一種擴(kuò)散爐用自動(dòng)推拉裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造裝置技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種擴(kuò)散爐用自動(dòng)推拉裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]擴(kuò)散爐是用于半導(dǎo)體擴(kuò)散(摻雜)工藝的一種專用設(shè)備，其原理是在高溫環(huán)境下，通過分子的熱運(yùn)動(dòng)，讓磷(P)、鋁(AL)、鎵(Ga)、硼(B)等雜質(zhì)元素進(jìn)入純凈的硅片內(nèi)部，形成PN結(jié)。擴(kuò)散的過程是在爐膛內(nèi)進(jìn)行的，在進(jìn)行擴(kuò)散之前，需要將被擴(kuò)散的硅片通過推拉舟放入爐膛內(nèi)；
[0003]目前在半導(dǎo)體及光伏產(chǎn)業(yè)中擴(kuò)散、PECVD自動(dòng)送料系統(tǒng)中，現(xiàn)有的自動(dòng)推拉裝置通常使用絲杠傳動(dòng)，底盤不動(dòng)，只是加持部分局部上下運(yùn)動(dòng)，無法滿足工作的要求；
[0004]專利號(hào)為CN 202339931 U的專利:該專利包括橫向機(jī)構(gòu)、升降機(jī)構(gòu)、托架機(jī)構(gòu)，其中橫向機(jī)構(gòu)包括電機(jī)、同步帶輪、同步帶、固定板、滑塊、滑軌、底板，電機(jī)與同步帶輪連接，同步帶套在同步帶輪上，同步帶與固定板固定連接，固定板與滑塊固定連接，滑塊與滑軌配合，滑軌固定在底板上；升降機(jī)構(gòu)包括電機(jī)、聯(lián)軸器、螺旋升降機(jī)、滑軌、滑塊，電機(jī)通過聯(lián)軸器與螺旋升降機(jī)連接，螺旋升降機(jī)與橫向機(jī)構(gòu)中的底板固定連接，滑軌與滑塊配合，滑塊與橫向機(jī)構(gòu)中的底板固定連接；托架機(jī)構(gòu)與橫向機(jī)構(gòu)中的固定板固定連接；
[0005]該專利的有益效果是采用步進(jìn)電機(jī)帶動(dòng)同步帶和同步帶輪來實(shí)現(xiàn)的，降低了維修頻率，解決了更換麻煩的不足；其上下運(yùn)動(dòng)采用整體升降式運(yùn)動(dòng)，減少了推拉舟的占用空間，提高了設(shè)備的穩(wěn)定性，但是這樣結(jié)構(gòu)復(fù)雜，而且夾持的部位無法具體調(diào)整，這樣在調(diào)節(jié)位置時(shí)，需要對(duì)裝置整體調(diào)節(jié)，浪費(fèi)時(shí)間，降低工作效率。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0006]本實(shí)用新型的目的是提供一種擴(kuò)散爐用自動(dòng)推拉裝置，解決現(xiàn)有技術(shù)中自動(dòng)推拉裝置橫向、豎向運(yùn)動(dòng)不穩(wěn)定，和推拉舟無法局部調(diào)整的技術(shù)問題；
[0007]本實(shí)用新型解決上述技術(shù)問題的技術(shù)方案如下:
[0008]—種擴(kuò)散爐用自動(dòng)推拉裝置，包括支架，所述支架上方設(shè)置有電機(jī)一，所述電機(jī)一下方設(shè)置有絲桿一，所述絲桿一上安裝有絲桿螺母一，所述絲桿螺母一的背面固定有支撐板，所述支撐板兩端分別安裝有滑塊一和滑塊二，所述滑塊一和滑塊二分別套裝在滑行桿一上，所述滑行桿一豎直安裝在支架上，所述滑塊一上安裝有電機(jī)二，所述滑塊一與滑塊二之間設(shè)置有滑行桿二，所述滑行桿二上套裝有滑塊三，所述電機(jī)二上水平安裝有絲桿二，所述絲桿二上安裝有絲桿螺母二，所述絲桿螺母二設(shè)置在滑塊三內(nèi)部，所述滑塊三外側(cè)設(shè)置有夾持裝置；
