一種節(jié)能潔凈車間系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種潔凈車間系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體、電子廠等工業(yè)或試驗室中,一般將產(chǎn)品生產(chǎn)或試驗設(shè)備設(shè)置于潔凈車間內(nèi),以使產(chǎn)品或試驗結(jié)果不受空氣中雜質(zhì)或灰塵的影響。因此,潔凈車間內(nèi)部環(huán)境必須進行嚴格的控制,例如溫度、氧氣含量、濕度等條件必須維持在一定的范圍內(nèi)。
[0003]但現(xiàn)有的潔凈車間系統(tǒng)一般包括獨立的進風(fēng)系統(tǒng)、出風(fēng)系統(tǒng),當室外溫度與潔凈車間內(nèi)溫差較大時,進風(fēng)系統(tǒng)需要較高的能量才能將室外的新風(fēng)變成室內(nèi)需求溫度的風(fēng),而出風(fēng)系統(tǒng)排出的風(fēng)與室內(nèi)溫度相近,直接排出造成了較大的能量浪費。
[0004]一些大型公司的機房內(nèi)壓縮空氣系統(tǒng)(Compressed Dry Air,CDA系統(tǒng))在運行過程中產(chǎn)生大量的熱能,這些熱能的積聚會降低CDA系統(tǒng)的性能,現(xiàn)有的CDA系統(tǒng)的冷卻為單獨的冷卻系統(tǒng),CDA系統(tǒng)的熱量沒有被有效利用,造成能量的利用率不高,設(shè)備的性能系數(shù)(Coefficient of Performance, COP)低。
[0005]一般使用空調(diào)箱(Air Handling Unit,AHU)進行溫度調(diào)節(jié),AHU在運行過程中會產(chǎn)生一些溫度較低的冷卻水,現(xiàn)有技術(shù)的這些冷卻水直接排掉,能量利用率較低,設(shè)備的性能系數(shù)。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0006]本實用新型為了解決現(xiàn)有技術(shù)中的不足而提供一種節(jié)能潔凈車間系統(tǒng),將進風(fēng)系統(tǒng)、出風(fēng)系統(tǒng)及回風(fēng)系統(tǒng)進行優(yōu)化,最大限度的提高能源利用率,同時與廠區(qū)內(nèi)的其他大型機械設(shè)備聯(lián)用,將各機械設(shè)備產(chǎn)生的能量進行優(yōu)化高效利用。
[0007]為達到上述目的,本實用新型采用的技術(shù)方案為:
[0008]一種節(jié)能潔凈車間系統(tǒng),包括潔凈車間,所述的潔凈車間設(shè)有進風(fēng)系統(tǒng)、回風(fēng)系統(tǒng)、出風(fēng)系統(tǒng),室外新風(fēng)通過進風(fēng)系統(tǒng)進入潔凈車間,部分室內(nèi)風(fēng)經(jīng)回風(fēng)系統(tǒng)重新回到潔凈車間,部分室內(nèi)風(fēng)經(jīng)出風(fēng)系統(tǒng)排出,所述的進風(fēng)系統(tǒng)包括依次連接的空氣凈化設(shè)備、氧氣調(diào)節(jié)裝置、共混室、AHU、熱管換熱系統(tǒng),所述的回風(fēng)系統(tǒng)與共混室連接,室外新風(fēng)和室內(nèi)回風(fēng)在共混室內(nèi)混合;所述的進風(fēng)系統(tǒng)與出風(fēng)系統(tǒng)間通過轉(zhuǎn)輪式熱交換器連接,由于出風(fēng)系統(tǒng)內(nèi)的風(fēng)與室內(nèi)溫度相近,而進風(fēng)系統(tǒng)內(nèi)的新風(fēng)與室內(nèi)溫度差距較大,讓排出的風(fēng)與進風(fēng)系統(tǒng)內(nèi)的新風(fēng)通過轉(zhuǎn)輪式熱交換器進行熱量交換,最大限度的利用出風(fēng)系統(tǒng)的能量,使進風(fēng)系統(tǒng)內(nèi)的新風(fēng)的溫度進一步接近室內(nèi)溫度。
