烘干的制造方法
【專利摘要】烘干機包括圍罩和用于運輸一個或多個部件經(jīng)過第一和第二開口之間的運輸裝置。烘干機包括一個或多個加熱元件，以及圍罩中的第一和第二導(dǎo)管。上述第一和第二導(dǎo)管均包括多個被配置為朝向一個或多個部件排放加熱的空氣的開口。與圍罩內(nèi)部流體連通的排氣管包括用于將流體從圍罩內(nèi)部排出的排風(fēng)機，以及用于氧化蒸發(fā)的化合物的一個或多個加熱元件。送風(fēng)機和排風(fēng)機協(xié)同操作，以便引導(dǎo)空氣滲透通過第一和第二開口。還提供了操作烘干機的方法。
【專利說明】烘干機
[0001]相關(guān)申請的交叉引用
[0002]本申請要求2011年4月15日提交的美國臨時專利申請序列號61/475，821的優(yōu)先權(quán)，該申請通過引用并入本文。
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0003]本發(fā)明涉及烘干機。特別的，本發(fā)明涉及用于硅片的烘干機。
【背景技術(shù)】
[0004]在生產(chǎn)過程中，許多產(chǎn)品出于各種原因都需要進行熱處理，包括半導(dǎo)體晶片制造過程中的熱固化、將鋼鐵等產(chǎn)品材料進行硬化的退火工序。熱處理過程通常是在極高的溫度下進行的。包括用于對放在其上的部件進行烘干的傳送帶的烘干機被廣泛地應(yīng)用于各個行業(yè)。
[0005]這樣的申請包括將光伏電池的硅片上的傳導(dǎo)性金屬化膠融化或烘干的烘干機。這種烘干機典型地運送傳送帶上的硅片使其經(jīng)過內(nèi)部具有紅外線(IR)加熱器的圍罩，并且如果有工藝空氣，則有非常少量的工藝空氣被引入烘干機圍罩及/或從烘干機圍罩流出。在這樣一些烘干機中，通過周圍的絕緣體或噴霧管將一些工藝空氣引入圍罩中。當(dāng)揮發(fā)性有機化合物(VOC)從膠中蒸發(fā)時，包括空氣及來自圍罩內(nèi)部的蒸發(fā)的化合物的流體混合物在圍罩的入口及/或出口處通過排氣口被排出。這樣，工藝空氣對干燥過程不起什么作用，只不過充當(dāng)將蒸發(fā)的化合物從圍罩內(nèi)部去除的媒介或工具。
[0006]有的烘干機不使用紅外線加熱器，而是使用再循環(huán)的加壓氣流。然而，這種氣流通常是以低速引入到圍罩中，因此，不能有效地去除蒸發(fā)的化合物。由于再循環(huán)的加壓氣流被使用，蒸發(fā)的化合物的濃度最終達到了飽和點，在這個飽和點上可能無法排出蒸發(fā)的化合物。此外，蒸發(fā)的化合物在管道系統(tǒng)及系統(tǒng)的其他部件內(nèi)開始冷凝，然而這些管道系統(tǒng)及系統(tǒng)的其他部件需要頻繁停工檢修。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]在烘干機的一個實施例中，包含第一和第二開口的圍罩包括用于運送一個或多個部件使其經(jīng)過在第一和第二開口之間的圍罩的運輸裝置。烘干機包括圍罩靠近第一開口的至少一部分中的一個或多個加熱元件，以及圍罩中的第一和第二導(dǎo)管。第一和所述第二導(dǎo)管均包括一個閉合端、一個入口和被配置用于朝向一個或多個部件排出空氣的多個開口。通過與第一和第二導(dǎo)管的入口流體連通的送風(fēng)機，第一和第二加熱器分別對供給到第一和第二導(dǎo)管的空氣進行加熱。與圍罩內(nèi)部流體連通的排氣管包括用于從圍罩內(nèi)部排出流體的排風(fēng)機。
[0008]在一些烘干機實施例中，配置多個開口來以至少部分重疊的方式將空氣排放到運輸裝置上的一個或多個部件表面上。在某些烘干機實施例中，圍罩內(nèi)部的溫度被維持為至少等于或高于運輸裝置上的一個或多個部件上的一個或多個化合物中的每個的飽和溫度。在一些烘干機實施例中，送風(fēng)機和排風(fēng)機協(xié)同進行操作以在圍罩中產(chǎn)生負壓力，用于引導(dǎo)空氣滲透通過第一和第二開口。
