晶片的輔助取片機構(gòu)、取片系統(tǒng)及取片方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種晶片的輔助取片機構(gòu)、取片系統(tǒng)及取片方法，屬于半導(dǎo)體晶片加工【技術(shù)領(lǐng)域】。解決了現(xiàn)有技術(shù)容易導(dǎo)致電池片或其他晶片無法順利取出，影響取片效率的技術(shù)問題。該晶片的輔助取片機構(gòu)，包括滑動板和驅(qū)動器，所述驅(qū)動器用于驅(qū)動所述滑動板前后移動，所述滑動板的前端設(shè)有滾軸；當晶片的主取片機構(gòu)托起晶片底部的前端，從裝有所述晶片的料盒前側(cè)取出所述晶片時，所述滑動板在所述驅(qū)動器的驅(qū)動下向前移動至所述料盒后側(cè)的下方，所述滾軸用于托住所述晶片底部的后端。該取片系統(tǒng)包括升降臺、主取片機構(gòu)和上述輔助取片機構(gòu)。本發(fā)明可應(yīng)用于太陽能電池片的自動化生產(chǎn)。
【專利說明】晶片的輔助取片機構(gòu)、取片系統(tǒng)及取片方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明屬于半導(dǎo)體晶片加工【技術(shù)領(lǐng)域】，具體涉及一種晶片的輔助取片機構(gòu)，以及 設(shè)有該輔助取片機構(gòu)的取片系統(tǒng)及取片方法。

【背景技術(shù)】
[0002] 隨著半導(dǎo)體晶片加工過程中自動化程度的提高，在自動化取放晶片的傳輸過程中 越來越多的利用料盒來承載晶片。例如，太陽能電池片自動化生產(chǎn)過程中，從料盒中取出電 池片是電池片的自動化傳輸過程的第一步，所以取片的效率和可靠性便成為實現(xiàn)自動化生 產(chǎn)的重要條件之一。常見的料盒如圖1所示，料盒1內(nèi)部有用于承載電池片10的槽口 11， 槽口 11的數(shù)量通常有25、50或100個，電池片10可從料盒1的前端插入槽口 11中，此外， 料盒1底部的前端和后端通常還設(shè)有U型缺口 12。
[0003] 圖2是目前常用的電池片傳輸?shù)淖詣踊瘋鬏斣O(shè)備及取片系統(tǒng)的示意圖，該傳輸系 統(tǒng)包括上下兩層用于傳輸料盒的傳輸皮帶21、22、一個用于放鉻料盒1的升降臺3和一個取 片機構(gòu)4。其中，取片機構(gòu)4包括驅(qū)動器41、滑塊42和驅(qū)動輪43,如圖3a和圖3b所示，驅(qū) 動器41能夠驅(qū)動滑塊42前后移動，并且滑塊42上設(shè)有傳送帶44。如圖4a和圖4b所示， 裝滿電池片10的料盒1在上層傳輸皮帶21的驅(qū)動下被傳送到升降臺3上，然后取片機構(gòu) 4的驅(qū)動器41驅(qū)動滑塊42向后移動至料盒1中最低位的電池片10的下方，再將升降臺3 下降適當高度，使傳送帶44在料盒1底部的U型缺口 12處托住最低位的電池片10,此時驅(qū) 動輪43對傳送帶44進行驅(qū)動，即可由傳送帶44將最低位的電池片10取出料盒1。之后， 升降臺3再下降一個槽口 11間距(通常為4. 76mm)，取片機構(gòu)4就可以用相同的方法由傳送 帶44將電池片10逐個取出料盒1。料盒1中的電池片10取盡之后，取片機構(gòu)4的滑塊42 向前移動，升降臺3下降至與下層傳輸22皮帶相同的高度，然后把空料盒1從升降臺3傳 送到下層傳輸皮帶22上，再上升至上層傳輸皮帶21的高度，并接收新的裝滿電池片10的 料盒1，以便取片機構(gòu)4繼續(xù)取出電池片10。
[0004] 本發(fā)明人在實現(xiàn)本發(fā)明的過程中發(fā)現(xiàn)，現(xiàn)有技術(shù)至少存在以下問題：如圖4a所 示，由于料盒1底部的前后端開有U型缺口 12,但中間是連接起來的。由于該連接部分的存 在，取片機構(gòu)4的傳送帶44只能托起電池片10前端不到一半的部分，電池片10由于自身 重力，后端會下垂，同時前端翹起，如圖4b所示，使電池片10與傳送帶44的接觸面積很小， 容易導(dǎo)致電池片10無法順利取出，因此影響了取片效率。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0005] 本發(fā)明實施例提供了一種晶片的輔助取片機構(gòu)，以及設(shè)有該輔助取片機構(gòu)的取片 系統(tǒng)及取片方法，解決了現(xiàn)有技術(shù)容易導(dǎo)致電池片或其他晶片無法順利取出，影響取片效 率的技術(shù)問題。