[0009]作為所述的節(jié)能潔凈車間系統(tǒng)的一種優(yōu)選方案,所述的AHU與冷卻塔連接后聯(lián)合使用,AHU產(chǎn)生的冷卻水為冷卻塔進行降溫,進一步提高系統(tǒng)的能源利用率。
[0010]作為所述的節(jié)能潔凈車間系統(tǒng)的一種優(yōu)選方案,所述的熱管換熱系統(tǒng)與廠區(qū)內(nèi)的CDA系統(tǒng)聯(lián)用進行熱交換,用廠區(qū)內(nèi)的CDA系統(tǒng)產(chǎn)生的熱量為熱管換熱系統(tǒng)提供熱源,同時熱交換系統(tǒng)內(nèi)的新風(fēng)為CDA系統(tǒng)進行降溫,提高CDA系統(tǒng)的COP值。
【附圖說明】
[0011]圖1是本實用新型提供的節(jié)能潔凈車間系統(tǒng)連接關(guān)系示意圖。
[0012]其中:1、潔凈車間10、進風(fēng)系統(tǒng)101、空氣凈化設(shè)備102、氧氣調(diào)節(jié)裝置103、共混室104、AHU 105、熱管換熱系統(tǒng)20、回風(fēng)系統(tǒng)30、出風(fēng)系統(tǒng)40、轉(zhuǎn)輪式熱交換器50、冷卻塔60、CDA系統(tǒng)
【具體實施方式】
[0013]下面結(jié)合附圖和【具體實施方式】對本實用新型作進一步詳細說明。
[0014]實施例1
[0015]如圖1所示,一種節(jié)能潔凈車間系統(tǒng),包括潔凈車間1,潔凈車間I設(shè)有進風(fēng)系統(tǒng)10、回風(fēng)系統(tǒng)20、出風(fēng)系統(tǒng)30,進風(fēng)系統(tǒng)10包括依次連接的空氣凈化設(shè)備101、氧氣調(diào)節(jié)裝置102、共混室103、AHU104、熱管換熱系統(tǒng)105,所述的回風(fēng)系統(tǒng)20與共混室103連接,室外新風(fēng)和室內(nèi)回風(fēng)在共混室內(nèi)混合;進風(fēng)系統(tǒng)10與出風(fēng)系統(tǒng)30間通過轉(zhuǎn)輪式熱交換器40連接,最大限度的利用出風(fēng)系統(tǒng)的能量,使進風(fēng)系統(tǒng)內(nèi)的新風(fēng)的溫度進一步接近室內(nèi)溫度。AHU104與冷卻塔50連接后聯(lián)合使用,AHU產(chǎn)生的冷卻水為冷卻塔進行降溫,進一步提高系統(tǒng)的能源利用率,熱管換熱系統(tǒng)105與廠區(qū)內(nèi)的CDA系統(tǒng)60聯(lián)用進行熱交換,用廠區(qū)內(nèi)的CDA系統(tǒng)60產(chǎn)生的熱量為熱管換熱系統(tǒng)105提供熱源,同時熱交換系統(tǒng)內(nèi)的新風(fēng)為CDA系統(tǒng)進行降溫,提高CDA系統(tǒng)的COP值。
[0016]室外新風(fēng)經(jīng)空氣凈化設(shè)備進行凈化,使室外新風(fēng)達到潔凈車間的空氣潔凈度,然后經(jīng)氧氣調(diào)節(jié)裝置,根據(jù)潔凈車間氧氣設(shè)定量調(diào)節(jié)新風(fēng)中氧氣含量以符合標準;該新風(fēng)與出風(fēng)系統(tǒng)的出風(fēng)通過轉(zhuǎn)輪式熱交換器進行熱交換,出風(fēng)經(jīng)熱交換后排出室外;經(jīng)過熱交換后的新風(fēng)與回風(fēng)系統(tǒng)中的回風(fēng)在共混室共混后經(jīng)AHU、熱管換熱系統(tǒng)調(diào)節(jié)溫度后通入潔凈車間,用廠區(qū)內(nèi)的CDA系統(tǒng)產(chǎn)生的熱量為熱管換熱系統(tǒng)提供熱源,同時熱交換系統(tǒng)內(nèi)的新風(fēng)為CDA系統(tǒng)進行降溫,提高CDA系統(tǒng)的COP值。AHU與冷卻塔連接后聯(lián)合使用,AHU產(chǎn)生的冷卻水為冷卻塔進行降溫,進一步提高系統(tǒng)的能源利用率。