[0009]一種操作(或使用)一個烘干機實施例的方法包括運送一個或多個部件使其經(jīng)過在第一和第二開口之間的圍罩。一個或多個部件上面及/或里面的一個或多個化合物是通過加熱元件被蒸發(fā)掉的，及/或由第一和第二導(dǎo)管中的多個開口朝向一個或多個部件排放的加熱的空氣被蒸發(fā)掉的。圍罩內(nèi)的流體是用排風(fēng)機排出的。在某些實施例中，操作發(fā)熱元件、送風(fēng)機和排風(fēng)機以將圍罩內(nèi)部的溫度維持為至少等于或高于運輸裝置上的一個或多個部件上面及/或里面的一個或多個化合物中的每個的飽和溫度。在一些實施例中，送風(fēng)機和排風(fēng)機以某種方式被操作以有助于通過在圍罩中產(chǎn)生負壓來引導(dǎo)空氣滲透通過第一和第二開口。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0010]圖1示出依照本發(fā)明的實施例，沿著烘干機縱向范圍的剖視圖；
[0011]圖2示出從圖1所示的烘干機的內(nèi)部觀察的側(cè)面剖視圖；
[0012]圖3示出從圖1所示的烘干機內(nèi)部沿線3-3觀察的底部剖視圖；
[0013]圖4示出圖1所示的烘干機的側(cè)面圖；
[0014]圖5示出圖1所示的烘干機的端視圖；
[0015]圖6示出圖1所示的烘干機內(nèi)的流體流動路徑；
[0016]圖7示出圖1示出的烘干機的一個實施例中的用于供應(yīng)加熱的空氣使其通過多個開口的導(dǎo)管的局部詳圖；和
[0017]圖8示出圖1所示的烘干機的一個實施例中的用于供應(yīng)加熱的空氣使其通過多個開口的導(dǎo)管的另一個局部詳圖。
【具體實施方式】
[0018]很多種實施例在此公開，還有其他一些實施例對本領(lǐng)域技術(shù)人員而言也是顯而易見的。在下文中，參考附圖來詳細描述某些說明性和非限制性實施例，其中的相同元件是由相同的附圖標(biāo)記來標(biāo)示的。應(yīng)該很清楚的了解，沒有意圖、隱含的，或在其他方面以任何形式或方式對文中所述的發(fā)明進行限制。同樣，所有替代的實施例被看作是在本發(fā)明披露的精神、范圍和意圖內(nèi)。本發(fā)明的公認范圍是由附加要求及其任何等同物限定的。
[0019]例如，烘干機10的實施例包括像管道一樣的圍罩12，圍罩12配有運輸裝置14，該運輸裝置14沿著在第一開口 16和第二開口 18之間延伸的行程路徑來分別運送一個或多個部件(未顯示)使其經(jīng)過圍罩12。在此，通過透視圖來描述烘干機10的實施例，其中第一開口 16是被運送經(jīng)過圍罩12的一個或多個部件的進口(或入口)，第二開口 18是被運送經(jīng)過圍罩12的一個或多個部件的輸出口(或出口)。盡管示出了圍罩12具有沿其縱向范圍的通常的方形橫截面，但是在烘干機10的某些實施例中，圍罩12包括例如矩形、圓形或三角形等的橫截面。雖然圍罩12被示出具有沿著其縱向范圍的通常的均勻的橫截面，但是烘干機10的某些實施例包括在第一開口 16和第二開口 18之間有變化的橫截面和/或縱橫比的圍罩12，這樣的實施例被認定為屬于該發(fā)明的范疇。例如，在一些實施例中，圍罩12的橫截面包括一個或多個截面，該截面有一個或多個均勻的橫截面，這些橫截面與一個或多個其他截面的橫截面不同。在烘干機10的其他一些實施例中，圍罩10的橫截面在第一開口 16和第二開口 18之間不斷地變化?？傊瑖?2的尺寸或橫截面積可以是均勻的，也可以隨著第一開口 16和第二開口 18之間的行程路徑來變化。雖然圍罩12和運輸裝置14被描述為沿著他們的縱向范圍呈線性，但不是所有情況下都如此。例如，在烘干機10的一些實施例中，圍罩12和運輸裝置14在第一開口 16和第二開口 18之間具有曲線路徑。所描述的烘干機10的實施例包括在圍罩12外表面的至少一部分上的可選的熱絕緣20。
[0020]干燥機10的一些實施例包括位于圍罩12靠近第一開口 16的至少一部分中的一個或多個加熱元件22。通常，在運輸裝置14上的一個或多個部件被運送經(jīng)過第一開口 16和第二開口 18之間的圍罩12時，加熱元件22被安排并配置來給這些部件加熱。這樣，根據(jù)加熱元件22的配置，用被引導(dǎo)朝向一個或多個部件的熱量對所述一個或多個部件內(nèi)和/或其表面(如頂部及/或底部表面)上的一個或多個化合物進行加熱，并使其蒸發(fā)，例如蒸發(fā)太陽能電池的硅片上的傳導(dǎo)性金屬化膠。
