專利名稱：干燥裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種干燥裝置，特別是涉及這樣一種干燥裝置，該千 燥裝置用于在液晶顯示裝置或半導(dǎo)體裝置等的制造過(guò)程中，高速地使 由液體清洗后的液晶板或印刷電路板等被清洗物干燥。
背景技術(shù)：
為了高速地使由液體清洗后的液晶板或印刷電路板等被清洗物千 燥，需要正確的脫水和脫水后的迅速的干燥。在已有的干燥裝置中， 在對(duì)被清洗物進(jìn)行干燥的超干燥室前設(shè)有用于脫水的殘留液體除去 室。在該千燥裝置中，在該殘留液體除去室設(shè)有空氣噴嘴，該空氣噴。傾斜:i是為'了提高清:液;去效率，、;:空氣從殘留液體除2室 侵入到鄰接的超干燥室。在超干燥室中，干燥空氣噴嘴與被清洗物的 輸送方向垂直地配置。這是為了將內(nèi)部的氣氛的擾動(dòng)減小到極限，排 除外氣從干燥裝置的周圍環(huán)境(處于潔凈狀態(tài))侵入到超干燥室內(nèi) (參照專利文獻(xiàn)i)。另外，在別的已有的干燥裝置中，干燥箱的噴嘴相對(duì)被清洗物沿 鉛直方向噴射千燥空氣地設(shè)置。另外，干燥箱除了其入口和出口外， 沒(méi)有與外氣相通的開(kāi)口，另外，該入口和出口也僅具有較小的開(kāi)口面 積。因此，干燥箱中因從噴嘴噴射干燥空氣而處于正壓狀態(tài)，另外，從噴嘴噴射后沖撞到被清洗物后的干燥空氣朝四方飛散，通過(guò)入口和 出口跑到外部。因此，可防止外氣侵入到干燥箱中，并由干燥空氣將 干燥箱中保持為預(yù)定的干燥狀態(tài)。噴嘴從朝被清洗物的面沿鉛直方向 噴射千燥空氣的位置朝與輸送方向正交的方向左右搖動(dòng)。另外，該千 燥裝置含有空氣狹縫作為脫水機(jī)構(gòu)。該空氣狹縫的空氣噴射口朝與被
清洗物的輸送方向相反的方向稍傾斜地配置，干燥空氣可朝后方將流來(lái)的被清洗物表面的液體推回地脫水(參照專利文獻(xiàn)2)。 專利文獻(xiàn)1:日本特開(kāi)2003-240435號(hào)公報(bào) 專利文獻(xiàn)2:日本特開(kāi)平11-316084號(hào)公報(bào)發(fā)明內(nèi)容對(duì)于已有的干燥裝置，與被清洗物的輸送方向垂直地配置干燥用 噴嘴，朝被清洗物的面使干燥空氣沿鉛直方向即垂直方向噴射。因 此，從干燥用噴嘴噴射后沖撞到被清洗物后的干燥空氣沿被清洗物的 表面朝四方飛散，通過(guò)入口和出口跑到外部，所以，被清洗物的表面 的千燥可充分進(jìn)行。另外，相對(duì)于被清洗物的輸送方向相反的方向稍 傾斜地配置脫水用空氣狹縫，將流來(lái)的被清洗物表面的液體朝后方推 回，所以，被清洗物的表面的脫水也可充分地進(jìn)行。然而，對(duì)于已有的干燥裝置，被清洗物的輸送方向的干燥用噴嘴 和脫水用空氣狹縫的噴射口的長(zhǎng)度極小，為0.1mm 0.2mm左右，干 燥空氣不能確實(shí)而且充分地吹到朝輸送方向移動(dòng)的被清洗物的端面。 因此，被清洗物的端面的脫水和干燥不充分。相反，由沿被清洗物的 表面朝四方飛散的干燥空氣擠出的殘留水分、由脫水空氣狹縫朝后方推回的液體沿被清洗物的端部邊緣繞到端部，附著于端面，產(chǎn)生問(wèn) 題。該問(wèn)題在被清洗物的厚度越厚時(shí)越顯著。另外，對(duì)于已有的干燥裝置，由于在千燥室前設(shè)有用于脫水的殘 留液體除去室，所以，還存在干燥裝置大型化的問(wèn)題。另外，對(duì)于沿 與被清洗物的輸送方向正交的方向搖動(dòng)干燥用噴嘴的干燥裝置，由于 噴嘴的噴射口與被清洗物的表面間的距離隨著搖動(dòng)運(yùn)動(dòng)而產(chǎn)生變化， 所以，還存在被清洗物的表面干燥不均勻的問(wèn)題。另外，為了用于具 有厚度的被清洗物P的脫水，還存在相對(duì)輸送方向(箭頭A示出)傾 斜地配置狹縫的構(gòu)成(參照?qǐng)D10)、沿與輸送方向正交的方向配置多 個(gè)相對(duì)輸送方向傾斜的小狹縫的構(gòu)成(參照?qǐng)D11)，但為了設(shè)置脫水 狹縫，需要大的空間，另外，由于沒(méi)有足夠的干燥空氣均勻地吹到端
