導(dǎo)輥設(shè)備的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種導(dǎo)輥設(shè)備，其包括：傳遞單元、多個第一輥、第二輥、帶、以及第二輥移動單元。傳遞單元支撐傳遞對象并且沿著傳遞方向?qū)鬟f對象進行傳遞。所述多個第一輥布置在傳遞對象的側(cè)向側(cè)部處、沿著傳遞方向間隔開、并且沿著傳遞方向引導(dǎo)傳遞對象。第二輥在傳遞對象的側(cè)向側(cè)部處布置在鄰近的第一輥之間。帶卷繞在鄰近的第一輥之中的關(guān)于傳遞方向布置在第二輥后方的第一輥以及第二輥兩者上。第二輥移動單元使第二輥在靠近傳遞對象的方向和離開傳遞對象的方向之間往復(fù)運動。
【專利說明】導(dǎo)輥設(shè)備
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種導(dǎo)輥設(shè)備，并且更具體地，涉及一種在相對的側(cè)部處引導(dǎo)傳遞對象使得傳遞對象能夠沿著傳遞方向正常地傳遞的導(dǎo)輥設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]當(dāng)制造諸如平面顯示板之類的顯示基板時，執(zhí)行例如淀積、清洗、干燥、蝕刻、曝光等各種工藝以在基板上形成圖型。此外，大多數(shù)這種工藝在用于執(zhí)行對應(yīng)工藝的工藝室中執(zhí)行，并且因此，必須對基板進行傳遞以進入相應(yīng)的工藝室中或當(dāng)在對應(yīng)的工藝室中的工藝完成時進行傳遞以從該工藝室中取出基板。
[0003]作為目前在基板傳遞設(shè)備中使用的基板傳遞方法，存在用于傳遞水平地支撐的基板的水平傳遞方法、用于傳遞豎向地支撐的基板的豎向傳遞方法、以及用于傳遞傾斜地支撐的基板的傾斜傳遞方法等。
[0004]在基板的傳遞過程中，如果基板正常地傳遞，則基板沿著傳遞方向成直線地行進。然而，由于基板傳遞設(shè)備的不平衡的旋轉(zhuǎn)力、基板傳遞設(shè)備的有缺陷的平整度等，基板可能并不沿著傳遞方向成直線地行進。因此，為了給基板不沿著傳遞方向成直線地行進的情形做準(zhǔn)備，在基板的相對側(cè)部處安裝導(dǎo)輥設(shè)備以引導(dǎo)基板的直線傳遞，從而使基板能夠正常地傳遞。
[0005]圖1為示出了傳統(tǒng)的導(dǎo)輥設(shè)備的示例的視圖。
[0006]參照圖1，傳統(tǒng)的導(dǎo)輥設(shè)備包括沿著傳遞方向Al以預(yù)定距離間隔開的多個導(dǎo)輥20，并且每個導(dǎo)輥20能夠不借助動力自由地旋轉(zhuǎn)。如果傳遞對象10在沿著傳遞方向Al移動時稍微歪斜地行進并且與導(dǎo)輥20相撞，則導(dǎo)輥20進行旋轉(zhuǎn)以使傳遞對象10能夠朝向相反的方向前進，從而再次沿著傳遞方向Al對傳遞對象10進行傳遞。
[0007]然而，如圖1的(b)中所示，如果傳遞對象10相對于傳遞方向Al過度歪斜地行進并且與導(dǎo)輥20相撞，則出現(xiàn)導(dǎo)輥20不再進行旋轉(zhuǎn)并且傳遞對象10被卡在導(dǎo)輥20中且被導(dǎo)輥20停止的問題。為了解決該問題，工人必須手動地控制導(dǎo)輥20以使傳遞對象10能夠正常地傳遞。
[0008]因此，如果傳遞對象被卡在導(dǎo)輥中并且不再沿著傳遞方向傳遞，由于必須停止工藝設(shè)備，故而降低了產(chǎn)品的生產(chǎn)效率，并且由于外力過度地施加到所傳遞的傳遞對象上，傳遞對象可能受到損壞。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0009]因此，本發(fā)明設(shè)想解決上述問題，并且本發(fā)明的方面是提供一種導(dǎo)輥設(shè)備，其除了包括用于引導(dǎo)傳遞對象的正常傳遞的輥以外，還包括能夠在靠近傳遞對象的方向上移動的輥，從而在即使當(dāng)傳遞對象相對于傳遞方向過度歪斜地行進時，仍然防止傳遞對象被卡在輥中并且防止傳遞對象不沿著傳遞方向傳遞。
