物品保管設(shè)備的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種物品保管設(shè)備，其結(jié)構(gòu)簡單，并且容易進(jìn)行區(qū)域單位中設(shè)置的機(jī)器的維護(hù)作業(yè)。在多個區(qū)域用供給部分的每一個中設(shè)有第一切換閥，在多個收納部用供給部分的每一個中設(shè)有第二切換閥，將多個泄放路徑連接到惰性氣體供給路徑中的第一切換閥（69）設(shè)置位置的氣體供給方向的下游且第二切換閥設(shè)置位置的氣體供給方向的上游側(cè)，在多個泄放路徑的每一個中設(shè)有區(qū)域用泄放切換閥。
【專利說明】物品保管設(shè)備

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種物品保管設(shè)備，設(shè)有收納容器的多個收納部、向所述多個收納部的每一個供給惰性氣體的惰性氣體供給路徑、將由所述惰性氣體供給路徑供給到所述收納部的惰性氣體向收納在該收納部中的所述容器的內(nèi)部排放的排放部，所述多個收納部劃分為多個區(qū)域。

【背景技術(shù)】
[0002]日本特開平11-168135號公報(專利文獻(xiàn)I)中公開了上述物品保管設(shè)備的一個例子。專利文獻(xiàn)I的物品保管設(shè)備構(gòu)造成具備收納容器的多個收納部、將氮氣或氬氣等惰性氣體供給至多個收納部的每一個的惰性氣體供給路徑，由惰性氣體供給路徑向排放部供給惰性氣體，從該排放部排放惰性氣體，向收納于收納部的容器內(nèi)供給惰性氣體。
[0003]在上述專利文獻(xiàn)I的物品保管設(shè)備中，在容器已收納于收納部時向容器內(nèi)供給惰性氣體。由此，將對半導(dǎo)體基板的品質(zhì)管理不利的氧氣和水蒸氣等從容器內(nèi)排出，抑制收容在容器中的半導(dǎo)體基板的氧化等不利情況的發(fā)生。
[0004]已知這樣的將惰性氣體供給至收納在收容部的容器內(nèi)，防止容器內(nèi)的物品的品質(zhì)劣化的物品保管設(shè)備。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]解決問題的手段
在上述專利文獻(xiàn)I的物品保管設(shè)備中，設(shè)有6個收納部，該6個收納部劃分為兩個區(qū)域。并且，兩個區(qū)域的每一個分別設(shè)有惰性氣體供給路徑。因此，兩路惰性氣體供給路徑的每一個中設(shè)有惰性氣體供給源，從這兩個供給源向兩路惰性氣體供給路徑分別供給惰性氣體。
[0006]在這樣的物品保管設(shè)備中，可以考慮共同的基干供給部分連接到兩路惰性氣體供給路徑，由單一的氣體供給源向?qū)儆趦蓞^(qū)域的收納部供給惰性氣體，由此減少供給源的數(shù)量，能夠謀求物品保管設(shè)備的結(jié)構(gòu)的簡化。
[0007]在構(gòu)成上述那樣的物品保管設(shè)備的情況下，例如，在區(qū)域單位中設(shè)置的主閥21發(fā)生故障而更換該主閥21時，需要對于設(shè)有主閥21的惰性氣體供給路徑停止惰性氣體的供給，并且將以壓縮的狀態(tài)殘留在該惰性氣體供給路徑中的惰性氣體的一部分排出至外部，使惰性氣體供給路徑內(nèi)的壓力與外部壓力相符合(排壓)。但是，兩路惰性氣體供給路徑連接到共同的基干供給部分，為了停止惰性氣體的供給而停止基干供給部分的惰性氣體的供給，則兩路惰性氣體的供給都停止。結(jié)果是，對于物品保管設(shè)備全部收納部的惰性氣體的供給停止。因此，即使在更換區(qū)域單位中所設(shè)的機(jī)器的情況下，也需要對于物品保管設(shè)備的全部收納部停止惰性氣體的供給。
[0008]另外，由于在更換上述機(jī)器時，惰性氣體供給路徑中可能混入不純物，再次運轉(zhuǎn)前需要進(jìn)行使惰性氣體在惰性氣體供給路徑中流通，將惰性氣體和不純物排出至外部的預(yù)備運轉(zhuǎn)。此時，如果將在惰性氣體供給路徑中流通的惰性氣體從排放部排放，如果容器正收納于收納部，則不純物可能隨著從排放部排放的惰性氣體一起混入容器中。因此，在進(jìn)行預(yù)備運轉(zhuǎn)時，需要預(yù)先從收納部取出容器，存在為預(yù)備運轉(zhuǎn)而進(jìn)行的事前準(zhǔn)備作業(yè)繁瑣的問題。
[0009]這樣，在構(gòu)成上述物品保管設(shè)備時，能夠簡單地構(gòu)成物品保管設(shè)備，但在更換區(qū)域單位所設(shè)機(jī)器的情況下對設(shè)置該機(jī)器的區(qū)域之外的區(qū)域也產(chǎn)生影響，因此難以進(jìn)行機(jī)器的維護(hù)作業(yè)。
[0010]鑒于上述背景，期望實現(xiàn)一種物品保管設(shè)備，其結(jié)構(gòu)簡單并且容易進(jìn)行區(qū)域單位中所設(shè)機(jī)器的維護(hù)作業(yè)。
