本發(fā)明涉及晶圓盒運(yùn)載，特別是涉及一種基于物聯(lián)網(wǎng)的晶圓盒運(yùn)載車。

背景技術(shù)：

1、晶圓是指硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅晶片，由于其形狀為圓形，故稱為硅晶圓片。晶圓片在加工時需要用到晶圓盒進(jìn)行承載，放入晶圓盒的晶圓上下層疊設(shè)置，在運(yùn)載過程中，由于晶圓片很脆弱，需要保證晶圓盒的穩(wěn)定。

2、現(xiàn)有的晶圓盒運(yùn)載裝置有很多，其中包括晶圓盒運(yùn)載車，現(xiàn)有的晶圓盒運(yùn)載車是在無塵車間行動，基于物聯(lián)網(wǎng)受終端控制，晶圓盒在上下車時，需要用到人工或者機(jī)械臂。

3、基于以上，晶圓盒運(yùn)載車需要具備對晶圓盒收料和卸料的功能，且晶圓盒需要保證其在上下料過程中，上方與下方在移動中均有穩(wěn)定性，且晶圓盒運(yùn)載車在行駛過程中需要具備防偏移效果，以保證行駛路徑正確、晶圓盒不會受到顛簸影響。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、基于此，有必要針對背景技術(shù)提出的晶圓盒運(yùn)載車需要在上下料晶圓盒時具備良好的穩(wěn)定性、行駛具備安全性的問題，提供一種基于物聯(lián)網(wǎng)的晶圓盒運(yùn)載車。

2、為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：一種晶圓運(yùn)載車，包括車廂、晶圓盒和終端，所述車廂設(shè)有盒倉，所述車廂底部設(shè)有萬向輪。

3、驅(qū)動組件，所述驅(qū)動組件設(shè)置在車廂底部，用于驅(qū)動車廂位移。

4、下接送盒裝置，所述下接送盒裝置設(shè)置在盒倉內(nèi)，用于對晶圓盒進(jìn)行收盒和推盒，所述下接送盒裝置設(shè)置在晶圓盒底部，所述下接送盒裝置包括多組通過驅(qū)動件做旋轉(zhuǎn)滾動的導(dǎo)輥。

5、上接送盒裝置，所述上接送盒裝置設(shè)置在晶圓盒左右兩側(cè)，用于配合下接送盒裝置同步對晶圓盒進(jìn)行收盒和推盒。

6、通過上、下接送盒裝置，能在晶圓盒進(jìn)行上下料時，保持上下穩(wěn)定，防止出現(xiàn)晃動，提升晶圓的安全性。

7、本發(fā)明在一較佳示例中可以進(jìn)一步配置為：所述盒倉內(nèi)的晶圓盒至少設(shè)有一組，當(dāng)晶圓盒設(shè)有多組時，呈上下層疊分布，且每個晶圓盒下方均設(shè)置有一組下接送盒裝置。

8、通過采用上述技術(shù)方案，通過上下層疊設(shè)置，能夠縮小運(yùn)載車的寬度，方便轉(zhuǎn)運(yùn)。

9、本發(fā)明在一較佳示例中可以進(jìn)一步配置為：所述下接送盒裝置包括固定在盒倉兩側(cè)的安裝架，多組所述導(dǎo)輥等距排列在兩個安裝架之間，每個所述導(dǎo)輥均通過驅(qū)動件做旋轉(zhuǎn)動作。

10、本發(fā)明在一較佳示例中可以進(jìn)一步配置為：所述安裝架側(cè)端設(shè)有固定安裝在車廂內(nèi)的第一電機(jī)，所述導(dǎo)輥兩端均設(shè)有轉(zhuǎn)動設(shè)置在安裝架外側(cè)的第一皮帶輪，所述導(dǎo)輥同側(cè)的多組第一皮帶輪通過第一傳動皮帶同步旋轉(zhuǎn)，所述第一皮帶輪與第一電機(jī)的輸出端傳動連接。

