国产精品1024永久观看,大尺度欧美暖暖视频在线观看,亚洲宅男精品一区在线观看,欧美日韩一区二区三区视频,2021中文字幕在线观看

  • <option id="fbvk0"></option>
    1. <rt id="fbvk0"><tr id="fbvk0"></tr></rt>
      <center id="fbvk0"><optgroup id="fbvk0"></optgroup></center>
      <center id="fbvk0"></center>

      <li id="fbvk0"><abbr id="fbvk0"><dl id="fbvk0"></dl></abbr></li>

      具有貼標(biāo)簽功能的下膜的制造方法

      文檔序號:4310477閱讀:125來源:國知局
      具有貼標(biāo)簽功能的下膜的制造方法
      【專利摘要】一種具有貼標(biāo)簽功能的下膜機(jī),可在一個(gè)膜片上貼設(shè)至少一張標(biāo)簽,并且將裝載有一片晶圓的膜片自一個(gè)載板上卸下,該下膜機(jī)包含:一個(gè)作業(yè)平臺、一個(gè)將該晶圓及該膜片自該載板上卸下的下膜單元,以及一個(gè)貼標(biāo)簽機(jī)構(gòu)。該作業(yè)平臺包括一個(gè)起始區(qū)域、一個(gè)下膜區(qū)域,以及一個(gè)介于該起始區(qū)域及該下膜區(qū)域間的標(biāo)簽貼孔,而該載板由該起始區(qū)域往該下膜區(qū)域移送,該貼標(biāo)簽機(jī)構(gòu)包括一個(gè)標(biāo)簽印制器,以及一個(gè)將所印制的標(biāo)簽經(jīng)由該作業(yè)平臺的標(biāo)簽貼孔貼設(shè)在該膜片上的貼標(biāo)簽單元。通過前述結(jié)構(gòu)可以迅速且正確的將該標(biāo)簽貼在該13吳片上。
      【專利說明】具有貼標(biāo)簽功能的下膜機(jī)

      【技術(shù)領(lǐng)域】
      [0001]本實(shí)用新型涉及一種下膜機(jī),特別是涉及一種可以在膜片上貼設(shè)標(biāo)簽,并且將裝載有晶圓的膜片自載板上卸下的具有貼標(biāo)簽功能的下膜機(jī)。

      【背景技術(shù)】
      [0002]現(xiàn)有晶圓在加工的過程中,為了保護(hù)晶圓同時(shí)方便辨識,通常會在一片載板上黏貼一片膜片,再將該晶圓擺放在該載板的一個(gè)承載孔內(nèi),該晶圓暫時(shí)的黏貼在該膜片上。然后利用一臺下膜機(jī)將黏貼有膜片的晶圓一起自該載板上卸除,為了方便后續(xù)加工的辨識,在該晶圓移送的后續(xù)制程中,再利用一臺標(biāo)簽印制機(jī)印制具有晶圓的批次及批號的標(biāo)簽,并且將該標(biāo)簽黏貼在下I吳后的I吳片上。
      [0003]現(xiàn)有晶圓在加工的過程中,雖然可以通過黏貼在該膜片上的標(biāo)簽,而達(dá)到方便辨識產(chǎn)品批號的目的,但是現(xiàn)有晶圓在加工時(shí),有時(shí)會因?yàn)闄C(jī)械故障、控制機(jī)構(gòu)當(dāng)機(jī)等因素而暫停作業(yè),此時(shí)工作人員需要停機(jī)維修,而輸送中的晶圓也會停留在機(jī)器的各個(gè)部位。當(dāng)下膜機(jī)恢復(fù)作業(yè)時(shí),由于原本機(jī)器的設(shè)定值會錯(cuò)亂,需要重新設(shè)定,但該下膜機(jī)仍有一些因?yàn)闄C(jī)械故障而停放在機(jī)臺上的晶圓,因此,當(dāng)該下膜機(jī)恢復(fù)作業(yè)時(shí),持續(xù)印制的標(biāo)簽往往無法正確黏貼在對應(yīng)該晶圓批號的膜片上,造成標(biāo)示的錯(cuò)誤,以及辨別的困難。