[0006] 為達到上述目的，本發(fā)明的實施例采用如下技術(shù)方案：
[0007] 本發(fā)明提供了一種晶片的輔助取片機構(gòu)，包括滑動板和驅(qū)動器，所述驅(qū)動器用于 驅(qū)動所述滑動板前后移動，所述滑動板的前端設(shè)有滾軸；
[0008] 當晶片的主取片機構(gòu)（即【背景技術(shù)】中的取片機構(gòu)）托起晶片底部的前端，從裝有所 述晶片的料盒前側(cè)取出所述晶片時，所述滑動板在所述驅(qū)動器的驅(qū)動下向前移動至所述料 盒后側(cè)的下方，所述滾軸用于托住所述晶片底部的后端。
[0009] 進一步，當所述料盒中的晶片取盡時，所述滑動板在所述驅(qū)動器的驅(qū)動下向后移 出所述料盒的下方。
[0010] 優(yōu)選的，該輔助取片機構(gòu)還包括支撐所述滑動板的支撐板，所述支撐板上設(shè)有導(dǎo) 軌，所述滑動板可在所述驅(qū)動器的驅(qū)動下沿所述導(dǎo)軌前后移動。
[0011] 優(yōu)選的，所述滾軸為表面包覆聚氨酯的軸承。
[0012] 優(yōu)選的，所述驅(qū)動器為氣缸，所述氣缸中的頂桿通過浮動接頭與所述滑動板連接。
[0013] 本發(fā)明還提供了一種晶片的取片系統(tǒng)，包括升降臺和主取片機構(gòu)，所述升降臺用 于放鉻裝有若干個晶片的料盒；
[0014] 所述取片系統(tǒng)還包括上述的輔助取片機構(gòu)。
[0015] 進一步，所述主取片機構(gòu)包括主驅(qū)動器、滑塊和驅(qū)動輪，所述主驅(qū)動器用于驅(qū)動所 述滑塊前后移動，所述滑塊上設(shè)有傳送帶，所述傳送帶通過所述驅(qū)動輪進行驅(qū)動。
[0016] 本發(fā)明還提供了一種基于上述取片系統(tǒng)的取片方法，包括：
[0017] 步驟一、所述主取片機構(gòu)的主驅(qū)動器驅(qū)動所述滑塊向后移動至所述料盒中最低位 的晶片前端的下方，同時，所述輔助取片機構(gòu)的驅(qū)動器驅(qū)動所述滑動板向前移動至所述料 盒中最低位的晶片后端的下方；
[0018] 步驟二、所述升降臺帶動所述料盒下降一定高度，使所述主取片機構(gòu)的傳送帶托 住所述最低位的晶片底部的前端，同時所述輔助取片機構(gòu)的滾軸托住所述最低位的晶片底 部的后端；
[0019] 步驟三、所述主取片機構(gòu)的驅(qū)動輪驅(qū)動所述傳送帶將所述最低位的晶片從所述料 盒中取出；
[0020] 重復(fù)上述步驟二至步驟三，直至取盡所述料盒中晶片。
[0021] 進一步，所述料盒中的晶片取盡之后，還包括：
[0022] 步驟四、所述主取片機構(gòu)的主驅(qū)動器驅(qū)動所述滑塊向前移出所述料盒的下方，同 時，所述輔助取片機構(gòu)的驅(qū)動器驅(qū)動所述滑動板向后移出所述料盒的下方；
[0023] 步驟五、所述升降臺帶動所述料盒下降。
[0024] 與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明所提供的上述技術(shù)方案具有如下優(yōu)點：當主取片機構(gòu)的 傳送帶托住晶片的前端時，輔助取片機構(gòu)的滾軸能夠從料盒后端的U型缺口處托住晶片的 后端，使晶片能夠平穩(wěn)的放在傳送帶和滾軸上，而不會發(fā)生翹起的現(xiàn)象，保證晶片與傳送帶 之間有足夠的接觸面積，使晶片能夠順利取出，從而提高了取片效率。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0025] 為了更清楚地說明本發(fā)明實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn) 有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹。
[0026] 圖1為用于承載電池片的料盒的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0027] 圖2為現(xiàn)有技術(shù)中電池片傳輸?shù)淖詣踊瘋鬏斣O(shè)備及取片系統(tǒng)的示意圖；