面，所以，實(shí)際上不能獲得足夠的脫水效果。本發(fā)明的目的在于提供一種可充分地進(jìn)行被清洗物的端面和表面 的脫水及干燥的、緊湊的干燥裝置。 用于解決問(wèn)題的手段為了達(dá)到該目的，本發(fā)明提供一種干燥裝置，該干燥裝置具有密閉干燥箱和干燥空氣噴射機(jī)構(gòu)；該密閉干燥箱設(shè)置于輸送由液體清洗 后的被清洗物的輸送通道，具有用于上述被清洗物通過(guò)的入口和出 口；該干燥空氣噴射機(jī)構(gòu)設(shè)于上述干燥箱中，朝通過(guò)上述輸送通道的 被清洗物噴射干燥空氣；其特征在于設(shè)有使上述干燥空氣噴射機(jī)構(gòu) 朝與上述被清洗物的輸送方向正交的方向直線地移動(dòng)的機(jī)構(gòu)，上述干 燥空氣噴射機(jī)構(gòu)的噴射口由沿上述輸送方向延伸得較長(zhǎng)的狹縫構(gòu)成。按照本發(fā)明，上述干燥空氣噴射機(jī)構(gòu)也可由沿與上述輸送方向正 交的方向排列地配置的多個(gè)噴嘴構(gòu)成。按照本發(fā)明，上述干燥空氣噴射機(jī)構(gòu)由沿輸送方向配置了多列的 噴嘴構(gòu)成，每列噴嘴沿與上述輸送方向正交的方向排列地配置著多個(gè)噴嘴。按照本發(fā)明，上述干燥空氣噴射機(jī)構(gòu)也可夾住上述被清洗物設(shè)置 于上下。按照本發(fā)明，也可在上述干燥箱的入口和出口還設(shè)有第2干燥空 氣噴射機(jī)構(gòu)，上述第2干燥空氣噴射機(jī)構(gòu)由一對(duì)噴嘴構(gòu)成，該一對(duì)噴 嘴具有在與上述輸送方向正交的方向至少延伸被清洗物的寬度的狹 縫，上述噴嘴的相向面從內(nèi)緣到外緣傾斜，使得內(nèi)緣的間隔比外緣的 間隔大。按照本發(fā)明，也可在上述干燥箱還設(shè)有用于充填干燥空氣的第3 干燥空氣噴射機(jī)構(gòu)，上述第3干燥空氣噴射機(jī)構(gòu)的噴射口朝使上述干 燥空氣噴射機(jī)構(gòu)直線移動(dòng)的機(jī)構(gòu)設(shè)置。按照本發(fā)明，也可由線性驅(qū)動(dòng)裝置構(gòu)成使上述干燥空氣噴射機(jī)構(gòu) 直線地移動(dòng)的機(jī)構(gòu)。按照本發(fā)明，設(shè)有使干燥空氣噴射機(jī)構(gòu)朝與被清洗物的輸送方向 正交的方向直線地移動(dòng)的機(jī)構(gòu)，所以，不需要沿被清洗物的整個(gè)寬度 設(shè)置干燥空氣噴射機(jī)構(gòu)，可使干燥裝置整體小型化。另外，由于干燥 空氣噴射機(jī)構(gòu)的噴射口與被清洗物表面間的距離為一定，所以，可獲 得沒(méi)有干燥不均的穩(wěn)定的干燥效果。另外，按照本發(fā)明，干燥空氣噴 射機(jī)構(gòu)的噴射口由沿被清洗物的輸送方向伸長(zhǎng)的狹縫構(gòu)成，所以，即 使為具有厚度的被清洗物，也可使干燥空氣確實(shí)地吹到被清洗物的端 面，可在被清洗物的表面和端面都可同時(shí)地實(shí)現(xiàn)充分的干燥和脫水。另外，按照本發(fā)明，夾著被清洗物在上下設(shè)置干燥空氣噴射機(jī) 構(gòu)，由沿與輸送方向正交的方向排列地配置的多個(gè)噴嘴或由沿輸送方 向配置了多列的該多個(gè)噴嘴構(gòu)成干燥空氣噴射機(jī)構(gòu)，從而可相應(yīng)于被 清洗物的大小或所期望的干燥速度提高干燥效率。