專利名稱：層疊裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種層疊裝置，該層疊裝置在制造電子電路基板及半導(dǎo)體裝置的過程中，將膜狀樹脂層疊在具有凹凸的基材上。更詳細地講，本發(fā)明涉及一種層疊在基材上的膜狀樹脂的膜厚均勻性較高、并能夠抑制在基材與膜狀樹脂之間產(chǎn)生較小的氣泡(微孔)的層
疊裝置。
背景技術(shù)：
近年來，伴隨著電子設(shè)備的小型化、高性能化，使在這些電子設(shè)備中使用的電子電路基板日益高密度化、多層化。在使這樣的電子電路基板多層化的過程中，要求使膜狀樹脂朝向具有凹凸的基材層疊而得到的層疊體的表面變得平滑。作為應(yīng)對這樣的要求的層疊裝置，例如在專利文獻I中提出有如下裝置將由熱固化性樹脂組合物或者感光性樹脂組合物構(gòu)成的膜狀樹脂和基材收容在利用由具有膨脹性的材料構(gòu)成的撓性片分隔成兩個的密閉空間中的一個空間中，通過在對上述被分隔成兩個的密閉空間這兩者降壓之后，僅使未收容有膜狀樹脂和基材的那個密閉空間恢復(fù)到常壓或進一步加壓，從而使由具有膨脹性的材料構(gòu)成的撓性片向降壓后的密閉空間(收容有膜狀樹脂和基材的那個密閉空間)側(cè)膨脹，利用該膨脹后的撓性片均勻地對膜狀樹脂及基材加壓而進行層疊。根據(jù)該裝置，利用被上述由具有膨脹性的材料構(gòu)成的撓性片分隔成兩個的密閉空間的氣壓差使上述撓性片譬如像氣球那樣地鼓起，該撓性片與基材的接觸部沿著基材的凹凸發(fā)生變形，在該狀態(tài)下對膜狀樹脂和基材加壓。因此，即使在基材上存在凹凸，該裝置也能夠使膜狀樹脂沿著基材的凹凸緊密地貼合?，F(xiàn)有技術(shù)文獻_4] 專利文獻 專利文獻1:日本特開2004 - 249639號公報

發(fā)明內(nèi)容
_6] 發(fā)明要解決的問題但是，在上述裝置是優(yōu)先考慮如下情況的裝置凹凸的間隔較小導(dǎo)致難以使膜狀樹脂完全沿著基材的凹凸緊密地貼合，或者對于凹凸較大的基材，在膜狀樹脂與基材之間不會產(chǎn)生微孔。由于該裝置附帶有利用平面沖壓板使在后續(xù)工序中層疊在基材上的膜狀樹脂的表面平坦地成形的功能，因此，對層疊后的膜狀樹脂的膜厚的均勻性未考慮太多。例如，上述裝置通過使膨脹起來的撓性片壓緊于膜狀樹脂，來使膜狀樹脂沿著基材的凹凸緊密地層疊在基材上。因而，在基材的凹凸的間距較小或者基材的凹凸較大時，由于撓性片在沿著被層疊體的凹凸追隨的狀態(tài)下難以膨脹，因此，配置于基材的膜狀樹脂產(chǎn)生被上述撓性片強烈地加壓的部分和未被強烈地加壓的部分。結(jié)果，由于與未被強烈地加壓的膜狀樹脂的部分相比，配置在基材的凸部的頂點附近的膜狀樹脂的部分被上述撓性片強烈地加壓，因此，該部分的膜狀樹脂伸展，膜厚變薄。因此，能夠預(yù)計到無法以更嚴格的標準在使膜狀樹脂的膜厚保持均勻的狀態(tài)下將膜狀樹脂層疊在基材上的傾向。本發(fā)明是鑒于這樣的情況而做成的，其目的在于提供如下層疊裝置即使在基材的凹凸的間距較小或者基材的凹凸較大的情況下，也能夠使膜狀樹脂完全沿著基材的凹凸進行層疊，而且，能夠以更嚴格的標準使層疊后的膜狀樹脂的膜厚均勻。
_9] 用于解決問題的方案為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的主旨在于，層疊裝置以在表面和背面這兩個面中的至少一個面具有凹凸的基材的凹凸面上附著膜狀樹脂及帶支承體膜的膜狀樹脂中的一者而成的臨時層疊體(PLl)為對象，用于形成使該膜狀樹脂及帶支承體膜的膜狀樹脂中的一者追隨基材的凹凸的主層疊體，該層疊裝置具有層疊機構(gòu)(El )，該層疊機構(gòu)(El)具有加壓層疊部件(P1)，該加壓層疊部件(Pl)在由上述密閉空間形成部件形成的密閉空間中，以不與上述膜狀樹脂及帶支承體膜的膜狀樹脂中的一者接觸的非接觸狀態(tài)對上述臨時層疊體(PLl)加壓并使該臨時層疊體(PLl)層疊在基材上，由臨時層疊體(PLl)形成主層疊體。即，本發(fā)明者們以如下內(nèi)容作為課題反復(fù)進行研究在更嚴格的標準下使層疊在具有凹凸的基材上的膜狀樹脂的膜厚均勻，以及即使基材的凹凸較大，也在基材與膜狀樹脂之間不產(chǎn)生微孔的前提下將膜狀樹脂層疊在基材上。在該研究過程中查明到，層疊在具有凹凸的基材上的膜狀樹脂的膜厚變得不均勻的原因在于，如先前所述，在將膜狀樹脂層疊在基材上時，在基材的凹凸較大的情況下，膨脹起來的撓性片未沿著基材的凹凸緊密地貼合，配置在基材上的膜狀樹脂產(chǎn)生被強烈地壓緊(接觸)在基材上的部分和未被強烈地壓緊在基材上的部分，從而在層疊后的膜狀樹脂的膜厚中產(chǎn)生不均勻。因此，并非探討使撓性片鼓起而壓緊在膜狀樹脂上，而進一步重新探討能否在不使用撓性片的前提下、即以所謂的非接觸的狀態(tài)對膜狀樹脂加壓而將膜狀樹脂層疊在基材上。結(jié)果發(fā)現(xiàn)，若在對膜狀樹脂加壓而將膜狀樹脂層疊在基材上之前，制成僅將膜狀樹脂重疊在基材上而成的臨時層疊體，將該臨時層疊體放入到密閉空間中，并向該密閉空間內(nèi)壓入空氣等，利用空氣等的壓力將膜狀樹脂壓緊在基材上而使該膜狀樹脂沿著基材的凹凸，制成層疊體(主層疊體)，則能夠達到預(yù)期的目的，從而完成了本發(fā)明。發(fā)明的效果本發(fā)明的層疊裝置具有層疊機構(gòu)(E1)，該層疊機構(gòu)(El)具有密閉空間形成部件，其用于收容通過將膜狀樹脂重疊而附著在基材上而成的臨時層疊體(PLl);以及加壓層疊部件，其用于以非接觸狀態(tài)對臨時層疊體(PLl)的膜狀樹脂加壓，使該臨時層疊體(PLl)的膜狀樹脂沿著基材的凹凸，制成主層疊體。因而，根據(jù)本發(fā)明的裝置，不必利用撓性片鼓起的力使膜狀樹脂沿著基材的凹凸來制成層疊體(主層疊體)，能夠通過以非接觸的狀態(tài)對膜狀樹脂加壓來形成主層疊體。而且，通過實現(xiàn)以非接觸狀態(tài)對膜狀樹脂加壓，能夠?qū)o支承體膜的膜狀樹脂層疊在基材上，因此，能夠發(fā)揮膜狀樹脂自身的撓性。因而，即使基材的凹凸程度較大，也不會在膜狀樹脂與基材之間產(chǎn)生微孔，能夠以更高的標準獲得膜狀樹脂與基材這兩者緊密地貼合的狀態(tài)的層疊體(主層疊體)。而且，由于使用空氣壓等利用氣體的壓力將膜狀樹脂層疊在基材上，因此，能夠以更嚴格的標準使層疊在具有凹凸的基材上的膜狀樹脂的膜厚均勻。因而，本發(fā)明的層疊裝置用于對搭載有像光半導(dǎo)體元件那樣的發(fā)光元件的基材與膜狀樹脂進行層疊，在層疊之后，在制造至少利用熱量及光中的一者使該層疊后的基材與膜狀樹脂固化的產(chǎn)品過程中，為了在后續(xù)工序中不使樹脂層與光學(xué)掩模等直接接觸而需要保護支承體膜，這與需要在層疊之后剝離支承體膜的阻焊干膜(dty film solder mask)不同，能夠在基材上配置預(yù)先剝除支承體膜后的膜狀樹脂并直接對該膜狀樹脂加壓。而且，由于能夠?qū)盈B后的膜狀樹脂的膜厚的偏差減小到非常小，因此，若利用本發(fā)明的層疊裝置將膜狀樹脂層疊在搭載有像光半導(dǎo)體元件那樣發(fā)光的元件的基材上，能夠獲得光學(xué)上的顏色不均較少的、優(yōu)異的光半導(dǎo)體裝置。而且，在本發(fā)明中，上述層疊機構(gòu)(El)還具有降壓部件，其用于在密閉空間內(nèi)由臨時層疊體(PLl)形成膜狀樹脂及帶支承體膜的膜狀樹脂中的一者與基材之間呈負壓狀態(tài)的臨時層疊體(PL2);以及加熱部件，其用于在密閉空間內(nèi)對臨時層疊體(PLl)加熱而使上述膜狀樹脂的周緣部與基材密封，通過使層疊機構(gòu)(El)的密閉空間內(nèi)的氣壓高于臨時層疊體(PL2)的負壓空間的氣壓，能夠利用氣壓差所產(chǎn)生的壓力以非接觸的狀態(tài)對膜狀樹脂加壓，因此，即使在剝除為了保護膜狀樹脂的具有粘著性、粘接性的樹脂層而覆蓋膜狀樹脂的表面的必需的支承體膜的狀態(tài)下，對膜狀樹脂層加壓而將該膜狀樹脂層層疊在基材上，膜狀樹脂的樹脂層也不會附著在加壓部件上。另外，膜狀樹脂自身的撓性不會因支承體膜而受損，膜狀樹脂追隨于基材的追隨性較佳。因此，基材與膜狀樹脂間完全緊密地貼合，即使是局部也不會在膜狀樹脂與基材之間產(chǎn)生微孔，因此優(yōu)選。另外，在本發(fā)明中，上述層疊機構(gòu)(El)還具有加熱部件，該加熱部件通過在密閉空間內(nèi)由臨時層疊體(PL2)形成主層疊體時對臨時層疊體(PL2)和主層疊體進行加熱，從而形成上述膜狀樹脂牢固地追隨上述基材的狀態(tài)，由此，臨時層疊體(PL2)的膜狀樹脂追隨于基材的追隨性變佳，能夠形成膜狀樹脂與基材這兩者的密合性更高的主層疊體。另外，在本發(fā)明中，該層疊裝置具有密閉空間形成部件，其能夠以上述臨時層疊體(PLl)為對象而收容上述臨時層疊體(PLl);降壓部件，其用于在由上述密閉空間形成部件形成的密閉空間中使臨時層疊體(PLl)的上述膜狀樹脂及帶支承體膜的膜狀樹脂中的一者與上述基材之間的空間形成負壓；加熱部件，其能夠?qū)εR時層疊體(PLl)的上述膜狀樹脂及帶支承體膜的膜狀樹脂中的一者進行加熱；層疊機構(gòu)(E2)，其具有加壓層疊部件(P2)，該加壓層疊部件(P2)用于形成臨時層疊體(PL1)，該臨時層疊體(PLl)通過使臨時層疊體(PLl)的上述膜狀樹脂及帶支承體膜的膜狀樹脂中的一者朝向上述基材的凸部層疊并使上述膜狀樹脂及帶支承體膜的膜狀樹脂中的一者與上述基材一體化而成；以及上述層疊機構(gòu)(El);由此，由于膜狀樹脂支承支承體膜，因此，能夠在膜狀樹脂層的形狀不產(chǎn)生應(yīng)變而維持為平面的狀態(tài)下，在使膜狀樹脂與上述基材相對，并且使膜狀樹脂與基材相接近，從而能夠使膜狀樹脂與基材一體化。由此，能夠獲得膜狀樹脂重疊在基材上的不起皺的臨時層疊體(PU)。因此，能夠獲得膜狀樹脂的厚度更均勻且不會在膜狀樹脂與基材之間產(chǎn)生微孔的主層疊體。而且，在本發(fā)明中，該層疊裝置還具有密閉空間形成部件，其能夠以上述臨時層疊體(PLl)為對象而收容上述臨時層疊體(PLl);降壓部件，其用于在由上述密閉空間形成部件形成的密閉空間中使臨時層疊體(PLl)的上述膜狀樹脂與上述基材之間的空間形成負壓；加熱部件，其能夠?qū)εR時層疊體(PLl)的上述膜狀樹脂進行加熱；層疊機構(gòu)(E3)，其具有加壓層疊部件(P3)，該加壓層疊部件(P3)通過使臨時層疊體(PLl)的上述膜狀樹脂的周緣部朝向上述基材層疊而形成上述臨時層疊體(PL2);以及上述層疊機構(gòu)(El);能夠迅速地形成臨時層疊體(PL2)，由此，能夠有效且可靠地密封基材與膜狀樹脂之間的空間。而且，在本發(fā)明中，上述加壓層疊部件(Pl)還具有用于控制加壓壓力的控制部件，由此，與在一個階段中朝向降壓后的層疊機構(gòu)(El)的密閉空間注入大氣壓或已設(shè)定的加壓空氣的情況相比，能夠控制由臨時層疊體(PL2 )形成主層疊體的速度，從而能夠進一步提高層疊后的膜狀樹脂層的膜厚均勻性，以便能夠穩(wěn)定形成主層疊體。而且，在本發(fā)明中，該層疊裝置還具有輸送機構(gòu)(Tl)，其用于朝向上述層疊機構(gòu)(E2)或者上述層疊機構(gòu)(E3)輸送臨時層疊體(PLl);輸送機構(gòu)(T2),其用于朝向上述層疊機構(gòu)(EI)輸送臨時層疊體(PLI)或者臨時層疊體(PL2 )，該臨時層疊體(PLI)通過使利用上述層疊機構(gòu)(E2)形成的上述膜狀樹脂朝向上述基材的凸部層疊并使上述膜狀樹脂與上述基材一體化而成，該臨時層疊體(PL2)通過使利用上述層疊機構(gòu)(E3)形成的上述膜狀樹脂朝向上述基材的凸部層疊并使上述膜狀樹脂與上述基材一體化而成；以及輸送機構(gòu)(T3)，其用于從上述層疊機構(gòu)(El)搬出利用上述層疊機構(gòu)(El)形成的主層疊體；由此，能夠分別分散地進行形成臨時層疊體(PLl)的工序、形成膜狀樹脂與基材一體化而成的臨時層疊體(PLl)或者臨時層疊體(PL2)工序、形成主層疊體的工序，因此，能夠使主層疊體形成作業(yè)高效化，且能夠在每個工序中均設(shè)定最適當?shù)男纬蓷l件。