[0011]本發(fā)明的物品保管設(shè)備具備:收納容器的多個收納部；向所述多個收納部中的每一個供給惰性氣體的惰性氣體供給路徑；排放部，所述排放部將由所述惰性氣體供給路徑供給至所述收納部的惰性氣體排放至收納于該收納部的所述容器的內(nèi)部；其中，所述多個收納部被劃分為多個區(qū)域，所述惰性氣體供給路徑具備:基干供給部分；多個區(qū)域用供給部分，所述多個區(qū)域用供給部分從所述基干供給部分向著所述多個區(qū)域的每一個分支，將在所述基干供給部分中流通的惰性氣體供給至所述多個區(qū)域中的每一個；多個收納部用供給部分，所述多個收納部用供給部分將在所述區(qū)域用供給部分中流通的惰性氣體分別供給至與該區(qū)域用供給部分對應(yīng)的所述區(qū)域所屬的所述多個收納部，使惰性氣體從所述排放部排放，所述物品保管設(shè)備還具備:第一切換閥，設(shè)在所述多個區(qū)域用供給部分的每一個中，能夠自由切換為惰性氣體能夠流通的打開狀態(tài)和不能流通的關(guān)閉狀態(tài)；第二切換閥，所述第二切換閥設(shè)置在所述多個區(qū)域用供給部分的每一個中的所述第一切換閥設(shè)置位置的氣體供給方向下游側(cè)，或者設(shè)置在所述多個收納部用供給部分的每一個中，能夠自由切換為惰性氣體能夠流通的打開狀態(tài)和不能流通的關(guān)閉狀態(tài)；多個泄放路徑，所述多個泄放路徑與所述多個區(qū)域用供給部分的每一個連接，用于將惰性氣體從所述區(qū)域用供給部分排出，所述多個泄放路徑連接在所述惰性氣體供給路徑中的所述第一切換閥設(shè)置位置的所述氣體供給方向的下游側(cè)、所述第二切換閥設(shè)置位置的所述氣體供給方向的上游側(cè)，所述多個泄放路徑的每一個中設(shè)有區(qū)域用泄放切換閥，所述區(qū)域用泄放切換閥自由切換為惰性氣體能夠流通的打開狀態(tài)和不能流通的關(guān)閉狀態(tài)。
[0012]根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，惰性氣體供給路徑將來自基干供給部分的惰性氣體通過多個區(qū)域用供給部分而分別供給至多個區(qū)域，關(guān)于區(qū)域用供給部分的每一個，將在區(qū)域用供給部分中流通的惰性氣體通過多個收納部用供給部分分別供給至多個收納部。因此，能夠利用一個惰性氣體供給路徑向多個區(qū)域所屬的多個收納部的每一個供給惰性氣體，因此與多個區(qū)域中的每一個分別設(shè)置惰性氣體供給路徑的情況相比，能夠謀求物品保管設(shè)備的結(jié)構(gòu)的簡化。
[0013]并且，區(qū)域用供給部分中設(shè)有第一切換閥，另外，區(qū)域用供給部分或多個收納部用供給部分的每一個中設(shè)有第二切換閥。
[0014]因此，通過將第一切換閥和設(shè)在區(qū)域用供給部分中的第二切換閥或設(shè)在多個收納部用供給部分的每一個中的第二切換閥切換為關(guān)閉狀態(tài)和打開狀態(tài)，能夠在區(qū)域單位中切換向收納部供給惰性氣體的狀態(tài)和不供給狀態(tài)。
[0015]泄放路徑連接在第一切換閥設(shè)置位置的氣體供給方向的下游側(cè)且在第二切換閥設(shè)置位置的氣體供給方向的上游側(cè)部分(以下，稱為區(qū)域的對象部分)。因此，通過將第一切換閥和第二切換閥切換為關(guān)閉狀態(tài)，能夠在區(qū)域單位中停止對收納部的惰性氣體供給，通過將區(qū)域用泄放切換閥切換為打開狀態(tài)，能夠?qū)^(qū)域的對象部分中殘留的惰性氣體從泄放路徑排出，僅對于區(qū)域的對象部分排壓。
[0016]這樣，在更換區(qū)域的對象部分中設(shè)置的機(jī)器的情況下，能夠?qū)υ搮^(qū)域停止惰性氣體的供給而排壓，并且對其它區(qū)域繼續(xù)惰性氣體的供給。
[0017]另外，通過將第一切換閥和區(qū)域用泄放切換閥切換為打開狀態(tài)，將第二切換閥切換為關(guān)閉狀態(tài)，能夠?qū)幕晒┙o部分供給至區(qū)域的對象部分的惰性氣體從泄放路徑排出。因此，例如，在更換區(qū)域單位中設(shè)置的機(jī)器的情況下，為了除去該交換時混入的不純物，在再次運轉(zhuǎn)前使惰性氣體在惰性氣體供給路徑的區(qū)域?qū)ο蟛糠种辛魍?、將惰性氣體和不純物排出至外部的預(yù)備運轉(zhuǎn)情況下，惰性氣體不從排放部排放，能夠抑制不純物隨著從排放部排放的惰性氣體混入容器中。結(jié)果是，在預(yù)備運轉(zhuǎn)時，不需要取出收納在收納部中的容器，能夠降低事前準(zhǔn)備作業(yè)的繁雜程度。
[0018]這樣，能夠簡單地構(gòu)成物品保管設(shè)備，并且在更換區(qū)域單位中設(shè)置的機(jī)器的情況下，降低了對于設(shè)置該機(jī)器的區(qū)域之外的區(qū)域的影響，因此容易進(jìn)行機(jī)器的更換等維護(hù)作業(yè)。
[0019]以下說明本發(fā)明的優(yōu)選實施方式的例子。
[0020]本發(fā)明的物品保管設(shè)備的實施方式中，優(yōu)選的是，設(shè)有壁體，該壁體覆蓋設(shè)置了所述多個收納部的設(shè)置空間，所述區(qū)域用泄放切換閥由人為操作而切換至所述打開狀態(tài)和所述關(guān)閉狀態(tài)的人為操作式切換閥構(gòu)成，并且設(shè)在所述壁體的外部。
[0021]根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，作業(yè)者通過將區(qū)域用泄放切換閥切換為打開狀態(tài)，能夠使供給至區(qū)域用供給部分的惰性氣體從泄放路徑排出，對在該區(qū)域用供給部分中流通的惰性氣體進(jìn)行采樣。
[0022]另外，存在從容器排出的惰性氣體充滿設(shè)置空間的情況，通過將區(qū)域用泄放切換閥設(shè)置在壁體的外部，作業(yè)者能夠不進(jìn)入設(shè)置空間地切換區(qū)域用泄放切換閥。
