一種傳輸裝置及等離子體加工設(shè)備的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種傳輸裝置及等離子體加工設(shè)備，其用于傳輸被加工工件，且包括直線驅(qū)動單元、固定部件、抓持部件和間接傳動機(jī)構(gòu)，其中，直線驅(qū)動單元用于驅(qū)動位于其上的固定部件作直線往復(fù)運(yùn)動；抓持部件位于固定部件上，并且與固定部件可相對滑動地連接；抓持部件用于抓取被加工工件；間接傳動機(jī)構(gòu)設(shè)置于固定部件上，其用于在直線驅(qū)動單元驅(qū)動固定部件作直線往復(fù)運(yùn)動時，同步帶動抓持部件相對于固定部件滑動，并且抓持部件相對于固定部件滑動的方向與固定部件移動的方向相同。本發(fā)明提供的傳輸裝置，其不僅結(jié)構(gòu)簡單、易于控制且制造成本較低，而且傳輸距離較大。
【專利說明】一種傳輸裝置及等離子體加工設(shè)備

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及微電子加工【技術(shù)領(lǐng)域】，具體地，涉及一種傳輸裝置及等離子體加工設(shè)備。

【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體、LED芯片、液晶顯示屏等制造工藝中，需要將晶片或基板等被加工工件從大氣環(huán)境中逐步傳送到真空反應(yīng)腔室中進(jìn)行工藝處理，完成工藝后再從反應(yīng)腔室傳送出來。這一過程需要一套由傳輸裝置、真空設(shè)備和檢測設(shè)備等組成的傳輸系統(tǒng)，其中最重要就是傳輸裝置，這是一種能夠在大氣或真空環(huán)境中搬運(yùn)被加工工件的自動化機(jī)械手臂，因此也經(jīng)常被稱為傳輸機(jī)械手或機(jī)器人。
[0003]在傳輸被加工工件時，通常希望使用的傳輸裝置能夠滿足以下要求:1)傳輸距離要大，但體積要??；2)重復(fù)性精度高；3)較高的結(jié)構(gòu)剛度；4)性價比高，成本較低。而現(xiàn)有的傳輸裝置難以完全滿足上述所有要求。
[0004]如圖1 所不的一種常見的 SCARA機(jī)械臂(Selective Compliance Assembly RobotArm，選擇順應(yīng)性裝配機(jī)器手臂)，其模擬了人的胳臂結(jié)構(gòu)，采用兩段式關(guān)節(jié)手臂實(shí)現(xiàn)傳輸動作，具體地，機(jī)械臂包括轉(zhuǎn)向驅(qū)動機(jī)構(gòu)101、兩節(jié)關(guān)節(jié)臂102以及抓持部件103。其中，在兩節(jié)關(guān)節(jié)臂102的連接處設(shè)置有同步帶、鋼帶等的聯(lián)動部件(圖中未示出)，并且，兩節(jié)關(guān)節(jié)臂102中的其中一節(jié)的自由端與轉(zhuǎn)向驅(qū)動機(jī)構(gòu)101的驅(qū)動軸連接，其中另一節(jié)的自由端與抓持部件103可旋轉(zhuǎn)地連接。轉(zhuǎn)向驅(qū)動機(jī)構(gòu)101包括兩個旋轉(zhuǎn)電機(jī)，用以分別獨(dú)立地控制兩節(jié)關(guān)節(jié)臂102轉(zhuǎn)動相應(yīng)的角度，并且在轉(zhuǎn)動過程中，兩節(jié)關(guān)節(jié)臂102借助聯(lián)動部件實(shí)現(xiàn)同步聯(lián)動，從而帶動抓持部件103作直線運(yùn)動。容易理解，兩節(jié)關(guān)節(jié)臂102各自的轉(zhuǎn)動角度決定了抓持部件103作直線運(yùn)動的方向和位移。
[0005]在實(shí)際應(yīng)用中，當(dāng)上述機(jī)械臂處于收縮狀態(tài)時，其整體長度僅為一節(jié)關(guān)節(jié)臂的長度，而當(dāng)上述機(jī)械臂處于展開狀態(tài)時，其整體長度最大能夠達(dá)到兩節(jié)關(guān)節(jié)臂的長度之和，因此該機(jī)械臂具有結(jié)構(gòu)緊湊，傳輸距離大，動作靈活以及應(yīng)用廣泛等優(yōu)點(diǎn)。然而，這種機(jī)械臂在實(shí)際應(yīng)用中不可避免地存在以下問題:
[0006]其一，上述機(jī)械臂的兩節(jié)關(guān)節(jié)臂102為懸臂結(jié)構(gòu)，該結(jié)構(gòu)的剛度較差，且在運(yùn)動過程中會導(dǎo)致抓持部件103產(chǎn)生輕微擺動，影響傳送的精度；