另外，在本發(fā)明中，該層疊裝置還具備支承體膜剝離部件，該支承體膜剝離部件用于從上述帶支承體膜的膜狀樹脂剝離支承體膜，由此，能夠在層疊工序內(nèi)從膜狀樹脂剝離支承體膜，因此，能夠根據(jù)基材的凹凸程度、膜狀樹脂的種類等，更簡便地將膜狀樹脂緊密地層置在基材上。而且，在本發(fā)明中，上述支承體膜剝離部件還具有用于使該支承體膜剝離部件自身工作的控制部件，該控制部件使剝離部件從臨時層疊體的帶支承體膜的膜狀樹脂及形成臨時層疊體之前的帶支承體膜的膜狀樹脂中的一者剝離支承體膜，由此，能夠更容易且更美觀地剝離支承體膜，因此優(yōu)選。而且，在本發(fā)明中，該層疊裝置還包括切斷部件，其用于將膜狀樹脂及帶支承體膜的膜樹脂中的一者切斷成預(yù)定尺寸；以及預(yù)固化部件，其用于對膜狀樹脂及帶支承體膜的膜狀樹脂中的一者進行預(yù)固化，由此，能夠利用預(yù)固化部件根據(jù)基材的凹凸的大小等控制膜狀樹脂的殘留溶劑濃度、熱固化的程度。而且，通過對膜狀樹脂及帶支承體膜的膜樹脂中的一者進行預(yù)固化，能夠抑制配置在基材上的膜狀樹脂過度流動而導(dǎo)致層疊在基材的凸部的上表面、基材的周緣部的膜狀樹脂的膜厚變薄，或通過在膜狀樹脂追隨基材的凹凸時提高膜狀樹脂的強度以避免其過度伸長，能夠提高層疊在基材上的膜狀樹脂的膜厚均勻性。另外，通過測量膜狀樹脂及帶支承體膜的膜狀樹脂中的一者的膜狀樹脂的軟化程度，能夠在作為后續(xù)工序的加壓層疊部件中根據(jù)測量數(shù)據(jù)設(shè)定加熱條件，因此，能夠更可靠地獲得目標狀態(tài)的主層疊體。而且，通過在預(yù)固化之前或者之后利用切斷部件將卷繞在芯上的縱長帶狀的膜狀樹脂及帶支承體膜的膜狀樹脂中的一者切割成在朝向臨時層疊體層疊時使用的預(yù)定尺寸，能夠使由卷繞在輥上的膜狀樹脂及帶支承體膜的膜狀樹脂中的一者形成主層疊體的所有工序全自動化。另外，在本發(fā)明中，“臨時層疊體”是指膜狀樹脂等(以下稱作“膜狀樹脂或者帶支承體膜的膜狀樹脂”)的樹脂面未緊密追隨具有凹凸的基材的凹凸面的狀態(tài)的層疊體。其中，以使基材和膜狀樹脂等在膜狀樹脂等的樹脂面與具有凹凸的基材的凹凸面相對的狀態(tài)下重合的情況下的臨時層疊體稱作“PL1”，將使PLl的膜狀樹脂等的周緣部與基材相連接來密封基材的凹凸面與膜狀樹脂等之間的空間從而形成降壓狀態(tài)的密封空間的臨時層疊體稱作“PL2”。另外，在本發(fā)明中，“以‘非接觸狀態(tài)’對膜狀樹脂及帶支承體膜的膜狀樹脂中的一者加壓”是指，“以‘撓性片等有形物未接觸膜狀樹脂及帶支承體膜的膜狀樹脂中的一者的狀態(tài)’對膜狀樹脂及帶支承體膜的膜狀樹脂中的一者加壓”。而且，在本發(fā)明中，將膜狀樹脂及帶支承體膜的膜狀樹脂中的一者‘附著’在基材上而成的臨時層疊體(PLl)是指，使基材與膜狀樹脂等在膜狀樹脂等的樹脂面與基材的凹凸面相對的狀態(tài)下僅重合的情況下的臨時層疊體(PL1)，基材與膜狀樹脂及帶支承體膜的膜狀樹脂中的一者‘一體化’而成的臨時層疊體(PLl)或者臨時層疊體(PL2)是指，基材與膜狀樹脂以及與帶支承體膜的膜狀樹脂中的一者重合并對其進一步進行加壓后的狀態(tài)下的臨時層疊體(PLl)或者臨時層疊體(PL2)，并且指被一體化至無法簡單地從基材分離膜狀樹脂及帶支承體膜的膜狀樹脂中的一者的程度的狀態(tài)下的臨時層疊體(PLl)或者臨時層疊體(PL2)。


圖1是本發(fā)明的一實施例的剖視圖。圖2是本發(fā)明的一實施例的局部剖視圖。圖3是本發(fā)明的一實施例的俯視圖。圖4的(a)、圖4的(b)均是本發(fā)明的一實施例的說明圖。圖5是本發(fā)明的一實施例的說明圖。圖6是本發(fā)明的一實施例的說明圖。圖7是本發(fā)明的一實施例的說明圖。圖8是本發(fā)明的一實施例的說明圖。圖9是本發(fā)明的一實施例的說明圖。圖10是本發(fā)明的一實施例的局部放大說明圖。圖11是本發(fā)明的一實施例的說明圖。圖12是本發(fā)明的一實施例的局部放大說明圖。圖13是本發(fā)明的一實施例的局部放大說明圖。圖14是本發(fā)明的一實施例的局部放大說明圖。圖15是本發(fā)明的一實施例的局部放大說明圖。圖16是本發(fā)明的一實施例的局部放大說明圖。圖17是本發(fā)明的一實施例的局部放大說明圖。圖18是本發(fā)明的一實施例的局部放大說明圖。圖19是本發(fā)明的一實施例的說明圖。圖20的(a)、圖20的(b)均是本發(fā)明的又一實施例的說明圖。圖21是本發(fā)明的另一實施例的剖視圖。圖22是本發(fā)明的又一實施例的剖視圖。圖23是本發(fā)明的又一實施例的說明圖。
圖24是本發(fā)明的又一實施例的局部放大說明圖。圖25是本發(fā)明的又一實施例的局部放大說明圖。圖26是本發(fā)明的又一實施例的說明圖。圖27是本發(fā)明的又一實施例的說明圖。圖28是本發(fā)明的一實施例的說明圖。圖29是圖1的局部放大說明圖。圖30是圖1的局部放大說明圖。圖31是圖3的局部放大說明圖。圖32是圖3的局部放大說明圖。圖33是圖12的局部放大說明圖。圖34是圖21的局部放大說明圖。圖35是圖21的局部放大說明圖。圖36是圖22的局部放大說明圖。圖37是圖22的局部放大說明圖。
具體實施例方式接著，對用于實施本發(fā)明的實施方式進行說明。但是，本發(fā)明并不限定于該實施方式。圖1表示本發(fā)明的層疊裝置的一實施方式。該層疊裝置A是用于將由硅樹脂等構(gòu)成的膜狀樹脂層疊在具有凹凸的基材上的裝置，該層疊裝置A包括:切斷組件1，其用于切斷上述縱長帶狀的、帶支承體膜的膜狀樹脂；預(yù)固化組件2，其用于對帶支承體膜的膜狀樹脂進行預(yù)固化；剝離組件3，其用于自帶支承體膜的膜狀樹脂剝離支承體膜；臨時層疊體形成組件4，其用于形成臨時層疊體以及；主層疊體形成組件5，其用于形成主層疊體；如附圖所示，這些組件從箭頭的流動方向的上游(切斷組件I)朝向下游(主層疊體形成組件5)按照上述順序配設(shè)。另外，附圖標記α’是用于收容上述組件I 組件5的整體外罩。而且，在整體外罩α ’中，在各組件的側(cè)面設(shè)有未圖示的安全門，并以使供本層疊裝置設(shè)置的清潔室內(nèi)的空氣更清新為目的而在各組件的頂部設(shè)有未圖示的HEPA過濾器。另外，圖29(組件1、組件2)、圖30 (組件3 組件5)分別表示圖1的局部放大圖。而且，在圖1中，將各部分示意地示出，各部分的大小、厚度等與實際情況不同(在以下的附圖中也如此)。首先，上述切斷組件I具有從卷繞于芯管且在內(nèi)周側(cè)具有罩膜、在外周側(cè)具有支承體膜的縱長帶狀的帶支承體膜的膜狀樹脂剝離罩膜的功能和將該帶支承體膜的膜狀樹脂切成預(yù)定長度的功能。即，該切斷組件I包括:開卷輥6，其卷繞有具有上述罩膜的帶支承體膜的膜狀樹脂；罩膜卷取輥7，其用于卷取從上述帶支承體膜的膜狀樹脂剝離的罩膜；盤形銑刀8，其用于將剝離罩膜后的、帶支承體膜的膜狀樹脂切成預(yù)定長度；輸送機9 ;以及吸附輸送板10。更詳細地說明，如圖2所示，預(yù)定寬度的上述開卷輥6設(shè)置于從基臺a向上方延伸的支柱板b，該開卷輥6將上述帶支承體膜的膜狀樹脂保持為能夠伸出自如。而且，利用由從上方觀察圖1的層疊裝置A的圖、即圖3的附圖標記k所示的伺服馬達進行控制，以使該開卷輥6向與帶支承體膜的膜狀樹脂的伸出方向相反的方向旋轉(zhuǎn)，并對伸出來的帶支承體膜的膜狀樹脂施加恒定的張力。上述卷取輥7設(shè)置于支柱板b，利用圖3的附圖標記I所示的伺服馬達驅(qū)動上述卷取輥7旋轉(zhuǎn)，使得該卷取輥7對經(jīng)由引導(dǎo)輥e而從夾持輥f、夾持輥g伸出的、被剝離板d從帶支承體膜的膜狀樹脂剝離下來的罩膜進行卷取。夾持輥f被圖3的附圖標記m所示的伺服馬達驅(qū)動，利用未圖示的氣缸將不具有驅(qū)動部件的夾持輥g向夾持輥f推壓。輸送機9具有不銹鋼制的傳送帶9b和驅(qū)動輥i。如圖3所示，上述傳送帶9b在表面上具有多個吸引孔9c，上述傳送帶9b呈環(huán)狀，并架設(shè)于支承輥h與驅(qū)動輥i。驅(qū)動輥i被圖3的附圖標記η所示的伺服馬達驅(qū)動。帶支承體膜的膜狀樹脂的送出速度、送進量被用于驅(qū)動夾持輥f、夾持輥g及驅(qū)動輥i的伺服馬達η控制。開卷輥6的旋轉(zhuǎn)力被控制，以便對自開卷輥6供給至輸送機9的帶支承體膜的膜狀樹脂施加恒定的、設(shè)定后的張力，卷取輥7被控制為，以設(shè)定后的恒定的張力將自夾持輥f、夾持輥g伸出來的罩膜卷取起來。該輸送機9具有用于使圖2的附圖標記9a所示的降壓室與設(shè)置于傳送帶表面的吸引孔9c相連通的吸引功能，且該輸送機9以吸附了帶支承體膜的膜狀樹脂的狀態(tài)輸送該帶支承體膜的膜狀樹脂。在該輸送過程中，利用圖2的附圖標記d所示的剝離板，將罩膜的輸送方向改變?yōu)榕c帶支承體膜的膜狀樹脂的輸送方向不同的斜后方向，從而自帶支承體膜的膜狀樹脂剝離罩膜。另外，圖31 (組件1、組件2)、圖32 (組件3 組件5)分別表示圖3的局部放大圖。架設(shè)板r用于載置從輸送機9輸送的帶支承體膜的膜狀樹脂，并使該帶支承體膜的膜狀樹脂以在架設(shè)板r上滑動的方式移動。首先，將剝離了罩膜且被輸送機9輸送至架設(shè)板r上的帶支承體膜的膜狀樹脂張設(shè)在設(shè)置于架設(shè)板r的盤形銑刀行進槽P上，利用未圖示的吸引部件從設(shè)置在架設(shè)板r上的吸引孔ο吸附該帶支承體膜的膜狀樹脂，固定該帶支承體膜的膜狀樹脂，以使得在切斷時該帶支承體膜的膜狀樹脂不會錯位。接著，一邊利用圖2的附圖標記8a所示的步進馬達使盤形銑刀8旋轉(zhuǎn)，一邊通過利用內(nèi)置的滾珠絲杠將伺服馬達的旋轉(zhuǎn)運動轉(zhuǎn)換為直線運動的LM驅(qū)動器(Sb)，使盤形銑刀8在圖3的盤形銑刀行進槽P中向箭頭q方向行進，從而將固定在架設(shè)板r上的帶支承體膜的膜狀樹脂切成預(yù)定長度。也可以將盤形銑刀8恢復(fù)到圖3所示的位置，也可以使盤形銑刀8在此處待機，在自輸送機9送出預(yù)定長度的、下一個帶支承體膜的膜狀樹脂并將該下一個帶支承體膜的膜狀樹脂吸附于架設(shè)板r之后，使盤形銑刀8向與箭頭q相反的方向行進，然后將帶支承體膜的膜狀樹脂切斷。另外，在架設(shè)板r中內(nèi)置有未圖示的加熱器，由于對自輸送機9輸送過來的帶支承體膜的膜狀樹脂進行了加熱，因此，抑制了在切斷時產(chǎn)生細小的切屑(微粒)。如圖3所示,吸附輸送板10具有用于吸引吸附部IOa的吸引裝置(未圖示)所具有的吸附功能、氣缸IOb所具有的上下驅(qū)動功能及LM驅(qū)動器IOc所具有的左右移動的功能。該吸附輸送板10使氣缸IOb從圖2所示的狀態(tài)開始工作并下降，吸附被切成預(yù)定尺寸的帶支承體膜的膜狀樹脂，并使氣缸IOb移動，上升并返回到原始高度，接著，使LM驅(qū)動器IOc工作而向圖示的右方水平移動，接著，使氣缸IOb工作而下降，解除對被切成預(yù)定尺寸的帶支承體膜的膜狀樹脂(以下稱作“切斷膜狀樹脂”)19的吸引，并將該切斷膜狀樹脂19載置于從后續(xù)工序的預(yù)固化組件2延伸的輸送機11。另外，作為吸附輸送板10的吸附部10a，能夠在吸附部使用采用金屬燒結(jié)體、碳等多孔質(zhì)構(gòu)件的真空卡盤、采用聚酰亞胺等電解質(zhì)的靜電卡盤、利用伯努利效應(yīng)的吸盤等任意吸附部件。
