專利名稱：一種帶節(jié)氣裝置的高純水氮封水箱的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種半導(dǎo)體設(shè)備，具體涉及一種高純水氮封水箱。
背景技術(shù)：
在現(xiàn)有技術(shù)中，高純水均有絕緣的特點(diǎn)，常用于洗清半導(dǎo)體元器件。在使用中，純水箱中電阻率較低的純水經(jīng)EDI (連續(xù)電去離子裝置)轉(zhuǎn)化后形成高純水，并將高純水輸入存滿氮?dú)獾母呒兯馑溥M(jìn)行存儲(chǔ)，利用氮?dú)獾母艚^作用實(shí)現(xiàn)高純水與空氣、二氧化碳、雜質(zhì)隔離，確保高純水始終保持較高的電阻率?，F(xiàn)有的高純水氮封水箱包括水箱、進(jìn)水管、出水管以及用于氮?dú)饬魍ǖ墓夤堋⑴艢夤?，進(jìn)水管上設(shè)有開關(guān)型閥門，水箱內(nèi)設(shè)有測(cè)量水位的壓力感應(yīng)器，在使用時(shí)，壓力感應(yīng)器被設(shè)置在一個(gè)正常水位范圍內(nèi)，當(dāng)水箱內(nèi)的水位低于正常水位范圍的最低值時(shí)，閥門打開，經(jīng)EDI處理的高純水流入水箱中，當(dāng)水位回復(fù)至正常水位范圍的最高值時(shí)，閥門關(guān)閉，經(jīng)EDI處理的高純水通過分叉管路回流至純水水箱，這種結(jié)構(gòu)的高純水氮封水箱存在以下缺陷:當(dāng)高純水氮封水箱內(nèi)的水位降低時(shí)，水箱上部的空間變大，此時(shí)需要通過進(jìn)氣管輸入氮?dú)?，確保高純水的高絕緣性，當(dāng)水位低于正常水位范圍的最低值時(shí)，閥門打開，高純水被灌入水箱中，此時(shí)由于水位上升，水箱上部空間逐漸變小，氮?dú)怏w積壓縮并通過排氣管排入空氣中，造成氮?dú)饫速M(fèi)，提高了使用成本，且氮?dú)獯蠖嗖捎闷垦b方式存儲(chǔ)，由于消耗量大，換瓶頻率變大，造成生產(chǎn)中斷，影響生產(chǎn)效率。

實(shí)用新型內(nèi)容為了解決現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實(shí)用新型提供一種通過節(jié)氣裝置減少氮?dú)馀欧诺母呒兯馑?，本?shí)用新型的進(jìn)一步目的是提供一種能使氮?dú)庵貜?fù)使用的高純水氮封水箱。本實(shí)用新型通過以下方式實(shí)現(xiàn):一種帶節(jié)氣裝置的高純水氮封水箱，包括水箱，所述水箱上設(shè)有一進(jìn)水口以及一出水口，所述水箱上連有一節(jié)氣裝置，所述節(jié)氣裝置包括一導(dǎo)氣管和一密閉的軟質(zhì)氣囊，所述導(dǎo)氣管一端與所述水箱頂部連通，另一端與所述氣囊連通，通過氣囊形變并容置氣體實(shí)現(xiàn)節(jié)氣功能。在原有高純水氮封水箱的結(jié)構(gòu)基礎(chǔ)上增設(shè)一與其連通的氣囊，利用氣囊內(nèi)腔體積可變的特點(diǎn)，將因水箱內(nèi)水位上升而被擠出的氮?dú)獯鎯?chǔ)起來，并在水位下降時(shí)將氮?dú)饣剌斨了渲校瑢?shí)現(xiàn)氮?dú)庵貜?fù)利用，有效降低氮?dú)獾南牧浚档蜕a(chǎn)成本，還可以降低換瓶頻率，防止斷氣情況發(fā)生，有效提高生產(chǎn)效率。作為優(yōu)選，所述水箱頂部設(shè)有一安全電磁閥。安全電磁閥的開關(guān)與水箱內(nèi)氣體壓力相關(guān)聯(lián)，通過安全電磁閥的開關(guān)來確保氣囊及水箱的運(yùn)行安全。作為優(yōu)選，所述水箱通過一設(shè)于其頂部且?guī)чy門的供氣管與一自力式進(jìn)氣裝置連通。自力式進(jìn)氣裝置可以為水箱提供氮?dú)?，所述閥門的開關(guān)與箱體內(nèi)氣體壓力相關(guān)聯(lián)，確保水箱內(nèi)氮?dú)鈮毫愣ǎ乐挂虻獨(dú)鈮毫Σ蛔阍斐筛呒兯c空氣、二氧化碳、雜質(zhì)接觸的情況發(fā)生，能有效確保水箱中高純水的高電阻率。作為優(yōu)選，所述氣囊內(nèi)置于一儲(chǔ)氣箱中。