專利名稱：一種用于分析高純度非腐蝕性氣體中雜質(zhì)的通用裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及氣體的檢測裝置，具體為用于分析檢測高純度非腐蝕性氣體中雜 質(zhì)的通用裝置。
背景技術(shù)：
在分析高純度非腐蝕性氣體時(shí)，不僅要檢測氣體本身(底氣)的含量，也需要分析 其中所包含的雜質(zhì)氣體組分。上述雜質(zhì)組分包括各種大分子和小分子氣體，種類多，含量不同，分子量差異大， 因此分析檢測時(shí)，需將組分逐一分離后再進(jìn)行分析。而且由于高純度非腐蝕性氣體中底氣的含量極高，雜質(zhì)氣體組分種類多，因此對 其中痕量的雜質(zhì)組分檢測有困難。這些雜質(zhì)組分很容易被高濃度的底氣所掩蓋，而難以準(zhǔn) 確地分離檢測。另外，不同的高純度非腐蝕性氣體，尤其是氧氣和其他氣體的分析檢測元件和方 法不同，現(xiàn)有設(shè)備如單一的氣相色譜儀等還無法在同一套設(shè)備上進(jìn)行各種高純度非腐蝕性 氣體中雜質(zhì)的檢測需求。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型旨在提供一種用于檢測高純度非腐蝕性氣體中雜質(zhì)的通用裝置。其方案是設(shè)置帶吹掃十通閥、帶吹掃六通閥和吹掃四通閥，通過上述閥門的切換， 改變氣體流向，對不同氣體成分進(jìn)行分離檢測。一種用于檢測腐蝕性氣體中雜質(zhì)的裝置，其結(jié)構(gòu)包括雜質(zhì)組分分離氣路、氦離子 化檢測器和氧氣預(yù)分離氣路；雜質(zhì)組分分離氣路包括第一路輔助載氣穩(wěn)流系統(tǒng)、第二路輔助載氣穩(wěn)流系統(tǒng)、樣 品氣體入口、樣品氣體出口、排氣出口 A、帶吹掃六通閥、樣品環(huán)A、帶吹掃四通閥A、帶吹掃 四通閥B、分析色譜柱A、分析色譜柱B、分析色譜柱C和零死體積三通閥；其中第一路輔助載氣穩(wěn)流系統(tǒng)、樣品氣體入口、樣品氣體出口和樣品環(huán)A的兩端 及分析色譜柱A的入口分別連接到帶吹掃六通閥；分析色譜柱A的出口、分析色譜柱B的入口、氣阻A分別連接到帶吹掃四通閥A ；氣阻A與零死體積三通閥、氣阻B和氦離子檢測器依次相連；分析色譜柱B的出口、分析色譜柱C的入口、第二路輔助載氣穩(wěn)流系統(tǒng)和排氣出口 A分別連接到吹掃四通閥B;分析色譜柱C的出口與零死體積三通閥的另一端連接；氧氣預(yù)分離氣路包括帶吹掃十通閥、第三路輔助載氣穩(wěn)流系統(tǒng)、第四路輔助載氣 穩(wěn)流系統(tǒng)、樣品環(huán)B、氧吸附柱、分析色譜柱E和排氣出口 B ；氧吸附柱的出口與和分析色譜柱E的入口連接在一起，氧吸附柱的入口、分析色 譜柱E的出口、第三路輔助載氣穩(wěn)流系統(tǒng)、第四路輔助載氣穩(wěn)流系統(tǒng)、排氣出口 B、氧氣入口、氧氣出口以及樣品環(huán)B的兩端及分別連接到帶吹掃十通閥；帶吹掃十通閥與帶吹掃四 通閥A連接。更優(yōu)選的方案為帶吹掃六通閥設(shè)有六個(gè)通路，第一通路連接樣品氣體入口，第二通路連接樣品氣 體出口，樣品環(huán)A的兩端分別連接到第三通路和第六通路；第四通路連接到第一路輔助載 氣穩(wěn)流系統(tǒng)，第五通路連接到分析色譜柱A的入口 ；帶吹掃六通閥可切換為兩種狀態(tài)，狀態(tài)一為第一通路與第二通路連接，第三通路 與第四通路連接，第五通路與第六通路連接；狀態(tài)二為第一通路與第六通路連接，第二通 路與第三通路連接，第四通路與第五通路連接。