[0007]其二，由于兩節(jié)關(guān)節(jié)臂102各自的轉(zhuǎn)動角度決定了抓持部件103作直線運(yùn)動的方向和位移，因而需要合成計(jì)算兩節(jié)關(guān)節(jié)臂102的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動才能獲得抓持部件103的直線運(yùn)動，這不僅使得運(yùn)算過程復(fù)雜，而且由于需要借助兩個旋轉(zhuǎn)電機(jī)進(jìn)行驅(qū)動，導(dǎo)致機(jī)械臂的結(jié)構(gòu)復(fù)雜，且制造成本較高。
[0008]圖2為現(xiàn)有技術(shù)中另一種常見的機(jī)械臂的結(jié)構(gòu)示意圖，請參閱圖2，其包括驅(qū)動源201 (包括旋轉(zhuǎn)電機(jī)和減速器)、絲杠202、抓持部件203和轉(zhuǎn)向驅(qū)動裝置204。其中，驅(qū)動源201與絲杠202連接，用以驅(qū)動絲杠202轉(zhuǎn)動；在絲杠202上設(shè)置有與之相配合的滑動部件(圖中未示出)，在絲杠202轉(zhuǎn)動時，該滑動部件可隨絲杠202的正、反轉(zhuǎn)而沿絲杠202的軸向作直線往復(fù)運(yùn)動；抓持部件203安裝于該滑動部件上，在滑動部件作直線往復(fù)運(yùn)動時，其帶動抓持部件203作直線往復(fù)運(yùn)動；轉(zhuǎn)向驅(qū)動裝置204安裝于絲杠202的下方，用以驅(qū)動整個機(jī)械臂轉(zhuǎn)動，從而可以改變抓持部件203的直線運(yùn)動的方向。
[0009]雖然上述機(jī)械臂的結(jié)構(gòu)簡單、易于控制且成本較低，但是，由于受到機(jī)械臂整體長度的限制，抓持部件203可移動的最大行程即為絲杠202在其軸向上的長度，導(dǎo)致機(jī)械臂的傳輸距離較短，從而可能無法滿足對傳輸距離要求較高的場合。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0010]本發(fā)明旨在至少解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問題之一，提出了一種傳輸裝置及等離子體加工設(shè)備，其不僅結(jié)構(gòu)簡單、易于控制且制造成本較低，而且傳輸距離較大。
[0011]本發(fā)明提供的一種傳輸裝置，用于傳輸被加工工件，所述傳輸裝置包括直線驅(qū)動單元、固定部件、抓持部件和間接傳動機(jī)構(gòu)，其中，所述直線驅(qū)動單元用于驅(qū)動位于其上的固定部件作直線往復(fù)運(yùn)動；所述抓持部件，位于所述固定部件上，并且與所述固定部件可相對滑動地連接；所述抓持部件用于抓取被加工工件；所述間接傳動機(jī)構(gòu)設(shè)置于所述固定部件上，其用于在所述直線驅(qū)動單元驅(qū)動所述固定部件作直線往復(fù)運(yùn)動時，同步帶動所述抓持部件相對于所述固定部件滑動，并且所述抓持部件相對于所述固定部件滑動的方向與所述固定部件移動的方向相同。
[0012]其中，所述間接傳動機(jī)構(gòu)包括:定固定件、動固定件、兩個傳動輪和撓性件，其中:所述兩個傳動輪固定在所述固定部件上，且沿所述固定部件的直線運(yùn)動方向間隔設(shè)置；所述撓性件為圍繞所述兩個傳動輪纏繞一周的環(huán)形結(jié)構(gòu)；所述定固定件分別與所述直線驅(qū)動單元和所述撓性件固定連接；所述動固定件分別與所述抓持部件和所述撓性件固定連接；其中，所述定固定件和動固定件分別位于所述兩個傳動輪之間的兩條所述撓性件上；所述抓持部件相對于所述固定部件滑動的距離與所述固定部件移動的距離相同；并且，所述定固定件和動固定件在所述撓性件上的位置被設(shè)置為:在所述直線驅(qū)動單元驅(qū)動所述固定部件完成直線運(yùn)動的最大行程的過程中，所述定固定件和動固定件均不會與所述兩個傳動輪中的任意一個發(fā)生碰撞。
[0013]其中，在所述固定部件上設(shè)置有直線導(dǎo)軌，并且在所述抓持部件上設(shè)置有和所述直線導(dǎo)軌滑動配合的第一滑動件。
[0014]其中，所述固定部件為一水平板，所述抓持部件與所述水平板滑動連接；所述兩個傳動輪均固定在所述水平板上，且所述兩個傳動輪的旋轉(zhuǎn)軸垂直于所述水平板所在平面；或者，所述固定部件為由水平板和豎直板形成的組合板，所述抓持部件與所述水平板滑動連接；所述兩個傳動輪固定在所述豎直板上，且二者的旋轉(zhuǎn)軸垂直于所述豎直板所在平面。