11、通過采用上述技術(shù)方案，實(shí)現(xiàn)對上方晶圓盒的上下料。

12、本發(fā)明在一較佳示例中可以進(jìn)一步配置為：所述上接送盒裝置包括旋轉(zhuǎn)設(shè)置在盒倉兩側(cè)的第二傳動皮帶，所述盒倉兩側(cè)開設(shè)有用于容納第二傳動皮帶的開槽，所述晶圓盒上方兩側(cè)設(shè)有魔術(shù)貼a面，所述第二傳動皮帶外壁固定設(shè)有魔術(shù)貼b面，所述魔術(shù)貼a面與第二傳動皮帶高度位置相適配。

13、本發(fā)明在一較佳示例中可以進(jìn)一步配置為：所述上接送盒裝置還包括設(shè)置在車廂內(nèi)的第二電機(jī)，所述第二傳動皮帶前后端設(shè)有第二皮帶輪，所述第二傳動皮帶與兩個第二皮帶輪繞接，所述第二電機(jī)輸出端與第二皮帶輪傳動連接。

14、通過采用上述技術(shù)方案，通過上、下接送盒裝置的配合，能對晶圓盒的上部分和底部同步進(jìn)行上下料，能穩(wěn)定晶圓盒的狀態(tài)，減少晶圓盒的晃動。

15、本發(fā)明在一較佳示例中可以進(jìn)一步配置為：所述車廂外壁設(shè)有急停按鈕組件和水平傳感器，所述水平傳感器用于監(jiān)控運(yùn)載車行進(jìn)過程中是否出現(xiàn)傾斜。

16、通過采用上述技術(shù)方案，急停按鈕組件方便工人直接下使運(yùn)載車停下，水平傳感器設(shè)有多組，用于監(jiān)控運(yùn)載車行徑是否正確、是否出現(xiàn)車身傾斜。

17、本發(fā)明在一較佳示例中可以進(jìn)一步配置為：所述驅(qū)動組件包括固定設(shè)置在車廂底部的輪座，所述輪座一側(cè)轉(zhuǎn)動設(shè)有與地面接觸的主動輪，所述輪座背離主動輪的一側(cè)設(shè)有驅(qū)動電機(jī)和減速機(jī)，所述驅(qū)動電機(jī)和減速機(jī)與主動輪傳動連接。

18、通過采用上述技術(shù)方案，運(yùn)載車行駛穩(wěn)定。

19、本發(fā)明在一較佳示例中可以進(jìn)一步配置為：所述盒倉內(nèi)壁設(shè)有接近開關(guān)，用于監(jiān)控晶圓盒的位置是否到位。

20、本發(fā)明在一較佳示例中可以進(jìn)一步配置為：所述車廂后端設(shè)有電源組件和控制面板，頂部設(shè)有三色燈和攝像頭。

21、綜上所述，本發(fā)明包括以下至少一種有益技術(shù)效果：

22、通過設(shè)置上接送盒裝置，與下接送盒裝置同步對晶圓盒進(jìn)行上料或下料，能提升晶圓盒在運(yùn)動過程中的穩(wěn)定性，提升對晶圓的穩(wěn)定性。