[0021]在一些實施例中，加熱元件22是紅外線(IR)加熱器；而加熱的替換形式(如直接火爐等)被認定為在該發(fā)明的范疇內(nèi)。盡管加熱元件22被描述為相對于運輸裝置14上下并排放置，但不是所有情況下都如此。例如，在烘干機10的一些實施例中，加熱元件22放置在運輸裝置14上方或放置在運輸裝置14下方。包含以不同于圖中所描述的方式放置的加熱元件22的烘干機10的實施例被認定為屬于該發(fā)明的范疇。例如，烘干機10的一些實施例包括在第一開口 16和第二開口 18之間的整個運輸裝置14上方和/或下方的加熱元件22。在烘干機10的一些實施例中，加熱兀件22放置在圍罩12不靠近第一開口 16和/或第二開口 18的截面內(nèi)。在烘干機10的一些實施例中，加熱元件22放置在相對于運輸裝置14上的一個或多個部件成一定角度(如45°、90°等)的位置上。在烘干機10的一些實施例中，加熱元件22將運輸裝置14限制在圍罩12內(nèi)。對于本領(lǐng)域技術(shù)人員來說是顯而易見的用于加熱所述一個或多個部件和蒸發(fā)所述一個或多個化合物的額外的、替換的排列與配置被認定為屬于該發(fā)明的范疇。
[0022]除加熱元件22或其他元件外，烘干機10的實施例包含圍罩12中的第一導(dǎo)管24和第二導(dǎo)管26。正如所描述的那樣，第一導(dǎo)管24和第二導(dǎo)管26分別包括進氣孔28和30及閉合端32和34。如圖7、圖8所不,在有些實施例中，第一導(dǎo)管24和第二導(dǎo)管26包括在進氣孔28和30以及它們各自的閉合端32和34之間的至少一部分上的多個開口 36(被示出為孔)。開口 36可以是安排并配置用于將提供至第一導(dǎo)管24和第二導(dǎo)管26的氣體排放至圍罩12的內(nèi)部38的孔或狹縫。
[0023]通常，從開口 36排放出來的空氣被弓I導(dǎo)朝向運輸裝置14上的一個或多個部件，這樣，至少一部分排放的空氣被引導(dǎo)朝向所述一個或多個部件，或在鄰近所述一個或多個部件的位置處形成至少部分重疊的流動型態(tài)。如圖3所示，在烘干機10的一些實施例中，第一導(dǎo)管24和第二導(dǎo)管26放置在運輸裝置14的接近中央位置的上方，并經(jīng)過其縱向范圍。圖3還表明，在烘干機10的某些實施例中，開口 36被定位在面向運輸裝置14的位置上。同樣，圖3還表明了一套實施例，其中排放的空氣被引導(dǎo)朝向一個或多個部件的頂面及/或被引導(dǎo)至一個或多個部件的頂面上，所述一個或多個部件由運輸裝置14運送經(jīng)過第一開口16和第二開口 18之間的圍罩12。
[0024]如圖6所示，排放至內(nèi)部38的空氣通常沿著流動路徑40流動。然而，并不總需要這種排列和設(shè)置。例如，在烘干機10的一些實施例中，排放的空氣從運輸裝置14的下方被引導(dǎo)朝向一個或多個部件。在烘干機10的其他一些實施例中，排放的空氣被引導(dǎo)沿著與一個或多個部件相同的和/或平行的平面中的流動路徑。在烘干機10的一些實施例中，排放的空氣相對于一個或多個部件成一定角度被引導(dǎo)朝向所述一個或多個部件。在烘干機10的其他實施例中，還可以在圍罩12中配備一個或多個額外的導(dǎo)管。其他用于提供所述功能的設(shè)計對于本領(lǐng)域技術(shù)人員來說也是顯而易見的。所有額外的、替換安排和配置可被認為屬于該發(fā)明的范疇。
[0025]在烘干機10的一些實施例中，進氣孔28和30放置在靠近圍罩12的中心位置上，并且圍罩12中的第一導(dǎo)管24和第二導(dǎo)管26從各自的閉合端32和34分別延伸至圍罩12內(nèi)靠近第一開口 16和第二開口 18的位置。在烘干機10的某些實施例中，進氣孔28和30分別定位在靠近第一開口 16和第二開口 18的位置上，并且圍罩中12的第一導(dǎo)管24和第二導(dǎo)管26分別從各自的閉合端32和34延伸至圍罩12內(nèi)靠近其中心的位置。在烘干機10的一些實施例中，第一導(dǎo)管24和第二導(dǎo)管26包括單個(整塊)共同的進氣孔，不包括分離的進氣孔28和30。