專利名稱：傳送式基板處理裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及適用于液晶顯示裝置玻璃基板制造的傳送式基板處理裝置。
背景技術(shù)：
在液晶顯示裝置中使用的玻璃基板通過(guò)對(duì)作為原料的玻璃基板的表面重復(fù)實(shí)施腐蝕、剝離等化學(xué)處理來(lái)制造。該基板處理裝置大致分為干式和濕式，濕式由分為分批式和片葉式。而且，片葉式還被細(xì)分為定位旋轉(zhuǎn)式和基于滾輪傳送式。
在這些基板處理裝置中，傳送式的裝置具有一邊將基板沿水平方向傳送一邊向基板的表面供給處理液的基本構(gòu)造，由于效率高，所以以前被用于腐蝕處理和剝離處理。
在傳送式基板處理裝置中，基板依次通過(guò)接受部(裝載部)、藥液避開部、藥液處理部、清洗部和藥液斷開部。在藥液處理部中，從基板傳送線的上方配置的噴嘴中噴射腐蝕液、剝離液等藥液，通過(guò)使基板從該藥液中通過(guò)，將藥液供給基板的整個(gè)表面。通過(guò)該藥液處理，使基板的表面被選擇性地化學(xué)處理。
但是，在藥液處理部的上游側(cè)、即藥液處理部和接受部之間配置的藥液避開部以防止下游側(cè)的藥液處理部使用的藥液、以及藥液處理部?jī)?nèi)的藥液氣氛侵入到配有復(fù)雜的接受機(jī)構(gòu)的上游側(cè)的接受部為目的，是所謂的緩沖裝置(緩沖部)。
為了實(shí)現(xiàn)該目的，不僅使藥液避開部?jī)?nèi)被抽到負(fù)壓，而且將藥液避開部的總長(zhǎng)度設(shè)定得大于基板的長(zhǎng)度，以便可完全收容基板，并且在藥液避開部的前壁和后壁上設(shè)置的基板入口及基板出口中裝配快門。而且，如果在入口打開、出口關(guān)閉的狀態(tài)下使基板進(jìn)入藥液避開部?jī)?nèi)，則一旦基板停止移動(dòng)，入口就關(guān)閉。然后，出口打開，使基板從藥液避開部向下游側(cè)的藥液處理部移動(dòng)。通過(guò)按這樣的定時(shí)操作基板的傳送以及入口和出口的快門，可暫時(shí)避免接受部與藥液處理部直接連接的情況，防止藥液污染接受部?jī)?nèi)部。
但是，在實(shí)際的作業(yè)中，無(wú)論這樣的雙重、三重的照料如何，都存在不能防止藥液污染接受部?jī)?nèi)部的現(xiàn)狀。作為其大的原因，在基板通過(guò)出口從藥液避開部進(jìn)入藥液處理部的中途，藥液處理部開始進(jìn)行藥液的噴射，傳送到基板的上表面的大量的藥液侵入藥液避開部，使藥液避開部充滿藥液氣氛，雖說(shuō)藥液避開部被排氣為負(fù)壓，但不能避免在入口打開時(shí)從藥液避開部向接受部的藥液氣氛的侵入。
如果基板從藥液避開部完全出來(lái)，在關(guān)閉出口的快門后開始進(jìn)行藥液處理部的藥液噴射，則雖然可抑制對(duì)藥液避開部的藥液侵入，也可抑制接受部?jī)?nèi)部的污染，但另一方面卻使藥液的噴射開始被延遲，產(chǎn)生藥液處理部變長(zhǎng)這樣的生產(chǎn)性差、設(shè)備規(guī)模上增大的問題。
本發(fā)明的目的在于提供一種傳送式基板處理裝置，即使在從基板通過(guò)藥液避開部的出口起，下游側(cè)的藥液處理部開始進(jìn)行藥液噴射操作，也可以有效地防止上游側(cè)的接受部受到藥液污染。
發(fā)明的公開為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的傳送式基板處理裝置將基板沿水平方向傳送并通過(guò)多個(gè)處理部，用多個(gè)處理部的至少一個(gè)處理部進(jìn)行藥液處理，同時(shí)在藥液處理部的上游側(cè)設(shè)置藥液避開部，其中，設(shè)置排氣機(jī)構(gòu)，將所述藥液避開部?jī)?nèi)部通過(guò)至少一個(gè)隔壁在基板傳送方向上區(qū)分成多個(gè)室，除了所述藥液避開部?jī)?nèi)的最上游側(cè)的室內(nèi)以外，將至少一個(gè)室內(nèi)抽到負(fù)壓。
