專(zhuān)利名稱(chēng)：一種可觀察循環(huán)水運(yùn)行的回水箱的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種可觀察循環(huán)水運(yùn)行的回水箱，屬于化學(xué)氣相沉積用循環(huán)水冷卻的技術(shù)領(lǐng)域。 技術(shù)背景化學(xué)氣相沉積(CVD)工藝是在高溫條件下進(jìn)行的，為了避免一些金屬部件在高溫條件下融化受損，在生產(chǎn)過(guò)程中需對(duì)真空爐設(shè)備進(jìn)行冷卻?，F(xiàn)在主要是利用循環(huán)水制冷對(duì)真空爐進(jìn)行冷卻，冷卻的部位有爐體、爐底盤(pán)、爐蓋、加熱電極、機(jī)械泵和真空泵組等。冷卻水循環(huán)在生產(chǎn)中起到至關(guān)重要的作用。由于循環(huán)水管在長(zhǎng)期使用過(guò)程中，容易發(fā)生金屬管壁腐蝕產(chǎn)生雜質(zhì)而造成堵塞事故及其他異常情況，因此生產(chǎn)過(guò)程中要時(shí)刻關(guān)注水壓、水溫和水流大小等，及時(shí)發(fā)現(xiàn)異常并排除。但是由于循環(huán)水管分布在真空爐爐體的側(cè)部、底部等各個(gè)位置，生產(chǎn)中檢查時(shí)，需要用手來(lái)感覺(jué)水管溫度、水流速度等來(lái)評(píng)估循環(huán)水的流通是否正常，這種檢查方式具有一定的主觀性；同時(shí)循環(huán)水管較多而分布的位置有時(shí)不便于檢查，且在長(zhǎng)時(shí)間使用后管壁會(huì)變硬、不透明，這些因素增加了循環(huán)水檢查工作的難度使得操作人員根據(jù)主觀判斷很難及時(shí)發(fā)現(xiàn)確定水壓不穩(wěn)、水管堵塞等異常狀況，而錯(cuò)過(guò)最佳的補(bǔ)救時(shí)機(jī)。
發(fā)明內(nèi)容針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實(shí)用新型提供了一種便于觀察和控制水流大小、隨時(shí)檢測(cè)回水溫度、合理控制水壓的可觀察循環(huán)水運(yùn)行的回水箱。該回水箱能確保為CVD工藝提供最佳冷卻的用水量，并便于及時(shí)發(fā)現(xiàn)冷卻過(guò)程中出現(xiàn)的異常情況。本實(shí)用新型的技術(shù)方案如下一種可觀察循環(huán)水運(yùn)行的回水箱，包括分回水管I、分回水管II、箱體和總回水管，所述箱體自上而下包括彼此相連通的觀察箱和容水箱，所述觀察箱的底面積小于容水箱的頂面積，觀察箱的一側(cè)壁設(shè)置有可視窗口 ；所述分回水管I分別通過(guò)觀察箱的頂蓋與觀察箱相連通，所述分回水管II分別通過(guò)觀察箱的頂蓋與觀察箱相連通，所述分回水管II的進(jìn)水口與電極冷卻回水管相連通，所述分回水管I和分回水管II沿平行于可視窗口的方向排列設(shè)置；所述總回水管通過(guò)容水箱箱底與容水箱相連通。所述可視窗口與水平的夾角為90-135°。優(yōu)選的，所述可視窗口與水平的夾角為90°。所述的可視窗口為塑料條狀簾式窗口或開(kāi)放式窗口。所述分回水管II上設(shè)置有壓力表和溫度表。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于I.將本實(shí)用新型與CVD工藝生產(chǎn)中的循環(huán)水管相連，工作人員可以通過(guò)所述的可視窗口隨時(shí)查看各個(gè)分回水管的水流狀況，及時(shí)辨別水溫、水壓及流速，及時(shí)發(fā)現(xiàn)異常情況，有效預(yù)防腐蝕堵塞而造成的電極燒毀或其他危險(xiǎn)事故的發(fā)生。[0013]2.本實(shí)用新型對(duì)水流狀況實(shí)時(shí)控制，節(jié)省用電、用水量，節(jié)約能源。3.本實(shí)用新型使回水不直接流入回水池，循環(huán)水從爐體的各個(gè)部位出來(lái)后各條回水管道集中在所述的回水箱中，在每一條分回水管都標(biāo)明了所連接的具體循環(huán)管路，如爐蓋回水、電極回水等等，一旦發(fā)現(xiàn)某一循環(huán)管路水流不正常時(shí)，即可立刻判斷出對(duì)應(yīng)的冷卻部位出現(xiàn)故障。4.在所述的分回水管II上增設(shè)壓力表和溫度表，可隨時(shí)觀察回水的溫度和和壓力，有效避免水管堵塞、循環(huán)水量不足等異常情況所帶來(lái)的電極或其他部件損壞等嚴(yán)重后果O5.本實(shí)用新型的整體觀測(cè)效果極佳通過(guò)對(duì)回水箱水壓、水溫和水流大小進(jìn)行觀測(cè)，對(duì)整個(gè)設(shè)備的循環(huán)水情況一目了然，便于及時(shí)發(fā)現(xiàn)水流不通暢，水溫過(guò)高和水壓不穩(wěn)等不利于生產(chǎn)的情況，以便及時(shí)采取措施避免造成生產(chǎn)事故，方便操作。
