振動(dòng)裝置、物品輸送裝置及物品區(qū)分裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明的振動(dòng)裝置（2）包括底座（4）、彈性支承在底座（4）上的可動(dòng)臺(tái)（6）、用于使可動(dòng)臺(tái)（6）在第1水平方向上振動(dòng)的第1水平起振部件（81）、用于使可動(dòng)臺(tái)（6）在與第1水平方向交叉的第2水平方向上振動(dòng)的第2水平起振部件（82）、以及用于使可動(dòng)臺(tái)（6）在垂直方向上振動(dòng)的垂直起振部件（83），其中，在底座（4）和可動(dòng)臺(tái)（6）之間包括第1中間臺(tái)（51）和第2中間臺(tái)（52），并且具備用于將底座（4）、第1中間臺(tái)（51）、第2中間臺(tái)（52）及可動(dòng)臺(tái)（6）依次在第1水平方向、第2水平方向及垂直方向上彈性連接的第1～第3板狀彈簧購件（71～73）。
【專利說明】振動(dòng)裝置、物品輸送裝置及物品區(qū)分裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及用于利用可動(dòng)臺(tái)的振動(dòng)來輸送可動(dòng)臺(tái)上的物品的物品輸送裝置、用于區(qū)分可動(dòng)臺(tái)上的多個(gè)物品的物品區(qū)分裝置、以及能夠應(yīng)用于該物品輸送裝置和物品區(qū)分裝置的振動(dòng)裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]以往，作為能夠在輸送物品的同時(shí)在物品的輸送線上任意地改變輸送方向的物品輸送裝置，公知有各種類型的物品輸送裝置。
[0003]例如，存在像專利文獻(xiàn)I那樣在物品的輸送面上呈格子狀配置有多個(gè)靜電驅(qū)動(dòng)器的類型的物品輸送裝置。該物品輸送裝置是在輸送面上設(shè)置多個(gè)四方形的定子，在該定子中借助彈簧構(gòu)件懸架輸送件，通過操作設(shè)置在定子內(nèi)的底面和側(cè)面上的吸引電極來控制輸送件的動(dòng)作，從而使輸送件上的物品移動(dòng)。
[0004]此外，在專利文獻(xiàn)2中公開了這樣的技術(shù):在物品的輸送面上配置旋轉(zhuǎn)軸與輸送面平行的多個(gè)小型的輥，通過控制這些輥的旋轉(zhuǎn)和朝向來控制放置在這些輥上的物品的輸送方向。
[0005]此外，在專利文獻(xiàn)3中公開了這樣的內(nèi)容:在輸送面上交替地配置具有互相正交的旋轉(zhuǎn)軸的輥，通過控制這些輥的旋轉(zhuǎn)來控制物品的輸送方向。
[0006]這些專利文獻(xiàn)I?3的現(xiàn)有技術(shù)的物品輸送裝置由靜電驅(qū)動(dòng)器、小型輥等多個(gè)設(shè)備構(gòu)成，由于需要同時(shí)驅(qū)動(dòng)這些設(shè)備，因此結(jié)構(gòu)變得復(fù)雜，并且控制方式也復(fù)雜。因此，在制造成本、維護(hù)費(fèi)用提高的基礎(chǔ)之上，也容易產(chǎn)生設(shè)備的不良情況。此外，在這樣的結(jié)構(gòu)中，由于在物品所接觸的輸送面上產(chǎn)生凹凸，因此對(duì)于該凹凸來說物品越小，越難以輸送。因而，難以利用一個(gè)物品輸送裝置就能夠從小型物品到大型物品地輸送尺寸寬度寬的物品。
[0007]作為不會(huì)產(chǎn)生這樣問題的裝置，也提出了通過對(duì)具有用于放置物品的輸送面的可動(dòng)臺(tái)施加振動(dòng)來輸送物品的裝置。
[0008]例如，在專利文獻(xiàn)4中公開了這樣的技術(shù):通過對(duì)具有物品輸送用的軌道的可動(dòng)體(可動(dòng)臺(tái))施加垂直和水平方向上的相同頻率的振動(dòng)而使該可動(dòng)體(可動(dòng)臺(tái))產(chǎn)生橢圓振動(dòng)，并根據(jù)摩擦系數(shù)相應(yīng)地設(shè)定各個(gè)方向上的振動(dòng)的相位差而使輸送方向不同。在該物品輸送裝置中，由于能夠?qū)⒖蓜?dòng)臺(tái)上的輸送面構(gòu)成為平面，因此，能夠輸送多種多樣的形狀、大小的物品。此外，關(guān)于該物品輸送裝置，由于作為機(jī)械裝置部的振動(dòng)裝置、以及用于控制該振動(dòng)裝置的振動(dòng)的控制系統(tǒng)均能夠簡單地構(gòu)成，因此在小型化、制造成本的方面優(yōu)點(diǎn)較多。
[0009]并且，由于該物品輸送裝置能夠根據(jù)物品的摩擦系數(shù)相應(yīng)地控制輸送方向，因此也能夠用作僅使控制系統(tǒng)不同而用于區(qū)分摩擦系數(shù)不同的多種物品的物品區(qū)分裝置。即使在這種情況下，與物品輸送裝置的情況同樣，由于能夠設(shè)為簡單的結(jié)構(gòu)，因此在小型化、制造成本的方面優(yōu)點(diǎn)較多。
[0010]在本發(fā)明中，將上述的物品輸送裝置和物品區(qū)分裝置統(tǒng)稱為物品移動(dòng)裝置，其中包含具有輸送物品或者區(qū)分物品中的任一種功能或者兩種功能的裝置。此外，將可共用于這些裝置的機(jī)械裝置部稱作振動(dòng)裝置。
[0011]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0012]專利文獻(xiàn)
[0013]專利文獻(xiàn)1:日本特開平8 - 116683號(hào)公報(bào)
[0014]專利文獻(xiàn)2:日本特開2004 - 75387號(hào)公報(bào)
[0015]專利文獻(xiàn)3:日本特開2008 - 168956號(hào)公報(bào)
[0016]專利文獻(xiàn)4:日本特開2005 - 255351號(hào)公報(bào)

【發(fā)明內(nèi)容】

[0017]發(fā)明要解決的問題
[0018]但是，上述振動(dòng)裝置通過使兩個(gè)方向上的振動(dòng)的相位差不同而使具有輸送面的可動(dòng)臺(tái)產(chǎn)生橢圓振動(dòng)，利用這一點(diǎn)來輸送或者區(qū)分物品，由于產(chǎn)生的橢圓振動(dòng)的方向被限定，因此使物品移動(dòng)的方向的自由度較低。
[0019]因此，考慮到使該專利文獻(xiàn)4所述的振動(dòng)裝置進(jìn)一步發(fā)展，構(gòu)成為使具有輸送面的可動(dòng)臺(tái)不只是在兩個(gè)方向上振動(dòng)，而是能夠在互不相同的三個(gè)方向上獨(dú)立地三維振動(dòng)，從而增大物品的移動(dòng)方向的自由度。
[0020]但是，為了使可動(dòng)臺(tái)能夠在三個(gè)方向上獨(dú)立地振動(dòng)，在該三個(gè)方向上分別需要用于彈性支承可動(dòng)臺(tái)的部件和用于施加振動(dòng)的部件，因此結(jié)構(gòu)變復(fù)雜。此外，認(rèn)為由于需要將上述部件裝入到可動(dòng)臺(tái)的下方，因此存在距輸送面的高度增加而重心位置升高的傾向，可動(dòng)臺(tái)易于發(fā)生縱搖、橫搖，用于使物品移動(dòng)的控制變得困難。
[0021]并且，在使用上述專利文獻(xiàn)4的振動(dòng)裝置的情況下，為了避免該振動(dòng)傳播到設(shè)置面，通常是設(shè)為在底座的下表面設(shè)置防振彈簧而將振動(dòng)裝置整體彈性支承在設(shè)置面上的狀態(tài)。這樣，能夠抑制振動(dòng)傳遞到周邊的裝置，能夠抑制噪音的產(chǎn)生，從而能夠適當(dāng)?shù)鼐S持周邊環(huán)境。
[0022]但是，在這樣的結(jié)構(gòu)中，在對(duì)可動(dòng)臺(tái)作用了起振力之后，在底座和可動(dòng)臺(tái)之間產(chǎn)生轉(zhuǎn)動(dòng)力矩，借助防振彈簧而支承的底座的姿態(tài)成為不穩(wěn)定的狀態(tài)。因此，也認(rèn)為彈性支承于固定臺(tái)的可動(dòng)臺(tái)的振動(dòng)也變得不穩(wěn)定，不再能夠使可動(dòng)臺(tái)產(chǎn)生期望的振動(dòng)。
[0023]為了解決以上的問題，本案的第I發(fā)明的目的在于，提供振動(dòng)裝置、以及使用該振動(dòng)裝置且控制性優(yōu)異的作為物品移動(dòng)裝置的物品輸送裝置、物品區(qū)分裝置，上述振動(dòng)裝置的結(jié)構(gòu)簡單，且能夠有效地彈性支承可動(dòng)臺(tái)，并且能夠減小距輸送面的高度，能夠抑制縱搖、橫搖。
[0024]并且，本案的第2發(fā)明的目的在于，提供振動(dòng)裝置、使用該振動(dòng)裝置且控制性優(yōu)異的作為物品移動(dòng)裝置的物品輸送裝置、物品區(qū)分裝置，上述振動(dòng)裝置的結(jié)構(gòu)簡單，且通過在對(duì)可動(dòng)臺(tái)作用起振力時(shí)使底座的姿態(tài)穩(wěn)定，能夠使可動(dòng)臺(tái)產(chǎn)生更加穩(wěn)定的振動(dòng)。
[0025]用于解決問題的方案
[0026]本發(fā)明為了達(dá)到該目的，采取以下的手段。
[0027]S卩，第I發(fā)明的振動(dòng)裝置的特征在于，包括底座、彈性支承在該底座上的可動(dòng)臺(tái)、用于使該可動(dòng)臺(tái)在第I水平方向上振動(dòng)的第I水平起振部件、用于使上述可動(dòng)臺(tái)在與第I水平方向交叉的第2水平方向上振動(dòng)的第2水平起振部件、以及用于使上述可動(dòng)臺(tái)在垂直方向上振動(dòng)的垂直起振部件，在上述底座和上述可動(dòng)臺(tái)之間包括第I中間臺(tái)和第2中間臺(tái)，并且上述振動(dòng)裝置具備第I水平彈性支承部件、第2水平彈性支承部件及垂直彈性支承部件，該第I水平彈性支承部件、第2水平彈性支承部件及垂直彈性支承部件用于將上述底座、上述第I中間臺(tái)、上述第2中間臺(tái)及上述可動(dòng)臺(tái)依次在上述第I水平方向、第2水平方向及垂直方向上彈性連接，上述第I水平彈性支承部件由厚度方向與上述第I水平方向大致一致且長度方向配置成水平的朝向的第I板狀彈簧構(gòu)件構(gòu)成，上述第2水平彈性支承部件由厚度方向與上述第2水平方向大致一致且長度方向配置成水平的朝向的第2板狀彈簧構(gòu)件構(gòu)成，上述垂直彈性支承部件由厚度方向與上述垂直方向大致一致且長度方向配置成水平的朝向的第3板狀彈簧構(gòu)件構(gòu)成。
[0028]若這樣構(gòu)成，則能夠利用分別設(shè)置在三個(gè)方向上的板狀彈簧構(gòu)件將可動(dòng)臺(tái)在三個(gè)方向上彈性支承，并且，這些板狀彈簧構(gòu)件各自在除彈性支承的板厚方向之外的方向上具有較大的剛性，因此，能夠在不對(duì)互相產(chǎn)生影響的情況下，獨(dú)立地控制振動(dòng)。此外，由于將這些板狀彈簧構(gòu)件配置成長度方向水平的朝向，因此能夠抑制從底座到可動(dòng)臺(tái)的高度，能夠抑制可動(dòng)臺(tái)的橫搖、縱搖。
[0029]此外，為了限制上述的三個(gè)方向上的并行移動(dòng)，為了各板狀彈簧構(gòu)件不會(huì)以扭轉(zhuǎn)形態(tài)變形，優(yōu)選的是，振動(dòng)裝置包括底座、彈性支承在該底座上的可動(dòng)臺(tái)、用于使該可動(dòng)臺(tái)在第I水平方向上振動(dòng)的第I水平起振部件、用于使上述可動(dòng)臺(tái)在與第I水平方向交叉的第2水平方向上振動(dòng)的第2水平起振部件、以及用于使上述可動(dòng)臺(tái)在垂直方向上振動(dòng)的垂直起振部件，其中，在上述底座和上述可動(dòng)臺(tái)之間包括第I中間臺(tái)和第2中間臺(tái)，并且上述振動(dòng)裝置具備第I水平彈性支承部件、第2水平彈性支承部件及垂直彈性支承部件，該第I水平彈性支承部件、第2水平彈性支承部件及垂直彈性支承部件用于將上述底座、上述第I中間臺(tái)、上述第2中間臺(tái)及上述可動(dòng)臺(tái)依次在上述第I水平方向、第2水平方向及垂直方向上彈性連接，上述第I水平彈性支承部件由厚度方向與上述第I水平方向大致一致且長度方向配置成水平的朝向的第I板狀彈簧構(gòu)件構(gòu)成，上述第2水平彈性支承部件由厚度方向與上述第2水平方向大致一致且長度方向配置成水平的朝向的第2板狀彈簧構(gòu)件構(gòu)成，上述垂直彈性支承部件由厚度方向與上述垂直方向大致一致且長度方向配置成水平的朝向的第3板狀彈簧構(gòu)件構(gòu)成，上述第I板狀彈簧構(gòu)件、第2板狀彈簧構(gòu)件及第3板狀彈簧構(gòu)件中的至少任一者分開預(yù)定距離地平行設(shè)有多個(gè)而構(gòu)成。
[0030]此外，為了進(jìn)一步簡化結(jié)構(gòu)并謀求緊湊化，將彈性支承部件和起振部件一體化的做法是有效的，因此優(yōu)選的是，振動(dòng)裝置包括底座、彈性支承在該底座上的可動(dòng)臺(tái)、用于使該可動(dòng)臺(tái)在第I水平方向上振動(dòng)的第I水平起振部件、用于使上述可動(dòng)臺(tái)在與第I水平方向交叉的第2水平方向上振動(dòng)的第2水平起振部件、以及用于使上述可動(dòng)臺(tái)在垂直方向上振動(dòng)的垂直起振部件，其中，在上述底座和上述可動(dòng)臺(tái)之間包括第I中間臺(tái)和第2中間臺(tái)，并且上述振動(dòng)裝置具備第I水平彈性支承部件、第2水平彈性支承部件及垂直彈性支承部件，該第I水平彈性支承部件、第2水平彈性支承部件及垂直彈性支承部件用于將上述底座、上述第I中間臺(tái)、上述第2中間臺(tái)及上述可動(dòng)臺(tái)依次在上述第I水平方向、第2水平方向及垂直方向上彈性連接，上述第I水平彈性支承部件由厚度方向與上述第I水平方向大致一致且長度方向配置成水平的朝向的第I板狀彈簧構(gòu)件構(gòu)成，上述第2水平彈性支承部件由厚度方向與上述第2水平方向大致一致且長度方向配置成水平的朝向的第2板狀彈簧構(gòu)件構(gòu)成，上述垂直彈性支承部件由厚度方向與上述垂直方向大致一致且長度方向配置成水平的朝向的第3板狀彈簧構(gòu)件構(gòu)成，上述第I水平起振部件、上述第2水平起振部件以及上述垂直起振部件是貼設(shè)在上述第I板狀彈簧構(gòu)件、第2板狀彈簧構(gòu)件及第3板狀彈簧構(gòu)件的至少單面上的壓電元件，通過對(duì)這些壓電元件施加正弦電壓而產(chǎn)生周期性的伸長，使上述第I板狀彈簧構(gòu)件、第2板狀彈簧構(gòu)件及第3板狀彈簧構(gòu)件振動(dòng)而構(gòu)成。
[0031]并且，為了限制可動(dòng)臺(tái)在三個(gè)方向上的并行移動(dòng)的同時(shí)，各板狀彈簧構(gòu)件不以扭轉(zhuǎn)形態(tài)變形，并且使彈性支承部件和起振部件一體化而進(jìn)一步簡化結(jié)構(gòu)并謀求緊湊化，優(yōu)選的是，振動(dòng)裝置包括底座、彈性支承在該底座上的可動(dòng)臺(tái)、用于使該可動(dòng)臺(tái)在第I水平方向上振動(dòng)的第I水平起振部件、用于使上述可動(dòng)臺(tái)在與第I水平方向交叉的第2水平方向上振動(dòng)的第2水平起振部件、以及用于使上述可動(dòng)臺(tái)在垂直方向上振動(dòng)的垂直起振部件，其中，在上述底座和上述可動(dòng)臺(tái)之間包括第I中間臺(tái)和第2中間臺(tái)，并且上述振動(dòng)裝置具備第I水平彈性支承部件、第2水平彈性支承部件及垂直彈性支承部件，該第I水平彈性支承部件、第2水平彈性支承部件及垂直彈性支承部件用于將上述底座、上述第I中間臺(tái)、上述第2中間臺(tái)及上述可動(dòng)臺(tái)依次在上述第I水平方向、第2水平方向及垂直方向上彈性連接，上述第I水平彈性支承部件由厚度方向與上述第I水平方向大致一致且長度方向配置成水平的朝向的第I板狀彈簧構(gòu)件構(gòu)成，上述第2水平彈性支承部件由厚度方向與上述第2水平方向大致一致且長度方向配置成水平的朝向的第2板狀彈簧構(gòu)件構(gòu)成，上述垂直彈性支承部件由厚度方向與上述垂直方向大致一致且長度方向配置成水平的朝向的第3板狀彈簧構(gòu)件構(gòu)成，上述第I板狀彈簧構(gòu)件、第2板狀彈簧構(gòu)件及第3板狀彈簧構(gòu)件中的至少任一者分開預(yù)定距離地平行設(shè)有多個(gè)，并且，上述第I水平起振部件、上述第2水平起振部件以及上述垂直起振部件是貼設(shè)在上述第I板狀彈簧構(gòu)件、第2板狀彈簧構(gòu)件及第3板狀彈簧構(gòu)件的至少單面上的壓電元件，通過對(duì)這些壓電元件施加正弦電壓而產(chǎn)生周期性的伸長，使上述第I板狀彈簧構(gòu)件、第2板狀彈簧構(gòu)件及第3板狀彈簧構(gòu)件振動(dòng)而構(gòu)成。
[0032]此外，為了能夠簡單地進(jìn)行使各方向上的固有振動(dòng)頻率拉開或者接近的調(diào)整，優(yōu)選的是能夠改變各板狀彈簧構(gòu)件的有效長度，因此，優(yōu)選的是在上述底座和上述第I中間臺(tái)中的至少任一者與上述第I板狀彈簧構(gòu)件之間、及上述第I中間臺(tái)和上述第2中間臺(tái)中的至少任一者與上述第2板狀彈簧構(gòu)件之間分別設(shè)有彈簧座，該彈簧座的位置構(gòu)成為分別能夠在上述第I板狀彈簧構(gòu)件及上述第2板狀彈簧構(gòu)件的長度方向上改變。
[0033]此外，第2發(fā)明的振動(dòng)裝置的特征在于，包括借助防振彈簧支承在接地面上的底座、彈性支承在該底座上的可動(dòng)臺(tái)、用于使該可動(dòng)臺(tái)在第I水平方向上振動(dòng)的第I水平起振部件、用于使上述可動(dòng)臺(tái)在與第I水平方向交叉的第2水平方向上振動(dòng)的第2水平起振部件、以及用于使上述可動(dòng)臺(tái)在垂直方向上振動(dòng)的垂直起振部件，在上述底座和上述可動(dòng)臺(tái)之間包括第I中間臺(tái)和第2中間臺(tái)，并且上述振動(dòng)裝置具備多個(gè)第I水平彈性支承部件、多個(gè)第2水平彈性支承部件及多個(gè)垂直彈性支承部件，該多個(gè)第I水平彈性支承部件、多個(gè)第2水平彈性支承部件及多個(gè)垂直彈性支承部件用于將上述底座、上述第I中間臺(tái)、上述第2中間臺(tái)及上述可動(dòng)臺(tái)依次在上述第I水平方向、第2水平方向及垂直方向上彈性連接，在將裝置整體設(shè)想為以上述第I水平彈性支承部件和第2水平彈性支承部件為交界的第I質(zhì)量體、第2質(zhì)量體及第3質(zhì)量體時(shí)，該第I質(zhì)量體的重心位置、第2質(zhì)量體的重心位置及第3質(zhì)量體的重心位置構(gòu)成為在垂直方向和水平方向上大致相同。
[0034]若這樣構(gòu)成，則能夠通過將可動(dòng)臺(tái)在水平兩個(gè)方向和垂直方向這三個(gè)方向上彈性支承并使其在各方向上起振而使可動(dòng)臺(tái)產(chǎn)生三維的振動(dòng)，并且能夠抑制伴隨水平方向上的起振產(chǎn)生的轉(zhuǎn)動(dòng)力矩而使底座的姿態(tài)穩(wěn)定，使可動(dòng)臺(tái)正確地產(chǎn)生振動(dòng)。并且，能夠抑制振動(dòng)傳播到設(shè)置面，能夠防止產(chǎn)生噪音、振動(dòng)而謀求改善作業(yè)環(huán)境。
[0035]并且，為了以該結(jié)構(gòu)為基礎(chǔ)地使借助水平彈性支承部件安裝的構(gòu)件的姿態(tài)更加穩(wěn)定地產(chǎn)生振動(dòng)，優(yōu)選的是，振動(dòng)裝置包括借助防振彈簧支承在接地面上的底座、彈性支承在該底座上的可動(dòng)臺(tái)、用于使該可動(dòng)臺(tái)在第I水平方向上振動(dòng)的第I水平起振部件、用于使上述可動(dòng)臺(tái)在與第I水平方向交叉的第2水平方向上振動(dòng)的第2水平起振部件、以及用于使上述可動(dòng)臺(tái)在垂直方向上振動(dòng)的垂直起振部件，其中，在上述底座和上述可動(dòng)臺(tái)之間包括第I中間臺(tái)和第2中間臺(tái)，并且上述振動(dòng)裝置具備多個(gè)第I水平彈性支承部件、多個(gè)第2水平彈性支承部件及多個(gè)垂直彈性支承部件，該多個(gè)第I水平彈性支承部件、多個(gè)第2水平彈性支承部件及多個(gè)垂直彈性支承部件用于將上述底座、上述第I中間臺(tái)、上述第2中間臺(tái)及上述可動(dòng)臺(tái)依次在上述第I水平方向、第2水平方向及垂直方向上彈性連接，在將裝置整體設(shè)想為以上述第I水平彈性支承部件和第2水平彈性支承部件為交界的第I質(zhì)量體、第2質(zhì)量體及第3質(zhì)量體時(shí)，該第I質(zhì)量體的重心位置、第2質(zhì)量體的重心位置及第3質(zhì)量體的重心位置在垂直方向和水平方向上大致相同，而且，上述第I質(zhì)量體、第2質(zhì)量體及第3質(zhì)量體的重心位置和上述第I水平彈性支承部件及第2水平彈性支承部件的安裝位置構(gòu)成為在垂直方向上大致相同。