烘干機10的有些實施例包括第一導(dǎo)管24和第二導(dǎo)管26中的一個，而不是全包括，換句話說，包括單個導(dǎo)管。例如，烘干機10的某些實施例包含在圍罩12內(nèi)第一開口 16和第二開口 18之間的幾乎整個范圍延伸的一個或多個連續(xù)或鄰近的導(dǎo)管，其中每根導(dǎo)管包括靠近開口之一的進氣孔和靠近另一開口的閉合端。在某些實施例中，烘干機10包含圍罩12的截面中的一個或多個導(dǎo)管，其中，每根導(dǎo)管的進氣孔和閉合端位于除了第一開口 16和第二開口 18及/或圍罩12的中心以外的一個或多個位置上。在烘干10的一些實施例中，一個或多個導(dǎo)管位于圍罩12的外表面上，使得從開口 36排放出的空氣通過圍罩12的外部表面中的多個開口(例如，孔、狹縫等)進入內(nèi)部38。對于本領(lǐng)域技術(shù)人員來說顯而易見的替換或額外的導(dǎo)管配置被認定為屬于該發(fā)明的范疇。
[0026]在烘干機10的有些實施例中，第一導(dǎo)管24和第二導(dǎo)管26中的一個或兩者是具有環(huán)形截面的圓形導(dǎo)管。在烘干機10的某些實施例中，一個或多個導(dǎo)管可能有呈卵形(或橢圓形)、正方形、長方形、三角形，或不同幾何圖形組合等的一個或多個橫截面。第一導(dǎo)管24和第二導(dǎo)管26被描述為沿著它們的縱向范圍具有通常均勻的橫截面，但不是所有情況下都如此。例如,在烘干機10的有些實施例中，將空氣排放至圍罩12的內(nèi)部38中的一個或多個導(dǎo)管包括一個或多個截面，其中，所述一個或多個截面的橫截面可能是均勻的，也可能是不均勻的，或它們的組合，例如，有的截面有第一橫截面，其他截面包括與第一橫截面不同的第二橫截面。在烘干機10的某些實施例中，一個或多個導(dǎo)管包括沿著其縱向范圍不斷變化的橫截面。
[0027]除前述情況外，第一導(dǎo)管22和第二導(dǎo)管24中的一個或兩者包括一個或多個流量控制系統(tǒng)，如氣流調(diào)節(jié)器，用于調(diào)節(jié)由此流過的空氣流量及/或用于調(diào)節(jié)通過開口 36排放的空氣流量。用于將空氣排放至內(nèi)部38及/或朝向運輸裝置14上的一個或多個部件排放空氣的其他配置對于本領(lǐng)域技術(shù)人員來說是顯而易見的。所有額外的、替換的排列與配置被認定為屬于該發(fā)明的范疇。
[0028]在烘干機10的一些實施例中，空氣是由送風(fēng)機42供給的，來自送風(fēng)機42的至少一部分空氣首先是由第一加熱器44和第二加熱器46在通過它們各自的進氣孔28和30分別進入流體連接的第一導(dǎo)管24和第二導(dǎo)管26之前進行加熱的。烘干機10被描述為有向第一導(dǎo)管24和第二導(dǎo)管26供給空氣的送風(fēng)機42，但是顯然的是，烘干機10的某些實施例包含與第一導(dǎo)管24和第二導(dǎo)管26中的每個的一個或多個進氣孔單獨地和個別地流體連通的一個或多個送風(fēng)機42。在這種實施例中，第一加熱器44和第二加熱器46分別對供給至第一導(dǎo)管24和第二導(dǎo)管26的空氣進行加熱。另外，盡管烘干機10被描述為包含用于對分別供給至第一導(dǎo)管24和第二導(dǎo)管26的空氣進行加熱的第一加熱器44和第二加熱器46，但是顯然的是，烘干機10的一些實施例包括一個用于在送風(fēng)機42劃分為兩個流動路徑之前對流出送風(fēng)機42的空氣進行加熱的加熱器，其中每個流動路徑向第一導(dǎo)管24和第二導(dǎo)管26傳遞加熱的空氣。在烘干機10的某些實施例中，供給至第一導(dǎo)管24和第二導(dǎo)管26的加熱的空氣是由多個加熱器來加熱的。對本領(lǐng)域技術(shù)人員而言顯而易見的對供應(yīng)至一個或多個導(dǎo)管的空氣進行加熱的額外的、替換的排列與配置被認定為屬于該發(fā)明的范疇。
[0029]正如前文所述，運輸裝置14上的一個或多個部件可包括所述部件內(nèi)和/或表面(例如，頂面和/或底面)上的一個或多個化合物。在烘干機10的一些實施例中，當(dāng)一個或多個部件被運送經(jīng)過圍罩12時，來自從加熱元件22及/或從開口 36中排放出的加熱的空氣的熱量被用來蒸發(fā)一個或多個化合物。已經(jīng)散布到圍罩12的內(nèi)部38中的被蒸發(fā)的化合物是用流體連通的排風(fēng)機52使其沿著路徑48通過圍罩12的抽氣口 50來從圍罩12中排出的。
