本發(fā)明涉及玻璃芯基板生產(chǎn)，特別涉及一種玻璃芯基板foup運載箱。

背景技術(shù)：

1、玻璃芯基板盒在半導(dǎo)體生產(chǎn)中主要起到放置、儲存和運輸玻璃基板的作用，為了簡化運輸和盡可能降低被污染的風(fēng)險，利用特定的玻璃芯基板盒來搬運和儲存基板。目前常見的玻璃芯基板盒主要適用圓形的玻璃晶圓，尺寸生產(chǎn)條件局限在8~12寸。

2、現(xiàn)有的玻璃芯基板盒一般只適用于8~12寸尺寸的圓形基板，難以生產(chǎn)較大尺寸、方形的基板。盒內(nèi)中間沒有支撐，基板尺寸較大時，中間會變形。支撐桿與基板接觸面積大，基板容易受損。

3、其次，由于基板盒內(nèi)部的空間相對較小，而且在放置多個基板時需要相互分隔，存儲和使用效率不高。不容易對玻璃基板盒內(nèi)的基板進行防潮防靜電，外部靜電以及盒內(nèi)內(nèi)部的潮氣會導(dǎo)致基板受損，從而影響使用。蓋板扣合過程中，存在晶圓上邊緣插入至弧形收納槽間隙或邊沿，導(dǎo)致晶圓破裂的現(xiàn)象。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本發(fā)明提供一種玻璃芯基板foup運載箱，旨在解決現(xiàn)有玻璃芯基板盒空間較小、存儲和使用效率不高、容易導(dǎo)致基板受損等問題。

2、本發(fā)明提供一種玻璃芯基板foup運載箱，包括箱體、蓋板、基板支撐機構(gòu)，所述基板支撐機構(gòu)設(shè)置在箱體內(nèi)部，所述蓋板可拆卸地連接在箱體的前端開口處，所述基板支撐機構(gòu)包括側(cè)邊支撐組件和中間支撐組件，所述箱體內(nèi)的兩側(cè)位置均設(shè)置有一組側(cè)邊支撐組件，所述箱體內(nèi)的中間位置設(shè)置有一組中間支撐組件，所述側(cè)邊支撐組件和中間支撐組件為多層結(jié)構(gòu)，所述側(cè)邊支撐組件的每一層與所述中間支撐組件的每一層對應(yīng)構(gòu)成放置玻璃芯基板的每一層區(qū)域。

3、作為本發(fā)明的進一步改進，所述側(cè)邊支撐組件包括側(cè)邊固定柱、側(cè)邊支撐棒、軸套、o型圈，所述側(cè)邊固定柱連接在箱體內(nèi)，多個所述側(cè)邊支撐板分別平行連接在側(cè)邊固定柱上，所述側(cè)邊支撐棒的兩端連接有軸套，所述側(cè)邊支撐棒一端通過軸套對接位于末端的側(cè)邊固定柱，每個所述側(cè)邊支撐棒上至少連接有一個o型圈，所述玻璃芯基板與o型圈接觸。

4、作為本發(fā)明的進一步改進，所述中間支撐組件包括中間固定柱、中間支撐棒、o型圈，所述中間固定柱連接箱體內(nèi)，多個所述中間支撐棒分別平行連接在中間固定柱上，每個所述中間支撐棒上至少連接有一個o型圈，所述玻璃芯基板與o型圈接觸。

5、作為本發(fā)明的進一步改進，所述蓋板上設(shè)有彈片組，所述蓋板與箱體對接后，所述彈片組頂住玻璃芯基板的一端。

6、作為本發(fā)明的進一步改進，所述彈片組由多個彈片依次排列構(gòu)成，每個所述彈片對應(yīng)一個玻璃芯基板，所述彈片的兩端連接在蓋板內(nèi)壁，所述彈片的中部形成凸出于蓋板內(nèi)壁的彈片凸起，所述彈片凸起頂住玻璃芯基板。

7、作為本發(fā)明的進一步改進，所述箱體前端設(shè)有內(nèi)凹的變形腔，所述變形腔上設(shè)有鎖栓，所述蓋板設(shè)有旋轉(zhuǎn)卡扣，所述旋轉(zhuǎn)卡扣的末端設(shè)有鎖頭，所述蓋板密封連接在箱體的變形腔內(nèi)，且旋擰所述旋轉(zhuǎn)卡扣使鎖頭插入鎖栓內(nèi)。

8、作為本發(fā)明的進一步改進，玻璃芯基板foup運載箱還包括天車搬運連接塊，所述天車搬運連接塊安裝在箱體的頂部，所述天車搬運連接塊設(shè)有防呆的三角缺口，所述天車搬運連接塊與天車對接。

9、作為本發(fā)明的進一步改進，玻璃芯基板foup運載箱還包括底部固定板，所述底部固定板連接在箱體的底部，所述底部固定板上設(shè)有與agv的定位銷對接的定位孔。

10、作為本發(fā)明的進一步改進，玻璃芯基板foup運載箱還包括把手，所述把手連接在箱體的兩側(cè)。

11、作為本發(fā)明的進一步改進，玻璃芯基板foup運載箱還包括rfid卡，所述箱體外壁設(shè)有卡槽，所述rfid卡連接在卡槽內(nèi)。

12、本發(fā)明的有益效果是：

13、（1）應(yīng)對方形玻璃芯基板生產(chǎn)，可適用較大尺寸的方形基板，更加方便較大尺寸基板的自動化生產(chǎn)，提高較大尺寸方形玻璃基板的生產(chǎn)力以及適用性；

