專利名稱：潔凈室的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及液晶面板生產(chǎn)制造技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種潔凈室。
背景技術(shù)：
潔凈室亦稱為無塵室或清凈室，潔凈室最主要之作用在于控制產(chǎn)品(如玻璃基板)所接觸之空氣的潔凈度及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造。在現(xiàn)有技術(shù)中，潔凈室的清潔是通過潔凈室的頂板上的風(fēng)機(jī)濾器單元向潔凈室內(nèi)吹出潔凈空氣，將潔凈室內(nèi)的污染空氣(含微塵粒子等)從排風(fēng)口排出。然而，在實(shí)際過程中，潔凈室的頂板上的風(fēng)機(jī)濾器單元向潔凈室內(nèi)吹出潔凈空氣 時(shí)，易受潔凈室內(nèi)的自動(dòng)化搬運(yùn)設(shè)備、潔凈室的底板以及側(cè)板回風(fēng)導(dǎo)致渦流現(xiàn)象，造成潔凈室內(nèi)的微塵粒子不易排出，易污染卡匣內(nèi)的玻璃基板。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明主要解決的技術(shù)問題是提供一種潔凈室，以解決現(xiàn)有技術(shù)中由于渦流現(xiàn)象造成潔凈室內(nèi)的微塵粒子不易排出的問題。為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采用的一個(gè)技術(shù)方案是提供一種潔凈室，用于存放玻璃基板，其中，所述潔凈室包括排風(fēng)口，設(shè)于所述潔凈室的底部；第一風(fēng)機(jī)濾器單元，設(shè)于所述潔凈室的頂部，用于向所述潔凈室提供潔凈空氣；第二風(fēng)機(jī)濾器單元，設(shè)于所述潔凈室的底部，用于與所述第一風(fēng)機(jī)濾器單元配合形成垂直氣流以減小所述潔凈室內(nèi)的渦流現(xiàn)象。根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實(shí)施例，所述潔凈室包括頂板、側(cè)板以及底板，所述第一風(fēng)機(jī)濾器單元設(shè)于所述頂板上，所述排風(fēng)口設(shè)于所述底板上，所述第二風(fēng)機(jī)濾器單元設(shè)于所述排風(fēng)口上。根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實(shí)施例，所述第一風(fēng)機(jī)濾器單元與所述第二風(fēng)機(jī)濾器單元的安裝位置上下相對(duì)應(yīng)。根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實(shí)施例，所述潔凈室包括儲(chǔ)位架，所述儲(chǔ)位架放置于所述底板上，用于存放卡匣，所述卡匣用于存放所述玻璃基板。根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實(shí)施例，所述潔凈室包括導(dǎo)軌，所述導(dǎo)軌設(shè)于所述底板上。根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實(shí)施例，所述潔凈室包括自動(dòng)化搬運(yùn)設(shè)備，所述自動(dòng)化搬運(yùn)設(shè)備設(shè)于所述導(dǎo)軌上。根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實(shí)施例，所述自動(dòng)化搬運(yùn)設(shè)備包括搬運(yùn)叉，所述搬運(yùn)叉用于叉取所述儲(chǔ)位架上的所述卡匣。根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實(shí)施例，所述導(dǎo)軌為雙軌，所述雙軌將所述底板分隔為導(dǎo)軌內(nèi)區(qū)和導(dǎo)軌外區(qū)。