性能，能 夠很好的為微電子產(chǎn)品表面隔熱。
【具體實施方式】
[0012] 實施例1 : 一種微電子表面耐熱涂層，主要由以下原料按重量份數(shù)配比制成：石英砂12份、石油 焦13份、木肩11份、氯化鈉9份、磷酸二氫鎂2份、二氧化硅1份、乙醇12份、水32份。
[0013] 一種微電子表面耐熱涂層的制備方法，包含以下步驟： (1) 將石英砂、石油焦和木肩研磨成粉，粉末粒徑均為500目； (2) 將步驟（1)獲得的粉末、氯化鈉粉末和磷酸二氫鎂粉末投入高溫電阻爐中，輻射加 熱，溫度維持在ll〇〇°C，0. 5小時； (3) 經(jīng)步驟（2)高溫冶煉后的粉末與二氧化硅按重量比7:1混合后加入水中，邊攪拌邊 向其中加入乙醇，至全部溶解即可獲得微電子表面耐熱涂層。
[0014] 實施例1 : 一種微電子表面耐熱涂層，主要由以下原料按重量份數(shù)配比制成：石英砂36份、石油 焦32份、木肩18份、氯化鈉15份、磷酸二氫鎂9份、二氧化硅7份、乙醇30份、水55份。
[0015] 一種微電子表面耐熱涂層的制備方法，包含以下步驟： (1) 將石英砂、石油焦和木肩研磨成粉，粉末粒徑均為700目； (2) 將步驟（1)獲得的粉末、氯化鈉粉末和磷酸二氫鎂粉末投入高溫電阻爐中，輻射加 熱，溫度維持在1250°C，1小時； (3) 經(jīng)步驟（2)高溫冶煉后的粉末與二氧化硅按重量比9:1混合后加入水中，邊攪拌邊 向其中加入乙醇，至全部溶解即可獲得微電子表面耐熱涂層。
[0016] 實施例3: 一種微電子表面耐熱涂層，主要由以下原料按重量份數(shù)配比制成：石英砂40份、石油 焦38份、木肩24份、氯化鈉18份、磷酸二氫鎂11份、二氧化硅9份、乙醇33份、水60份。
[0017] -種微電子表面耐熱涂層的制備方法，包含以下步驟： (1) 將石英砂、石油焦和木肩研磨成粉，粉末粒徑均為700目； (2) 將步驟（1)獲得的粉末、氯化鈉粉末和磷酸二氫鎂粉末投入高溫電阻爐中，輻射加 熱，溫度維持在1300°C，1小時； (3) 經(jīng)步驟（2)高溫冶煉后的粉末與二氧化硅按重量比11:1混合后加入水中，邊攪拌 邊向其中加入乙醇，至全部溶解即可獲得微電子表面耐熱涂層。
[0018] 對上述實施例1~3制備得到的微電子表面耐熱涂層進行檢測后，結(jié)果如下：
【主權(quán)項】
1. 一種微電子表面耐熱涂層，其特征在于，主要由以下原料按重量份數(shù)配比制成：石 英砂12~40份、石油焦13~38份、木肩11~24份、氯化鈉9~18份、磷酸二氫儀2~11份、二氧 化硅1~9份、乙醇12~33份、水32~60份。2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述一種微電子表面耐熱涂層，其特征在于，主要由以下原料按重 量份數(shù)配比制成：石英砂36份、石油焦32份、木肩18份、氯化鈉15份、磷酸二氫鎂9份、二 氧化硅7份、乙醇30份、水55份。3. 權(quán)利要求1所述的一種微電子表面耐熱涂層的制備方法，其特征在于，包含以下步 驟： (1) 將石英砂、石油焦和木肩研磨成粉，粉末粒徑均為500~700目； (2) 將步驟（1)獲得的粉末、氯化鈉粉末和磷酸二氫鎂粉末投入高溫電阻爐中，輻射加 熱，溫度維持在1100~1300°C，0. 5~1小時； (3) 經(jīng)步驟（2)高溫冶煉后的粉末與二氧化硅按重量比7~11:1混合后加入水中，邊攪 拌邊向其中加入乙醇，至全部溶解即可獲得微電子表面耐熱涂層。4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述一種微電子表面耐熱涂層的制備方法，其特征在于，步驟（2)中 將步驟（1)獲得的粉末、氯化鈉粉末和磷酸二氫鎂粉末投入高溫電阻爐中，輻射加熱，溫度 維持在1250 °C，1小時。5. 根據(jù)權(quán)利要求3所述一種微電子表面耐熱涂層的制備方法，其特征在于，步驟（3) 中，經(jīng)步驟（2)高溫冶煉后的粉末與二氧化硅按重量比9:1混合后加入水中，邊攪拌邊向其 中加入乙醇，至全部溶解即可獲得微電子表面耐熱涂層。
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種微電子表面耐熱涂層及其制備方法，主要由以下原料按重量份數(shù)配比制成：石英砂12~40份、石油焦13~38份、木屑11~24份、氯化鈉9~18份、磷酸二氫鎂2~11份、二氧化硅1~9份、乙醇12~33份、水32~60份。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具有以下技術(shù)效果：首先，本發(fā)明制備的微電子表面耐熱涂層可以直接噴灑至產(chǎn)品表面，操作簡便且對環(huán)境無害、無毒、易清洗；其次，本發(fā)明制備的微電子表面耐熱涂層除了能夠防水之外，具有極強的耐熱性能，能夠很好的為微電子產(chǎn)品表面隔熱。
【IPC分類】C09D7/12, C09D1/00
【公開號】CN104927411
【申請?zhí)枴緾N201510263962
【發(fā)明人】李蘇楊, 李文遐, 徐勤霞
【申請人】蘇州市貝克生物科技有限公司
【公開日】2015年9月23日
【申請日】2015年5月22日