[0023]本發(fā)明的物品保管設(shè)備的實施方式中，優(yōu)選的是，設(shè)有合流用泄放路徑，所述合流用泄放路徑連接在所述多個泄放路徑的每一個中的所述區(qū)域用泄放切換閥設(shè)置位置的所述氣體排出方向的下游側(cè)，所述合流用泄放路徑中設(shè)有合流用泄放切換閥，所述合流用泄放切換閥由人為操作而自由切換為惰性氣體能夠流通的打開狀態(tài)和不能流通的關(guān)閉狀態(tài)，所述合流用泄放切換閥設(shè)在所述壁體的外部。
[0024]根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，作業(yè)者能夠不進(jìn)入設(shè)置空間地切換區(qū)域用泄放切換閥和合流用泄放切換閥，通過將區(qū)域用泄放切換閥和合流用泄放切換閥切換為打開狀態(tài)，能夠?qū)⒍栊詺怏w在區(qū)域單位內(nèi)排出。
[0025]并且，人為操作式切換閥二重設(shè)置區(qū)域用泄放切換閥和合流用泄放切換閥，只要兩個切換閥中的至少一個被切換為關(guān)閉狀態(tài)，就能夠停止惰性氣體的排出，因此能夠抑制人為失誤忘記將切換閥切換為關(guān)閉狀態(tài)導(dǎo)致的惰性氣體的排出。
[0026]本發(fā)明的物品保管設(shè)備的實施方式中，優(yōu)選的是，設(shè)有與所述基干供給部分連接的基干用泄放路徑，所述基干用泄放路徑中具備基干用泄放切換閥，其自由切換為惰性氣體能夠流通的打開狀態(tài)和不能流通的關(guān)閉狀態(tài)。
[0027]根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，作業(yè)者通過將基干用泄放切換閥切換為打開狀態(tài)，能夠使供給至基干供給部分的惰性氣體從基干用泄放路徑排出，能夠?qū)υ诨捎霉┙o部分中流通的惰性氣體進(jìn)行采樣。
[0028]并且，基于從區(qū)域單位內(nèi)設(shè)置的泄放路徑排出的采樣的檢測結(jié)果和基于從基干用泄放路徑排出的采樣的檢測結(jié)果，能夠判斷基干供給部分中是否存在污染源、區(qū)域用供給部分中是否存在污染源，能夠獲得污染源的特別有利的信息。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0029]圖1是物品保管設(shè)備的縱截側(cè)面圖。
[0030]圖2是顯不同一設(shè)備的一部分的縱截正面圖。
[0031]圖3是收納部的立體圖。
[0032]圖4是收納部的正面圖。
[0033]圖5是顯示向區(qū)域供給惰性氣體的供給方式的圖。
[0034]圖6是顯示基干供給部分和基干用泄放路徑的圖。
[0035]圖7是顯示區(qū)域用供給部分和區(qū)域用泄放路徑的圖。
[0036]圖8是顯示收納部用供給部分的圖。
[0037]圖9是控制框圖。
[0038]符號說明 1i排放部 1S收納部 50容器
60惰性氣體供給路徑 61基干供給部分 62區(qū)域用供給部分 63收納部用供給部分 69第一切換閥 74第二切換閥 81基干用泄放路徑 82a泄放路徑 82b合流用泄放路徑 83基干用泄放切換閥 84區(qū)域用泄放切換閥 85合流用泄放切換閥 K壁體 W基板 CH區(qū)域。

【具體實施方式】
[0039]以下，基于【專利附圖】

【附圖說明】本發(fā)明的實施方式。
[0040]整體結(jié)構(gòu)如圖1所示，物品保管設(shè)備中設(shè)有具備多個收納容器50的收納部1S的保管架10、搬送容器50的堆垛起重機(jī)20、覆蓋設(shè)置有保管架10 (多個收納部10S)和堆垛起重機(jī)20的設(shè)置空間的壁體K、以貫通壁體K的狀態(tài)配設(shè)的載置搬送容器50的出入庫輸送機(jī)CV。
[0041]此外，保管架10以相對狀態(tài)成對設(shè)置。另外，在本實施方式中，保管架10將收容半導(dǎo)體基板W (以下稱為基板W)的FOUP (Front Opening Unified Pod)作為容器50保管。
[0042]容器50的結(jié)構(gòu)
如圖4所示，容器50具備殼體51和蓋體52，殼體51具備用于使基板W進(jìn)出的開口，蓋體52是關(guān)閉殼體51的開口的自由裝拆的蓋體52。
[0043]如圖1、圖2和圖4所示，在殼體51的上表面形成由升降式搬送車D把持的頂部凸緣53。另外，在殼體51的底表面設(shè)有用于將作為惰性氣體的氮氣注入容器50內(nèi)的給氣口50?以及用于將氮氣從容器50內(nèi)排出的排氣口 50ο。盡管圖示省略了，但給氣口 50i設(shè)有注入側(cè)開閉閥，排氣口 50ο設(shè)有排出側(cè)開閉閥。
[0044]即，容器50構(gòu)成為，在收容了基板W的狀態(tài)下，開口由蓋體52關(guān)閉，給氣口 50i以及排氣口 50ο分別由開閉閥關(guān)閉，由此具有氣密性。
[0045]給氣口 50i的注入側(cè)開閉閥被彈簧等施力體向著閉閥側(cè)施力，供給到給氣口 50i的氮氣的排放壓力若變?yōu)楸辉O(shè)定成高于大氣壓值的設(shè)定開閥壓力以上時，注入側(cè)開閉閥借助于其壓力而開閥。
[0046]另外，排氣口 50ο的排出側(cè)開閉閥被彈簧等施力體向著閉閥側(cè)施力，容器50內(nèi)部的壓力若變?yōu)楸辉O(shè)定成高于大氣壓值的設(shè)定開閥壓力以上時，排出側(cè)開閉閥借助于其壓力而開閥。
[0047]堆垛起重機(jī)20的結(jié)構(gòu)
如圖1所示，堆垛起重機(jī)20具備走行臺車21、立柱22、上部框23和升降臺24，走行臺車21在保管架10的前表面?zhèn)妊刂９芗?0的架橫向?qū)挾确较蜃咝幸苿?，立?2立設(shè)在該走行臺車21上，上部框23設(shè)在立柱22的上端并與未圖示的上部導(dǎo)軌卡合，升降臺24在被上述立柱22引導(dǎo)的狀態(tài)下升降移動。