在本發(fā)明的傳送式基板處理裝置中，除了藥液避開部中的多個(gè)室內(nèi)的最上游側(cè)的室內(nèi)以外，至少一個(gè)室內(nèi)被抽到負(fù)壓。在兩室時(shí)，下游側(cè)的室內(nèi)被抽到負(fù)壓。在三室以上時(shí)，除了最上游側(cè)的室內(nèi)以外，兩個(gè)以上的室內(nèi)的至少一個(gè)室內(nèi)被抽到負(fù)壓。由此，將最上游側(cè)的室內(nèi)始終維持清潔的氣氛，在與藥液避開部的上游側(cè)連接的部分中形成始終清潔的區(qū)域。其結(jié)果，可防止藥液避開部的上游側(cè)的污染。
對(duì)于多個(gè)室的壓力控制來(lái)說(shuō)，最好是按常壓或正壓對(duì)藥液避開部的最上游側(cè)的室內(nèi)進(jìn)行控制。此外，最好是將藥液避開部沿基板傳送方向區(qū)分成三個(gè)以上的室，除了藥液避開部中的最上游側(cè)的室內(nèi)和最下游側(cè)的室內(nèi)以外，將至少一個(gè)室內(nèi)抽至負(fù)壓。這里，不僅對(duì)特定的室內(nèi)以負(fù)壓進(jìn)行控制，而且從藥液避開部的最上游側(cè)的室內(nèi)到最下游側(cè)的室內(nèi)分段地降低壓力也是有效的。
對(duì)于隔開藥液避開部的隔壁來(lái)說(shuō)，最好是將藥液避開部沿基板傳送方向區(qū)分成三個(gè)以上的室，設(shè)定隔壁位置，使得在基板前端到達(dá)下游側(cè)的藥液處理部的藥液噴出開始位置時(shí)，基板的后端可從藥液避開部的最上游側(cè)的室內(nèi)拔出，更好是設(shè)定隔壁位置，使得基板的前端到達(dá)藥液處理部的藥液噴出開始位置時(shí)，基板的后端可進(jìn)入藥液避開部的最下游側(cè)的室內(nèi)。
由此，沒有下游側(cè)的藥液處理部噴射的藥液傳到基板的上表面并侵入最上游側(cè)的室內(nèi)，更有效地防止藥液避開部的上游側(cè)受到污染。
此外，一旦將基板收容在藥液避開部?jī)?nèi)，為了避免藥液避開部的上游側(cè)和下游側(cè)連通的情況，最好是藥液避開部的總長(zhǎng)度比基板長(zhǎng)度長(zhǎng)，并且在藥液避開部的基板入口和出口上安裝快門。
附圖的簡(jiǎn)要說(shuō)明

圖1是表示本發(fā)明一實(shí)施例的基板處理裝置的示意性側(cè)視圖；圖2是藥液避開部的示意性俯視圖。
實(shí)施發(fā)明的最佳形式以下，根據(jù)附圖詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施例。
本實(shí)施例的基板處理裝置是用于液晶顯示裝置玻璃基板制造的腐蝕裝置。如圖1所示，該基板處理裝置包括沿基板10的傳送方向依次排列的接受部20、藥液避開部30、藥液處理部40、清洗部50和藥液斷開部60。各部分別配有水平支撐基板10并沿水平方向傳送基板10的多個(gè)傳送滾輪21、31、41、51、61。
如圖1和圖2所示，作為在接受部20和藥液處理部40之間設(shè)置的緩沖裝置(緩沖部)的藥液避開部30通過(guò)兩個(gè)隔壁32a、32b在基板10的傳送方向上被分割區(qū)分為三室33a、33b、33c。在設(shè)置于上游側(cè)的接受部20的隔壁的入口中配有開閉式的快門34a。同樣，在設(shè)置于下游側(cè)的藥液處理部40的隔壁的出口中也配有開閉式的快門34b。此外，在上述隔壁32a、32b中設(shè)置使基板10通過(guò)的縫隙狀的通過(guò)口。
相鄰上游側(cè)的接受部20的上游側(cè)的第1室33a為清潔室，具有以稍微正壓進(jìn)行控制的結(jié)構(gòu)。中央的第2室33b具有通過(guò)在底面設(shè)置的排氣口35將內(nèi)部排氣抽至負(fù)壓的結(jié)構(gòu)。相鄰下游側(cè)的藥液處理部40的第3室33c具有在底面設(shè)置了排液口36的結(jié)構(gòu)，以便排出從藥液處理部40侵入的藥液(這里為腐蝕液)。
藥液避開部20的總長(zhǎng)度L1大于基板10的長(zhǎng)度L2。此外，將從第2隔壁32b至下游側(cè)的藥液處理部40的藥液噴射開始位置的距離L3設(shè)定得大于基板10的長(zhǎng)度L2。
在藥液處理部40中，從上方將藥液(這里為腐蝕液)供給到基板10的上表面的噴嘴單元42被定位設(shè)置在基板10的傳送線的上方。
