mol或更小、8,OOOg/mol或更小、7, 500g/mol或更小、 7, OOOg/mol或更小、6, 500g/mol或更小、6,OOOg/mol或更小、5, 500g/mol或更小、5,OOOg/ mol或更小、4, 500g/mol或更小、4,OOOg/mol或更小、3, 500g/mol或更小、3,OOOg/mol或更 小、2, 500g/mol或更小、或2,OOOg/mol或更小的平均分子量。因此，離子聚合物可具有由上 述端點中的任意兩個所界定的平均分子量。例如，離子聚合物可具有250g/mol至15,OOOg/ mol、250g/mol至14,OOOg/mol、250g/mol至13,OOOg/mol、250g/mol至 12,OOOg/mol、250g/ mol至ll,000g/mol、250g/mol至 10, 000g/mol、400g/mol至 10, 000g/mol、400g/mol至 8, 000g/mol、400g/mol至6, 000g/mol、400g/mol至4, 000g/mol、400g/mol至2,OOOg/mol等 的平均分子量。
[0024] 拋光組合物在使用點處包含任何合適的量的離子聚合物。拋光組合物可包含 0.OOl重量％或更多、例如0. 005重量％或更多、0.Ol重量％或更多、0. 025重量％或更多、 0.05重量％或更多、0.075重量％或更多、或0. 1重量％或更多的離子聚合物。替代地，或 另外，拋光組合物可包含1重量％或更少、例如0. 9重量％或更少、0.8重量％或更少、0. 7 重量％或更少、0.6重量％或更少、0. 5重量％或更少、0. 4重量％或更少、或0. 3重量％或更 少的離子聚合物。因此，拋光組合物可包含由上述端點中的任意兩個所界定的量的離子聚 合物。例如，拋光組合物可包含0.OOl重量％至1重量％、〇.Ol重量％至〇. 9重量％、0. 025 重量％至0.8重量％、0. 05重量％至0. 7重量％、或0.1重量％至0. 5重量％的離子聚合物 等。
[00巧]化學-機械拋光組合物任選地包含一種或多種聚乙締醇。聚乙締醇可為任何合適 的聚乙締醇且可為直鏈或支化聚乙締醇。合適的支化聚乙締醇的非限制性實例為Nichigo G-聚合物，例如可得自NipponGohsei,Japan的 0KS-1009 和 0KS-1083 產品。
[00%] 聚乙締醇可具有任何合適的水解程度。水解程度是指如與游離徑基和乙酷化徑基 的總和相比的存在于聚乙締醇上的游離徑基的量。優(yōu)選地，聚乙締醇具有90%或更大、例如 92 %或更大、94 %或更大、96 %或更大、98 %或更大、或99 %或更大的水解程度。
[0027] 聚乙締醇可具有任何合適的分子量。聚乙締醇可具有250g/mol或更大、例如 300g/mol或更大、400g/mol或更大、500g/mol或更大、600g/mol或更大、750g/mol或更大、 1，OOOg/mol或更大、2,OOOg/mol或更大、3,OOOg/mol或更大、4,OOOg/mol或更大、5,OOOg/ mol或更大、7, 500g/mol或更大、10,OOOg/mol或更大、15,OOOg/mol或更大、20,OOOg/ mol或更大、25,OOOg/mol或更大、30,OOOg/mol或更大、50,OOOg/mol或更大、或 75,OOOg/ mol或更大的平均分子量。替代地，或另外，聚乙締醇可具有250,OOOg/mol或更小、例 如 200,OOOg/mol或更小、180,OOOg/mol或更小、150,OOOg/mol或更小、100,OOOg/mol或 更小、90,OOOg/mol或更小、85,OOOg/mol或更小、80,OOOg/mol或更小、75,OOOg/mol或更 小、50,OOOg/mol或更小、45,OOOg/mol或更小、40,OOOg/mol或更小、35,OOOg/mol或更小、 30,OOOg/mol或更小、25,OOOg/mol或更小、20,OOOg/mol或更小、15,OOOg/mol或更小、 12, 500g/mol或更小、或10,OOOg/mol或更小的平均分子量。