[0010]根據(jù)本發(fā)明的方面，提供一種導(dǎo)輥設(shè)備，包括:傳遞單元，其沿著傳遞方向?qū)鬟f對象進行傳遞；多個第一輥，其布置在傳遞對象的側(cè)向側(cè)部處、沿著傳遞方向間隔開、并且沿著傳遞方向引導(dǎo)待傳遞的傳遞對象；第二輥，其在傳遞對象的側(cè)向側(cè)部處布置在鄰近的第一輥之間；帶，其卷繞在鄰近的第一輥之中的關(guān)于傳遞方向布置在第二輥后方的第一輥以及第二輥兩者上；第二輥移動單元，其使第二輥在靠近傳遞對象的方向和離開傳遞對象的方向之間往復(fù)運動；第一輥旋轉(zhuǎn)驅(qū)動器，其對第一輥進行旋轉(zhuǎn)以使卷繞在第一輥和第二輥上的帶旋轉(zhuǎn)，其中，當(dāng)傳遞對象被卡在帶中且被帶停止時的第一輥旋轉(zhuǎn)驅(qū)動器的轉(zhuǎn)矩定義為基準(zhǔn)轉(zhuǎn)矩，并且導(dǎo)輥設(shè)備還包括:轉(zhuǎn)矩傳感器，其檢測第一輥旋轉(zhuǎn)驅(qū)動器的轉(zhuǎn)矩；以及控制器，在由轉(zhuǎn)矩傳感器檢測的轉(zhuǎn)矩大于等于基準(zhǔn)轉(zhuǎn)矩的情況下，控制器對第二輥移動單元進行控制以使第二輥在離開傳遞對象的方向上移動，并且隨后使第二輥在靠近傳遞對象的方向上移動。
[0011 ] 導(dǎo)輥設(shè)備還可包括進入傳感器，其檢測傳遞對象的進入，其中，在進入傳感器檢測到傳感對象的進入后，第二輥由第二輥移動單元在靠近傳遞對象的方向上移動。
[0012]導(dǎo)輥設(shè)備還可包括彈簧構(gòu)件，其安裝在第二輥中并且沿著橫向于傳遞方向的方向朝向傳遞對象彈性地迫壓第二輥，從而在當(dāng)傳遞對象與第二輥或帶相撞時吸收震動。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0013]通過下文中結(jié)合附圖對示例性實施方式的說明，本發(fā)明的上述的和/或其他的方面將變得明顯且更易于理解，在附圖中:
[0014]圖1為示出了傳統(tǒng)導(dǎo)輥設(shè)備的示例的視圖；
[0015]圖2為示出了根據(jù)本發(fā)明的實施方式的導(dǎo)輥設(shè)備的視圖；
[0016]圖3為示出了由圖2的導(dǎo)輥設(shè)備的第一輥旋轉(zhuǎn)驅(qū)動器進行旋轉(zhuǎn)的第一輥、第二輥和帶的視圖；
[0017]圖4為說明了當(dāng)傳遞對象不沿著傳遞方向傳遞時圖2的導(dǎo)輥設(shè)備的第二輥的操作的視圖；以及
[0018]圖5為示出了圖2的導(dǎo)輥設(shè)備的彈簧構(gòu)件的視圖。
【具體實施方式】
[0019]下面，將參照附圖描述根據(jù)本發(fā)明的導(dǎo)輥設(shè)備的實施方式。
[0020]圖2為示出了根據(jù)本發(fā)明實施方式的導(dǎo)輥設(shè)備的視圖；圖3為示出了由圖2的導(dǎo)輥設(shè)備的第一輥旋轉(zhuǎn)驅(qū)動器進行旋轉(zhuǎn)的第一輥、第二輥和帶的視圖；圖4為說明了當(dāng)傳遞對象不沿著傳遞方向傳遞時圖2的導(dǎo)輥設(shè)備的第二輥的操作的視圖；以及圖5為示出了圖2的導(dǎo)輥設(shè)備的彈簧構(gòu)件的視圖。
[0021]參照圖2至圖5，在該實施方式中的導(dǎo)輥設(shè)備100包括傳遞單元110、多個第一輥120、第二輥130、帶140、第二輥移動單元(未示出)、第一輥旋轉(zhuǎn)驅(qū)動器(未示出)、控制器(未示出)、進入傳感器160以及彈簧構(gòu)件170，該導(dǎo)輥設(shè)備100在相對側(cè)部引導(dǎo)傳遞對象以使傳遞對象能夠沿著傳遞方向正常地進行傳遞。