[0030]雖然抽氣口 50被描述為位于烘干機10的頂面上與第一開口 16和第二開口 18距離大致相等的位置，但是顯然的是，可以出現(xiàn)一個或多個替換的或額外的配置。例如，在烘干機10的一些實施例中，除了位于頂面以外或可替換的位于頂面上，抽氣口 50還可位于圍罩12的一個或兩個側(cè)面上及/或底面上。額外的，或可替換的，抽氣口 50位于圍罩12范圍內(nèi)的任意位置上，包括靠近第一開口 16或第二開口 18。烘干機10的一些實施例包含不止一個用于在圍罩12范圍內(nèi)的一個或多個位置上將流體從內(nèi)部38排出的抽氣口 50。在烘干機10的某些實施例中，抽氣口 50限制了圍罩12。在烘干機10的某些實施例中，抽氣口50包括一個或多個流量控制系統(tǒng)，如氣流調(diào)節(jié)器等。此外，烘干機10的某些實施例包含了不止一個排風(fēng)機52。對于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言顯而易見的額外的、替換的排列與配置被認定為屬于該發(fā)明的范疇。
[0031]在烘干機10的某些實施例中，送風(fēng)機42和排風(fēng)機52以某種方式操作，從而使得圍罩12的內(nèi)部38的至少一部分維持具有至少部分低于周圍大氣壓的壓力。壓差引導(dǎo)來自烘干機10外部及/或圍罩12外部的環(huán)境的空氣，使所述空氣沿著流動路徑54通過第一開口 16和第二開口 18滲入內(nèi)部38。在烘干機10的一些實施例中，這種空氣滲入可以至少最小化，在有的實施例中為抑制，一個或多個蒸發(fā)的化合物從圍罩12滲出。為了至少最小化，和有的實施例中為抑制，蒸發(fā)的化合物的冷凝，并且為了促進一個或多個化合物的不間斷蒸發(fā)，內(nèi)部38的溫度被維持為至少等于或高于一個或多個化合物中的每個的飽和溫度。通過排風(fēng)機52從圍罩12中排出的流體(包括空氣與蒸發(fā)的化合物的混合物)被引導(dǎo)沿著流動路徑48通過排氣管56。
[0032]在一些烘干機10的實施例中，排氣管56包括位于其中的一個或多個加熱元件58及熱絕緣部件60。排氣管56的外部表面周圍的流體通道62至少一部分是由外殼64以與排氣管56的至少一部分間隔開的方式進行圍繞來限定的。加熱元件58可將從內(nèi)部38排出的流體加熱為至少等于或高于一個或多個蒸發(fā)的化合物中的每個的氧化溫度的溫度。在出口 66處沿著流動路徑68從排氣管56流出的加熱流體的流動可以引導(dǎo)來自烘干機10外部及/或圍罩12外部的環(huán)境中的空氣，使所述空氣沿著流動路徑70滲入流體通道62。流出排氣管56的加熱的流體及沿著流動路徑70滲入流體通道62的空氣的混合物在端口 72處沿著流動路徑74流出烘干機10。
[0033]圖7和圖8分別示出圓形導(dǎo)管102和矩形(正方形)導(dǎo)管202的局部詳細視圖。在下文中，除非另有說明，否則在描述其中的相似特點和部件時，圓形導(dǎo)管102及矩形導(dǎo)管202被統(tǒng)稱為“一個或多個導(dǎo)管”或簡稱“導(dǎo)管”。一個或多個導(dǎo)管，即圓形導(dǎo)管102和矩形導(dǎo)管202，被描述為包括延伸穿過各自的壁104/204的開口 36，用于在導(dǎo)管內(nèi)部與外部之間提供流體連通。來自一個或多個送風(fēng)機(如送風(fēng)機42)的空氣通過導(dǎo)管的進氣孔(如進氣孔28/30)進入每個導(dǎo)管，并通過開口 36被排放至圍罩12的內(nèi)部38中。在進入導(dǎo)管之前，空氣可由一個或多個加熱器(如第一加熱器44和第二加熱器46)加熱。如前述參考圖3所描述的，在烘干機10的一些實施例中，導(dǎo)管放置在運輸裝置14的近似中心位置的上方并經(jīng)過其縱向范圍。如前述參考圖3所描述的，在烘干機10的某些實施例中，開口 36被定向為朝向(或面向)運輸裝置14，從而從開口 36排放出的空氣可被引導(dǎo)朝向運輸裝置14上的一個或多個部件。