在清洗部50中，夾置基板10的傳送線來(lái)設(shè)置將純水從上方噴淋狀地散布到基板10的上表面的第1噴淋單元52、以及將純水從下方噴淋狀地散布到基板10的下表面的第2噴淋單元53。
在藥液斷開部60中，設(shè)置以從上下夾置基板10的傳送帶配置的上下一對(duì)氣刀的縫隙噴嘴62、63。上側(cè)的縫隙噴嘴62通過(guò)對(duì)基板10的上表面整個(gè)寬度薄膜狀地噴吹空氣，從清洗后的基板10的上表面除去水滴和水分。下側(cè)縫隙噴嘴63通過(guò)對(duì)基板10的下表面整個(gè)寬度薄膜狀地噴吹空氣，從清洗后的基板10的下表面除去水滴和水分。為了提高水滴和水分的除去效率，將上下縫隙噴嘴62、63在側(cè)面觀察時(shí)向基板10的傳送方向上游側(cè)傾斜，在平面觀察時(shí)向側(cè)方傾斜。
在本實(shí)施例的基板處理裝置中，通過(guò)使基板10依次通過(guò)接受部20、藥液避開部30、藥液處理部40、清洗部50及藥液斷開部60，對(duì)基板10的上表面實(shí)施藥液處理(這里為腐蝕處理)，在上下表面清洗后，進(jìn)行干燥處理。
在基板10從接受部20進(jìn)入藥液避開部30時(shí)，將隔開兩部的快門34a向打開方向操作，使入口打開。此時(shí)，中央的第2室33b被排氣到負(fù)壓。此外，將隔開藥液避開部30和藥液處理部40的快門34b向關(guān)閉方向操作，使出口關(guān)閉。在該狀態(tài)下，基板10進(jìn)入藥液避開部30內(nèi)。如果基板10完全進(jìn)入藥液避開部30內(nèi)，則該基板10一旦停止，在該期間首先關(guān)閉快門34a，接著打開快門34b。由此，可避免接受部20和藥液處理部40直接連接的情況。
如果快門34b打開，則重新開始基板10的傳送，基板10從藥液避開部30向藥液處理部40送出。然后，在基板10的前端到達(dá)了噴嘴單元42的時(shí)刻開始進(jìn)行藥液噴射。
藥液噴射開始后，傳到基板10上表面，藥液大量侵入藥液避開部30。但是，在藥液噴射開始的時(shí)刻，基板10的后端完全進(jìn)入第3室33c。因此，在藥液避開部30中大量侵入的藥液僅進(jìn)入第3室33c，不進(jìn)入第1室33a和第2室33b。侵入第3室33c的藥液由積存在第3室33c中的純水進(jìn)行稀釋，通過(guò)排液口36逐漸向外部排出。
此時(shí)，第1室33a被正壓控制，第2室33b被抽到負(fù)壓。因此，從第3室33c直接或從藥液處理部40經(jīng)由第3室33c藥液的蒸汽侵入第2室33b，但同時(shí)也形成從第1室33a向第2室33b的氣流。因此，可避免藥液和其蒸汽侵入第1室33a。即，與接受部20連接的第1室33a從液體、氣體兩方面來(lái)看都為始終清潔的區(qū)域。因此，完全沒有藥液氣氛侵入接受部20的危險(xiǎn)性。
這樣，通過(guò)將配置于接受部20的下游側(cè)的藥液避開部30分成三室，將中央的第2室33b抽到負(fù)壓，同時(shí)通過(guò)想出在傳到基板10上表面的藥液不侵入第2室33b和上游側(cè)的第1室33a的方法，可以在與藥液避開部30內(nèi)的接受部20相鄰的部分形成沒有藥液污染的始終清潔的區(qū)域。由此，盡管不等基板10從藥液避開部30拔出，從基板10通過(guò)藥液避開部30的出口的中途藥液處理部40就開始進(jìn)行藥液的噴出，也能夠完全防止接受部20內(nèi)部受到藥液污染。
順便說(shuō)明一下，如果形成基板10結(jié)束通過(guò)藥液避開部30的出口，在關(guān)閉該快門34b后開始進(jìn)行藥液處理的結(jié)構(gòu)，則在藥液處理部40內(nèi)的噴嘴單元42前方需要超過(guò)基板10長(zhǎng)度的空間，使裝置大型化。而且，處理時(shí)間變長(zhǎng)，使生產(chǎn)率惡化。
再有，上述實(shí)施例是腐蝕裝置，但同樣可應(yīng)用于剝離裝置。
