具有用于加壓部的固定工具的流體壓印裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種即使轉(zhuǎn)印面積擴(kuò)大也能夠使用小型的開閉機(jī)構(gòu)的壓印裝置。本發(fā)明提供一種用于將模具的成型圖案轉(zhuǎn)印到被成型物的壓印裝置，為用于將模具（100）的成型圖案轉(zhuǎn)印到被成型物（200）的裝置，并由以下部件構(gòu)成：具有用于通過流體對模具（100）和被成型物（200）進(jìn)行加壓的加壓室（51）的加壓部（5），支撐受到加壓部（5）的壓力的模具（100）以及被成型物（200）的載物臺（2），調(diào)節(jié)加壓室（51）內(nèi)的流體壓力的加壓機(jī)構(gòu)（6），用于使加壓部（5）和載物臺（2）相對移動的開閉機(jī)構(gòu)（8），以及固定加壓部（5）和載物臺（2）以防止或抑制產(chǎn)生于加壓部（5）的力施加到開閉機(jī)構(gòu)（8）的固定工具（1）。
【專利說明】具有用于加壓部的固定工具的流體壓印裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種設(shè)有用于固定加壓部的固定工具的壓印裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]近年，作為形成微米等級、納米等級的超微細(xì)的圖案的方法，納米壓印技術(shù)受到關(guān)注。這是一種將具有微細(xì)圖案的模具壓向樹脂等被成型物，并利用熱或光將該圖案轉(zhuǎn)印到被成型物的技術(shù)(例如，參考國際
【發(fā)明者】河口宏輔, 田村裕宣, 田中覺 申請人:Scivax股份有限公司