另外，按照本發(fā)明，在干燥箱的入口和出口還設(shè)有第2干燥空氣 噴射機(jī)構(gòu)，第2干燥空氣噴射機(jī)構(gòu)由一對(duì)噴嘴構(gòu)成，該一對(duì)噴嘴具有 在與輸送方向正交的方向至少延伸被清洗物的寬度的狹縫，噴嘴的相 向面從內(nèi)緣到外緣傾斜，使得內(nèi)緣的間隔比外緣的間隔大。這樣，從 該空氣狹縫噴射的干燥空氣沿噴嘴的相向的傾斜面從干燥箱的內(nèi)側(cè)朝 外側(cè)噴射，所以，這起到密閉干燥箱的氣幕的作用。另外，干燥空氣 沿噴嘴的相向的噴射面流動(dòng)，所以，被清洗物與已有的空氣狹縫相 比，沿輸送方向接受到較長(zhǎng)時(shí)間的空氣，可充分地進(jìn)行端面的脫水。 因此，該第2干燥空氣噴射機(jī)構(gòu)可具有氣幕的功能和端面脫水的功能 雙方。另外，按照本發(fā)明，在干燥箱還設(shè)有用于充填干燥空氣的第3干 燥空氣噴射機(jī)構(gòu)，第3干燥空氣噴射機(jī)構(gòu)的噴射口朝使干燥空氣噴射 機(jī)構(gòu)直線移動(dòng)的機(jī)構(gòu)設(shè)置。這樣，第3干燥空氣噴射機(jī)構(gòu)不僅具有用 于將干燥空氣充填到干燥箱的功能，而且具有相對(duì)使干燥空氣噴射機(jī) 構(gòu)移動(dòng)的的才幾構(gòu)的冷卻功能。另外，按照本發(fā)明，由線性驅(qū)動(dòng)裝置構(gòu)成使上述干燥空氣噴射機(jī) 構(gòu)直線地移動(dòng)的機(jī)構(gòu)。通過(guò)這樣構(gòu)成，從而可由簡(jiǎn)單的構(gòu)造而且小型 的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)使干燥空氣噴射機(jī)構(gòu)移動(dòng)的機(jī)構(gòu)，因此，可使干燥裝 置整體小型化。另外，可使干燥空氣噴射機(jī)構(gòu)平滑地進(jìn)行直線移動(dòng)， 可確實(shí)而且均勻地進(jìn)行被清洗物的干燥和脫水。


圖l為示出本發(fā)明干燥裝置的概略透^f見(jiàn)圖。圖2為圖1的干燥裝置的II-II向視圖。圖3為示出處于本發(fā)明的干燥裝置內(nèi)部的千燥箱的概略透視圖。 圖4為圖3的干燥箱的IV-IV向視圖。 圖5為圖4的干燥箱的V-V向視圖。 圖6為圖4的干燥箱的VI-VI向視圖。圖7為示出處于本發(fā)明干燥箱的內(nèi)部的噴嘴托架的概略透視圖。圖8為圖7的噴嘴托架的VIII-VIII向視圖。圖9為圖8的噴嘴托架的IX-IX向視截面圖。圖IO為示出已有技術(shù)的脫水狹縫的例的概略圖。圖11為示出已有技術(shù)的脫水狹縫的例的概略圖。符號(hào)的說(shuō)明1干燥裝置主體2臺(tái)架3箱4送入口5排出口6輸送輥7干燥箱8入口9 出口10線性驅(qū)動(dòng)裝置 11噴嘴托架 12噴嘴 13分配管 14螺旋管15狹縫16氣幕噴嘴17氣幕狹縫18充填用噴嘴具體實(shí)施方式
下面參照附圖，說(shuō)明干燥裝置，該干燥裝置對(duì)使用水清洗后的被 清洗物進(jìn)行干燥。圖1為干燥裝置的概略透視圖，為了觀看其內(nèi)部， 截?cái)嗟厥境鲆徊糠?。圖2為圖1的干燥裝置的II-II向視圖。在圖l和 圖2中，干燥裝置的主體l設(shè)置于臺(tái)架2上，在臺(tái)架2的下方設(shè)置用 于將干燥空氣供給到干燥裝置的主體1的箱3。干燥裝置的主體1具有 用于液晶板或印刷電路板等平坦的被清洗物P的送入口 4和排出口 5。在送入口 4與排出口 5間，配置有多個(gè)輸送輥6。該輸送輥可回轉(zhuǎn) 地安裝于由干燥裝置主體1支承的回轉(zhuǎn)軸，形成用于被清洗物的輸送 通道L。