[0034]在一些實施例中，一個或多個導(dǎo)管的開口 36通常是在線108/208附近以蛇狀圖案106/206形成的環(huán)形或圓形的孔，從而每個開口 36從兩個最靠近的開口 36中的每一個都成α度角偏移。在包含一個或多個圓導(dǎo)管102的烘干機10的實施例中，開口 36是有環(huán)形橫截面的圓形孔。
[0035]在前文中開口 36被描述為通常是呈圓形或環(huán)形，但不是所有情況下都如此。例如，在一些實施例中，導(dǎo)管的開口 36(即導(dǎo)管24、26、102、202等)呈矩形、三角形、正方形、卵形、橢圓形、狹縫形等。在某些實施例中，開口 36是不同形狀的組合。而且，雖然所有開口36被示出和描述為具有通常相似的尺寸，但是烘干機10的一些實施例包括一個或多個導(dǎo)管，其中一些或所有開口 36的縱橫比相似或互不相同。例如，烘干機10的一些實施例包括導(dǎo)管，其中開口 36的縱橫比沿著導(dǎo)管的縱向范圍變化，例如，靠近進氣口的開口 36的直徑小于靠近閉合端的開口 36的直徑。在一些實施例中，開口 36通常垂直于導(dǎo)管的內(nèi)表面及/或外表面。在某些實施例中，開口 36通常不垂直于導(dǎo)管的內(nèi)表面及/或外表面。例如，開口 36被成形為相對于導(dǎo)管的內(nèi)表面及/或外表面成一個或多個不同的角度。
[0036]雖然圖3、圖7、圖8中的一個或多個導(dǎo)管只顯示了沿著線108/208從兩個相鄰的開口 36之間的線108/208偏移的一個開口 36，但不是所有情況下都如此。例如，在烘干機10的一些實施例中，導(dǎo)管具有沿著線108/208從兩個相鄰的開口之間的線108/208偏移的兩個或多個開口 36。在烘干機10的某些實施例中，一個或多個導(dǎo)管包括與圖3、圖7、圖8中所描述的蛇形圖案106/206不同的一個或多個開口圖案。例如，一些導(dǎo)管中的開口 36是梯形圖案。
[0037]通常，配置一個或多個導(dǎo)管及/或開口 36以便朝向或鄰近一個或多個部件排放空氣。開口 36可以放置在使空氣以至少部分重疊的方式被排放的位置上。這樣，在烘干機10的一些實施例案中，空氣被引導(dǎo)朝向的一個或多個部件的整個表面或主要部分的表面要經(jīng)受至少一部分已經(jīng)排放出的空氣。
[0038]在烘干機10的一些實施例中，相鄰的開口 36彼此之間有范圍在大約0°至30°的角偏移，即0° < α <30°。在烘干機10的一個典型的實施例中，開口 36相對于與其最靠近的兩個開口 36中的每一個的角位移約為20°，即α=20°。在烘干機10的某些實施例中，開口 36的直徑約為0.285英寸。在烘干機10的一些實施例中，開口 36之間的中心至中心(或中心間)的距離大約在0.0至6.0英寸。在烘干機10的一個典型的實施例中，中心間的距離約為3.0英寸。
[0039]除上文以外，或替換的，烘干機10的實施例包括一個或多個控制器、多個傳感器和用于操作烘干機10的系統(tǒng)和裝置，所述系統(tǒng)和裝置包括用于控制運輸裝置14、加熱元件22、一個或兩個風(fēng)機42和52、一個或兩個加熱器44和46、流量控制系統(tǒng)等的操作參數(shù)的協(xié)議。通常由控制器調(diào)節(jié)的這些操作參數(shù)包括以下多項中的一個或多個:開狀態(tài)及/或關(guān)狀態(tài)，運輸裝置14及風(fēng)機42、52的一個或多個速度，加熱元件22和加熱器44、46中的一個或多個的性能，氣流控制閥等。在烘干機10的一些實施例中，控制器調(diào)節(jié)加熱元件22和一個或兩個加熱器44和46的“開/關(guān)”狀態(tài)。烘干機10的某些實施例包括與控制器操作連通的一個或多個硅可控整流器(SCR)。與控制器操作連通的多個傳感器包括一個或多個溫度傳感器，化合物傳感器(如用于揮發(fā)性有機化合物(VOC)的傳感器)，一個或多個壓力傳感器，一個或多個流量傳感器等。這樣，控制器可通過將操作條件維持在預(yù)先確定的水平上來調(diào)節(jié)烘干機10的操作。在烘干機10的一些實施例中，控制器是比例控制器，或積分控制器，或?qū)?shù)控制器，或以上控制器的任意組合。
