專利名稱：基板輸送系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及基板分類系統(tǒng)，尤其是關(guān)于從未分類盒一旦將基板收納到緩沖 工作臺之后，通過收納入分類目標(biāo)盒來進行基板的分類的系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
圖18是表示以往的基板分類系統(tǒng)200的大致結(jié)構(gòu)的俯視圖，圖19是基板 分類系統(tǒng)200的主視圖，是表示沿圖18中的XIX方向的視圖。
基板分類系統(tǒng)200具有能夠載置未分類盒202和多個分類目標(biāo)盒204 的基臺206;能夠按片輸送基板的機器人208;能夠載置分類目標(biāo)盒204的儲 料器210。未分類盒202和分類目標(biāo)盒204具有相同的結(jié)構(gòu)，各盒能夠收納相 同數(shù)量的基板。
在基臺206和儲料器210之間，能夠通過使用起重機(未圖示)，使分類 目標(biāo)盒204適當(dāng)?shù)匾苿印?br> 隨機地收納有種類不同的多個基板的未分類盒202祐 沒置(載置)基臺 206上時，用條形碼讀取器等讀取未分類盒202所收納的各基板的信息(例如 與基板的種類相關(guān)的信息、各基板上條形碼等所表示的信息)，并且用機器人 208 —張一張地將基板從未分類盒202中搬出，將該搬出的基板搬入分類目標(biāo) 盒204。
在搬入時，由于按照基板的種類將基板搬入分類目標(biāo)盒204，所以在各分 類目標(biāo)盒204中按照種類收納基板。
即，未分類盒202中隨機地被收納的各基板被收納到分類目標(biāo)盒204時， 通過按照種類整理收納，能夠進行各基板的分類。
然而，在基板分類系統(tǒng)200中，由于使用機器人208在將基板從未分類盒 202向分類目標(biāo)盒204輸送時進行基板的分類，所以基臺206和儲料器210之 間的分類目標(biāo)盒204的更換動作(作業(yè))增多，存在高效地進行基板的分類變得困難的問題。
即，未分類盒202中收納有多種(例如，IO種)的基板，另外，如圖18所示，只能將三個分類目標(biāo)盒204載置在基臺206上，在各分類目標(biāo)盒204中，只能搬入三種基板，在未分類盒202中還剩下七種基板。另外，只裝入上述三種基板，不能使基臺206上載置的三個分類目標(biāo)盒204裝滿基板。
因此，預(yù)先另外將分類目標(biāo)盒204載置在儲料器210中，在基臺206和儲料器210之間適當(dāng)?shù)馗鼡Q分類目標(biāo)盒204，能夠?qū)⑸鲜?0種基板分類地收納在分類目標(biāo)盒204中，但是必須進行基臺206和儲料器210之間的分類目標(biāo)盒204的更換，基板的分類作業(yè)的效率降低。
此外，在進^f于上述分類時，如果基臺206上載置的未分類盒202的基板沒有了 ，收納有多種基板的下一個未分類盒202就要被載置在基臺206上。
上述問題在未分類盒202中收納的基板的種類多時更顯著。
因此，作為與基板分類系統(tǒng)200不同的基板分類系統(tǒng)考慮具有緩沖工作臺的基板分類系統(tǒng)(未圖示)。
上述基板分類系統(tǒng)是在具有與基板分類系統(tǒng)200結(jié)構(gòu)相同的未分類盒、分類目標(biāo)盒、基臺、機器人、儲料器的基礎(chǔ)上，還具有緩沖工作臺。
上述緩沖工作臺具有例如多列的緩沖用盒，在各緩沖用盒之間，設(shè)置有與機器人結(jié)構(gòu)相同的機器人。緩沖用盒與未分類盒和分類目標(biāo)盒結(jié)構(gòu)相同且可收納相同張數(shù)的J^反，并被載置在與基臺相同的基臺上。
而且，隨機地收納有種類不同的多個基板的未分類盒被設(shè)置在基臺上時，用條形碼讀取器等讀取未分類盒中收納的各基板的信息，并且用機器人將基板一張一張地從未分類盒搬出，并使用機器人(根據(jù)需要使用機器人)將該搬出的基板搬入緩沖用盒。
接著，特定的品種被存留規(guī)定張數(shù)，使用機器人(根據(jù)需要使用機器人)將該規(guī)定張數(shù)的基板從緩沖用盒搬出，并將該搬出的基板搬入分類目標(biāo)盒。
由于具有緩沖工作臺，所以在上述基板分類系統(tǒng)中，不需要進行儲料器和基臺之間的分類目標(biāo)盒的更換，能夠高效地進行基板的分類。