預(yù)固化組件2 (返回至圖1)具有對切斷膜狀樹脂19進行預(yù)固化的預(yù)固化功能，包括輸送機11，上述切斷組件I及支承體膜剝離組件3共用該輸送機11 ;以及熱風(fēng)循環(huán)式烘箱(以下稱作“烘箱”)12，其配設(shè)于輸送機11的下部，并具有預(yù)固化組件內(nèi)氣流循環(huán)用鼓風(fēng)機12a、管道加熱器12b、HEPA過濾器12c、下行式噴出口 12d。更詳細地說明，輸送機11的輸送帶是特氟綸(注冊商標)制的網(wǎng)帶，其架設(shè)于一對軸支承于未圖示的支柱的支承輥。該輸送機11以預(yù)定間隔將切斷膜狀樹脂19載置于輸送帶的輸送面，并將該切斷膜狀樹脂19向圖示的箭頭方向進行輸送。而且，烘箱12具有未圖示的溫度檢測部件和溫度控制部件，管道加熱器12b以與鼓風(fēng)機12a、HEPA過濾器12c相鄰的狀態(tài)設(shè)置于上述輸送機11的下方。而且，為了將輸送帶的輸送面上的切斷膜狀樹脂19設(shè)為預(yù)定溫度，管道加熱器12b對在烘箱12內(nèi)循環(huán)的空氣進行加熱。該被加熱后的空氣以如下方式循環(huán)將該被加熱后的空氣送到HEPA過濾器12c并進行清潔，使該被清潔后的空氣通過在預(yù)固化組件2內(nèi)朝向上方的配管(未圖示)，并從下行式噴出口 12d向下方向噴出，然后返回至烘箱12內(nèi)。另外，由于烘箱12內(nèi)的空氣不僅以上述的方式循環(huán)，還排出來自切斷膜狀樹脂19的外部氣體，因此，也可以利用未圖示的鼓風(fēng)機和氣體流量調(diào)整部件進行排氣。通過利用輸送機11將載置于輸送機11的輸送帶的輸送面的切斷膜狀樹脂19以預(yù)定時間輸送至設(shè)定為預(yù)定溫度的烘箱12內(nèi)，從而使得膜狀樹脂的樹脂成分發(fā)生固化反應(yīng)并成為譬如縮合狀。支承體膜剝離組件3具有從被預(yù)固化后的切斷膜狀樹脂19的背面剝離支承體膜的支承體膜剝離功能，如圖1及圖3簡略表示的那樣，支承體膜剝離組件3具有半切割裝置13和支承體膜剝離裝置14。更詳細地說明，如圖4的(a)的主視圖、圖4的(b)的側(cè)視圖所示，半切割裝置13由切削刃15、用于上下驅(qū)動切削刃15的缸體16、用于支承切削刃15的底座17以及隔著輸送機13a載置切斷膜狀樹脂19的支承臺18構(gòu)成。在圖4的(a)中，利用未圖示的切斷膜狀樹脂19檢測部件等將從預(yù)固化組件2的輸送機11載置于半切割裝置13的輸送機13a的切斷膜狀樹脂19定位于半切割裝置13的中央部(支承臺18上)。定位是通過如下方式進行的在圖4的(b)中，將未圖示的導(dǎo)銷等配置在比位于支承臺18的左側(cè)上方的切削刃15更靠左側(cè)的支承臺18上，利用未圖示的抵接排列部件將切斷膜狀樹脂19壓緊在上述導(dǎo)銷等，由此，能夠確定切斷膜狀樹脂19在支承臺18上的位置。作為除上述以外的定位機構(gòu)，例如也可以在將切斷膜狀樹脂19從預(yù)固化組件2的輸送機11載置于半切割裝置13的輸送機13a之前，首先將切斷膜狀樹脂19載置于定心臺等定位部件來進行定位，之后，利用與圖3所示的吸附輸送板10同樣的輸送機構(gòu)將該定位后的切斷膜狀樹脂19載置于支承臺18上的輸送機13a。接著，如圖5所示，向箭頭方向驅(qū)動缸體16，使切削刃15下降，對于被定位的切斷膜狀樹脂19，通過作為樹脂層的膜狀樹脂20，并使該膜狀樹脂20進入到支承體膜21的上部。由此，膜狀樹脂20以橫跨其寬度方向的方式被切割，切斷膜狀樹脂19被切入與膜狀樹脂20的厚度大致相等的深度。將該過程稱作“半切割”。在圖3中，利用輸送機13a將被半切割后的切斷膜狀樹脂19自半切割裝置13的正下方向紙面的右方向輸送。利用圖3所示的輸送臂73的吸附板73a吸附輸送來的半切割后的切斷膜狀樹脂19，并利用LM驅(qū)動器73b將該切斷膜狀樹脂19自輸送機13a抬起，利用LM驅(qū)動器73c將該該切斷膜狀樹脂19送至支承體膜剝離裝置14。如圖6所示，支承體膜剝離裝置14包括載置臺22，其用于載置利用上述輸送臂73輸送的半切割后的切斷膜狀樹脂19，并被四角的腿部支承；伺服馬達驅(qū)動LM驅(qū)動器23 ；推壓用臂24，其向上方延伸；臂27，其具有吸盤25，通過利用伺服馬達驅(qū)動LM驅(qū)動器26a使其固定板26沿鉛垂方向滑動，從而該臂27能夠上下移動；針部28，其以進退自如的方式安裝于該臂27;以及捏手部29 (未圖示)，其在預(yù)定方向上移動自如。上述載置臺22在設(shè)置于其下部的滑動自如的LM驅(qū)動器23的作用下能夠向水平方向移動。另外，LM驅(qū)動器23通過將作為驅(qū)動源的伺服馬達(未圖示)的旋轉(zhuǎn)傳遞至內(nèi)置的滾珠絲杠而能夠在水平方向上移動。推壓用臂24配置在吸盤25的下側(cè)且配置在載置臺22的腿部與腿部之間，在載置臺22向圖示的左方移動而在上方出現(xiàn)空間時，推壓用臂24朝向吸盤25延伸。臂27隔著固定板26以沿著LM驅(qū)動器26a移動自如的方式安裝于支承在基臺上的LM驅(qū)動器26a，且臂27通過其內(nèi)部的吸引路(未圖示)對其吸盤25施加吸引力。吸盤25用于吸附半切割后的切斷膜狀樹脂19，并比上述半切割后的切斷膜狀樹脂19稍小。針部28以沿著臂27的臂的長度方向進退自如的方式安裝于臂27。在針部28的前端設(shè)有針，針的頂端朝向吸盤25。接著，如圖6中利用箭頭所示，利用輸送臂73將半切割后的切斷膜狀樹脂19載置于支承體膜剝離裝置14的載置臺22上的預(yù)定位置。然后，使載置臺22向吸盤25的正下方移動，如圖7中的箭頭所示那樣使臂27下降移動，使上述狀態(tài)的切斷膜狀樹脂19接觸并吸附于吸盤25，在該狀態(tài)下將吸盤25向上方抬起。此時，由于吸盤25相對于切斷膜狀樹脂19稍小，因此，上述切斷膜狀樹脂19的半切割后的一側(cè)的端部連同支承體膜21 —起略微從吸盤25突出。捏手部29抓住該突出的端部，捏手部29的頂端的一對捏爪在捏手部29的氣缸的作用下開閉而進行抓捏動作，而且，捏手部29的后端以其頂端為中心向下方轉(zhuǎn)動，捏手部29整體能夠在圖3所示的附設(shè)于支承體膜剝離裝置的LM驅(qū)動器14a的作用下向切斷膜狀樹脂的對角線方向水平移動。在捏手部29抓住切斷膜狀樹脂19的突出的端部之后，載置臺22向側(cè)方移動，推壓用臂24從生成的空間上升，利用吸盤25和推壓用臂24夾持切斷膜狀樹脂19的端部側(cè)的部分進行固定(圖8)。在該狀態(tài)下，捏手部29以抓住切斷膜狀樹脂19的端部的位置為中心，如圖9所示，與抓住的部分相反的一側(cè)向下方下降。通過該動作，被捏手部29抓住的切斷膜狀樹脂19的端部從吸盤25的盤面向下方下降，由此，切斷膜狀樹脂19的被半切割的部分的裂縫擴大，成為被切開的狀態(tài)。接著，推壓用臂24下降，如作為圖9的局部放大圖的圖10所示，設(shè)置于針部28的頂端的針刺入該半切割后的部分的裂縫，使裂縫進一步擴大，從而容易從該處斷裂。捏手部29從該狀態(tài)開始如圖11的由箭頭所示地移動，由此，切斷膜狀樹脂19的支承體膜21連同切斷膜狀樹脂19的端部一起從膜狀樹脂20剝落。然后，針部28返回至原始位置。此時，僅剩余的大部分的膜狀樹脂20以被吸附的狀態(tài)殘留于吸盤25。然后，在使載置臺22移動至吸盤25正下方之后，使吸盤25下降，并解除該吸附狀態(tài)，由此將膜狀樹脂20載置在載置臺22上。將載置有膜狀樹脂20的載置臺22從吸盤25正下方移動至輸送臂73的吸附板73a的正下方。然后，利用該輸送臂73將膜狀樹脂20輸送至臨時層疊體形成組件4。臨時層疊體形成組件4 (返回至圖1、圖3)具有如下功能使上述膜狀樹脂20以預(yù)定位置關(guān)系重疊在具有凹凸的基材的凹凸面上，使膜狀樹脂利用其自身所具有的粘性及自重輕輕地附著在基材的凹凸中的凸部，從而形成臨時層疊體(PL1)。該臨時層疊體形成組件4包括輸送臂73，臨時層疊體形成組件4與上述支承體膜剝離組件3共用該輸送臂73，且該輸送臂73用于使吸附并保持于吸附板73a的膜狀樹脂20移動至對準臺30的上方的預(yù)定位置；基材推出機構(gòu)74，其用于將載置在基材架33內(nèi)的多段帶凹凸面的基材38 —張一張地推出，該基材架33能夠利用伺服馬達驅(qū)動LM驅(qū)動器33a上升及下降；導(dǎo)軌75，其用于將從基材架33推出的基材38引導(dǎo)至對準臺30 ;(XD攝像機組件76，其用于分別識別吸附并保持于吸附板73a的膜狀樹脂20的輪廓線與基材38的輪廓線；未圖示的圖像識別組件；以及標量機械臂32，其用于利用卡盤夾住由基材38和附著在基材38的凹凸面上的膜狀樹脂20構(gòu)成的臨時層疊體(PLl)31并將該臨時層疊體(PLl)31從對準臺30輸送至主層疊體形成組件5的輸送膜34。在上述基材推出機構(gòu)74中，從作為圖3的局部放大圖的圖12的狀態(tài)，利用LM驅(qū)動器74b將伺服馬達74c的旋轉(zhuǎn)運動轉(zhuǎn)換為基材推出臂74a的水平運動。然后，如作為圖1的臨時層疊體形成組件4的局部放大圖的圖13所示，基材推出臂74a利用該水平運動力將被收納于基材架33的基材38 —張一張地推出。此時，利用伺服馬達驅(qū)動LM驅(qū)動器33a將基材架33的高度控制在適當?shù)母叨龋员闶够耐瞥霰?4a將收納在最上層的基材38推出。從基材架33推出的基材38在被導(dǎo)軌75支承的同時移動，并在對準臺30的大致中央部停止。此時，在對準臺30的各個邊分別設(shè)有兩個的定心桿30a在氣缸30d的作用下下降，基材38滑動到下降后的定心桿30a的上方(參照圖14)。然后，當基材38移動至對準臺30的大致中央位置時，基材推出臂74a滑動并返回至圖12的狀態(tài)，各定心桿30a準備對基材38進行定心，各定心桿30a的上部上升至比基材38高的位置。另一方面，基材架33利用伺服馬達驅(qū)動LM驅(qū)動器33a使多段收納起來的基材38的收納空間上升I段，準備將下一基材推出。然后，安裝有相鄰地配置在對準臺的四條邊上的定心桿30a的定心棒30c滑動至用于定心基材38的預(yù)定位置(圖12及作為圖12的局部放大圖的圖33的虛線30b所示的位置)，成為圖15的狀態(tài)。此時，為了避免定心桿30a與導(dǎo)軌75相互干涉,如圖13所示，在導(dǎo)軌75上端設(shè)有缺口。這樣，基材38被定心在對準臺30的預(yù)定位置。接著，上述輸送臂73利用垂直輸送機構(gòu)(LM驅(qū)動器73b)及水平輸送機構(gòu)(LM驅(qū)動器73c)使在背面吸附有膜狀樹脂20的吸附板73a向定心后的基材38的上方移動，如圖16所示，基材38與膜狀樹脂20呈相對的狀態(tài)。而且，搭載有四個單元的CXD攝像機組件76的CXD攝像機桿76b在由伺服馬達76d驅(qū)動的LM驅(qū)動器76c的作用下水平地移動至上述相對的基材38與膜狀樹脂20之間的空間，成為圖17所示的狀態(tài)。圖13示出該狀態(tài)的橫截面示意圖。如圖13的由水平的虛線所示，搭載于CCD攝像機桿76b的CCD攝像機組件76位于相對的基材38與膜狀樹脂20中間，CXD攝像機組件76至基材38的距離與CXD攝像機組件76至膜狀樹脂20的距離設(shè)定與CCD攝像機的焦點距離相等。如垂直的虛線所示，上述(XD攝像機組件76的(XD攝像機使用棱鏡快門(prism shutter)拍攝上方和下方或?qū)ι戏胶拖路交蛘呱戏胶拖路街械娜我徽哌M行照明，從而能夠?qū)⒒?8和膜狀樹脂20的四個角收納在其視野范圍內(nèi)。在該狀態(tài)下，使計算機根據(jù)來自CCD攝像機的圖像信息識別分別基材38的輪廓線和膜狀樹脂20的輪廓線，計算出基材38和膜狀樹脂20的重心坐標。然后，利用步進馬達30g使對準臺30向X方向、Y方向、Θ方向移動，以使基材38與膜狀樹脂20的重心坐標一致。