[0036]此外，為了防止由垂直彈性支承部件支承的可動(dòng)臺(tái)產(chǎn)生擺動(dòng)運(yùn)動(dòng)等預(yù)料之外的振動(dòng)，優(yōu)選的是，振動(dòng)裝置包括借助防振彈簧支承在接地面上的底座、彈性支承在該底座上的可動(dòng)臺(tái)、用于使該可動(dòng)臺(tái)在第I水平方向上振動(dòng)的第I水平起振部件、用于使上述可動(dòng)臺(tái)在與第I水平方向交叉的第2水平方向上振動(dòng)的第2水平起振部件、以及用于使上述可動(dòng)臺(tái)在垂直方向上振動(dòng)的垂直起振部件，其中，在上述底座和上述可動(dòng)臺(tái)之間包括第I中間臺(tái)和第2中間臺(tái)，并且上述振動(dòng)裝置具備多個(gè)第I水平彈性支承部件、多個(gè)第2水平彈性支承部件及多個(gè)垂直彈性支承部件，該多個(gè)第I水平彈性支承部件、多個(gè)第2水平彈性支承部件及多個(gè)垂直彈性支承部件用于將上述底座、上述第I中間臺(tái)、上述第2中間臺(tái)及上述可動(dòng)臺(tái)依次在上述第I水平方向、第2水平方向及垂直方向上彈性連接，在將裝置整體設(shè)想為以上述第I水平彈性支承部件和第2水平彈性支承部件為交界的第I質(zhì)量體、第2質(zhì)量體及第3質(zhì)量體時(shí),該第I質(zhì)量體、第2質(zhì)量體及第3質(zhì)量體時(shí)，該第I質(zhì)量體的重心位置、第2質(zhì)量體的重心位置及第3質(zhì)量體的重心位置在垂直方向和水平方向上大致相同，并且，上述多個(gè)垂直彈性支承部件設(shè)置為以上述第I質(zhì)量體、第2質(zhì)量體及第3質(zhì)量體的重心位置為中心地相對(duì)于各起振方向?qū)ΨQ，并且，在隔著該多個(gè)垂直彈性支承部件對(duì)稱的位置對(duì)于上述可動(dòng)臺(tái)上設(shè)有配重而構(gòu)成。
[0037]并且，為了同時(shí)謀求使借助水平彈性支承部件安裝的構(gòu)件的姿態(tài)穩(wěn)定化、及抑制由垂直彈性支承部件支承的可動(dòng)臺(tái)的擺動(dòng)運(yùn)動(dòng)，優(yōu)選的是，振動(dòng)裝置包括借助防振彈簧支承在接地面上的底座、彈性支承在該底座上的可動(dòng)臺(tái)、用于使該可動(dòng)臺(tái)在第I水平方向上振動(dòng)的第I水平起振部件、用于使上述可動(dòng)臺(tái)在與第I水平方向交叉的第2水平方向上振動(dòng)的第2水平起振部件、以及用于使上述可動(dòng)臺(tái)在垂直方向上振動(dòng)的垂直起振部件，其中，在上述底座和上述可動(dòng)臺(tái)之間包括第I中間臺(tái)和第2中間臺(tái)，并且上述振動(dòng)裝置具備多個(gè)第I水平彈性支承部件、多個(gè)第2水平彈性支承部件及多個(gè)垂直彈性支承部件，該多個(gè)第I水平彈性支承部件、多個(gè)第2水平彈性支承部件及多個(gè)垂直彈性支承部件用于將上述底座、上述第I中間臺(tái)、上述第2中間臺(tái)及上述可動(dòng)臺(tái)依次在上述第I水平方向、第2水平方向及垂直方向上彈性連接在將裝置整體設(shè)想為以上述第I水平彈性支承部件和第2水平彈性支承部件為交界的第I質(zhì)量體、第2質(zhì)量體及第3質(zhì)量體時(shí)，該第I質(zhì)量體的重心位置、第2質(zhì)量體的重心位置及第3質(zhì)量體質(zhì)量體的重心位置在垂直方向和水平方向上大致相同，而且，上述各質(zhì)量體的重心位置和各水平彈性支承部件的安裝位置在垂直方向上大致相同，并且，上述多個(gè)垂直彈性支承部件設(shè)置為以上述第I質(zhì)量體、第2質(zhì)量體及第3質(zhì)量體的重心位置為中心地相對(duì)于各起振方向?qū)ΨQ，并且，在隔著該多個(gè)垂直彈性支承部件對(duì)稱的位置于上述可動(dòng)臺(tái)上設(shè)有配重。
[0038]此外，作為該第2發(fā)明的另一個(gè)結(jié)構(gòu)，能夠列舉出這樣的方式:振動(dòng)裝置包括借助防振彈簧支承在接地面上的底座、彈性支承在該底座上的可動(dòng)臺(tái)、用于使該可動(dòng)臺(tái)在水平方向上振動(dòng)的水平起振部件、及用于使上述可動(dòng)臺(tái)在垂直方向上振動(dòng)的垂直起振部件，其中，在上述底座和上述可動(dòng)臺(tái)之間包括中間臺(tái)，并且上述振動(dòng)裝置具備多個(gè)水平彈性支承部件和多個(gè)垂直彈性支承部件，該多個(gè)水平彈性支承部件和多個(gè)垂直彈性支承部件用于將上述底座、中間臺(tái)及上述可動(dòng)臺(tái)依次在水平方向和垂直方向上彈性連接，在將裝置整體設(shè)想為以上述水平彈性支承部件為交界的兩個(gè)質(zhì)量體時(shí)，該兩個(gè)質(zhì)量體彼此的重心位置在垂直方向和水平方向上大致相同而構(gòu)成。
[0039]即使這樣構(gòu)成，通過使借助水平彈性支承部件相連接且在水平方向上相對(duì)移動(dòng)的質(zhì)量體的重心位置在垂直方向上大致相同，能夠抑制由水平方向上的起振力附帶地產(chǎn)生的轉(zhuǎn)動(dòng)力矩而使底座的姿態(tài)穩(wěn)定，使可動(dòng)臺(tái)正確地產(chǎn)生振動(dòng)。此外，能夠抑制振動(dòng)傳播到設(shè)置面，能夠防止產(chǎn)生噪音、振動(dòng)而謀求改善作業(yè)環(huán)境。
[0040]并且，為了以該結(jié)構(gòu)為基礎(chǔ)地使借助水平彈性支承部件安裝的構(gòu)件的姿態(tài)更加穩(wěn)定地產(chǎn)生振動(dòng)，優(yōu)選的是，振動(dòng)裝置包括借助防振彈簧支承在接地面上的底座、彈性支承在該底座上的可動(dòng)臺(tái)、用于使該可動(dòng)臺(tái)在水平方向上振動(dòng)的水平起振部件、及用于使上述可動(dòng)臺(tái)在垂直方向上振動(dòng)的垂直起振部件，其中，在上述底座和上述可動(dòng)臺(tái)之間包括中間臺(tái)，并且上述振動(dòng)裝置具備多個(gè)水平彈性支承部件和多個(gè)垂直彈性支承部件，該多個(gè)水平彈性支承部件和多個(gè)垂直彈性支承部件用于將上述底座、中間臺(tái)及上述可動(dòng)臺(tái)依次在水平方向和垂直方向上彈性連接，在將裝置整體設(shè)想為以上述水平彈性支承部件為交界的兩個(gè)質(zhì)量體時(shí)，該兩個(gè)質(zhì)量體彼此的重心位置在垂直方向和水平方向上大致相同，而且，各個(gè)上述質(zhì)量體的重心位置和各個(gè)上述水平彈性支承部件的安裝位置構(gòu)成為在垂直方向上大致相同。
[0041]此外，為了防止由垂直彈性支承部件支承的可動(dòng)臺(tái)產(chǎn)生擺動(dòng)運(yùn)動(dòng)等預(yù)料之外的振動(dòng)，優(yōu)選的是，振動(dòng)裝置包括借助防振彈簧支承在接地面上的底座、彈性支承在該底座上的可動(dòng)臺(tái)、用于使該可動(dòng)臺(tái)在水平方向上振動(dòng)的水平起振部件、及用于使上述可動(dòng)臺(tái)在垂直方向上振動(dòng)的垂直起振部件，其中，在上述底座和上述可動(dòng)臺(tái)之間包括中間臺(tái)，并且上述振動(dòng)裝置具備多個(gè)水平彈性支承部件和多個(gè)垂直彈性支承部件，該多個(gè)水平彈性支承部件和多個(gè)垂直彈性支承部件用于將上述底座、中間臺(tái)及上述可動(dòng)臺(tái)依次在水平方向和垂直方向上彈性連接，在將裝置整體設(shè)想為以上述水平彈性支承部件為交界的兩個(gè)質(zhì)量體時(shí)，該兩個(gè)質(zhì)量體彼此的重心位置在垂直方向和水平方向上大致相同，并且，上述多個(gè)垂直彈性支承部件設(shè)置為以各個(gè)上述質(zhì)量體的重心位置為中心地相對(duì)于各起振方向?qū)ΨQ，并且，在隔著該多個(gè)垂直彈性支承部件對(duì)稱的位置于上述可動(dòng)臺(tái)上設(shè)有配重。
[0042]并且，為了同時(shí)謀求使借助水平彈性支承部件安裝的構(gòu)件的姿態(tài)穩(wěn)定化、及抑制由垂直彈性支承部件支承的可動(dòng)臺(tái)的擺動(dòng)運(yùn)動(dòng)，優(yōu)選的是，振動(dòng)裝置包括借助防振彈簧支承在接地面上的底座、彈性支承在該底座上的可動(dòng)臺(tái)、用于使該可動(dòng)臺(tái)在水平方向上振動(dòng)的水平起振部件、及用于使上述可動(dòng)臺(tái)在垂直方向上振動(dòng)的垂直起振部件，其中，在上述底座和上述可動(dòng)臺(tái)之間包括中間臺(tái)，并且上述振動(dòng)裝置具備多個(gè)水平彈性支承部件和多個(gè)垂直彈性支承部件，該多個(gè)水平彈性支承部件和多個(gè)垂直彈性支承部件用于將上述底座、中間臺(tái)及上述可動(dòng)臺(tái)依次在水平方向和垂直方向上彈性連接，在將裝置整體設(shè)想為以上述水平彈性支承部件為交界的兩個(gè)質(zhì)量體時(shí)，該兩個(gè)質(zhì)量體彼此的重心位置在垂直方向和水平方向上大致相同，而且，上述各質(zhì)量體的重心位置和各水平彈性支承部件的安裝位置在垂直方向上大致相同，并且，上述多個(gè)垂直彈性支承部件設(shè)置為以各個(gè)上述質(zhì)量體的重心位置為中心地相對(duì)于各起振方向?qū)ΨQ，并且，在隔著該多個(gè)垂直彈性支承部件對(duì)稱的位置于上述可動(dòng)臺(tái)上設(shè)有配重。
[0043]此外，為了即使在以上述第2發(fā)明中的任一個(gè)結(jié)構(gòu)為基礎(chǔ)的情況下也易于提高底座的重心位置而使重心位置與設(shè)置在底座上的其他構(gòu)件重合，并且能夠保護(hù)起振部件等的驅(qū)動(dòng)裝置，優(yōu)選的是，上述振動(dòng)裝置設(shè)有自上述底座的外周緣附近立起的周壁部，上述周壁部以包圍上述彈性支承部件和上述起振部件的方式構(gòu)成，并且構(gòu)成為用于調(diào)整上述底座的重心位置的重心調(diào)整構(gòu)件。
[0044]為了構(gòu)成為能夠?qū)⒖蓜?dòng)臺(tái)上的物品在任意的方向上輸送的控制性優(yōu)異的物品輸送裝置，優(yōu)選的是，物品輸送裝置用于利用可動(dòng)臺(tái)的振動(dòng)輸送載置在可動(dòng)臺(tái)上的物品，其中，包括:上述任一個(gè)振動(dòng)裝置；振動(dòng)控制部件，其用于控制該振動(dòng)裝置所具有的多個(gè)起振部件，以便使上述多個(gè)起振部件以相同的頻率同時(shí)產(chǎn)生周期性的起振力且使該起振力具有相位差，使上述可動(dòng)臺(tái)產(chǎn)生三維的振動(dòng)軌跡；以及振動(dòng)切換部件，用于切換利用各個(gè)上述起振部件產(chǎn)生的周期性的起振力的振幅和相位差。
[0045]此外，為了構(gòu)成為能夠根據(jù)摩擦系數(shù)相應(yīng)地區(qū)分可動(dòng)臺(tái)上的多個(gè)物品的控制性優(yōu)異的物品區(qū)分裝置，優(yōu)選的是，物品區(qū)分裝置用于利用可動(dòng)臺(tái)的振動(dòng)區(qū)分載置在可動(dòng)臺(tái)上的多個(gè)物品，其中，包括:上述任一個(gè)振動(dòng)裝置；以及振動(dòng)控制部件，其用于控制該振動(dòng)裝置所具有的多個(gè)起振部件的每一個(gè)，以便使上述多個(gè)起振部件以相同的頻率同時(shí)產(chǎn)生周期性的起振力且使該起振力具有相位差，使上述可動(dòng)臺(tái)產(chǎn)生三維的振動(dòng)軌跡；以預(yù)定的基準(zhǔn)摩擦系數(shù)為交界，根據(jù)各個(gè)物品所具有的摩擦系數(shù)相對(duì)于上述基準(zhǔn)摩擦系數(shù)的大小關(guān)系設(shè)定利用上述水平起振部件產(chǎn)生的周期性的起振力和利用上述垂直起振部件產(chǎn)生的周期性的起振力的相位差，使得各物品向不同的方向移動(dòng)，從而同時(shí)區(qū)分載置在上述可動(dòng)臺(tái)上的多個(gè)物品而構(gòu)成。
[0046]發(fā)明的效果
[0047]采用以上說明的第I發(fā)明，提供振動(dòng)裝置、使用該振動(dòng)裝置的控制性優(yōu)異的物品輸送裝置及物品區(qū)分裝置，上述振動(dòng)裝置的結(jié)構(gòu)簡單，能夠在三個(gè)方向上有效地彈性支承可動(dòng)臺(tái)，而且距輸送面的高度較小，能夠抑制可動(dòng)臺(tái)的縱搖或橫搖。此外，采用第2發(fā)明，能夠提供振動(dòng)裝置、該使用振動(dòng)裝置的控制性優(yōu)異的物品輸送裝置及物品區(qū)分裝置，上述振動(dòng)裝置能夠更有效地抑制在對(duì)可動(dòng)臺(tái)作用起振力時(shí)產(chǎn)生的轉(zhuǎn)動(dòng)力矩，因此，即使是借助防振彈簧支承底座的形態(tài)，也能夠使底座的姿態(tài)穩(wěn)定，能夠使支承在該底座上的可動(dòng)臺(tái)的振動(dòng)更加穩(wěn)定而提高動(dòng)作精度，并且能夠抑制向設(shè)置面?zhèn)鞑フ駝?dòng)而防止噪音、振動(dòng)等，從而改善作業(yè)環(huán)境。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0048]圖1是本發(fā)明的第I實(shí)施方式的振動(dòng)裝置及使用該振動(dòng)裝置的物品輸送裝置的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)圖。
[0049]圖2是該振動(dòng)裝置的立體圖。
[0050]圖3是該振動(dòng)裝置的分解立體圖。
[0051]圖4是表示該振動(dòng)裝置的主要部分的立體圖。
[0052]圖5是表示該振動(dòng)裝置的主要部分的俯視圖。
[0053]圖6是表示該振動(dòng)裝置的主要部分的主視圖。
[0054]圖7是表示該振動(dòng)裝置的可動(dòng)臺(tái)在第I水平方向上移動(dòng)時(shí)的俯視圖。
[0055]圖8是表示該振動(dòng)裝置的可動(dòng)臺(tái)在第2水平方向上移動(dòng)時(shí)的俯視圖。
[0056]圖9是表示該振動(dòng)裝置的可動(dòng)臺(tái)在垂直方向上移動(dòng)時(shí)的主視圖。
[0057]圖10是表示該振動(dòng)裝置的起振方向的示意圖。
[0058]圖11是表示該振動(dòng)裝置在各方向上的周期性的起振力之間的相位差與物品的輸送速度的關(guān)系的圖。
[0059]圖12是表示該振動(dòng)裝置在各方向上的周期性的起振力之間的相位差、物品的輸送速度、以及摩擦系數(shù)的關(guān)系的圖。
[0060]圖13是表示該振動(dòng)裝置在水平方向上的周期性的起振力的振幅與物品的輸送速度的關(guān)系的圖。
[0061]圖14是例示利用該振動(dòng)裝置輸送物品的情況下的輸送軌跡的俯視圖。
[0062]圖15是本發(fā)明的第2實(shí)施方式的振動(dòng)裝置及使用該振動(dòng)裝置的物品區(qū)分裝置的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)圖。
[0063]圖16是表示該振動(dòng)裝置在各方向上的周期性的起振力之間的相位差與物品的移動(dòng)速度的關(guān)系的圖。
[0064]圖17是表示使用該振動(dòng)裝置使摩擦系數(shù)不同的多個(gè)物品移動(dòng)時(shí)的移動(dòng)區(qū)域的俯視圖。
[0065]圖18是表示使用該振動(dòng)裝置使X、Y方向上的相位差發(fā)生變化后的、摩擦系數(shù)不同的多個(gè)物品各自的移動(dòng)區(qū)域的說明圖。
[0066]圖19是表示使用該振動(dòng)裝置使X、Y方向上的相位差發(fā)生變化后的、摩擦系數(shù)不同的多個(gè)物品各自的移動(dòng)區(qū)域的說明圖。
[0067]圖20是表示圖18的(a)、圖18的(b)中示出的條件時(shí)的物品移動(dòng)方向的俯視圖。
[0068]圖21是表示本發(fā)明的第3實(shí)施方式的振動(dòng)裝置的立體圖。
[0069]圖22是本發(fā)明的第4實(shí)施方式的振動(dòng)裝置及使用該振動(dòng)裝置的物品輸送裝置的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)圖。[0070]圖23是該振動(dòng)裝置的立體圖。
[0071]圖24是該振動(dòng)裝置的俯視圖。
[0072]圖25是卸下該振動(dòng)裝置的一部分后的狀態(tài)的立體圖。
[0073]圖26是表示該振動(dòng)裝置的主要部分的立體圖。
[0074]圖27是表示該振動(dòng)裝置的主要部分的俯視圖。
[0075]圖28是圖24中的A —A剖視向視圖。
[0076]圖29是圖24中的B — B剖視向視圖。
[0077]圖30是本發(fā)明的第5實(shí)施方式的振動(dòng)裝置及使用該振動(dòng)裝置的物品區(qū)分裝置的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)圖。
[0078]圖31是本發(fā)明的第6實(shí)施方式的振動(dòng)裝置的立體圖。
[0079]圖32是卸下該振動(dòng)裝置的一部分后的狀態(tài)的立體圖。
[0080]圖33是該振動(dòng)裝置的俯視圖。
[0081]圖34是圖33中的A — A剖視向視圖。
[0082]圖35是本發(fā)明的第7實(shí)施方式的振動(dòng)裝置的立體圖。
[0083]圖36是卸下該振動(dòng)裝置的一部分后的狀態(tài)的立體圖。
[0084]圖37是該振動(dòng)裝置的俯視圖。
[0085]圖38是圖37中的A — A剖視向視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0086]下面，參照【專利附圖】

【附圖說明】本發(fā)明的實(shí)施方式。
[0087]第I實(shí)施方式
[0088]圖1表示將本發(fā)明的第I實(shí)施方式的振動(dòng)裝置2、以及用于控制該振動(dòng)裝置2的控制系統(tǒng)部3合起來構(gòu)成作為物品移動(dòng)裝置之一的物品輸送裝置I的形態(tài)。
[0089]該控制系統(tǒng)部3構(gòu)成為，通過對(duì)像后述那樣的裝入到振動(dòng)裝置2中的壓電元件81、82,83進(jìn)行控制，對(duì)振動(dòng)裝置2施加作為第I水平方向的X、作為第2水平方向的Y、作為垂直方向的Z的各方向上的周期性的起振力而使該振動(dòng)裝置2產(chǎn)生振動(dòng)。
[0090]另外，X、Y、Z的各方向像圖中所示的坐標(biāo)軸所示那樣地定義，下面，也適當(dāng)?shù)匮刂鴪D中所示的坐標(biāo)軸進(jìn)行說明。
[0091]圖2是表示作為實(shí)際使用的上述振動(dòng)裝置2的狀態(tài)的圖。在該狀態(tài)中，利用設(shè)置在底座4上的罩42覆蓋正面、背面及側(cè)面這四個(gè)面。此外，在上表面設(shè)有構(gòu)成可動(dòng)臺(tái)6的一部分的長方形形狀的輸送臺(tái)63,該輸送臺(tái)63的上表面63a作為輸送面能夠載置輸送的物品9。
[0092]圖3表示自上述振動(dòng)裝置2卸下輸送臺(tái)63后的狀態(tài)。振動(dòng)裝置2在其內(nèi)部具有在X、Y、Z這3個(gè)軸向上被彈性支承的作為長方體狀的塊的可動(dòng)臺(tái)座61，在該可動(dòng)臺(tái)座61上利用4個(gè)埋頭螺栓62a?62a (在圖中僅記載兩個(gè))連接有矩形板狀的可動(dòng)板62。而且，在可動(dòng)板62的上表面設(shè)有上述輸送臺(tái)63，可動(dòng)板62和輸送臺(tái)63之間利用設(shè)置在四角附近的螺孔62b?62b和螺栓63b?63b緊固。
[0093]這些可動(dòng)臺(tái)座61、可動(dòng)板62及輸送臺(tái)63作為可動(dòng)臺(tái)6 —體化地在振動(dòng)裝置2的內(nèi)部被彈性支承，并且被后述的起振部件施加振動(dòng)。[0094]圖4表示卸下上述罩42、可動(dòng)板62及輸送臺(tái)63后的狀態(tài)。下面，使用該圖詳細(xì)說明本實(shí)施方式的振動(dòng)裝置2的結(jié)構(gòu)。
[0095]該振動(dòng)裝置2構(gòu)成為，在X、Y、Z這3個(gè)方向上將可動(dòng)臺(tái)座61彈性支承在底座2上，并將作為剛性體部分的底座4、第I中間臺(tái)51、51、第2中間臺(tái)52及可動(dòng)臺(tái)座61依次連接而設(shè)有作為第I水平彈性支承部件的第I板狀彈簧構(gòu)件71、71、作為第2水平彈性支承部件的第2板狀彈簧構(gòu)件72、72、以及作為垂直彈性支承部件的第3板狀彈簧構(gòu)件73、73。各板狀彈簧構(gòu)件71?73為了分別以其板厚方向成為X、Y、Z方向的方式配置，因此易于在該方向上進(jìn)行彈性變形。
[0096]而且，上述振動(dòng)裝置2包括用于使可動(dòng)臺(tái)座61在X、Y、Z這3個(gè)方向上振動(dòng)的作為起振部件的第I?第3壓電元件81?83。
[0097]下面，對(duì)這些結(jié)構(gòu)進(jìn)行更詳細(xì)的說明。
[0098]首先，底座4構(gòu)成為矩形形狀的板，在其四角形成有用于設(shè)置在未圖示的外部設(shè)備或者地板上的螺栓孔。只要在底座4的下方安裝未圖示的防振橡膠等彈簧常數(shù)較小的彈性體，就能夠降低來自設(shè)置面的反作用力，較為理想。
[0099]而且，在比四角稍靠中心的位置的四處以配置成矩形形狀的方式設(shè)有安裝塊41。雖在該圖中省略了記載，但如圖5所示，各安裝塊41使用螺栓固定在底座4上。
[0100]返回到圖4，安裝塊41分別形成為具有L字型的截面的塊，將其形成L字的一個(gè)邊設(shè)為抵接于底座4的狀態(tài),另一個(gè)邊成為立起的狀態(tài)。而且，立起的邊形成與X方向正交的YZ平面。而且，以連接于在Y方向上成對(duì)地相鄰的安裝塊41、41的方式設(shè)有第I板狀彈簧構(gòu)件71、71。由于該第I板狀彈簧構(gòu)件71、71安裝在上述各個(gè)安裝塊41?41所具有的YZ平面上，因此，其板厚方向成為X方向，其長度方向成為Y方向。