此外，作為與上述各分類裝置200相關(guān)的文獻(xiàn)例如專利文獻(xiàn)(日本專利第3185595號公才良)。然而，在上述基板分類系統(tǒng)200中，如上所述，存在高效地進行基板的分類變得困難的問題，在上述基板分類系統(tǒng)(未圖示)中，由于要臨時收納多個基板，則設(shè)置緩沖工作臺，由此存在裝置大型化的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明鑒于上述問題而研發(fā)的，其目的是提供一種能夠高效率地分類基板且能夠避免大型化的基板分類系統(tǒng)。
本發(fā)明的第1方式的發(fā)明是一種基板分類系統(tǒng)，將未分類盒中收納的多個基板分類到分類目標(biāo)盒，具有將上述基板收納在任意位置的緩沖工作臺；在上述未分類盒、上述分類目標(biāo)盒和上述緩沖工作臺兩兩之間按片輸送基板的裝載裝置。
本發(fā)明的第2方式的發(fā)明是在第1方式^記載的基板分類系統(tǒng)中，還具有輸入未分類盒中收納的基板的ID的ID輸入機構(gòu)；基于上述ID輸入機構(gòu)輸入的ID，以使被分類的基板向上述分類目標(biāo)盒移動的方式控制上述裝載裝置的控制機構(gòu)。
本發(fā)明的第3方式的發(fā)明是在第1方式或第2方式記載的基板分類系統(tǒng)中，設(shè)置多個上述分類目標(biāo)盒。
本發(fā)明的第4方式的發(fā)明是在第1方式~第3方式任一個記載的基板分類系統(tǒng)中，上述緩沖工作臺以高密度收納上述基板。


圖l是表示本發(fā)明的第1實施方式的基板分類系統(tǒng)的大致結(jié)構(gòu)的俯視圖。圖2是表示基板分類系統(tǒng)的大致結(jié)構(gòu)的側(cè)視圖，是沿著圖1中的II方向的視圖。
圖3是緩沖工作臺的大致立體圖。
圖4是表示構(gòu)成緩沖工作臺的高密度盒的立體圖。
圖5是沿著圖3的V方向的視圖。
圖6是沿著圖5中的VI方向的視圖。
圖7是表示基板分類系統(tǒng)的大致結(jié)構(gòu)的俯視圖，是與圖1對應(yīng)的圖。
5圖8是表示基板分類系統(tǒng)的大致結(jié)構(gòu)的側(cè)視圖，是沿著圖7中的VIII方向的視圖，是與圖2對應(yīng)的圖。
圖9是對基板分類系統(tǒng)的動作進行說明的圖。圖IO是對基板分類系統(tǒng)的動作進行說明的圖。圖ll是對基板分類系統(tǒng)的動作進行說明的圖。圖12是對基板分類系統(tǒng)的動作進行說明的圖。圖13是對基板分類系統(tǒng)的動作進行說明的圖。
圖14是表示本發(fā)明的第2實施方式的基板分類系統(tǒng)的大致結(jié)構(gòu)的側(cè)視圖，是與圖2對應(yīng)的圖。
圖15是表示本發(fā)明的第3實施方式的基板分類系統(tǒng)的大致結(jié)構(gòu)的俯視圖，是與圖l對應(yīng)的圖。
圖16是表示本發(fā)明的第5實施方式的基板分類系統(tǒng)的大致結(jié)構(gòu)的俯視圖，是與圖l對應(yīng)的圖。
圖17是表示本發(fā)明的第5實施方式的基板分類系統(tǒng)的大致結(jié)構(gòu)的側(cè)視圖，是沿著圖16中的XVII方向的視圖。
圖18是表示以往的基板分類系統(tǒng)的大致結(jié)構(gòu)的俯視圖。
圖19是基板分類系統(tǒng)的主視圖，是沿著圖18中的XIX方向的視圖。
具體實施例方式
圖1是表示本發(fā)明的第1實施方式的基板分類系統(tǒng)1的大致結(jié)構(gòu)的俯視圖，圖2是表示基板分類系統(tǒng)1的大致結(jié)構(gòu)的側(cè)視圖，是沿著圖1中的II方向的^L圖。
在本說明書中，為方便說明，將水平方向的一方向作為X軸方向，將水平方向的另一方向即與上述X軸方向垂直的方向作為Y軸方向，將鉛直方向作為Z軸方向。
基板分類系統(tǒng)1是將收納在未分類盒3中的多個基板W分類到分類目標(biāo)盒5的裝置。未分類盒3是通過將基板W置于水平并大致等間隔地相互稍分離地層疊而多層地進行收納，分類目標(biāo)盒5也是同樣地通過將基板W置于水平并大致等間隔地相互稍分離地層疊而多層地進行收納。
作為上述基板w可以考慮玻璃基板(例如，等離子顯示板和液晶顯示板
等所使用的矩形的板狀的玻璃基板)。
基板分類系統(tǒng)1具有將基板W載置到例如高密度盒9并將基板W收納在該高密度盒9的任意位置的緩沖工作臺7;可載置未分類盒3的分類開始工位13;可載置分類目標(biāo)盒5的分類目標(biāo)工位15;在未分類盒3、分類目標(biāo)盒5和高密度盒9之間按片輸送基板W的裝載裝置11。