[0028] 圖3a和圖3b為現(xiàn)有的電池片的取片系統(tǒng)中取片機構(gòu)的兩種工作狀態(tài)的示意圖；
[0029] 圖4a和圖4b分別為現(xiàn)有技術(shù)中電池片的取片系統(tǒng)的仰視圖和側(cè)視圖；
[0030] 圖5a和圖5b為本發(fā)明的實施例所提供的輔助取片機構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0031] 圖6為本發(fā)明的實施例所提供的輔助取片機構(gòu)的工作狀態(tài)的示意圖；
[0032] 圖7為本發(fā)明的實施例所提供的輔助取片機構(gòu)的工作狀態(tài)的仰視圖；
[0033] 圖8為本發(fā)明的實施例所提供的取片系統(tǒng)的示意圖；
[0034] 圖9為本發(fā)明的實施例所提供的取片系統(tǒng)中的主取片機構(gòu)的示意圖。

【具體實施方式】
[0035] 下面將結(jié)合本發(fā)明實施例中的附圖，對本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完 整地描述。
[0036] 實施例1 :
[0037] 如圖5a和圖5b所示，本發(fā)明實施例所提供的晶片的輔助取片機構(gòu)5,包括滑動板 52和驅(qū)動器51，驅(qū)動器51用于驅(qū)動滑動板52前后移動，滑動板52的前端設(shè)有滾軸53。本 實施例中的驅(qū)動器51為氣缸，并且氣缸中的頂桿510通過浮動接頭511與滑動板52連接。
[0038] 本實施例以太陽能電池片作為晶片進行舉例說明，如圖6和圖7所示，當電池片的 主取片機構(gòu)4 (即【背景技術(shù)】中的取片機構(gòu)）托起電池片10底部的前端，從裝有電池片10的 料盒1前側(cè)取出電池片10時，滑動板52在驅(qū)動器51的驅(qū)動下向前移動至料盒1后側(cè)的下 方，滾軸53用于托住電池片10底部的后端。
[0039] 本發(fā)明實施例提供的輔助取片機構(gòu)5用于在主取片機構(gòu)4的傳送帶44托住電池 片10的前端時，由輔助取片機構(gòu)5的滾軸53從料盒1后端的U型缺口 12處托住電池片10 的后端，使電池片10能夠平穩(wěn)的放在傳送帶44和滾軸53上，而不會發(fā)生翹起的現(xiàn)象，保證 電池片10與傳送帶44之間有足夠的接觸面積，使電池片10能夠順利取出，從而提高了取 片效率。
[0040] 進一步，當料盒1中的電池片10取盡時，滑動板52在驅(qū)動器51的驅(qū)動下向后移 出料盒1的下方。本發(fā)明實施例提供的輔助取片機構(gòu)5是作為整個取片系統(tǒng)的一部分，如 圖8所示，取片系統(tǒng)包括主取片機構(gòu)4、輔助取片機構(gòu)5、升降臺3,在取片過程中，裝滿電池 片10的料盒1從上層傳輸皮帶21傳送到升降臺3上，然后由主取片機構(gòu)4和輔助取片機 構(gòu)5按上述方法取出電池片10。料盒1中的電池片10取盡之后，升降臺3需要下降，并將 空料盒1傳送到下層傳輸皮帶22上，再上升至上層傳輸皮帶21的高度，接收新的裝滿電池 片10的料盒1。因此，本發(fā)明實施例中，在料盒1中的電池片10取盡之后，滑動板52在驅(qū) 動器51的驅(qū)動下向后移出料盒1的下方，以便于讓出升降臺3和空料盒1的下降路徑，使 升降臺3和空料1盒能夠順利的下降至下層傳輸皮帶22處。此外，輔助取片機構(gòu)5可以設(shè) 置在上層傳輸皮帶21的中間或下方，這樣既能方便輔助取片機構(gòu)5參與取片工作，也不會 與上層傳輸皮帶21或其他部分的位置發(fā)生干涉。
[0041] 作為一個優(yōu)選方案，如圖5a和圖5b所示，該輔助取片機構(gòu)5還包括支撐滑動板52 的支撐板54,支撐板54上設(shè)有導(dǎo)軌55,滑動板52可在驅(qū)動器51的驅(qū)動下沿導(dǎo)軌55前后 移動。支撐板54-方面可以起到支撐作用，保證滑動板52的穩(wěn)定；另一方面，支撐板54上 的導(dǎo)軌55還能夠與驅(qū)動器51相配合，保證滑動板52沿直線前后移動。