在千燥裝置主體1的內(nèi)部設(shè)置有千燥箱7，該干燥箱7如圖3、圖 4、圖5及圖6所示那樣，具有長(zhǎng)方體的構(gòu)造，該長(zhǎng)方體的構(gòu)造除了處 于上述輸送通道L上的入口 8和出口 9以外，其它部分處于密閉狀 態(tài)。在干燥箱7的頂壁和底壁，分別安裝線性驅(qū)動(dòng)裝置10，在各線性 驅(qū)動(dòng)裝置安裝有噴嘴托架11。噴嘴托架11由線性驅(qū)動(dòng)裝置IO驅(qū)動(dòng)， 可朝與輸送方向(用箭頭A示出)正交的方向直線地移動(dòng)。在噴嘴托架ll的四角，如圖8和圖9所示那樣設(shè)有噴嘴12。各噴 嘴12通過(guò)分配管13連接到箱3。分配管13從箱3將干燥空氣分配到 各噴嘴12，但在圖8和圖9中省略了一部分。在圖示實(shí)施例中，噴嘴 12雖然為4個(gè)，但也可為6個(gè)、8個(gè)或更多，另外，也可為1個(gè)。另 外，也可在與輸送方向A正交的方向結(jié)合多個(gè)包含4個(gè)噴嘴的噴嘴托 架ll。噴嘴托架ll如用圖6的虛線示出的那樣，沿被清洗物的整個(gè)寬度 從干燥箱7的入口 8的端部到端部，由線性驅(qū)動(dòng)裝置10移動(dòng)。此時(shí)，分配管13包含圖5所示那樣的螺旋管14，使得分配管13可跟隨噴嘴托架11的直線運(yùn)動(dòng)。該螺旋管14隨著噴嘴托架的直線運(yùn)動(dòng)而進(jìn)行伸縮運(yùn)動(dòng)，不妨礙線性驅(qū)動(dòng)裝置IO產(chǎn)生的平滑的直線運(yùn)動(dòng)。噴嘴12的前端的干燥空氣噴射口具有沿輸送方向延伸得較長(zhǎng)的狹縫形狀。該狹縫15的沿輸送方向A的長(zhǎng)度為15mm左右，寬度即與輸送方向正交的方向的長(zhǎng)度為O.lmm左右。已有的干燥用噴嘴的干燥空氣噴射口具有直徑0.1 0.2mm左右的圓形。在本發(fā)明中，與已有技術(shù)相比，設(shè)有沿輸送方向伸長(zhǎng)的干燥空氣噴射口即狹縫15，所以，可使干燥空氣在足夠的時(shí)間吹到輸送的被清洗物的端面，可實(shí)現(xiàn)充分的 脫水和干燥。如圖3、圖4及圖5所示那樣，在干燥箱7的入口 8和出口 9分別 夾住輸送通道L設(shè)有一對(duì)氣幕噴嘴16。 一對(duì)氣幕噴嘴16的相向面從 內(nèi)緣到外緣傾斜，內(nèi)緣的間隔比外緣的間隔大。各氣幕噴嘴的相向面 形成沿與輸送方向正交的方向伸長(zhǎng)的氣幕狹縫17。該氣幕氣幕狹縫17 的長(zhǎng)度為大體等于干燥箱7的入口 8和出口 9的寬度的長(zhǎng)度。氣幕噴 嘴16與噴嘴12同樣地連接于箱3，從箱3供給干燥空氣，分配到各氣 幕噴嘴16。氣幕噴嘴16的相向面即干燥空氣的噴射面從內(nèi)緣朝外緣 傾斜，所以，從氣幕狹縫17噴射的干燥空氣沿相向面從干燥箱7的內(nèi) 部流到外部，所以，作為將干燥箱7與外部氣氛隔開(kāi)的氣幕起作用， 形成實(shí)質(zhì)上密閉的干燥箱。另外，由于干燥空氣在干燥箱7的出口和 入口從干燥箱的內(nèi)部朝外部?jī)A斜，所以，干燥空氣也在足夠的時(shí)間吹 到輸送的被清洗物的端面，附著于端面的水分也可充分地除去。因 此，該氣幕噴嘴16還兼有被清洗物的端面的脫水功能。如圖4、圖5及圖6所示那樣，在干燥箱的頂壁和底壁，用于將干 燥空氣充填到千燥箱的充填用噴嘴18分別設(shè)于干燥箱7的入口 8和出 口 9的附近。在各充填用噴嘴18，空氣噴射口各設(shè)于3個(gè)部位，在4 個(gè)充填用噴嘴，設(shè)有共12個(gè)部位的噴射口。在各充填用噴嘴18，與 噴嘴12同樣，從箱3供給干燥空氣進(jìn)行分配。充填用噴嘴18的噴射