高密度盒9與未分類盒3同樣地通過將基板W置于水平并大致等間隔地相互稍分離地層疊而多層地進行收納。但是，在緩沖工作臺7，例如，只用機械手，以可載置基板W的上述機械手不能伸入基板W間的基板間隔高密度地，收納 基板W。
在分類開始工位13設(shè)置未分類盒輔助部17，按片將未分類盒5中收納的基板W轉(zhuǎn)移到裝載裝置11，另外，在分類目標(biāo)工位15設(shè)置分類目標(biāo)盒輔助部19,將裝載裝置11所輸送的基板W收納到分類目標(biāo)盒5。
這里，關(guān)于緩沖工作臺7舉例進行詳細(xì)說明。
圖3是緩沖工作臺7的大致立體圖，圖4是表示構(gòu)成緩沖工作臺7的高密度盒9的立體圖，圖5是沿著圖3的V方向的視圖，圖6是沿著圖5中的VI方向的視圖。
緩沖工作臺7具有1個或多個(例如2個)高密度盒9。高密度盒9大致構(gòu)成為立方體狀，在Y軸方向的兩端部上具有側(cè)部件25。側(cè)部件25是沿著Z軸方向的細(xì)長狀，在Y軸方向的一端部側(cè)上在X軸方向上隔開間隔設(shè)置多個側(cè)部件25，同樣地在Y軸方向的另 一端部側(cè)上在X軸方向上隔開間隔設(shè)置多個側(cè)部件25。
在Y軸方向的一端部側(cè)上設(shè)置的側(cè)部件25和Y軸方向的另 一端部側(cè)上設(shè)置的側(cè)部件25之間，鋪設(shè)線狀的部件(例如電纜)27，用于將基板W載置并收納在高密度盒9內(nèi)。
在Z軸方向上的相同位置(相同高度)上，在X軸方向上隔開規(guī)定間隔沿Y軸方向延伸地設(shè)置多條電纜27，由此構(gòu)成能夠支承(載置)1張基板W的1個電纜組。在Z軸方向上隔開規(guī)定的小間隔多個設(shè)置上述電纜組，由此高密度盒9 能夠?qū)41 W置于水平并多層地進行收納。存在將這樣構(gòu)成的高密度盒9稱 為電纜盒的情況。
另夕卜，在高密度盒9的X軸方向的一側(cè)面(設(shè)置有裝載裝置11 一側(cè)的面)， 設(shè)置有使基板W可自由出入的開口部26。
在緩沖工作臺7設(shè)置緩沖工作臺側(cè)輔助部23，用于按片將從裝載裝置11 接受的基板W收納到高密度盒9的任意位置，或者，將高密度盒9中收納的 任意基板W從高密度盒9取出并轉(zhuǎn)移到裝載裝置11。
緩沖工作臺側(cè)輔助部23是，將輔助單元29配置在高密度盒9的Y軸方 向的一側(cè)，將與上述輔助單元29結(jié)構(gòu)相同的輔助單元29配置在高密度盒9 的Y軸方向的另一側(cè)，即，由一對輔助單元29構(gòu)成。而且，上迷一對輔助單 元29按每個高密度盒9設(shè)置。因此，圖1所示的緩沖工作臺7具有2個高密 度盒9，從而具有2對輔助單元(4個輔助單元)29。
這里，對1個輔助單元29進行說明。
輔助單元29具有相對于設(shè)置基板輸送系統(tǒng)1的地板面被移動固定的基部 件31。在該基部件31的上表面(在水平方向延展的平面狀的上表面)，以可 在Y軸方向上移動的方式設(shè)置有形成為板狀且在水平方向上延伸的Y軸滑架 35。更詳細(xì)地說明，通過導(dǎo)軌(未圖示)與基部件31設(shè)置成一體且軸承(未 圖示)與Y軸滑架35設(shè)置成一體的直線導(dǎo)軌軸承(未圖示)，Y軸滑架35被 基部件31支7fc。另外，Y軸滑架35通過伺服電機等的致動器和滾珠絲杠等可 在Y軸方向上移動定位。
在Y軸滑架35的前端部側(cè)(高密度盒9側(cè))，在X軸方向上隔開規(guī)定間 隔地設(shè)置多個切口 37。在Y軸滑架35的前端部側(cè)即沒有設(shè)置上述切口 37的 各部位39上，分別以可旋轉(zhuǎn)的方式設(shè)置有用于載置輸送基板W的圓柱狀的小 徑的輥41。
上述各輥41被設(shè)置成他們的旋轉(zhuǎn)中心軸沿著Y軸方向延伸并且高度相 同，被未圖示的軸承支承在Y軸滑架35上，并且通過未圖示的齒輪等動力傳 遞部件，由電機等的致動器(未圖示)使他們分別同步旋轉(zhuǎn)。
在Y軸滑架35的各部位39上，除輥41以外，還設(shè)置有緩沖工作臺側(cè)空
8氣浮動機構(gòu)43，用于支承被各輥41輸送的基板W的重量。
援沖工作臺側(cè)空氣浮動機構(gòu)43具有例如由具有通氣性的陶瓷形成的薄板 狀的支承部件45，被壓縮空氣供給機構(gòu)(未圖示)供給的壓縮空氣從支承部 件45噴出，與上述基板W以非接觸的狀態(tài)支承上述基板W的重量。