當通過上述處理使基材38與膜狀樹脂20的重心位置一致時，為了制作臨時層疊體(PLl) 31，使C⑶攝像機桿76b退避到圖16的狀態(tài)，使吸附板73a下降，成為圖18的狀態(tài)，在該狀態(tài)下阻止吸附板73a的吸引力，將膜狀樹脂20重疊在基材38的凹凸面上，使膜狀樹脂20輕輕地附著于基材38。在基材38在表背兩個面上具有凹凸的情況下，首先，制作膜狀樹脂20附著于基材38的單面而成的臨時層疊體(PLl) 31，利用未圖示的反轉(zhuǎn)機構(gòu)將該臨時層疊體(PLl) 31反轉(zhuǎn)，并再次載置在對準臺30上。然后，通過通過重復(fù)上述處理，能夠?qū)⒛顦渲?0也附著在基材38的另一個單面上。標量機械臂32的卡盤夾住如此形成的臨時層疊體(PLl) 31并將其抬起，自該狀態(tài)起旋轉(zhuǎn)，在預(yù)定位置將該臨時層疊體(PLl )31放下，之后停止把持，將該臨時層疊體(PLl )31以呈兩排的方式順次放置在輸送膜34上(返回至圖1、圖3)。輸送膜34與后續(xù)工序的主層疊體形成組件5中的降壓工序、加壓工序相配合而間歇性地工作，該輸送膜34被自始端輥42伸出，并被終端輥43卷取起來。該輸送膜34在于輸送面上一次放置有多個(在該例子中為四個)臨時層疊體(PLl) 31的狀態(tài)下工作，并將該多個臨時層疊體(PLl) 31送至下一工序的主層疊體形成組件5。主層疊體形成組件5是本發(fā)明的技術(shù)特征部分，其具有能夠收容臨時層疊體(PLl) 31的密閉空間形成部件和在該密閉空間中以非接觸狀態(tài)對臨時層疊體(PLl)加壓而形成主層疊體的加壓層疊部件(Pl)[層疊機構(gòu)(El)]。在該實施方式中，如圖1所示，作為用于將臨時層疊體(PL1)31制作成主層疊體36的密閉空間形成部件，采用能夠自由切換降壓及加壓的降壓加壓槽37。如圖19所示，該降壓加壓槽37具有上部板部66和下部板部
67。上部板部66的金屬板下表面被切削而呈凹狀,在該凹狀部分處隔著隔熱板66b具有四邊狀的加熱器板66a 。連接口 66c連接于未圖示的真空抽吸裝置等(例如真空抽吸裝置、真空調(diào)節(jié)器、大氣導(dǎo)入配管、空氣加壓裝置等)。而且，在加熱器板66a外周設(shè)有進氣 排氣槽
68。下部板部67也與上部板部66相同，其金屬板上表面被切削而呈凹狀，在該凹狀部分處即凹處70內(nèi)隔著隔熱板67b具有四邊狀的加熱器板67a。而且，與上述相同，連接口 67c連接于未圖示的真空抽吸裝置等(真空抽吸裝置、真空調(diào)節(jié)器、大氣導(dǎo)入配管、空氣加壓裝置等)，在上述加熱器板67a外周設(shè)有進氣.排氣槽69。另外，也可以不如上所述那樣在上下板這兩者均設(shè)置連接口，而僅在上下板中的任意一個板上設(shè)置連接口。在下部板部67的上表面上以包圍加熱器板67a的狀態(tài)設(shè)有凹狀槽，在該凹狀槽內(nèi)配置有由O型環(huán)等構(gòu)成的密封材料71。下部板部67在液壓缸59的作用下升降自如，從圖示的狀態(tài)開始上升，隔著密封材料71而與上部板部66緊密接合。當下部板部67與上部板部66緊密接合時，上述凹處70成為密閉空間Z。臨時層疊體(PLl) 31在該密閉空間Z內(nèi)，經(jīng)由降壓工序及利用加工層疊部件(Pl)以非接觸狀態(tài)進行加壓的工序成為主層疊體36。以如下情況為例詳細地進行描述:在這些工序中，如圖20的(b)所示，作為具有凹凸的基材38，采用在由絕緣基材和導(dǎo)體圖案構(gòu)成的基板38b上以預(yù)定間隔設(shè)置表面安裝型發(fā)光元件作為凸部38c，并在該凸部38c與凸部38c之間形成凹部38d的結(jié)構(gòu)，將在基材38的凹凸面上重疊有膜狀樹脂20而成的臨時層疊體(PL1)31制作成主層疊體36。將載置于輸送膜34的臨時層疊體(PL1)31向圖19中的箭頭方向輸送，并定位在上部板部66與下部板部67之間的、與密閉空間Z用的凹處70相對的位置。在該位置處，臨時層疊體(PL1)31呈膜狀樹脂20重疊于基材38的凹凸面并輕輕地附著在凸部38c的上表面的狀態(tài)。而且，降壓加壓槽37的連接口 66c與真空抽吸裝置之間的各配管或者連接口 67c與真空抽吸裝置之間的各配管均被閥(未圖示)封閉。在連接口(66c、67c)與真空抽吸裝置之間的各配管均被閥封閉的狀態(tài)下，液壓缸59上升工作，上部板部66與下部板部67隔著密封件71相抵接，下部板部67的凹處70成為密閉空間Z。此時，臨時層疊體(PLl) 31既未接觸于上部板部66也未接觸于下部板部67。在形成了密閉空間Z的狀態(tài)下，連接口 66c、連接口 67c與真空抽吸裝置(未圖示)之間的閥被打開，密閉空間Z內(nèi)被抽真空，同時，利用預(yù)先被控制為預(yù)定溫度的上下的加熱器板66a、加熱器板67a對臨時層疊體(PLl)31進行加熱。于是，臨時層疊體(PLl) 31在降壓的過程中被加熱，因此，臨時層疊體(PLl) 31的膜狀樹脂20軟化而沿著基材38的凹凸，而且，膜狀樹脂20的端部的整周與基材38的表面的周緣部的整周緊密地貼在一起。由此，在膜狀樹脂20與基材38之間產(chǎn)生密封空間(S)，成為具有密封空間(S)的臨時層疊體(PL2) (72)。此時，上述密封空間(S)與其周圍的密閉空間Z相同地成為降壓狀態(tài)。另外，帶()的附圖標記未圖示。以下的帶()的附圖標記也是相同的。在形成具有密封空間(S)的臨時層疊體(PL2) (72)之后，在維持由加熱器板66a、加熱器板67a進行加熱的狀態(tài)下，減弱上述密閉空間Z的降壓狀態(tài)，根據(jù)需要階段性地或者連續(xù)性地使上述密閉空間Z為氣壓較高的狀態(tài)。即，主層疊體形成組件5具有使真空調(diào)節(jié)器工作從而將上述密閉空間Z的氣壓控制為真空狀態(tài)與大氣壓之間的氣壓、或者中止對上部板部66和下部板部67之間抽真空然后將大氣導(dǎo)入到上述密閉空間Z、甚至根據(jù)需要將壓縮空氣等被加壓后的氣體注入到上述密閉空間Z等控制加壓壓力的控制功能。由此，能夠?qū)εR時層疊體(PL2) (72)施加控制后的加壓和加熱。此時，臨時層疊體(PL2) (72)的膜狀樹脂20與基材38之間的密封空間(S)成為如先前所述的降壓狀態(tài)，在保持該密封空間(S)的狀態(tài)下，降壓加壓槽37內(nèi)的密閉空間Z成為加壓狀態(tài)，因此，在該兩個空間(密閉空間Z與密封空間(S))之間產(chǎn)生氣壓差。利用該產(chǎn)生的氣壓差，臨時層疊體(PL2) (72)的膜狀樹脂20形成從外側(cè)被強烈地擠壓而得到的形狀，并以完全沿著基材38的凹凸的狀態(tài)緊密地貼合于基材38。于是，通過上述加熱，膜狀樹脂20以完全沿著基材38的凹凸的狀態(tài)固定于基材38，從而形成主層疊體36。利用輸送膜34的間歇性的工作從降壓加壓槽37送出如此形成的主層疊體36(參照圖3)。接著，對使用作為上述實施方式的層疊裝置A使基材與膜狀樹脂層疊的動作進行一系列說明。在切斷組件I (參照圖2)中，首先，利用剝離板d部分將從開卷輥6向箭頭的朝向送出的、具有罩膜的帶支承體膜的膜狀樹脂的罩膜剝離，使其分離成罩膜和帶支承體膜的膜狀樹脂。利用卷取輥7卷取并收納被剝離下來的罩膜。另一方面，利用盤形銑刀8將帶支承體膜的膜狀樹脂切成預(yù)定尺寸，成為切斷膜狀樹脂19。利用輸送機11將該切斷膜狀樹脂19輸送至下一預(yù)固化組件2。在預(yù)固化組件2中，對切斷膜狀樹脂19進行預(yù)固化。具體地講，利用由設(shè)置于輸送機11的下側(cè)的鼓風(fēng)機12a和管道加熱器12b產(chǎn)生的循環(huán)高溫空氣對輸送機11上的切斷膜狀樹脂19進行加熱，以便使該切斷膜狀樹脂19在被降壓加壓槽37加熱時半固化(縮合狀)至具有自身形狀保持性的程度。利用輸送機11將預(yù)固化后的切斷膜狀樹脂19輸送至下一支承體膜剝離組件3。在支承體膜剝離組件3中，進行利用半切割裝置13和支承體膜剝離裝置14從預(yù)固化后的切斷膜狀樹脂19剝離支承體膜21的動作。首先，將預(yù)固化后的切斷膜狀樹脂19移至半切割裝置13的支承臺18，利用切削刃15 (參照圖4的(a)、圖4的(b))在膜狀樹脂20和支承體膜21的上部切割出裂縫(半切割)。將切割有該裂縫的部分稱作半切割點。接著，使該被半切割的切斷膜狀樹脂19吸附于支承體膜剝離裝置14的臂27的吸盤25 (參照圖7)，用捏手部29抓住從吸盤25突出的切斷膜狀樹脂19的一部分(靠近半切割點的端部)，向切斷膜狀樹脂19的相反側(cè)的端部方向拉伸(參照圖11)，由此，切斷膜狀樹脂19的膜狀樹脂20在半切割點位置被切割，支承體膜21從比半切割點靠頂端側(cè)的部分開始被剝離，在吸盤25上僅殘留膜狀樹脂20。將該殘留的膜狀樹脂20送至下一臨時層疊體形成組件4(參照圖1)。在臨時層疊體形成組件4中，利用基材推出機構(gòu)74將收納于基材架33的多個基材38中的最上層的基材38推出到對準臺30上。使吸附于輸送臂73的吸附板73a的膜狀樹脂20與對準臺30上的基材38相對，使基材38與膜狀樹脂20的重心位置重合。之后，解除吸附板73a的吸附，使膜狀樹脂20重疊于基材38，形成臨時層疊體(PLl) 31。利用標量機械臂32將形成的臨時層疊體(PLl) 31移至輸送膜34上，并送至下一主層疊體形成組件5。將被送至主層疊體形成組件5的臨時層疊體(PLl) 31定位于降壓加壓槽37的密閉空間Z (參照圖19)，首先，在加熱的條件下進行降壓處理。由此，臨時層疊體(PL1)31的膜狀樹脂20軟化，由于支承體膜21已經(jīng)被剝離，因此，臨時層疊體(PL1)31的膜狀樹脂20無法維持片狀的形狀，而成為沿著基材38的凹凸的狀態(tài)。然后，當進一步進行加熱及降壓處理時，膜狀樹脂20的端部的整周緊密地貼在基材38的表面的周緣部整周，因此，臨時層疊體(PLl) 31成為在膜狀樹脂20與基材38之間產(chǎn)生有降壓狀態(tài)的密封空間(S)的臨時層疊體(PL2) (72)。接著，解除降壓加壓槽37的密閉空間Z的降壓狀態(tài)，使密閉空間Z內(nèi)為大氣壓狀態(tài)甚至為加壓狀態(tài)。由此，由于收容有臨時層疊體(PL2) (72)的密閉空間Z被加壓，因此，在這些各空間(密閉空間Z、密封空間(S))產(chǎn)生氣壓差。而且，因該產(chǎn)生的氣壓差，通過加熱而軟化的膜狀樹脂20沿著基材38的凹凸緊密地貼合并固定于基材38。S卩，膜狀樹脂20以未接觸降壓加壓槽37的任何一個部分的非接觸的方式且在與基材38之間不產(chǎn)生微孔等的前提下被層疊在基材38上。這樣，從臨時層疊體(PLl) 31形成主層疊體36。這樣，根據(jù)該實施方式的層疊裝置A，由于以非接觸的方式將膜狀樹脂20沿著基材38的凹凸層疊在基材38上，因此，即使是像搭載有光半導(dǎo)體元件的布線電路基板那樣基材38的凹凸程度相對較大的基材，或者是凹凸程度較小且間距較小的基材，也能夠使膜狀樹脂充分地追隨基材，從而能夠在不產(chǎn)生微孔的前提下將基材和膜狀樹脂這兩者層疊起來。而且，能夠以更嚴格的標準使追隨于具有凹凸的基材的、膜狀樹脂20的膜厚為均勻的厚度。而且，在該層疊裝置A中，利用相同的裝置進行降壓和加壓，因此，能夠在裝置設(shè)置時謀求節(jié)省空間化。另外，該層疊裝置A除了在通常的印刷基板的密封中有用之外，在其他用途中也是有用的，特別是中LED基板、PDP基板的密封中是有用的。在上述實施方式中，臨時層疊體(PLl)31的輸送是使用輸送膜34 (參照圖1)來進行的，但是，也可以是，例如在主層疊體形成組件5中，事先將圖19的降壓加壓槽37的下部板部67為向左右滑動自如，使下部板部67從圖1的狀態(tài)開始向左方滑動，使用標量機械臂32將臨時層疊體(PLl)31直接裝配在該滑動自如的下部板部67上，然后使下部板部67返回至預(yù)定位置。而且，在將主層疊體36取出時也同樣，也可以使降壓加壓槽37的下部板部67向圖1的右方滑動，使用另一標量機械臂將主層疊體36直接取出。由此，由于不需要用于設(shè)置輸送膜34的空間，因此，能夠有效地運用裝置設(shè)置空間，謀求節(jié)省空間化。而且，由于不需要輸送膜、廢棄該輸送膜的經(jīng)費，因此，也能夠?qū)崿F(xiàn)削減成本。而且，在上述實施方式的層疊裝置A中，在形成主層疊體36時，使用相同的降壓加壓槽37進行降壓和加壓，但是，也可以使降壓槽和加壓槽連續(xù)地分別設(shè)置在上游側(cè)和下游側(cè)，利用各槽分擔(dān)降壓或者加壓來進行作業(yè)。如此，若分別設(shè)置降壓槽和加壓槽，能夠減少像在一個槽中進行降壓和加壓時那樣的、切換降壓，加壓的時間消耗，從而能夠?qū)崿F(xiàn)制造的聞效化。而且，在上述實施方式的層疊裝置A中，雖在主層疊體形成組件5中，對臨時層疊體(PLl) 31進行降壓處理，但是，根據(jù)膜狀樹脂20的撓性程度、加壓處理的條件等，可以不進行該降壓處理。但是，由于可推斷進行降壓處理的情況能夠獲得密合性更高的主層疊體的傾向，因此優(yōu)選。而且，在上述實施例的實施方式的層疊裝置A中，在主層疊體形成組件5中，在形成具有密封空間(S)的臨時層疊體(PL2) (72)時，采用利用膜狀樹脂20的通過加熱處理而增加的撓性、粘著性來使膜狀樹脂20的周圍附著(層疊)在基材38的加壓層疊部件(P3)，但是，也可以在降壓加壓槽37內(nèi)設(shè)置用于使上述膜狀樹脂20的周圍積極地附著(層疊)在基材38的框狀的推壓部件，并利用支承臂使該推壓部件上下移動，來推壓膜狀樹脂的周圍。由此，能夠縮短形成臨時層疊體(PL2)(72)所需的時間，而且，能夠使臨時層疊體(PL2)