[0048]升降臺24上裝備有相對于收納部1S或出入庫輸送機(jī)CV移載容器50的移載裝置25。
[0049]并且，堆垛起重機(jī)20通過走行臺車21的走行移動、升降臺24的升降移動以及移載裝置25的移載動作，執(zhí)行將出入庫輸送機(jī)CV上的容器50向收納部1S搬送的入庫作業(yè)、將收納部1S的容器50向出入庫輸送機(jī)CV上搬送的出庫作業(yè)、以及將收納部1S的容器50向其它的收納部1S搬送的撤空作業(yè)。
[0050]收納部1S的結(jié)構(gòu)
如圖2所示，在保管架10上，沿上下方向及架橫向?qū)挾确较蚺帕械卦O(shè)有多個收納部1S。如果加以說明的話，在本實施方式中，在保管架10上沿上下方向8行、架橫向?qū)挾确较?列(圖2中僅示出了 4列)地排列設(shè)有收納部10S。S卩，保管架10上設(shè)有72個收納部10S。
[0051]并且，如圖5所示，作為上下方向排列設(shè)置的4行、架橫向?qū)挾确较蚺帕性O(shè)置的3列共計12個收納部1S屬于一個區(qū)域CH的收納部10S，72個收納部1S被區(qū)分為屬于6個區(qū)域CH中的一個。這樣，設(shè)在保管架10上的多個收納部1S被區(qū)分為多個(本例中為6個)區(qū)域CH。
[0052]如圖3所示，在多個收納部1S的各個上具備載置支撐容器50的載置支撐部10a。并且，收納部1S以將容器50載置支撐在載置支撐部1a上的狀態(tài)收納容器50。
[0053]另外，在載置支撐部1a上設(shè)有多個(本例中為3個)定位突起1b和存貨傳感器10z，定位突起1b與形成在容器50的下表面部的多個(本例中為3個)被卡合部(未圖示)卡合，將該容器50定位在規(guī)定位置，存貨傳感器1z檢測容器50是否載置在載置支撐部1a上(即，容器50是否收納在收納部10S)。在本例中，兩個存貨傳感器1z設(shè)在載置支撐部1a上。
[0054]另外，如圖3和圖4所示，載置支撐部1a上設(shè)有排放噴嘴1i和排出用通氣體10ο，排放噴嘴1i作為向收納在收納部1S的容器50的內(nèi)部供給氮氣的排放部，排出用通氣體10使得從容器50的內(nèi)部排出的氣體流通。
[0055]如圖4所示，排放噴嘴1i設(shè)置在容器50載置于載置支撐部1a上的規(guī)定位置的狀態(tài)下與該容器50的下表面部具備的給氣口 50i嵌合的部位。另外，排出用通氣體10設(shè)置在容器50載置于載置支撐部1a上的規(guī)定位置的狀態(tài)下與該容器50的下表面部具備的排氣口 50ο嵌合的部位。
[0056]即，如果容器50收納在收納部1S中并且載置在載置支撐部10a，則水平方向的位置由定位突起1b定位在規(guī)定位置，并且排放噴嘴1i與給氣口 50i連接為嵌合狀態(tài)，并且排出用通氣體10與排氣口 50ο連接為嵌合狀態(tài)。
[0057]并且，通過在容器50載置支撐于載置支撐部1a的狀態(tài)下從排放噴嘴1i排放出設(shè)定為比大氣壓更高值的設(shè)定值以上的高壓氮氣，由容器50的給氣口 50i將氮氣注入容器50的內(nèi)部，由容器50的排氣口 50ο將容器50內(nèi)的氣體排出至外部。
[0058]氮氣供給結(jié)構(gòu)
如圖5-圖8所示，在物品保管設(shè)備中設(shè)有作為將氮氣供給至多個收納部1S的惰性氣體供給路徑的氮氣供給路徑60。并且，該氮氣供給路徑60僅相對于一對保管架10中的一個設(shè)置，僅向該一個保管架10供給氮氣。接著，說明該氮氣供給路徑60。氮氣供給路徑60具備與圖外的氮氣供給源連接的基干供給部分61、從該基干供給部分61對應(yīng)于區(qū)域CH而分支的區(qū)域用供給部分62、以及從該區(qū)域用供給部分62進(jìn)一步對應(yīng)于收納部1S而分支的收納部用供給部分63。
[0059]順便指出，圖5是顯示對于各個區(qū)域CH供給氮氣的結(jié)構(gòu)的圖。圖6-圖8是部分地顯示氮氣供給路徑60的圖。順便指出，圖6和圖7中，以比其它旁通路徑77和氮氣泄放路徑80 (基干用泄放路徑81和區(qū)域用泄放路徑82)更粗的線來圖示氮氣供給路徑60。
[0060]其中，在說明氮氣供給路徑60時，將氮氣從供給源向著排放噴嘴1i流通的方向稱為氣體供給方向，基于該氣體供給方向的流動，定義氣體供給方向的上游和下游地進(jìn)行說明。
[0061]基干供給部分
如圖6所示，在基干供給部分61的基干設(shè)置部61a中，從氣體供給方向的上游依次設(shè)置有第一基干用手動閥65、基干用控制閥66、第二基干用手動閥67。順便指出，在基干供給部分61中，圖6中箭頭A所示的方向為氣體供給方向。
[0062]第一基干用手動閥65、基干用控制閥66、第二基干用手動閥67中的每一個都構(gòu)成為自由地切換為氮氣能夠從基干供給部分61流通至區(qū)域用供給部分62的打開狀態(tài)和不能夠流通的關(guān)閉狀態(tài)。基干用控制閥66基于控制裝置H的控制指令而被分別切換操作為打開狀態(tài)或關(guān)閉狀態(tài)。另外，第一基干用手動閥65和第二基干用手動閥67通過作業(yè)者的人為操作而被切換操作為關(guān)閉狀態(tài)和打開狀態(tài)。
[0063]并且，通過將第一基干用手動閥65、基干用控制閥66和第二基干用手動閥67中的每一個切換為打開狀態(tài)，氮氣從基干供給部分61向區(qū)域用供給部分62的流通成為可能狀態(tài)，通過將第一基干用手動閥65、基干用控制閥66和第二基干用手動閥67中的至少一個切換為關(guān)閉狀態(tài)，則氮氣從基干供給部分61向區(qū)域用供給部分62的流通成為不能狀態(tài)。