口的直徑比噴嘴12的噴射口的直徑大，如圖所示那樣，使干燥空氣一 齊朝干燥箱7內(nèi)發(fā)散，可將干燥空氣迅速地充填到干燥箱內(nèi)。在圖4、圖5和圖6所示充填用噴嘴18中，噴射口朝著干燥箱的 內(nèi)部，但也可使噴射口朝著線性裝置的發(fā)熱部。這樣，可使充填用噴 嘴18還具有線性裝置冷卻功能。
權(quán)利要求
1.一種干燥裝置，具有密閉干燥箱和干燥空氣噴射機(jī)構(gòu)；該密閉干燥箱設(shè)置于輸送由液體清洗后的被清洗物的輸送通道，具有用于上述被清洗物通過(guò)的入口和出口；該干燥空氣噴射機(jī)構(gòu)設(shè)于上述干燥箱中，朝通過(guò)上述輸送通道的被清洗物噴射干燥空氣；其特征在于設(shè)有使上述干燥空氣噴射機(jī)構(gòu)朝與上述被清洗物的輸送方向正交的方向直線地移動(dòng)的機(jī)構(gòu)，上述干燥空氣噴射機(jī)構(gòu)的噴射口由沿上述輸送方向伸長(zhǎng)的狹縫構(gòu)成。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的干燥裝置，其特征在于上述干燥空氣 噴射機(jī)構(gòu)由沿與上述輸送方向正交的方向排列地配置著的多個(gè)噴嘴構(gòu)成o
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的干燥裝置，其特征在于上述千燥空氣 噴射機(jī)構(gòu)由沿輸送方向配置了多列的噴嘴構(gòu)成，每列噴嘴沿與上述輸 送方向正交的方向排列地配置著多個(gè)噴嘴。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的干燥裝置，其特征在于上述干燥空氣 噴射機(jī)構(gòu)夾住上述被清洗物上下設(shè)置著。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的干燥裝置，其特征在于在上述干燥箱 的入口和出口還設(shè)有第2千燥空氣噴射機(jī)構(gòu)，上述第2干燥空氣噴射 機(jī)構(gòu)由一對(duì)噴嘴構(gòu)成，該一對(duì)噴嘴具有在與上述輸送方向正交的方向 上至少延伸被清洗物的寬度的狹縫，上述噴嘴的相向面從內(nèi)緣到外緣 傾斜，使得內(nèi)緣的間隔比外緣的間隔大。
6. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的干燥裝置，其特征在于在上述干燥箱 還設(shè)有用于充填干燥空氣的第3干燥空氣噴射機(jī)構(gòu)，上述第3干燥空 氣噴射機(jī)構(gòu)的噴射口朝使上述干燥空氣噴射機(jī)構(gòu)直線移動(dòng)的機(jī)構(gòu)設(shè) 置。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的干燥裝置，其特征在于由線性驅(qū)動(dòng)裝 置構(gòu)成使上述干燥空氣噴射機(jī)構(gòu)直線地移動(dòng)的機(jī)構(gòu)。
全文摘要
設(shè)置線性驅(qū)動(dòng)裝置，該線性驅(qū)動(dòng)裝置在干燥箱內(nèi)使噴嘴沿與被清洗物的輸送方向正交的方向移動(dòng)；由沿輸送方向伸長(zhǎng)的狹縫構(gòu)成噴嘴的噴射口。在干燥箱的入口和出口，設(shè)有沿與輸送方向正交的方向延伸被清洗物的寬度的狹縫的一對(duì)噴嘴，使噴嘴的相向面從內(nèi)緣到外緣傾斜，內(nèi)緣的間隔比外緣的間隔大。
文檔編號(hào)F26B15/12GK101163936SQ200680013290
公開(kāi)日2008年4月16日 申請(qǐng)日期2006年3月30日 優(yōu)先權(quán)日2005年4月20日
發(fā)明者竹森利則 申請(qǐng)人:協(xié)和化工株式會(huì)社