上述支承部件45設(shè)置得比輥41更靠前端側(cè)(高密度盒9側(cè))。另外，支 承部件45的上表面位于比輥41的上端稍靠下方，另外，支承部件45的下表 面的高度和輥41的下端的高度大體一致。
此外，還可以代替通氣性的陶資由通氣性的燒結(jié)金屬等構(gòu)成上述支承部件 45。另外，還可以使用不具有通氣性的材質(zhì)充填的金屬等的部件，將該金屬等 的部件設(shè)置多個孔，從這些穴噴出壓縮空氣來支承上述基板W。
而且，還可以代替上述各空氣浮動機構(gòu)43采用利用超聲波使基板W浮起 的超聲波浮動機構(gòu)。
上述超聲波浮動機構(gòu)通過超聲波振動子使基板支承部件振動，由此由基板 W和上述基板支承部件之間形成的薄空氣膜來支承基板W的重量。
舉例詳細(xì)說明，上述超聲波浮動機構(gòu)具有超聲波發(fā)生元件(例如壓電元件)。
在上述超聲波發(fā)生元件的上側(cè)，設(shè)置有變幅桿，用于增幅該超聲波發(fā)生元 件所發(fā)生的振動。上述基板支承部件通過連結(jié)部件設(shè)置在上述變幅桿的上部。
而且，上述超聲波發(fā)生元件所發(fā)生的振動被傳遞到上述基板支承部件，該 基板支承部件主要在上述基板W的厚度方向上振動，由此在基板W和上述基 板支承部件之間，發(fā)生將空氣作為媒體的放射壓(空氣的粗密波產(chǎn)生的放射 壓)，通過該放射壓，在上述基板W和上述基板支承部件之間生產(chǎn)薄空氣膜， 從而能夠由上述基板支承部件支承上述基板W的重量。
另外，在緩沖工作臺7設(shè)置有盒移動定位裝置33，載置高密度盒9并能 使該載置的高密度盒9在Z軸方向上移動定位。該盒移動定位裝置33具有 直接載置高密度盒9的部位；不直接載置高密度盒9的部位。上述直接載置的 部位被直線導(dǎo)軌軸承等以可在Z軸方向上移動的方式支承。另外，上述直接 載置的部位通過伺服電機等的致動器和滾珠絲杠等在Z軸方向上移動定位。
在如上所述構(gòu)成的緩沖工作臺7中，在未圖示的控制裝置的控制下適當(dāng)驅(qū)動各致動器等時，如圖3所示，輥41、支承部件45處于高密度盒9的外側(cè)， 或者，高密度盒9在Z軸方向上被適當(dāng)?shù)匾苿佣ㄎ?，如圖6所示，輥41、支 承部件45進入高密度盒9內(nèi)，即，進入高密度盒9中收納的任意2個基板W 間，由輥41載置基板W，并由支承部件45以能夠防止基板W撓曲的方式支 承基板W的重量，使基板W在X軸方向上移動，從而可以搬出高密度盒9 中收納的基板W,或?qū)⒒錡搬入高密度盒9。
此外，輥41、支承部件45進入高密度盒9內(nèi)時，高密度盒9的側(cè)部件25 進入輥41、支承部件45間的切口 37處。另外，高密度盒9的Y軸方向的兩 側(cè)設(shè)置的各輔助單元29相互同步地動作。而且，如上所述，由于輥41、支承 部件45的高度(Z軸方向的尺寸)被抑制得很低，所以即使高密度盒9以上 下方向上窄的間隔(機械手不能進入程度的窄間隔)收納各基板W,輥41、 支承部件45也能夠進入任意2個基板W之間。
其次，關(guān)于未分類盒3、分類目標(biāo)盒5、裝載裝置ll、未分類盒側(cè)輔助部 17和分類目標(biāo)盒側(cè)輔助部19，舉例進行詳細(xì)說明。
此外，在分類開始工位13設(shè)置有盒移動定位裝置(與上述盒移動定位裝 置33結(jié)構(gòu)大致相同的盒移動定位裝置)14,載置未分類盒3并使該載置的未 分類盒3在Z軸方向上移動定位。另外，在分類目標(biāo)工位15也設(shè)置有同樣的 盒移動定位裝置16。
再對基板分類系統(tǒng)1進行說明。
圖7是表示基板分類系統(tǒng)1的大致結(jié)構(gòu)的俯視圖，是與圖1對應(yīng)的圖。 圖8是表示基板分類系統(tǒng)1的大致結(jié)構(gòu)的側(cè)視圖，是沿著圖7中的VIII
方向的一見圖，是與圖2對應(yīng)的圖。
此外，為了方便觀察，在圖8中，省略了 一側(cè)(圖7的下側(cè))的側(cè)方部件
61等的表示。
未分類盒3如上所述地具有例如與高密度盒9大致相同的結(jié)構(gòu)和外形。分 類目標(biāo)盒5與未分類盒3結(jié)構(gòu)相同。
從圖1、圖7中可以理解，在基板分類系統(tǒng)1中，在裝載裝置11的X軸 方向的一側(cè)，配置有未分類盒3、分類目標(biāo)盒5，在裝載裝置11的X軸方向 的另一側(cè)配置有高密度盒9。未分類盒側(cè)輔助部17由結(jié)構(gòu)與上述緩沖工作臺側(cè)空氣浮動機構(gòu)43相同的 分類元空氣浮動機構(gòu)47構(gòu)成。分類元空氣浮動機構(gòu)47由例如在X軸方向上 隔開間隔地設(shè)置的多個支承部件49構(gòu)成。各支承部件49能夠從各支承部件 49的上表面噴出空氣。
