專利名稱：一種節(jié)能型控溫?zé)崤_(tái)及其恒溫控制方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種節(jié)能型控溫?zé)崤_(tái)及其恒溫控制方法，屬于節(jié)能領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
在微電子器件和光電子器件制造過(guò)程中，勻膠、光刻工藝是非常關(guān)鍵的環(huán)節(jié)，光刻膠通過(guò)一定的溫度烘烤而進(jìn)行堅(jiān)膜；在使用乙醇或丙酮煮沸清洗晶片，磨片前晶片與磨頭之間的熔蠟粘貼，化工材料的低溫硫化處理等都需要在干凈的穩(wěn)定低溫環(huán)境下完成。傳統(tǒng)的加熱烘烤使用普通低溫烘箱、普通電熱板或者電爐盤，他們都存在嚴(yán)重的缺陷，有的工藝效果差、有的使用不方便、有的極大浪費(fèi)能源:(I)普通低溫烘箱體積和內(nèi)部容積太大，升溫速度慢；空間大，消耗電能多而且空間內(nèi)的溫度均勻性差，頻繁開啟/關(guān)閉烘箱門，導(dǎo)致箱內(nèi)的溫度波動(dòng)很大，非常不利于晶片光刻工藝堅(jiān)膜的穩(wěn)定；(2)普通電熱板及電爐盤存在明火,使用時(shí)不安全，由于其表面裸露的緣故，在加熱時(shí)大量的熱量向四周散發(fā)，造成很大的能源浪費(fèi)，溫度無(wú)法嚴(yán)格控制，也不穩(wěn)定。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)存在的不足，提供一種實(shí)用化的長(zhǎng)效、靈活方便、性能優(yōu)良并且節(jié)能的小型自動(dòng)控溫?zé)崤_(tái)及其恒溫控制方法，解決了普通烘箱升溫慢、普通電熱板溫度控制不穩(wěn)定的問(wèn)題。本發(fā)明解決上述技術(shù)問(wèn)題的技術(shù)方案如下:一種節(jié)能型控溫?zé)崤_(tái)，包括自上而下依次連接的保溫盒蓋、加熱腔體及電控操作盒，所述加熱腔體內(nèi)部設(shè)有一個(gè)加熱器及一個(gè)均熱板，所述加熱器的上表面與所述均熱板的下表面緊密連接，所述加熱器的下表面的空腔內(nèi)填充有隔熱保溫材料，所述電控操作盒上設(shè)有自動(dòng)閉環(huán)控制調(diào)節(jié)器、加熱開關(guān)、電源開關(guān)及保險(xiǎn)器。本發(fā)明的有益效果是:本發(fā)明升溫快、溫度調(diào)節(jié)快，控制精度高，溫度均勻性好，大大提高了熱效能，減少了熱損失；使用方便可靠而且范圍廣。在上述技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，本發(fā)明還可以做如下改進(jìn)。進(jìn)一步的，所述電控操作盒的底部還設(shè)有一個(gè)底護(hù)板，所述底護(hù)板與所述電控操作盒為螺裝連接，所述底護(hù)板的底面四周設(shè)有四個(gè)橡膠支腳。采用上述進(jìn)一步方案的有益效果是，能夠保證節(jié)能型控溫?zé)崤_(tái)穩(wěn)固在所需位鉻，防止因特殊情況下，節(jié)能型控溫?zé)崤_(tái)的移位。 進(jìn)一步的，所述加熱腔體與所述電控操作盒之間設(shè)有用于隔熱的聚四氟乙烯板。采用上述進(jìn)一步方案的有益效果是，能夠保證加熱腔體與電控操作盒之間有較大的溫度梯度，保證了電控操作盒內(nèi)部電子元器件的使用環(huán)境溫度不超過(guò)允許的溫度界限。進(jìn)一步的，所述保溫盒蓋、加熱腔體及電控操作盒的外殼為不銹鋼材質(zhì)。采用上述進(jìn)一步方案的有益效果是，不銹鋼材質(zhì)具有一定的防腐、防銹能力，可以放鉻在半導(dǎo)體工藝廠房?jī)?nèi)的任何位鉻。進(jìn)一步的，所述均熱板的上表面與所述加熱腔體采用無(wú)毒的非金屬隔熱板條連接，所述非金屬隔熱板條的一邊用支架支撐，另一邊與均熱板螺裝連接。采用上述進(jìn)一步方案的有益效果是，能夠防止均熱板上的熱量傳至加熱腔體表面，從而有效的減少熱損失，而且采用無(wú)毒的非金屬板條能夠保證在受熱情況下無(wú)有毒物質(zhì)散發(fā)出來(lái)。進(jìn)一步的，所述均熱板為方盤凹形均熱板。采用上述進(jìn)一步方案的有益效果是，凹形的均熱板能夠保證均熱板與保溫盒蓋內(nèi)側(cè)面之間形成一個(gè)大面積、小高度的恒溫腔，大大提高了熱效能。