帶吹掃四通閥A設(shè)有四個(gè)通路，第一通路連接到帶吹掃十通閥，第二通路依次連 接氣阻A、零死體積三通閥、氣阻B和氦離子檢測器，第三通路連接到分析色譜柱A的出口， 第四通路連接到分析色譜柱B的入口 ；帶吹掃四通閥B第一通路連接到分析色譜柱C的入口，第二通路連接第二路輔助 載氣穩(wěn)流系統(tǒng)，第三通路連接到排氣出口 A，第四通路與色譜柱B的出口連接；帶吹掃四通閥A和帶吹掃四通閥B可切換為兩種狀態(tài)，狀態(tài)一為第一通路與第二 通路連接，第三通路與第四通路連接；狀態(tài)二為第一通路與第四通路連接，第二通路與第 三通路連接。帶吹掃十通閥設(shè)有十個(gè)通路，第一通路與氧吸附柱、分析色譜柱E和第八通路依 次連接，樣品環(huán)B的兩端分別連接到第二通路和第五通路，第三通路與氧氣入口連接，第四 通路與氧氣出口連接，第六通路與第三路輔助載氣穩(wěn)流系統(tǒng)連接，第七通路連接到帶吹掃 四通閥A，第九通路連接到第四路輔助載氣穩(wěn)流系統(tǒng)，第十通路與排氣出口 B連接；帶吹掃十通閥可切換為兩種狀態(tài)，狀態(tài)一為第一通路與第二通路連接，第三通路 與第四通路連接，第五通路與第六通路連接，第七通路與第八通路連接，第九通路與第十通 路連接；狀態(tài)二為第一通路與第十通路連接，第二通路與第三通路連接，第四通路與第五 通路連接，第六通路與第七通路連接，第八通路與第九通路連接。利用上述裝置，可分析高純度非腐蝕性氣體中雜質(zhì)；其技術(shù)方案為當(dāng)所檢測氣體為除氧氣以外的高純度非腐蝕性氣體時(shí)，步驟包括(1)取樣切換帶吹掃六通閥，接通樣品氣體入口和樣品環(huán)A ；(2)進(jìn)樣預(yù)分離切換帶吹掃六通閥、帶吹掃四通閥A和帶吹掃四通閥B，接通第一 路輔助載氣穩(wěn)流系統(tǒng)、樣品環(huán)和分析色譜柱A、分析色譜柱B和分析色譜柱C ；將樣品環(huán)A內(nèi) 氣體吹入分析色譜柱A ；(3)分離大分子雜質(zhì)組分在底氣和小分子雜質(zhì)組分流出分析色譜柱A后，大分子 雜質(zhì)組分流出分析色譜柱A之前，切換帶吹掃四通閥A和零死體積三通閥，接通第一路輔助 載氣穩(wěn)流系統(tǒng)、分析色譜柱A、氣阻A、氣阻B和氦離子化檢測器，將留在分析色譜柱A中的 大分子雜質(zhì)組分送入和氦離子化檢測器；(4)分離小分子雜質(zhì)組分和底氣切換帶吹掃四通閥B、零死體積三通閥和帶吹掃 十通閥，接通第三路輔助載氣穩(wěn)流系統(tǒng)、分析色譜柱B和排氣出口 A，使留在分析色譜柱B內(nèi) 的底氣排空；接通第二路輔助載氣穩(wěn)流系統(tǒng)、分析色譜柱C、氣阻B和氦離子化檢測器，將留 在分析色譜柱C中的小分子雜質(zhì)組分送入氦離子化檢測器。