      【發(fā)明內(nèi)容】

      [0004]本實(shí)用新型的目的在于提供一種可以提高標(biāo)示正確性的具有貼標(biāo)簽功能的下膜機(jī)。
      [0005]本實(shí)用新型的下膜機(jī)可在該膜片上貼設(shè)至少一張標(biāo)簽,并且將裝載有一片晶圓的膜片自一個(gè)載板上卸下,該下膜機(jī)包含:一個(gè)作業(yè)平臺、一個(gè)可將該晶圓及該膜片自該載板上卸下的下膜單元,以及一個(gè)貼標(biāo)簽機(jī)構(gòu)。該作業(yè)平臺包括一個(gè)起始區(qū)域、一個(gè)下膜區(qū)域,以及一個(gè)介于該起始區(qū)域及該下膜區(qū)域間的標(biāo)簽貼孔,而裝載該晶圓及該膜片的載板由該起始區(qū)域被往該下膜區(qū)域移送,該貼標(biāo)簽機(jī)構(gòu)包括一個(gè)標(biāo)簽印制器,以及一個(gè)將所印制的標(biāo)簽經(jīng)由該作業(yè)平臺的標(biāo)簽貼孔貼設(shè)在該膜片上的貼標(biāo)簽單元。
      [0006]本實(shí)用新型所述的下膜機(jī),該貼標(biāo)簽單元具有一個(gè)滑軌、一個(gè)安裝在該滑軌上的旋轉(zhuǎn)座、一個(gè)驅(qū)動(dòng)該旋轉(zhuǎn)座移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)件、一個(gè)安裝在該旋轉(zhuǎn)座上的頂撐壓缸,以及一個(gè)受到該頂撐壓缸驅(qū)動(dòng)而可將該標(biāo)簽貼設(shè)在該膜片上的標(biāo)簽貼座。
      [0007]本實(shí)用新型所述的下膜機(jī),還包含一個(gè)用來夾持該載板沿著一個(gè)第一方向前進(jìn)的夾具,該第一方向是由該作業(yè)平臺的起始區(qū)域往該下膜區(qū)域移動(dòng),而該貼標(biāo)簽單元的驅(qū)動(dòng)件帶動(dòng)該旋轉(zhuǎn)座沿著一個(gè)第二方向移動(dòng),該第二方向垂直于該第一方向。
      [0008]本實(shí)用新型所述的下膜機(jī),該貼標(biāo)簽機(jī)構(gòu)還包括一個(gè)位在該作業(yè)平臺下方的基架,該基架具有一個(gè)供該貼標(biāo)簽單元的滑軌安裝的底板、一個(gè)供該標(biāo)簽印制器安裝的頂板,以及數(shù)支頂撐在該底板及該頂板間的撐桿。
      [0009]本實(shí)用新型所述的下膜機(jī),該作業(yè)平臺的標(biāo)簽貼孔鄰近該起始區(qū)域。
      [0010]本實(shí)用新型所述的下膜機(jī),該載板沿著一個(gè)第一方向移送,而該貼標(biāo)簽單元帶動(dòng)該標(biāo)簽沿著一個(gè)垂直于該第一方向的第二方向移送,并使該標(biāo)簽位在該作業(yè)平臺的標(biāo)簽貼孔的正下方。
      [0011]本實(shí)用新型有益效果在于:由于該貼標(biāo)簽機(jī)構(gòu)所產(chǎn)生的標(biāo)簽可以在下膜之前迅速且正確地黏貼在該膜片上,故本實(shí)用新型可以在晶圓剛送進(jìn)該下膜機(jī)時(shí),就在承載該晶圓的膜片上黏貼該標(biāo)簽,通過前述結(jié)構(gòu)來提高黏貼標(biāo)簽時(shí)的正確性。

      【專利附圖】

      【附圖說明】
      [0012]圖1是本實(shí)用新型下膜機(jī)的一個(gè)實(shí)施例的立體示意圖;
      [0013]圖2是該實(shí)施例的一個(gè)前視示意圖,圖中該下膜機(jī)的一個(gè)貼標(biāo)簽機(jī)構(gòu)位在一個(gè)取簽位置;
      [0014]圖3是一個(gè)類似圖2的前視示意圖,圖中該貼標(biāo)簽機(jī)構(gòu)位在一個(gè)橫移位置;
      [0015]圖4是一個(gè)類似圖2的前視示意圖,圖中該貼標(biāo)簽機(jī)構(gòu)位在一個(gè)貼簽位置;
      [0016]圖5是該較佳實(shí)施例的一個(gè)局部側(cè)視示意圖,說明在該貼簽位置時(shí),該貼標(biāo)簽機(jī)構(gòu)與一個(gè)加工組件的對應(yīng)關(guān)系。