[0101]此外，第I板狀彈簧構(gòu)件71、71為了分別設(shè)置于兩對(duì)安裝塊41?41，因此，第I板狀彈簧構(gòu)件71、71以在X方向上分開預(yù)定距離的狀態(tài)平行地設(shè)有兩個(gè)。
[0102]此外，第I板狀彈簧構(gòu)件71、71的兩端部被夾在矩形形狀的彈簧壓緊件71d?71d和上述各安裝塊41?41所具有的YZ平面之間，由于利用未圖示的螺栓來固定，因此，第I板狀彈簧構(gòu)件71、71以被限制了撓曲角的方式被支承。
[0103]而且，自第I板狀彈簧構(gòu)件71、71的長度方向中心附近借助彈簧座71c?71c分別連接有第I中間臺(tái)51、51。第I中間臺(tái)51形成為分別沿著Y方向延伸的長方體形狀。
[0104]在第I板狀彈簧構(gòu)件71、71上分別設(shè)有兩個(gè)彈簧座71c?71c，并且，以與這些各彈簧座71c?71c相對(duì)的方式設(shè)有彈簧壓緊件71e?71e。第I板狀彈簧構(gòu)件71、71被相對(duì)的彈簧座71c?71c和彈簧壓緊件71e?71e夾持而被限制了撓曲角，在這些部分利用螺栓(參照?qǐng)D5)連接于上述第I中間臺(tái)51、51。第I中間臺(tái)51、51成為被分割成兩個(gè)的結(jié)構(gòu)，但由于它們利用后述的第2板狀彈簧構(gòu)件72、72相連接，因此一體地進(jìn)行動(dòng)作。
[0105]上述第I中間臺(tái)51、51像上述那樣形成為長方體形狀，其以六個(gè)面分別成為與X、Y、Z軸的各面正交的朝向的方式配置。而且，以將各個(gè)第I中間臺(tái)51、51所具有的與Y軸正交的XZ面之間連接起來的方式設(shè)有兩個(gè)第2板狀彈簧構(gòu)件72、72。
[0106]通過這樣安裝，兩個(gè)第2板狀彈簧構(gòu)件72、72各自的板厚方向與Y軸正交，且長度方向朝向X方向，并且互相在Y方向上分開預(yù)定距離地平行地配置。
[0107]第2板狀彈簧構(gòu)件72、72的兩端部夾在矩形形狀的彈簧壓緊件72d?72d和上述第I中間臺(tái)51、51所具有的XZ平面之間，由于在該部分利用螺栓(參照?qǐng)D5)固定，因此第2板狀彈簧構(gòu)件72、72以被限制了撓曲角的方式被支承。
[0108]在第2板狀彈簧構(gòu)件72、72的長度方向中心附近借助彈簧座72c?72c連接有第2中間臺(tái)52。
[0109]在第2板狀彈簧構(gòu)件72、72上分別設(shè)有兩個(gè)彈簧座72c?72c，并且，以與這些各彈簧座72c?72c相對(duì)的方式設(shè)有彈簧壓緊件72e?72e。第2板狀彈簧構(gòu)件72、72被相對(duì)的彈簧座72c?72c和彈簧壓緊件72e?72e夾持而被限制了撓曲角，在這些部分利用螺栓(參照?qǐng)D5)連接于上述第2中間臺(tái)52。
[0110]如圖5的俯視圖所示，第2中間臺(tái)52構(gòu)成為矩形的框體，并通過將具有與X、Y、Z方向正交的六個(gè)面的長方體的四個(gè)塊組合起來而形成。
[0111]如圖6所示，在彈簧座72c?72c和彈簧壓緊件72e?72e中形成有長孔，像圖5那樣利用貫穿該長孔的螺栓將第2板狀彈簧構(gòu)件72、72連接在第2中間臺(tái)52上。彈簧座72c?72c和彈簧壓緊件72e?72e能夠沿著X方向、即第2板狀彈簧構(gòu)件72、72的長度方向移動(dòng)與該長孔相應(yīng)的量，由此，第2板狀彈簧構(gòu)件72、72能夠改變作為彈簧發(fā)揮作用的有效長度。
[0112]同樣，在用于將上述第I板狀彈簧構(gòu)件71、71連接于第I中間臺(tái)51、51的彈簧座71c?71c和彈簧壓緊件71e?71e中形成有長孔，彈簧座71c?71c和彈簧壓緊件71e?71e能夠沿著Y方向移動(dòng)與該長孔相應(yīng)的量，由此，也能夠改變第I板狀彈簧構(gòu)件71、71的有效長度。
[0113]像上述那樣，第I板狀彈簧構(gòu)件71、71及第2板狀彈簧構(gòu)件72、72分別通過改變有效長度能夠改變彈簧常數(shù)，并且也能夠改變固有振動(dòng)頻率。
[0114]返回到圖4，在構(gòu)成為矩形的框體的第2中間臺(tái)52的上表面和下表面分別設(shè)有各兩個(gè)、合計(jì)四個(gè)第3板狀彈簧構(gòu)件73?73。第3板狀彈簧構(gòu)件73?73以在X方向上將作為存在于如下兩個(gè)邊的位置的部分的上表面和下表面形成的各XY平面之間連接起來的方式設(shè)置:該兩個(gè)邊是構(gòu)成形成第2中間臺(tái)52的矩形的邊中的、與Y方向平行的兩個(gè)邊。第3板狀彈簧構(gòu)件73?73的兩端部夾持在矩形形狀的彈簧壓緊件73c?73c和上述第2中間臺(tái)52所具有的XY平面之間，由于在該部分利用螺栓(參照?qǐng)D5)固定，因此以被限制了撓曲角的方式被支承。
[0115]此外，在連接于第2中間臺(tái)52的上表面的第3板狀彈簧構(gòu)件73、73、以及連接于第
2中間臺(tái)52的下表面的第3板狀彈簧構(gòu)件73、73 (參照?qǐng)D5)的中央部附近，為了維持兩者之間的間隔而在間隙中設(shè)有彈簧間塊73e。
[0116]并且，在上述彈簧間塊73e的下方隔著連接于第2中間臺(tái)52的下表面的第3板狀彈簧構(gòu)件73、73設(shè)有彈簧壓緊件73e。彈簧壓緊件73e設(shè)為將兩個(gè)第3板狀彈簧構(gòu)件73、73夾在該彈簧壓緊件73e與第2中間臺(tái)52的下表面之間的狀態(tài)，能夠利用未圖示的螺栓進(jìn)行固定。
[0117]此外，在上述彈簧間塊73e的上方隔著連接于第2中間臺(tái)52的上表面的第3板狀彈簧構(gòu)件73、73設(shè)有上述可動(dòng)臺(tái)座61。可動(dòng)臺(tái)座61設(shè)為將兩個(gè)第3板狀彈簧構(gòu)件73、73夾在該可動(dòng)臺(tái)座61與第2中間臺(tái)52的上表面之間的狀態(tài)，能夠以圖5所示的形態(tài)利用螺栓進(jìn)行固定。為了像圖3那樣在可動(dòng)臺(tái)座61的上表面安裝可動(dòng)板62，考慮避免上述螺栓的頭飛出。
[0118]像上述那樣，在圖4中示出的本實(shí)施方式的振動(dòng)裝置2中設(shè)為這樣的結(jié)構(gòu):第I中間臺(tái)51、51使用第I板狀彈簧構(gòu)件71、71在X方向上彈性支承于底座4，第2中間臺(tái)52使用第2板狀彈簧構(gòu)件72在Y方向上彈性支承于第I中間臺(tái)51、51，可動(dòng)臺(tái)座61使用第3板狀彈簧構(gòu)件73在Z方向上彈性支承于第2中間臺(tái)52。由此，可動(dòng)臺(tái)6在X、Y、Z的各方向上彈性支承于底座4。
[0119]各板狀彈簧構(gòu)件71?73分別在成為板厚方向的X、Y、Z方向上具有彈性，并且在與其正交的寬度方向、長度方向上具有充分的剛性。因此，可以認(rèn)為在各方向上的支承是獨(dú)立的。
[0120]此外，構(gòu)成為通過將第I?第3板狀彈簧構(gòu)件71?73分別與各方向平行地設(shè)置并成對(duì)地支承，從而構(gòu)成如同平行連桿的一部分那樣。由此，各板狀彈簧構(gòu)件71?73能夠在不進(jìn)行扭轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的前提下以保持成對(duì)且在相互之間使間隙恒定的關(guān)系的方式移位。
[0121]并且，在本實(shí)施方式的振動(dòng)裝置中，具有在X、Y、Z方向上獨(dú)立的第I水平起振部件81、第2水平起振部件82及垂直起振部件83。
[0122]首先，作為X方向上的起振部件的第I水平起振部件由在兩個(gè)第I板狀彈簧構(gòu)件71、71的表面分別貼設(shè)有兩個(gè)、合計(jì)四個(gè)第I壓電元件81?81構(gòu)成。該第I壓電元件81?81能夠通過被施加電壓而在Y方向上產(chǎn)生伸展或者收縮，通過使第I板狀彈簧構(gòu)件71、71產(chǎn)生彎曲而產(chǎn)生X方向上的移位。
[0123]第I板狀彈簧構(gòu)件71、71在從利用端部的彈簧壓緊件71d定位的底座側(cè)連接點(diǎn)71a到利用中央的彈簧座71c和彈簧壓緊件71e定位的第I中間臺(tái)側(cè)連接點(diǎn)71b之間的中央具有彎曲的方向發(fā)生變化的彎曲點(diǎn)，因此，將第I壓電元件81?81粘貼至該部分的方式反而會(huì)阻礙變形而降低效率。因此，第I壓電元件81?81避開彈簧有效長度的中央而靠近任一個(gè)端部地設(shè)置較為有效。
[0124]第I壓電元件81?81分別設(shè)置在距端部相同距離的位置，并且能夠通過調(diào)整輸出而產(chǎn)生相同的變形。這樣，如圖7所示，能夠保持著在X方向上分開的第I板狀彈簧構(gòu)件71、71之間的間隔地使該第I板狀彈簧構(gòu)件71、71以相同的方式變形，能夠使第I中間臺(tái)51、51保持著水平狀態(tài)地僅沿X方向移位。
[0125]接著，返回到圖4，與上述第I水平起振部件相同，作為Y方向上的起振部件的第2水平起振部件由在兩個(gè)第2板狀彈簧構(gòu)件72、72的表面分別貼設(shè)有兩個(gè)、合計(jì)四個(gè)第2壓電元件82?82構(gòu)成。該第2壓電元件82?82能夠通過被施加電壓而在X方向上產(chǎn)生伸展或者收縮，通過使第2板狀彈簧構(gòu)件72、72產(chǎn)生彎曲而產(chǎn)生Y方向上的移位。第2壓電元件82?82也安裝在與第I壓電元件81?81同樣的位置，這樣，如圖8所示，能夠保持著在Y方向上分開的第2板狀彈簧構(gòu)件72、72之間的間隔地使該第2板狀彈簧構(gòu)件72、72以相同的方式變形，能夠使第2中間臺(tái)52保持著水平狀態(tài)地僅沿Y方向移位。
[0126]并且，返回到圖4，作為Z方向上的起振部件的垂直起振部件由在上下各設(shè)有兩個(gè)的板狀彈簧構(gòu)件73?73中的、上側(cè)的兩個(gè)板狀彈簧構(gòu)件73、73的表面分別貼設(shè)有兩個(gè)、合計(jì)四個(gè)第3壓電元件83?83構(gòu)成。該第3壓電元件83?83能夠通過被施加電壓而在X方向上產(chǎn)生伸展或者收縮，通過使第3板狀彈簧構(gòu)件73、73產(chǎn)生彎曲而產(chǎn)生Z方向上的移位。第3壓電元件83?83也安裝在與第I壓電元件81?81和第2壓電元件82?82同樣的位置，這樣，如圖9所示，能夠保持著在Z方向上分開的第3板狀彈簧構(gòu)件73、73之間的間隔地使該第3板狀彈簧構(gòu)件73、73以相同的方式變形，能夠使可動(dòng)臺(tái)座61保持著水平狀態(tài)地僅沿Z方向移位。另外，也可以將第3壓電元件83?83設(shè)置在設(shè)于下側(cè)的兩個(gè)第3板狀彈簧構(gòu)件73、73上，也可以將該第3壓電元件83?83設(shè)置在上側(cè)和下側(cè)的共計(jì)四個(gè)第3板狀彈簧構(gòu)件73?73上。
[0127]像上述那樣，通過使能夠在X、Y、Z的各方向上施加移位的電壓分別呈正弦波狀變化，能夠在各方向上對(duì)可動(dòng)臺(tái)座61施加周期性的起振力。
[0128]圖1中示出的控制系統(tǒng)部3對(duì)第I壓電元件81、第2壓電元件82及第3壓電元件83分別施加正弦波狀的控制電壓，從而使像上述那樣構(gòu)成的振動(dòng)裝置2產(chǎn)生用于產(chǎn)生X、Y、Z的各方向上的振動(dòng)的周期性的起振力。
[0129]因此，控制系統(tǒng)部3包括用于產(chǎn)生正弦電壓的振蕩機(jī)34，將該正弦電壓在利用放大器35放大了之后輸出到各壓電元件81、82、83。并且，上述控制系統(tǒng)部3具有用于詳細(xì)地調(diào)整X、Y、Z的各方向上的控制電壓的振動(dòng)控制部件31。另外，通過使由振蕩機(jī)34產(chǎn)生的振動(dòng)的頻率成為與X、Y、Z方向中的任一個(gè)振動(dòng)系統(tǒng)共振的頻率，放大振動(dòng)來謀求節(jié)省電力。此時(shí)，為了避免所有方向上的振動(dòng)系統(tǒng)的振動(dòng)相干涉，也可以使各方向上的固有振動(dòng)頻率拉開。在這種情況下，各方向上的固有振動(dòng)頻率例如拉開一 10%?+ 10%左右。
[0130]另外，在本實(shí)施方式中，能夠像上述那樣利用彈簧座71c?71c、72c?72c分別改變第I板狀彈簧構(gòu)件71、71和2板狀彈簧構(gòu)件72、72的有效長度。因此，能夠以Z方向上的固有振動(dòng)頻率為基準(zhǔn)而將X方向和Y方向上的固有振動(dòng)頻率分別改變調(diào)整為適當(dāng)?shù)闹怠?br> [0131]振動(dòng)控制部件31大體上由用于調(diào)整X、Y、Z的各方向上的控制電壓的振幅的振幅調(diào)整電路31a、及用于調(diào)整各個(gè)相位差的相位調(diào)整電路31b構(gòu)成。在本實(shí)施方式中，構(gòu)成為具有分別與X、Y、Z的各控制電壓相對(duì)應(yīng)的振幅調(diào)整電路31a，并且，針對(duì)X、Y的控制電壓分別設(shè)置以Z方向上的控制電壓的相位為基準(zhǔn)而將控制電壓的相位調(diào)整為與Z方向上的控制電壓的相位成預(yù)定的相位差的相位調(diào)整電路31b。
[0132]而且，控制系統(tǒng)部3具有用于確定與輸送的物品9相應(yīng)的輸送路徑和輸送速度的輸送路徑確定部件33、及根據(jù)確定的輸送路徑和輸送速度相應(yīng)地對(duì)各振幅調(diào)整電路31a和各相位調(diào)整電路31b發(fā)出用于改變具體的控制值的命令的振動(dòng)切換部件32。
[0133]而且，輸送路徑確定部件33在其內(nèi)部保存有多個(gè)與輸送的物品9相應(yīng)的輸送路徑和輸送速度的數(shù)據(jù)，在從其中根據(jù)來自未圖示的外部的指示選擇了輸送路徑和輸送速度之后，對(duì)振動(dòng)切換部件32施加命令，以便于在此選擇的輸送路徑和輸送速度相結(jié)合地切換振動(dòng)形態(tài)。
[0134]并且，在振動(dòng)切換部件32中，輸出命令，確定各振幅調(diào)整電路31a和各相位調(diào)整電路31b各自的具體的控制值并切換為該控制值，以使得輸送路徑、輸送速度成為命令的目標(biāo)值。
[0135]像上述那樣構(gòu)成的物品輸送裝置I具體地講如下地動(dòng)作，對(duì)載置在可動(dòng)臺(tái)6上的物品9進(jìn)行輸送、區(qū)分等。
[0136]在此，如圖10的示意圖所示地簡化，設(shè)想可動(dòng)臺(tái)6利用彈性體74、75、76在X、Y、Z的各方向上彈性支承在底座4上、并且設(shè)有各方向上的起振部件84、85、86的情況。通過這樣構(gòu)成，能夠利用在X、Y、Z這三個(gè)方向上設(shè)置的起振部件84、85、86使可動(dòng)臺(tái)6在三個(gè)方向上動(dòng)作。圖10的示意圖中的彈性體74?76相當(dāng)于第I?第3板狀彈簧構(gòu)件71?73 (參照?qǐng)D4)，并且，起振部件84?86分別相當(dāng)于作為第I水平起振部件、第2水平起振部件以及垂直起振部件的第I?第3壓電元件81?83 (參照?qǐng)D4)。
[0137]對(duì)圖10中示出的模型的可動(dòng)臺(tái)6在Z方向上施加用Z = ZciXsincot表示的周期性的振動(dòng)移位。在此，Ztl表示Z方向上的振幅，《表示角頻率，t表示時(shí)間。并且，像X-X0xSin (o)t+(px)、Y-Y0xSin (cot+cpy)的式那樣在X、Y方向上也分別施加和Z方向相同頻率的振動(dòng)。在此，Xtl表示X方向的振幅，Ytl表示Y方向的振幅，q>x:表示X方向上的振動(dòng)與z方向上的振動(dòng)的相位差，(py:表示Z方向上的振動(dòng)與Z方向上的振動(dòng)的相位差。
[0138]通過這樣在X、Y、Z的各方向上施加正弦波狀的周期性的振動(dòng)移位，能夠使可動(dòng)臺(tái)6產(chǎn)生這些振動(dòng)移位合成而成的三維的振動(dòng)。例如，如圖10所示，在相對(duì)于Z方向上的振動(dòng)成分帶有(px、(py的相位差地產(chǎn)生了 x、Y方向上的振動(dòng)時(shí)，二維地在xz平面上產(chǎn)生具有將右側(cè)作為上方的橢圓軌道的振動(dòng)，在YZ平面上產(chǎn)生具有將右側(cè)作為下方的橢圓軌道的振動(dòng)。而且，通過進(jìn)一步將這兩個(gè)振動(dòng)合成，如圖中右下方所示地產(chǎn)生三維空間上的橢圓軌道。
[0139]而且，通過改變各方向上的振動(dòng)移位的振幅和相位，能夠改變XZ平面、YZ平面內(nèi)的二維的橢圓軌道的大小、朝向，能夠?qū)?yīng)地自由改變?nèi)S空間上的橢圓軌道的大小、朝向。另外，為了這樣施加各方向上的周期性的振動(dòng)移位，在控制上通過施加各方向上的周期性的起振力來進(jìn)行應(yīng)對(duì)。
[0140]像以上那樣，通過可動(dòng)臺(tái)6在描繪橢圓軌道的同時(shí)振動(dòng)，載置在可動(dòng)臺(tái)6上的物品9進(jìn)行移動(dòng)。而且，能夠根據(jù)上述XZ平面內(nèi)的橢圓軌道控制該移動(dòng)中的X方向上的移動(dòng)速度成分，能夠根據(jù)上述YZ平面內(nèi)的橢圓軌道控制Y方向上的移動(dòng)速度成分。S卩，通過以Z方向上的振動(dòng)成分為基準(zhǔn)而改變X方向、Y方向上的各個(gè)振動(dòng)的振幅和相位差，改變X、Y方向上的移動(dòng)速度成分，從而能夠在任意的方向上輸送。
[0141]具體地講，移動(dòng)速度以如下方式改變。
[0142]根據(jù)發(fā)明人等的見解，參照?qǐng)D10的同時(shí)使用圖11進(jìn)行說明，根據(jù)相位差<PX((py)，物品9的移動(dòng)速度Vx (Yy)以描繪類似于正弦波的曲線的方式進(jìn)行變化。因此，在將X方向上的振動(dòng)成分相對(duì)于Z方向上的振動(dòng)成分的相位差設(shè)定為圖10中的912時(shí),在X為正的方向上輸送物品9。此外，在將相位差設(shè)定為q>14之后，在X為負(fù)的方向上輸送物品
9。相對(duì)于此，在將相位差設(shè)定為(pll、(pl3之后，移動(dòng)速度Vx成為0，物品9成為在X方向上靜止的狀態(tài)。并且，通過使相位差在W 1-(pl3之間或者cpl3?兀(-Tl)?(pll之間進(jìn)行
變化，能夠分別增大或減小正方向、負(fù)方向上的速度。這樣的關(guān)系不僅在X方向上成立，在Y方向上也成立，同樣能夠通過設(shè)定相對(duì)于Z方向上的振動(dòng)成分的相位差而使移動(dòng)方向和移動(dòng)速度進(jìn)行變化。
[0143]通過這樣使X、Y各方向上的振動(dòng)成分的振幅XpYtl、及相對(duì)于Z方向振動(dòng)成分的相位差(px、cpy進(jìn)行變化，能夠使X、Y方向上的移動(dòng)速度Vx、Vy進(jìn)行變化。
[0144]并且，根據(jù)發(fā)明人等的見解，參照?qǐng)D10進(jìn)行說明，表示圖11所示的相位差和物品9的移動(dòng)速度Vx (Yy)之間的關(guān)系的曲線根據(jù)物品9和可動(dòng)臺(tái)6的摩擦系數(shù)進(jìn)行變化，成為圖12中示出的關(guān)系。即，將兩種物品W11、W12和可動(dòng)臺(tái)6之間的摩擦系數(shù)分別設(shè)為ii 11、U 12并滿足y 11 < U 12的關(guān)系時(shí)，W12時(shí)的移動(dòng)速度的圖表成為使Wll時(shí)的移動(dòng)速度的曲線向相位差為正的方向錯(cuò)開而成的形狀。因此，在進(jìn)行橢圓振動(dòng)的可動(dòng)臺(tái)6上同時(shí)放置了摩擦系數(shù)不同的物品9的情況下，移動(dòng)速度和移動(dòng)方向不同。
[0145]具體地講，在設(shè)定為圖12中示出的相位V Ol I的情況下，Wll不移動(dòng)，W12向負(fù)方
向移動(dòng)。此外，在將相位差設(shè)定在Cpll?之間的情況下，能夠使Wll向正方向移動(dòng)，使
W12向負(fù)方向移動(dòng)。而且，若設(shè)定為cpl2，則能夠不使W12移動(dòng)，而僅使Wll向正方向移動(dòng)。
此外，若設(shè)定在(|) 12?cp 14:之間，則能夠使Wl 1、W12均向正方向移動(dòng)，但能夠以Cp 13為交界
地調(diào)換Wll和W12的速度的大小。并且，只要在(pl2?Cpl4的范圍內(nèi)細(xì)微地改變相位差，就也能夠改變Wl I和W12的速度比。
[0146]而且，只要將相位差設(shè)為q>14，就能夠不使Wll移動(dòng)，而僅使W12向正方向移動(dòng)。并且，只要將相位差設(shè)定在(pl4?q>l 5之間，則就夠使W12向正方向移動(dòng)，使Wll向負(fù)方向移動(dòng)。只要將相位差設(shè)定為cpl5，就能夠不使W12移動(dòng)，而僅使WII向負(fù)方向移動(dòng)。而且，在將相位差設(shè)為(pl5?兀|的范圍時(shí)，能夠使Wll和W12這兩者均向負(fù)方向移動(dòng)，通過在該范圍內(nèi)改變相位差，也能夠改變兩者的移動(dòng)速度之比。