[0064]區(qū)域用供給部分
如圖5所示，區(qū)域用供給部分62被連接到基干連接部61b，該基干連接部61b位于基干供給部分61的基干設(shè)置部61a的下游側(cè)。如果加以說明的話，在氮氣供給路徑60中具有與區(qū)域CH數(shù)目相同路徑數(shù)的區(qū)域用供給部分62，在本例中，基干供給部分61的基干連接部61b連接有6路區(qū)域用供給部分62。并且，各個區(qū)域用供給部分62的區(qū)域用連接部62b被分支為與區(qū)域CH的收納部1S的行數(shù)相同的4路。順便指出，在區(qū)域用供給部分62中，圖7中箭頭A所示的方向為氣體供給方向。另外，區(qū)域用供給部分62是比基干供給部分61更細(xì)的配管尺寸。
[0065]如圖7所示，區(qū)域用供給部分62的區(qū)域用設(shè)置部62a中，從氣體供給方向的上游依次設(shè)有區(qū)域用手動閥69、壓力調(diào)整閥70、壓力檢測傳感器71、區(qū)域用控制閥72。其中，在本實施方式中，區(qū)域用手動閥69相當(dāng)于本發(fā)明的第一切換閥。
[0066]區(qū)域用手動閥69和區(qū)域用控制閥72構(gòu)成為在氮氣能夠從區(qū)域用供給部分62流通至收納部用供給部分63的打開狀態(tài)和不能流通的關(guān)閉狀態(tài)之間切換。區(qū)域用控制閥72基于控制裝置H的控制指令而被分別切換操作為打開狀態(tài)或關(guān)閉狀態(tài)。另外，區(qū)域用手動閥69由作業(yè)者的人為操作切換操作為關(guān)閉狀態(tài)和打開狀態(tài)。
[0067]并且，通過將區(qū)域用手動閥69和區(qū)域用控制閥72中的每一個切換為打開狀態(tài)，氮氣從區(qū)域用供給部分62向收納部用供給部分63的流通成為可能狀態(tài)，通過將區(qū)域用手動閥69和區(qū)域用控制閥72中的至少一個切換為關(guān)閉狀態(tài)，則氮氣從區(qū)域用供給部分62向收納部用供給部分63的流通成為不能狀態(tài)。
[0068]另外，壓力調(diào)整閥70通過調(diào)整氮氣從區(qū)域用供給部分62流通至收納部用供給部分63的流通量來調(diào)整收納部用供給部分63中氮氣的壓力。壓力檢測傳感器71檢測收納部用供給部分63中的氮氣的壓力。
[0069]收納部用供給部分
如圖5所示，收納部用供給部分63連接到區(qū)域用供給部分62的區(qū)域用連接部62b。如果加以說明的話，氮氣供給路徑60中具備與收納部1S的數(shù)量相同路徑數(shù)(在本例中為72路)的收納部用供給部分63，在本例中，區(qū)域用供給部分62的一個區(qū)域用連接部62b連接有3路收納部用供給部分63。
[0070]順便指出，在收納部用供給部分63中，圖8中箭頭A所示的方向為氣體供給方向。另外，收納部用供給部分63是比區(qū)域用供給部分62更細(xì)的配管尺寸。
[0071]如圖8所示，在收納部用供給部分63中，從氣體供給方向的上游依次設(shè)有收納部用手動閥74、收納部用控制閥75、質(zhì)量流量控制器40，在收納部用供給部分63的下游側(cè)端部連接有排放噴嘴1i。
[0072]另外，在本實施方式中，收納部用手動閥74相當(dāng)于本發(fā)明的第二切換閥。
[0073]收納部用手動閥74和收納部用控制閥75構(gòu)成為在氮氣能夠從收納部用供給部分63流通至排放噴嘴1i的打開狀態(tài)和不能流通的關(guān)閉狀態(tài)之間切換。收納部用控制閥75基于控制裝置H的控制指令而被分別切換操作為打開狀態(tài)或關(guān)閉狀態(tài)。另外，收納部用手動閥74由作業(yè)者的人為操作切換操作為關(guān)閉狀態(tài)和打開狀態(tài)。
[0074]并且，通過將收納部用手動閥74和收納部用控制閥75中的每一個切換為打開狀態(tài)，氮氣從收納部用供給部分63向排放噴嘴1i的流通成為可能狀態(tài)，通過將收納部用手動閥74和收納部用控制閥75中的至少一個切換為關(guān)閉狀態(tài)，則氮氣從收納部用供給部分63向排放噴嘴1i的流通成為不能狀態(tài)。
[0075]另外，質(zhì)量流量控制器40具備調(diào)整氮氣從收納部用供給部分63流通至排放噴嘴1i的流通量的流量調(diào)整閥和檢測氮氣從收納部用供給部分63流通至排放噴嘴1i的流量的流量檢測傳感器的功能。
[0076]基干用控制閥66、區(qū)域用控制閥72以及收納部用控制閥75中每一個的控制閥基于控制裝置H的控制指令被分別切換操作為打開狀態(tài)或關(guān)閉狀態(tài)。
[0077]另外，第一基干用手動閥65、第二基干用手動閥67、區(qū)域用手動閥69以及收納部用手動閥74中的每一個的手動閥由作業(yè)者的人為操作切換操作為關(guān)閉狀態(tài)和打開狀態(tài)。
[0078]控制結(jié)構(gòu)
如圖9所示，控制裝置H被輸入存貨傳感器1z的檢測信息，另外與堆垛起重機(jī)20自由通信地連接。由此，控制裝置H管理保管架10中的容器50的在庫狀態(tài)等，并且基于來自圖外的上位控制器的入庫指令和出庫指令來控制堆垛起重機(jī)20的動作。