而且，在上述控制裝置的控制下，由盒移動定位裝置14使未分類盒3在 Z軸方向上適當(dāng)?shù)匾苿佣ㄎ唬ㄟ^從支承部件49噴出空氣，能夠支承未分類 盒3的最下面所收納的基板W的重量。
分類目標(biāo)盒側(cè)輔助部19也與未分類盒側(cè)輔助部17結(jié)構(gòu)相同，并進^f亍大致 同樣的動作。
在裝載裝置ll中設(shè)置有分類目標(biāo)盒及未分類盒側(cè)基板輸送機構(gòu)51,用于 在該裝載裝置11和未分類盒3及分類目標(biāo)盒5之間進行基板W的輸送。另夕卜， 在裝載裝置11中設(shè)置有高密度盒側(cè)基板輸送機構(gòu)53，用于在該裝載裝置11 和高密度盒9之間進行基板W的輸送。
更詳細(xì)地進行說明，裝載裝置11的下部具有基部件57。該基部件57被 直線導(dǎo)軌軸承59支承，通過伺服電機等的致動器和滾珠絲杠等在Y軸方向上 移動定位。
在上述基部件57的上表面(在水平方向上延展的平面狀的上表面)， 一體 地立設(shè)側(cè)方部件61。該側(cè)方部件61設(shè)置在基部件57的Y軸方向的兩端部側(cè)。
分類目標(biāo)盒及未分類盒側(cè)基板輸送機構(gòu)51具有在上述各側(cè)方部件61間設(shè) 置的移載手柄支承部件63。在移載手柄支承部件63的上部，設(shè)置有L字形的 手柄部件67。手柄部件67通過直線導(dǎo)軌軸承(未圖示)等，以可移動的方式 支承在移載手柄支承部件63上。另外，手柄部件67通過祠服電機等的致動器 和滾珠絲杠等在X軸方向上移動定位。
在手柄部件67的上部一體地設(shè)置有保持機構(gòu)的一例即吸盤71,能夠吸附 保持基板W的下表面。此外，代替用吸盤71進行保持，還可以通過例如夾住 基板W的端部進行保持。
另外，在移載手柄支承部件63的上部設(shè)置有裝載空氣浮動機構(gòu)69。該裝 載空氣浮動機構(gòu)69由與移載手柄支承部件63 —體設(shè)置的多個支承部件70構(gòu) 成。各支承部件70的上表面位于比上述吸盤71的上表面稍靠下方。另外，各支承部件70能夠從各支承部件49的上表面噴出空氣。
而且，將移載手柄支承部件63適當(dāng)定位在高度方向上，手柄部件67從移 栽手柄支承部件63外伸，如果向未分類盒3或分類目標(biāo)盒5側(cè)(圖8的右側(cè)) 延伸，由吸盤71保持未分類盒3的基板W的端部的下表面。
另外，從上述支承部件49的上表面和各支承部件70的上表面吹出空氣來 支承基板W的重量，如果引入手柄部件67 (向圖8的左側(cè)移動)，從未分類 盒3將基板W引出(搬出)到移載手柄支承部件63的大致正中的位置。
此外，在向分類目標(biāo)盒5搬入基板W的情況下，進行與來自上述未分類 盒3的基板W的搬出相反的動作即可。
高密度盒側(cè)基板輸送機構(gòu)53具有輸送器基部件73。輸送器基部件73是 在各側(cè)方部件61之間，通過直線導(dǎo)軌軸承65,被支承在各側(cè)方部件61上。 另外，輸送器基部件73通過伺服電機等的致動器和滾珠絲杠等在Z軸方向上 移動定位。
在輸送器基部件73的上表面(在水平方向上延展的平面狀的上表面)，多 個輥支承部件75 —體地設(shè)置。各輥支承部件75例如在Y軸方向上隔開間隔 地設(shè)置。而且，在各輥支承部件75的上端部，設(shè)置有構(gòu)成用于載置基板W的 輸送器的多個輥77。
各輥77的旋轉(zhuǎn)中心軸沿Y軸方向延伸，并且各輥77通過電機等的致動 器和齒輪等的動力傳遞部件分別同步地旋轉(zhuǎn)，或者，通過離合器等切斷與電機 的連4妾而分別自由旋轉(zhuǎn)。
而且，輸送器基部件73、各輥支承部件75和各輥77在以下位置間移動 從移載手柄支承部件63分離并位于移載手柄支承部件63的下方的位置、和各 輥77的上端比比吸盤71的上端稍高的位置。此外，在各輥77的上端位于比 吸盤71的上端更靠上方等的狀態(tài)下，各輥支承部件75和各輥77貫穿移載手 柄支承部件63上設(shè)置的貫通孔。
此外，各輥77的上端比吸盤71的上端稍高的位置中的上述各輥的上端、 和緩沖工作臺側(cè)輔助部23的各輥41的上端高度相同。