(72)的密封性可靠，因此，能夠進一步提高形成主層疊體36時的膜狀樹脂20與基材38間的密合性。另外，根據(jù)膜狀樹脂的種類等不同，不進行加熱處理，也能夠使膜狀樹脂的周圍附著于基材，以便形成臨時層疊體(PL2) (72)，因此，在該情況下，也可以不進行加熱處理。接著，圖21表示本發(fā)明的另一實施方式的層疊裝置B，圖34 (組件1、組件2)及圖35 (組件4、組件5)表示其局部放大圖。該層疊裝置B是上述實施方式的層疊裝置A (參照圖1)中刪除支承體膜剝離組件3后的裝置。即，在層疊裝置A中具有用于從切斷膜狀樹脂19 (帶支承體膜的膜狀樹脂)剝離支承體膜21的支承體膜剝離組件3，但是，在基材38的凹凸程度相對較小的情況下，通過在不剝離支承體膜21地使該支承體膜21附著于膜狀樹脂20的狀態(tài)下，將膜狀樹脂20層疊在基材38上，形成臨時層疊體(PLl) 46或者臨時層疊體(PL2 ) (81)，并以非接觸狀態(tài)對該臨時層疊體(PLl)46或者臨時層疊體(PL2 ) (81)加壓，從而能夠獲得主層疊體(93)。因而，在該情況下，不需要上述支承體膜剝離組件3。在該層疊裝置B中，如上所述，與上述層疊裝置A中的、刪除了支承體膜剝離組件3之后的部分相同，因此，對相同部分標注相同的附圖標記并省略其說明。另外，在層疊裝置B中，追加了帶吸附板的反轉(zhuǎn)臺35。帶吸附板的反轉(zhuǎn)臺35具有使預(yù)固化后的切斷膜狀樹脂19反轉(zhuǎn)并使切斷膜狀樹脂19的支承體膜21面吸附于輸送臂73的吸附板73a的功能。由此，能夠在對準臺30上使切斷膜狀樹脂19的膜狀樹脂20面與基材38相對。該層疊裝置B發(fā)揮與層疊裝置A同樣的效果，而且，由于不具有支承體膜剝離組件3，因此，能夠比層疊裝置A小型化。圖22表示本發(fā)明的又一實施方式的層疊裝置C，圖36 (組件4)及圖37 (組件3、組件5)表示其局部放大圖。該層疊裝置C表示在上述層疊裝置A (參照圖1)中，在支承體膜剝離組件3中剝離支承體膜21的變形例，該層疊裝置C具有在密閉空間Z中使臨時層疊體(PLl)的帶支承體膜21的膜狀樹脂20與基材38之間的空間成為負壓的降壓功能、對臨時層疊體(PLl)進行加熱的加熱功能、形成將臨時層疊體(PLl)的帶支承體膜21的膜狀樹脂20與基材38 —體化而成的臨時層疊體(PLl)或者臨時層疊體(PL2)的加壓層疊功能(P2)[層疊機構(gòu)(E2)]。即，該層疊裝置C在膜狀樹脂20帶有支承體膜21的狀態(tài)下形成臨時層疊體(PLl) 46或者臨時層疊體(PL2) (81)，之后，將支承體膜21剝離，形成主層疊體(94)，該層疊裝置C由切斷組件1、預(yù)固化組件2、臨時層疊體形成組件4、支承體膜剝離組件3及主層疊體形成組件5構(gòu)成，如圖所示，這些組件從箭頭的流動方向的上游(切斷組件I)朝向下游(主層疊體形成組件5)按照上述順序配設(shè)。另外，在圖22、圖36及圖37中省略標量機械臂32等的圖示。其中，切斷組件I及預(yù)固化組件2實際上是與上述層疊裝置A同樣的結(jié)構(gòu)，因此，對相同或者相當?shù)牟糠謽俗⑾嗤母綀D標記并省略其說明。該層疊裝置C在臨時層疊體形成組件4中具有反轉(zhuǎn)機構(gòu)92，該反轉(zhuǎn)機構(gòu)92用于使被半切割裝置13半切割后的切斷膜狀樹脂19反轉(zhuǎn)，形成支承體膜21位于上側(cè)、膜狀樹脂20位置下側(cè)的狀態(tài)(參照圖36)。然后，將切斷膜狀樹脂19重疊并附著于基材38的凹凸面，形成臨時層疊體(PLl) 46。另外，在基材38的兩個面上具有凹凸的情況下，首先，以膜狀樹脂20面接觸基材38的單面方式使切斷膜狀樹脂19附著于基材38的單面，之后，使基材38反轉(zhuǎn)，對基材38的另一個面重復(fù)上述操作，從而，能夠形成在基材38的兩個面上附著有切斷膜狀樹脂19的臨時層疊體(PLl)。將上述臨時層疊體(PLl)46放置于輸送膜34，搬入到接觸層疊裝置47 (參照圖23)中。該接觸層疊裝置47用于使上側(cè)撓性片48膨脹為一種氣球狀，并利用該膨脹力進行加壓從而進行層疊。利用接觸層疊裝置47對上述臨時層疊體(PL1)46進行接觸層疊處理，成為基材38與帶支承體膜21的膜狀樹脂20 —體化而成的臨時層疊體(PLl) 46[加壓層疊部件(P2)]。另外，如圖23所示，上述接觸層疊裝置47具有上部板部49和下部板部51，上部板部49的金屬板下表面被切削而形成為凹狀，在上部板部49的凹狀部分隔著隔熱板49b具有四邊狀的加熱器板49a。而且，在上部板部49上附帶設(shè)有上側(cè)撓性片48。下部板部51也與上部板部49同樣，由金屬板構(gòu)成，在下部板部51的金屬板上表面的凹處內(nèi)隔著隔熱板51b具有四邊狀的加熱器板51a。而且，在下部板部51上附帶設(shè)有下側(cè)彈性片50。上部板部49能夠切換地連接于空氣加壓裝置(未圖示)及真空抽吸裝置(未圖示)，在通過開口槽54及配管連接口 49c對上部板部49與上側(cè)撓性片48之間的空隙部52加壓時，上側(cè)撓性片48朝向下部板部51鼓成氣球狀。在圖23中，附圖標記44是框狀的撓性片的擋板，附圖標記45是其止擋工具。另一方面，下部板部51與真空抽吸裝置(未圖示)相連接，并且，在液壓缸50’的作用下上升，抵接于上部板部49，從而，該下部板部51隔著密封件55在與上部板部49之間形成密閉空間53。對于帶支承體膜21的膜狀樹脂20附著于上述基材38而成的臨時層疊體(PLl)46，在該密閉空間53中，在從下部板部51的開口槽56及配管連接口 51c、上部板部49的開口槽54及配管連接口 49c被吸引至真空的狀態(tài)下，當中止來從上部板部49的配管連接口49c的降壓而供給空氣時，上部板部49的上側(cè)撓性片48利用空隙部52與密閉空間53的氣壓差向密閉空間53的一側(cè)加壓膨脹。基材38與帶支承體膜21的切斷膜狀樹脂19被該膨脹起來的上側(cè)撓性片48壓緊(層疊)。下側(cè)彈性片50發(fā)揮將來自膨脹起來的上側(cè)撓性片48的壓力有效地傳遞至基材38及帶支承體膜21的切斷膜狀樹脂19的作用。通過該接觸層疊處理，使開始為基材38與帶支承體膜21的切斷膜狀樹脂19輕輕地附著在基材38的狀態(tài)的臨時層疊體(PLl )46成為帶支承體膜21的切斷膜狀樹脂19緊緊地壓接并固定于基材38的凸面、切斷膜狀樹脂19與基材38這兩者一體化的狀態(tài)的臨時層疊體(PL1)46。另夕卜，上述接觸層疊處理是為了使上述切斷膜狀樹脂19與基材38 —體化而進行的，且不一定必須在切斷膜狀樹脂19與基材38之間設(shè)置密封空間(S)，但是，也可以獲得設(shè)有密封空間(S)的臨時層疊體(PL2) (81)。若利用該工序獲得臨時層疊體(PL2) (81)，能夠縮短在后述主層疊體形成組件5中所需的時間。而且，上述切斷膜狀樹脂19具有支承體膜21，其追隨性及撓性較低，因此，即使通過上述接觸層疊處理，也不會特別地沿著基材38的凹凸，而保持為比較平整的狀態(tài)。如圖22所示，當臨時層疊體(PL1)46來到水冷式的冷卻板57上時，用于載置并輸送臨時層疊體(PLl )46的輸送膜34的移動暫時停止，該臨時層疊體(PLl )46經(jīng)過了接觸層疊處理,且由基材38和帶支承體膜21的膜狀樹脂20 —體化而成。由此，臨時層疊體(PLl)46被冷卻板57冷卻。冷卻之后，利用未圖示的標量機械臂，將臨時層疊體(PL1)46 —張一張地送至支承體膜剝離組件3。另外，由于上述臨時層疊體(PLl) 46被冷卻，因此，能夠防止在剝離支承體膜21時膜狀樹脂20伸展或者斷裂。支承體膜剝離組件3具有支承體膜剝離裝置58，如圖24所示，該支承體膜剝離裝置58包括開卷輥60，其用于使用于粘接并剝離支承體膜21的剝離帶開卷；帶驅(qū)動裝置(未圖示)的夾持輥t、夾持輥u及卷取輥61，其用于將支承體膜21連同剝離帶一起卷??；壓接輥62，其用于使剝離帶在預(yù)定位置壓接于支承體膜以及；吸附臺63，其能夠利用伺服馬達驅(qū)動LM驅(qū)動器64水平移動，并用于吸附臨時層疊體(PLl) 46。附圖中的附圖標記V是剝離帶的引導(dǎo)輥。由于待送至該支承體膜剝離裝置58的上述臨時層疊體(PLl) 46在冷卻板57 (參照圖22)上保留了一定時間，因此，臨時層疊體(PLl) 46的膜狀樹脂20被冷卻，成為固定于基材38的狀態(tài)。接著，如作為圖24的俯視圖的圖25所示，為了從臨時層疊體(PLl) 46剝離支承體膜21，未圖示的標量機械臂使臨時層疊體(PLl) 46旋轉(zhuǎn)45°，并載置于吸附臺63，從而將臨時層疊體(PLl) 46吸附于吸附臺63。然后，使吸附臺63移動至圖24所示的位置。然后，使壓接輥62朝向吸附臺63上的臨時層疊體(PL1)46下降，以使得位于臨時層疊體(PLl) 46與壓接輥62之間的剝離帶壓接于臨時層疊體(PLl) 46表面的支承體膜21。在該壓接狀態(tài)下，吸附臺63利用由伺服馬達驅(qū)動的LM驅(qū)動器64滑動至圖25所示的位置。此時，驅(qū)動夾持輥t、夾持輥U，以卷取與吸附臺63所滑動的距離相等長度的剝離帶。這樣，臨時層疊體(PLl) 46的支承體膜21連同剝離帶一起被剝離，成為臨時層疊體(PLl) (65)。另外，在圖25中，省略了從開卷輥60伸出并被卷取輥61卷取的過程中的剝離帶的圖示。利用未圖示的標量機械臂將剝離了支承體膜21后的臨時層疊體(PLl) (65)送回至輸送膜34上。然后，利用輸送膜34將該臨時層疊體(PLl) (65)輸送至下一主層疊體形成組件5。主層疊體形成組件5具有對剝離了支承體膜21后的臨時層疊體(PLl) (65)加壓而形成為主層疊體36的功能。在該層疊裝置C中，作為用于將臨時層疊體(PL1)(65)制成主層疊體36的密閉空間形成部件，與作為上述實施方式的層疊裝置A及層疊裝置B同樣，采用能夠切換降壓及加壓的降壓加壓槽37，同樣地，將臨時層疊體(PLl) (65)制成主層疊體(94)。即，在上述降壓加壓槽37的密閉空間Z內(nèi)，在降壓、加熱過程中，臨時層疊體(PLl)