[0015]其中，所述撓性件為傳動帶，所述兩個傳動輪為帶輪；或者，所述撓性件為傳動鏈，所述兩個傳動輪為鏈輪；或者，所述撓性件為傳動繩，所述兩個傳動輪為繩輪。
[0016]其中，所述直線驅(qū)動單元包括旋轉(zhuǎn)電機(jī)、絲杠和第二滑動件，其中，所述絲杠與所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)的驅(qū)動軸固定連接；所述第二滑動件與所述固定部件固定連接，且與所述絲杠相配合；所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)用于驅(qū)動所述絲杠順時針或逆時針旋轉(zhuǎn)，以使所述絲杠帶動所述滑動件和固定部件作直線往復(fù)運(yùn)動。
[0017]其中，所述傳輸裝置還包括轉(zhuǎn)向驅(qū)動單元，所述轉(zhuǎn)向驅(qū)動單元用于驅(qū)動所述直線驅(qū)動單元、固定部件、抓持部件以及間接傳動機(jī)構(gòu)同時旋轉(zhuǎn)。
[0018]其中，所述傳輸裝置還包括安裝板，所述直線驅(qū)動單元、固定部件、抓持部件以及間接傳動機(jī)構(gòu)均通過所述安裝板與所述轉(zhuǎn)向驅(qū)動單元連接。
[0019]其中，所述轉(zhuǎn)向驅(qū)動單元，包括旋轉(zhuǎn)驅(qū)動源和傳動機(jī)構(gòu)，所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動源用于借助所述傳動機(jī)構(gòu)驅(qū)動所述直線驅(qū)動單元旋轉(zhuǎn)，所述傳動機(jī)構(gòu)，包括:支架和傳動組件，其中:所述支架位于所述安裝板的底部，且與所述安裝板可旋轉(zhuǎn)地連接；所述傳動組件采用齒輪傳動、帶傳動、鏈傳動、繩傳動或蝸輪蝸桿傳動的方式將來自所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動源的旋轉(zhuǎn)動力傳遞至所述安裝板。
[0020]其中，所述傳輸裝置還包括升降單元，所述升降單元用于驅(qū)動所述轉(zhuǎn)向驅(qū)動單元、直線驅(qū)動單元、固定部件、抓持部件、間接傳動機(jī)構(gòu)同時上升或下降。
[0021]本發(fā)明還提供一種等離子體加工設(shè)備，其包括傳輸裝置，用以傳輸被加工工件，其中，所述傳輸裝置采用了上述任一方案所述的傳輸裝置。
[0022]本發(fā)明具有以下有益效果:
[0023]本發(fā)明提供的傳輸裝置通過借助間接傳動機(jī)構(gòu)在直線驅(qū)動單元驅(qū)動固定部件作直線往復(fù)運(yùn)動時，同步帶動抓持部件相對于固定部件在與固定部件的直線運(yùn)動相同的方向上滑動，即，在固定部件帶動抓持部件移動的同時，抓持部件在撓性件的帶動下相對于固定部件同步滑動，且抓持部件相對于固定部件滑動的方向與固定部件移動的方向相同，這使得抓持部件的總傳輸距離為固定部件相對于直線驅(qū)動單元的位移與抓持部件相對于固定部件的位移之和，從而可以增大傳輸裝置的傳輸距離。而且，由于本發(fā)明提供的傳輸裝置通過在直線方向上的伸縮來進(jìn)行傳輸，這使得傳輸裝置的結(jié)構(gòu)簡單，易于控制，并且制造成本較低。
[0024]本發(fā)明提供的等離子體加工設(shè)備，其通過采用本發(fā)明提供的傳輸裝置，不僅可以增大傳輸被加工工件的傳輸距離，而且可以簡化設(shè)備的結(jié)構(gòu)，降低設(shè)備的制造成本。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0025]圖1為現(xiàn)有技術(shù)中的一種常見的機(jī)械臂的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0026]圖2為現(xiàn)有技術(shù)中另一種常見的機(jī)械臂的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0027]圖3為本發(fā)明第一實(shí)施例提供的傳輸裝置的立體圖；
[0028]圖4為本發(fā)明第一實(shí)施例提供的傳輸裝置的剖視圖；
[0029]圖5為本發(fā)明第一實(shí)施例提供的傳輸裝置的撓性件、動固定件和定固定件的相對運(yùn)動不意圖；
[0030]圖6為本發(fā)明第一實(shí)施例提供的傳輸裝置進(jìn)行傳輸?shù)膭幼鞣纸馐疽鈭D；