14、（2）基板尺寸增大，可生產(chǎn)芯片數(shù)量增加，同一時間生產(chǎn)加工效率可有效提升，進而節(jié)約成本，達到降本增益的效果；

15、（3）增加了中間支撐分隔組，可有效防止大尺寸基板由于自身過長中間塌陷的情況發(fā)生，進而提高基板在箱體內(nèi)部的穩(wěn)定性和產(chǎn)品質(zhì)量；

16、（4）中間支撐組、側(cè)向支撐組與基板之間的三點式多點接觸方式，大幅度減少接觸面積，避免因摩擦產(chǎn)生粉塵污染基板，從而保證基板潔凈度，進而減少產(chǎn)品的返工率和廢品率。

技術(shù)特征：

1.一種玻璃芯基板foup運載箱，其特征在于，包括箱體、蓋板、基板支撐機構(gòu)，所述基板支撐機構(gòu)設(shè)置在箱體內(nèi)部，所述蓋板可拆卸地連接在箱體的前端開口處，所述基板支撐機構(gòu)包括側(cè)邊支撐組件和中間支撐組件，所述箱體內(nèi)的兩側(cè)位置均設(shè)置有一組側(cè)邊支撐組件，所述箱體內(nèi)的中間位置設(shè)置有一組中間支撐組件，所述側(cè)邊支撐組件和中間支撐組件為多層結(jié)構(gòu)，所述側(cè)邊支撐組件的每一層與所述中間支撐組件的每一層對應(yīng)構(gòu)成放置玻璃芯基板的每一層區(qū)域。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的玻璃芯基板foup運載箱，其特征在于，所述側(cè)邊支撐組件包括側(cè)邊固定柱、側(cè)邊支撐棒、軸套、o型圈，所述側(cè)邊固定柱連接在箱體內(nèi)，多個所述側(cè)邊支撐板分別平行連接在側(cè)邊固定柱上，所述側(cè)邊支撐棒的兩端連接有軸套，所述側(cè)邊支撐棒一端通過軸套對接位于末端的側(cè)邊固定柱，每個所述側(cè)邊支撐棒上至少連接有一個o型圈，所述玻璃芯基板與o型圈接觸。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的玻璃芯基板foup運載箱，其特征在于，所述中間支撐組件包括中間固定柱、中間支撐棒、o型圈，所述中間固定柱連接箱體內(nèi)，多個所述中間支撐棒分別平行連接在中間固定柱上，每個所述中間支撐棒上至少連接有一個o型圈，所述玻璃芯基板與o型圈接觸。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的玻璃芯基板foup運載箱，其特征在于，所述蓋板上設(shè)有彈片組，所述蓋板與箱體對接后，所述彈片組頂住玻璃芯基板的一端。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的玻璃芯基板foup運載箱，其特征在于，所述彈片組由多個彈片依次排列構(gòu)成，每個所述彈片對應(yīng)一個玻璃芯基板，所述彈片的兩端連接在蓋板內(nèi)壁，所述彈片的中部形成凸出于蓋板內(nèi)壁的彈片凸起，所述彈片凸起頂住玻璃芯基板。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的玻璃芯基板foup運載箱，其特征在于，所述箱體前端設(shè)有內(nèi)凹的變形腔，所述變形腔上設(shè)有鎖栓，所述蓋板設(shè)有旋轉(zhuǎn)卡扣，所述旋轉(zhuǎn)卡扣的末端設(shè)有鎖頭，所述蓋板密封連接在箱體的變形腔內(nèi)，且旋擰所述旋轉(zhuǎn)卡扣使鎖頭插入鎖栓內(nèi)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的玻璃芯基板foup運載箱，其特征在于，還包括天車搬運連接塊，所述天車搬運連接塊安裝在箱體的頂部，所述天車搬運連接塊設(shè)有防呆的三角缺口，所述天車搬運連接塊與天車對接。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的玻璃芯基板foup運載箱，其特征在于，還包括底部固定板，所述底部固定板連接在箱體的底部，所述底部固定板上設(shè)有與agv的定位銷對接的定位孔。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的玻璃芯基板foup運載箱，其特征在于，還包括把手，所述把手連接在箱體的兩側(cè)。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的玻璃芯基板foup運載箱，其特征在于，還包括rfid卡，所述箱體外壁設(shè)有卡槽，所述rfid卡連接在卡槽內(nèi)。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及玻璃芯基板生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種玻璃芯基板FOUP運載箱。其包括箱體、蓋板、基板支撐機構(gòu)，基板支撐機構(gòu)設(shè)置在箱體內(nèi)部，蓋板可拆卸地連接在箱體的前端開口處，基板支撐機構(gòu)包括側(cè)邊支撐組件和中間支撐組件，箱體內(nèi)的兩側(cè)位置均設(shè)置有一組側(cè)邊支撐組件，箱體內(nèi)的中間位置設(shè)置有一組中間支撐組件，側(cè)邊支撐組件和中間支撐組件為多層結(jié)構(gòu)，側(cè)邊支撐組件的每一層與中間支撐組件的每一層對應(yīng)構(gòu)成放置玻璃芯基板的每一層區(qū)域。本運載箱增加了中間支撐組，可有效防止大尺寸基板由于自身過長中間塌陷的情況發(fā)生，提高基板在箱體內(nèi)部的穩(wěn)定性和產(chǎn)品質(zhì)量；中間支撐組、側(cè)向支撐組與基板之間的三點式接觸方式，減少接觸面積。

技術(shù)研發(fā)人員：戴泳崇,侯宣來,陳銥嵐,王鵬,羅健
受保護的技術(shù)使用者：廣東智聯(lián)半導(dǎo)體裝備有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/12/19