[0022]傳遞單元110支撐傳遞對象10的底部并且沿著傳遞方向Al對傳遞對象10進行傳遞。傳遞單元110可包括馬達、沿著傳遞方向Al布置的滾珠絲杠和直線運動引導(dǎo)單元等，馬達供給用于旋轉(zhuǎn)滾珠絲杠的旋轉(zhuǎn)動力。傳遞單元110可根據(jù)馬達的旋轉(zhuǎn)方向沿著傳遞方向Al對傳遞對象10進行傳遞，或者在必要時沿著與傳遞方向Al相反的方向?qū)鬟f對象10進行傳遞。
[0023]在本說明書中，傳遞對象10既可以指在沒有基板托盤的情況下進行傳遞的基板本身，也可以指容納在基板托盤中的基板。
[0024]沿著傳遞方向Al引導(dǎo)待傳遞的傳遞對象10的多個第一輥120布置在傳遞對象10的側(cè)向側(cè)部處并且沿著傳遞方向Al間隔開。第一輥120可由不損壞傳遞對象10并且不使傳遞對象10產(chǎn)生靜電的材料制成。例如，第一輥120可由聚醚醚酮(PEEK)等制成。
[0025]第一輥120關(guān)于豎向地穿透中央部的旋轉(zhuǎn)軸可旋轉(zhuǎn)地安裝。
[0026]第二輥130在傳遞對象10的側(cè)向側(cè)部處布置在鄰近的第一輥120之間。類似地，第二輥130可由不損壞傳遞對象10并且不使傳遞對象10產(chǎn)生靜電的材料制成。例如，第二輥130可由聚醚醚酮(PEEK)等制成。第二輥130關(guān)于豎向地穿透中央部的旋轉(zhuǎn)軸可旋轉(zhuǎn)地安裝。
[0027]第二輥130可沿著傳遞方向Al安裝在所有的鄰近的輥120之間。替代性地，第二輥130可間斷地安裝成:在一些區(qū)域中，第二輥130安裝在鄰近的第一輥120之間；但在其他一些區(qū)域中，第二輥130不安裝在鄰近的第一輥120之間。
[0028]帶140卷繞在第一輥120和第二輥130上，并且與第一輥120和第二輥130 —起旋轉(zhuǎn)。如圖2中所示，帶140卷繞在鄰近的第一輥120之中的關(guān)于傳遞方向Al位于第二輥130后方的第一棍120上。
[0029]類似地，帶140可由不損壞傳遞對象10且不使傳遞對象10產(chǎn)生靜電的材料制成。
[0030]第二輥移動單元(未示出)使第二輥130沿著橫向于傳遞對象的傳遞方向Al的方向、在靠近傳遞對象的方向BI上或在離開傳遞對象的方向B2上往復(fù)運動。
[0031]在第二輥130在靠近傳遞對象的方向BI上移動的狀態(tài)下，將第一輥120的旋轉(zhuǎn)軸與第二輥130的旋轉(zhuǎn)軸連接的虛擬線傾斜于傳遞方向Al。另一方面，在第二輥130在離開傳遞對象的方向B2上移動的狀態(tài)下，將第一輥120的旋轉(zhuǎn)軸與第二輥130的旋轉(zhuǎn)軸連接的虛擬線與傳遞方向Al大致平行。
[0032]第二輥移動單元可由氣動缸、結(jié)合有滾珠絲杠和旋轉(zhuǎn)馬達的結(jié)構(gòu)體、線性馬達或類似的直線驅(qū)動單元實現(xiàn)。這種直線驅(qū)動單元可由具有本領(lǐng)域普通技術(shù)的人員容易地構(gòu)造而成，并且因此將省略對其的詳細說明。
[0033]第二輥移動單元可構(gòu)造成單獨地移動相應(yīng)的第二輥130，或?qū)⑦@多個第二輥130全部一起移動。
[0034]第一輥旋轉(zhuǎn)驅(qū)動器(未示出)對第一輥120進行旋轉(zhuǎn)并且因此使卷繞在第一輥120和第二輥130上的帶140旋轉(zhuǎn)。第一輥旋轉(zhuǎn)驅(qū)動器可包括馬達和動力傳輸單元，馬達供給用于使第一輥120旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)動力，動力傳輸單元用于將旋轉(zhuǎn)動力從馬達傳輸至第一輥120。這種構(gòu)造能夠由具有本領(lǐng)域普通技術(shù)的人員容易地實現(xiàn)，并且因此將省略對其的詳細說明。
