本申請(qǐng)涉及cvd窯爐設(shè)備領(lǐng)域，尤其涉及一種cvd窯爐出料口支架。

背景技術(shù)：

1、cvd(chemical?vapor?deposition)窯爐是一種用于在固體表面上沉積薄膜的過(guò)程中的設(shè)備。在cvd過(guò)程中，通過(guò)將氣態(tài)前體分子輸送到反應(yīng)室中，在固體表面上沉積出固體薄膜。這些前體分子在高溫條件下分解，產(chǎn)生沉積物并釋放副產(chǎn)物氣體。cvd窯爐在許多行業(yè)中被廣泛應(yīng)用，包括半導(dǎo)體制造、涂層技術(shù)和納米材料制備等領(lǐng)域。這些窯爐通常需要嚴(yán)格的溫度控制和氣體流動(dòng)控制，以確保沉積出的薄膜具有所需的性質(zhì)。

2、現(xiàn)有cvd窯爐出料口密封裝置為圓柱實(shí)心鋼材，重量在50kg以上，在下料時(shí)需工作人員雙人在扶梯上進(jìn)行拆卸、安裝。在拆卸、安裝過(guò)程中，一名工作人員需環(huán)抱圓柱密封裝置進(jìn)行支撐，另一名工作人員進(jìn)行螺栓的拆卸與安裝，在這個(gè)過(guò)程中存在較大的安全隱患。

3、因此，如何實(shí)現(xiàn)出料口密封裝置的穩(wěn)定及安全安裝，是目前亟需解決的一項(xiàng)重要技術(shù)問(wèn)題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、為了解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的問(wèn)題，本實(shí)用新型提供了一種cvd窯爐出料口支架，通過(guò)設(shè)置有支架組件和支撐件，可以對(duì)出料口密封裝置進(jìn)行穩(wěn)定及安全地支撐，便于出料口密封裝置對(duì)cvd窯爐出料口進(jìn)行密封。

2、本實(shí)用新型解決上述技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案如下：

3、本申請(qǐng)?zhí)峁┮环Ncvd窯爐出料口支架，用于對(duì)其cvd窯爐出料口密封裝置進(jìn)行支撐，包括：

4、支架底座，所述支架底座上設(shè)置有定位座；

5、支架組件，所述支架組件通過(guò)所述定位座安裝在所述支架底座上，所述支架組件包括有支撐件，所述支撐件用于支撐出料口密封裝置。

6、可選的，在本申請(qǐng)的一些實(shí)施例中，所述支架組件還包括支撐桿，所述支撐桿一端通過(guò)所述定位座安裝在所述支架底座上，所述支撐桿的另一端安裝有升降裝置，所述升降裝置與所述支撐桿活動(dòng)連接使得所述升降裝置在所述支撐桿上進(jìn)行升降，所述支撐件安裝在所述升降裝置上使得所述支撐件在所述支撐桿上進(jìn)行移動(dòng)。

7、可選的，在本申請(qǐng)的一些實(shí)施例中，所述升降裝置包括螺紋桿，所述支撐桿上對(duì)應(yīng)所述螺紋桿的位置開(kāi)設(shè)有第一螺紋孔，所述螺紋桿與所述第一螺紋孔螺紋連接使得所述螺紋桿與所述支撐桿進(jìn)行連接。

8、可選的，在本申請(qǐng)的一些實(shí)施例中，所述支撐件包括：

9、固定座，所述固定座上對(duì)應(yīng)所述螺紋桿的位置開(kāi)設(shè)有第二螺紋孔，所述螺紋桿上遠(yuǎn)離所述第一螺紋孔的一端套設(shè)在所述第二螺紋孔內(nèi)；

10、所述固定座上設(shè)置有半圓形支撐環(huán)，所述半圓形支撐環(huán)用于支撐所述出料口密封裝置。

11、可選的，在本申請(qǐng)的一些實(shí)施例中，所述半圓形支撐環(huán)上固定有固定件，所述出料口密封裝置通過(guò)所述固定件與所述半圓形支撐環(huán)固定。

12、可選的，在本申請(qǐng)的一些實(shí)施例中，所述支架組件設(shè)置有多個(gè)，多個(gè)所述支架組件在所述支架底座上線性排列。

13、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型中的有益效果為：

14、本實(shí)用新型通過(guò)設(shè)置有支撐桿、螺紋桿以及支撐件的相互配合可以將出料口密封裝置進(jìn)行支撐，具體為該支撐件設(shè)置有半圓形支撐環(huán)，在將出料口密封裝置裝配在出料口上時(shí)，支撐件通過(guò)螺紋桿的轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)節(jié)，使得螺紋桿推動(dòng)其支撐件對(duì)出料口密封裝置進(jìn)行支撐，防止出料口密封裝置傾斜造成的出料口密封不到位，其中，螺紋桿的調(diào)節(jié)可以將支撐件移動(dòng)到需要支撐的位置，避免出料口密封裝置安裝時(shí)出現(xiàn)意外情況，同時(shí)也方便出料口密封裝置的穩(wěn)定密封安裝。

技術(shù)特征：

1.一種cvd窯爐出料口支架，用于對(duì)其cvd窯爐出料口密封裝置進(jìn)行支撐，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的cvd窯爐出料口支架，其特征在于，所述支架組件還包括支撐桿，所述支撐桿一端通過(guò)所述定位座安裝在所述支架底座上，所述支撐桿的另一端安裝有升降裝置，所述升降裝置與所述支撐桿活動(dòng)連接使得所述升降裝置在所述支撐桿上進(jìn)行升降，所述支撐件安裝在所述升降裝置上使得所述支撐件在所述支撐桿上進(jìn)行移動(dòng)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的cvd窯爐出料口支架，其特征在于，所述升降裝置包括螺紋桿，所述支撐桿上對(duì)應(yīng)所述螺紋桿的位置開(kāi)設(shè)有第一螺紋孔，所述螺紋桿與所述第一螺紋孔螺紋連接使得所述螺紋桿與所述支撐桿進(jìn)行連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的cvd窯爐出料口支架，其特征在于，所述支撐件包括：

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的cvd窯爐出料口支架，其特征在于，所述半圓形支撐環(huán)上固定有固定件，所述出料口密封裝置通過(guò)所述固定件與所述半圓形支撐環(huán)固定。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的cvd窯爐出料口支架，其特征在于，所述支架組件設(shè)置有多個(gè)，多個(gè)所述支架組件在所述支架底座上線性排列。

技術(shù)總結(jié)
本申請(qǐng)實(shí)施例公開(kāi)了一種CVD窯爐出料口支架，涉及CVD窯爐設(shè)備領(lǐng)域，用于對(duì)其CVD窯爐出料口密封裝置進(jìn)行支撐，包括支架底座以及支架組件，支架底座上設(shè)置有定位座；支架組件通過(guò)定位座安裝在支架底座上，支架組件包括有支撐件，支撐件用于支撐出料口密封裝置，通過(guò)設(shè)置有支架組件和支撐件，可以對(duì)出料口密封裝置進(jìn)行穩(wěn)定及安全地支撐，便于出料口密封裝置對(duì)CVD窯爐出料口進(jìn)行密封。

技術(shù)研發(fā)人員：孫山山,李平,李勇,鐘海波
受保護(hù)的技術(shù)使用者：安慶帝伯粉末冶金有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240428
技術(shù)公布日：2024/12/19