因此，聚乙締醇可具有由上述 端點中的任意兩個所界定的平均分子量。例如，聚乙締醇可具有250g/mol至250,OOOg/ mol、250g/mol至 200, 000g/mol、250g/mol至 180,000g/mol、250g/mol至 150,OOOg/mol、 250g/mol至 100, 000g/mol、250g/mol至 75, 000g/mol、250g/mol至 50, 000g/mol、250g/mol 至 25,OOOg/mol、250g/mol至 10,OOOg/mol、10,OOOg/mol至100,OOOg/mol、10,OOOg/mol至 75,OOOg/mol、10,OOOg/mol至 50,OOOg/mol、10,OOOg/mol至 40, 000g/mol、50,OOOg/mol至 100,OOOg/mol、75,OOOg/mol至 100,OOOg/mol、25,OOOg/mol至 200,OOOg/mol、或 50,OOOg/ mol至180,OOOgmol等的平均分子量。
[0028] 拋光組合物在使用點處包含任何合適的量的聚乙締醇。拋光組合物可包含0.OOl 重量％或更多、例如0. 005重量％或更多、0.Ol重量％或更多、0. 025重量％或更多、0. 05重 量％或更多、0. 075重量％或更多、或0. 1重量％或更多的聚乙締醇。替代地，或另外，拋光 組合物可包含1重量％或更少、例如0. 9重量％或更少、0.8重量％或更少、0. 7重量％或更 少、0.6重量％或更少、0. 5重量％或更少、0. 4重量％或更少、或0. 3重量％或更少的聚乙締 醇。因此，拋光組合物可包含由上述端點中的任意兩個所界定的量的離子聚合物。例如，拋 光組合物可包含0.OOl重量％至1重量％、〇.Ol重量％至0. 9重量％、0. 025重量％至0.8 重量％、0. 05重量％至0. 7重量％、或0.1重量％至0. 5重量％的聚乙締醇等。
[0029] 化學-機械拋光組合物任選地包含一種或多種不同于聚乙締醇的非離子聚合物。 根據本發(fā)明的一種實施方式，拋光組合物包含選自如下的一種或多種非離子聚合物：聚亞 烷基二醇、聚酸胺、聚環(huán)氧乙燒/聚環(huán)氧丙烷共聚物、聚丙締酷胺、聚乙締化咯燒酬、硅氧烷 聚環(huán)氧燒控共聚物、經疏水改性的聚丙締酸醋共聚物、親水性非離子聚合物、多醋、及其混 合物。非離子聚合物優(yōu)選是水溶性的且與拋光組合物的其它組分是相容的。在一些實施方 式中，非離子聚合物充當表面活性劑和/或潤濕劑。
[0030] 化學-機械拋光組合物可包含一種或多種能夠調節(jié)（即，調整）拋光組合物的抑 的化合物（即，抑調節(jié)化合物）。拋光組合物的抑可使用能夠調節(jié)拋光組合物的抑的任 何合適的化合物進行調節(jié)。抑調節(jié)化合物合乎需要地是水溶性的且與拋光組合物的其它 組分是相容的。典型地，化學-機械拋光組合物在使用點處具有1至7的抑。優(yōu)選地，化 學-機械拋光組合物在使用點處具有I至4. 5的抑。
[0031] 式（I)的離子聚合物在本質上是酸性的。因此，本發(fā)明拋光組合物可配制成提供 緩沖能力。典型地，拋光組合物的緩沖可通過如下實現：添加一種或多種堿性化合物W將拋 光組合物的抑值調節(jié)至在離子聚合物的一種或多種地a值范圍內的值?？墒褂萌魏魏线m 的堿性化合物來調節(jié)抑值W提供緩沖能力。合適的堿性化合物的非限制實例包括氨氧化 鋼、氨氧化鐘、氨氧化錠、和有機胺例如=乙醇胺。