      【具體實(shí)施方式】
      [0017]下面結(jié)合附圖及實(shí)施例對本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)說明。
      [0018]參閱圖1、2,本實(shí)用新型下膜機(jī)的一個(gè)實(shí)施例可以在一個(gè)加工組件I上貼設(shè)至少一張標(biāo)簽10,并且進(jìn)行下膜的操作,該加工組件I包括一片具有一個(gè)承載孔111的載板11、一片黏貼在該載板11的底面的膜片12,以及一個(gè)暫時(shí)的黏貼在該膜片12上并對應(yīng)該載板11的承載孔111的晶圓13,為了方便辨識,該載板11通常貼設(shè)有一張條形碼112,而該下膜機(jī)可以讀取該條形碼112,并且將讀取的數(shù)據(jù)印制成該標(biāo)簽10,同時(shí)將該標(biāo)簽10貼設(shè)在該加工組件I的膜片12下方。
      [0019]而該下膜機(jī)包含:一個(gè)作業(yè)平臺2、一個(gè)可帶動(dòng)該加工組件I沿著一個(gè)第一方向30前進(jìn)的夾具3、一個(gè)將該晶圓13及黏貼在一起的膜片12自該載板11上卸除的下膜單元4,以及一個(gè)安裝在該作業(yè)平臺2下方的貼標(biāo)簽機(jī)構(gòu)5。由于如何利用該夾具3來移送該加工組件1,以及如何利用該下膜單元4進(jìn)行下膜,都不是本實(shí)用新型改良重點(diǎn),不再詳述細(xì)部結(jié)構(gòu)。
      [0020]本實(shí)施例的作業(yè)平臺2包括一個(gè)起始區(qū)域21、一個(gè)與該起始區(qū)域21間隔的下膜區(qū)域22,以及一個(gè)介于該起始區(qū)域21及該下膜區(qū)域22間的標(biāo)簽貼孔23,該標(biāo)簽貼孔23較佳是鄰近該起始區(qū)域21。而該夾具3可將該加工組件I由該起始區(qū)域21往該下膜區(qū)域22移送,并且在該下膜區(qū)域22時(shí),通過該下膜單元4的操作,讓該載板11與黏貼該膜片12的晶圓13分離。
      [0021]本實(shí)施例的貼標(biāo)簽機(jī)構(gòu)5包括一個(gè)位在該作業(yè)平臺2下方的基架51,該基架51具有一片水平的底板511、一片位于該底板511上方的頂板512,以及數(shù)支撐設(shè)在該底板511及該頂板512間的撐桿513。而該貼標(biāo)簽機(jī)構(gòu)5還包括一個(gè)搭掛在該基架51的頂板512下方并用來制造該標(biāo)簽10的標(biāo)簽印制器52,以及一個(gè)用來移送該標(biāo)簽10并且將該標(biāo)簽10貼在該膜片12下方的貼標(biāo)簽單元53。
      [0022]該貼標(biāo)簽單元53具有一個(gè)安裝在該底板511上的滑軌531、一個(gè)可在該滑軌531上滑移的旋轉(zhuǎn)座532、一個(gè)帶動(dòng)該旋轉(zhuǎn)座532沿著該第二方向50往復(fù)移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)件533、一個(gè)架設(shè)在該旋轉(zhuǎn)座532上的頂撐壓缸534、一個(gè)安裝在該頂撐壓缸534的一個(gè)缸軸535 (參見圖4)上的標(biāo)簽貼座536,以及一個(gè)安裝在該頂撐壓缸534上的偵測件538,該標(biāo)簽貼座536具有一個(gè)水平并可承接該標(biāo)簽10的標(biāo)簽載面537。較佳地,該旋轉(zhuǎn)座532除了可以沿著該第二方向50滑動(dòng)外,也可以沿著自身軸心旋轉(zhuǎn),以調(diào)整位于上方的標(biāo)簽貼座536及該偵測件538的角度,方便將該標(biāo)簽10貼在該膜片12的不同位置,而該偵測件538的形式及種類并無特別的限制,可以是現(xiàn)有的攝影鏡頭,或者為讀碼器等物品,在本實(shí)施例,該偵測件538可以檢測該標(biāo)簽10貼設(shè)位置的正確性,也可以辨識該標(biāo)簽10的條形碼訊息。