根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實(shí)施例，所述第二風(fēng)機(jī)濾器單元設(shè)于所述導(dǎo)軌內(nèi)區(qū)內(nèi)和/或所述導(dǎo)軌外區(qū)內(nèi)。根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實(shí)施例，所述第一風(fēng)機(jī)濾器單元和所述第二風(fēng)機(jī)濾器單元均包括預(yù)過濾器，用于對(duì)吸入的空氣進(jìn)行預(yù)過濾；進(jìn)風(fēng)管，所述進(jìn)風(fēng)管的一端與所述預(yù)過濾器相連接；殼體，所述進(jìn)風(fēng)管的另一端與所述殼體的頂面相連接；電機(jī)，對(duì)應(yīng)于所述進(jìn)風(fēng)管的位置設(shè)于所述殼體內(nèi)；葉輪，與所述電機(jī)相裝配； 氣流均衡裝置，設(shè)于所述葉輪下方，用于均衡氣流；過濾器，設(shè)于所述氣流均衡裝置下方，用于再次過濾空氣；金屬防護(hù)網(wǎng)，作為所述殼體的底面；插腳，設(shè)于所述殼體的底面，用于與所述頂板、所述底板相固定；控制元件，用于啟動(dòng)所述電機(jī)。本發(fā)明的有益效果是區(qū)別于現(xiàn)有技術(shù)的情況，本發(fā)明提供的潔凈室可以解決現(xiàn)有技術(shù)中由于渦流現(xiàn)象造成潔凈室內(nèi)的微塵粒子不易排出的問題，本發(fā)明提供的潔凈室在其底板上增設(shè)有風(fēng)機(jī)濾器單元，該風(fēng)機(jī)濾器單元與潔凈室的頂板上的風(fēng)機(jī)濾器單元配合形成垂直氣流，可以減小該潔凈室內(nèi)的渦流現(xiàn)象，由此可避免渦流卷帶微塵粒子揚(yáng)起污染玻璃基板，提高產(chǎn)品良率。


為了更清楚地說明本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖，其中圖I為根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實(shí)施例的潔凈室的前視截面示意圖；圖2為根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實(shí)施例的潔凈室的俯視截面示意圖；圖3為根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實(shí)施例的潔凈室的第一風(fēng)機(jī)濾器單元的立體結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為圖3所示的第一風(fēng)機(jī)濾器單元的構(gòu)造原理圖。
具體實(shí)施例方式下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅是本發(fā)明的一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。請(qǐng)一并參閱圖I和圖2，其中，圖I為根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實(shí)施例的潔凈室的前視截面示意圖；圖2為根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實(shí)施例的潔凈室的俯視截面示意圖。如圖I和圖2所示，本發(fā)明提供一種潔凈室10，用于存放玻璃基板，該潔凈室10包括排風(fēng)口 102、第一風(fēng)機(jī)濾器單元200以及第二風(fēng)機(jī)濾器單元300。