進(jìn)一步的，所述保溫盒蓋上設(shè)有一個(gè)手柄。采用上述進(jìn)一步方案的有益效果是，方便保溫盒蓋的開啟與閉合。一種用節(jié)能型控溫?zé)崤_(tái)實(shí)現(xiàn)恒溫控制方法，其方法步驟如下:(I)打開節(jié)能型控溫?zé)崤_(tái)電源開關(guān)，設(shè)定需要升至的溫度；(2)打開加熱開關(guān)，當(dāng)溫度升至設(shè)定溫度值的1/3-1/2時(shí)，關(guān)閉加熱開關(guān)，臨時(shí)停止主回路加熱，此時(shí)自動(dòng)閉環(huán)控制調(diào)節(jié)器仍然顯示升溫狀態(tài)；(3)利用熱慣性及加熱器的余熱維持繼續(xù)升溫，由于保溫性能好，能在極短的時(shí)間內(nèi)使恒溫腔內(nèi)的溫度到達(dá)設(shè)定值，當(dāng)溫度達(dá)到設(shè)定溫度值后，自動(dòng)閉環(huán)控制調(diào)節(jié)器開始恒溫調(diào)節(jié)工作，節(jié)能型控溫?zé)崤_(tái)便很快進(jìn)入了自動(dòng)控溫狀態(tài)。本發(fā)明方法的有益效果是:避免了過(guò)度的溫度過(guò)沖現(xiàn)象，縮短了進(jìn)入恒溫的調(diào)節(jié)時(shí)間，有效的節(jié)省了電能。


圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。其中，1、保溫盒蓋；2、加熱腔體；3、電控操作盒；3_1、自動(dòng)閉環(huán)控制調(diào)節(jié)器；3_2、加熱開關(guān)；3-3、保險(xiǎn)器；3-4、電源開關(guān)；4、加熱器；5、均熱板；6、隔熱保溫材料；7、底護(hù)板；
8、橡膠支腳；9、聚四氟乙烯板；10、手柄；11、非金屬隔熱板條；12、支架。
具體實(shí)施例方式以下結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的原理和特征進(jìn)行描述，所舉實(shí)例只用于解釋本發(fā)明，并非用于限定本發(fā)明的范圍。

一種節(jié)能型控溫?zé)崤_(tái)，包括自上而下依次連接的保溫盒蓋1、加熱腔體2及電控操作盒3，所述加熱腔體2內(nèi)部設(shè)有一個(gè)加熱器4及一個(gè)均熱板5，所述加熱器4的上表面與所述均熱板5的下表面緊密連接，所述加熱器4的下表面的空腔內(nèi)填充有隔熱保溫材料6，所述電控操作盒3上設(shè)有自動(dòng)閉環(huán)控制調(diào)節(jié)器3-1、加熱開關(guān)3-2、保險(xiǎn)器3-3及電源開關(guān)3_4。所述電控操作盒3的底部還設(shè)有一個(gè)底護(hù)板7，所述底護(hù)板7與所述電控操作盒3為螺裝連接，所述底護(hù)板7的底面四周設(shè)有四個(gè)橡膠支腳8。所述加熱腔體2與所述電控操作盒3之間設(shè)有用于隔熱的聚四氟乙烯板9。所述保溫盒蓋1、加熱腔體2及電控操作盒3的外殼均為不銹鋼材質(zhì)。
所述均熱板5的上表面與所述加熱腔體2采用無(wú)毒的非金屬隔熱板條11連接，所述非金屬隔熱板條11的一邊用支架12支撐，另一邊與均熱板5螺裝連接。所述均熱板5為方盤凹形均熱板。所述保溫盒蓋I上設(shè)有一個(gè)手柄10。一種用節(jié)能型控溫?zé)崤_(tái)實(shí)現(xiàn)恒溫控制方法，其方法步驟如下:(I)打開節(jié)能型控溫?zé)崤_(tái)電源開關(guān)3-3，設(shè)定需要升至的溫度；(2)打開加熱開關(guān)3-2，當(dāng)溫度升至設(shè)定溫度值的1/3-1/2時(shí)，關(guān)閉加熱開關(guān)3_2，臨時(shí)停止主回路加熱，此時(shí)自動(dòng)閉環(huán)控制調(diào)節(jié)器仍然顯示升溫狀態(tài)；(3)利用熱慣性及加熱器4的余熱維持繼續(xù)升溫，極短的時(shí)間內(nèi)就能達(dá)到設(shè)定溫度值，此時(shí)重新開啟加熱開關(guān)3-2，自動(dòng)閉環(huán)控制調(diào)節(jié)器3-1開始恒溫調(diào)節(jié)工作，節(jié)能型控溫?zé)崤_(tái)很快就進(jìn)入自動(dòng)控溫狀態(tài)。