      [0023]本實(shí)施例的下膜機(jī)在使用時(shí),該夾具3會依序?qū)⒁粋€(gè)個(gè)的加工組件I夾送到該作業(yè)平臺2上,并使該加工組件I沿著該第一方向30,由鄰近該起始區(qū)域21的一側(cè)逐漸地往該下膜區(qū)域22移送。當(dāng)該加工組件I進(jìn)入該起始區(qū)域21時(shí),通過一個(gè)設(shè)在該作業(yè)平臺2上的讀碼器(圖未示)的讀取,可以讀取該載板11上的條形碼112,然后將數(shù)據(jù)傳送到該貼標(biāo)簽機(jī)構(gòu)5的標(biāo)簽印制器52,并印制具有批號的標(biāo)簽10,而該貼標(biāo)簽機(jī)構(gòu)5的貼標(biāo)簽單元53的標(biāo)簽貼座536將鄰近該標(biāo)簽印制器52,以承接所印制的標(biāo)簽10,這時(shí)候,該貼標(biāo)簽機(jī)構(gòu)5位在圖2所示的一個(gè)取簽位置。
      [0024]參閱圖1、3、4、5,當(dāng)該加工組件I對應(yīng)該作業(yè)平臺2的標(biāo)簽貼孔23時(shí),該貼標(biāo)簽機(jī)構(gòu)5的驅(qū)動(dòng)件533將帶動(dòng)該頂撐壓缸534沿著該第二方向50移動(dòng),并且將承接有標(biāo)簽10的標(biāo)簽貼座536移送到該作業(yè)平臺2的標(biāo)簽貼孔23的正下方,此時(shí),該貼標(biāo)簽機(jī)構(gòu)5將轉(zhuǎn)換到圖3所示的一個(gè)橫移位置。接著,該標(biāo)簽貼標(biāo)簽單元53的頂撐壓缸534的缸軸535會往上突出,并且將位在該標(biāo)簽載面537上的標(biāo)簽10貼設(shè)在該加工組件I的膜片12的下方,此時(shí),該貼標(biāo)簽機(jī)構(gòu)5將轉(zhuǎn)換到圖4所示的一個(gè)貼簽位置,而該偵測件538也可以檢視該標(biāo)簽10貼設(shè)位置正確性,并判讀該標(biāo)簽10上的條形碼訊息是否正確。貼設(shè)后,該加工組件I將再被下一個(gè)加工組件I推送,并往該作業(yè)平臺2的下膜區(qū)域22移送,接著,該下膜單元4的載板11就可以和黏貼在一起的晶圓13、膜片12與標(biāo)簽10分離,并完成下膜的作業(yè)。
      [0025]由以上說明可知,本實(shí)用新型在該作業(yè)平臺2上開設(shè)一個(gè)介于該起始區(qū)域21及該下膜區(qū)域22間的標(biāo)簽貼孔23,并且在該作業(yè)平臺2的下方裝設(shè)該貼標(biāo)簽機(jī)構(gòu)5的結(jié)構(gòu)不但創(chuàng)新,還可以在該加工組件I進(jìn)入該作業(yè)平臺2的起始區(qū)域21時(shí),就在該加工組件I的膜片12的下方黏貼標(biāo)簽10。前述結(jié)構(gòu)的配合,可以讓貼設(shè)標(biāo)簽10的作業(yè)往前移到作業(yè)的起始端。因此,無論該下膜機(jī)的機(jī)械產(chǎn)生故障,或者是控制機(jī)構(gòu)當(dāng)機(jī),該貼標(biāo)簽機(jī)構(gòu)5都可以將產(chǎn)生的標(biāo)簽10正確地貼在將要接受各項(xiàng)加工的加工組件I的膜片12上。故本實(shí)用新型該下膜機(jī)不但結(jié)構(gòu)新穎,也確實(shí)具有提高標(biāo)簽10貼設(shè)正確性的功效。
      【權(quán)利要求】