[0035]第一輥旋轉(zhuǎn)驅(qū)動器可構(gòu)造成單獨地旋轉(zhuǎn)相應(yīng)的第一輥120，或同時旋轉(zhuǎn)多個第一輥 120。
[0036]控制器(未示出)對第二輥移動單元進行控制，從而在傳遞對象10被卡在帶140中的狀態(tài)下、當(dāng)即使第一輥120旋轉(zhuǎn)而傳遞對象10仍未在傳遞方向Al上傳遞而是被停止時，正常地對傳遞對象10進行傳遞。
[0037]第一輥旋轉(zhuǎn)驅(qū)動器設(shè)置有用于檢測第一輥旋轉(zhuǎn)驅(qū)動器的轉(zhuǎn)矩的轉(zhuǎn)矩傳感器(未示出)。在傳遞對象10不與帶140相撞的狀態(tài)下，不存在干涉帶140的旋轉(zhuǎn)的因素，并且因此，帶140能夠以第一輥旋轉(zhuǎn)驅(qū)動器的額定轉(zhuǎn)矩旋轉(zhuǎn)。然而，如圖4的(a)中所示，在傳遞對象10與帶140相撞并且被卡在帶140中且被帶140停止的狀態(tài)下，帶140的旋轉(zhuǎn)受到干涉，并且因此，第一輥旋轉(zhuǎn)驅(qū)動器的對帶140進行旋轉(zhuǎn)所需的轉(zhuǎn)矩增加。
[0038]此時，在傳遞對象10被卡在帶140中且被帶140停止的狀態(tài)下，大于第一輥旋轉(zhuǎn)驅(qū)動器的額定轉(zhuǎn)矩的轉(zhuǎn)矩將稱作基準(zhǔn)轉(zhuǎn)矩。
[0039]如果由轉(zhuǎn)矩傳感器檢測到的轉(zhuǎn)矩大于等于如上文在傳遞對象10被卡在帶140中且被帶140停止的狀態(tài)下定義的基準(zhǔn)轉(zhuǎn)矩，則控制器對第二輥移動單元進行控制以在圖4的(b)中所示的離開傳遞對象的方向B2上移動第二輥130，并且隨后，再次在圖4的(c)中所示的靠近傳遞對象的方向BI上移動第二輥130。
[0040]參照圖4的(C)，第二輥130在靠近傳遞對象的方向BI上移動時推動傳遞對象10的邊緣部，并且因此，傳遞對象10的偏離角在一定程度上得到抵消，使得傳遞對象10能夠返回其正常軌道并且能夠沿著傳遞方向Al傳遞。
[0041]進入傳感器160檢測傳遞對象10的進入。
[0042]在通過進入傳感器160檢測到傳遞對象10進入后，控制器對第二輥移動單元進行控制以在靠近傳遞對象的方向BI上移動第二輥130。
[0043]傳遞單元110可在與設(shè)置有進入傳感器160的端部相對的端部處設(shè)置有取出傳感器(未示出)。在取出傳感器檢測到傳遞對象10取出后，控制器可對第二輥移動單元進行控制以在離開傳遞對象的方向B2上移動第二輥130。
[0044]為了在傳遞對象10與第二輥130或帶140相撞時吸收震動，在第二輥130中設(shè)置有彈簧構(gòu)件170。
[0045]彈簧構(gòu)件170彈性地迫使第二輥130沿著橫向于傳遞方向Al的方向、在朝向傳遞對象10的方向BI上受到推動。當(dāng)傳遞對象10與第二輥130或帶140相撞時，彈簧構(gòu)件170的彈性在朝向傳遞對象10推動第二輥130的方向BI上起作用，并且由此對傳遞對象10的偏離角進行抵消，從而使傳遞對象10返回到傳遞方向Al。
[0046]除了包括用于引導(dǎo)傳遞對象進行正常地傳遞的第一輥外，具有根據(jù)實施方式的前述構(gòu)造的導(dǎo)輥設(shè)備還包括第二輥，第二輥能夠在靠近傳遞對象的方向上移動，從而具有即使傳遞對象相對于傳遞方向過度歪斜地行進也防止傳遞對象被卡在輥中且被輥停止的效果O
[0047]而且，具有根據(jù)實施方式的前述構(gòu)造的導(dǎo)輥設(shè)備對卷繞在第一輥和第二輥兩者上的帶進行旋轉(zhuǎn)，從而使歪斜地行進并且與帶相撞的傳遞對象能夠正常地返回傳遞方向。