以上所述僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例，并不用以限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等 同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種節(jié)能型控溫?zé)崤_(tái)，包括自上而下依次連接的保溫盒蓋、加熱腔體及電控操作盒，其特征在于所述加熱腔體內(nèi)部設(shè)有一個(gè)加熱器及一個(gè)均熱板，所述加熱器的上表面與所述均熱板的下表面緊密連接，所述加熱器的下表面的空腔內(nèi)填充有隔熱保溫材料，所述電控操作盒上設(shè)有自動(dòng)閉環(huán)控制調(diào)節(jié)器、加熱開關(guān)、電源開關(guān)及保險(xiǎn)器。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種節(jié)能型控溫?zé)崤_(tái)，其特征在于所述電控操作盒的底部還設(shè)有一個(gè)底護(hù)板，所述底護(hù)板與所述電控操作盒為螺裝連接，所述底護(hù)板的底面四周設(shè)有四個(gè)橡膠支腳。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種節(jié)能型控溫?zé)崤_(tái)，其特征在于所述加熱腔體與所述電控操作盒之間設(shè)有用于隔熱的聚四氟乙烯板。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種節(jié)能型控溫?zé)崤_(tái)，其特征在于所述保溫盒蓋、加熱腔體及電控操作盒的外殼為不銹鋼材質(zhì)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種節(jié)能型控溫?zé)崤_(tái)，其特征在于所述均熱板的上表面與所述加熱腔體采用無(wú)毒的非金屬隔熱板條連接，所述非金屬隔熱板條的一邊用支架支撐，另一邊與均熱板螺裝連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種節(jié)能型控溫?zé)崤_(tái)，其特征在于所述均熱板為方盤凹形均熱板。
7.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種節(jié)能型控溫?zé)崤_(tái)，其特征在于所述保溫盒蓋上設(shè)有一個(gè)手柄。
8.一種用節(jié)能型控溫?zé)崤_(tái)實(shí)現(xiàn)恒溫控制方法，其特征在于其方法步驟如下 (O打開節(jié)能型控溫?zé)崤_(tái)電源開關(guān)，設(shè)定需要升至的溫度； (2)打開加熱開關(guān)，當(dāng)溫度升至設(shè)定溫度值的1/3-1/2時(shí)，關(guān)閉加熱開關(guān)，臨時(shí)停止主回路加熱，此時(shí)自動(dòng)閉環(huán)控制調(diào)節(jié)器仍然顯示升溫狀態(tài)； (3)利用熱慣性及加熱器的余熱維持繼續(xù)升溫，當(dāng)溫度達(dá)到設(shè)定溫度值時(shí)重新開啟加熱開關(guān)，自動(dòng)閉環(huán)控制調(diào)節(jié)器開始恒溫調(diào)節(jié)，節(jié)能型控溫?zé)崤_(tái)進(jìn)入自動(dòng)控溫狀態(tài)。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種節(jié)能型控溫?zé)崤_(tái)及其恒溫控制方法,解決了普通控溫箱升溫慢、普通電熱板溫度控制不穩(wěn)定的問(wèn)題，包括自上而下依次連接的保溫盒蓋、加熱腔體及電控操作盒，所述加熱腔體內(nèi)部設(shè)有一個(gè)加熱器及一個(gè)均熱板，所述加熱器的上表面與所述均熱板的下表面緊密連接，所述加熱器的下表面的空腔內(nèi)填充有隔熱保溫材料，所述電控操作盒上設(shè)有自動(dòng)閉環(huán)控制調(diào)節(jié)器、加熱開關(guān)、電源開關(guān)及保險(xiǎn)器。
文檔編號(hào)F24H3/00GK103256708SQ201310177998
公開日2013年8月21日 申請(qǐng)日期2013年5月15日 優(yōu)先權(quán)日2013年5月15日
發(fā)明者王學(xué)忠 申請(qǐng)人:北京杰雅利電子科技有限公司