(65)從當初的膜狀樹脂20粘接于基材38的凸部的狀態(tài)開始，變形為膜狀樹脂20緩緩地沿著基材38的凹凸的形狀，接著，成為膜狀樹脂20的端部整周緊緊地貼在基材38的表面的周緣部。這樣，臨時層疊體(PLl) (65)成為在膜狀樹脂20與基材38之間具有與周圍的密閉空間Z相同地成為降壓狀態(tài)的密封空間(S)的臨時層疊體(PL2) (82)。接著，通過對降壓加壓槽37的密閉空間Z進行加壓、加熱，上述臨時層疊體(PL2)
(82)中的、緩緩地沿著基材38的凹凸的膜狀樹脂20成為完全沿著基材38的凹凸的狀態(tài)。然后，通過上述加熱，膜狀樹脂20以沿著基材38的凹凸的狀態(tài)固定于基材38，形成主層疊體(94)。根據(jù)該層疊裝置C，由于在臨時層疊體(PLl) 46中，通過接觸層疊處理將基材38與切斷膜狀樹脂19的膜狀樹脂20牢固地粘接起來，因此，能夠通過采用剝離帶這樣的比較簡單的方法，從臨時層疊體(PL1)46剝離支承體膜21。而且，由于將具有支承體膜21的切斷膜狀樹脂19重疊于基材38而形成臨時層疊體(PLl) 46，因此，利用支承體膜21的較高的平面保持性，切斷膜狀樹脂19的膜狀樹脂20能夠不起皺地、相對于基材38保持平面性地重疊于基材38。而且，在切斷膜狀樹脂19的膜狀樹脂20相對于基材38保持平面性的狀態(tài)下，通過在剝離支承體膜21之前進行層疊處理，切斷膜狀樹脂19與基材38間被壓緊而一體化，因此，即使在剝離支承體膜21之后，膜狀樹脂20也不會相對于基材38起皺，成為保持平面性的狀態(tài)。這樣，能夠制成不起皺的、膜狀樹脂20重疊于基材38的臨時層疊體(PLl) (65)，因此，能夠獲得膜狀樹脂20的厚度更均勻且未在膜狀樹脂20與基材38之間產(chǎn)生微孔的主層疊體(94)。另外，在作為本發(fā)明的實施方式的層疊裝置C的支承體膜剝離組件3中，使用了接觸層疊裝置47，但是，能夠代替接觸層疊裝置47，而使用像接觸層疊裝置77 (圖26)、接觸層疊裝置78 (圖27)那樣的裝置等。在使用接觸層疊裝置77時，能夠獲得帶支承體膜21的膜狀樹脂20與基材38 —體化而成的臨時層疊體(PLl) 46。而且，在使用接觸層疊裝置78時，能夠獲得膜狀樹脂20與基材38之間成為負壓的、帶支承體膜21的臨時層疊體(PL2 )
(81)。接觸層疊裝置77及接觸層疊裝置78是伺服沖壓裝置，其能夠精確地控制上下沖壓板的間隔。因而，能夠容易地控制膜狀樹脂20的膜厚。另外，在使用接觸層疊裝置77而獲得臨時層疊體(PLl) 46、或者使用接觸層疊裝置78而獲得臨時層疊體(PL2 ) (81)之后，不必將臨時層疊體從接觸層疊裝置77或者接觸層疊裝置78移動至其他裝置(例如降壓加壓槽37等)，而能夠在其自身所具有的密閉空間中以非接觸狀態(tài)進行加壓處理，這樣，與層疊裝置C相比，能夠進一步縮短制造工序，能夠謀求裝置設(shè)置的節(jié)省空間化。如圖26所示，上述接觸層疊裝置77包括具有橡膠83的上部板部85和同樣地具有橡膠83’的下部板部86，在上部板部85上隔著上側(cè)隔熱件100設(shè)有上側(cè)熱盤102及盒加熱器102’。在下部板部86上隔著下側(cè)隔熱件101設(shè)有下側(cè)熱盤103及盒加熱器103’。分別在上下的熱盤(102，103)所相對的面上安裝有橡膠83、橡膠83’。而且，在上部板部85上隔著密封件105安裝有具有排氣·進氣槽90的框狀的上側(cè)真空框104。在下部板部86上隔著密封件106安裝有下側(cè)真空框107。在下側(cè)真空框107中，在固定框107a上隔著唇形密封件107b在上表面上安裝有具有密封件107c的可動框107d，上述固定框107a能夠陷入可動框107d的內(nèi)周。而且，利用未圖示的彈簧將可動框107d向上方抬起。然后，下部板部86利用與由伺服馬達驅(qū)動的滾珠絲杠相連接的聯(lián)軸器84上升，上側(cè)真空框104與下側(cè)真空框107隔著密封件107c相嵌合，從而在上部板部85與下部板部86之間形成密閉空間79。該密閉空間79通過在排氣·進氣槽90中與未圖示的真空抽吸裝置(例如真空抽吸裝置、真空調(diào)節(jié)器、大氣導(dǎo)入配管、空氣加壓裝置等)等相連接，能夠成為降壓狀態(tài)或者加壓狀態(tài)。因而，在將臨時層疊體(PLl) 46以其未接觸上側(cè)熱盤102的橡膠83的狀態(tài)放入到上述密閉空間79中之后，使密閉空間79降壓，使下側(cè)熱盤103上升至圖26所示的位置，從而，由于臨時層疊體(PLl )46在降壓的過程中被加壓，因此，能夠獲得帶支承體膜21的膜狀樹脂20與基材38 —體化而成的臨時層疊體(PL1)46。根據(jù)需要從這些獲得的臨時層疊體(PLl)剝離支承體膜21，并以非接觸狀態(tài)進行加壓，從而，能夠獲得主層疊體。如圖27所示，78與上述接觸層疊裝置77同樣，上述接觸層疊裝置包括具有橡膠83的上部板部88和具有橡膠83’的下部板部89，而且，在上部板部88的下表面上安裝有用于使切斷膜狀樹脂19等的端部整周迅速地緊密地貼合于基材38表面的周緣部的推壓部87。當在推壓部87的與切斷膜狀樹脂19等相接觸的一側(cè)的表面上進行涂布氟類樹脂等離形處理時，相對于切斷膜狀樹脂19等的離形性較佳，因此優(yōu)選。而且，當下部板部89利用與由伺服馬達驅(qū)動的滾珠絲杠相連接的聯(lián)軸器84上升時，在上部板部88與下部板部89之間形成密閉空間80。而且，通過在進氣.排氣槽91中與未圖示的真空抽吸裝置(例如真空抽吸裝置、真空調(diào)節(jié)器、大氣導(dǎo)入配管、空氣加壓裝置等)等相連接，能夠使上述密閉空間80成為降壓狀態(tài)或者加壓狀態(tài)。因而，采用該接觸層疊裝置78，不僅能夠獲得帶支承體膜21的膜狀樹脂20與基材38 —體化而成的臨時層疊體(PLl)46，還能夠獲得在膜狀樹脂20與基材38之間成為負壓的、帶支承體膜21的臨時層疊體(PL2) (81)。然后，根據(jù)需要，從該獲得的臨時層疊體(PLl)或者臨時層疊體(PL2)剝離支承體膜21，并以非接觸狀態(tài)進行加壓，從而能夠獲得主層疊體。而且，作為使用于作為本發(fā)明的實施方式的層疊裝置C的支承體膜剝離裝置58的剝離帶，能夠使用在將通過將硅片切割并薄膜化的工序等貼在硅片上的保護膜、切割帶剝離時所使用的剝離帶。其中，優(yōu)選使用住友3M (日文:住友7 U —-A)公司制的Scotch(注冊商標，日文:7 ^ 子)聚酯帶N0.3305、使用了日東電工公司制的ELEP HOLDER (注冊商標，日文:工>^夕'一)ELP BT - 315等橡膠類粘著材料的粘著帶。作為使用于本發(fā)明的、具有凹凸的基材38，特別優(yōu)選使用基材的凹凸較大的基材。作為這樣的基板，能夠 列舉出例如如圖20的(a)所示，在樹脂或者陶瓷等絕緣性的基板38b(厚度:約600 μ m)上以預(yù)定間隔設(shè)置發(fā)光元件(LED)作為凸部38a (高度:約200 μ m)而成的LED基板、在基板38b上以預(yù)定間隔表面安裝表面安裝型發(fā)光元件(LED)作為凸部38c(高度:約1.35mm)而成的LED基板(圖20的(b))。此外，也能夠適當?shù)厥褂檬┘恿算~等的圖案的印刷基板、在積層工藝方法中所使用的多層疊基板等的基材的凹凸較小的基板。因而，本發(fā)明的層疊裝置能夠有效地由于硅片標準的半導(dǎo)體裝置的密封、搭載于有機基板上的半導(dǎo)體芯片表面的保護、LED設(shè)備的密封、太陽能電池的密封、用于半導(dǎo)體及LED、光設(shè)備、太陽能電池的基板的抗蝕劑層的形成等。而且，作為膜狀樹脂20，優(yōu)選的是在粘著性、絕緣性、粘接性、熱熔性方面具有優(yōu)異的性質(zhì)的樹脂組合物。作為這樣的樹脂組合物，能夠列舉出例如在熱固化性樹脂、熱塑性樹脂等中配合了穩(wěn)定劑、固化劑、色素、潤滑劑等而成的膜狀樹脂(樹脂組合物)，具體地講，能夠列舉出硅樹脂、聚酰亞胺樹脂、環(huán)氧樹脂、丙烯酸樹脂等、及在上述樹脂中添加了各種無機質(zhì)填充材料而成的組合物等。作為上述無機質(zhì)填充材料，除了能夠使用二氧化硅、微粉末二氧化硅、氧化鋁、YAG等的熒光體、氧化鈦之外，還能夠使用導(dǎo)熱性填料、導(dǎo)電性優(yōu)異的填充劑、炭黑等著色劑等。而且，上述膜狀樹脂20通常使用層疊有支承體膜21的膜狀樹脂。作為該支承體膜21，能夠列舉出例如聚對苯二甲酸乙二醇酯膜、聚丙烯膜、聚乙烯醇膜、皂化的乙烯一乙酸乙烯酯共聚物膜等。而且，作為帶支承體膜的膜狀樹脂，例如作為使用于半導(dǎo)體發(fā)光元件的用途，能夠列舉出如圖28所示那樣在含有熒光體的硅膜狀樹脂20 (厚度:例如約40 μ m)的背面設(shè)有支承體膜21 (厚度:例如約40 μ m)、在表面上設(shè)有罩膜41 (厚度:例如約30 μ m)的膜狀樹脂。而且，同樣地，能夠使用用于保護印刷布線板的最外層的布線圖案的、由支承體膜、感光性樹脂組合物、罩膜這三層結(jié)構(gòu)構(gòu)成的干膜釬料抗蝕劑。另外，由于只要能夠在后固化并熱固化之前，將用于半導(dǎo)體發(fā)光元件的帶支承體膜的膜狀樹脂的支承體膜剝下即可，因此，剝離支承體膜21的時期可以是在層疊在基板上之后，也可以是在層疊在基板上之前。但是，在用于保護印刷布線板的最外層的布線圖案的干膜釬料抗蝕劑的情況下，為了防止在經(jīng)由圖案掩模曝光時感光性樹脂組合物附著于圖案掩模，需在層疊在基板上之后剝離支承體膜。實施例對采用本發(fā)明的層疊裝置的實施例進行說明。在說明實施例之前，進行下面的準備。首先，準備以下的基板I 基板III作為具有凹凸的基材38。然后，準備如下帶支承體膜的膜狀樹脂α及β作為膜狀樹脂20:預(yù)先分別將以下的熱固化性的樹脂組合物α及β以厚度40 μ m、寬度65mm涂布在寬度80mm的縱長帶狀的支承體膜上并使其膜狀樹脂化。這些膜狀樹脂α及β具有寬度80mm的罩膜，將這些膜狀樹脂α及β以支承體膜在其外側(cè)的方式卷繞于芯管而成輥狀。某板T該基板通過在具有預(yù)定導(dǎo)電圖案(高度50μπι)的、配設(shè)有正負電極的(陶瓷)基板上倒裝安裝有半導(dǎo)體發(fā)光元件(氮化鎵)而成。該基板呈正方形的形狀，其一條邊為70mm,基板的厚度為600 μ m,從基板的表面至安裝在導(dǎo)電圖案上的半導(dǎo)體發(fā)光元件的頂部的厚度為200 μ m。在該基板上以Icm間隔安裝有縱橫5列、總計25個上述半導(dǎo)體發(fā)光元件。某板TT代替在基板I上倒裝安裝半導(dǎo)體發(fā)光元件(氮化鎵)，而是在表面上安裝有作為寬度5_、深度5_、高度1.35mm的立方體的表面安裝型半導(dǎo)體發(fā)光元件(氮化鎵)。從基板II的底面至表面安裝型半導(dǎo)體發(fā)光元件的上端的高度為2000 μ m。某板TTT該基板通過將基板I的導(dǎo)電圖案的高度設(shè)為100 μ m，且未安裝上述半導(dǎo)體發(fā)光元件等電子部品而成。樹脂組合物α熱固化性的含有熒光體的硅樹脂組合物。樹脂組合物β熱固化性的感光性環(huán)氧一丙烯酸共聚物樹脂組合物。實施例1基板I主層疊體