[0048]而且，具有根據(jù)實施方式的前述構(gòu)造的導(dǎo)輥設(shè)備在傳遞對象被卡在帶中且被帶停止時，將第二輥拉回并且隨后讓第二輥向前行進，從而使被卡在帶中且被帶停止的傳遞對象能夠容易地返回傳遞方向。
[0049]而且，具有根據(jù)實施方式的前述構(gòu)造的導(dǎo)輥設(shè)備包括朝向傳遞對象彈性地迫壓第二棍子的彈簧構(gòu)件，從而使與帶相撞的傳遞對象能夠容易地返回傳遞方向。
[0050]根據(jù)本發(fā)明，即使在傳遞對象相對于傳遞方向過度歪斜地行進時，導(dǎo)輥設(shè)備防止傳遞對象被卡在棍中且被棍停止。
[0051]而且，在根據(jù)本發(fā)明的導(dǎo)輥設(shè)備中，不僅歪斜地行進并且與帶相撞的傳遞對象、而且被卡在帶中并且被帶停止的傳遞對象也能夠正常地且容易地返回傳遞方向。
[0052]雖然已經(jīng)示出并描繪了本發(fā)明的一些示例性實施方式，但本領(lǐng)域普通技術(shù)人員可以理解，在不脫離本發(fā)明的原理和精神的情況下可在這些實施方式中做出變化，本發(fā)明的原理和精神的范圍由所附的權(quán)利要求及其等同物限定。
【權(quán)利要求】
1.一種導(dǎo)輥設(shè)備，包括:傳遞單元，所述傳遞單元沿著傳遞方向?qū)鬟f對象進行傳遞；多個第一輥，所述多個第一輥布置在所述傳遞對象的側(cè)向側(cè)部處、沿著所述傳遞方向間隔開、并且沿著所述傳遞方向引導(dǎo)待傳遞的所述傳遞對象；第二輥，所述第二輥在所述傳遞對象的所述側(cè)向側(cè)部處布置在鄰近的所述第一輥之間；帶，所述帶卷繞在鄰近的所述第一輥之中的關(guān)于所述傳遞方向布置在所述第二輥后方的所述第一輥以及所述第二輥兩者上；第二輥移動單元，所述第二輥移動單元使所述第二輥在靠近所述傳遞對象的方向和離開所述傳遞對象的方向之間往復(fù)運動；第一輥旋轉(zhuǎn)驅(qū)動器，所述第一輥旋轉(zhuǎn)驅(qū)動器對所述第一輥進行旋轉(zhuǎn)以使卷繞在所述第一輥和所述第二輥兩者上的所述帶旋轉(zhuǎn)； 其中，當(dāng)所述傳遞對象被卡在所述帶中且被所述帶停止時的所述第一輥旋轉(zhuǎn)驅(qū)動器的轉(zhuǎn)矩定義為基準(zhǔn)轉(zhuǎn)矩，并且 所述導(dǎo)輥設(shè)備還包括: 轉(zhuǎn)矩傳感器，所述轉(zhuǎn)矩傳感器檢測所述第一輥旋轉(zhuǎn)驅(qū)動器的轉(zhuǎn)矩；以及 控制器，在由所述轉(zhuǎn)矩傳感器檢測到的轉(zhuǎn)矩大于等于所述基準(zhǔn)轉(zhuǎn)矩的情況下，所述控制器對所述第二輥移動單元進行控制以在離開所述傳遞對象的方向上移動所述第二輥并且隨后在靠近所述傳遞對象的方向上移動所述第二輥。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的導(dǎo)輥設(shè)備，還包括進入傳感器，所述進入傳感器檢測所述傳遞對象的進入； 其中，在所述進入傳感器檢測到所述傳感對象的進入后，所述第二輥由所述第二輥移動單元在靠近所述傳遞對象的方向上移動。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的導(dǎo)輥設(shè)備，還包括彈簧構(gòu)件，所述彈簧構(gòu)件安裝在所述第二輥中并且沿著橫向于所述傳遞方向的方向朝向所述傳遞對象彈性地迫壓所述第二輥，從而在所述傳遞對象與所述第二輥或所述帶相撞時吸收震動。
【文檔編號】B65G39/18GK103625876SQ201310367352
【公開日】2014年3月12日 申請日期:2013年8月21日 優(yōu)先權(quán)日:2012年8月22日
【發(fā)明者】宋旭, 樸明進, 姜明成, 鄭基澤 申請人:Snu 精密股份有限公司