[0031]圖7為本發(fā)明第二實(shí)施例提供的傳輸裝置的立體圖；
[0032]圖8為本發(fā)明第三實(shí)施例提供的傳輸裝置的立體圖；以及
[0033]圖9為本發(fā)明第三實(shí)施例提供的傳輸裝置的剖視圖。

【具體實(shí)施方式】
[0034]為使本領(lǐng)域的技術(shù)人員更好地理解本發(fā)明的技術(shù)方案，下面結(jié)合附圖來對本發(fā)明提供的傳輸裝置及等離子體加工設(shè)備進(jìn)行詳細(xì)描述。
[0035]圖3為本發(fā)明第一實(shí)施例提供的傳輸裝置的立體圖。圖4為本發(fā)明第一實(shí)施例提供的傳輸裝置的剖視圖。請一并參閱圖3和圖4，傳輸裝置包括直線驅(qū)動單元、固定部件2、抓持部件3和間接傳動機(jī)構(gòu)4。其中，直線驅(qū)動單元用于驅(qū)動固定部件2做直線往復(fù)運(yùn)動，在本實(shí)施例中，直線驅(qū)動單元包括殼體301、旋轉(zhuǎn)電機(jī)309、絲杠11和第二滑動件12。其中，絲杠11與旋轉(zhuǎn)電機(jī)309的驅(qū)動軸固定連接，或者通過聯(lián)軸器與旋轉(zhuǎn)電機(jī)309的驅(qū)動軸固定連接；第二滑動件12與絲杠11相配合，且與固定部件2固定連接，在旋轉(zhuǎn)電機(jī)309的驅(qū)動下，絲杠11帶動第二滑動件12和與之固定連接的固定部件2—起沿絲杠11的軸向作直線往復(fù)運(yùn)動。
[0036]容易理解，可以借助旋轉(zhuǎn)電機(jī)309的正轉(zhuǎn)或反轉(zhuǎn)來使絲杠11順時針或逆時針自轉(zhuǎn)，從而實(shí)現(xiàn)第二滑動件12的直線往復(fù)運(yùn)動。優(yōu)選地，直線驅(qū)動單元還可以包括減速器308，其串接在旋轉(zhuǎn)電機(jī)309的驅(qū)動軸和絲杠11之間，用以降低旋轉(zhuǎn)電機(jī)309的轉(zhuǎn)速，并將其傳遞給絲杠11，從而可以使絲杠11獲得一個較低的轉(zhuǎn)速，以使第二滑動件12和固定部件2獲得理想的直線運(yùn)動速度。
[0037]固定部件2與抓持部件3可相對滑動地連接，且抓持部件3的滑動方向與固定部件2的直線運(yùn)動方向相同。在本實(shí)施例中，固定部件2與抓持部件3可相對滑動地連接的具體方式為:固定部件2為一水平板，在該水平板的上表面上設(shè)置有直線導(dǎo)軌304，并且對應(yīng)地，在抓持部件3上設(shè)置有與直線導(dǎo)軌304滑動配合的第一滑動件31，從而抓持部件3能夠借助該第一滑動件31沿直線導(dǎo)軌304滑動。容易理解，直線導(dǎo)軌304應(yīng)與絲杠11的軸向相互平行，以使抓持部件3的滑動方向能夠與固定部件2的直線運(yùn)動方向平行。優(yōu)選地，可以在直線導(dǎo)軌304的末端設(shè)置一個止擋塊302，用以防止第一滑動件31從直線導(dǎo)軌304滑出，導(dǎo)致抓持部件3脫落。
[0038]間接傳動機(jī)構(gòu)4設(shè)置在固定部件2上，其用于在直線驅(qū)動單元驅(qū)動固定部件2作直線往復(fù)運(yùn)動時，同步帶動抓持部件3相對于固定部件2滑動,并且使抓持部件3相對于固定部件2滑動的方向與固定部件2移動的方向相同。下面對間接傳動機(jī)構(gòu)4的具體結(jié)構(gòu)進(jìn)行詳細(xì)介紹，具體地，間接傳動機(jī)構(gòu)4包括兩個傳動輪311、318和撓性件316，在本實(shí)施例中，其分別為帶輪和傳動帶，其中，兩個傳動輪311、318的旋轉(zhuǎn)軸垂直地固定在上述固定部件2的上表面上，且二者沿固定部件2的直線運(yùn)動方向間隔設(shè)置；撓性件316為圍繞兩個傳動輪311、318纏繞一周的環(huán)形結(jié)構(gòu)；并且，在直線驅(qū)動單元的殼體301上設(shè)置有定固定件317，在第一滑動件31 (或抓持部件3)上設(shè)置有動固定件306，定固定件317和動固定件306均與撓性件316固定連接，并且定固定件317位于撓性件316的一側(cè)(B卩，圖3中撓性件316的右側(cè))處；動固定件306位于撓性件316另一側(cè)(B卩，圖3中撓性件316的左側(cè))。