利用圖1所示的層疊裝置A對基板I與膜狀樹脂α進行層疊。基板I收容于基材架33。另外，該基材架33由頂板、底板、及兩塊側(cè)板構(gòu)成，四面為壁面,其中兩個壁面(正面及背面)開放。然后，當層疊裝置A從基材架33的開放的一個壁面(例如正面)插入基材推出桿時，能夠向基材架33的另一個壁面(例如背面)推出基板I。而且，在兩塊側(cè)板的內(nèi)偵牝如圖18的虛線所示那樣設(shè)有多條水平方向上的肋，以便能夠多段地收容基板I。在基板I收容于基材架33的狀態(tài)下，成為基板I的兩端載置在肋上的形式。然后，將上述準備好的輥狀的膜狀樹脂α設(shè)于切斷組件I的開卷輥6，將放入有基板I的基材架33裝配于臨時層疊體形成組件4的預(yù)定位置，使層疊裝置A自動運轉(zhuǎn)，從而制造了主層疊體。更詳細地講，在層疊裝置A的自動運轉(zhuǎn)過程中，起初，在切斷組件I工序中，獲得剝離了罩膜后的、被切斷成65mmX75mm大小的帶支承體膜的膜狀樹脂α (切斷膜狀樹脂19)。接著，將該切斷膜狀樹脂19放入調(diào)整為熱固化性的含有熒光體的硅樹脂組合物的熱固化溫度的烘箱12內(nèi)進行三分鐘的預(yù)固化，利用半切割裝置13將該切斷膜狀樹脂19半切割。接著，利用支承體膜剝離裝置14從切斷膜狀樹脂19剝離支承體膜，獲得65mmX 65mm大小的膜狀樹脂α。然后，將膜狀樹脂α以與基板I彼此的重心位置重合的方式重疊于具有凹凸的基板I，從而形成臨時層疊體(PLl)31。然后，將上述臨時層疊體(PLl)31收容于預(yù)先將熱盤的溫度調(diào)節(jié)為膜狀樹脂α的熱固化溫度的二分之一的降壓加壓槽37 (圖19)內(nèi)，將該降壓加壓槽37內(nèi)保持兩分鐘降壓(50Pa)的狀態(tài)，從而形成在上述臨時層疊體(PLl) 31的基板I與膜狀樹脂α之間具有降壓環(huán)境的密封空間(S)的臨時層疊體(PL2) (72)。在形成了臨時層疊體(PL2) (72)之后，將大氣從降壓加壓槽37的開口部導(dǎo)入到降壓加壓槽37內(nèi)，并進一步將0.3Mpa的壓縮空氣導(dǎo)入到降壓加壓槽37內(nèi)，利用在降壓加壓槽37的密閉空間Z與臨時層疊體(PL2) (72)的密封空間(S)之間所產(chǎn)生的氣壓差，完成膜狀樹脂α緊密地貼合于基板I的狀態(tài)下的、臨時層疊體(PL2) (72)的層疊，獲得作為目標的由基板I和膜狀樹脂α構(gòu)成的主層疊體36?；錓I主層疊體除了將基板I替換 為基板II之外，以與上述同樣的方式獲得由基板II和膜狀樹脂α構(gòu)成的主層疊體36。實施例2基板I主層疊體除了代替圖1所示的層疊裝置A的降壓加壓槽37，而使用圖27所示的接觸層疊裝置78之外，與實施例1同樣地形成主層疊體。即，首先，與實施例1同樣地形成臨時層疊體(PLl) 31。接著，將該臨時層疊體(PLl) 31收容于預(yù)先將熱盤的溫度調(diào)節(jié)為膜狀樹脂α的熱固化溫度的二分之一的接觸層疊裝置78 (圖27)內(nèi)，使該接觸層疊裝置78的密閉空間80內(nèi)降壓(50Pa)，之后，使上側(cè)彈性沖壓板的推壓部87與下側(cè)彈性沖壓板的上表面之間的間隔為630 μ m，將膜狀樹脂α的周緣部密封，形成在上述臨時層疊體(PLl)31的基板I與膜狀樹脂α之間具有降壓環(huán)境的密封空間(S)的臨時層疊體(PL2) (72)。在形成臨時層疊體(PL2) (72)之后，將大氣從上述接觸層疊裝置78的進氣 排氣槽91導(dǎo)入到上述密閉空間80內(nèi)，并進一步將壓縮空氣導(dǎo)入到上述密閉空間80內(nèi)，利用在接觸層疊裝置78的密閉空間80與臨時層疊體(PL2)的密封空間(S)之間所產(chǎn)生的氣壓差，完成將膜狀樹脂α層疊在基板I上，獲得作為目標的、由基板I和膜狀樹脂α構(gòu)成的主層疊體36。
基板II主層疊體除了將基板I換為基板II之外，以與上述同樣的方式獲得由基板II和膜狀樹脂α構(gòu)成的主層疊體36。實施例3基板I主層營體根據(jù)圖22所示的層疊裝置C，獲得切成65mmX65mm大小的帶支承體膜的膜狀樹脂α (切斷膜狀樹脂19)。與實施例1同樣地對該切斷膜狀樹脂19進行預(yù)固化，不進行半切割地將該切斷膜狀樹脂19以重心位置與基板I的重心位置重合的方式重疊于基板I，形成臨時層疊體(PLl) 46。接著，將該臨時層疊體(PLl)46收容于預(yù)先將熱盤的溫度調(diào)節(jié)為膜狀樹脂α的熱固化溫度的二分之一的接觸層疊裝置47 (圖23)的密閉空間53，分別使密閉空間53及空隙部52的壓力降壓至50Pa。接著，一邊使密閉空間53保持為50Pa的降壓狀態(tài)，一邊通過開口槽54及配管連接口 49c使空隙部52返回至大氣壓，從而使上側(cè)撓性片48向密閉空間53側(cè)鼓起，并將該狀態(tài)保持五秒，將臨時層疊體(PLl) 46壓緊。由此，進行了使上述臨時層疊體(PLl)46的帶支承體膜的膜狀樹脂α與基板I的凸部固定的接觸層疊處理。然后，在將上述接觸層疊處理后的臨時層疊體(PL1)46在冷卻板57上冷卻至室溫程度之后，利用支承體膜剝離裝置58[剝離帶/日東電工公司制的ELEPH0LDER (注冊商標)ELP BT 一 315]從臨時層疊體(PLl )46剝離支承體膜，制成了臨時層疊體(PLl) (65 )。將該臨時層疊體(PLl)
(65)收容于預(yù)先將熱盤的溫度調(diào)節(jié)為膜狀樹脂α的熱固化溫度的二分之一的降壓加壓槽37 (圖19)內(nèi)。在收容臨時層疊體(PLl) (65)之后，使該降壓加壓槽37內(nèi)降壓(50Pa)，將上述臨時層疊體(PLl) (65)制成在基板I與膜狀樹脂α之間形成有降壓環(huán)境的密封空間
(S)的臨時層疊體(PL2) (82)。在形成臨時層疊體(PL2) (82)之后，將壓縮空氣從降壓加壓槽37的開口部導(dǎo)入到上述降壓加壓槽37內(nèi)，利用在降壓加壓槽37的密閉空間Z與臨時層疊體(PL2) (82)的密封空間(S)之間所產(chǎn)生的氣壓差，完成膜狀樹脂α緊密地貼合于基板I的狀態(tài)下的臨時層疊體(PL2) (82)的層疊，獲得作為目標的基板I的主層疊體(94)。基板II主層營體除了將基板I替換為基板II之外，以與上述同樣的方式獲得由基板II和膜狀樹脂α構(gòu)成的主層疊體(94)。實施例4基板I主層營體除了代替圖22所示的層疊裝置C的接觸層疊裝置47，而使用接觸層疊裝置77(圖
26)之外，與實施例3同樣地形成主層疊體。即，將臨時層疊體(PL1)46收容于預(yù)先將熱盤的溫度調(diào)節(jié)為膜狀樹脂20的熱固化溫度的二分之一的接觸層疊裝置77 (圖26)的密閉空間79，使該密閉空間79內(nèi)降壓為50Pa，使上側(cè)彈性沖壓板的下端面與下側(cè)彈性沖壓板的上表面之間的間隔為790 μ m,將臨時層疊體(PLl) 46壓緊，進行使上述臨時層疊體(PLl) 46的切斷膜狀樹脂19的膜狀樹脂α與基板I的凸部固定的接觸層疊處理，除此以外，與實施例3同樣地進行處理而完成層疊，獲得作為目標的基板I的主層疊體(94)?；錓I主層疊體除了將基板I換為基板II，使接觸層疊裝置77 (圖26)的上側(cè)彈性沖壓板的下端面與下側(cè)彈性沖壓板的上表面之間的間隔為199(^!11，將臨時層疊體(？1^)46壓緊之外，以與上述同樣的方式獲得由基板II和膜狀樹脂α構(gòu)成的主層疊體(94)。實施例5基板I主層疊體除了代替圖22所示的層疊裝置C的降壓加壓槽37，而使用接觸層疊裝置78 (圖
27)之外，與實施例3同樣地形成主層疊體。即，將臨時層疊體(PLl) (65)收容于預(yù)先將熱盤的溫度調(diào)節(jié)為膜狀樹脂α的熱固化溫度的二分之一的接觸層疊裝置78 (圖27)的密閉空間80，使該密閉空間80降壓至50Pa，使上側(cè)彈性沖壓板的下端面與下側(cè)彈性沖壓板的上表面之間的間隔為630μπι，壓緊膜狀樹脂α的周緣部，形成在上述臨時層疊體(PLl) (65)的基板I與膜狀樹脂α之間具有降壓環(huán)境的密封空間(S)的臨時層疊體(PL2) (82)。這樣，在形成臨時層疊體(PL2) (82)之后，將大氣從接觸層疊裝置78的進氣.排氣槽91導(dǎo)入到密閉空間80內(nèi)，并進一步將0.3Mpa的壓縮空氣導(dǎo)入到密閉空間80內(nèi)，利用在接觸層疊裝置78的密閉空間80與臨時層疊體(PL2) (82)的密封空間(S)所產(chǎn)生的氣壓差，完成基板I與膜狀樹脂α的層疊，獲得作為目標的基板I的主層疊體(94)?；錓I主層營體除了將基板I換為基板II之外，以與上述同樣的方式獲得由基板II和膜狀樹脂α構(gòu)成的主層疊體(94)。實施例6基板I主層疊體在實施例3中，分別使接觸層疊裝置47的密閉空間53及空隙部52降壓至50Pa，接著，一邊使密閉空間53保持為50Pa的降壓狀態(tài)，一邊使空隙部52的壓力回到大氣壓，并進一步將空隙部52的壓力加壓至0.2Mpa，使上側(cè)撓性片48向密閉空間53側(cè)鼓起，并將該狀態(tài)保持十秒，將臨時層疊體(PLl) 46壓緊。由此，代替被接觸層疊處理的臨時層疊體(PLl)46，形成膜狀樹脂α和基板I的凸部被固定起來且在基板I與膜狀樹脂α之間具有降壓環(huán)境的密封空間(S)的臨時層疊體(PL2) (81)。除此之外，與實施例3同樣地進行處理而完成層疊，獲得作為目標的基板I的主層疊體(94)?；錓I主層疊體除了將基板I換為基板II之外，以與上述同樣的方式獲得由基板II和膜狀樹脂α構(gòu)成的主層疊體(94)。實施例7基板III主層疊體除了使用基板III及膜狀樹脂β、且未實施支承體膜的剝離之外，其他與實施例1同樣地處理，完成層疊，獲得作為目標的由基板III和帶支承體膜的膜狀樹脂β構(gòu)成的主層疊體(93)。實施例8_5] 基板III主層疊體除了使用基板III及膜狀樹脂β且不實施支承體膜的剝離之外，與實施例2同樣地進行處理而完成層疊，獲得作 為目標的由基板III和帶支承體膜的膜狀樹脂β構(gòu)成的主層疊體(93)。
實施例9基板III主層疊體除了使用基板III及膜狀樹脂β且不實施支承體膜的剝離之外，與實施例3同樣地進行處理而完成層疊，獲得作為目標的由基板III和帶支承體膜的膜狀樹脂β構(gòu)成的主層疊體(93)。實施例10基板III主層疊體除了使用基板III及膜狀樹脂β且不實施支承體膜的剝離之外，與實施例4同樣地進行處理而完成層疊，獲得作為目標的由基板III和帶支承體膜的膜狀樹脂β構(gòu)成的主層疊體(93)。實施例U基板III主層營體除了使用基板III及膜狀樹脂β且不實施支承體膜的剝離之外，與實施例5同樣地進行處理而完成層疊，獲得作為目標的由基板III和帶支承體膜的膜狀樹脂β構(gòu)成的主層疊體(93)。實施例12基板III主層疊體除了使用基板III及膜狀樹脂β且不實施支承體膜的剝離之外，與實施例6同樣地進行處理而完成層疊，獲得作為目標的由基板III和帶支承體膜的膜狀樹脂β構(gòu)成的主層疊體(93)。比較例I基板I主層疊體除了在圖1所示的層疊裝置A中代替降壓加壓槽37而使用接觸層疊裝置47 (圖23)之外，與實施例1同樣地形成主層疊體。即，將臨時層疊體(PL1)31收容于預(yù)先將熱盤的溫度調(diào)節(jié)為膜狀樹脂α的熱固化溫度的二分之一的接觸層疊裝置47的密閉空間53，分別使密閉空間53和空隙部52的壓力降壓至50Pa，接著，一邊使密閉空間53保持為50Pa的降壓狀態(tài)，一邊使空隙部52的壓力回到大氣壓，從而使上側(cè)撓性片48向密閉空間53側(cè)鼓起，并將該狀態(tài)保持二十秒，將臨時層疊體(PLl) 31壓緊而完成層疊，獲得作為目標的由基板I和膜狀樹脂α構(gòu)成的主層疊體。基板II主層疊體除了將基板I換為基板II之外，以與上述同樣的方式獲得由基板II和膜狀樹脂α構(gòu)成的主層疊體。比較例2基板I主層營體除了在圖22所示的層疊裝置C中代替降壓加壓槽37而使用接觸層疊裝置47(圖23)之外，與實施例3同樣地形成主層疊體。即，將臨時層疊體(PL1)46收容于預(yù)先將熱盤的溫度調(diào)節(jié)為膜狀樹脂α的熱固化溫度的二分之一的接觸層疊裝置47 (圖23)的密閉空間53，分別使密閉空間53和空隙部52的壓力降壓至50Pa，接著，一邊使密閉空間53保持為50Pa的降壓狀態(tài)，一邊使空隙部52的壓力回到大氣壓，從而使上側(cè)撓性片48向密閉空間53側(cè)鼓起，并將該狀態(tài)保持五秒，從而將臨時層疊體(PL1)46壓緊。