[0031]當(dāng)所述高純度非腐蝕性氣體為氧氣時(shí)，包括以下步驟(1)取樣切換帶吹掃十通閥，接通氧氣入口、樣品環(huán)B和氧氣出口 ；(2)進(jìn)樣分離氧氣切換帶吹掃十通閥、帶吹掃四通閥A和帶吹掃四通閥B，接通第 四路輔助載氣穩(wěn)流系統(tǒng)、樣品環(huán)B、氧吸附柱、分析色譜柱E、分析色譜柱B和分析色譜柱C ； 將樣品環(huán)B內(nèi)氣體吹入氧吸附柱，由氧吸附柱吸收氧氣；(3)分離大分子雜質(zhì)組分和小分子雜質(zhì)組分在小分子雜質(zhì)組分流入分析色譜柱 B和分析色譜柱C之后，大分子雜質(zhì)組分流出分析色譜柱E之前，切換帶吹掃四通閥A和零 死體積三通閥，接通第三路輔助載氣穩(wěn)流系統(tǒng)、氧吸附柱、分析色譜柱E、氣阻A、氣阻B和氦 離子化檢測器，將留在分析色譜柱E內(nèi)的大分子雜質(zhì)組分送入氦離子化檢測器；再切換零 死體積三通閥，接通第一路輔助載氣穩(wěn)流系統(tǒng)、分析色譜柱B、分析色譜柱C、氣阻B和氦離 子化檢測器，將分離后的小分子雜質(zhì)組分送入氦離子化檢測器。本實(shí)用新型的裝置，可作為分析檢測各種高純度非腐蝕性氣體中雜質(zhì)組分的通用 裝置，能有效分離檢測其中痕量的雜質(zhì)組分。通過閥門和氣流方向的切換，可將底氣與各種 雜質(zhì)組分有效分離，避免因?yàn)榈讱鉂舛冗^高，掩蓋雜質(zhì)組分而影響分析檢測效果。

圖1為實(shí)施例2中檢測氮?dú)鈺r(shí)的取樣使用狀態(tài)圖圖2為實(shí)施例2中檢測氮?dú)鈺r(shí)的進(jìn)樣預(yù)分離狀態(tài)圖圖3為實(shí)施例2中檢測氮?dú)鈺r(shí)的分離大分子雜質(zhì)組分使用狀態(tài)圖圖4為實(shí)施例2中檢測氮?dú)鈺r(shí)的分離小分子雜質(zhì)組分和底氣使用狀態(tài)圖圖5為實(shí)施例3中檢測氧氣時(shí)的取樣使用狀態(tài)圖圖6為實(shí)施例3中檢測氧氣時(shí)的進(jìn)樣分離氧氣使用狀態(tài)圖圖7為實(shí)施例3中檢測氧氣時(shí)的分離大分子雜質(zhì)組分使用狀態(tài)圖圖8為實(shí)施例3中檢測氧氣時(shí)的分離小分子雜質(zhì)組分使用狀態(tài)圖101-第一路輔助載氣穩(wěn)流系統(tǒng)，102-第二路輔助載氣穩(wěn)流系統(tǒng)，103-第三路輔助 載氣穩(wěn)流系統(tǒng)，104-第四路輔助載氣穩(wěn)流系統(tǒng)，105-樣品氣體入口，106-樣品氣體出口，107-氧氣入口，108-氧氣出口，109-排氣 出口 A，110-排氣出口 B ；2-帶吹掃六通閥，201-第一通道，202-第二通道，203-第三通道，204-第四通道， 205-第五通道，206-第六通道；301-樣品環(huán)A，302-樣品環(huán)B，401-分析色譜柱A，402-分析色譜柱B，403-分析色 譜柱C，404-氧吸附柱，405-分析色譜柱E ；5-帶吹掃四通閥A，501-第一通道，502-第二通道，502-第二通道，203-第三通 道，504-第四通道；6-帶吹掃四通閥B，601-第一通道，602-第二通道，603-第三通道，604-第四通 道；7-帶吹掃十通閥，701-第一通道，702-第二通道，703-第三通道，704-第四通道， 705-第五通道，706-第六通道，707-第七通道，708-第八通道，709-第九通道，710-第十通 道；[0051]8-零死體積三通閥，901-氦離子化檢測器，902-氣阻A，903-氣阻B
具體實(shí)施方式