[0017]雖然說明書中對本實用新型的實施方式進行了說明,但這些實施方式只是作為提示,不應(yīng)限定本實用新型的保護范圍。在不脫離本實用新型宗旨的范圍內(nèi)進行各種省略、置換和變更均應(yīng)包含在本實用新型的保護范圍內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種節(jié)能潔凈車間系統(tǒng),包括潔凈車間,其特征在于:所述的潔凈車間設(shè)有進風(fēng)系統(tǒng)、回風(fēng)系統(tǒng)、出風(fēng)系統(tǒng),室外新風(fēng)通過進風(fēng)系統(tǒng)進入潔凈車間,部分室內(nèi)風(fēng)經(jīng)回風(fēng)系統(tǒng)重新回到潔凈車間,部分室內(nèi)風(fēng)經(jīng)出風(fēng)系統(tǒng)排出,所述的進風(fēng)系統(tǒng)包括依次連接的空氣凈化設(shè)備、氧氣調(diào)節(jié)裝置、共混室、AHU、熱管換熱系統(tǒng),所述的回風(fēng)系統(tǒng)與共混室連接,室外新風(fēng)和室內(nèi)回風(fēng)在共混室內(nèi)混合;所述的進風(fēng)系統(tǒng)與出風(fēng)系統(tǒng)間通過轉(zhuǎn)輪式熱交換器連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的節(jié)能潔凈車間系統(tǒng),其特征在于:所述的AHU與冷卻塔連接后聯(lián)合使用。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的節(jié)能潔凈車間系統(tǒng),其特征在于:所述的熱管換熱系統(tǒng)與廠區(qū)內(nèi)的CDA系統(tǒng)聯(lián)用進行熱交換。
【專利摘要】本實用新型公開了一種節(jié)能潔凈車間系統(tǒng),包括潔凈車間,所述的潔凈車間設(shè)有進風(fēng)系統(tǒng)、回風(fēng)系統(tǒng)、出風(fēng)系統(tǒng),室外新風(fēng)通過進風(fēng)系統(tǒng)進入潔凈車間,部分室內(nèi)風(fēng)經(jīng)回風(fēng)系統(tǒng)重新回到潔凈車間,部分室內(nèi)風(fēng)經(jīng)出風(fēng)系統(tǒng)排出,進風(fēng)系統(tǒng)包括依次連接的空氣凈化設(shè)備、氧氣調(diào)節(jié)裝置、共混室、AHU、熱管換熱系統(tǒng),所述的回風(fēng)系統(tǒng)與共混室連接,室外新風(fēng)和室內(nèi)回風(fēng)在共混室內(nèi)混合;進風(fēng)系統(tǒng)與出風(fēng)系統(tǒng)間通過轉(zhuǎn)輪式熱交換器連接,由于出風(fēng)系統(tǒng)內(nèi)的風(fēng)與室內(nèi)溫度相近,而進風(fēng)系統(tǒng)內(nèi)的新風(fēng)與室內(nèi)溫度差距較大,讓排出的風(fēng)與進風(fēng)系統(tǒng)內(nèi)的新風(fēng)通過轉(zhuǎn)輪式熱交換器進行熱量交換,最大限度的利用出風(fēng)系統(tǒng)的能量,使進風(fēng)系統(tǒng)內(nèi)的新風(fēng)的溫度進一步接近室內(nèi)溫度。
【IPC分類】F24F12-00, F24F3-16, F24F13-30
【公開號】CN204460524
【申請?zhí)枴緾N201520036544
【發(fā)明人】蔡文生, 黎文椿
【申請人】綠源霖節(jié)能科技(天津)有限公司
【公開日】2015年7月8日
【申請日】2015年1月20日