[0079]如果加以說明的話，控制裝置H被來自上位控制器的入庫指令所命令，執(zhí)行入庫搬送處理。在入庫搬送處理時，基于在庫狀態(tài)，將未收納容器50的空的收納部1S之一選擇為收納對象的收納部10S，控制堆垛起重機(jī)20的動作，將容器50從出入庫輸送機(jī)CV搬送至收納對象的收納部10S。另外，控制裝置H被來自上位控制器的出庫指令所命令，執(zhí)行出庫搬送處理。在出庫搬送處理時，控制堆垛起重機(jī)20的動作，將出庫對象容器50從收納有該出庫對象容器50的收納部1S搬送至出入庫輸送機(jī)CV上。
[0080]另外，可編程邏輯控制器P和多個1擴(kuò)展模塊A通過通信線連接到控制裝置H，以便能夠自由通信。多個質(zhì)量流量控制器40連接到可編程邏輯控制器P。屬于對應(yīng)的區(qū)域CH的存貨傳感器10z、壓力檢測傳感器71以及多頭管87連接到1擴(kuò)展模塊A。
[0081]并且，控制裝置H控制基干用控制閥66的動作，并且向可編程邏輯控制器P發(fā)送供給信息，該供給信息示出氮氣的供給量和供給氮氣的收納部10S。可編程邏輯控制器P基于來自控制裝置H的供給信息，控制質(zhì)量流量控制器40 (流量調(diào)整閥)的動作，并且通過1擴(kuò)展模塊A向多頭管87發(fā)送指令信息。多頭管87基于指令信息進(jìn)行動作，使得區(qū)域用控制閥72和收納部用控制閥75進(jìn)行動作，對于供給氮氣的供給對象的收納部1S供給氮氣。
[0082]這樣，控制裝置H通過可編程邏輯控制器P和1擴(kuò)展模塊A等，控制基干用控制閥66、區(qū)域用控制閥72、收納部用控制閥75以及質(zhì)量流量控制器40的動作。
[0083]旁通路徑
如圖5所示，將多個區(qū)域用供給部分62中的兩個作為一組，以成為該組的兩個區(qū)域用供給部分62彼此連通的狀態(tài)設(shè)有旁通路徑77。
[0084]在本例中，該旁通路徑77設(shè)置成使得與上下方向鄰接的兩個區(qū)域CH分別對應(yīng)的區(qū)域用供給部分62彼此連通，與6個區(qū)域CH對應(yīng)而設(shè)有3路。另外，旁通路徑77是與區(qū)域用供給部分62相同的配管尺寸。
[0085]如圖7所示,旁通路徑77中設(shè)有旁通用手動閥78,該旁通用手動閥78將旁通路徑77自由切換為氮氣能夠流通的打開狀態(tài)和不能流通的關(guān)閉狀態(tài)。該旁通用手動閥78由作業(yè)者的人為操作而被切換操作至關(guān)閉狀態(tài)和打開狀態(tài)。
[0086]泄放路徑
如圖5所示，設(shè)有氮氣泄放路徑80，該氮氣泄放路徑80與氮氣供給路徑60連接，用于從氮氣供給路徑60排出氮氣。并且，作為該氮氣泄放路徑80，如圖5-圖7所示，設(shè)置有基干用泄放路徑81和區(qū)域用泄放路徑82，基干用泄放路徑81與基干供給部分61連接，用于從基干供給部分61排出氮氣，區(qū)域用泄放路徑82與多個區(qū)域用供給部分62連接，用于從區(qū)域用供給部分62排出氮氣。另外，在說明氮氣泄放路徑80時，將來自氮氣供給路徑60的氮氣流通的方向稱為氣體排出方向，基于該氣體排出方向的流，對氣體排出方向的上游和下游進(jìn)行定義和說明。
[0087]基干泄放
如圖6所示，基干用泄放路徑81連接在基干供給部分61的基干設(shè)置部61a中的設(shè)置有第一基干用手動閥65和基干用控制閥66的位置的氣體供給方向的下游側(cè)，并且連接在設(shè)置第二基干用手動閥67的位置的氣體供給方向的上游側(cè)。其中，基干用泄放路徑81與區(qū)域用供給部分62相同配管尺寸。
[0088]并且，在基干用泄放路徑81中，從氣體排出方向的上游側(cè)依次設(shè)有泄放用壓力調(diào)整閥86、基干用泄放手動閥83，基干用泄放手動閥83自由切換為惰性氣體能夠流通的打開狀態(tài)和不能流通的關(guān)閉狀態(tài)。泄放用壓力調(diào)整閥86與壓力調(diào)整閥70同樣地構(gòu)成?；捎眯狗攀謩娱y83由作業(yè)者的人為操作而被切換操作為關(guān)閉狀態(tài)和打開狀態(tài)。此外，在本實施方式中，基干用泄放手動閥83相當(dāng)于本發(fā)明的基干用泄放切換閥。
[0089]因此，通過將第一基干用手動閥65和第二基干用手動閥67切換為打開狀態(tài)，將基干用泄放手動閥83切換為關(guān)閉狀態(tài)，能夠使來自圖外供給源的全部氮氣都向著區(qū)域用供給部分62流動。
[0090]另外，通過將第一基干用手動閥65、第二基干用手動閥67以及基干用泄放手動閥83切換為打開狀態(tài)，能夠在使來自供給源的氮氣向著區(qū)域用供給部分62流動的同時，使來自供給源的氮氣的一部分向基干用泄放路徑81流動而排出至外部，能夠進(jìn)行來自供給源的氮氣的采樣等。
[0091]另外，通過將第一基干用手動閥65切換為打開狀態(tài)，將第二基干用手動閥67切換為關(guān)閉狀態(tài)，將基干用泄放手動閥83切換為打開狀態(tài)，能夠使來自供給源的全部氮氣向著基干用泄放路徑81流動，能夠使氮氣在供給源和基干供給部分61之間流通。
[0092]另外，通過將第一基干用手動閥65切換為關(guān)閉狀態(tài)，將第二基干用手動閥67以及基干用泄放手動閥83切換為打開狀態(tài)，能夠使基干供給部分61的氮氣向著基干用泄放路徑81流動，能夠進(jìn)行基干供給部分61的排壓。
[0093]順便指出，在基干用泄放路徑81中，圖6中箭頭B所示的方向為氣體排出方向。
[0094]區(qū)域泄放
如圖7所示，區(qū)域用泄放路徑82具備多個區(qū)域用泄放部分82a (相當(dāng)于本發(fā)明的泄放路徑)和合流用泄放部分82b (相當(dāng)于本發(fā)明的合流用泄放路徑)，其中，多個區(qū)域用泄放部分82a與多個區(qū)域用供給部分62中的各個連接，用于從區(qū)域用供給部分62排出氮氣，合流用泄放部分82b與多個區(qū)域用泄放部分82a中的各個連接。其中，區(qū)域用泄放路徑82與收納部用供給部分63相同配管尺寸。