儲(chǔ)氣箱既起到保護(hù)軟質(zhì)氣囊的作用，還能利用其硬質(zhì)壁面防止氣囊過度膨脹，確保氣囊安全。作為優(yōu)選，所述導(dǎo)氣管一端與水箱頂部連通，另一端穿過所述儲(chǔ)氣箱并與所述氣囊底部連通。導(dǎo)氣管一端與水箱頂部連接，有效防止高純水流入氣囊中，確保氣囊的儲(chǔ)氣能力；導(dǎo)氣管另一端與氣囊底部連接，通過氣囊自身重力壓迫氮?dú)饣亓髦了渲?，確保水箱中的氮?dú)饬?，有效隔絕空氣、二氧化碳以及灰塵。作為優(yōu)選，述出水口位于所述水箱底部，所述出水口和進(jìn)水口均通過一帶閥門的水管外連。位于水箱底部的出水口有利于水箱中的高純水流出，所述出水口水管的閥門由使用者控制，所述進(jìn)水口水管上的閥門開關(guān)與水箱內(nèi)高純水水位高低相關(guān)聯(lián)。作為優(yōu)選，所述水箱的內(nèi)腔底部設(shè)有一壓力傳感器。壓力傳感器起到感應(yīng)水箱內(nèi)高純水水位的作用。本實(shí)用新型的有益效果:在原有高純水氮封水箱的結(jié)構(gòu)基礎(chǔ)上增設(shè)一與其連通的氣囊，利用氣囊內(nèi)腔體積可變的特點(diǎn)，實(shí)現(xiàn)氮?dú)庵貜?fù)利用，有效降低氮?dú)獾南牧浚档蜕a(chǎn)成本，還可以降低換瓶頻率，防止斷氣情況發(fā)生，有效提高生產(chǎn)效率。

圖1為本實(shí)用新型處于正常水位范圍的較高值時(shí)的剖面結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實(shí)用新型處于正常水位范圍的較低值時(shí)的剖面結(jié)構(gòu)示意圖；圖中:1、水箱，2、進(jìn)水口，3、出水口，4、導(dǎo)氣管，5、氣囊，6、安全電磁閥，7、供氣管，
8、自力式進(jìn)氣裝置，9、儲(chǔ)氣箱，10、閥門，11、壓力傳感器。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合說明書附圖和具體實(shí)施方式
對(duì)本實(shí)用新型的實(shí)質(zhì)性特點(diǎn)作進(jìn)一步的說明。如圖1所示的一種帶節(jié)氣裝置的高純水氮封水箱，包括水箱1，所述水箱I上設(shè)有一進(jìn)水口 2以及一出水口 3，所述水箱I上連有一節(jié)氣裝置，所述節(jié)氣裝置包括一導(dǎo)氣管4和一密閉的軟質(zhì)氣囊5，所述導(dǎo)氣管4 一端與所述水箱I頂部連通，另一端與所述氣囊5連通，通過氣囊5形變并容置氣體實(shí)現(xiàn)節(jié)氣功能；所述水箱I頂部設(shè)有一安全電磁閥6 ;所述水箱I通過一設(shè)于其頂部且?guī)чy門10的供氣管7與一自力式進(jìn)氣裝置8連通；所述氣囊5內(nèi)置于一儲(chǔ)氣箱9中；所述導(dǎo)氣管4 一端與水箱I頂部連通，另一端穿過所述儲(chǔ)氣箱9并與所述氣囊5底部連通；述出水口 3位于所述水箱I底部，所述出水口 3和進(jìn)水口 2均通過一帶閥門10的水管外連；所述水箱I的內(nèi)腔底部設(shè)有一壓力傳感器11。在使用本實(shí)用新型時(shí)，通過以下步驟啟用:1、在水箱I和氣囊5中灌滿氮?dú)?，氣?為鼓起狀態(tài)；2、打開進(jìn)水管上的閥門10，將高純水輸入水箱I中；3、隨著水位上升，氣囊5為鼓起狀態(tài),氮?dú)獗粔嚎s,壓力增大,直至出發(fā)安全電磁閥6，多余的氮?dú)獗慌懦觯?、水位上升至正常水位范圍的最大值，關(guān)閉進(jìn)水管上的閥門10，此時(shí)氮?dú)鈮毫愣?，氣?為鼓起狀態(tài)。通過以上步驟實(shí)現(xiàn)水箱I啟用，并隨時(shí)準(zhǔn)備待用。[0023]在使用時(shí)，當(dāng)處于高水位的高純水通過出水口 3流出時(shí)，隨著水位降低，氣囊5中的氮?dú)獗惠敾刂了銲中(如圖2所示)，當(dāng)水位低于正常水位范圍的最低值時(shí)，進(jìn)水口 2處的閥門10開啟，為水箱I補(bǔ)充高純水。在實(shí)際操作中，當(dāng)水箱I內(nèi)的氮?dú)獠蛔阈枰畛鋾r(shí)，通過以下步驟實(shí)現(xiàn):1、打開進(jìn)水管上的閥門10，使水位上升至正常水位范圍的最大值，此時(shí)由于氮?dú)饬坎蛔?，?dǎo)致氣囊5未完全鼓起；2、打開供氣管7上的閥門10，并輸入氮?dú)猓沟盟銲中的氮?dú)鈮毫謴?fù)至正常值。通過以上步驟實(shí)現(xiàn)水箱I內(nèi)氮?dú)饧訅?。在?shí)際操作中，安全電磁閥6的開啟壓力值應(yīng)小于氣囊5的安全壓力值，以此確保氣囊5安全。在具體操作中，氣囊5材質(zhì)為軟質(zhì)材料，有利于減小氣囊5變形時(shí)的阻力，確保水箱I內(nèi)氮?dú)鈮毫愣?，并與大氣壓相同。