[0040]在操作過程中，一個或多個部件，如上面有金屬化膠的硅片(如太陽能電池)，放置在位于第一開口 16的運輸裝置14的頂面上，并被運送經(jīng)過圍罩12。當(dāng)一個或多個部件經(jīng)過圍罩12時，相對于運輸裝置14上下并排放置的加熱元件22，如紅外線加熱器，對這些部件進行加熱。與加熱元件22同時或可替換的，經(jīng)過加熱的空氣進入導(dǎo)管24和26，通過開口 36排放或流到內(nèi)部38，并加熱一個或多個部件。在加熱一個或多個部件時，由于膠在部件上烘干，一些化學(xué)制品，如V0C，會從金屬化膠中蒸發(fā)釋放出來。蒸發(fā)的化合物、通過開口36釋放的加熱的空氣和通過第一開口 16和第二開口 18滲入的空氣的混合物，是從內(nèi)部38通過抽氣口 50排出來的。從內(nèi)部38排出來的混合物由排氣管56中的加熱元件58加熱為至少等于或高于一個或多個蒸發(fā)的化合物中的每一個的氧化溫度的溫度。在烘干機10的一個實施例中，控制器通過將操作條件維持在預(yù)先確定的水平上來調(diào)節(jié)一個或多個部件的烘干操作和過程。
[0041]考慮到前文對烘干機10各種實施例的描述，其他設(shè)計、排列、配置、附加物、修改等對于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言是顯而易見的。例如，雖然所描述的實施例涉及到特定的特征及/或功能，本發(fā)明被認為還包括具有與前面描述的特征及/或功能不同的特征及/或功能的組合的實施例。本發(fā)明由附加的權(quán)利要求及其一切變體和等價物定義，所有額外的和替換的實施例被認為屬于該發(fā)明的范疇。
【權(quán)利要求】
1.一種烘干機，包括 圍罩，包含第一開口和第二開口； 運輸裝置，運送一個或多個部件使其經(jīng)過在所述第一和第二開口之間的所述圍罩； 一個或多個加熱元件，位于所述圍罩靠近所述第一開口的至少一部分中； 第一導(dǎo)管和第二導(dǎo)管，位于所述圍罩中，所述第一導(dǎo)管和第二導(dǎo)管的每個都包含閉合端和進氣孔； 多個開口，位于所述第一導(dǎo)管和第二導(dǎo)管的每個中，所述多個開口被配置為朝向所述一個或多個部件排放空氣； 送風(fēng)機，與所述第一導(dǎo)管和第二導(dǎo)管的所述進氣孔流體連通； 第一加熱器和第二加熱器，用于對由所述送風(fēng)機向所述第一導(dǎo)管和第二導(dǎo)管供給的空氣分別進行加熱； 排氣管，與所述圍罩的內(nèi)部流體連通，所述排氣管包括用于將流體從所述圍罩排出的排風(fēng)機。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的烘干機，其中所述多個開口被配置為用于以至少部分重疊的方式將來自相鄰開口的空氣排放到所述運輸裝置上的所述一個或多個部件的表面上。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的烘干機，其中(a)所述一個或多個加熱元件、(b)所述送風(fēng)機、(C)所述第一加熱器和第二加熱器和(d)所述排風(fēng)機協(xié)同操作以將所述圍罩的所述內(nèi)部的溫度維持為至少等于或高于所述一個或多個化合物中的每個的飽和溫度。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的烘干機，包含用來將所述排出的流體加熱到溫度至少等于或高于所述一個或多個化合物中的每一個的氧化溫度的第三加熱器。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的烘干機，包括外殼，所述外殼在所述排氣管周圍并且至少局部地限定所述外殼和排氣管之間的通道，其中， 所述排出的流體的流動引導(dǎo)空氣從所述圍罩的外部周圍流動通過所述通道；并且 被排放的空氣流包括所述排出的流體與通過所述通道的空氣的混合物。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的烘干機，其中所述送風(fēng)機和排風(fēng)機協(xié)同操作以在所述圍罩中產(chǎn)生負壓，從而引導(dǎo)空氣滲透通過所述第一開口和第二開口。