其中，該排風(fēng)口 102設(shè)于該潔凈室10的底部；該第一風(fēng)機(jī)濾器單元200設(shè)于該潔凈室10的頂部，用于向該潔凈室10提供潔凈空氣；該第二風(fēng)機(jī)濾器單元300設(shè)于該潔凈室10的底部，用于與該第一風(fēng)機(jī)濾器單元200配合形成垂直氣流以減小該潔凈室10內(nèi)的渦流現(xiàn)象。區(qū)別于現(xiàn)有技術(shù)的情況，本發(fā)明提供的潔凈室10可避免渦流卷帶微塵粒子揚(yáng)起污染玻璃基板，提高產(chǎn)品良率，亦可減少潔凈室1 0的清潔保養(yǎng)次數(shù)，節(jié)約生產(chǎn)維護(hù)成本。具體而言，本發(fā)明實(shí)施例提供的潔凈室10由頂板110、側(cè)板120以及底板130圍合形成，該潔凈室10包括儲(chǔ)位架140、導(dǎo)軌150、自動(dòng)化搬運(yùn)設(shè)備160、第一風(fēng)機(jī)濾器單元200以及第二風(fēng)機(jī)濾器單元300。其中，該頂板110可由多塊板材拼接而成，該頂板110上設(shè)有多個(gè)安裝開口，該第一風(fēng)機(jī)濾器單元200對(duì)應(yīng)設(shè)于該安裝開口上，將吸入的空氣經(jīng)過濾后從該安裝開口吹入該潔凈室10內(nèi)。該第一風(fēng)機(jī)濾器單元200可采用市面上現(xiàn)有的FFU (Fan Filter Units), FFU是將風(fēng)機(jī)和過濾器(高效過濾器(HEPA)或超高效過濾器(ULPA))組合在一起構(gòu)成自身提供動(dòng)力的末端凈化設(shè)備。確切地說是一種自帶動(dòng)力、具有過濾功效的模塊化的末端送風(fēng)裝置。風(fēng)機(jī)從FFU頂部將空氣吸入并經(jīng)HEPA過濾，過濾后的潔凈空氣在整個(gè)出風(fēng)面以O(shè). 45m/s 土 20%的風(fēng)速均勻送出。其中，高效過濾器對(duì)直徑為O. 3微米(頭發(fā)直徑的1/200)以上的微粒去除效率可達(dá)到99. 97%以上，是煙霧、灰塵以及細(xì)菌等污染物最有效的過濾媒介。超高效過濾器對(duì)O. Γ0. 2 μ m的微粒、煙霧和微生物等塵埃粒子的過濾效率達(dá)到99. 999%以上。該側(cè)板120包括四塊，該頂板110、四塊側(cè)板120以及底板130圍合形成一矩形空間的潔凈室10。其中，每一側(cè)板120可由多塊板材拼接而成。該底板130為相對(duì)地面的高架板，該底板130可由多塊板材拼接而成，該底板130上設(shè)有多個(gè)排風(fēng)口 102，如圖2中所示，該底板130的中間部位設(shè)有三列排風(fēng)口 102，當(dāng)然，該多個(gè)排風(fēng)口 102的設(shè)置方式并不限于圖2所示。該儲(chǔ)位架140放置于底板130上，該儲(chǔ)位架140用于存放卡匣142，該卡匣142用于存放玻璃基板，如圖I和圖2中所示，潔凈室10的兩側(cè)邊各設(shè)有一儲(chǔ)位架140，該儲(chǔ)位架140可由多個(gè)架體拼接組合而成。該導(dǎo)軌150設(shè)于底板130上,該導(dǎo)軌150為雙軌,該雙軌將該底板130分隔為導(dǎo)軌內(nèi)區(qū)152和導(dǎo)軌外區(qū)154。在優(yōu)選實(shí)施例中，該導(dǎo)軌150可設(shè)于兩個(gè)儲(chǔ)位架140的中間。該自動(dòng)化搬運(yùn)設(shè)備160設(shè)于該導(dǎo)軌150上，該自動(dòng)化搬運(yùn)設(shè)備160包括搬運(yùn)叉162，該搬運(yùn)叉162用于叉取該儲(chǔ)位架140上的該卡匣142。該第二風(fēng)機(jī)濾器單元300可采用與第一風(fēng)機(jī)濾器單元200相同的FFU，或者，該第二風(fēng)機(jī)濾器單元300可采用普通的抽風(fēng)機(jī)。該第二風(fēng)機(jī)濾器單元300設(shè)于排風(fēng)口 102上，當(dāng)然，該第二風(fēng)機(jī)濾器單元300的數(shù)量可以少于該排風(fēng)口 102的數(shù)量。通常，將底板130上的第二風(fēng)機(jī)濾器單元300與頂板110上的第一風(fēng)機(jī)濾器單元200的安裝位置上下相對(duì)應(yīng)，以便于形成垂直氣流。