實(shí)施例1如圖1至圖8所示，一種用于分析高純度非腐蝕性氣體中雜質(zhì)的通用裝置，包括雜 質(zhì)組分分離氣路、氦離子化檢測器和氧氣預(yù)分離氣路。雜質(zhì)組分分離氣路包括第一路輔助載氣穩(wěn)流系統(tǒng)101、第二路輔助載氣穩(wěn)流系統(tǒng) 102、樣品氣體入口 105、樣品氣體出口 106、排氣出口 A109、帶吹掃六通閥2、樣品環(huán)A 301、 帶吹掃四通閥A 5、帶吹掃四通閥B 6、分析色譜柱A 401、分析色譜柱B 402、分析色譜柱C 403和零死體積三通閥8 ；氧氣預(yù)分離氣路包括帶吹掃十通閥7、第三路輔助載氣穩(wěn)流系統(tǒng)103、第四路輔助 載氣穩(wěn)流系統(tǒng)104、樣品環(huán)B 302、氧吸附柱404、分析色譜柱E 405和排氣出口 B 110。帶吹掃六通閥設(shè)有六個(gè)通路，可切換為兩種狀態(tài)，狀態(tài)一為第一通路201與第二 通路202連接，第三通路203與第四通路204連接，第五通路205與第六通路206連接；狀 態(tài)二為第一通路與第六通路連接，第二通路與第三通路連接，第四通路與第五通路連接。帶吹掃四通閥A和帶吹掃四通閥B分別設(shè)有四個(gè)通路，均可切換為兩種狀態(tài)，狀態(tài) 一為第一通路與第二通路連接，第三通路與第四通路連接；狀態(tài)二為第一通路與第四通 路連接，第二通路與第三通路連接。帶吹掃十通閥設(shè)有十個(gè)通路，可切換為兩種狀態(tài)，狀態(tài)一為第一通路701與第二 通路702連接，第三通路703與第四通路704連接，第五通路705與第六通路706連接，第 七通路707與第八通路708連接，第九通路709與第十通路710連接；狀態(tài)二為第一通路 與第十通路連接，第二通路與第三通路連接，第四通路與第五通路連接，第六通路與第七通 路連接，第八通路與第九通路連接。具體結(jié)構(gòu)為帶吹掃六通閥的第一通路201連接樣品氣體入口 105，第二通路202連接樣品氣體 出口 106，樣品環(huán)A 301的兩端分別連接到第三通路203和第六通路206 ；第四通路204連 接到第一路輔助載氣穩(wěn)流系統(tǒng)101，第五通路206連接到分析色譜柱A 301的入口 ；分析色譜柱A的出口與帶吹掃四通閥A的第三通路503連接，帶吹掃四通閥A的 第二通路502依次連接氣阻A 902、零死體積三通閥8、氣阻B 903和氦離子檢測器901，第 四通路504連接到分析色譜柱B402的入口，第一通路501連接到帶吹掃十通閥7 ；分析色譜柱B的出口連接到帶吹掃四通閥B的第四通路604，帶吹掃四通閥B的第 一通路601連接到分析色譜柱C 403的入口，第二通路602連接第二路輔助載氣穩(wěn)流系統(tǒng) 102，第三通路603連接到排氣出口 A 109 ；分析色譜柱C的出口連接到零死體積三通閥8的另一端。帶吹掃十通閥的第一通路701與氧吸附柱404、分析色譜柱E 405和第八通路708 依次連接，樣品環(huán)B 302的兩端分別連接到帶吹掃十通閥的第二通路702和第五通路705， 第三通路703與氧氣入口 107連接，第四通路704與氧氣出口 108連接，第六通路706與第 三路輔助載氣穩(wěn)流系統(tǒng)103連接，第七通路707連接到帶吹掃四通閥A 5的第一通路501， 第九通路709連接到第四路輔助載氣穩(wěn)流系統(tǒng)104，第十通路710與排氣出口 B 110連接。[0065]上述四路輔助載氣穩(wěn)流系統(tǒng)分別提供輔助載氣I IV。