[0032] 在其它實施方式中，合乎需要的是，可添加能夠調節(jié)抑且單獨地能夠緩沖拋光 組合物的酸性抑的另一化合物。因此，在運些實施方式中的任一種中，合乎需要的是，拋 光組合物的抑小于 7. 0(例如6. 5+/-0. 5、6. 0+/-0. 5、5. 5+/-0. 5、5. 0+/-0. 5、4. 5+/-0. 5、 4. 0+/-0. 5、3. 5+/-0. 5、3. 0+/-0. 5、2. 5+/-0. 5、2. 0+/-0. 5、1. 5+/-0. 5 或 1. 0+/-0. 5)。典型 地，運些實施方式中的任一種中的拋光組合物的抑在使用點處為1至4. 5。因此，能夠調節(jié) 拋光組合物的抑的化合物典型地具有至少一個在25°C下測量時擁有3至7的地a的可電 離基團。
[0033] 能夠調節(jié)和緩沖抑的化合物可選自：錠鹽、堿金屬鹽、簇酸、堿金屬氨氧化物、堿 金屬碳酸鹽、堿金屬碳酸氨鹽、棚酸鹽、及其混合物。
[0034] 化學-機械拋光組合物任選地進一步包含一種或多種添加劑。說明性添加劑包括 調理劑（conditioners)、酸（例如橫酸）、絡合劑（例如陰離子聚合物絡合劑）、馨合劑、殺 生物劑、防垢劑、分散劑等。
[0035] 殺生物劑當存在時可為任何合適的殺生物劑且可W任何合適的量存在于拋光組 合物中。合適的殺生物劑為異嚷挫嘟酬殺生物劑。用于拋光組合物中的殺生物劑的量典型 地為1至50卵m，優(yōu)選10至20卵m。
[0036] 將理解，作為酸、堿或鹽（例如，有機簇酸、堿、和/或堿金屬碳酸鹽等）的拋光組 合物的組分中的任意，當溶解于拋光組合物的水中時，可作為陽離子和陰離子W解離的形 式存在。如本文中所述的存在于拋光組合物中的運樣的化合物的量應理解為是指在拋光組 合物的制備中使用的未解離的化合物的重量。
[0037] 拋光組合物可通過任何合適的技術制造，其中的許多是本領域技術人員已知的。 拋光組合物可W間歇或連續(xù)過程制備。通常，拋光組合物通過將拋光組合物的組分組合而 制備。如本文中所使用的術語"組分"包括單獨的成分（例如，氧化姉研磨劑、離子聚合物、 任選的聚乙締醇、任選的非離子聚合物、任選的抑調節(jié)劑、和/或任何任選的添加劑）W及 成分（例如，氧化姉研磨劑、離子聚合物、任選的聚乙締醇、任選的非離子聚合物等）的任何 組合。
[0038] 例如，拋光組合物可通過如下制備：a)提供液體載體的全部或部分，（ii)使用用 于制備如下分散體的任何合適的手段將氧化姉研磨劑、離子聚合物、任選的聚乙締醇、任選 的非離子聚合物、任選的抑調節(jié)劑、和/或任何任選的添加劑分散，（iii)在合適時調節(jié)分 散體的pH，和（iv)任選地將合適的量的任何其它任選組分和/或添加劑添加至混合物中。
[0039] 替代地，拋光組合物可通過如下制備：（i)W氧化姉漿料提供一種或多種組分（例 如，液體載體、任選的聚乙締醇、任選的非離子聚合物、任選的抑調節(jié)劑、和/或任何任選的 添加劑），（ii)W添加劑溶液提供一種或多種組分（例如液體載體、離子聚合物、任選的聚 乙締醇、任選的非離子聚合物、任選的抑調節(jié)劑、和/或任何任選的添加劑），（iii)將氧化 姉漿料與添加劑溶液組合W形成混合物，（iv)任選地向混合物中添加合適的量的任何其它 任選的添加劑，和（V)在適當時調節(jié)混合物的抑。
[0040] 拋光組合物可作為包含氧化姉研磨劑、離子聚合物、任選的聚乙締醇、任選的非離 子聚合物、任選的抑調節(jié)劑、和/或任何任選的添加劑、和水的單包裝體系供應。替代地， 本發(fā)明的拋光組合物作為包含氧化姉漿料和添加劑溶液的雙包裝體系供應，其中氧化姉漿 料基本上由如下物質組成、或由如下物質組成：氧化姉研磨劑、任選的聚乙締醇、任選的非 離子聚合物、任選的抑調節(jié)劑、和/或任何任選的添加劑、和水，且其中添加劑溶液基本上 由如下物質組成、或由如下物質組成：離子聚合物、任選的聚乙締醇、任選的非離子聚合物、 任選的抑調節(jié)劑、和/或任何任選的添加劑。雙包裝體系容許通過