[0039]下面結(jié)合圖5和圖6對采用上述結(jié)構(gòu)的間接傳動機(jī)構(gòu)4實(shí)現(xiàn)在直線驅(qū)動單元驅(qū)動固定部件2作直線往復(fù)運(yùn)動時，同步帶動抓持部件3相對于固定部件2滑動的具體原理進(jìn)行詳細(xì)描述。具體地，在直線驅(qū)動單元的驅(qū)動下，水平板會帶動固定在其上的抓持部件3以及間接傳動機(jī)構(gòu)4 一起作直線往復(fù)運(yùn)動，且水平板與直線驅(qū)動單元的殼體301之間會產(chǎn)生相對運(yùn)動，這使得兩端分別固定在撓性件316和殼體301上的定固定件317會拽動撓性件316圍繞兩個傳動輪311、318轉(zhuǎn)動，即，定固定件317會相對于兩個傳動輪311、318沿二者的中心連線移動，該移動的距離即為水平板相對于殼體301移動的距離，且該移動的方向與水平板相對于殼體301移動的方向相反。與此同時，被拽動的撓性件316將同步帶動兩端分別固定在撓性件316和第一滑動件31 (或抓持部件3)上的動固定件306，相對于兩個傳動輪311、318沿二者的中心連線移動，該移動的距離即為水平板相對于殼體301移動的距離，且該移動的方向與水平板相對于殼體301移動的方向相同，從而實(shí)現(xiàn)了在直線驅(qū)動單元驅(qū)動固定部件作直線往復(fù)運(yùn)動時，同步帶動抓持部件3相對于水平板滑動。
[0040]當(dāng)定固定件317和動固定件306在撓性件316上的位置處于如圖5中A圖所示的位置時，抓持部件3的傳輸距離Λ為0，如圖6中的A圖所示；當(dāng)定固定件317和動固定件306在撓性件316上的位置處于如圖5中B圖所示的位置時，抓持部件3的傳輸距離Λ為L，如圖6中的B圖所示，此時水平板相對于殼體301移動的距離以及抓持部件3相對于水平板移動的距離均為0.5L。當(dāng)定固定件317和動固定件306在撓性件316上的位置處于如圖5中C圖所示的位置時，抓持部件3的傳輸距離Λ為2L，如圖6中的C圖所示，此時水平板相對于殼體301移動的距離以及抓持部件3相對于水平板移動的距離均為L。由此可知，抓持部件3的傳輸距離Λ,即，抓持部件3相對于殼體301的總位移為水平板相對于殼體301的位移與抓持部件3相對于水平板的位移之和，即，為水平板相對于殼體301的位移的兩倍，從而可以增大傳輸裝置的傳輸距離。而且，由于上述傳輸裝置通過在直線方向上的伸縮來進(jìn)行傳輸，這使得傳輸裝置的結(jié)構(gòu)簡單，易于控制，并且制造成本較低。
[0041]容易理解，由于定固定件317或動固定件306沿兩個傳動輪311、318的中心連線移動的移動距離與水平板相對于殼體301移動的距離相等，因此，定固定件317和動固定件306在撓性件316上的位置應(yīng)被設(shè)置為:在直線驅(qū)動單元驅(qū)動水平板完成直線運(yùn)動的最大行程的過程中，定固定件317和動固定件306均不會與兩個傳動輪311、318中的任意一個發(fā)生碰撞。其具體設(shè)置方式可以為，即:當(dāng)抓持部件3的傳輸距離Λ為O時，位于定固定件317與傳動輪311之間的撓性件316的長度LI (如圖5中A圖所示)應(yīng)大于或等于水平板在絲杠11上滑動的最大行程，從而在抓持部件3的傳輸距離Λ逐漸增大的過程中，可以保證定固定件317不會因受到傳動輪311的阻礙而使水平板和抓持部件3均無法繼續(xù)移動。與之相類似的，當(dāng)抓持部件3的傳輸距離Λ為O時，動固定件306與傳動輪318之間的撓性件316的長度L2 (如圖5中A圖所示)也應(yīng)大于或等于水平板在絲杠11上的最大行程。
[0042]需要說明的是，在本實(shí)施例中，兩個傳動輪311、318和撓性件316分別為帶輪和傳動帶，但是本發(fā)明并不局限于此，在實(shí)際應(yīng)用中；兩個傳動輪311、318和撓性件316也可以分別為鏈輪和傳動鏈；或者，還可以分別為繩輪和傳動繩。
[0043]還需要說明的是，在本實(shí)施例中，直線驅(qū)動單元借助絲杠11和旋轉(zhuǎn)電機(jī)309驅(qū)動固定部件2作直線往復(fù)運(yùn)動，但是本發(fā)明并不局限于此，在實(shí)際應(yīng)用中，直線驅(qū)動單元還可以為直線電機(jī)等的其他可驅(qū)動固定部件2作直線往復(fù)運(yùn)動的機(jī)構(gòu)。
[0044]圖7為本發(fā)明第二實(shí)施例提供的傳輸裝置的立體圖。如圖7所示，本實(shí)施例提供的傳輸裝置與第一實(shí)施例相比，同樣包括直線驅(qū)動單元、固定部件2、抓持部件3和間接傳動機(jī)構(gòu)4。由于直線驅(qū)動單元、固定部件2、抓持部件3和間接傳動機(jī)構(gòu)4的結(jié)構(gòu)和功能在上述第一實(shí)施例中已有了詳細(xì)的描述，在此不再贅述。