[0095]區(qū)域用泄放部分82a具備與區(qū)域CH的數(shù)目相同的路徑數(shù)(本例中為6路)，該各路區(qū)域用泄放部分82a的每一個中設(shè)有區(qū)域用泄放手動閥84。該區(qū)域用泄放手動閥84構(gòu)成為由作業(yè)者的人為操作而被切換為氮氣能夠流通的打開狀態(tài)和不能流通的關(guān)閉狀態(tài)。其中，在本實施方式中，區(qū)域用泄放手動閥84相當(dāng)于本發(fā)明的區(qū)域用泄放切換閥。
[0096]并且，多個區(qū)域用泄放部分82a連接在區(qū)域用供給部分62的區(qū)域用設(shè)置部62a中設(shè)有區(qū)域用手動閥69的位置的氣體供給方向下游側(cè)。這樣，區(qū)域用泄放部分82a連接在氮氣供給路徑60中的設(shè)有區(qū)域用手動閥69的位置的氣體供給方向下游側(cè)，并且連接在設(shè)有收納部用手動閥74的位置的氣體供給方向上游側(cè)。
[0097]另外，合流用泄放部分82b連接到多個區(qū)域用泄放部分82a的每一個的設(shè)置區(qū)域用泄放手動閥84位置的氣體排出方向的下游側(cè)，合流用泄放部分82b設(shè)有合流用泄放手動閥85，該合流用泄放手動閥85由作業(yè)者的人為操作而被自由切換為氮氣能夠流通的打開狀態(tài)和不能流通的關(guān)閉狀態(tài)。此外，在本實施方式中，合流用泄放手動閥85相當(dāng)于本發(fā)明的合流用泄放切換閥。
[0098]因此，通過將區(qū)域用手動閥69和收納部用手動閥74切換為打開狀態(tài),能夠使來自基干供給部分61的氮氣從排放噴嘴1i排放。
[0099]另外，通過將區(qū)域用手動閥69和收納部用手動閥74切換為打開狀態(tài)并且將對應(yīng)的區(qū)域用泄放手動閥84和合流用泄放手動閥85切換為打開狀態(tài)，能夠使來自基干供給部分61的氮氣從排放噴嘴1i排放，并且使來自基干供給部分61的氮氣的一部分向著區(qū)域用泄放路徑82流動，排出至外部，能夠在區(qū)域單位中進(jìn)行氮氣的采樣等。
[0100]另外，通過將收納部用手動閥74切換為關(guān)閉狀態(tài)，將區(qū)域用手動閥69、區(qū)域用泄放手動閥84以及合流用泄放手動閥85切換為打開狀態(tài)，能夠使來自基干供給部分61的全部氮氣向區(qū)域用泄放路徑82流動，能夠在區(qū)域單位中使氮氣流通。
[0101]另外，通過將區(qū)域用手動閥69和收納部用手動閥74切換為關(guān)閉狀態(tài)并且將區(qū)域用泄放手動閥84和合流用泄放手動閥85切換為打開狀態(tài)，能夠使區(qū)域用供給部分62 (特別是區(qū)域用手動閥69所設(shè)置的位置的氣體供給方向的下游側(cè)且在收納部用手動閥74所設(shè)置位置的氣體供給方向的上游側(cè)的部分的區(qū)域的對象部分)的氮氣向著區(qū)域用泄放路徑82流動，能夠進(jìn)行區(qū)域用供給部分62 (區(qū)域的對象部分)的排壓。
[0102]順便指出，在區(qū)域用泄放路徑82中，圖7的箭頭B所示的方向是氣體排出方向。
[0103]這樣，在本實施方式的物品保管設(shè)備中，在多個區(qū)域用供給部分62的每一個中設(shè)置區(qū)域用手動閥69，在多個收納部用供給部分63的每一個中設(shè)置收納部用手動閥74。另夕卜，在氮氣供給路徑60中的區(qū)域用手動閥69的下游且在收納部用手動閥74的上游連接有區(qū)域用泄放路徑82。因此，能夠進(jìn)行區(qū)域單位中的排壓和采樣、氮氣的流通。
[0104]其它實施方式 (I)在上述實施方式中，第一切換閥、第二切換閥、區(qū)域用泄放切換閥、合流用泄放切換閥以及基干用泄放切換閥全部都由作業(yè)者的人為操作來切換的手動閥構(gòu)成，但這些切換閥的一部分或全部也可以由基于控制裝置H的控制指令來切換的控制閥構(gòu)成。
[0105]具體而言，例如也可以構(gòu)成為:區(qū)域用泄放切換閥和合流用泄放切換閥由控制閥構(gòu)成，如果由操作臺指定了區(qū)域CH并且輸入了采樣開始，則基于控制裝置H的控制指令，該區(qū)域CH的區(qū)域用泄放切換閥和合流用泄放切換閥被操作為打開，在經(jīng)過了設(shè)定時間或由操作臺輸入了采樣結(jié)束，則基于控制裝置H的控制指令，該區(qū)域用泄放切換閥和合流用泄放切換閥被操作為關(guān)閉。
[0106](2)在上述實施方式中，構(gòu)成為設(shè)有多個區(qū)域用泄放部分82a和合流用泄放部分82b，將從區(qū)域用泄放路徑82排出的惰性氣體從一個部位排出，但是也可以構(gòu)成為僅設(shè)置多個區(qū)域用泄放部分82a和合流用泄放部分82b中的多個區(qū)域用泄放部分82a，將從區(qū)域用泄放路徑82排出的惰性氣體根據(jù)區(qū)域CH而從不同的部位排出。
[0107](3)在上述實施方式中，將基干用泄放切換閥、區(qū)域用泄放切換閥以及合流用泄放切換閥設(shè)在壁體K的外部，但是也可以將這些泄放切換閥的一部分或全部設(shè)在壁體K的內(nèi)部。
[0108]順便指出，所謂壁體K的外部，只要是設(shè)有保管架10或堆垛起重機(jī)20的設(shè)置空間的外部即可，例如，將壁體K構(gòu)成為形成設(shè)置空間以及設(shè)有控制裝置H的第二空間的兩個空間的情況下，將第二空間作為外部，將上述泄放切換閥設(shè)在該第二空間中也可以。