在優(yōu)選實(shí)施例中，該第二風(fēng)機(jī)濾器單元300設(shè)于該導(dǎo)軌內(nèi)區(qū)152內(nèi)，如此可使得第二風(fēng)機(jī)濾器單元300大致位于底板130的兩儲(chǔ)位架140的中間，其位置較佳，且充分利用了導(dǎo)軌內(nèi)區(qū)152的空間，不用占用潔凈室10內(nèi)的其他位置，給潔凈室10內(nèi)的其他設(shè)備讓出空間。當(dāng)然，在其他實(shí)施例中，該第二風(fēng)機(jī)濾器單元300亦可設(shè)于該導(dǎo)軌外區(qū)154內(nèi)，或者，該第二風(fēng)機(jī)濾器單元300同時(shí)設(shè)于該導(dǎo)軌內(nèi)區(qū)152內(nèi)和該導(dǎo)軌外區(qū)154內(nèi)。請(qǐng)一并參閱圖3和圖4，其中，圖3為根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實(shí)施例的潔凈室的第一風(fēng)機(jī)濾器單元的立體結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為圖3所示的風(fēng)機(jī)濾器單元的構(gòu)造原理圖。如圖3和圖4所示，本發(fā)明實(shí)施例提供的第一風(fēng)機(jī)濾器單元包括預(yù)過濾器202、進(jìn)風(fēng)管204、殼體206、電機(jī)208、葉輪210、氣流均衡裝置212、過濾器214、金屬防護(hù)網(wǎng)216、插腳218以及控制元件220。其中，該預(yù)過濾器202用于對(duì)吸入的空氣進(jìn)行預(yù)過濾；該進(jìn)風(fēng)管204的一端與該預(yù)過濾器202相連接；該進(jìn)風(fēng)管204的另一端與該殼體206的頂面相連接；該電機(jī)208對(duì)應(yīng)于該進(jìn)風(fēng)管204的位置設(shè)于該殼體206內(nèi)；該葉輪210與該電機(jī)208相裝配；該氣流均衡裝 置212設(shè)于該葉輪210下方，用于均衡氣流；該過濾器214設(shè)于該氣流均衡裝置212下方，用于再次過濾空氣；該金屬防護(hù)網(wǎng)216作為該殼體206的底面；該插腳218設(shè)于該殼體206的底面，用于與該頂板110、該底板130相固定；該控制兀件220用于啟動(dòng)該電機(jī)208。綜上所述，本領(lǐng)域技人員容易理解，本發(fā)明提供的潔凈室可以解決現(xiàn)有技術(shù)中由于渦流現(xiàn)象造成潔凈室內(nèi)的微塵粒子不易排出的問題，本發(fā)明提供的潔凈室在其底板上增設(shè)有風(fēng)機(jī)濾器單元，該風(fēng)機(jī)濾器單元與潔凈室的頂板上的風(fēng)機(jī)濾器單元配合形成垂直氣流，可以減小該潔凈室內(nèi)的渦流現(xiàn)象，由此可避免渦流卷帶微塵粒子揚(yáng)起污染玻璃基板，提聞廣品良率。以上所述僅為本發(fā)明的示例性實(shí)施例，并非因此限制本發(fā)明的專利保護(hù)范圍，凡是利用本發(fā)明說明書及附圖內(nèi)容所作的等效結(jié)構(gòu)或等效流程變換，或直接或間接運(yùn)用在其他相關(guān)的技術(shù)領(lǐng)域，均同理包括在本發(fā)明的專利保護(hù)范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種潔凈室，用于存放玻璃基板，其特征在于，所述潔凈室包括 排風(fēng)口，設(shè)于所述潔凈室的底部； 第一風(fēng)機(jī)濾器單元，設(shè)于所述潔凈室的頂部，用于向所述潔凈室提供潔凈空氣； 第二風(fēng)機(jī)濾器單元，設(shè) 于所述潔凈室的底部，用于與所述第一風(fēng)機(jī)濾器單元配合形成垂直氣流以減小所述潔凈室內(nèi)的渦流現(xiàn)象。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的潔凈室，其特征在于，所述潔凈室包括頂板、側(cè)板以及底板，所述第一風(fēng)機(jī)濾器單元設(shè)于所述頂板上，所述排風(fēng)口設(shè)于所述底板上，所述第二風(fēng)機(jī)濾器單元設(shè)于所述排風(fēng)口上。