[0045]下面僅就本實(shí)施例與第一實(shí)施例的不同之處進(jìn)行描述:具體地，在本實(shí)施例中，固定部件2為由水平板303與豎直板303’形成的組合板，并且間接傳動機(jī)構(gòu)4設(shè)置于豎直板303’上，其具體設(shè)置方式為:兩個傳動輪311、318固定在豎直板303’上，且沿固定部件2的直線運(yùn)動方向間隔設(shè)置，且其旋轉(zhuǎn)軸垂直于豎直板303’所在平面；撓性件316為圍繞兩個傳動輪311、318纏繞一周的傳動帶。由于間接傳動機(jī)構(gòu)4設(shè)置在豎直板303’上，這與第一實(shí)施例相比，可以節(jié)省傳輸裝置在水平方向上的尺寸，從而可以減小傳輸裝置的體積。
[0046]圖8為本發(fā)明第三實(shí)施例提供的傳輸裝置的立體圖。圖9為本發(fā)明第三實(shí)施例提供的傳輸裝置的剖視圖。請一并參閱圖8和圖9，本實(shí)施例提供的傳輸裝置與上述第一、第二實(shí)施例相比，同樣包括直線驅(qū)動單元、固定部件2、抓持部件3和間接傳動機(jī)構(gòu)4。由于直線驅(qū)動單元、固定部件2、抓持部件3和間接傳動機(jī)構(gòu)4的結(jié)構(gòu)和功能在上述第一、第二實(shí)施例中已有了詳細(xì)地描述，在此不再贅述。
[0047]下面僅對本實(shí)施例與第一、第二實(shí)施例的不同點(diǎn)進(jìn)行描述，具體地，本實(shí)施例提供的傳輸裝置還包括轉(zhuǎn)向驅(qū)動單元5，其用于驅(qū)動直線驅(qū)動單元、固定部件2、抓持部件3以及間接傳動機(jī)構(gòu)4同時旋轉(zhuǎn)，以改變抓持部件3的傳輸方向，從而可以使傳輸裝置實(shí)現(xiàn)在平面內(nèi)對被加工工件進(jìn)行傳輸。
[0048]下面對轉(zhuǎn)向驅(qū)動單元5的結(jié)構(gòu)進(jìn)行詳細(xì)地描述。具體地,轉(zhuǎn)向驅(qū)動單元5包括安裝板310、旋轉(zhuǎn)驅(qū)動源314和傳動機(jī)構(gòu)。其中，直線驅(qū)動單元、固定部件2、抓持部件3以及間接傳動機(jī)構(gòu)4均固定在安裝板310上；旋轉(zhuǎn)驅(qū)動源314用于借助傳動機(jī)構(gòu)驅(qū)動安裝板310及設(shè)置于其上的直線驅(qū)動單元、固定部件2、抓持部件3以及間接傳動機(jī)構(gòu)4旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動源314可以為旋轉(zhuǎn)電機(jī)。傳動機(jī)構(gòu)包括支架312和傳動組件，其中，支架312位于安裝板310的底部，且與其可旋轉(zhuǎn)地連接，在本實(shí)施例中，支架312與安裝板310可旋轉(zhuǎn)地連接的具體方式為:在安裝板310上設(shè)置有一轉(zhuǎn)軸324，并對應(yīng)地在支架312上設(shè)置有一通孔，轉(zhuǎn)軸324穿過該通孔，并借助固定在通孔內(nèi)的軸承320與支架312可旋轉(zhuǎn)地連接。
[0049]在本實(shí)施例中，傳動組件采用帶傳動方式將旋轉(zhuǎn)驅(qū)動源314輸出的動力傳遞給安裝板310，以使其相對于支架312圍繞轉(zhuǎn)軸324旋轉(zhuǎn)。采用帶傳動方式的傳動組件的具體結(jié)構(gòu)可以為:傳動組件包括小同步帶輪323、大同步帶輪321和環(huán)繞二者設(shè)置的同步帶322。其中，小同步帶輪323的旋轉(zhuǎn)軸與旋轉(zhuǎn)驅(qū)動源314的驅(qū)動軸連接；大同步帶輪321的旋轉(zhuǎn)軸與安裝板310的轉(zhuǎn)軸324連接，在旋轉(zhuǎn)驅(qū)動源314的驅(qū)動下，小同步帶輪323驅(qū)動同步帶322轉(zhuǎn)動，同步帶322帶動大同步帶輪321旋轉(zhuǎn),從而帶動安裝板310圍繞轉(zhuǎn)軸324旋轉(zhuǎn)。優(yōu)選地，在轉(zhuǎn)軸324內(nèi)設(shè)置有中心通孔，并且，在安裝板310的內(nèi)部設(shè)置有通道，該通道的一端與轉(zhuǎn)軸324中心通孔連通，另一端延伸至安裝板310的靠近旋轉(zhuǎn)電機(jī)309的外表面，旋轉(zhuǎn)電機(jī)309的線纜經(jīng)由該通道及中心通孔引出，從而可以避免在安裝板310圍繞轉(zhuǎn)軸324旋轉(zhuǎn)時，旋轉(zhuǎn)電機(jī)309的線纜纏繞。