23、通過設(shè)置水平傳感器，能實(shí)時監(jiān)控運(yùn)載車行徑是否正確、是否出現(xiàn)車身傾斜。

24、通過設(shè)置驅(qū)動組件，提升運(yùn)載車行駛的穩(wěn)定性。

技術(shù)特征：

1.一種晶圓運(yùn)載車，包括車廂(1)、晶圓盒(3)和終端(5)，所述車廂(1)設(shè)有盒倉(18)，所述車廂(1)底部設(shè)有萬向輪(15)，其特征在于：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種晶圓運(yùn)載車，其特征在于：所述盒倉(18)內(nèi)的晶圓盒(3)至少設(shè)有一組，當(dāng)晶圓盒(3)設(shè)有多組時，呈上下層疊分布，且每個晶圓盒(3)下方均設(shè)置有一組下接送盒裝置(6)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種晶圓運(yùn)載車，其特征在于：所述下接送盒裝置(6)包括固定在盒倉(18)兩側(cè)的安裝架(61)，多組所述導(dǎo)輥(62)等距排列在兩個安裝架(61)之間，每個所述導(dǎo)輥(62)均通過驅(qū)動件做旋轉(zhuǎn)動作。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述一種晶圓運(yùn)載車，其特征在于：所述安裝架(61)側(cè)端設(shè)有固定安裝在車廂(1)內(nèi)的第一電機(jī)(65)，所述導(dǎo)輥(62)兩端均設(shè)有轉(zhuǎn)動設(shè)置在安裝架(61)外側(cè)的第一皮帶輪(63)，所述導(dǎo)輥(62)同側(cè)的多組第一皮帶輪(63)通過第一傳動皮帶(64)同步旋轉(zhuǎn)，所述第一皮帶輪(63)與第一電機(jī)(65)的輸出端傳動連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種晶圓運(yùn)載車，其特征在于：所述上接送盒裝置(7)包括旋轉(zhuǎn)設(shè)置在盒倉(18)兩側(cè)的第二傳動皮帶(72)，所述盒倉(18)兩側(cè)開設(shè)有用于容納第二傳動皮帶(72)的開槽，所述晶圓盒(3)上方兩側(cè)設(shè)有魔術(shù)貼a面(31)，所述第二傳動皮帶(72)外壁固定設(shè)有魔術(shù)貼b面，所述魔術(shù)貼a面(31)與第二傳動皮帶(72)高度位置相適配。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述一種晶圓運(yùn)載車，其特征在于：所述上接送盒裝置(7)還包括設(shè)置在車廂(1)內(nèi)的第二電機(jī)(71)，所述第二傳動皮帶(72)前后端設(shè)有第二皮帶輪(73)，所述第二傳動皮帶(72)與兩個第二皮帶輪(73)繞接，所述第二電機(jī)(71)輸出端與第二皮帶輪(73)傳動連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種晶圓運(yùn)載車，其特征在于：所述車廂(1)外壁設(shè)有急停按鈕組件(13)和水平傳感器(2)，所述水平傳感器(2)用于監(jiān)控運(yùn)載車行進(jìn)過程中是否出現(xiàn)傾斜。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種晶圓運(yùn)載車，其特征在于：所述驅(qū)動組件(4)包括固定設(shè)置在車廂(1)底部的輪座(43)，所述輪座(43)一側(cè)轉(zhuǎn)動設(shè)有與地面接觸的主動輪(42)，所述輪座(43)背離主動輪(42)的一側(cè)設(shè)有驅(qū)動電機(jī)(41)和減速機(jī)(44)，所述驅(qū)動電機(jī)(41)和減速機(jī)(44)與主動輪(42)傳動連接。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種晶圓運(yùn)載車，其特征在于：所述盒倉(18)內(nèi)壁設(shè)有接近開關(guān)，用于監(jiān)控晶圓盒(3)的位置是否到位。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種晶圓運(yùn)載車，其特征在于：所述車廂(1)后端設(shè)有電源組件(16)和控制面板(17)，頂部設(shè)有三色燈(12)和攝像頭(14)。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及晶圓盒運(yùn)載技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種晶圓運(yùn)載車，所述驅(qū)動組件設(shè)置在車廂底部，用于驅(qū)動車廂位移。所述下接送盒裝置設(shè)置在盒倉內(nèi)，用于對晶圓盒進(jìn)行收盒和推盒，所述下接送盒裝置設(shè)置在晶圓盒底部，所述下接送盒裝置包括多組通過驅(qū)動件做旋轉(zhuǎn)滾動的導(dǎo)輥。所述上接送盒裝置設(shè)置在晶圓盒左右兩側(cè)，用于配合下接送盒裝置同步對晶圓盒進(jìn)行收盒和推盒。通過設(shè)置上接送盒裝置，與下接送盒裝置同步對晶圓盒進(jìn)行上料或下料，能提升晶圓盒在運(yùn)動過程中的穩(wěn)定性，提升對晶圓的穩(wěn)定性。通過設(shè)置水平傳感器，能實(shí)時監(jiān)控運(yùn)載車行徑是否正確、是否出現(xiàn)車身傾斜。通過設(shè)置驅(qū)動組件，提升運(yùn)載車行駛的穩(wěn)定性。

技術(shù)研發(fā)人員：徐偉峰,洪成都
受保護(hù)的技術(shù)使用者：捷螺智能設(shè)備（蘇州）有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/10/10