[0109]另外，在設(shè)置于壁體K的外部時，至少上述泄放切換閥的一部分(具體而言，作業(yè)者操作的操作桿等操作部分)設(shè)在壁體K的外部即可，可以不將該泄放切換閥的整體都設(shè)在壁體K的外部。
[0110](4)在上述實施方式中，將第二切換閥設(shè)在多個收納部用供給部分63的每一個上，但也可以將第二切換閥設(shè)在多個區(qū)域用供給部分62的每一個上。在此情況下，第二切換閥可以設(shè)在區(qū)域用供給部分62中的第一切換閥設(shè)置位置以及區(qū)域用泄放路徑82 (區(qū)域用泄放部分82a)連接位置的氣體供給方向的下游側(cè)。
[0111](5)在上述實施方式中，容器50被例示為收容半導(dǎo)體基板的FOUP的結(jié)構(gòu)，但是不限于這樣的結(jié)構(gòu)，例如，也可以是收容掩膜的掩膜容器。另外，氮氣用作了惰性氣體，但惰性氣體可以使用氮氣以外的氬氣等對被收容的基板的反應(yīng)性低的各種氣體。順便指出，作為收容在容器50中的物品，可以廣泛地適用于工業(yè)制品、食品、醫(yī)藥品等。
[0112](6)在上述實施方式中，僅對于設(shè)在物品保管設(shè)備中的一對保管架10中的一個保管架10設(shè)置了惰性氣體供給路徑，但也可以對于兩個保管架10設(shè)置惰性氣體供給路徑。順便指出，在對于兩個保管架10設(shè)置惰性氣體供給路徑的情況下，可以對于兩個保管架10分別設(shè)置基干供給部分61和供給源，或者也可以由兩個保管架10共用基干供給部分61和供給源地設(shè)置。
[0113](7)關(guān)于其它結(jié)構(gòu)，在本說明書中公開的實施方式在全部的點都是例示，本發(fā)明的范圍不限于這些。在不脫離本發(fā)明精神的范圍內(nèi)可以進(jìn)行適當(dāng)變更。因此，在不脫離本發(fā)明精神范圍內(nèi)變更的其它實施方式當(dāng)然也包含在本發(fā)明的范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種物品保管設(shè)備，具備: 收納容器的多個收納部； 向所述多個收納部中的每一個供給惰性氣體的惰性氣體供給路徑； 排放部，所述排放部將由所述惰性氣體供給路徑供給至所述收納部的惰性氣體排放至收納于該收納部的所述容器的內(nèi)部； 其中，所述多個收納部被劃分為多個區(qū)域， 其特征在于， 所述惰性氣體供給路徑具備:基干供給部分；多個區(qū)域用供給部分，所述多個區(qū)域用供給部分從所述基干供給部分向著所述多個區(qū)域的每一個分支，將在所述基干供給部分中流通的惰性氣體供給至所述多個區(qū)域中的每一個；多個收納部用供給部分，所述多個收納部用供給部分將在所述區(qū)域用供給部分中流通的惰性氣體分別供給至與該區(qū)域用供給部分對應(yīng)的所述區(qū)域所屬的所述多個收納部，使惰性氣體從所述排放部排放， 所述物品保管設(shè)備還具備: 第一切換閥，設(shè)在所述多個區(qū)域用供給部分的每一個中，能夠自由切換為惰性氣體能夠流通的打開狀態(tài)和不能流通的關(guān)閉狀態(tài)， 第二切換閥，所述第二切換閥設(shè)置在所述多個區(qū)域用供給部分的每一個中的所述第一切換閥設(shè)置位置的氣體供給方向下游側(cè)，或者設(shè)置在所述多個收納部用供給部分的每一個中，能夠自由切換為惰性氣體能夠流通的打開狀態(tài)和不能流通的關(guān)閉狀態(tài)， 多個泄放路徑，所述多個泄放路徑與所述多個區(qū)域用供給部分的每一個連接，用于將惰性氣體從所述區(qū)域用供給部分排出， 所述多個泄放路徑連接在所述惰性氣體供給路徑中的所述第一切換閥設(shè)置位置的所述氣體供給方向的下游側(cè)、所述第二切換閥設(shè)置位置的所述氣體供給方向的上游側(cè)， 所述多個泄放路徑的每一個中設(shè)有區(qū)域用泄放切換閥，所述區(qū)域用泄放切換閥自由切換為惰性氣體能夠流通的打開狀態(tài)和不能流通的關(guān)閉狀態(tài)。
2.如權(quán)利要求1所述的物品保管設(shè)備，其特征在于， 設(shè)有壁體，所述壁體覆蓋設(shè)置所述多個收納部的設(shè)置空間， 所述區(qū)域用泄放切換閥由人為操作而切換至所述打開狀態(tài)和所述關(guān)閉狀態(tài)的人為操作式切換閥構(gòu)成，并且設(shè)在所述壁體的外部。
3.如權(quán)利要求2所述的物品保管設(shè)備，其特征在于， 設(shè)有合流用泄放路徑，所述合流用泄放路徑連接在所述多個泄放路徑的每一個中的所述區(qū)域用泄放切換閥設(shè)置位置的氣體排出方向的下游側(cè)， 所述合流用泄放路徑中設(shè)有合流用泄放切換閥，所述合流用泄放切換閥由人為操作而自由切換為惰性氣體能夠流通的打開狀態(tài)和不能流通的關(guān)閉狀態(tài)， 所述合流用泄放切換閥設(shè)在所述壁體的外部。
4.如權(quán)利要求1或2所述的物品保管設(shè)備，其特征在于， 設(shè)有與所述基干供給部分連接的基干用泄放路徑， 在所述基干用泄放路徑中具備基干用泄放切換閥，所述基干用泄放切換閥自由切換為惰性氣體能夠流通的打開狀態(tài)和不能流通的關(guān)閉狀態(tài)。
【文檔編號】B65G1/137GK104249899SQ201410287739
【公開日】2014年12月31日 申請日期:2014年6月25日 優(yōu)先權(quán)日:2013年6月26日
【發(fā)明者】大塚洋, 河村真輔, 吉本忠浩 申請人:株式會社大福