圖I是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是圖I的側(cè)視圖；其中1、分回水管I，1-1、分回水管11，2、觀察箱，3、可視窗口，4、總回水管，5、壓力表，6、溫度表，7、容水箱。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合實(shí)施例和說(shuō)明書(shū)附圖對(duì)本實(shí)用新型做詳細(xì)的說(shuō)明，但不限于此。實(shí)施例I、一種可觀察循環(huán)水運(yùn)行的回水箱，包括分回水管I、分回水管II、箱體和總回水管4，所述箱體自上而下包括彼此相連通的觀察箱2和容水箱7，所述觀察箱2的底面積小于容水箱7的頂面積，觀察箱2的一側(cè)壁設(shè)置有可視窗口 3 ;所述分回水管I分別通過(guò)觀察箱2的頂蓋與觀察箱2相連通，所述分回水管II分別通過(guò)觀察箱2的頂蓋與觀察箱2相連通，所述分回水管II的進(jìn)水口與電極冷卻回水管相連通，所述分回水管I和分回水管II沿平行于可視窗口 3的方向排列設(shè)置；所述總回水管4通過(guò)容水箱7箱底與容水箱7相連通。所述可視窗口 3與水平的夾角為90°。所述的可視窗口 3為塑料條狀簾式窗口，在所述分回水管II上設(shè)置有壓力表5和溫度表6。實(shí)施例2、如實(shí)施例I所述的回水箱，所不同的是，所述的可視窗口 3為開(kāi)放式窗口，所述的可視窗口與水平的夾角為135°。本實(shí)用新型的工作過(guò)程水從水池抽出后，通過(guò)進(jìn)水管進(jìn)入爐體的循環(huán)管道進(jìn)行冷卻，各條循環(huán)管道與分回水管I、II相連匯合至觀察箱2，水流直接從觀察箱2頂蓋落下，所述的分回水管標(biāo)有對(duì)應(yīng)爐體的循環(huán)冷卻部位如爐底回水、爐蓋回水等。各條水流沿觀察箱2進(jìn)入容水箱7，然后沿容水箱7底部的總回水管4回流至回水池，保證了水的循環(huán)冷卻使用。工作人員通過(guò)對(duì)觀察箱2上的可視窗口 3對(duì)各個(gè)分回水管1、11內(nèi)流入的水流進(jìn)行觀察，如果水流過(guò)大或者過(guò)小，就調(diào)節(jié)控制閥門(mén)使水流正常；可用手直接測(cè)試觀察箱2內(nèi)水的溫度，如果水溫過(guò)高或過(guò)低時(shí)，立刻對(duì)分回水管I、II所對(duì)應(yīng)的爐體冷卻部位進(jìn)行檢查，及時(shí)發(fā)現(xiàn)問(wèn)題，避免生產(chǎn)事故的發(fā)生。同時(shí)在分回水管II上安裝壓力表5和溫度表6，尤其是在與電極循環(huán)水管相連的分回水管I上安裝壓力表5和溫度表6，以便及時(shí)準(zhǔn)確獲取溫度和水壓的信息，防止電極受損造成事故的發(fā)生，降 低損失。
權(quán)利要求1.一種可觀察循環(huán)水運(yùn)行的回水箱，包括分回水管I、分回水管II、箱體和總回水管，所述箱體自上而下包括彼此相連通的觀察箱和容水箱，所述觀察箱的底面積小于容水箱的頂面積，觀察箱的一側(cè)壁設(shè)置有可視窗口 ；所述分回水管I分別通過(guò)觀察箱的頂蓋與觀察箱相連通，所述分回水管II分別通過(guò)觀察箱的頂蓋與觀察箱相連通，所述分回水管II的進(jìn)水口與電極冷卻回水管相連通，所述分回水管I和分回水管II沿平行于可視窗口的方向排列設(shè)置；所述總回水管通過(guò)容水箱箱底與容水箱相連通。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種可觀察循環(huán)水運(yùn)行的回水箱，其特征在于，所述可視窗口與水平的夾角為90-135°。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種可觀察循環(huán)水運(yùn)行的回水箱，其特征在于，所述可視窗口與水平的夾角為90°。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種可觀察循環(huán)水運(yùn)行的回水箱，其特征在于，所述的可視窗口為塑料條狀簾式窗口或開(kāi)放式窗口。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種可觀察循環(huán)水運(yùn)行的回水箱，其特征在于，所述分回水管II上設(shè)置有壓力表和溫度表。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型涉及一種可觀察循環(huán)水運(yùn)行情況的回水箱，包括分回水管I、分回水管II、箱體和總回水管，所述箱體自上而下包括彼此相連通的觀察箱和容水箱，所述觀察箱的底面積小于容水箱的頂面積，觀察箱的一側(cè)壁設(shè)置有可視窗口；所述分回水管I分別通過(guò)觀察箱的頂蓋與觀察箱相連通，所述分回水管II分別通過(guò)觀察箱的頂蓋與觀察箱相連通，所述分回水管II的進(jìn)水口與電極冷卻回水管相連通，所述分回水管I和分回水管II沿平行于可視窗口的方向排列設(shè)置；所述總回水管通過(guò)容水箱箱底與容水箱相連通。該回水箱便于及時(shí)發(fā)現(xiàn)設(shè)備中冷卻水流不通暢，水溫過(guò)高和水壓不穩(wěn)等不利于生產(chǎn)的情況，從而及時(shí)采取措施避免造成生產(chǎn)事故，方便操作。
文檔編號(hào)F27D9/00GK202382580SQ20112056347
公開(kāi)日2012年8月15日 申請(qǐng)日期2011年12月29日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月29日
發(fā)明者劉汝強(qiáng) 申請(qǐng)人:劉汝強(qiáng)