氣阻A和氣阻B用于穩(wěn)定 氣壓和氣流。實(shí)施例2當(dāng)檢測除氧氣外的高純度非腐蝕性氣體(如氮?dú)?中雜質(zhì)組分時(shí)，其步驟如下(1)取樣如圖1所示，先切換帶吹掃六通閥2至狀態(tài)二，即第一通路201與第六 通路206相連，第二通路202與第三通路203相連，第四通路204與第五通路205相連；此 時(shí)的帶吹掃四通閥A 5切換為狀態(tài)一，即第一通路501與第四通路504相連，第三通路503 與第二通路502相連；帶吹掃四通閥B 6切換為狀態(tài)二，即第一通路601與第四通路604相 連，第二通路602與第三通路603相連；此時(shí)接通樣品氣體入口 105、樣品環(huán)301和樣品氣體出口 106，樣品氣體流入樣品 環(huán)；(2)進(jìn)樣預(yù)分離如圖2所示，切換帶吹掃六通閥2至狀態(tài)一，切換帶吹掃四通閥A 5至狀態(tài)一，接通第一路輔助載氣穩(wěn)流系統(tǒng)101、樣品環(huán)A 301和分析色譜柱A 401、分析色 譜柱B 402和分析色譜柱C403 ；輔助載氣I將樣品環(huán)A內(nèi)的氣體吹入分析色譜柱A ；在分析色譜柱A內(nèi)，大分子雜質(zhì)組分(分子量大于底氣的組分)與底氣和小分子 雜質(zhì)組(分子量小于底氣的組分)分得到分離，底氣和小分子雜質(zhì)組分先流出分析色譜柱 A，進(jìn)入分析色譜柱B和色譜分析柱C ；(3)分離大分子雜質(zhì)組分如圖3所示，在底氣和小分子雜質(zhì)組分流出分析色譜柱 A后，大分子雜質(zhì)組分流出分析色譜柱A之前，切換帶吹掃四通閥A至狀態(tài)二，并切換零死體 積三通閥8，接通第一路輔助載氣穩(wěn)流系統(tǒng)、分析色譜柱A、氣阻A、氣阻B和氦離子化檢測 器，輔助載氣I將留在分析色譜柱A中的大分子雜質(zhì)組分送入和氦離子化檢測器901 ；(4)分離小分子雜質(zhì)組分和底氣如圖4所示，底氣和小分子雜質(zhì)組分在分析色譜 柱B中分離，小分子雜質(zhì)組分流入分析色譜柱C ；在底氣流出分析色譜柱B之前，如圖4所示，切換帶吹掃四通閥B 6至狀態(tài)一，切 換帶吹掃十通閥7至狀態(tài)二，并切換零死體積三通閥，接通第三路輔助載氣穩(wěn)流系統(tǒng)103、 分析色譜柱B 402和排氣出口 A 109，輔助載氣III流入分析色譜柱B，將留在分析色譜柱 B內(nèi)的底氣從排氣出口A排空；此時(shí)接通第二路輔助載氣穩(wěn)流系統(tǒng)102、分析色譜柱C 403、氣阻B 903和氦離子 化檢測器901，輔助載氣II將留在分析色譜柱C中的小分子雜質(zhì)組分送入氦離子化檢測 器；通過上述操作可利用中心切割，避免由于底氣的掩蓋而使目標(biāo)雜質(zhì)組分無法分離 的情況。上述操作將大部分底氣排空，只有少量底氣和目標(biāo)小分子雜質(zhì)組分進(jìn)入分析色譜 柱C，從而進(jìn)行分離并檢測分析。氣阻A和氣阻B的作用是穩(wěn)定氣流和氣壓。