[0042] 進一步，滾軸53為表面包覆聚氨酯的軸承，即聚氨酯軸承。聚氨酯軸承的表面包 覆有聚氨酯材質(zhì)，柔軟潔凈，與電池片接觸時，聚氨酯軸承能夠保證不會對電池片的表面產(chǎn) 生劃痕，也不會使電池片沾到及塵埃。
[0043] 實施例2 :
[0044] 如圖8所示，本發(fā)明還提供了一種晶片的取片系統(tǒng)，包括升降臺3、主取片機構(gòu)4 (即【背景技術(shù)】中的取片機構(gòu)）和實施例1中提供的輔助取片機構(gòu)5。如圖9所示，主取片機 構(gòu)具體包括主驅(qū)動器41、滑塊42和驅(qū)動輪43,主驅(qū)動器41用于驅(qū)動滑塊42前后移動，滑 塊42上設(shè)有傳送帶44,傳送帶44通過驅(qū)動輪43進行驅(qū)動。
[0045] 本實施例繼續(xù)以太陽能電池片為例進行說明，升降臺3用于放置裝有若干個電池 片10的料盒1。輔助取片機構(gòu)5包括滑動板52和驅(qū)動器51，驅(qū)動器51用于驅(qū)動滑動板52 前后移動，滑動板52的前端設(shè)有滾軸53。當主取片機構(gòu)4的傳送帶44托起料盒1中的電 池片10底部的前端，從料盒1前側(cè)取出電池片10時，輔助取片機構(gòu)5的滑動板52在驅(qū)動 器51的驅(qū)動下向前移動至料盒1后側(cè)的下方，滾軸53托住電池片10底部的后端。
[0046] 進一步，當料盒1中的電池片10取盡時，滑動板52在驅(qū)動器51的驅(qū)動下向后移 出料盒1的下方，以便于料盒1隨升降臺3下降。
[0047] 如圖8所示，本發(fā)明實施例還提供了基于上述取片系統(tǒng)的取片方法，包括：
[0048] S1、在上層傳輸皮帶21將裝滿電池片10的料盒1傳送至升降臺3上之后，主取片 機構(gòu)4的主驅(qū)動器41驅(qū)動滑塊42向后移動至料盒1中最低位的電池片前端的下方，同時， 輔助取片機構(gòu)5的驅(qū)動器51驅(qū)動滑動板52向前移動至料盒1中最低位的電池片后端的下 方。
[0049] S2、升降臺3帶動料盒1下降一定高度，使主取片機構(gòu)4的傳送帶44托住最低位 的電池片底部的前端，同時輔助取片機構(gòu)5的滾軸53托住最低位的電池片底部的后端。
[0050] 這樣，該最低位的電池片就能夠平穩(wěn)的放在傳送帶44和滾軸53上，而不會發(fā)生翹 起的現(xiàn)象，保證該電池片與傳送帶44之間有足夠的接觸面積。
[0051] S3、主取片機構(gòu)4的驅(qū)動輪43驅(qū)動傳送帶44將最低位的電池片從料盒1中取出。
[0052] 之后可以由生產(chǎn)線上的其他設(shè)備或系統(tǒng)將電池片從主取片機構(gòu)4的傳送帶44上 取走，而取片系統(tǒng)繼續(xù)取出新的電池片。
[0053] 重復(fù)上述步驟S2至S3,直至取盡料盒1中電池片10。當然，在連續(xù)的取片過程 中，步驟S2中升降臺3每次下降的高度應(yīng)當?shù)扔诹虾?中槽口 12的間距，一般規(guī)格的料盒 1中槽口 12的間距為4. 76_。
[0054] 本發(fā)明實施例提供的取片系統(tǒng)中，在取片時電池片不會發(fā)生翹起，與傳送帶之間 有足夠的接觸面積，因此能夠順利的取出電池片，從而提高了取片效率。
[0055] 進一步，料盒1中的電池片10取盡之后，還包括：
[0056] S4、主取片機構(gòu)4的主驅(qū)動器41驅(qū)動滑塊42向前移出料盒1的下方，同時，輔助 取片機構(gòu)5的驅(qū)動器51驅(qū)動滑動板52向后移出料盒1的下方。
[0057] 這樣，主取片機構(gòu)4和輔助取片機構(gòu)5就可以讓出升降臺3和空料盒1的下降路 徑，以便于進行后面的步驟S5。
[0058] S5、升降臺3帶動料盒1下降至下層傳輸皮帶22的高度。
[0059] 之后，下層傳輸皮帶22就可以將空料盒1從升降臺3上取走，升降臺3再上升至 上層傳輸皮帶21的高度，上層傳輸皮帶21將新的裝滿電池片10的料盒1傳送至升降臺3 上，然后再從上述步驟S1重新開始，繼續(xù)進行取片。
[0060] 由于本發(fā)明實施例提供的取片系統(tǒng)及其取片方法，與上述實施例1所提供的輔助 取片機構(gòu)具有相同的技術(shù)特征，所以也能產(chǎn)生相同的技術(shù)效果，解決相同的技術(shù)問題。