權(quán)利要求1.一種帶節(jié)氣裝置的高純水氮封水箱，包括水箱(1)，所述水箱(I)上設(shè)有一進(jìn)水口(2)以及一出水口(3)，其特征在于所述水箱(I)上連有一節(jié)氣裝置，所述節(jié)氣裝置包括一導(dǎo)氣管(4)和一密閉的軟質(zhì)氣囊(5)，所述導(dǎo)氣管(4) 一端與所述水箱(I)頂部連通，另一端與所述氣囊(5)連通，通過氣囊(5)形變并容置氣體實(shí)現(xiàn)節(jié)氣功能。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種帶節(jié)氣裝置的高純水氮封水箱，其特征在于所述水箱(I)頂部設(shè)有一安全電磁閥(6)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種帶節(jié)氣裝置的高純水氮封水箱，其特征在于所述水箱(I)通過一設(shè)于其頂部且?guī)чy門(10 )的供氣管(7 )與一自力式進(jìn)氣裝置(8 )連通。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種帶節(jié)氣裝置的高純水氮封水箱，其特征在于所述氣囊(5)內(nèi)置于一儲(chǔ)氣箱(9)中。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種帶節(jié)氣裝置的高純水氮封水箱，其特征在于所述導(dǎo)氣管(4)一端與水箱(I)頂部連通，另一端穿過所述儲(chǔ)氣箱(9)并與所述氣囊(5)底部連通。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種帶節(jié)氣裝置的高純水氮封水箱，其特征在于述出水口(3)位于所述水箱(I)底部，所述出水口(3)和進(jìn)水口(2)均通過一帶閥門(10)的水管外連。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種帶節(jié)氣裝置的高純水氮封水箱，其特征在于所述水箱(O的內(nèi)腔底部設(shè)有一壓力傳感器(11)。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種帶節(jié)氣裝置的高純水氮封水箱?，F(xiàn)有高純水氮封水箱的氮?dú)鈺?huì)隨著箱內(nèi)水位變化而排入大氣中，造成氮?dú)饫速M(fèi)。本實(shí)用新型包括水箱，水箱上設(shè)有進(jìn)水口和出水口，水箱上連有一節(jié)氣裝置，所述節(jié)氣裝置包括一導(dǎo)氣管和一密閉的軟質(zhì)氣囊，所述導(dǎo)氣管一端與所述水箱頂部連通，另一端與所述氣囊連通，通過氣囊形變并容置氣體實(shí)現(xiàn)節(jié)氣功能。在原有高純水氮封水箱的結(jié)構(gòu)基礎(chǔ)上增設(shè)一與其連通的氣囊，利用氣囊內(nèi)腔體積可變的特點(diǎn)，將因水箱內(nèi)水位上升而被擠出的氮?dú)獯鎯?chǔ)起來，并在水位下降時(shí)將氮?dú)饣剌斨了渲?，?shí)現(xiàn)氮?dú)庵貜?fù)利用，有效降低氮?dú)獾南牧?，降低生產(chǎn)成本，還可以降低換瓶頻率，防止斷氣情況發(fā)生，有效提高生產(chǎn)效率。
文檔編號(hào)B65D88/74GK202987951SQ20122074981
公開日2013年6月12日 申請(qǐng)日期2012年12月31日 優(yōu)先權(quán)日2012年12月31日
發(fā)明者孫國(guó)飛, 沈林海, 張鵬銘, 韓雪剛 申請(qǐng)人:紹興精功機(jī)電有限公司