實(shí)施例3當(dāng)檢測高純度氧氣中的雜質(zhì)組分時(shí)，其步驟為(1)取樣如圖5所示，切換帶吹掃十通閥7至狀態(tài)二，接通氧氣入口、樣品環(huán)B和氧氣出口 ；(2)進(jìn)樣分離氧氣如圖6所示，切換帶吹掃十通閥至狀態(tài)一，切換帶吹掃四通閥A5至狀態(tài)二，切換帶吹掃四通閥B 6至狀態(tài)二 ；此時(shí)接通第四路輔助載氣穩(wěn)流系統(tǒng)104、樣品 環(huán)B 302、氧吸附柱404、分析色譜柱E 405、分析色譜柱B 402和分析色譜柱C 403 ；輔助載 氣IV將樣品環(huán)B內(nèi)氣體吹入氧吸附柱404，由氧吸附柱吸收氧氣；氧吸附柱可以催化反應(yīng)并吸收氧氣，可以避免因?yàn)槟承╇s質(zhì)組分(如氬氣和氮?dú)?等)被高濃度氧氣掩蓋而得不到檢測；(3)分離大分子雜質(zhì)組分在小分子雜質(zhì)組分流入分析色譜柱B 402和分析色譜 柱C 403之后，大分子雜質(zhì)組分流出分析色譜柱E 405之前，切換帶吹掃四通閥A 5和零死 體積三通閥8，如圖7所示，接通第三路輔助載氣穩(wěn)流系統(tǒng)103、氧吸附柱404、分析色譜柱E 405、氣阻A 902、氣阻B 903和氦離子化檢測器901，將留在分析色譜柱E內(nèi)的大分子雜質(zhì) 組分送入氦離子化檢測器；(4)分離小分子雜質(zhì)組分再切換零死體積三通閥，如圖8所示，接通第一路輔助 載氣穩(wěn)流系統(tǒng)101、分析色譜柱B 402、分析色譜柱C 403、氣阻B 903和氦離子化檢測器 901，將分離后的小分子雜質(zhì)組分送入氦離子化檢測器。
權(quán)利要求1.一種用于分析高純度非腐蝕性氣體中雜質(zhì)的通用裝置，其特征在于，結(jié)構(gòu)包括雜質(zhì)組分分離氣路、氦離子化檢測器和氧氣預(yù)分離氣路；雜質(zhì)組分分離氣路包括第一路輔助載氣穩(wěn)流系統(tǒng)、第二路輔助載氣穩(wěn)流系統(tǒng)、樣品氣 體入口、樣品氣體出口、排氣出口 A、帶吹掃六通閥、樣品環(huán)A、帶吹掃四通閥A、帶吹掃四通 閥B、分析色譜柱A、分析色譜柱B、分析色譜柱C和零死體積三通閥；其中第一路輔助載氣穩(wěn)流系統(tǒng)、樣品氣體入口、樣品氣體出口和樣品環(huán)A的兩端及分 析色譜柱A的入口分別連接到帶吹掃六通閥；分析色譜柱A的出口、分析色譜柱B的入口、氣阻A分別連接到帶吹掃四通閥A ；氣阻A與零死體積三通閥、氣阻B和氦離子檢測器依次相連；分析色譜柱B的出口、分析色譜柱C的入口、第二路輔助載氣穩(wěn)流系統(tǒng)和排氣出口 A分 別連接到吹掃四通閥B;分析色譜柱C的出口與零死體積三通閥的另一端連接；氧氣預(yù)分離氣路包括帶吹掃十通閥、第三路輔助載氣穩(wěn)流系統(tǒng)、第四路輔助載氣穩(wěn)流 系統(tǒng)、樣品環(huán)B、氧吸附柱、分析色譜柱E和排氣出口 B ；氧吸附柱的出口與和分析色譜柱E的入口連接在一起，氧吸附柱的入口、分析色譜柱E 的出口、第三路輔助載氣穩(wěn)流系統(tǒng)、第四路輔助載氣穩(wěn)流系統(tǒng)、排氣出口 B、氧氣入口、氧氣 出口以及樣品環(huán)B的兩端及分別連接到帶吹掃十通閥；帶吹掃十通閥與帶吹掃四通閥A連 接。
2.權(quán)利要求1所述一種用于分析高純度非腐蝕性氣體中雜質(zhì)的通用裝置，其特征在 于，所述的帶吹掃六通閥設(shè)有六個(gè)通道，具有兩種狀態(tài)狀態(tài)一為第一通路與第二通路連 接，第三通路與第四通路連接，第五通路與第六通路連接；狀態(tài)二為第一通路與第六通路 連接，第二通路與第三通路連接，第四通路與第五通路連接；所述的第一通路連接樣品氣體入口，第二通路連接樣品氣體出口，樣品環(huán)A的兩端分 別連接到第三通路和第六通路；第四通路連接到第一路輔助載氣穩(wěn)流系統(tǒng)，第五通路連接 到分析色譜柱A的入口。