[0147]并且，根據(jù)發(fā)明人等的見解，參照?qǐng)D10的同時(shí)使用圖13進(jìn)行說明，相位差(px ((py)和物品9的移動(dòng)速度Vx (Yy)之間的關(guān)系也通過改變振幅Xci (Y0)而進(jìn)行變化。
SP，作為物品9的移動(dòng)速度Vx (Yy)相對(duì)于相位差q>X (Cpy)的正弦波類似的曲線大致與振
動(dòng)移位的振幅Xtl (Ytl)成比例地進(jìn)行變化。由此，在欲使物品9的移動(dòng)速度Vx (Yy)成為兩倍的情況下，大致使X (Y)方向上的振動(dòng)移位的振幅為兩倍即可。為此，為了施加與其相應(yīng)的起振力，使控制電壓的振幅進(jìn)行變化即可。
[0148]這樣，在于X(Y)方向上輸送摩擦系數(shù)不同的兩種物品9的情況下，通過改變X(Y)方向上的振動(dòng)相對(duì)于Z方向上的振動(dòng)的相位差(px (q>y)，能夠僅使兩種物品9中的任一者移動(dòng)、在改變移動(dòng)方向的同時(shí)改變速度比，并且，通過改變X (Y)方向上的振動(dòng)的振幅，能夠控制移動(dòng)速度的絕對(duì)值。通過將這些操作組合起來，也能夠維持著一者的速度地改變另一者的速度、改變輸送的朝向。
[0149]通過在兩個(gè)方向上展開以上那樣的、對(duì)一個(gè)方向上的輸送速度和朝向的控制，能夠在XY平面內(nèi)自由地移動(dòng)。即，通過將水平方向上的振動(dòng)設(shè)為X、Y這兩個(gè)方向并分別與Z方向上的振動(dòng)組合起來，分別制出XZ平面內(nèi)的橢圓振動(dòng)、YZ平面內(nèi)的橢圓振動(dòng)，產(chǎn)生將這些橢圓振動(dòng)合成而成的三維的橢圓振動(dòng)，通過三維地切換該橢圓振動(dòng)的朝向、大小，能夠更詳細(xì)地控制物品9的移動(dòng)方向、移動(dòng)速度。而且，只要通過以利用Z方向上的控制電壓產(chǎn)生的周期性的起振力為基準(zhǔn)地分別改變利用X方向、Y方向上的控制電壓產(chǎn)生的周期性的起振力的振幅、相位而分別改變XZ平面內(nèi)的橢圓振動(dòng)成分和YZ平面內(nèi)的橢圓振動(dòng)成分，就能夠遵照上述圖11?圖13的關(guān)系分別對(duì)物品9施加X方向、Y方向上的移動(dòng)速度成分。
[0150]由此，具體地講，能夠如下地輸送物品9。下面，參照?qǐng)D1的同時(shí)按照?qǐng)D14的(a)?圖14的(f)的例示各物品的輸送形態(tài)的俯視圖進(jìn)行說明。
[0151]首先，在物品9僅是一種的情況下，如圖14的(a)所示，能夠使物品9從初期(TO)的時(shí)刻開始沿X方向移動(dòng)，并從某一時(shí)刻(Tl)開始也追加Y方向上的移動(dòng)速度成分而改變方向地移動(dòng)。在這樣的情況下，存在根據(jù)物品9的種類相應(yīng)地改變輸送目的地的情況、基于由另外設(shè)置的照相機(jī)得出的檢查數(shù)據(jù)將該物品9判斷為不合格品而將其輸送到流水線外的情況。為了進(jìn)行這樣的形態(tài)的輸送，圖1中的輸送路徑確定部件33從外部輸入作為被輸送物相關(guān)數(shù)據(jù)來輸送的物品9的種類，基于預(yù)先保存在內(nèi)部的數(shù)據(jù)選擇與物品9相應(yīng)的輸送路徑和輸送速度，或者基于作為被輸送物相關(guān)數(shù)據(jù)的檢查數(shù)據(jù)確定輸送方向和輸送速度并將其輸出到振動(dòng)切換部件32。在該振動(dòng)切換部件32中，與該輸送方向和輸送速度相對(duì)應(yīng)地判斷是否需要切換各方向上的振動(dòng)形態(tài)，并且，在需要切換的情況下向各振幅調(diào)整電路31a和相位調(diào)整電路31b命令用于調(diào)整各方向上的周期性的起振力的振幅和相位的具體的控制值。
[0152]而且，若隨時(shí)判斷這樣的輸送路徑改變，利用振動(dòng)切換部件32調(diào)整振幅、相位，則能夠如圖14的 (b)所示在XY方向上一邊描繪自由的軌跡一邊使物品9移動(dòng)。輸送路徑改變的判斷既可以采用預(yù)先設(shè)定好的時(shí)刻，也可以根據(jù)來自外部的信號(hào)相應(yīng)地進(jìn)行。
[0153]此外，如圖14的(C)所示，在物品9a、9b是摩擦系數(shù)不同的兩種物品的情況下，也可以是初始階段(TO)在一個(gè)方向上以相同速度輸送,從某一時(shí)刻(Tl)開始向不同的方向分開地移動(dòng)。在這種情況下，在初始階段(TO)中，在X方向上以圖12中的相位差q>l 3?振動(dòng)，在Y方向上不產(chǎn)生振動(dòng)，從Tl的時(shí)刻開始在Y方向上也產(chǎn)生振動(dòng)，將與Z方向的振動(dòng)相位差切換到(pll和912之間或者(pl4和cpl5之間。同時(shí),就X方向上的速度而言,也通過使其
與Z方向上的振動(dòng)相位差自(pH錯(cuò)開，以在物品9a、9b之間帶有X方向上的速度差的方式
切換。在該振動(dòng)切換的過程中，圖1中的輸送路徑確定部件33根據(jù)已設(shè)定的時(shí)刻或者從外部輸入的被輸送物相關(guān)數(shù)據(jù)確定適當(dāng)?shù)妮斔吐窂胶洼斔退俣龋谶@些數(shù)據(jù)向振動(dòng)切換部件32發(fā)出輸送方向和輸送速度的改變命令。而且，在該振動(dòng)切換部件32中，確定與命令的輸送方向和輸送速度相對(duì)應(yīng)的各方向上的振幅、相位的具體的控制值，向各振幅調(diào)整電路31a、相位調(diào)整電路31b發(fā)出命令，從而變?yōu)樵摽刂浦怠?br> [0154]此外，通過進(jìn)行同樣的控制，能夠像圖14的(d)那樣也僅使物品9a、9b中的一者運(yùn)動(dòng)、或在兩者之間設(shè)置速度差。并且，也能夠像圖14的(e)那樣使物品9a、9b在選擇了任意的方向之后沿著該方向互相朝向反向移動(dòng)。
[0155]并且，通過連續(xù)地進(jìn)行這樣的輸送路徑和速度的改變，像圖14的(f)那樣能夠在XY平面內(nèi)分別獨(dú)立地同時(shí)控制物品9a、9b的輸送路徑和輸送速度。
[0156]此外，通過像上述那樣控制為將摩擦系數(shù)不同的物品9向不同的輸送方向輸送，嚴(yán)密地講，也可以針對(duì)被認(rèn)定為即便摩擦系數(shù)相同但表面形狀不同等、在外觀上摩擦系數(shù)不同的物品使輸送方向不同。例如，即便是同一構(gòu)件的表面和背面，但面的凹凸不同，與可動(dòng)臺(tái)6的接觸面積差別較大的情況也符合條件。
[0157]像以上那樣，本實(shí)施方式的振動(dòng)裝置2包括底座4、彈性支承在該底座4上的可動(dòng)臺(tái)6、用于使該可動(dòng)臺(tái)6在作為第I水平方向的X方向上振動(dòng)的第I水平起振部件81、用于使上述可動(dòng)臺(tái)6在作為與第I水平方向交叉的第2水平方向的Y方向上振動(dòng)的第2水平起振部件82、以及用于使上述可動(dòng)臺(tái)6在作為垂直方向的Z方向上振動(dòng)的垂直起振部件83，在上述底座4和上述可動(dòng)臺(tái)6之間包括第I中間臺(tái)51、51和第2中間臺(tái)52，并且包括將上述底座4、上述第I中間臺(tái)51、上述第2中間臺(tái)52及上述可動(dòng)臺(tái)6依次在X、Y、Z的各方向上彈性地連接的第I水平彈性支承部件、第2水平彈性支承部件以及垂直彈性支承部件，第I水平彈性支承部件由厚度方向與上述第I水平方向大致一致且長度方向配置成水平的朝向的第I板狀彈簧構(gòu)件71構(gòu)成，上述第2水平彈性支承部件由厚度方向與上述第2水平方向大致一致且長度方向配置成水平的朝向的第2板狀彈簧構(gòu)件72構(gòu)成，上述垂直彈性支承部件由厚度方向與上述垂直方向大致一致且長度方向配置成水平的朝向的第3板狀彈簧構(gòu)件73構(gòu)成。
[0158]由于這樣構(gòu)成，在易于在X、Y、Z的各方向上彈性變形的朝向上具有將可動(dòng)臺(tái)6彈性支承的作為彈性支承部件的第I?第3板狀彈簧構(gòu)件71?73，并且各板狀彈簧構(gòu)件71?73在與板厚方向不同的方向上具有較大的剛性，因此，能夠?qū)⒖蓜?dòng)臺(tái)6在各方向分別獨(dú)立地彈性支承。因此，在利用第I水平起振部件81、第2水平起振部件82及垂直起振部件83在各方向上振動(dòng)的情況下，能夠以不對(duì)相互的方向產(chǎn)生影響為前提獨(dú)立地控制振動(dòng)。并且，由于將這些板狀彈簧構(gòu)件71?73分別配置成長度方向處于水平的朝向，因此能夠抑制從底座4到可動(dòng)臺(tái)6的高度，能夠抑制可動(dòng)臺(tái)6的縱搖、橫搖。
[0159]此外，由于上述第I?第3板狀彈簧構(gòu)件71?73構(gòu)成為以分開預(yù)定距離的方式平行地設(shè)有多個(gè)，各板狀彈簧構(gòu)件71?73以構(gòu)成平行連桿的一部分的方式相連接，因此易于在各方向上保持使間隔恒定的狀態(tài)地移位。因此，各板狀彈簧構(gòu)件71?73被抑制了以扭轉(zhuǎn)形態(tài)變形，因此能夠更加穩(wěn)定地在上述三個(gè)方向上進(jìn)行支承。
[0160]此外，各起振部件是貼設(shè)在上述第I?第3板狀彈簧構(gòu)件71?73的至少單面上的壓電元件81?83，其構(gòu)成為，通過對(duì)這些壓電元件81?83施加正弦電壓而使該這些壓電元件81?83產(chǎn)生周期性的伸展，從而使上述第I?第3板狀彈簧構(gòu)件71?73振動(dòng)，因此，能夠通過將作為彈性支承部件的各板狀彈簧構(gòu)件71?73、及起振部件81?83 —體化來簡化結(jié)構(gòu)從而進(jìn)行緊湊化。
[0161]此外，在上述第I中間臺(tái)51和上述第I板狀彈簧構(gòu)件71之間、及上述第2中間臺(tái)52和上述第2板狀彈簧構(gòu)件72之間分別設(shè)有彈簧座71c?72c，該彈簧座71c?72c的位置分別以能夠在上述第I板狀彈簧構(gòu)件71和第2板狀彈簧構(gòu)件72的長度方向上改變的方式構(gòu)成，因此，通過在板狀彈簧構(gòu)件71、72的長度方向上改變各彈簧座71c?72c的位置，能夠簡單地改變板狀彈簧構(gòu)件71、72的固有振動(dòng)頻率。由此，能夠簡單地進(jìn)行使各方向上的固有振動(dòng)頻率拉開、接近的調(diào)整。
[0162]并且，本實(shí)施方式的物品輸送裝置I用于利用可動(dòng)臺(tái)6的振動(dòng)輸送載置在可動(dòng)臺(tái)6上的物品9，其包括上述振動(dòng)裝置2、振動(dòng)控制部件31以及振動(dòng)切換部件32而構(gòu)成，上述振動(dòng)控制部件31用于控制該振動(dòng)裝置2所具有的多個(gè)起振部件81?83，以便使上述多個(gè)起振部件81?83以相同的頻率同時(shí)產(chǎn)生周期性的起振力并使該起振力具有相位差，使上述可動(dòng)臺(tái)6產(chǎn)生三維的振動(dòng)軌跡；上述振動(dòng)切換部件32用于切換利用上述各起振部件81?83產(chǎn)生的周期性的起振力的振幅和相位差。
[0163]由于這樣構(gòu)成，因此能夠構(gòu)成一種能夠在任意的方向上輸送可動(dòng)臺(tái)6上的物品9且控制性優(yōu)異的物品輸送裝置I。[0164]〈第2實(shí)施方式>
[0165]圖15表示使用本發(fā)明的振動(dòng)裝置2構(gòu)成為作為物品移動(dòng)裝置之一的物品區(qū)分裝置101的第2實(shí)施方式。對(duì)與第I實(shí)施方式的情況相同的部分標(biāo)注相同的附圖標(biāo)記并省略說明。
[0166]在該實(shí)施方式中，作為振動(dòng)裝置2的結(jié)構(gòu)，與第I實(shí)施方式的情況是同樣的，只是用于該振動(dòng)裝置2的控制系統(tǒng)部103不同。具體地講，不存在像圖1那樣第I實(shí)施方式的控制系統(tǒng)部3所具有的振動(dòng)切換部件32、輸送路徑確定部件33，像圖15那樣具有相位差輸入部132作為替代這些部件的部件。在相位差輸入部132中，通過輸入以Z方向上的控制電壓的相位為基準(zhǔn)的X方向、Y方向上的各個(gè)相位差，以設(shè)定為該相位差的方式向與X、Y方向相對(duì)應(yīng)的各相位調(diào)整電路31b發(fā)出命令。
[0167]在此，本實(shí)施方式的物品區(qū)分裝置101的動(dòng)作原理也與在上述第I實(shí)施方式中使用圖10~圖13說明的內(nèi)容是同樣的，根據(jù)可動(dòng)臺(tái)6和物品9的摩擦系數(shù)及各方向上的振動(dòng)的相位差和振幅，改變物品9的移動(dòng)速度和移動(dòng)方向。
[0168]具體地講，如下地區(qū)分物品9。
`[0169]根據(jù)發(fā)明人等的見解，參照?qǐng)D10的同時(shí)使用圖16進(jìn)行說明，根據(jù)相位差q?(tpy)，物品9的移動(dòng)速度Vx (Yy)以描繪類似于正弦波的曲線的方式進(jìn)行變化，并且也根
據(jù)物品9和可動(dòng)臺(tái)6之間的摩擦系數(shù)進(jìn)行變化。即，在將三種物品W21、W22、W23和可動(dòng)臺(tái)6之間的摩擦系數(shù)分別設(shè)為ii 21、ii 22、ii 23且存在ii 21 < ii 22 < ii 23的關(guān)系時(shí)，W22時(shí)的移動(dòng)速度的圖表成為使W21時(shí)的移動(dòng)速度的曲線向相位差為正的方向錯(cuò)開而成的形狀，W23時(shí)的移動(dòng)速度的圖表成為使W21時(shí)的移動(dòng)速度的曲線進(jìn)一步向相位差為正的方向錯(cuò)開而成的形狀。因此，在進(jìn)行橢圓振動(dòng)的可動(dòng)臺(tái)6上同時(shí)放置了摩擦系數(shù)不同的物品9的情況下，移動(dòng)速度和移動(dòng)方向不同。
[0170]具體地講，在設(shè)定為圖16中示出的相位差921時(shí)，W21向正方向行進(jìn)，W22和W23
向相同的負(fù)方向行進(jìn)，但W23的移動(dòng)速度大于W22的移動(dòng)速度。并且，若設(shè)定為相位差中22，則W21向正方向行進(jìn)，W22以比W21小的速度向正方向行進(jìn)，W23向負(fù)方向行進(jìn)。若將相位差設(shè)定為Cp23，則W21向負(fù)方向行進(jìn)，W22向正方向行進(jìn)，W23以比W22大的速度向正方向行
進(jìn)。若將相位差設(shè)定為(p24，則W21向負(fù)方向行進(jìn)，W22以比W21小的速度向負(fù)方向行進(jìn)，W23向正方向行進(jìn)。除了這樣的屮21~q>24之外，也能夠任意地設(shè)定相位，也能夠使W21~W23全部向正方向或者反方向移動(dòng)、改變移動(dòng)速度的大小的順序。
[0171]此外，像使用圖13以上說明的那樣，也通過改變振幅Xtl(Ytl)而使相位差(pX (Cpy)
和物品9的移動(dòng)速度Vx (Yy)的關(guān)系進(jìn)行變化。即，作為物品9的移動(dòng)速度Vx (Yy)相對(duì)于
相位差CpX ((py)的正弦波類似的曲線大致與振動(dòng)移位的振幅Xtl (Ytl)成比例地進(jìn)行變化。
由此，在欲使物品9的移動(dòng)速度Vx (Yy)成為兩倍的情況下，只要大致使X (Y)方向上的振動(dòng)移位的振幅為兩倍即可。為此，為了施加與其相應(yīng)的起振力，只要使控制電壓的振幅進(jìn)行變化即可。
[0172]通過在正交的X、Y方向上同時(shí)進(jìn)行這樣的一個(gè)方向上的振動(dòng)控制，能夠使多個(gè)種類的物品9在可動(dòng)臺(tái)6上區(qū)分開并在不同的方向上移動(dòng)。
[0173]下面，如圖17所示，設(shè)想在可動(dòng)臺(tái)6上載置W21、W22、W23這三種物品的情形而進(jìn)行說明。另外，各個(gè)摩擦系數(shù)設(shè)為U 21、u 22、u 23,在它們之間存在y 21 < U 22 < u 23的關(guān)系。
[0174]使這樣的物品在可動(dòng)臺(tái)6上移動(dòng)的速度可以分解為X方向移動(dòng)速度成分Vx、Y方向移動(dòng)速度成分Vx來考慮，像上述那樣，Vx,Vy分別能夠根據(jù)XZ平面內(nèi)的橢圓軌道、YZ平面內(nèi)的橢圓軌道來控制，在分別相對(duì)于Z方向上的振動(dòng)成分的相位差的關(guān)系上具有上述圖16的關(guān)系。
[0175]在此，作為使摩擦系數(shù)不同的物品W21、W22、W23移動(dòng)的方向，像圖17那樣在上下左右分出區(qū)域，分別設(shè)為A、B、C、D區(qū)域。通過使X、Y的振動(dòng)成分相對(duì)于Z方向振動(dòng)成分的相位差cpx (py變化，能夠?qū)⒁苿?dòng)方向設(shè)定在這些區(qū)域中的任一者。
[0176]例如，在將q>X、(py分別設(shè)定為圖16所示的(p21、q>22時(shí)，如圖18的(a沖的表所
示，W21、W22、W23的X方向移動(dòng)速度成分Vx分別成為正(+ )、負(fù)(一)、負(fù)(一)的值，Y方向移動(dòng)速度成分Vy分別成為正(+)、正(+)、負(fù)(一)的值。S卩，在圖17中示出的區(qū)域中，W21欲向D區(qū)域移動(dòng)，W22欲向C區(qū)域移動(dòng)，W23欲向A區(qū)域移動(dòng)，其結(jié)果，如圖20的(a)所示，W21?W23被區(qū)分地移動(dòng)到各個(gè)區(qū)域中。
[0177]與此同樣，如圖18的(b)中的表所示，在q)x = (p21、(py = (p24時(shí)，W21、W22、W23
分別朝向B、A、C區(qū)域移動(dòng)，其結(jié)果，如圖20的(b)所示，W21?W23被區(qū)分地移動(dòng)到各個(gè)區(qū)域中。
[0178]并且，如圖18的(C)、圖18的(d)及圖19的(e)?圖19的(h)所示，在Cpx = (p22、<py = 92l時(shí)，W21、W22、W23分別一邊被區(qū)分一邊移動(dòng)到D、B、A區(qū)域中，在q>x = (p22、cpy = (p23時(shí)，W21、W22、W23分別一邊被區(qū)分一邊移動(dòng)到B、D、C區(qū)域中，在Cpx = (p23、Cpy = Cp22時(shí)，W21、W22、W23分別一邊被區(qū)分一邊移動(dòng)到C、D、B區(qū)域中，在:(px = (p23、(py=924時(shí)，W21、W22、W23分別一邊被區(qū)分一邊移動(dòng)到A、B、D區(qū)域中，在(px = (p24、(py= (p21時(shí)，W21、W22、W23分別一邊被區(qū)分一邊移動(dòng)到C、A、B區(qū)域中，在(px= tp24、(py=923時(shí)，W21、W22、W23分別一邊被區(qū)分一邊移動(dòng)到A、C、D區(qū)域中。
[0179]只要這樣是摩擦系數(shù)不同的物品9，就能夠分別向不同的方向移動(dòng)，并且也能夠?qū)⒏鱾€(gè)物品改變?yōu)槿我獾囊苿?dòng)方向。
[0180]利用上述的原理，具體地講，以如下方式使用本物品區(qū)分裝置101來區(qū)分物品9。下面，使用圖15和圖16進(jìn)行說明。
[0181]首先，利用相位差輸入部132輸入X方向、Y方向上的振動(dòng)成分相對(duì)于Z方向上的振動(dòng)成分的各個(gè)相位差cPx野。相位差輸入部132遵照該輸入值向分別與X方向、Y方向
相對(duì)應(yīng)的相位調(diào)整電路31b、31b發(fā)出命令，以使X、Y方向上的振動(dòng)的相位錯(cuò)開CpX或聽。然
后，相位調(diào)整電路31b根據(jù)原本的振蕩機(jī)34的信號(hào)使相位錯(cuò)開cpx或cpy而作為控制電壓施加給第I壓電元件81、第2壓電元件82，從而施加與Z方向上的振動(dòng)成分之間的相位差。在這樣例如利用相位差輸入部132以設(shè)定為cpx=q>23、(px=q)22|的方式輸入時(shí)，具有上述W21、W22、W23的性質(zhì)的物品9能夠分別與圖19的(e)的情況同樣地被區(qū)分到圖17中的C、D、B區(qū)域中。
[0182]此外，只要利用相位差輸入部132設(shè)定圖18、圖19所示的相位差，就能夠如各個(gè)表中所述地將物品9區(qū)分開。
[0183]在此，在本發(fā)明中，在設(shè)定為用于進(jìn)行上述區(qū)分的相位差時(shí)，將移動(dòng)速度為0的摩擦系數(shù)定義為基準(zhǔn)摩擦系數(shù)。即，與圖16中的相位差cp21 (p23相對(duì)應(yīng)的基準(zhǔn)摩擦系數(shù)為ya，與cp22、cp24相對(duì)應(yīng)的基準(zhǔn)摩擦系數(shù)為Pb。即，將相位差設(shè)定為(p23的意義等同于以
如下方式設(shè)定:作為進(jìn)行區(qū)分的交界將基準(zhǔn)摩擦系數(shù)設(shè)定為Pa，并且摩擦系數(shù)比該大的物品9向正方向行進(jìn)，摩擦系數(shù)比該P(yáng)a小的物品9向負(fù)方向行進(jìn)。同樣，將相位差設(shè)定為cp22等同于以如下方式設(shè)定:作為進(jìn)行區(qū)分的交界將基準(zhǔn)摩擦系數(shù)設(shè)定為Pb，并且摩擦
系數(shù)比該P(yáng)b大的物品9向負(fù)方向行進(jìn)，摩擦系數(shù)比該P(yáng)b小的物品9向正方向行進(jìn)。