[0061] 以上所述，僅為本發(fā)明的【具體實施方式】，但本發(fā)明的保護范圍并不局限于此，任何 熟悉本【技術(shù)領(lǐng)域】的技術(shù)人員在本發(fā)明揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到的變化或替換，都應(yīng) 涵蓋在本發(fā)明的保護范圍之內(nèi)。因此，本發(fā)明的保護范圍應(yīng)以權(quán)利要求的保護范圍為準。
【權(quán)利要求】
1. 一種晶片的輔助取片機構(gòu)，其特征在于：包括滑動板和驅(qū)動器，所述驅(qū)動器用于驅(qū) 動所述滑動板前后移動，所述滑動板的前端設(shè)有滾軸； 當晶片的主取片機構(gòu)托起晶片底部的前端，從裝有所述晶片的料盒前側(cè)取出所述晶片 時，所述滑動板在所述驅(qū)動器的驅(qū)動下向前移動至所述料盒后側(cè)的下方，所述滾軸用于托 住所述晶片底部的后端。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的輔助取片機構(gòu)，其特征在于：當所述料盒中的晶片取盡時，所 述滑動板在所述驅(qū)動器的驅(qū)動下向后移出所述料盒的下方。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的輔助取片機構(gòu)，其特征在于：還包括支撐所述滑動板的支撐 板，所述支撐板上設(shè)有導(dǎo)軌，所述滑動板可在所述驅(qū)動器的驅(qū)動下沿所述導(dǎo)軌前后移動。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的輔助取片機構(gòu)，其特征在于：所述滾軸為表面包覆聚氨酯的 軸承。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的輔助取片機構(gòu)，其特征在于：所述驅(qū)動器為氣缸，所述氣缸中 的頂桿通過浮動接頭與所述滑動板連接。
6. -種晶片的取片系統(tǒng)，包括升降臺和主取片機構(gòu)； 所述升降臺用于放鉻裝有若干個晶片的料盒； 其特征在于：所述取片系統(tǒng)還包括如權(quán)利要求1-5任一項所述的輔助取片機構(gòu)。
7. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的取片系統(tǒng)，其特征在于：所述主取片機構(gòu)包括主驅(qū)動器、滑塊 和驅(qū)動輪，所述主驅(qū)動器用于驅(qū)動所述滑塊前后移動，所述滑塊上設(shè)有傳送帶，所述傳送帶 通過所述驅(qū)動輪進行驅(qū)動。
8. -種基于權(quán)利要求7所述的取片系統(tǒng)的取片方法，其特征在于，包括： 步驟一、所述主取片機構(gòu)的主驅(qū)動器驅(qū)動所述滑塊向后移動至所述料盒中最低位的晶 片前端的下方，同時，所述輔助取片機構(gòu)的驅(qū)動器驅(qū)動所述滑動板向前移動至所述料盒中 最低位的晶片后端的下方； 步驟二、所述升降臺帶動所述料盒下降一定高度，使所述主取片機構(gòu)的傳送帶托住所 述最低位的晶片底部的前端，同時所述輔助取片機構(gòu)的滾軸托住所述最低位的晶片底部的 后端； 步驟三、所述主取片機構(gòu)的驅(qū)動輪驅(qū)動所述傳送帶將所述最低位的晶片從所述料盒中 取出； 重復(fù)上述步驟二至步驟三，直至取盡所述料盒中晶片。
9. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的取片方法，其特征在于，所述料盒中的晶片取盡之后，還包 括： 步驟四、所述主取片機構(gòu)的主驅(qū)動器驅(qū)動所述滑塊向前移出所述料盒的下方，同時，所 述輔助取片機構(gòu)的驅(qū)動器驅(qū)動所述滑動板向后移出所述料盒的下方； 步驟五、所述升降臺帶動所述料盒下降。
【文檔編號】B65G49/07GK104058257SQ201310095195
【公開日】2014年9月24日 申請日期:2013年3月22日 優(yōu)先權(quán)日:2013年3月22日
【發(fā)明者】李萌, 張金斌 申請人:北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司