[0050]需要說明的是，在本實(shí)施例中，傳動組件為由小同步帶輪323、同步帶322和大同步帶輪321組成的帶傳動機(jī)構(gòu)，但是，本發(fā)明并不限于此，在實(shí)際應(yīng)用中，傳動組件還可以采用齒輪傳動、鏈傳動、繩傳動或蝸輪蝸桿傳動等其他傳動方式將旋轉(zhuǎn)驅(qū)動源的旋轉(zhuǎn)動力傳遞至安裝板。
[0051]作為對本實(shí)施例提供的傳輸裝置的進(jìn)一步改進(jìn)，傳輸裝置還包括升降單元，用以驅(qū)動轉(zhuǎn)向驅(qū)動單元5、直線驅(qū)動單元、固定部件2、抓持部件3和間接傳動機(jī)構(gòu)4同時上升或下降，以改變抓持部件3的傳輸高度，從而可以使傳輸裝置實(shí)現(xiàn)在三維空間內(nèi)對被加工工件進(jìn)行傳輸。升降單元可以采用升降電機(jī)、升降氣缸等的升降驅(qū)動裝置。
[0052]綜上所述，本發(fā)明實(shí)施例提供的傳輸裝置，其通過借助間接傳動機(jī)構(gòu)4在直線驅(qū)動單元驅(qū)動固定部件2作直線往復(fù)運(yùn)動時，同步帶動抓持部件3相對于固定部件2在與固定部件2的直線運(yùn)動相同的方向上滑動，即，在固定部件2帶動抓持部件3移動的同時，抓持部件3在撓性件316的帶動下相對于固定部件2同步滑動，且抓持部件3相對于固定部件2滑動的方向和距離與固定部件2移動的方向和距離相同，這使得抓持部件3的總傳輸距離為固定部件2相對于直線驅(qū)動單元的位移與抓持部件3相對于固定部件2的位移之和，即，抓持部件3相對于固定部件2的位移的兩倍，從而可以增大傳輸裝置的傳輸距離。而且，由于本發(fā)明實(shí)施例提供的傳輸裝置通過在直線方向上的伸縮來進(jìn)行傳輸，這使得傳輸裝置的結(jié)構(gòu)簡單，易于控制，并且制造成本較低。
[0053]本實(shí)施例還提供一種等離子體加工設(shè)備，其包括用于傳輸被加工工件的傳輸裝置，該傳輸裝置采用了上述各個實(shí)施例提供的傳輸裝置。
[0054]本實(shí)施例提供的等離子體加工設(shè)備，其通過采用本實(shí)施例提供的上述傳輸裝置，不僅可以增大傳輸被加工工件的傳輸距離，而且可以簡化設(shè)備的結(jié)構(gòu)，降低設(shè)備的制造成本。
[0055]可以理解的是，以上實(shí)施方式僅僅是為了說明本發(fā)明的原理而采用的示例性實(shí)施方式，然而本發(fā)明并不局限于此。對于本領(lǐng)域內(nèi)的普通技術(shù)人員而言，在不脫離本發(fā)明的精神和實(shí)質(zhì)的情況下，可以做出各種變型和改進(jìn)，這些變型和改進(jìn)也視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種傳輸裝置，用于傳輸被加工工件，其特征在于，所述傳輸裝置包括直線驅(qū)動單元、固定部件、抓持部件和間接傳動機(jī)構(gòu)，其中， 所述直線驅(qū)動單元用于驅(qū)動位于其上的固定部件作直線往復(fù)運(yùn)動； 所述抓持部件，位于所述固定部件上，并且與所述固定部件可相對滑動地連接；所述抓持部件用于抓取被加工工件； 所述間接傳動機(jī)構(gòu)設(shè)置于所述固定部件上，其用于在所述直線驅(qū)動單元驅(qū)動所述固定部件作直線往復(fù)運(yùn)動時，同步帶動所述抓持部件相對于所述固定部件滑動，并且所述抓持部件相對于所述固定部件滑動的方向與所述固定部件移動的方向相同。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳輸裝置，其特征在于，所述間接傳動機(jī)構(gòu)包括:定固定件、動固定件、兩個傳動輪和撓性件，其中: 所述兩個傳動輪固定在所述固定部件上，且沿所述固定部件的直線運(yùn)動方向間隔設(shè)置； 所述撓性件為圍繞所述兩個傳動輪纏繞一周的環(huán)形結(jié)構(gòu)； 所述定固定件分別與所述直線驅(qū)動單元和所述撓性件固定連接； 所述動固定件分別與所述抓持部件和所述撓性件固定連接； 其中，所述定固定件和動固定件分別位于所述兩個傳動輪之間的兩條所述撓性件上；所述抓持部件相對于所述固定部件滑動的距離與所述固定部件移動的距離相同； 并且，所述定固定件和動固定件在所述撓性件上的位置被設(shè)置為:在所述直線驅(qū)動單元驅(qū)動所述固定部件完成直線運(yùn)動的最大行程的過程中，所述定固定件和動固定件均不會與所述兩個傳動輪中的任意一個發(fā)生碰撞。