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的潔凈室，其特征在于，所述第一風(fēng)機(jī)濾器單元與所述第二風(fēng)機(jī)濾器單元的安裝位置上下相對(duì)應(yīng)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的潔凈室，其特征在于，所述潔凈室包括儲(chǔ)位架，所述儲(chǔ)位架放置于所述底板上，用于存放卡匣，所述卡匣用于存放所述玻璃基板。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的潔凈室，其特征在于，所述潔凈室包括導(dǎo)軌，所述導(dǎo)軌設(shè)于所述底板上。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的潔凈室，其特征在于，所述潔凈室包括自動(dòng)化搬運(yùn)設(shè)備，所述自動(dòng)化搬運(yùn)設(shè)備設(shè)于所述導(dǎo)軌上。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的潔凈室，其特征在于，所述自動(dòng)化搬運(yùn)設(shè)備包括搬運(yùn)叉，所述搬運(yùn)叉用于叉取所述儲(chǔ)位架上的所述卡匣。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的潔凈室，其特征在于，所述導(dǎo)軌為雙軌，所述雙軌將所述底板分隔為導(dǎo)軌內(nèi)區(qū)和導(dǎo)軌外區(qū)。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的潔凈室，其特征在于，所述第二風(fēng)機(jī)濾器單元設(shè)于所述導(dǎo)軌內(nèi)區(qū)內(nèi)和/或所述導(dǎo)軌外區(qū)內(nèi)。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的潔凈室，其特征在于，所述第一風(fēng)機(jī)濾器單元和所述第二風(fēng)機(jī)濾器單元均包括 預(yù)過濾器，用于對(duì)吸入的空氣進(jìn)行預(yù)過濾； 進(jìn)風(fēng)管，所述進(jìn)風(fēng)管的一端與所述預(yù)過濾器相連接； 殼體，所述進(jìn)風(fēng)管的另一端與所述殼體的頂面相連接； 電機(jī)，對(duì)應(yīng)于所述進(jìn)風(fēng)管的位置設(shè)于所述殼體內(nèi)； 葉輪，與所述電機(jī)相裝配； 氣流均衡裝置，設(shè)于所述葉輪下方，用于均衡氣流； 過濾器，設(shè)于所述氣流均衡裝置下方，用于再次過濾空氣； 金屬防護(hù)網(wǎng)，作為所述殼體的底面； 插腳，設(shè)于所述殼體的底面，用于與所述頂板、所述底板相固定； 控制元件，用于啟動(dòng)所述電機(jī)。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種潔凈室，用于存放玻璃基板，該潔凈室包括排風(fēng)口、第一風(fēng)機(jī)濾器單元以及第二風(fēng)機(jī)濾器單元，其中，該排風(fēng)口設(shè)于該潔凈室的底部；該第一風(fēng)機(jī)濾器單元設(shè)于該潔凈室的頂部，用于向該潔凈室提供潔凈空氣；該第二風(fēng)機(jī)濾器單元設(shè)于該潔凈室的底部，用于與該第一風(fēng)機(jī)濾器單元配合形成垂直氣流以減小該潔凈室內(nèi)的渦流現(xiàn)象。本發(fā)明公開的潔凈室可以解決現(xiàn)有技術(shù)中由于渦流現(xiàn)象造成潔凈室內(nèi)的微塵粒子不易排出的問題。
文檔編號(hào)F24F7/007GK102865640SQ20121036387
公開日2013年1月9日 申請(qǐng)日期2012年9月26日 優(yōu)先權(quán)日2012年9月26日
發(fā)明者蔣運(yùn)芍, 吳俊豪, 林昆賢, 汪永強(qiáng), 舒志優(yōu), 郭振華 申請(qǐng)人:深圳市華星光電技術(shù)有限公司