由此，進行了使上述臨時層疊體(PLl)46的帶支承體膜的膜狀樹脂α中的膜狀樹脂α與基板I的凸部固定的接觸層疊處理。然后，在將被上述接觸層疊處理的臨時層疊體(PLl )46在冷卻板57上冷卻至室溫程度之后，利用支承體膜剝離裝置58[剝離帶/日東電工公司制的ELEP HOLDER(注冊商標)ELP BT - 315]從臨時層疊體(PLl) 46剝離支承體膜，制成臨時層疊體(PLl) (65)，之后，再次將臨時層疊體(PLl) (65)收容于預(yù)先將熱盤的溫度調(diào)節(jié)為膜狀樹脂α的熱固化溫度的二分之一的接觸層疊裝置47 (圖23)的密閉空間53，分別使密閉空間53和空隙部52的壓力降壓至50Pa，接著，一邊使密閉空間53保持為50Pa的降壓狀態(tài)，一邊使空隙部52的壓力回到大氣壓，而使上側(cè)撓性片48向密閉空間53側(cè)鼓起，將該狀態(tài)保持二十秒，從而將臨時層疊體(PLl) (65)壓緊，完成層疊，獲得作為目標的由基板I和膜狀樹脂α構(gòu)成的主層疊體?；錓I主層營體除了將基板I換為基板II之外，以與上述同樣的方式獲得由基板II和膜狀樹脂α構(gòu)成的主層疊體。比較例3基板I主層疊體除了將比較例I中更改成在接觸層疊裝置47 (圖23)使上側(cè)撓性片48向密閉空間53側(cè)鼓起五秒之后，進一步對空隙部52施加0.2Mpa的壓力來使上側(cè)撓性片48向密閉空間53側(cè)鼓起二十秒之外，與上述比較例I同樣地進行處理而完成層疊，獲得作為目標的由基板I和膜狀樹脂α構(gòu)成的主層疊體?；錓I主層疊體除了將基板I換為基板II之外，以與上述同樣的方式獲得由基板II和膜狀樹脂α構(gòu)成的主層疊體。比較例4基板I主層疊體除了將比較例I中更改成在接觸層疊裝置47 (圖23)使上側(cè)撓性片48向密閉空間53側(cè)鼓起五秒之后，進一步空隙部52施加0.5Mpa的壓力來使上側(cè)撓性片48向密閉空間53側(cè)鼓起二十秒之外，與上述比較例I同樣地進行處理而完成層疊，獲得作為目標的由基板I和膜狀樹脂α構(gòu)成的主層疊體。基板II主層疊體除了將基板I換為基板II之外，以與上述同樣的方式獲得由基板II和膜狀樹脂α構(gòu)成的主層疊體。比較例5基板I主層疊體除了將比較例2中更改成在接觸層疊裝置47 (圖23)使上側(cè)撓性片48向密閉空間53側(cè)鼓起五秒之后，進一步對空隙部52施加0.2Mpa的壓力來使上側(cè)撓性片48向密閉空間53側(cè)鼓起二十秒之外，與上述比較例2同樣地進行處理而完成層疊，獲得作為目標的由基板I和膜狀樹脂α構(gòu)成的主層疊體?；錓I主層疊體
除了將基板I換為基板II之外，以與上述同樣的方式獲得由基板II和膜狀樹脂α構(gòu)成的主層疊體。比較例6基板I主層疊體除了將比較例2中更改成在接觸層疊裝置47 (圖23)使上側(cè)撓性片48向密閉空間53側(cè)鼓起五秒之后，進一步對空隙部52施加0.5Mpa的壓力來使上側(cè)撓性片48向密閉空間53側(cè)鼓起二十秒之外，其他與上述比較例2同樣地進行處理而完成層疊，獲得作為目標的由基板I和膜狀樹脂α構(gòu)成的主層疊體?；錓I主層營體除了將基板I換為基板II之外，以與上述同樣的方式獲得由基板II和膜狀樹脂α構(gòu)成的主層疊體。比較例7基板III主層疊體除了在實施例9中不實施使用降壓 加壓槽37進行的層疊之外，與實施例9同樣地進行處理而完成層疊，獲得作為目標的由基板III和帶支承體膜的膜狀樹脂β構(gòu)成的主層疊體。比較例8基板III主層疊體除了將比較例7中的接觸層疊裝置47 (圖23)使上側(cè)撓性片48向密閉空間53側(cè)鼓起的時間從五秒更改成二十秒之外，與上述比較例7同樣地進行處理而完成層疊，獲得作為目標的由基板III和帶支承體膜的膜狀樹脂β構(gòu)成的主層疊體。比較例9基板III主層疊體除了將比較例7中更改成在接觸層疊裝置47 (圖23)使上側(cè)撓性片48向密閉空間53側(cè)鼓起五秒之后，進一步對空隙部52施加0.2Mpa的壓力來使上側(cè)撓性片48向密閉空間53側(cè)鼓起二十秒之外，與上述比較例7同樣地進行處理而完成層疊，獲得作為目標的由基板III和帶支承體膜的膜狀樹脂β構(gòu)成的主層疊體。比較例10基板III主層疊體除了將比較例7中更改成在接觸層疊裝置47 (圖23)使上側(cè)撓性片48向密閉空間53側(cè)鼓起五秒之后，進一步對空隙部52施加0.5Mpa的壓力來使上側(cè)撓性片48向密閉空間53側(cè)鼓起二十秒之外，與上述比較例7同樣地進行處理而完成層疊，獲得作為目標的由基板III和帶支承體膜的膜狀樹脂β構(gòu)成的主層疊體。 按照以下的要點分別對通過上述實施例1 實施例12及比較例I 比較例10獲得的主層疊體的生產(chǎn)能力、追隨性、膜厚均勻性進行了評價。在后述的表I及表2中示出評價的結(jié)果。牛產(chǎn)能力根據(jù)單位時間的合格產(chǎn)品生產(chǎn)能力進行了如下的評價?！颉?0件以上
〇…21件一39件Δ… 件一20 件X...0 件追隨件

用100倍顯微鏡觀察確認膜狀樹脂對于具有凹凸的基板的追隨性，進行了如下評價。〇…膜狀樹脂完全填充于具有凹凸的基板的凹部。Δ…膜狀樹脂幾乎完全填充于具有凹凸的基板的凹部，但是能在具有凹凸的基板的凹部(凹面)的局部看到些許氣泡。X…膜狀樹脂未完全填充于具有凹凸的基板的凹部，在具有凹凸的基板的凹部(凹面)殘留有氣泡。臘厚詢勻件通過橫切(cross section)法垂直地切斷主層疊體,利用顯微鏡觀察主層疊體的垂直切斷面，進行了如下評價?！颉逋共可系哪顦渲陌纪垢卟钚∮? μ m。〇...基板凸部上的膜狀樹脂的凹凸高差大于等于1mμ且小于2μπι。Δ…基板凸部上的膜狀樹脂的凹凸高差大于等于2 μ m且小于3 μ m。X…基板凸部上的膜狀樹脂的凹凸高差為3μπι以上。表I
權(quán)利要求
1.一種層疊裝置，其特征在于，該層疊裝置以在表面和背面兩個面中的至少一個面具有凹凸的基材的凹凸面上附著膜狀樹脂及帶支承體膜的膜狀樹脂中的一者而成的臨時層疊體(PLl)為對象，用于形成使該膜狀樹脂及帶支承體膜的膜狀樹脂中的一者追隨基材的凹凸的主層疊體，該層疊裝置具有層疊機構(gòu)(E1)，該層疊機構(gòu)(El)具有:密閉空間形成部件，其能夠收容上述臨時層疊體(PLl);以及加壓層疊部件(Pl )，其在由上述密閉空間形成部件形成的密閉空間中，以不與上述膜狀樹脂及帶支承體膜的膜狀樹脂中的一者接觸的非接觸狀態(tài)對上述臨時層疊體(PLl)加壓并使該臨時層疊體(PLl)層疊在基材上，由臨時層疊體(PLl)形成主層疊體。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的層疊裝置，其特征在于，上述層疊機構(gòu)(El)還具有:降壓部件，其在密閉空間內(nèi)由臨時層疊體(PLl)形成膜狀樹脂及帶支承體膜的膜狀樹脂中的一者與基材之間呈負壓狀態(tài)的臨時層疊體(PL2);以及加熱部件，其通過在密閉空間內(nèi)對臨時層疊體(PLl)加熱來使上述膜狀樹脂的周緣部與基材密封。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的層疊裝置，其特征在于，上述層疊機構(gòu)(El)具有加熱部件，該加熱部件通過在由臨時層疊體(PL2)形成主層疊體時在密閉空間內(nèi)對臨時層疊體(PL2)和主層疊體進行加熱，從而形成上述膜狀樹脂牢固地追隨上述基材的狀態(tài)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1 3中任一項所述的層疊裝置，其特征在于，該層疊裝置具有:密閉空間形成部件， 其以上述臨時層疊體(PLl)為對象，能夠收容上述臨時層疊體(PLl)；降壓部件，其能夠在由上述密閉空間形成部件形成的密閉空間中使臨時層疊體(PLl)的上述膜狀樹脂及帶支承體膜的膜狀樹脂中的一者與上述基材之間的空間形成負壓；加熱部件，其能夠?qū)εR時層疊體(PLl)的上述膜狀樹脂及帶支承體膜的膜狀樹脂中的一者進行加熱；層疊機構(gòu)(E2)，其具有用于形成臨時層疊體(PLl)的加壓層疊部件(P2)，該臨時層疊體(PLl)通過向上述基材的凸部層疊臨時層疊體(PLl)的上述膜狀樹脂及帶支承體膜的膜狀樹脂中的一者并使上述膜狀樹脂及帶支承體膜的膜狀樹脂中的一者與上述基材形成一體而成；以及上述層疊機構(gòu)(E1)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1 4中任一項所述的層疊裝置，其特征在于，該層疊裝置具有:密閉空間形成部件，其以上述臨時層疊體(PLl)為對象，能夠收容上述臨時層疊體(PLl)；降壓部件，其能夠在由上述密閉空間形成部件形成的密閉空間中使臨時層疊體(PLl)的上述膜狀樹脂與上述基材之間的空間形成負壓；加熱部件，其能夠?qū)εR時層疊體(PLl)的上述膜狀樹脂進行加熱；層疊機構(gòu)(E3)，其具有加壓層疊部件(P3)，該加壓層疊部件(P3)通過使臨時層疊體(PLl)的上述膜狀樹脂的周緣部向上述基材層疊而形成上述臨時層疊體(PL2);以及上述層疊機構(gòu)(E1)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1 5中任一項所述的層疊裝置，其特征在于，上述加壓層疊部件(Pl)還具有用于控制加壓壓力的控制部件。
7.根據(jù)權(quán)利要求4 6中任一項所述的層疊裝置，其特征在于，該層疊裝置具有:輸送機構(gòu)(Tl),其用于向上述層疊機構(gòu)(E2)或者上述層疊機構(gòu)(E3)輸送臨時層疊體(PLl)；輸送機構(gòu)(T2),其用于朝向上述層疊機構(gòu)(El)輸送臨時層疊體(PLl)或者臨時層疊體(PL2)，該臨時層疊體(PLl)通過使利用上述層疊機構(gòu)(E2)或者上述層疊機構(gòu)(E3)形成的上述膜狀樹脂朝向上述基材的凸部層疊并使上述膜狀樹脂與上述基材形成為一體而成；以及輸送機構(gòu)(T3)，其用于自上述層疊機構(gòu)(El)搬出利用上述層疊機構(gòu)(El)形成的主層疊體。
8.根據(jù)權(quán)利要求1 7中任一項所述的層疊裝置，其特征在于，該層疊裝置還包括支承體膜剝離部件，該支承體膜剝離部件自上述帶支承體膜的膜狀樹脂剝離支承體膜。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述 的層疊裝置，其特征在于，上述支承體膜剝離部件具有用于使該支承體膜剝離部件自身工作的控制部件，以便自臨時層疊體的帶支承體膜的膜狀樹脂及形成臨時層疊體之前的帶支承體膜的膜狀樹脂中的一者剝離支承體膜。
10.根據(jù)權(quán)利要求1 9中任一項所述的層疊裝置，其特征在于，該層疊裝置還包括:切斷部件，其用于將膜狀樹脂及帶支承體膜的膜狀樹脂中的一者切斷成預(yù)定尺寸；以及預(yù)固化部件，其用于對膜狀樹脂及帶支承體膜的膜狀樹脂中的一者進行預(yù)固化。
全文摘要
為了提供一種使膜狀樹脂完全追隨基材的凹凸且以更嚴格的標準使追隨的膜狀樹脂的膜厚均勻的層疊裝置，如圖19所示，設(shè)為具有層疊機構(gòu)(E1)，該具有層疊機構(gòu)(E1)具有密閉空間形成部件，其能夠收容臨時層疊體(PL1)(31)；以及加壓層疊部件(P1)，其用于在由上述密閉空間形成部件形成的密閉空間(Z)中以非接觸狀態(tài)對臨時層疊體(PL1)(31)進行加壓，從而由臨時層疊體(PL1)(31)形成主層疊體。
文檔編號B29C65/78GK103079797SQ20118004018
公開日2013年5月1日 申請日期2011年7月19日 優(yōu)先權(quán)日2010年8月20日
發(fā)明者安本良一, 巖田和敏, 兒玉欣也, G·巴辛 申請人:日合墨東株式會社, 信越化學(xué)工業(yè)株式會社