[0184]因而，能夠?qū)⑸鲜鱿辔徊钶斎氩?32構(gòu)成為，并非以在X、Y的各方向上區(qū)分的基準(zhǔn)而輸入相位差其自身，而是輸入X、Y的各方向上的基準(zhǔn)摩擦系數(shù)、及物品根據(jù)摩擦系數(shù)相對(duì)于該基準(zhǔn)摩擦系數(shù)的大小相應(yīng)地行進(jìn)的正負(fù)中的任一個(gè)方向，根據(jù)這些信息以保存在內(nèi)部的圖16中的圖表為基礎(chǔ)自動(dòng)地設(shè)定相位差并將該相位差輸出。
[0185]并且，根據(jù)圖16可知，通過相對(duì)于Z方向上的振動(dòng)改變振動(dòng)的相位差，在能夠改變摩擦系數(shù)不同的物品9的移動(dòng)方向的同時(shí)，也能夠設(shè)置速度差。因此，本物品區(qū)分裝置101不僅將物品區(qū)分到與可動(dòng)臺(tái)6上的四角相對(duì)應(yīng)的區(qū)域中，在設(shè)定了這些區(qū)域的中間等更詳細(xì)的區(qū)域之后，也可以將物品區(qū)分為4種以上。
[0186]此外，通過像上述那樣控制為將摩擦系數(shù)不同的物品9區(qū)分開，嚴(yán)密地講，也可以針對(duì)被認(rèn)定為即便摩擦系數(shù)相同但表面形狀不同等、在外觀上摩擦系數(shù)不同的物品進(jìn)行區(qū)分。例如，即便是同一構(gòu)件的表面和背面，但面的凹凸不同，與可動(dòng)臺(tái)6的接觸面積差別較大的情況也符合條件。
[0187]像以上那樣，本實(shí)施方式的物品區(qū)分裝置101其以如下方式構(gòu)成，物品區(qū)分裝置101用于利用可動(dòng)臺(tái)6的振動(dòng)區(qū)分載置在可動(dòng)臺(tái)6上的多個(gè)物品9，其包括上述振動(dòng)裝置2和振動(dòng)控制部件31，該振動(dòng)控制部件31用于控制該振動(dòng)裝置2所具有的多個(gè)起振部件81?83，以便使上述多個(gè)起振部件81?83以相同的頻率同時(shí)產(chǎn)生周期性的起振力并使該起振力具有相位差，使上述可動(dòng)臺(tái)6產(chǎn)生三維的振動(dòng)軌跡，以預(yù)定的基準(zhǔn)摩擦系數(shù)為交界，根據(jù)各個(gè)物品9所具有的摩擦系數(shù)相對(duì)于上述基準(zhǔn)摩擦系數(shù)的大小關(guān)系分別設(shè)定利用上述第I水平起振部件81產(chǎn)生的周期性的起振力和利用上述垂直起振部件83產(chǎn)生的周期性的起振力的相位差、以及利用上述第2水平起振部件82產(chǎn)生的周期性的起振力和利用上述垂直起振部件83產(chǎn)生的周期性的起振力的相位差，使得各物品向不同的方向移動(dòng)，從而同時(shí)區(qū)分載置在上述可動(dòng)臺(tái)6上的多個(gè)物品9。
[0188]由于這樣構(gòu)成，因此能夠構(gòu)成可根據(jù)摩擦系數(shù)區(qū)分可動(dòng)臺(tái)6上多個(gè)的物品9、且控制性優(yōu)異的物品區(qū)分裝置101。
[0189]〈第3實(shí)施方式>
[0190]圖21表示替代共用于上述第I實(shí)施方式和第2實(shí)施方式的振動(dòng)裝置2的、不同形態(tài)的振動(dòng)裝置202。對(duì)與第I實(shí)施方式和第2實(shí)施方式的情況相同的部分標(biāo)注相同的附圖標(biāo)記并省略說明。
[0191]在該實(shí)施方式中，從底座4到依次連接的第I板狀彈簧構(gòu)件71、第I中間臺(tái)51、第2彈簧構(gòu)件72的形態(tài)與圖4中的構(gòu)件大致相同。
[0192]像圖21那樣，經(jīng)由彈簧座72c與第2板狀彈簧構(gòu)件72相連接的第2中間臺(tái)252成為長方體的塊狀形狀。而且，第3板狀彈簧構(gòu)件73?73以自該第2中間臺(tái)252的上表面和下表面分別朝向X方向兩側(cè)延伸出的方式設(shè)置，其連接于分別配置在第I板狀彈簧構(gòu)件71、71的外側(cè)的、形成為長方體狀的塊的彈簧間塊273e、273e。
[0193]在彈簧間塊273e、273e上分別連接有各一對(duì)在Z方向上分開而平行配置的第3板狀彈簧構(gòu)件73?73，該彈簧間塊273e、273e以從下方向被彈簧壓緊件273d?273d、從上方向被可動(dòng)臺(tái)座261、261夾在該彈簧壓緊件273d?273d和可動(dòng)臺(tái)座261、261之間的方式被固定。
[0194]在本實(shí)施方式中，與圖3的情況不同，可動(dòng)臺(tái)座261、261成為在X方向上分開的形態(tài)，因此，即便不設(shè)置可動(dòng)板62 (參照?qǐng)D3)，也能夠直接將輸送臺(tái)63固定在可動(dòng)臺(tái)座261、261上。相對(duì)于此，在像圖3所述的振動(dòng)裝置I那樣可動(dòng)臺(tái)座61處于中央附近的情況下，為了避免在輸送臺(tái)63的中央附近設(shè)置螺栓，需要設(shè)為在可動(dòng)臺(tái)座61和輸送臺(tái)63之間設(shè)置可動(dòng)板62而將螺栓位置錯(cuò)開的結(jié)構(gòu)。因而，在與這樣的結(jié)構(gòu)相比較的情況下，采用本實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)，能夠使可動(dòng)部分輕型化。
[0195]即使在像以上那樣構(gòu)成的情況下，也能夠獲得與作為第I實(shí)施方式和第2實(shí)施方式說明的振動(dòng)裝置2的情況同樣的效果。并且，通過替代第I實(shí)施方式的振動(dòng)裝置2而使用本實(shí)施方式的振動(dòng)裝置202與控制系統(tǒng)部3組合，也能夠構(gòu)成為物品輸送裝置，在這種情況下，能夠獲得與在第I實(shí)施方式中說明的物品輸送裝置同樣的效果。此外，通過替代第2實(shí)施方式的振動(dòng)裝置2而使用本實(shí)施方式的振動(dòng)裝置202與控制系統(tǒng)部103組合，也能夠構(gòu)成為物品輸送裝置，在這種情況下，能夠獲得與在第2實(shí)施方式中的說明的物品區(qū)分裝置同樣的效果。
[0196]〈第4實(shí)施方式>
[0197]在圖22中表示將本發(fā)明的第4實(shí)施方式的振動(dòng)裝置302、及用于控制該振動(dòng)裝置302的控制系統(tǒng)部3合起來構(gòu)成為物品移動(dòng)裝置之一的物品輸送裝置301的形態(tài)。
[0198]該圖中示出的振動(dòng)裝置302設(shè)為卸下后述的載置臺(tái)、周壁部后的狀態(tài)而成為露出驅(qū)動(dòng)部325的狀態(tài)，該驅(qū)動(dòng)部325彈性支承在底座304上，并且在該驅(qū)動(dòng)部325中設(shè)有作為起振部件的壓電元件381、382、383。并且，底座304彈性支承在固定臺(tái)321上。
[0199]控制系統(tǒng)部3構(gòu)成為，通過控制對(duì)壓電元件381、382、383施加的電壓，對(duì)振動(dòng)裝置302施加作為第I水平方向的X、作為第2水平方向的Y、作為垂直方向的Z的各方向上的周期性的起振力而使其產(chǎn)生振動(dòng)。
[0200]另外，與上述的其他實(shí)施方式同樣，X、Y、Z的各方向像圖中示出的坐標(biāo)軸所示那樣地定義，下面，也適當(dāng)?shù)匮刂鴪D中所示的坐標(biāo)軸進(jìn)行說明。
[0201]圖23是表示作為實(shí)際使用上述振動(dòng)裝置302的狀態(tài)的立體圖，圖24將該狀態(tài)作為俯視圖表示。如圖23和圖24所示，在該狀態(tài)下，利用沿著底座304的外周緣設(shè)置的上述周壁部342覆蓋正面、背面及側(cè)面這四個(gè)面。此外，在上表面設(shè)有構(gòu)成可動(dòng)臺(tái)306的一部分的矩形形狀的載置臺(tái)363，該載置臺(tái)363的上表面363a作為載置面，能夠載置輸送的物品9。
[0202]周壁部342具有覆蓋驅(qū)動(dòng)部325 (參照?qǐng)D22)的四個(gè)面進(jìn)行保護(hù)的功能、及用于增加底座304的重量來調(diào)整重心位置的功能，該周壁部342通過將形成為塊狀的下部錘342a?342b、上部錘342c?342d組合起來而構(gòu)成。
[0203]底座304借助配置在下表面的四角的防振彈簧322?322彈性支承在固定臺(tái)321上，固定臺(tái)321可以設(shè)置在任意的設(shè)置面。由于在固定臺(tái)321上，在X方向上分開地設(shè)有一對(duì)把手323、323，因此，能夠把持該把手323、323容易地對(duì)振動(dòng)裝置302進(jìn)行搬運(yùn)。
[0204]由于像上述那樣成為底座304借助防振彈簧322?322彈性支承的結(jié)構(gòu)，因此，即使在使可動(dòng)臺(tái)306產(chǎn)生了振動(dòng)的情況下，也能夠抑制該振動(dòng)傳播到固定臺(tái)321，防止振動(dòng)傳遞到設(shè)置面。另外，在本實(shí)施方式的振動(dòng)裝置302中，為了容易地進(jìn)行搬運(yùn)和設(shè)置，在底座304的下側(cè)設(shè)有固定臺(tái)321，但也可以借助防振彈簧322?322直接設(shè)置在設(shè)置面上。即，在本實(shí)施方式中，從便攜性的方面考慮設(shè)為設(shè)置固定臺(tái)321的結(jié)構(gòu)，但根據(jù)本發(fā)明的主旨，固定臺(tái)321稱不上是必需的結(jié)構(gòu)元件，該固定臺(tái)321可以視為與設(shè)置面同等對(duì)待。在本發(fā)明中，像后述那樣，將裝置整體的質(zhì)量認(rèn)定為多個(gè)質(zhì)量體相連接而成的程度，具有使這些質(zhì)量體之間的重心位置帶有相關(guān)性的特征。這里所說的裝置整體的質(zhì)量表示利用防振彈簧322?322彈性支承的底座304以上的部分的總質(zhì)量，被說明為在本發(fā)明中稱不上是必需的固定臺(tái)321的質(zhì)量不做考慮。
[0205]圖25表示自圖23中的振動(dòng)裝置302卸下構(gòu)成可動(dòng)臺(tái)306的一部分構(gòu)件、下部錘342a?342b、上部錘342c?342d的一部分、以及把手323、323后的狀態(tài)。
[0206]振動(dòng)裝置302具有在其內(nèi)部在X、Y、Z這三個(gè)軸向上彈性支承的可動(dòng)臺(tái)座361，該可動(dòng)臺(tái)座361形成為長方體狀的塊。在該可動(dòng)臺(tái)座361的上部設(shè)置有上述載置臺(tái)363 (參照?qǐng)D23)?？蓜?dòng)臺(tái)座361與載置臺(tái)363成為一體而構(gòu)成可動(dòng)臺(tái)306，在振動(dòng)裝置302的內(nèi)部彈性支承在底座304上,并且利用后述的起振部件被施加振動(dòng)。
[0207]如圖24所示，用于將底座304彈性支承在固定臺(tái)321上的防振彈簧322?322配置在底座304的四角。如圖25所示，防振彈簧322?322以自底座304突出的方式設(shè)置，其頂端與以沿著Y方向延伸的方式配置的下部錘342a、342a相連接，借助這些下部錘342a、342a彈性支承底座304。
[0208]使用圖29對(duì)具體的防振彈簧322的連接結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。該圖是圖24中的B — B剖視向視圖。
[0209]作為防振彈簧322，可以使用一般形態(tài)的構(gòu)件，在此使用這樣的構(gòu)件:在中央具有圓筒狀的彈性部，并且隔著該彈性部地在兩側(cè)具有圓盤狀的板，螺栓部322a、322a突出到比該板靠兩側(cè)的位置。防振彈簧322使其單側(cè)端面抵接于固定臺(tái)321的上表面，使用螺母在形成于固定臺(tái)321的孔部321a中固定螺栓部322a。并且，在相反側(cè)端面貫穿形成于底座304的孔部304b的狀態(tài)下，旋入螺栓部322a直到其抵接于下部錘342a的下表面。
[0210]這樣，防振彈簧322能夠?qū)⑴c下部錘342a相連接的底座304彈性支承在固定臺(tái)321上。在像上述那樣設(shè)為不使用固定臺(tái)321的結(jié)構(gòu)的情況下，只要設(shè)為使用在下端不具有螺栓部322a的防振彈簧322，直接將防振彈簧322配置在設(shè)置面上的結(jié)構(gòu)即可。
[0211]圖26表示自圖25的狀態(tài)的振動(dòng)裝置302進(jìn)一步去除周壁部342后的狀態(tài)。另外，原本，通過去除周壁部342，底座304喪失支承而無法保持在與固定臺(tái)321之間分開的狀態(tài)，但在本圖中是以底座304彈性支承的通常的位置關(guān)系記載的。
[0212]下面，使用該圖詳細(xì)說明本實(shí)施方式的振動(dòng)裝置302的結(jié)構(gòu)。
[0213]該振動(dòng)裝置302構(gòu)成為，將可動(dòng)臺(tái)座361在X、Y、Z這三個(gè)方向上彈性支承在后述的底座304上，將作為剛性體部分的底座304、第I中間臺(tái)351、351、第2中間臺(tái)352及可動(dòng)臺(tái)座361依次連接起來，設(shè)置作為第I水平彈性支承部件的第I板狀彈簧構(gòu)件371、371、作為第2水平彈性支承部件的第2板狀彈簧構(gòu)件372、372、以及作為垂直彈性支承部件的第3板狀彈簧構(gòu)件373、373，上述的底座304使用上述防振彈簧322彈性支承在能夠基本視為與設(shè)置面同等對(duì)待的固定臺(tái)321上。由于各板狀彈簧構(gòu)件371?373分別以其板厚方向成為X、Y、Z方向的方式配置，因此易于在該方向上進(jìn)行彈性變形。
[0214]還包括用于使可動(dòng)臺(tái)座361在X、Y、Z這三個(gè)方向上振動(dòng)的作為第I水平起振部件的第I壓電元件381?381、作為第2水平起振部件的第2壓電元件382?382、作為垂直起振部件的第3壓電元件383?383。
[0215]下面，對(duì)這些結(jié)構(gòu)進(jìn)行更詳細(xì)地說明。
[0216]首先，固定臺(tái)321和底座304分別形成為矩形形狀的板，像上述那樣，底座304利用設(shè)置在四角的防振彈簧322?322彈性支承在固定臺(tái)321上。該防振彈簧322?322使用具有在各方向上設(shè)置的上述板狀彈簧構(gòu)件371?373的約I / 10左右的彈簧常數(shù)的、表示較弱的彈簧特性的構(gòu)件，抑制振動(dòng)從底座304傳播到設(shè)置面，并且降低來自設(shè)置面的反作用力而使底座304的姿態(tài)穩(wěn)定。此外，相對(duì)于可動(dòng)臺(tái)306在與底座304相反的相位振動(dòng)的形態(tài)下的X、Y、Z各方向上的共振頻率，將底座304上的裝置整體作為一體相對(duì)于固定臺(tái)321振動(dòng)的形態(tài)的Z方向上的共振頻率限定在I / 10以下，也能夠在使可動(dòng)臺(tái)306產(chǎn)生振動(dòng)時(shí)謀求底座304的穩(wěn)定化。
[0217]而且，在底座304上，在比防振橡膠322?322稍靠中心的位置的四處以配置成矩形形狀的方式固定有安裝塊341。安裝塊341分別形成為具有L字型形的截面的塊，其將形成L字的一個(gè)邊設(shè)為抵接于底座304的狀態(tài),另一個(gè)邊成為立起的狀態(tài)。而且，立起的邊形成與X方向正交的YZ平面。而且，以連接于在Y方向上成對(duì)地鄰接的安裝塊341、341的方式設(shè)有第I板狀彈簧構(gòu)件371、371。由于該第I板狀彈簧構(gòu)件371、371安裝在上述各個(gè)安裝塊341?341所具有的YZ平面上，因此，其板厚方向成為X方向，其長度方向成為Y方向。
[0218]此外，由于第I板狀彈簧構(gòu)件371、371分別設(shè)置在兩對(duì)安裝塊341?341上，因此以在X方向上分開預(yù)定距離的狀態(tài)平行地設(shè)有兩個(gè)。
[0219]此外，第I板狀彈簧構(gòu)件371、371的兩端部被夾在矩形形狀的彈簧壓緊件371d?371d和上述各安裝塊341?341所具有的YZ平面之間，并利用螺栓固定，因此以被限制了撓曲角的方式支承。
[0220]而且，在第I板狀彈簧構(gòu)件371、371的長度方向中心附近借助彈簧座371c分別連接有第I中間臺(tái)351、351。第I中間臺(tái)351分別形成為沿著Y方向延伸的長方體形狀。并且，以與各彈簧座371c、371c相對(duì)的方式分別設(shè)有彈簧壓緊件371e、371e。第I板狀彈簧構(gòu)件371、371分別被相對(duì)的彈簧座371c、371c和彈簧壓緊件371e、371e夾持而被限制了撓曲角，并通過在這些部分螺栓固定而連接于上述第I中間臺(tái)351、351。第I中間臺(tái)351、351如圖27的俯視圖所示成為被分割成兩個(gè)的結(jié)構(gòu)，但由于利用后述的第2板狀彈簧構(gòu)件372、372相連接，因此一體化地進(jìn)行動(dòng)作。
[0221]返回到圖26，上述第I中間臺(tái)351、351像上述那樣形成為長方體形狀，其以六個(gè)面分別成為與X、Y、Z軸的各面正交的朝向的方式配置。而且，通過將與各自所具有的Y軸正交的XZ面之間連接起來而設(shè)有兩個(gè)第2板狀彈簧構(gòu)件372、372。
[0222]通過這樣安裝，兩個(gè)第2板狀彈簧構(gòu)件372、372各自的板厚方向與Y軸正交，而且長度方向朝向X方向，并且以在Y方向上彼此分開預(yù)定距離的方式平行地配置。
[0223]第2板狀彈簧構(gòu)件372、372的兩端部夾持在矩形形狀的彈簧壓緊件372d?372d和上述第I中間臺(tái)351、351所具有的XZ平面之間，并在該部分通過螺栓固定而固定，因此以被限制了撓曲角的方式支承。
[0224]在第2板狀彈簧構(gòu)件372、372的長度方向中心附近借助彈簧座372c、372c連接有第2中間臺(tái)352。并且，以與各彈簧座372c、372c相對(duì)的方式設(shè)有彈簧壓緊件372e、372e。第2板狀彈簧構(gòu)件372、372分別被相對(duì)的彈簧座372c、372c和彈簧壓緊件372e?372e夾持而被限制了撓曲角，并通過在這些部分螺栓固定而連接于上述第2中間臺(tái)352。
[0225]如圖27的俯視圖所示，第2中間臺(tái)352構(gòu)成為矩形的框體，并通過將具有與X、Y、Z方向正交的六個(gè)面的4個(gè)長方體的塊組合起來而形成。
[0226]像上述那樣，第I板狀彈簧構(gòu)件371、371和第2板狀彈簧構(gòu)件372、372通過改變彈簧座371c?371c和彈簧壓緊件371e?371e的大小而能夠使有效長度變化、或者使用厚度、寬度不同的構(gòu)件，從而能夠使彈簧常數(shù)變化，并且也能夠使固有振動(dòng)頻率變化。
[0227]在此，圖28表示圖24中的A — A截面向視圖，加上圖26并輔助地使用圖28繼續(xù)進(jìn)行說明。
[0228]在構(gòu)成為矩形框體的第2中間臺(tái)352的上表面和下表面分別設(shè)有各兩個(gè)、共計(jì)四個(gè)第3板狀彈簧構(gòu)件373?373。第3板狀彈簧構(gòu)件373?373分別以將形成為存在于如下兩個(gè)邊的位置的部分的上表面和下表面的各XY平面之間在X方向上連接起來的方式設(shè)置:該兩個(gè)邊是構(gòu)成形成第2中間臺(tái)352的矩形的邊中的、與Y方向平行的兩個(gè)邊。第3板狀彈簧構(gòu)件373?373的兩端部夾持在矩形形狀的彈簧壓緊件373c?373c和上述第2中間臺(tái)352所具有的XY平面之間，通過螺栓固定而固定，因此在該部分以被限制了撓曲角的方式支承。
[0229]此外，在連接于第2中間臺(tái)352的上表面的第3板狀彈簧構(gòu)件373、373、及連接于第2中間臺(tái)352的下表面的第3板狀彈簧構(gòu)件373、373的中央部附近，為了維持兩者之間的間隔而設(shè)有彈簧間塊373d。
[0230]并且，在上述彈簧間塊373d的下方，隔著連接于第2中間臺(tái)352的下表面的第3板狀彈簧構(gòu)件373、373設(shè)有彈簧壓緊件373e。彈簧壓緊件373e能夠設(shè)為在其與第2中間臺(tái)352的下表面之間夾持兩個(gè)第3板狀彈簧構(gòu)件373、373的狀態(tài)并利用未圖示的螺栓進(jìn)行固定。
[0231]此外，在上述彈簧間塊373d的上方，隔著連接于第2中間臺(tái)352的上表面的第3板狀彈簧構(gòu)件373、373設(shè)有上述可動(dòng)臺(tái)座361?？蓜?dòng)臺(tái)座361能夠設(shè)為在其與第2中間臺(tái)352的上表面之間夾持兩個(gè)第3板狀彈簧構(gòu)件373、373的狀態(tài)并利用螺栓進(jìn)行固定。在可動(dòng)臺(tái)座361的上表面安裝形成為矩形板狀的可動(dòng)板362，在其上表面螺紋固定有載置臺(tái)363和框構(gòu)件364。該載置臺(tái)363的上表面成為用于載置物品的載置面363a。這些載置臺(tái)363、框構(gòu)件364、可動(dòng)板362與可動(dòng)臺(tái)座361 —同構(gòu)成上述可動(dòng)臺(tái)306 (參照?qǐng)D24)。