7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的烘干機，其中，所述一個或多個加熱元件中的至少一個位于所述運輸裝置上方并且被配置為用于從上面對所述一個或多個部件加熱。
8.根據(jù)權(quán)利要求3所述的烘干機，其中，所述一個或多個加熱元件中的至少一個位于所述運輸裝置下方并被配置為用于從下面對所述一個或多個部件加熱。
9.根據(jù)權(quán)利要求2所述的烘干機，其中，所述第一導(dǎo)管和第二導(dǎo)管沿著所述運輸裝置的大體中心縱向地延伸。
10.根據(jù)權(quán)利要求2所述的烘干機，其中，所述多個開口呈蛇狀圖案。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的烘干機，其中所述第一導(dǎo)管和第二導(dǎo)管中的每一個的所述閉合端分別靠近第一開口和第二開口。
12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的烘干機，其中所述第一導(dǎo)管和第二導(dǎo)管中的每一個的所述進氣孔位于到第一開口和第二開口的距離大體相等的位置上。
13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的烘干機，其中所述排出的流體是從到所述第一開口和第二開口的距離大體相等的位置上排出的。
14.根據(jù)權(quán)利要求1所述的烘干機，包含一個或多個與控制器操作連通的傳感器，所述控制器被配置為調(diào)節(jié)以下多項中的一個或多個: 所述圍罩中的壓力； 所述圍罩中的溫度； 所述送風(fēng)機的操作； 供給至所述第一導(dǎo)管和第二導(dǎo)管的空氣的流速； 從所述多個開口排放的空氣的流速； 所述第一加熱器和第二加熱器的操作； 供給至所述第一導(dǎo)管和第二導(dǎo)管的所述空氣的溫度； 從所述多個開口排放的空氣的溫度； 所述排氣管的操作； 所述排出的流體的流速； 排出所述排氣管的所述排出的流體的溫度； 一個或多個化合物中的每個的濃度級； 所述一個或多個加熱元件；以及 所述運輸裝置的速度。
15.一種烘干方法，包括: 在圍罩的第一開口和第二開口之間運送一個或多個部件； 用一個或多個加熱元件對所述一個或多個部件加熱，所述加熱元件位于所述圍罩靠近第一開口的至少一部分中； 將加熱的空氣通過所述圍罩內(nèi)第一導(dǎo)管和第二導(dǎo)管中的多個開口排放到所述一個或多個部件的表面上，所述第一導(dǎo)管和第二導(dǎo)管均包含用于所述加熱的空氣的進氣孔以及閉合端； 蒸發(fā)來自所述一個或多個部件的一個或多個化合物中的每一個；以及 將來自所述圍罩的流體排出到排氣管。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的方法，包括以至少部分重疊的方式將來自所述多個開口的相鄰開口的加熱的空氣排放到所述運輸裝置上的所述一個或多個部件的頂面上。
17.根據(jù)權(quán)利要求15所述的方法，包括將所述圍罩的所述內(nèi)部的溫度維持為至少等于或高于所述一個或多個蒸發(fā)的化合物中的每一個的飽和溫度。
18.根據(jù)權(quán)利要求15所述的方法，包括在所述圍罩的內(nèi)部維持負壓，以便引導(dǎo)空氣滲透通過所述第一開口和第二開口。
19.根據(jù)權(quán)利要求15所述的方法，包括氧化所述排出的流體中的所述一個或多個蒸發(fā)的化合物中的每一個。
20.根據(jù)權(quán)利要求15所述的方法，包括引導(dǎo)空氣沿著所述圍罩及/或所述排氣管的其中之一或兩者的外部流動。
【文檔編號】F26B15/18GK103547874SQ201280024616
【公開日】2014年1月29日 申請日期:2012年4月13日 優(yōu)先權(quán)日:2011年4月15日
【發(fā)明者】漢斯.L.米拉格羅斯, 丹尼爾.M.魯夫, 理査德.L.斯特伯拉 申請人:伊利諾斯工具制品有限公司