在使用高密度盒側(cè)基板輸送機構(gòu)53進行從各輥77向高密度盒9的基板W 搬入(輸送)的情況下，適當(dāng)?shù)厥垢鬏?7和各輥41旋轉(zhuǎn)即可，在進行從高密度盒9向各輥77的基板W輸送的情況下，進行相反的動作即可。
另外，在基板分類系統(tǒng)l中，還具有ID輸入機構(gòu)(未圖示)，用于輸入 未分類盒3中收納的基板W的ID;和上述控制裝置(未圖示)，基于從上述 ID輸入機構(gòu)輸入的ID使被分類到分類目標(biāo)盒5的基板W移動。
而且，具體地，上述控制裝置通過天線(未圖示)讀取并輸入未分類盒3 中設(shè)置的RFID (Radio Frequency IDentification )標(biāo)簽(未圖示)所存儲的基 板W的信息(未分類盒3中收納的各基板的信息、基板W的種類、基板W 的良否等的信息)，將該輸入的各基板W的信息存儲在未圖示的存儲機構(gòu)。
此外，基板W的信息是在對未分類盒3中收納的各基板W進行加工前的 工序等中，預(yù)先存儲(收納)在上述RFID標(biāo)簽中的。另外，在未分類盒3中， 不同種類的基板W被例如隨機地收納。
另外，將上述未分類盒3中收納的基板W移動到緩沖工作臺7時，將基 板W收納(搬入)到高密度盒9的任意位置。此外，在未分類盒3中沒有基 板W的情況下，適當(dāng)?shù)馗鼡Q成收納有基板W的下一個未分類盒3。
而且，參照上述存儲機構(gòu)中存儲的信息，在緩沖工作臺7存留規(guī)定張數(shù)的 例如相同種類的基板W，將這些存留的規(guī)定張數(shù)的基板W移動到分類目標(biāo)盒 5。此時，從緩沖工作臺7的任意位置搬出基板W。因此，能夠只將上述存留 規(guī)定張數(shù)的同種類的基板W移動到分類目標(biāo)盒5,從而能夠進行基板W的分類。
向分類目標(biāo)盒5移動上述相同種類的規(guī)定張數(shù)的基板W結(jié)束后，將分類 目標(biāo)盒5更換到下一個盒，進行下一同種類的基板W的分類。
此外，代替RFID標(biāo)簽或在此基礎(chǔ)上，上述控制裝置也可以才艮據(jù)未分類盒 3上帶有的條形碼和各基板W帶有的條形碼等，獲得基板W的信息。而且， 還可以將控制裝置與網(wǎng)絡(luò)連接，通過上述網(wǎng)絡(luò)獲得基板W的信息。
此外，在基板分類系統(tǒng)1的分類目標(biāo)工位15，可以設(shè)置多個分類目標(biāo)盒5。 而且，向被設(shè)置的各分類目標(biāo)盒5中的1個分類目標(biāo)盒5進行收納被分類的基 板W結(jié)束后，可以繼續(xù)進行向上述各分類目標(biāo)盒5中的另一個分類目標(biāo)盒5 的分類。被設(shè)置的各分類目標(biāo)盒5中的其他分類目標(biāo)盒5被稱為待機盒。
而且，如圖1所示，在基板分類系統(tǒng)1中，設(shè)置有可載置分類目標(biāo)盒5的儲料器79。在分類目標(biāo)工位15和儲料器79之間，通過使用起重機(未圖 示)或分類目標(biāo)盒移動機器人等，能夠適當(dāng)?shù)匾苿臃诸惸繕?biāo)盒5。
其次，對基板分類系統(tǒng)1的動作進行說明。
圖9~圖14是說明基板分類系統(tǒng)1的動作的圖。
基板分類系統(tǒng)1是在上述控制裝置的控制下進行動作的?；宸诸愊到y(tǒng)1 在動作開始前，例如，收納有各種類的基板W的未分類盒3被預(yù)先設(shè)置在分 類開始工位13,沒有收納基板W的空的分類目標(biāo)盒5被預(yù)先設(shè)置在分類目標(biāo) 工位15，在高密度盒9中沒有收納基板W，是空的。
另外，如圖9所示，手柄部件67位于高密度盒9側(cè)(圖9的左側(cè))。未分 類盒3位于吸盤71的上端比未分類盒3的最下側(cè)收納的基板W的下表面低的 位置的高度(支承部件49的上表面也位于比未分類盒3的最下側(cè)收納的基板 W的下表面低的位置的高度)。此外，輥77位于移載手柄支承部件63的下方。
在圖9所示的狀態(tài)中，將手柄部件67移動到未分類盒3側(cè)(圖9的右側(cè))， 使未分類盒3適當(dāng)?shù)叵蛳路揭苿?，直到未分類?的最下側(cè)收納的基板W的 下表面與吸盤71的上端大體一致(未分類盒3的最下側(cè)收納的基板W的下表 面比支承部件49的上表面稍靠上方)。
接著，由吸盤71保持未分類盒3的最下側(cè)收納的基板W的下端部(裝載 裝置ll側(cè)的下端部)，從支承部件49的上表面噴出空氣，使未分類盒3的最 下側(cè)收納的基板W稍上升(參照圖10 )。