[0232]并且，以向彈簧壓緊件373e的左右突出的方式設(shè)有形成為塊狀的配重(counterweight)373f、373f，取得與可動(dòng)臺(tái)306的平衡，利用第3板狀彈簧構(gòu)件373、373支承的可動(dòng)臺(tái)306側(cè)整體的重心位置在水平方向和垂直方向上處于與第3板狀彈簧構(gòu)件373、373之間的中心大致相同的位置。下面，將該重心位置稱作“可動(dòng)臺(tái)306的重心位置”。
[0233]如此，通過使“可動(dòng)臺(tái)306的重心位置”位于第3板狀彈簧構(gòu)件373、373之間的水平方向和垂直方向上的中心，即使在使可動(dòng)臺(tái)306產(chǎn)生了 X方向、Y方向上的振動(dòng)的情況下，也能夠抑制由慣性力的影響導(dǎo)致可動(dòng)臺(tái)306傾斜、即所謂的擺動(dòng)現(xiàn)象。
[0234]像上述那樣，在圖26中示出的本實(shí)施方式的振動(dòng)裝置302中設(shè)為這樣的結(jié)構(gòu):第I中間臺(tái)351、351利用第I板狀彈簧構(gòu)件371、371在X方向上彈性支承在底座304上，第2中間臺(tái)352利用第2板狀彈簧構(gòu)件372?372在Y方向上彈性支承在第I中間臺(tái)351、351上，可動(dòng)臺(tái)座361利用第3板狀彈簧構(gòu)件373?373在Z方向上彈性支承在第2中間臺(tái)352上。通過設(shè)為這樣的結(jié)構(gòu)，可動(dòng)臺(tái)306在X、Y、Z的各方向上彈性支承在底座304上。
[0235]各板狀彈簧構(gòu)件371?373分別在成為板厚方向的X、Y、Z方向上具有彈性，并且在與該板厚方向正交的寬度方向、長度方向上具有充分的剛性。因此，可以認(rèn)為各方向上的支承是獨(dú)立的。
[0236]此外，通過在各方向上分別平行地設(shè)置第I?第3板狀彈簧構(gòu)件371?373并將其成對(duì)地支承，如同構(gòu)成平行連桿的一部分那樣。由此，各板狀彈簧構(gòu)件371?373不會(huì)進(jìn)行扭轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，能夠以保持成對(duì)且在相互之間使間隙恒定的關(guān)系的方式移位。
[0237]此外，在本實(shí)施方式的振動(dòng)裝置302中，如圖23和圖24所示，通過在底座304上設(shè)置具有作為重心調(diào)整構(gòu)件的功能的周壁部342，以能夠調(diào)整底座304和周壁部342以及固定在這些底座304和周壁部342上的構(gòu)件的重心位置的方式構(gòu)成。以下，將該重心位置稱作“底座304的重心位置”。由于底座304如圖28所示那樣在中央部設(shè)置開口部304a而輕型化，因此，通過設(shè)置周壁部342，能夠容易地將底座304的重心位置調(diào)整到較高的位置。通過這樣做，將底座304的重心位置設(shè)定于在水平方向和垂直方向上與上述可動(dòng)臺(tái)306的重心位置大致相同的位置。
[0238]由于周壁部342成為通過將四個(gè)塊構(gòu)成的下部錘342a?342b、及同樣由四個(gè)塊構(gòu)成的上部錘342c?342d上下連接而成的結(jié)構(gòu)，因此能夠細(xì)微地調(diào)整水平方向和上下方向上的重心位置。特別是，由于上部錘342c?342d暴露到外部，因此能夠容易地進(jìn)行更換，對(duì)于在與檢查機(jī)等附加地連接的設(shè)備之間調(diào)整平衡、調(diào)整與進(jìn)行輸送的物品的重量的平衡等裝置條件、使用條件等各種各樣的條件改變也能夠立即應(yīng)對(duì)。
[0239]此外，通過對(duì)底座304設(shè)置作為周壁部342的錘，底座304具有可動(dòng)臺(tái)306的質(zhì)量的約10倍的質(zhì)量。通過這樣做，即使在X、Y、Z的各方向上對(duì)可動(dòng)臺(tái)306施加了起振力的情況下，也能夠減小因其反作用力而在底座304中產(chǎn)生的振動(dòng)移位。因此，在動(dòng)作時(shí)也能夠使底座304的位置穩(wěn)定，使可動(dòng)臺(tái)306以更高的精度振動(dòng)。
[0240]此外，在從保護(hù)驅(qū)動(dòng)部325這樣的觀點(diǎn)看的情況下，優(yōu)選的是將周壁部342構(gòu)成為從外部至少覆蓋作為彈性支承部件的板狀彈簧構(gòu)件371?373、及設(shè)置在該板狀彈簧構(gòu)件371?373上的壓電元件381?383。[0241]對(duì)于像上述那樣定義的“底座304的重心位置”，將位于從第I板狀彈簧構(gòu)件371?371到第2板狀彈簧構(gòu)件372?372之間的剛性體部分稱作“第I中間臺(tái)351的重心位置”，將位于從第2板狀彈簧構(gòu)件372?372到第3板狀彈簧構(gòu)件373?373之間的剛性體部分稱作“第2中間臺(tái)352的重心位置”。第I板狀彈簧構(gòu)件371?371和第2板狀彈簧構(gòu)件372?372分別在Z方向上設(shè)置在大致相同的安裝位置，并且以上述可動(dòng)臺(tái)306為中心地均等地配置。因此,構(gòu)成為“第I中間臺(tái)351的重心位置”和“第2中間臺(tái)352的重心位置”均在水平方向和垂直方向與上述“可動(dòng)臺(tái)306的重心位置”和“底座430的重心位置”大致相同。另外，在將板狀彈簧構(gòu)件371?373在Z方向上分割而設(shè)置的情況下，將它們的中心位置考慮為上述安裝位置就足矣。
[0242]換一個(gè)角度說明上述重心位置的關(guān)系，在將使用防振彈簧322?322彈性支承的裝置整體的質(zhì)量設(shè)想為從底座304側(cè)起通過第I板狀彈簧構(gòu)件371?371和第2板狀彈簧構(gòu)件372?372依次連接的第I質(zhì)量體、第2質(zhì)量體及第3質(zhì)量體時(shí)，這些質(zhì)量體處于各自的重心位置在水平方向和垂直方向上相互間大致相同的關(guān)系。
[0243]由于這樣構(gòu)成，因此，在作為借助第I板狀彈簧構(gòu)件371?371在X方向上彈性連接的底座304側(cè)的質(zhì)量體(第I質(zhì)量體)和第I中間臺(tái)351側(cè)的質(zhì)量體(第2質(zhì)量體+第3質(zhì)量體)這兩個(gè)質(zhì)量體來考慮的情況下，這兩個(gè)質(zhì)量體的重心位置在水平方向和垂直方向上均大致相同。因此，在第I中間臺(tái)351側(cè)的部分成為一體而在X方向上產(chǎn)生了振動(dòng)時(shí)，在兩者的質(zhì)量體之間不會(huì)產(chǎn)生轉(zhuǎn)動(dòng)力矩，因此，不會(huì)在底座304側(cè)產(chǎn)生傾斜，姿態(tài)穩(wěn)定，結(jié)果能夠?qū)崿F(xiàn)可動(dòng)臺(tái)306的動(dòng)作穩(wěn)定化。
[0244]此外，在將裝置整體作為借助第2板狀彈簧構(gòu)件371?371在Y方向上彈性連接的第I中間臺(tái)351側(cè)的質(zhì)量體(第I質(zhì)量體+第2質(zhì)量體)和第2中間臺(tái)352側(cè)的質(zhì)量體(第3質(zhì)量體)這兩者的質(zhì)量體來考慮的情況下，這兩個(gè)質(zhì)量體的重心位置在水平方向和垂直方向上均大致相同。因此，在Y方向上也能夠獲得與上述同樣的效果。
[0245]在圖26中示出的本實(shí)施方式的振動(dòng)裝置302中，在X、Y、Z方向上具有獨(dú)立的起振部件381?383。
[0246]首先，作為X方向上的起振部件的第I水平起振部件由在兩個(gè)第I板狀彈簧構(gòu)件371,371的兩端附近的表背面各分別貼設(shè)有兩個(gè)、合計(jì)八個(gè)第I壓電元件381?381構(gòu)成。該第I壓電元件381?381能夠通過被施加電壓而在Y方向上產(chǎn)生伸展或者收縮，通過使第I板狀彈簧構(gòu)件371、371產(chǎn)生彎曲而產(chǎn)生X方向上的移位。
[0247]第I板狀彈簧構(gòu)件371在從利用端部的彈簧壓緊件371d定位的底座側(cè)連接點(diǎn)371a到利用中央的彈簧座371c和彈簧壓緊件371e定位的第I中間臺(tái)側(cè)連接點(diǎn)371b之間的中央具有彎曲的方向發(fā)生變化的彎曲點(diǎn)，因此，將第I壓電元件381?381粘貼至該部分的方式反而會(huì)阻礙變形而降低效率。因此，第I壓電元件381?381避開彈簧有效長度的中央而靠近任一個(gè)端部地設(shè)置的方式較為高效。
[0248]第I壓電元件381?381分別設(shè)置在距端部相同程度的位置，并且能夠通過調(diào)整輸出而產(chǎn)生相同的變形。通過這樣做，能夠以保持著在X方向上分開的第I板狀彈簧構(gòu)件371、371之間的間隔的方式使該第I板狀彈簧構(gòu)件371、371同樣地變形，能夠使第I中間臺(tái)351、351保持著水平狀態(tài)地僅沿X方向移位。
[0249]接著，與上述第I水平起振部件同樣，作為Y方向上的起振部件的第2水平起振部件由在兩個(gè)第2板狀彈簧構(gòu)件372、372的兩端附近的表背面各分別貼設(shè)有兩個(gè)、合計(jì)八個(gè)第2壓電元件382?382構(gòu)成。該第2壓電元件382?382能夠通過被施加電壓而在X方向上產(chǎn)生伸展或者收縮，通過使第2板狀彈簧構(gòu)件372、372產(chǎn)生彎曲而產(chǎn)生Y方向上的移位。第2壓電元件382?382也安裝在與第I壓電元件381?381同樣的位置，通過這樣做，能夠以保持著在Y方向上分開的第2板狀彈簧構(gòu)件372、372之間的間隔的方式使該第2板狀彈簧構(gòu)件372、372同樣地變形，能夠使第2中間臺(tái)352保持著水平狀態(tài)地僅沿Y方向移位。
[0250]并且，作為Z方向上的起振部件的垂直起振部件由在上下各設(shè)有兩個(gè)的板狀彈簧構(gòu)件373?373中的、上側(cè)的兩個(gè)板狀彈簧構(gòu)件373、373的兩端附近的表背面各分別貼設(shè)有兩個(gè)、合計(jì)八個(gè)第3壓電元件383?383構(gòu)成。該第3壓電元件383?383能夠通過被施加電壓而在X方向上產(chǎn)生伸展或者收縮，通過使第3板狀彈簧構(gòu)件373、373產(chǎn)生彎曲而產(chǎn)生Z方向上的移位。第3壓電元件383?383也安裝在與第I壓電元件381?381和第2壓電元件382?382同樣的位置，通過這樣做，能夠以保持著在Z方向上分開的第3板狀彈簧構(gòu)件373、373之間的間隔的方式使該第3板狀彈簧構(gòu)件373、373同樣地變形，能夠使可動(dòng)臺(tái)座361保持著水平狀態(tài)地僅沿Z方向移位。另外，也可以將第3壓電元件383?383設(shè)置在設(shè)于下側(cè)的兩個(gè)第3板狀彈簧構(gòu)件373、373上，也可以將該第3壓電元件383?383設(shè)置在上側(cè)和下側(cè)的共計(jì)4個(gè)第3板狀彈簧構(gòu)件373?373上。
[0251]像上述那樣，通過使能夠在X、Y、Z的各方向上施加移位的電壓分別呈正弦波狀變化，能夠在各方向上對(duì)可動(dòng)臺(tái)座361施加周期性的起振力。
[0252]與上述第I實(shí)施方式同樣，如圖22所示，對(duì)于像上述那樣構(gòu)成的振動(dòng)裝置302構(gòu)成有控制系統(tǒng)部3，通過對(duì)第I壓電元件381、第2壓電元件382及第3壓電元件383分別施加正弦波狀的控制電壓，使該振動(dòng)裝置302產(chǎn)生用于產(chǎn)生X、Y、Z的各方向上的振動(dòng)的周期性的起振力。
[0253]與在第I實(shí)施方式中說明的構(gòu)造相同，控制系統(tǒng)部3能夠同樣地控制振動(dòng)裝置302，并與振動(dòng)裝置302相結(jié)合地構(gòu)成作為物品移動(dòng)裝置之一的物品輸送裝置301。
[0254]與第I實(shí)施方式的物品輸送裝置I (參照?qǐng)D1)同樣，即使是像這樣構(gòu)成的物品輸送裝置301，也能夠?qū)d置在可動(dòng)臺(tái)306 (參照?qǐng)D23)上的物品9進(jìn)行輸送、區(qū)分。
[0255]具體地講，與第I實(shí)施方式的情況同樣，即使是本實(shí)施方式的振動(dòng)裝置302，也能夠如圖10示意地表示，并且能夠獲得圖11?圖13所示的特性。而且，利用這樣的特性，能夠像作為第I實(shí)施方式使用圖14的(a)?圖14的(f)說明的那樣在可動(dòng)臺(tái)6 (306)上對(duì)物品9進(jìn)行輸送、區(qū)分。
[0256]通過像上述那樣利用本實(shí)施方式的振動(dòng)裝置302構(gòu)成作為物品移動(dòng)裝置的物品輸送裝置301，能夠?qū)⑽锲?在任意方向上輸送。并且，本實(shí)施方式的振動(dòng)裝置302為了像上述那樣構(gòu)成第I?第3質(zhì)量體的重心位置關(guān)系，因此，借助第I板狀彈簧構(gòu)件371?371在X方向上彈性連接的部分的重心位置以在水平方向和垂直方向上大致相同的方式構(gòu)成，而且借助第2板狀彈簧構(gòu)件372?372以在Y方向上彈性連接的部分的重心位置在水平方向和垂直方向上大致相同的方式構(gòu)成，能夠在X方向和Y方向上振動(dòng)時(shí)抑制在底座304側(cè)和可動(dòng)臺(tái)306側(cè)之間產(chǎn)生轉(zhuǎn)動(dòng)力矩。通過這樣做，底座304雖然利用防振彈簧322?322彈性支承在固定臺(tái)321上，但是不會(huì)產(chǎn)生傾斜，能夠穩(wěn)定地保持姿態(tài)。因此，能夠使支承在底座304上的可動(dòng)臺(tái)306側(cè)穩(wěn)定地產(chǎn)生振動(dòng)，能夠以更高的精度輸送物品9。此外，通過底座304的姿態(tài)穩(wěn)定，不需要的振動(dòng)不會(huì)傳遞到固定臺(tái)321和設(shè)置面，能夠抑制振動(dòng)傳遞和噪音產(chǎn)生而有助于提高作業(yè)環(huán)境。
[0257]并且，由于第I板狀彈簧構(gòu)件371?371和第2板狀彈簧構(gòu)件372?372以在垂直方向上與第I?第3質(zhì)量體的重心位置大致相同的方式設(shè)置，因此，利用第I壓電元件381?381和第2壓電元件382?382產(chǎn)生的X方向和Y方向上的起振力將會(huì)作用在重心方向上。因此，能夠使上述第I?第3質(zhì)量體的姿態(tài)穩(wěn)定而進(jìn)一步使可動(dòng)臺(tái)306的動(dòng)作穩(wěn)定化。
[0258]此外，在本實(shí)施方式的振動(dòng)裝置302中，構(gòu)成為在構(gòu)成上述第3質(zhì)量體的一部分的可動(dòng)臺(tái)306上設(shè)置配重373f、373f而使可動(dòng)臺(tái)306的重心位置與第3板狀彈簧構(gòu)件373?373之間的中心大致相同。因此，在于X、Y方向上產(chǎn)生了振動(dòng)時(shí)，不會(huì)由慣性力的作用導(dǎo)致可動(dòng)臺(tái)306產(chǎn)生傾斜、即所謂的擺動(dòng)，能夠使可動(dòng)臺(tái)306更加穩(wěn)定地振動(dòng)，能夠進(jìn)行精度更高的動(dòng)作。
[0259]并且，底座304通過設(shè)有周壁部342能夠謀求保護(hù)驅(qū)動(dòng)部325，并且，能夠通過底座304側(cè)的質(zhì)量增加來減小由起振力的反作用力引起的底座304的移位，因此能夠進(jìn)一步提高可動(dòng)臺(tái)306的動(dòng)作穩(wěn)定性。
[0260]像以上那樣，本實(shí)施方式的振動(dòng)裝置302包括借助防振彈簧322支承在接地面上的底座304、彈性支承在該底座304上的可動(dòng)臺(tái)306、用于使該可動(dòng)臺(tái)306在X方向上振動(dòng)的第I壓電元件381?381、用于使上述可動(dòng)臺(tái)306在Y方向上振動(dòng)的第2壓電元件382?382、以及用于使上述可動(dòng)臺(tái)306在Z方向上振動(dòng)的第3壓電元件383?383，其中，在上述底座304和上述可動(dòng)臺(tái)306之間包括第I中間臺(tái)351、351和第2中間臺(tái)352，并且具備將上述底座304、上述第I中間臺(tái)351、351、上述第2中間臺(tái)352及上述可動(dòng)臺(tái)306依次在X方向、Y方向及Z方向上彈性連接的多個(gè)第I板狀彈簧構(gòu)件371?371、多個(gè)第2板狀彈簧構(gòu)件372?372及多個(gè)第3板狀彈簧構(gòu)件373?373，構(gòu)成為在將裝置整體設(shè)想為以上述第I板狀彈簧構(gòu)件371?371和第2板狀彈簧構(gòu)件372?372為交界的第I質(zhì)量體、第2質(zhì)量體及第3質(zhì)量體時(shí)，該第I質(zhì)量體、第2質(zhì)量體及第3質(zhì)量體質(zhì)量體彼此的重心位置在垂直方向和水平方向上大致相同。
[0261]由于這樣構(gòu)成，因此，能夠在XY的水平兩個(gè)方向和垂直方向(Z方向)這三個(gè)方向上起振而使可動(dòng)臺(tái)306產(chǎn)生三維的振動(dòng)，并且，即使設(shè)為在底座304的下方設(shè)置防振彈簧322?322的結(jié)構(gòu)，也能夠在水平方向上產(chǎn)生了起振力時(shí)抑制產(chǎn)生轉(zhuǎn)動(dòng)力矩而使底座304的姿態(tài)穩(wěn)定，使可動(dòng)臺(tái)306正確地產(chǎn)生振動(dòng)。此外，在不向設(shè)置面?zhèn)鞑フ駝?dòng)的情況下，也能夠抑制向周邊傳遞振動(dòng)、產(chǎn)生噪音而謀求改善作業(yè)環(huán)境。
[0262]并且，由于構(gòu)成為上述各質(zhì)量體的重心位置和各板狀彈簧構(gòu)件371?373的安裝位置在垂直方向上大致相同，因此，能夠在水平兩個(gè)方向上使可動(dòng)臺(tái)306的姿態(tài)更加穩(wěn)定地產(chǎn)生振動(dòng)。
[0263]此外，由于上述多個(gè)第3板狀彈簧構(gòu)件373?373設(shè)置為以上述各質(zhì)量體的重心位置為中心地相對(duì)于各起振方向?qū)ΨQ，并且構(gòu)成為在隔著這些第3板狀彈簧構(gòu)件373?373地對(duì)稱的位置設(shè)有相對(duì)于上述可動(dòng)臺(tái)306的配重373f、373f，因此，也能夠抑制動(dòng)作時(shí)可動(dòng)臺(tái)306的擺動(dòng)等預(yù)料之外的振動(dòng)。[0264]并且，由于設(shè)有自上述底座304的外周緣附近立起的周壁部342，上述周壁部342構(gòu)成為包圍板狀彈簧構(gòu)件371?373及壓電元件381?383，并且構(gòu)成為用于調(diào)整底座304的重心位置的重心調(diào)整構(gòu)件，因此，能夠提高底座304的重心位置而易于使每個(gè)上述質(zhì)量體的重心位置重合，并且作為用于保護(hù)驅(qū)動(dòng)部325的罩發(fā)揮功能。
[0265]并且，作為本實(shí)施方式的物品移動(dòng)裝置的物品輸送裝置301構(gòu)成為，包括像上述那樣構(gòu)成的振動(dòng)裝置302、振動(dòng)控制部件31、以及用于切換利用各起振部件產(chǎn)生的周期性的起振力的振幅和相位差的振動(dòng)切換部件32，上述振動(dòng)控制部件31用于控制該振動(dòng)裝置302所具有的多個(gè)作為起振部件的壓電元件381?383，以便使上述多個(gè)壓電元件381?383以相同的頻率同時(shí)產(chǎn)生周期性的起振力并使該起振力具有相位差，使上述可動(dòng)臺(tái)306產(chǎn)生三維的橢圓振動(dòng)軌跡。由于這樣做，因此，能夠有效地構(gòu)成為一種能夠在任意的方向上輸送可動(dòng)臺(tái)306上的物品9、且控制性優(yōu)異的物品輸送裝置301。
[0266]〈第5實(shí)施方式>
[0267]如圖30所示，第5實(shí)施方式利用與第4實(shí)施方式的情況相同的振動(dòng)裝置302構(gòu)成作為物品移動(dòng)裝置之一的物品區(qū)分裝置401。對(duì)與第4實(shí)施方式的情況相同的部分標(biāo)注相同的附圖標(biāo)記并省略說明。
[0268]在該實(shí)施方式中，與第4實(shí)施方式的情況同樣，作為振動(dòng)裝置302的結(jié)構(gòu)只是用于控制該振動(dòng)裝置302的控制系統(tǒng)部103不同?？刂葡到y(tǒng)部103使用與作為第2實(shí)施方式圖15中示出的情況相同的部件。
[0269]因此，能夠產(chǎn)生與在第2實(shí)施方式中使用圖16?圖20說明的情況相同的作用，與此同樣適當(dāng)?shù)貐^(qū)分物品9。
[0270]像以上那樣，在本實(shí)施方式中，由于使用與在第4實(shí)施方式中說明的振動(dòng)裝置302相同的裝置，因此能夠獲得與在上述第4實(shí)施方式中說明的振動(dòng)裝置302相同的效果。
[0271]除此之外，作為本實(shí)施方式的物品移動(dòng)裝置的物品區(qū)分裝置401構(gòu)成為包括上述振動(dòng)裝置302、及振動(dòng)控制部件31，該振動(dòng)控制部件31用于控制該振動(dòng)裝置302所具有的多個(gè)作為起振部件的壓電元件381?383，以便使上述多個(gè)壓電元件381?383以相同的頻率同時(shí)產(chǎn)生周期性的起振力并使該起振力具有相位差,使上述可動(dòng)臺(tái)306產(chǎn)生三維的橢圓振動(dòng)軌跡，分別以預(yù)定的基準(zhǔn)摩擦系數(shù)為交界地根據(jù)各個(gè)物品所具有的摩擦系數(shù)相對(duì)于上述基準(zhǔn)摩擦系數(shù)的大小關(guān)系設(shè)定利用作為水平起振部件的壓電元件381、382產(chǎn)生的周期性的起振力和利用作為垂直起振部件的壓電元件383產(chǎn)生的周期性的起振力的相位差，使得各物品向不同的方向移動(dòng)，同時(shí)區(qū)分載置在上述可動(dòng)臺(tái)306上的多個(gè)物品9。