產(chǎn)業(yè)上的利用可能性如以上說(shuō)明，本發(fā)明的基板處理裝置將基板沿水平方向傳送并通過(guò)多個(gè)處理部，用多個(gè)處理部的至少一個(gè)處理部進(jìn)行藥液處理，同時(shí)在藥液處理部的上游側(cè)設(shè)置藥液避開部，其中，通過(guò)將所述藥液避開部?jī)?nèi)部通過(guò)至少一個(gè)隔壁在基板傳送方向上區(qū)分成多個(gè)室，除了所述藥液避開部?jī)?nèi)的最上游側(cè)的室內(nèi)以外，將至少一個(gè)室內(nèi)抽到負(fù)壓，即使從通過(guò)藥液避開部的出口的階段起下游側(cè)的藥液處理部開始進(jìn)行噴淋等的藥液散布操作，也可以有效地防止上游側(cè)的接受部受到藥液污染。
權(quán)利要求
1.一種傳送式基板處理裝置，將基板沿水平方向傳送并通過(guò)多個(gè)處理部，用多個(gè)處理部的至少一個(gè)處理部進(jìn)行藥液處理，同時(shí)在藥液處理部的上游側(cè)設(shè)置藥液避開部，其特征在于，設(shè)置排氣機(jī)構(gòu)，將所述藥液避開部?jī)?nèi)部通過(guò)至少一個(gè)隔壁在基板傳送方向上區(qū)分成多個(gè)室，除了所述藥液避開部?jī)?nèi)的最上游側(cè)的室內(nèi)以外，將至少一個(gè)室內(nèi)抽到負(fù)壓。
2.如權(quán)利要求1所述的傳送式基板處理裝置，其中，按常壓或正壓來(lái)控制所述藥液避開部中的最上游側(cè)的室內(nèi)。
3.如權(quán)利要求1所述的傳送式基板處理裝置，其中，將所述藥液避開部沿基板傳送方向區(qū)分成三個(gè)以上的室，除了所述藥液避開部中的最上游側(cè)的室內(nèi)和最下游側(cè)的室內(nèi)以外，將至少一個(gè)室內(nèi)抽至負(fù)壓。
4.如權(quán)利要求1所述的傳送式基板處理裝置，其中，將所述藥液避開部沿基板傳送方向區(qū)分成三個(gè)以上的室，從所述藥液避開部中的最上游側(cè)的室內(nèi)到最下游側(cè)的室內(nèi)分段地降低壓力。
5.如權(quán)利要求1所述的傳送式基板處理裝置，其中，將所述藥液避開部沿基板傳送方向區(qū)分成三個(gè)以上的室，并設(shè)定隔壁位置，使得在基板前端到達(dá)下游側(cè)的藥液處理部的藥液噴出開始位置時(shí)，基板的后端可從所述藥液避開部的最上游側(cè)的室內(nèi)拔出。
6.如權(quán)利要求5所述的傳送式基板處理裝置，其中，設(shè)定隔壁位置，使得基板的前端到達(dá)藥液處理部的藥液噴出開始位置時(shí)，基板的后端可進(jìn)入藥液避開部的最下游側(cè)的室內(nèi)。
7.如權(quán)利要求1所述的傳送式基板處理裝置，其中，所述藥液避開部的總長(zhǎng)度比基板長(zhǎng)度長(zhǎng)，在所述藥液避開部的基板入口和出口上安裝快門。
全文摘要
即使在基板(10)通過(guò)藥液避開部(30)的出口的階段起，下游側(cè)的藥液處理部開始進(jìn)行藥液噴出操作的情況下，也可以防止上游側(cè)接受部中的藥液污染。為了實(shí)現(xiàn)它，使藥液避開部(30)的總長(zhǎng)度(L1)比基板(10)的長(zhǎng)度(L2)大，并在藥液避開部(30)的基板入口和出口處設(shè)置快門(34a、34b)。將藥液避開部(30)內(nèi)部通過(guò)至少一個(gè)隔壁(32a、32b)沿基板傳送方向區(qū)分成多個(gè)室(33a、33b、33c)，除了藥液避開部(30)內(nèi)最上游側(cè)的室(33a)以外，將至少一個(gè)室(33b)抽至負(fù)壓。將藥液避開部(30)中的最上游側(cè)的室(33a)控制到常壓或正壓。設(shè)定隔壁位置，使得在基板(10)的前端到達(dá)下游側(cè)的藥液處理部中的藥液噴出開始位置時(shí)，基板(10)的后端可拔出藥液避開部(30)中的最上游側(cè)的室(33a)。藥液避開部(30)中的最上游側(cè)的室(33a)被始終維持清潔的氣氛，在與藥液避開部(30)的上游側(cè)連接的部分形成始終清潔的區(qū)域。
文檔編號(hào)B65G49/07GK1503758SQ0280827
公開日2004年6月9日 申請(qǐng)日期2002年2月4日 優(yōu)先權(quán)日2002年2月4日
發(fā)明者田內(nèi)仁, 小泉晴彥, 彥 申請(qǐng)人:住友精密工業(yè)株式會(huì)社