其次，從支承部件70的上表面噴出空氣，并且使手柄部件67向高密度盒 9側(cè)(圖IO的左側(cè))移動，將基板W從未分類盒3中搬出。搬出后的基板W 位于移載手柄支承部件63的大致正上方(參照圖11、圖12)。
接著，使各輥77上升，使各輥77的上端的高度與基板W的下表面的高 度大體一致(使各輥77的上端的高度比支承部件70的上表面的高度稍高)， 由輥77支承基板W的兩側(cè)部下表面，并解除吸盤71對基板W的保持(參照 圖12)。
此外，在圖12中，為不妨礙圖示省略了手柄部件67等的表示。 在圖12所示的狀態(tài)中，將高密度盒9定位于適當(dāng)?shù)母叨?，將?1、支承 部件45插入高密度盒9的內(nèi)部，并旋轉(zhuǎn)驅(qū)動輥77、輥41，將基板W搬入高密度盒9內(nèi)(參照圖13)。
之后，稍微使高密度盒7上升，將搬入的基板W載置在高密度盒9的電 纜27上。之后，返回到與圖9所示的狀態(tài)大致相同的狀態(tài)。
反復(fù)這樣的動作，在高密度盒9中存留了規(guī)定張數(shù)的同種類的基板W之 后，將這些存留的規(guī)定張數(shù)的基板W移動到分類目標(biāo)盒5。該移動通過與如 上所述地將基板從未分類盒3移載到高密度盒9的動作大致相反的動作進行。 從高密度盒9向分類目標(biāo)盒5移動時，從緩沖工作臺7的任意位置搬出基板W。 因此，能夠只將上述規(guī)定張數(shù)存留的同種類的基板W移動到分類目標(biāo)盒5, 從而能夠進行基板W的分類。
向分類目標(biāo)盒5移動上述同種類的規(guī)定張數(shù)的基板W結(jié)束之后，將分類 目標(biāo)盒5更換^下一個盒，進行下一的同種類的基板W的分類。
根據(jù)基板分類系統(tǒng)l，在緩沖工作臺7存留規(guī)定張數(shù)的特定品種，只將該 規(guī)定張數(shù)的基板W移動到分類目標(biāo)盒5，從而不需要在分類目標(biāo)盒5和儲料 器79之間進行分類目標(biāo)盒5的更換，能夠高效率地進行基板W的分類。另夕卜， 由于能夠高密度地在緩沖工作臺7收納更多的基板W,所以能夠回避緩沖工 作臺的大型化，能夠使基板分類系統(tǒng)1小型化。
另外，通過使基板分類系統(tǒng)1小型化，能夠使基板分類系統(tǒng)1的設(shè)置面積 變小。如果基板分類系統(tǒng)1的設(shè)置面積減小，將基板分類系統(tǒng)1在無塵室內(nèi)使 用時，能夠減小價;格昂貴的設(shè)備即無塵室本身的大小。
另外，根據(jù)基板分類系統(tǒng)l，基于輸入的ID，移動被分類到分類目標(biāo)盒5 的基板W,從而能夠使基板分類系統(tǒng)1的進一步自動化，并且能夠進一步高 效率地正確地進行基板W的分類。
而且，根據(jù)基板分類系統(tǒng)1 ，向各分類目標(biāo)盒5中的1個分類目標(biāo)盒5收 納被分類的基板W結(jié)束后，可以繼續(xù)進行向各分類目標(biāo)盒5中的另一個分類 目標(biāo)盒5的分類，從而即使改變基板輸送先的分類目標(biāo)盒5，也不需要中斷裝 載裝置11的動作，而能高效率地進行基板W的分類。 [第2實施方式]
圖14是表示本發(fā)明的第2實施方式的基板分類系統(tǒng)101的大致結(jié)構(gòu)的側(cè) 視圖，是與圖2對應(yīng)的圖。第2實施方式的基板分類系統(tǒng)101是除了通過利用輥的輸送器進行未分類 盒3和裝載裝置11之間的、及分類目標(biāo)盒5和裝載裝置11之間的基板W的 輸送這點與第1實施方式的基板分類系統(tǒng)1不同之外，其他方面都與基板分類 系統(tǒng)l大致相同，并具有大致相同的效果。
即，在基板分類系統(tǒng)101中，去除了移載手柄支承部件63、手柄部件67、 吸盤71等，并且各輔助部17、 19具有被致動器旋轉(zhuǎn)驅(qū)動的輥102。此外，各 輥102的上端的高度、各輥77的上端的高度和各輥41的上端的高度相互一致。 而且，通過適當(dāng)?shù)仳?qū)動各輥77、 102,進行未分類盒3和裝載裝置ll之間的、 及分類目標(biāo)盒5和裝載裝置11之間的基板W的輸送。
圖15是表示本發(fā)明的第3實施方式的基板分類系統(tǒng)110的大致結(jié)構(gòu)的俯 視圖，是與圖2對應(yīng)的圖。