[0272]通過這樣做，能夠有效地構(gòu)成一種能夠根據(jù)摩擦系數(shù)區(qū)分可動(dòng)臺(tái)306上的多個(gè)物品9、且控制性優(yōu)異的物品區(qū)分裝置401。
[0273]〈第6實(shí)施方式>
[0274]如圖31所示，第6實(shí)施方式構(gòu)成為與第I?第5實(shí)施方式的情況不同的振動(dòng)裝置502。對(duì)與第I?第5實(shí)施方式的情況相同的部分標(biāo)注相同的附圖標(biāo)記并省略說明。
[0275]像后述那樣，該振動(dòng)裝置502通過對(duì)可動(dòng)臺(tái)506施加X方向和Z方向上的起振力，能夠在XZ平面內(nèi)產(chǎn)生任意的橢圓振動(dòng)軌跡，通過增加與第I實(shí)施方式和第4實(shí)施方式同樣的控制系統(tǒng)部3 (參照?qǐng)D1和圖22)，能夠?qū)ㄔ摽刂葡到y(tǒng)部3的物品移動(dòng)裝置501構(gòu)成為用于在X的正反方向上輸送物品的物品輸送裝置。并且，通過增加與第2實(shí)施方式和第5實(shí)施方式同樣的控制系統(tǒng)部103(參照?qǐng)D15和圖30)，也能夠?qū)ㄔ摽刂葡到y(tǒng)部103的物品移動(dòng)裝置501構(gòu)成為用于在X的正反方向上區(qū)分物品的物品區(qū)分裝置。
[0276]關(guān)于在本實(shí)施方式中使用的控制系統(tǒng)部的詳細(xì)結(jié)構(gòu)說明雖被省略，但僅設(shè)為自圖1或圖22中的控制系統(tǒng)部3、或者圖15或圖30中的控制系統(tǒng)部103省略了用于控制Y方向上的起振力的相位調(diào)整電路31b、振幅調(diào)整電路31a及放大器35而成的結(jié)構(gòu)就足矣。
[0277]如圖31和圖33所示，本實(shí)施方式的振動(dòng)裝置502中，底座504借助防振彈簧322?322彈性地支承在形成為矩形板狀的固定臺(tái)521的上部。在底座504上，像后述那樣可動(dòng)臺(tái)506在X方向和Z方向上彈性支承，并且周壁部542以覆蓋這些支承部的方式沿著底座504的外周緣設(shè)置。周壁部542通過將由四個(gè)塊構(gòu)成的下部錘542a?542b構(gòu)成為矩形形狀的框體，在其上部設(shè)置由兩個(gè)塊構(gòu)成的上部錘542c、542c而構(gòu)成。
[0278]在可動(dòng)臺(tái)506的上部設(shè)有沿著X方向延伸的載置臺(tái)563，構(gòu)成為該載置臺(tái)563的上表面能夠作為載置面563a載置物品9。而且，在寬度方向上隔著載置面563a地在Y的正反方向上分別設(shè)有臺(tái)階部563b、563b，限制載置在載置面563a上的物品9沿Y方向移動(dòng)。
[0279]圖32表示自圖31的狀態(tài)卸下載置臺(tái)563和周壁部542的一部分后的狀態(tài)。
[0280]以可動(dòng)臺(tái)506為中心的彈性支承部件和起振部件的基本結(jié)構(gòu)與圖26中示出的第4實(shí)施方式的振動(dòng)裝置302大致相同，稱得上是自該振動(dòng)裝置302去除Y方向上的第2板狀彈簧構(gòu)件372、372及第2壓電元件382?382，將第3板狀彈簧構(gòu)件373、373直接支承在第I中間臺(tái)351、351上的結(jié)構(gòu)。
[0281]使用圖32簡單地說明，首先，在底座504上借助以能夠在作為水平方向的X方向上彈性移位的方式構(gòu)成的兩個(gè)第I板狀彈簧構(gòu)件571、571彈性支承有兩個(gè)中間臺(tái)551。并且，在中間臺(tái)551上借助以能夠在作為垂直方向的Z方向上彈性移位的方式構(gòu)成的四個(gè)第3板狀彈簧構(gòu)件573?573彈性支承有可動(dòng)臺(tái)座561。
[0282]在此，圖34表示圖33中的A — A剖視向視圖。根據(jù)該圖可知，第3板狀彈簧構(gòu)件573?573隔著彈簧間塊573d地在上下平行地配置，并且，在該彈簧間塊573d的上部隔著第3板狀彈簧構(gòu)件573地設(shè)有可動(dòng)臺(tái)座561，在該彈簧間塊573d的下部隔著第3板狀彈簧構(gòu)件573地設(shè)有彈簧座573e。
[0283]可動(dòng)臺(tái)座561通過在其上部設(shè)置載置臺(tái)563，與該載置臺(tái)563—體化而構(gòu)成可動(dòng)臺(tái)506。
[0284]此外，在彈簧座573e上設(shè)有配重573f、573f，構(gòu)成為取得與可動(dòng)臺(tái)506的平衡，借助第3板狀彈簧構(gòu)件573?573彈性連接的可動(dòng)臺(tái)506側(cè)整體的重心位置與第3板狀彈簧構(gòu)件573?573之間的中心位置在水平方向和垂直方向上成為大致相同的關(guān)系。
[0285]此外，第3板狀彈簧構(gòu)件573?573的中心位置也與該重心位置在垂直方向上相同。并且，中間臺(tái)551、551、第I板狀彈簧構(gòu)件571、571及第3板狀彈簧構(gòu)件573?573全部設(shè)置為以上述重心位置為中心地相對(duì)于X、Y、Z的各方向?qū)ΨQ。因此，利用第I板狀彈簧構(gòu)件571、571支承的中間臺(tái)551、551側(cè)的質(zhì)量整體的重心位置與第3板狀彈簧構(gòu)件573?573之間的中心在水平方向和垂直方向上成為大致相同的位置。
[0286]并且，通過在底座504上設(shè)置周壁部542，以能夠調(diào)整底座504側(cè)的重心位置的方式構(gòu)成。通過這樣做，底座504側(cè)的重心位置也與上述第3板狀彈簧構(gòu)件573?573之間的中心在水平方向和垂直方向上成為大致相同的位置。[0287]換一個(gè)角度說明上述這一點(diǎn)，在將裝置整體替換為由以第I板狀彈簧構(gòu)件571、571為交界的底座504側(cè)的質(zhì)量體和中間臺(tái)551側(cè)的質(zhì)量體構(gòu)成的兩個(gè)質(zhì)量體地考慮的情況下，可以說這些質(zhì)量體的重心位置成為在水平方向和垂直方向上處于大致相同的位置的關(guān)系。
[0288]此外，在該振動(dòng)裝置502中，在第I板狀彈簧構(gòu)件571、571及第3板狀彈簧構(gòu)件573?573中的、位于上方的彈簧構(gòu)件上分別設(shè)有壓電元件581、581、583、583，通過利用電壓控制該壓電元件，能夠在各方向上起振。
[0289]在將使用該振動(dòng)裝置502的物品移動(dòng)裝置501構(gòu)成為第I實(shí)施方式、第4實(shí)施方式那樣的物品輸送裝置的情況下，能夠?qū)⑷鐖D33所示載置在載置面563a上的物品9在X的正方向或者反方向的任意的方向上進(jìn)一步改變速度地進(jìn)行輸送。此外，在構(gòu)成為第2實(shí)施方式、第5實(shí)施方式那樣的物品區(qū)分裝置時(shí)，在物品9是摩擦系數(shù)不同的物品9a、9b的情況下，也能夠通過使一個(gè)物品向X的正方向移動(dòng)并使另一個(gè)物品向反方向移動(dòng)而將兩者區(qū)分開。
[0290]在進(jìn)行這樣的動(dòng)作的情況下，成為上述那樣的重心位置的關(guān)系，因此，能夠使底座504的姿態(tài)穩(wěn)定化而使可動(dòng)臺(tái)506高精度地產(chǎn)生振動(dòng)。此外，通過將配重573f、573f安裝在可動(dòng)臺(tái)506上而使其重心位置妥當(dāng)化，也能夠抑制可動(dòng)臺(tái)506的擺動(dòng)現(xiàn)象，精度進(jìn)一步上升。并且，通過在底座504上設(shè)置周壁部542，能夠謀求保護(hù)驅(qū)動(dòng)部525，并且能夠增大底座504的重量而減小由相對(duì)于起振力的反作用力引起的底座504的動(dòng)作，從而進(jìn)一步提高上述效果。
[0291]像以上那樣，本實(shí)施方式的振動(dòng)裝置502包括借助防振彈簧322?322支承在接地面上的底座521、彈性支承在該底座521上的可動(dòng)臺(tái)506、用于使該可動(dòng)臺(tái)506在水平方向上振動(dòng)的第I壓電兀件581?581、以及用于使上述可動(dòng)臺(tái)506在垂直方向上振動(dòng)的第3壓電元件583?583，其中，在上述底座521和上述可動(dòng)臺(tái)506之間包括中間臺(tái)551、551，并且包括將上述底座521、中間臺(tái)551及上述可動(dòng)臺(tái)506依次在水平方向和垂直方向上彈性連接的多個(gè)第I板狀彈簧構(gòu)件571、571及多個(gè)第3板狀彈簧構(gòu)件573?573，構(gòu)成為在將裝置整體設(shè)想為以第I板狀彈簧構(gòu)件571、571為交界的兩個(gè)質(zhì)量體時(shí)，這些質(zhì)量體的各重心位置在垂直方向和水平方向上大致相同。
[0292]由于這樣構(gòu)成，因此，能夠在水平方向和垂直方向上起振而使可動(dòng)臺(tái)506產(chǎn)生橢圓振動(dòng)軌跡，并且，即使設(shè)為在底座504的下方設(shè)置防振彈簧322?322的結(jié)構(gòu)，也能夠在水平方向上產(chǎn)生起振力之后抑制產(chǎn)生轉(zhuǎn)動(dòng)力矩而使底座504的姿態(tài)穩(wěn)定，使可動(dòng)臺(tái)506正確地產(chǎn)生振動(dòng)。此外，在不向設(shè)置面?zhèn)鞑フ駝?dòng)的情況下，也能夠抑制向周邊傳遞振動(dòng)、產(chǎn)生噪音而謀求改善作業(yè)環(huán)境。
[0293]〈第7實(shí)施方式>
[0294]如圖35所示，第7實(shí)施方式構(gòu)成為與第I?第6實(shí)施方式的情況不同的振動(dòng)裝置602。對(duì)與第I?第6實(shí)施方式的情況相同的部分標(biāo)注相同的附圖標(biāo)記并省略說明。
[0295]與第6實(shí)施方式的情況同樣，該振動(dòng)裝置602通過對(duì)可動(dòng)臺(tái)606施加X方向和Z方向上的起振力，能夠在XZ平面內(nèi)產(chǎn)生任意的橢圓振動(dòng)軌跡，與第6實(shí)施方式的振動(dòng)裝置502 (參照?qǐng)D31)的情況相比，其構(gòu)成為在高度方向(Z方向)上較大，在機(jī)寬度方向(Y方向)上較小。在該振動(dòng)裝置602中，也與第6實(shí)施方式的情況同樣，通過增加與第I實(shí)施方式和第4實(shí)施方式同樣的控制系統(tǒng)部3 (參照?qǐng)D1和圖22)，能夠?qū)ㄔ摽刂葡到y(tǒng)部3的物品移動(dòng)裝置601構(gòu)成為用于在X的正反方向上輸送物品的物品輸送裝置，通過增加第2實(shí)施方式和第5實(shí)施方式同樣的控制系統(tǒng)部103 (參照?qǐng)D15和圖30)，能夠?qū)ㄔ摽刂葡到y(tǒng)部103的物品移動(dòng)裝置601構(gòu)成為用于在X的正反方向上區(qū)分物品的物品區(qū)分裝置。
[0296]如圖35和圖37所示，本實(shí)施方式的振動(dòng)裝置602在沿著X方向延伸的形成為矩形板狀的固定臺(tái)621的上部借助防振彈簧322?322彈性支承有底座604。在底座604上，像后述那樣可動(dòng)臺(tái)606在X方向和Z方向上彈性支承，并且周壁部642以覆蓋這些支承部的方式沿著底座604的外周緣設(shè)置。周壁部642利用由四個(gè)塊構(gòu)成的下部錘642a?642b構(gòu)成為矩形形狀的框體。
[0297]在可動(dòng)臺(tái)606的上部設(shè)有沿著X方向延伸的載置臺(tái)663，構(gòu)成為該載置臺(tái)663的上表面能夠作為載置面663a載置物品9。而且，隔著載置面663a地在Y的正反方向上分別設(shè)有臺(tái)階部663b、663b，限制載置在載置面663a上的物品9沿Y方向移動(dòng)。
[0298]圖36表示自圖35的狀態(tài)卸下載置臺(tái)663和周壁部642的一部分后的狀態(tài)。
[0299]以可動(dòng)臺(tái)606為中心的彈性支承部件和起振部件的基本結(jié)構(gòu)與圖32中示出的第6實(shí)施方式的振動(dòng)裝置502大致相同，用于將可動(dòng)臺(tái)506側(cè)在X方向上彈性支承在底座504上的第I板狀彈簧構(gòu)件571、571的安裝方向和中間臺(tái)551、551的結(jié)構(gòu)不同。
[0300]使用圖36簡單地說明，首先，在底座604上，將一對(duì)第I板狀彈簧構(gòu)件671、671在X方向上分開且平行地配置，并以沿Z方向立起的方式安裝。而且，在這些第I板狀彈簧構(gòu)件671、671的上部連接構(gòu)成中間臺(tái)651的一部分的兩個(gè)塊651a、651a。這樣，這些塊651a、651a在X方向上彈性支承在底座604上。
[0301]并且，在這些塊651a、651a之間的整個(gè)范圍內(nèi)設(shè)置將法線方向朝向Z方向并上下相對(duì)地配置的一對(duì)第3板狀彈簧構(gòu)件671、671，通過將可動(dòng)臺(tái)座661支承在這些第3板狀彈簧構(gòu)件671、671上而將其在Z方向上彈性支承。在一對(duì)第3板狀彈簧構(gòu)件671、671的各端部之間設(shè)有塊65lb、651b，能夠保持第3板狀彈簧構(gòu)件671、671之間的平行。此外，為了能夠保持這些構(gòu)件的位置關(guān)系，作為加強(qiáng)構(gòu)件設(shè)有一對(duì)板651c、651c，設(shè)為被這些板651c、651c夾持的結(jié)構(gòu)。上述塊651a、651a、塊651b,651b及板651c,651c構(gòu)成作為剛性體的一個(gè)中間臺(tái)651，保持大致恒定的形狀。
[0302]在此，圖38表示圖37中的A — A剖視向視圖。根據(jù)該圖可知，第3板狀彈簧構(gòu)件673,673隔著彈簧間塊673d地在上下平行地配置，并且，在該彈簧間塊673d的上部隔著第3板狀彈簧構(gòu)件673地設(shè)有可動(dòng)臺(tái)座661，在該彈簧間塊673d的下部隔著第3板狀彈簧構(gòu)件673地設(shè)有彈簧座673e。
[0303]可動(dòng)臺(tái)座661通過在其上部設(shè)置載置臺(tái)663，從而與該載置臺(tái)663 —體化而構(gòu)成可動(dòng)臺(tái)606。
[0304]此外，在彈簧座673e上設(shè)有配重673f，構(gòu)成為取得與可動(dòng)臺(tái)606的平衡，借助第3板狀彈簧構(gòu)件673、673彈性連接的可動(dòng)臺(tái)606側(cè)整體的重心位置與第3板狀彈簧構(gòu)件673、673之間的中心位置在水平方向和垂直方向上成為大致相同的關(guān)系。
[0305]并且，以第I板狀彈簧構(gòu)件671、671為交界的質(zhì)量之間的重心位置的關(guān)系和以第3板狀彈簧構(gòu)件673、673為交界的質(zhì)量之間的重心位置的關(guān)系也與第6實(shí)施方式同樣地構(gòu)成。與第6實(shí)施方式的不同點(diǎn)可以說僅是第3板狀彈簧構(gòu)件673、673之間的中心和第I板狀彈簧構(gòu)件671、671之間的中心在Z方向上稍稍錯(cuò)開而構(gòu)成。
[0306]即使在像上述那樣構(gòu)成的情況下，與第6實(shí)施方式的情況同樣，也能夠使可動(dòng)臺(tái)606在X、Z方向上產(chǎn)生振動(dòng)，通過增加控制系統(tǒng)部而構(gòu)成為物品移動(dòng)裝置601，能夠?qū)ξ锲愤M(jìn)行輸送和區(qū)分。
[0307]該實(shí)施方式的振動(dòng)裝置602通過成為與第6實(shí)施方式的情況同樣的重心位置關(guān)系，能夠使正在動(dòng)作的底座604的姿態(tài)穩(wěn)定化而使可動(dòng)臺(tái)606高精度地產(chǎn)生振動(dòng)。此外，通過將配重673f安裝在可動(dòng)臺(tái)606上而使其重心位置妥當(dāng)化，也能夠抑制擺動(dòng)現(xiàn)象，動(dòng)作精度進(jìn)一步上升。并且，通過在底座604上設(shè)置周壁部642，能夠謀求保護(hù)驅(qū)動(dòng)部625，并且能夠增大底座604的重量而減小由相對(duì)于起振力的反作用力引起的底座604的動(dòng)作，從而進(jìn)一步提聞上述效果。
[0308]另外，各部的具體結(jié)構(gòu)并不僅限定于上述第I~第7實(shí)施方式。
[0309]例如，在第I實(shí)施方式中，構(gòu)成為對(duì)各方向上的起振部件81~83分別向X、Y、Z的互相正交的方向施加起振力，但主要能夠在可動(dòng)臺(tái)6中生成?改變?nèi)S合成的振動(dòng)軌跡，就也不必一定使它們正交，只要僅使各個(gè)方向交叉即可。此外，各起振部件81~83嚴(yán)密地講也不必設(shè)定在垂直、水平方向上，也可以是使底座4傾斜、將該底座4垂直設(shè)置等的各種利用形態(tài)。更具體地講，在將起振部件傾斜地設(shè)置的情況下，也能夠利用一個(gè)起振部件產(chǎn)生包含水平和垂直方向的多個(gè)方向上的成分的起振力。這些方面在其他的第2~第7實(shí)施方式中也是同樣的。
[0310]此外，在第I實(shí)施方式中，設(shè)為在表背面中的任一個(gè)面設(shè)有粘貼在第I~第3板狀彈簧構(gòu)件71~73上的第I~第3壓電元件81~83的單層型，但也可以設(shè)為同時(shí)設(shè)置在兩個(gè)面的雙層型，構(gòu)成為進(jìn)一步增加起振力。這些方面在其他的第2~第7實(shí)施方式中也是同樣的，可以以單層型、雙層型中的任一種方式構(gòu)成。
[0311]此外，在第I實(shí)施方式中，像圖4中所述的那樣，第I~第3壓電元件81~83粘貼在第I~第3板狀彈簧構(gòu)件71~73各自的外側(cè)半部分，但也可以設(shè)為將該第I~第3壓電元件81~83粘貼在內(nèi)側(cè)半部分的結(jié)構(gòu)，也可以構(gòu)成為分別設(shè)置在外側(cè)半部分和內(nèi)側(cè)半部分。此外，各壓電元件81~83粘貼在板狀彈簧構(gòu)件71~73各自的外側(cè)半部分，但也可以設(shè)為將該壓電元件81~83反過來粘貼在內(nèi)側(cè)半部分的結(jié)構(gòu)，也可以構(gòu)成為分別設(shè)置在外側(cè)半部分和內(nèi)側(cè)半部分。這些方面在其他的第2~第7實(shí)施方式中也可以說是同樣的。
[0312]并且，在第I實(shí)施方式中，設(shè)為分別在端部支承第I~第3板狀彈簧構(gòu)件71~73、且在中央支承其他構(gòu)件的結(jié)構(gòu)，但也可以在中央附近分割而分別構(gòu)成為兩個(gè)板狀彈簧構(gòu)件。這個(gè)方面在其他的第2~第7實(shí)施方式同樣也可以說是同樣的。
[0313]此外，在第I實(shí)施方式中，是將用于進(jìn)行彈性支承的第I~第3板狀彈簧構(gòu)件71~73、及作為進(jìn)行各方向上的起振的第I~第3起振部件81~83的壓電元件一體化而構(gòu)成的，但在緊湊化的要求較小的情況下，也可以使用電磁體作為起振部件，并獨(dú)立于板狀彈簧構(gòu)件71~73而構(gòu)成。這個(gè)方面在其他的第2~第7實(shí)施方式中也是同樣的，可以設(shè)為采用電磁體的結(jié)構(gòu)。
[0314]此外，在上述實(shí)施方式中，設(shè)為了以Z方向上的周期性的起振力的相位為基準(zhǔn)地調(diào)整X方向上的周期性的起振力和Y方向上的周期性的起振力的相位這樣的控制電路，但只要能夠?qū)方向上的周期性的起振力與X方向和Y方向上的各周期性的起振力之間的相位差成為預(yù)定的值，就也可以構(gòu)成為改變方向上的周期性的起振力的相位。
[0315]作為在第4實(shí)施方式中表示的防振彈簧322，只要相對(duì)于板狀彈簧構(gòu)件371?373具有足夠低的彈簧常數(shù)，就也可以是由金屬彈簧構(gòu)成的構(gòu)件，也可以是由橡膠等彈性體構(gòu)成的構(gòu)件，可以較佳地使用。這個(gè)方面在其他的第5?第7實(shí)施方式中也是同樣的。
[0316]其他的結(jié)構(gòu)能夠在不脫離本發(fā)明的主旨的范圍內(nèi)進(jìn)行各種變形。
[0317]產(chǎn)業(yè)h的可利用件
[0318]采用以上詳細(xì)說明的第I發(fā)明，能夠提供振動(dòng)裝置、使用該振動(dòng)裝置的控制性優(yōu)異的物品輸送裝置及物品區(qū)分裝置，上述振動(dòng)裝置的結(jié)構(gòu)簡單，能夠有效地彈性支承可動(dòng)臺(tái)，且距輸送面的高度較小，能夠抑制可動(dòng)臺(tái)的縱搖或橫搖。此外，采用第2發(fā)明，提供振動(dòng)裝置、使用該振動(dòng)裝置的控制性優(yōu)異的物品輸送裝置及物品區(qū)分裝置，上述振動(dòng)裝置能夠抑制對(duì)可動(dòng)臺(tái)作用起振力時(shí)產(chǎn)生的轉(zhuǎn)動(dòng)力矩，因此，即使是借助防振彈簧支承底座的形態(tài)，也能夠使底座的姿態(tài)穩(wěn)定，能夠使支承在該底座上的可動(dòng)臺(tái)的振動(dòng)更加穩(wěn)定而提高動(dòng)作精度，并且，能夠抑制向設(shè)置面?zhèn)鞑フ駝?dòng)而防止噪音、振動(dòng)等，從而改善作業(yè)環(huán)境。