      1.一種具有貼標(biāo)簽功能的下膜機(jī),可在一個(gè)膜片上貼設(shè)至少一張標(biāo)簽,并且將裝載有一片晶圓的膜片自一個(gè)載板上卸下,該下膜機(jī)包含:一個(gè)作業(yè)平臺、一個(gè)可將該晶圓及該膜片自該載板上卸下的下膜單元,以及一個(gè)貼標(biāo)簽機(jī)構(gòu),該作業(yè)平臺包括一個(gè)起始區(qū)域,以及一個(gè)下膜區(qū)域,該貼標(biāo)簽機(jī)構(gòu)包括一個(gè)標(biāo)簽印制器,而裝載該晶圓及該膜片的載板由該起始區(qū)域被往該下膜區(qū)域移送;其特征在于: 該作業(yè)平臺還包括一個(gè)介于該起始區(qū)域及該下膜區(qū)域間的標(biāo)簽貼孔,該貼標(biāo)簽機(jī)構(gòu)還包括一個(gè)將所印制的標(biāo)簽經(jīng)由該作業(yè)平臺的標(biāo)簽貼孔貼設(shè)在該膜片上的貼標(biāo)簽單元。
      2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有貼標(biāo)簽功能的下膜機(jī),其特征在于:該貼標(biāo)簽單元具有一個(gè)滑軌、一個(gè)安裝在該滑軌上的旋轉(zhuǎn)座、一個(gè)驅(qū)動(dòng)該旋轉(zhuǎn)座移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)件、一個(gè)安裝在該旋轉(zhuǎn)座上的頂撐壓缸,以及一個(gè)受到該頂撐壓缸驅(qū)動(dòng)而可將標(biāo)簽貼設(shè)在該膜片上的標(biāo)簽貼座。
      3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的具有貼標(biāo)簽功能的下膜機(jī),其特征在于:該下膜機(jī)還包含一個(gè)用來夾持該載板沿著一個(gè)第一方向前進(jìn)的夾具,該第一方向是由該作業(yè)平臺的起始區(qū)域往該下膜區(qū)域移動(dòng),而該貼標(biāo)簽單元的驅(qū)動(dòng)件帶動(dòng)該旋轉(zhuǎn)座沿著一個(gè)第二方向移動(dòng),該第二方向垂直于該第一方向。
      4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的具有貼標(biāo)簽功能的下膜機(jī),其特征在于:該貼標(biāo)簽機(jī)構(gòu)還包括一個(gè)位在該作業(yè)平臺下方的基架,該基架具有一個(gè)供該貼標(biāo)簽單元的滑軌安裝的底板、一個(gè)供該標(biāo)簽印制器安裝的頂板,以及數(shù)支頂撐在該底板及該頂板間的撐桿。
      5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的具有貼標(biāo)簽功能的下膜機(jī),其特征在于:該作業(yè)平臺的標(biāo)簽貼孔鄰近該起始區(qū)域。
      6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有貼標(biāo)簽功能的下膜機(jī),該載板沿著一個(gè)第一方向移送,而該貼標(biāo)簽單元帶動(dòng)該標(biāo)簽沿著一個(gè)垂直于該第一方向的第二方向移送,并使該標(biāo)簽位在該作業(yè)平臺的標(biāo)簽貼孔的正下方。
      7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有貼標(biāo)簽功能的下膜機(jī),其特征在于:該作業(yè)平臺的標(biāo)簽貼孔鄰近該起始區(qū)域。
      【文檔編號】B65C9/26GK204021371SQ201420392908
      【公開日】2014年12月17日 申請日期:2014年7月16日 優(yōu)先權(quán)日:2013年8月1日
      【發(fā)明者】黃培峰 申請人:鉅侖科技股份有限公司
      網(wǎng)友詢問留言 已有0條留言
      • 還沒有人留言評論。精彩留言會獲得點(diǎn)贊!
      1