3.權(quán)利要求1所述一種用于分析高純度非腐蝕性氣體中雜質(zhì)的通用裝置，其特征在 于，所述的帶吹掃四通閥A設(shè)有四個(gè)通道，具有兩種狀態(tài)；狀態(tài)一為第一通路與第二通路 連接，第三通路與第四通路連接；狀態(tài)二為第一通路與第四通路連接，第二通路與第三通 路連接；所述的第一通路連接到帶吹掃十通閥，第二通路依次連接氣阻A、零死體積三通閥、氣 阻B和氦離子檢測器，第三通路連接到分析色譜柱A的出口，第四通路連接到分析色譜柱B 的入口
4.權(quán)利要求1所述一種用于分析高純度非腐蝕性氣體中雜質(zhì)的通用裝置，其特征在 于，所述的帶吹掃四通閥B設(shè)有四個(gè)通道，具有兩種狀態(tài)；狀態(tài)一為第一通路與第二通路 連接，第三通路與第四通路連接；狀態(tài)二為第一通路與第四通路連接，第二通路與第三通 路連接；所述的第一通路連接到分析色譜柱C的入口，第二通路連接第二路輔助載氣穩(wěn)流系 統(tǒng)，第三通路連接到排氣出口 A，第四通路與色譜柱B的出口連接。
5.權(quán)利要求1所述一種用于分析高純度非腐蝕性氣體中雜質(zhì)的通用裝置，其特征在于，所述的帶吹掃十通閥設(shè)有十個(gè)通道，具有兩種狀態(tài)；狀態(tài)一為第一通路與第二通路連 接，第三通路與第四通路連接，第五通路與第六通路連接，第七通路與第八通路連接，第九 通路與第十通路連接；狀態(tài)二為第一通路與第十通路連接，第二通路與第三通路連接，第 四通路與第五通路連接，第六通路與第七通路連接，第八通路與第九通路連接；所述的第一通路與氧吸附柱、分析色譜柱E和第八通路依次連接，樣品環(huán)B的兩端分別 連接到第二通路和第五通路，第三通路與氧氣入口連接，第四通路與氧氣出口連接，第六通 路與第三路輔助載氣穩(wěn)流系統(tǒng)連接，第七通路連接到帶吹掃四通閥A，第九通路連接到第四 路輔助載氣穩(wěn)流系統(tǒng)，第十通路與排氣出口 B連接。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種分析檢測高純度非腐蝕性氣體中雜質(zhì)的通用裝置，包括雜質(zhì)組分分離氣路、氦離子化檢測器和氧氣預(yù)分離氣路；雜質(zhì)組分分離氣路包括第一路輔助載氣穩(wěn)流系統(tǒng)、第二路輔助載氣穩(wěn)流系統(tǒng)、樣品氣體入口、樣品氣體出口、排氣出口A、帶吹掃六通閥、樣品環(huán)A、帶吹掃四通閥A、帶吹掃四通閥B、分析色譜柱A、分析色譜柱B、分析色譜柱C和零死體積三通閥，其通過閥門的切換，改變氣體流向，來進(jìn)行分離檢測。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單，分析過程簡便快捷，可以進(jìn)行在線檢測；雜質(zhì)組分分離效果好；同一裝置可完成對多種高純度非腐蝕性氣體的分析需求。
文檔編號G01N30/20GK201780285SQ20102026224
公開日2011年3月30日 申請日期2010年7月16日 優(yōu)先權(quán)日2010年7月16日
發(fā)明者薛翔 申請人:上海炫一電子科技有限公司