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳輸裝置，其特征在于，在所述固定部件上設(shè)置有直線導(dǎo)軌，并且在所述抓持部件上設(shè)置有和所述直線導(dǎo)軌滑動配合的第一滑動件。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的傳輸裝置，其特征在于，所述固定部件為一水平板，所述抓持部件與所述水平板滑動連接；所述兩個傳動輪均固定在所述水平板上，且所述兩個傳動輪的旋轉(zhuǎn)軸垂直于所述水平板所在平面；或者， 所述固定部件為由水平板和豎直板形成的組合板，所述抓持部件與所述水平板滑動連接；所述兩個傳動輪固定在所述豎直板上，且二者的旋轉(zhuǎn)軸垂直于所述豎直板所在平面。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的傳輸裝置，其特征在于，所述撓性件為傳動帶，所述兩個傳動輪為帶輪；或者， 所述撓性件為傳動鏈，所述兩個傳動輪為鏈輪；或者， 所述撓性件為傳動繩，所述兩個傳動輪為繩輪。
6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的傳輸裝置，其特征在于，所述直線驅(qū)動單元包括旋轉(zhuǎn)電機(jī)、絲杠和第二滑動件，其中， 所述絲杠與所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)的驅(qū)動軸固定連接； 所述第二滑動件與所述固定部件固定連接，且與所述絲杠相配合； 所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)用于驅(qū)動所述絲杠順時針或逆時針旋轉(zhuǎn)，以使所述絲杠帶動所述滑動件和固定部件作直線往復(fù)運(yùn)動。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳輸裝置，其特征在于，所述傳輸裝置還包括轉(zhuǎn)向驅(qū)動單元，所述轉(zhuǎn)向驅(qū)動單元用于驅(qū)動所述直線驅(qū)動單元、固定部件、抓持部件以及間接傳動機(jī)構(gòu)同時旋轉(zhuǎn)。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的傳輸裝置，其特征在于，所述傳輸裝置還包括安裝板，所述直線驅(qū)動單元、固定部件、抓持部件以及間接傳動機(jī)構(gòu)均通過所述安裝板與所述轉(zhuǎn)向驅(qū)動單元連接。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的傳輸裝置，其特征在于，所述轉(zhuǎn)向驅(qū)動單元，包括旋轉(zhuǎn)驅(qū)動源和傳動機(jī)構(gòu)，所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動源用于借助所述傳動機(jī)構(gòu)驅(qū)動所述直線驅(qū)動單元旋轉(zhuǎn)，所述傳動機(jī)構(gòu)，包括:支架和傳動組件，其中: 所述支架位于所述安裝板的底部，且與所述安裝板可旋轉(zhuǎn)地連接； 所述傳動組件采用齒輪傳動、帶傳動、鏈傳動、繩傳動或蝸輪蝸桿傳動的方式將來自所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動源的旋轉(zhuǎn)動力傳遞至所述安裝板。
10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的傳輸裝置，其特征在于，所述傳輸裝置還包括升降單元，所述升降單元用于驅(qū)動所述轉(zhuǎn)向驅(qū)動單元、直線驅(qū)動單元、固定部件、抓持部件、間接傳動機(jī)構(gòu)同時上升或下降。
11.一種等離子體加工設(shè)備，包括傳輸裝置，用以傳輸被加工工件，其特征在于，所述傳輸裝置采用了權(quán)利要求1-10中任意一項(xiàng)所述的傳輸裝置。
【文檔編號】B65G47/90GK104176491SQ201310196971
【公開日】2014年12月3日 申請日期:2013年5月23日 優(yōu)先權(quán)日:2013年5月23日
【發(fā)明者】張鵬 申請人:北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司