[0319]附圖標(biāo)記說明
[0320]1、物品輸送裝直(物品移動(dòng)裝直);2、振動(dòng)裝直；3、控制系統(tǒng)部；4、底座；6、可動(dòng)臺(tái)；9、9a、9b、物品；31、振動(dòng)控制部件；32、振動(dòng)切換部件；33、輸送路徑確定部件；34、振湯機(jī)；35、控制電壓放大器；42、罩；51、第I中間臺(tái)；52、第2中間臺(tái)；61、可動(dòng)臺(tái)座；62、可動(dòng)板；63、輸送臺(tái)；71、第I板狀彈簧構(gòu)件(第I水平彈性支承部件);72、第2板狀彈簧構(gòu)件(第2水平彈性支承部件);71、第3板狀彈簧構(gòu)件(垂直彈性支承部件);81、第I壓電元件(第I水平起振部件);82、第2壓電元件(第2水平起振部件);83、第3壓電元件(垂直起振部件)；101、物品區(qū)分裝置(物品移動(dòng)裝置)；132、相位差輸入部；322、防振彈簧；373f、配重。
【權(quán)利要求】
1.一種振動(dòng)裝置，其特征在于，包括底座、彈性支承在該底座上的可動(dòng)臺(tái)、用于使該可動(dòng)臺(tái)在第I水平方向上振動(dòng)的第I水平起振部件、用于使上述可動(dòng)臺(tái)在與第I水平方向交叉的第2水平方向上振動(dòng)的第2水平起振部件、以及用于使上述可動(dòng)臺(tái)在垂直方向上振動(dòng)的垂直起振部件， 在上述底座和上述可動(dòng)臺(tái)之間包括第I中間臺(tái)和第2中間臺(tái)，并且上述振動(dòng)裝置具備第I水平彈性支承部件、第2水平彈性支承部件及垂直彈性支承部件，該第I水平彈性支承部件、第2水平彈性支承部件及垂直彈性支承部件用于將上述底座、上述第I中間臺(tái)、上述第2中間臺(tái)及上述可動(dòng)臺(tái)依次在上述第I水平方向、上述第2水平方向及上述垂直方向上彈性連接， 上述第I水平彈性支承部件由厚度方向與上述第I水平方向大致一致且長度方向配置成水平的朝向的第I板狀彈簧構(gòu)件構(gòu)成， 上述第2水平彈性支承部件由厚度方向與上述第2水平方向大致一致且長度方向配置成水平的朝向的第2板狀彈簧構(gòu)件構(gòu)成， 上述垂直彈性支承部件由厚度方向與上述垂直方向大致一致且長度方向配置成水平的朝向的第3板狀彈簧構(gòu)件構(gòu)成。
2.一種振動(dòng)裝置，其特征在于，包括底座、彈性支承在該底座上的可動(dòng)臺(tái)、用于使該可動(dòng)臺(tái)在第I水平方向上振動(dòng)的第I水平起振部件、用于使上述可動(dòng)臺(tái)在與第I水平方向交叉的第2水平方向上振動(dòng)的第2水平起振部件、以及用于使上述可動(dòng)臺(tái)在垂直方向上振動(dòng)的垂直起振部件， 在上述底座和上述可動(dòng)臺(tái)之間包括第I中間臺(tái)和第2中間臺(tái)，并且上述振動(dòng)裝置具備第I水平彈性支承部件、第2水平彈性支承部件及垂直彈性支承部件，該第I水平彈性支承部件、第2水平彈性支承部件及垂直彈性支承部件用于將上述底座、上述第I中間臺(tái)、上述第2中間臺(tái)及上述可動(dòng)臺(tái)依次在上述第I水平方向、上述第2水平方向及上述垂直方向上彈性連接， 上述第I水平彈性支承部件由厚度方向與上述第I水平方向大致一致且長度方向配置成水平的朝向的第I板狀彈簧構(gòu)件構(gòu)成， 上述第2水平彈性支承部件由厚度方向與上述第2水平方向大致一致且長度方向配置成水平的朝向的第2板狀彈簧構(gòu)件構(gòu)成， 上述垂直彈性支承部件由厚度方向與上述垂直方向大致一致且長度方向配置成水平的朝向的第3板狀彈簧構(gòu)件構(gòu)成， 上述第I板狀彈簧構(gòu)件、第2板狀彈簧構(gòu)件及第3板狀彈簧構(gòu)件中的至少任一者以分開預(yù)定距離的方式平行設(shè)有多個(gè)。
3.一種振動(dòng)裝置，其特征在于，包括底座、彈性支承在該底座上的可動(dòng)臺(tái)、用于使該可動(dòng)臺(tái)在第I水平方向上振動(dòng)的第I水平起振部件、用于使上述可動(dòng)臺(tái)在與第I水平方向交叉的第2水平方向上振動(dòng)的第2水平起振部件、以及用于使上述可動(dòng)臺(tái)在垂直方向上振動(dòng)的垂直起振部件， 在上述底座和上述可動(dòng)臺(tái)之間包括第I中間臺(tái)和第2中間臺(tái)，并且上述振動(dòng)裝置具備第I水平彈性支承部件、第2水平彈性支承部件及垂直彈性支承部件，該第I水平彈性支承部件、第2水平彈性支承部件及垂直彈性支承部件用于將上述底座、上述第I中間臺(tái)、上述第2中間臺(tái)及上述可動(dòng)臺(tái)依次在上述第I水平方向、上述第2水平方向及上述垂直方向上彈性連接， 上述第I水平彈性支承部件由厚度方向與上述第I水平方向大致一致且長度方向配置成水平的朝向的第I板狀彈簧構(gòu)件構(gòu)成， 上述第2水平彈性支承部件由厚度方向與上述第2水平方向大致一致且長度方向配置成水平的朝向的第2板狀彈簧構(gòu)件構(gòu)成， 上述垂直彈性支承部件由厚度方向與上述垂直方向大致一致且長度方向配置成水平的朝向的第3板狀彈簧構(gòu)件構(gòu)成， 上述第I水平起振部件、上述第2水平起振部件以及上述垂直起振部件是貼設(shè)在上述第I板狀彈簧構(gòu)件、第2板狀彈簧構(gòu)件及第3板狀彈簧構(gòu)件的至少單面上的壓電元件，通過對(duì)這些壓電元件施加正弦電壓而產(chǎn)生周期性的伸長，使上述第I板狀彈簧構(gòu)件、第2板狀彈簧構(gòu)件及第3板狀彈簧構(gòu)件振動(dòng)。
4.一種振動(dòng)裝置，其特征在于，其包括底座、彈性支承在該底座上的可動(dòng)臺(tái)、用于使該可動(dòng)臺(tái)在第I水平方向上振動(dòng)的第I水平起振部件、用于使上述可動(dòng)臺(tái)在與第I水平方向交叉的第2水平方向上振動(dòng)的第2水平起振部件、以及用于使上述可動(dòng)臺(tái)在垂直方向上振動(dòng)的垂直起振部件， 在上述底座和上述可動(dòng)臺(tái)之間包括第I中間臺(tái)和第2中間臺(tái)，并且上述振動(dòng)裝置具備第I水平彈性支承部件、第2水平彈性支承部件及垂直彈性支承部件，該第I水平彈性支承部件、第2水平彈性支承 部件及垂直彈性支承部件用于將上述底座、上述第I中間臺(tái)、上述第2中間臺(tái)及上述可動(dòng)臺(tái)依次在上述第I水平方向、上述第2水平方向及上述垂直方向上彈性連接， 上述第I水平彈性支承部件由厚度方向與上述第I水平方向大致一致且長度方向配置成水平的朝向的第I板狀彈簧構(gòu)件構(gòu)成， 上述第2水平彈性支承部件由厚度方向與上述第2水平方向大致一致且長度方向配置成水平的朝向的第2板狀彈簧構(gòu)件構(gòu)成， 上述垂直彈性支承部件由厚度方向與上述垂直方向大致一致且長度方向配置成水平的朝向的第3板狀彈簧構(gòu)件構(gòu)成， 上述第I板狀彈簧構(gòu)件、第2板狀彈簧構(gòu)件及第3板狀彈簧構(gòu)件中的至少任一者分開預(yù)定距離地平行設(shè)有多個(gè)， 并且，上述第I水平起振部件、上述第2水平起振部件以及上述垂直起振部件是貼設(shè)在上述第I板狀彈簧構(gòu)件、第2板狀彈簧構(gòu)件及第3板狀彈簧構(gòu)件的至少單面上的壓電元件，通過對(duì)這些壓電元件施加正弦電壓而產(chǎn)生周期性的伸長，使上述第I板狀彈簧構(gòu)件、第2板狀彈簧構(gòu)件及第3板狀彈簧構(gòu)件振動(dòng)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1~4中任一項(xiàng)所述的振動(dòng)裝置，其特征在于， 在上述底座和上述第I中間臺(tái)中的至少任一者與上述第I板狀彈簧構(gòu)件之間、及上述第I中間臺(tái)和上述第2中間臺(tái)中的至少任一者與上述第2板狀彈簧構(gòu)件之間分別設(shè)有彈簧座，該彈簧座的位置構(gòu)成為分別能夠在上述第I板狀彈簧構(gòu)件及上述第2板狀彈簧構(gòu)件的長度方向上改變。
6.一種振動(dòng)裝置，其特征在于，包括借助防振彈簧支承在接地面上的底座、彈性支承在該底座上的可動(dòng)臺(tái)、用于使該可動(dòng)臺(tái)在第I水平方向上振動(dòng)的第I水平起振部件、用于使上述可動(dòng)臺(tái)在與第I水平方向交叉的第2水平方向上振動(dòng)的第2水平起振部件、以及用于使上述可動(dòng)臺(tái)在垂直方向上振動(dòng)的垂直起振部件， 在上述底座和上述可動(dòng)臺(tái)之間包括第I中間臺(tái)和第2中間臺(tái)，并且上述振動(dòng)裝置具備多個(gè)第I水平彈性支承部件、多個(gè)第2水平彈性支承部件及多個(gè)垂直彈性支承部件，該多個(gè)第I水平彈性支承部件、多個(gè)第2水平彈性支承部件及多個(gè)垂直彈性支承部件用于將上述底座、上述第I中間臺(tái)、上述第2中間臺(tái)及上述可動(dòng)臺(tái)依次在上述第I水平方向、第2水平方向及垂直方向上彈性連接， 在將裝置整體設(shè)想為以上述第I水平彈性支承部件和第2水平彈性支承部件為交界的第I質(zhì)量體、第2質(zhì)量體及第3質(zhì)量體時(shí)，該第I質(zhì)量體的重心位置、第2質(zhì)量體的重心位置及第3質(zhì)量體的重心位置構(gòu)成為在垂直方向和水平方向上大致相同。
7.一種振動(dòng)裝置，其特征在于，包括借助防振彈簧支承在接地面上的底座、彈性支承在該底座上的可動(dòng)臺(tái)、用于使該可動(dòng)臺(tái)在第I水平方向上振動(dòng)的第I水平起振部件、用于使上述可動(dòng)臺(tái)在與第I水平方向交叉的第2水平方向上振動(dòng)的第2水平起振部件、以及用于使上述可動(dòng)臺(tái)在垂直方向上振動(dòng)的垂直起振部件， 在上述底座和上述可動(dòng)臺(tái)之間包括第I中間臺(tái)和第2中間臺(tái)，并且上述振動(dòng)裝置具備多個(gè)第I水平彈性支承部件、多個(gè)第2水平彈性支承部件及多個(gè)垂直彈性支承部件，該多個(gè)第I水平彈性支承部件、多個(gè)第2水平彈性支承部件及多個(gè)垂直彈性支承部件用于將上述底座、上述第I中間臺(tái)、上述第2中間臺(tái)及上述可動(dòng)臺(tái)依次在上述第I水平方向、第2水平方向及垂直方向上彈性連接， 在將裝置整體設(shè)想為以上述第I水平彈性支承部件和第2水平彈性支承部件為交界的第I質(zhì)量體、第2質(zhì)量體及第3質(zhì)量體時(shí)，該第I質(zhì)量體的重心位置、第2質(zhì)量體的重心位置及第3質(zhì)量體的重心位置在垂直方向和水平方向上大致相同，而且，上述第I質(zhì)量體、第2質(zhì)量體及第3質(zhì)量體的重心位置和各水平彈性支承部件的安裝位置構(gòu)成為在垂直方向上大致相同。
8.一種振動(dòng)裝置，其特征在于，包括借助防振彈簧支承在接地面上的底座、彈性支承在該底座上的可動(dòng)臺(tái)、用于使該可動(dòng)臺(tái)在第I水平方向上振動(dòng)的第I水平起振部件、用于使上述可動(dòng)臺(tái)在與第I水平方向交叉的第2水平方向上振動(dòng)的第2水平起振部件、以及用于使上述可動(dòng)臺(tái)在垂直方向上振動(dòng)的垂直起振部件， 在上述底座和上述可動(dòng)臺(tái)之間包括第I中間臺(tái)和第2中間臺(tái)，并且上述振動(dòng)裝置具備多個(gè)第I水平彈性支承部件、多個(gè)第2水平彈性支承部件及多個(gè)垂直彈性支承部件，該多個(gè)第I水平彈性支承部件、多個(gè)第2水平彈性支承部件及多個(gè)垂直彈性支承部件用于將上述底座、上述第I中間臺(tái)、上述第2中間臺(tái)及上述可動(dòng)臺(tái)依次在上述第I水平方向、上述第2水平方向及上述垂直方向上彈性連接， 在將裝置整體設(shè)想為以上述第I水平彈性支承部件和第2水平彈性支承部件為交界的第I質(zhì)量體、第2質(zhì)量體及第3質(zhì)量體時(shí)，該第I質(zhì)量體的重心位置、第2質(zhì)量體的重心位置及第3質(zhì)量體的重心位置在垂直方向和水平方向上大致相同，并且， 上述多個(gè)垂直彈性支承部件設(shè)置為以上述第I質(zhì)量體、第2質(zhì)量體及第3質(zhì)量體的重心位置為中心地相對(duì)于各起振方向?qū)ΨQ，并且，在隔著該多個(gè)垂直彈性支承部件對(duì)稱的位置對(duì)于上述可動(dòng)臺(tái)上設(shè)有配重。
9.一種振動(dòng)裝置，其特征在于，包括借助防振彈簧支承在接地面上的底座、彈性支承在該底座上的可動(dòng)臺(tái)、用于使該可動(dòng)臺(tái)在第I水平方向上振動(dòng)的第I水平起振部件、用于使上述可動(dòng)臺(tái)在與第I水平方向交叉的第2水平方向上振動(dòng)的第2水平起振部件、以及用于使上述可動(dòng)臺(tái)在垂直方向上振動(dòng)的垂直起振部件， 在上述底座和上述可動(dòng)臺(tái)之間包括第I中間臺(tái)和第2中間臺(tái)，并且上述振動(dòng)裝置具備多個(gè)第I水平彈性支承部件、多個(gè)第2水平彈性支承部件及多個(gè)垂直彈性支承部件，該多個(gè)第I水平彈性支承部件、多個(gè)第2水平彈性支承部件及多個(gè)垂直彈性支承部件用于將上述底座、上述第I中間臺(tái)、上述第2中間臺(tái)及上述可動(dòng)臺(tái)依次在上述第I水平方向、上述第2水平方向及上述垂直方向上彈性連接， 在將裝置整體設(shè)想為以上述第I水平彈性支承部件和第2水平彈性支承部件為交界的第I質(zhì)量體、第2質(zhì)量體及第3質(zhì)量體時(shí)，該第I質(zhì)量體的重心位置、第2質(zhì)量體的重心位置及第3質(zhì)量體的重心位置在垂直方向和水平方向上大致相同，而且，上述第I質(zhì)量體、第2質(zhì)量體及第3質(zhì)量體的重心位置和上述第I水平彈性支承部件及第2水平彈性支承部件的安裝位置在垂直方向上大致相同，并且， 上述多個(gè)垂直彈性支承部件設(shè)置為以上述第I質(zhì)量體、第2質(zhì)量體及第3質(zhì)量體的重心位置為中心地相對(duì)于各起振方向?qū)ΨQ，并且，在隔著該多個(gè)垂直彈性支承部件對(duì)稱的位置于上述可動(dòng)臺(tái)上設(shè)有配重。
10.一種振動(dòng)裝置，其特征在于，包括借助防振彈簧支承在接地面上的底座、彈性支承在該底座上的可動(dòng)臺(tái)、用于使該可動(dòng)臺(tái)在水平方向上振動(dòng)的水平起振部件、及用于使上述可動(dòng)臺(tái)在垂直方向上振動(dòng)的垂直起振部件， 在上述底座和上述可動(dòng)臺(tái)之間包括中間臺(tái)，并且上述振動(dòng)裝置具備多個(gè)水平彈性支承部件和多個(gè)垂直彈性支承部件，該多個(gè)水平彈性支承部件和多個(gè)垂直彈性支承部件用于將上述底座、上述中間臺(tái)及上述可動(dòng)臺(tái)依次在水平方向和垂直方向上彈性連接， 在將裝置整體設(shè)想為以上述水平彈性支承部件為交界的兩個(gè)質(zhì)量體時(shí)，該兩個(gè)質(zhì)量體的彼此重心位置構(gòu)成為在垂直方向和水平方向上大致相同。
11.一種振動(dòng)裝置，其特征在于，包括借助防振彈簧支承在接地面上的底座、彈性支承在該底座上的可動(dòng)臺(tái)、用于使該可動(dòng)臺(tái)在水平方向上振動(dòng)的水平起振部件、及用于使上述可動(dòng)臺(tái)在垂直方向上振動(dòng)的垂直起振部件， 在上述底座和上述可動(dòng)臺(tái)之間包括中間臺(tái)，并且上述振動(dòng)裝置具備多個(gè)水平彈性支承部件和多個(gè)垂直彈性支承部件，該多個(gè)水平彈性支承部件和多個(gè)垂直彈性支承部件用于將上述底座、上述中間臺(tái)及上述可動(dòng)臺(tái)依次在水平方向和垂直方向上彈性連接， 在將裝置整體設(shè)想為以上述水平彈性支承部件為交界的兩個(gè)質(zhì)量體時(shí)，該兩個(gè)質(zhì)量體的彼此重心位置在垂直方向和水平方向上大致相同，而且，各個(gè)上述質(zhì)量體的重心位置和各個(gè)上述水平彈性支承部件的安裝位置構(gòu)成為在垂直方向上大致相同。
12.—種振動(dòng)裝置，其特征在于，包括借助防振彈簧支承在接地面上的底座、彈性支承在該底座上的可動(dòng)臺(tái)、用于使該可動(dòng)臺(tái)在水平方向上振動(dòng)的水平起振部件、及用于使上述可動(dòng)臺(tái)在垂直方向上振動(dòng)的垂直起振部件， 在上述底座和上述可動(dòng)臺(tái)之間包括中間臺(tái)，并且上述振動(dòng)裝置具備多個(gè)水平彈性支承部件和多個(gè)垂直彈性支承部件，該多個(gè)水平彈性支承部件和多個(gè)垂直彈性支承部件用于將上述底座、上述中間臺(tái)及上述可動(dòng)臺(tái)依次在水平方向和垂直方向上彈性連接， 在將裝置整體設(shè)想為以上述水平彈性支承部件為交界的兩個(gè)質(zhì)量體時(shí)，該兩個(gè)質(zhì)量體的彼此重心位置在垂直方向和水平方向上大致相同，并且， 上述多個(gè)垂直彈性支承部件設(shè)置為以各個(gè)上述質(zhì)量體的重心位置為中心地相對(duì)于各起振方向?qū)ΨQ，并且，在隔著該多個(gè)垂直彈性支承部件對(duì)稱的位置于上述可動(dòng)臺(tái)上設(shè)有配重。
13.—種振動(dòng)裝置，其特征在于，包括借助防振彈簧支承在接地面上的底座、彈性支承在該底座上的可動(dòng)臺(tái)、用于使該可動(dòng)臺(tái)在水平方向上振動(dòng)的水平起振部件、及用于使上述可動(dòng)臺(tái)在垂直方向上振動(dòng)的垂直起振部件， 在上述底座和上述可動(dòng)臺(tái)之間包括中間臺(tái)，并且上述振動(dòng)裝置具備多個(gè)水平彈性支承部件和多個(gè)垂直彈性支承部件，該多個(gè)水平彈性支承部件和多個(gè)垂直彈性支承部件用于將上述底座、上述中間臺(tái)及上述可動(dòng)臺(tái)依次在水平方向和垂直方向上彈性連接， 在將裝置整體設(shè)想為以上述水平彈性支承部件為交界的兩個(gè)質(zhì)量體時(shí)，該兩個(gè)質(zhì)量體的彼此重心位置在垂直方向和水平方向上大致相同，而且，各個(gè)上述質(zhì)量體的重心位置和各個(gè)上述水平彈性支承部件的安裝位置在垂直方向上大致相同，并且， 上述多個(gè)垂直彈性支承部件設(shè)置為以各個(gè)上述質(zhì)量體的重心位置為中心地相對(duì)于各起振方向?qū)ΨQ，并且，在隔著該多個(gè)垂直彈性支承部件對(duì)稱的位置于上述可動(dòng)臺(tái)上設(shè)有配重。
14.根據(jù)權(quán)利要求6~13中任一項(xiàng)所述的振動(dòng)裝置，其特征在于， 上述振動(dòng)裝置設(shè)有自上述底座的外周緣附近立起的周壁部， 上述周壁部以包圍上述彈性支承部件和上述起振部件的方式構(gòu)成，并且構(gòu)成為用于調(diào)整上述底座的重心位置的重心調(diào)整構(gòu)件。
15.一種物品輸送裝置，其用于利用可動(dòng)臺(tái)的振動(dòng)輸送載置在可動(dòng)臺(tái)上的物品，其特征在于， 包括:上述權(quán)利要求1~14中任一項(xiàng)所述的振動(dòng)裝置；振動(dòng)控制部件，其用于控制該振動(dòng)裝置所具有的多個(gè)起振部件，以便使上述多個(gè)起振部件以相同的頻率同時(shí)產(chǎn)生周期性的起振力且使該起振力具有相位差，使上述可動(dòng)臺(tái)產(chǎn)生三維的振動(dòng)軌跡；以及振動(dòng)切換部件，用于切換利用各個(gè)上述起振部件產(chǎn)生的周期性的起振力的振幅和相位差。
16.一種物品區(qū)分裝置，其用于利用可動(dòng)臺(tái)的振動(dòng)區(qū)分載置在可動(dòng)臺(tái)上的多個(gè)物品，其特征在于， 包括:上述權(quán)利要求1~14中任一項(xiàng)所述的振動(dòng)裝置；以及振動(dòng)控制部件，其用于控制該振動(dòng)裝置所具有的多個(gè)起振部件，以便使上述多個(gè)起振部件以相同的頻率同時(shí)產(chǎn)生周期性的起振力且使該起振力 具有相位差，使上述可動(dòng)臺(tái)產(chǎn)生三維的振動(dòng)軌跡， 以預(yù)定的基準(zhǔn)摩擦系數(shù)為交界，根據(jù)各個(gè)物品所具有的摩擦系數(shù)相對(duì)于上述基準(zhǔn)摩擦系數(shù)的大小關(guān)系設(shè)定利用上述水平起振部件產(chǎn)生的周期性的起振力和利用上述垂直起振部件產(chǎn)生的周期性的起振力的相位差，使得各物品向不同的方向移動(dòng)，從而同時(shí)區(qū)分載置在上述可動(dòng)臺(tái)上的多個(gè)物品。
【文檔編號(hào)】B65G27/24GK103648930SQ201280034042
【公開日】2014年3月19日 申請(qǐng)日期:2012年5月31日 優(yōu)先權(quán)日:2011年7月8日
【發(fā)明者】木村哲行, 村岸恭次 申請(qǐng)人:昕芙旎雅有限公司