第3實施方式的基板分類系統(tǒng)110是除了使用與手柄部件67、吸盤71結(jié) 構(gòu)相同的且設(shè)置在移載手柄支承部件63上的手柄部件67a、吸盤71a進行裝 載裝置11和高密度盒9之間的基板W的輸送這點與第1實施方式的基板分類 系統(tǒng)1不同之外，其他方面與基板分類系統(tǒng)1大致相同，并且具有大致相同的 效果。
此外，在緩沖工作臺側(cè)輔助部23中去除了輥41。 [第4實施方式]
第4實施方式的基板分類系統(tǒng)(未圖示)是與第1實施方式的基板分類系
裝置ll之間的、及分類目標(biāo)盒5和裝載裝置ll之間的基板W的輸送，并且 通過使用手柄部件67a、吸盤71a進行高密度盒9和裝載裝置11之間的基板 W的輸送。 ' 圖16是表示本發(fā)明的第5實施方式的基板分類系統(tǒng)130的大致結(jié)構(gòu)的俯
視圖，是與圖l對應(yīng)的圖。
圖17是表示本發(fā)明的第5實施方式的基板分類系統(tǒng)130的大致結(jié)構(gòu)的側(cè)
視圖，是沿著圖16中的XVII方向的視圖。第5實施方式的基板分類系統(tǒng)130是除了使用基板移載手柄132進行未分 類盒3和裝載裝置11的主體部17之間的、及分類目標(biāo)盒5和裝載裝置11的 主體部17之間的基板W的輸送這點與第1實施方式的基板分類系統(tǒng)1不同之 外，其他方面與基板分類系統(tǒng)1大致相同，并且具有大致相同的效果。
即，在基板分類系統(tǒng)130中，相對于與移載手柄支承部件63結(jié)構(gòu)大致相 同的移載手柄支承部件63a,設(shè)置有通過致動器在X軸方向上移動定位的楔狀 的基板移載手柄132。而且，將基板移載手柄132插入未分類盒3、分類目標(biāo) 盒5內(nèi)，并載置輸送基板W。此外，在移載手柄支承部件63a的高密度盒9 側(cè)的上表面，設(shè)置有用于支承基板W的重量的輥136，將基板從輥77向輥41 輸送時，由輥136支承基板W，能夠順暢地進行基板W的輸送。
另外，作為基板分類目標(biāo)盒、基板未分類盒，不用電纜盒而采用在Y軸 方向的兩端部支承基板W的通常的盒。
第6實施方式的基板分類系統(tǒng)(未圖示)是除了使用與手柄部件67、吸 盤71結(jié)構(gòu)相同且"i殳置在移載手柄支承部件63上的手柄部件67a、吸盤71a(參 照圖15)進行裝載裝置11的主體部17和高密度盒9之間的基板W的輸送這 點與第5實施方式的基板分類系統(tǒng)130不同之外，其他方面與基板分類系統(tǒng) 130大致相同，并且具有相同的效果。
此外，在輔助部23(參照圖3)中，與第3實施方式的基板分類系統(tǒng)110 相同地去除輥41。
此外，在上述各實施方式中，使未分類盒3、分類目標(biāo)盒5、高密度盒9 在上下方向上移動，而進行基板W的搬出4般入，但也可以預(yù)先將未分類盒3、 分類目標(biāo)盒5、高密度盒9固定在高度方向上，通過使移載手柄支承部件63 等在上下方向上移動，來進行基板W的搬出搬入。
另外，本發(fā)明不限于上述本發(fā)明的實施方式，可以進行適當(dāng)?shù)刈兏?，通過 其他方式實施。
權(quán)利要求
1. 一種基板分類系統(tǒng)，將未分類盒中收納的多個基板分類到分類目標(biāo)盒，其特征在于，具有將上述基板收納在任意位置的緩沖工作臺；在上述未分類盒、上述分類目標(biāo)盒和上述緩沖工作臺兩兩之間按片輸送基板的裝載裝置。
2. 如權(quán)利要求1所述的基板分類系統(tǒng)，其特征在于，還具有 輸入未分類盒中收納的基板的ID的ID輸入機構(gòu)；基于上述ID輸入積i構(gòu)輸入的ID，以使;陂分類的基板向上述分類目標(biāo)盒移 動的方式控制上述裝載裝置的控制機構(gòu)。
3. 如權(quán)利要求1或2所述的基板分類系統(tǒng)，其特征在于， 設(shè)置多個上述分類目標(biāo)盒。
4. 如權(quán)利要求1~3任一項所述的基板分類系統(tǒng)，其特征在于， 上述緩沖工作臺以高密度收納上述基板。
全文摘要
在將未分類盒(3)中收納的多個基板(W)分類到分類目標(biāo)盒(5)的基板分類系統(tǒng)(1)中，具有將基板(W)收納在任意位置的緩沖工作臺(7)；在各盒(3)、(5)、緩沖工作臺(7)兩兩之間按片輸送基板(W)的裝載裝置(11)。
文檔編號B65G1/00GK101511709SQ20068005600
公開日2009年8月19日 申請日期2006年10月3日 優(yōu)先權(quán)日2006年10月3日
發(fā)明者上田涉, 平田賢輔, 村山晉, 田中刈入, 都國煥 申請人:株式會社Ihi