[0009]在上述技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，本實(shí)用新型還可以做如下改進(jìn):
[0010]進(jìn)一步，所述支架上均勻設(shè)置有多組滑行桿三，所述滑行桿三上設(shè)置有滑塊四且位于絲桿一兩側(cè)，所述滑塊四與支撐板連接，采用本步的有益效果是通過滑行桿三來限制裝置豎直方向的運(yùn)動(dòng)，可以保證裝置在豎直方向運(yùn)動(dòng)的穩(wěn)定性，保證推拉時(shí)的穩(wěn)定性；
[0011]進(jìn)一步，所述夾持裝置包括固定桿、固定塊、支撐桿和夾持部，所述固定桿水平焊接在滑塊三上，所述固定塊一端安裝在固定桿上，另一端安裝支撐桿，所述支撐桿下方設(shè)置有夾持部，采用本步的有益效果是通過對(duì)夾持裝置進(jìn)行設(shè)計(jì)，可以對(duì)夾持的裝置進(jìn)行局部微調(diào)，而不需要對(duì)裝置進(jìn)行整體調(diào)節(jié)，提高工作效率；
[0012]進(jìn)一步，所述固定塊與固定桿之間設(shè)置有調(diào)節(jié)螺栓一，所述固定塊與支撐桿之間設(shè)置有調(diào)節(jié)螺栓二，采用本步的有益效果是方便調(diào)節(jié)固定塊的位置，從而方便調(diào)節(jié)夾持部的位置；
[0013]進(jìn)一步，所述電機(jī)二為步進(jìn)電機(jī)；
[0014]進(jìn)一步，所述滑行桿二的末端設(shè)置有限位塊，采用本步的有益效果是通過限位塊來控制夾持裝置橫向的運(yùn)動(dòng)距離；
[0015]進(jìn)一步，所述支架下方設(shè)置有控制箱，采用本步的有益效果是通過控制箱控制電機(jī)一和電機(jī)二；
[0016]進(jìn)一步，所述控制箱下方設(shè)置有萬(wàn)向剎車輪，采用本步的有益效果是控制支架的行走;
[0017]本實(shí)用新型通過電機(jī)一、絲桿一和絲桿螺母來進(jìn)行豎直方向上的運(yùn)動(dòng)，將支撐板固定在絲桿螺母上，以此帶動(dòng)支撐板上下運(yùn)動(dòng)；
[0018]本實(shí)用新型在支撐板的兩端分別設(shè)置有滑塊一和滑塊二，其中滑塊一用來安裝電機(jī)二，這個(gè)電機(jī)二采用的是步進(jìn)電機(jī)，這樣可以保證水平方向的運(yùn)動(dòng)能夠緩慢運(yùn)動(dòng)；
[0019]滑塊二內(nèi)部安裝有絲桿螺母二，電機(jī)二水平方向安裝有絲桿二，通過電機(jī)二、絲桿二和絲桿螺母二的轉(zhuǎn)動(dòng)，帶動(dòng)滑塊三水平移動(dòng)；
[0020]滑塊二和滑塊一下方設(shè)置有滑行桿一，這樣可以利用滑行桿一保證滑塊二能夠水平滑動(dòng)；
[0021]本實(shí)用新型在支架上設(shè)置有滑行桿二，滑行桿二上設(shè)置滑塊三，其中滑塊三用來固定夾持裝置，這樣就可以保證滑塊三能夠水平運(yùn)動(dòng)，其中滑塊三內(nèi)部設(shè)置有絲桿螺母二，通過電機(jī)二帶動(dòng)滑塊三水平運(yùn)動(dòng)，這樣就能實(shí)現(xiàn)夾持裝置的水平運(yùn)動(dòng)；
[0022]本實(shí)用新型對(duì)夾持裝置結(jié)構(gòu)進(jìn)行設(shè)置，其中固定塊與固定桿連接，通過調(diào)節(jié)螺栓一可以調(diào)節(jié)固定塊的位置；
[0023]將夾持部通過支撐桿安裝在固定塊上，通過調(diào)節(jié)螺母可以調(diào)節(jié)支撐桿的上下位置；
[0024]本實(shí)用新型將電機(jī)二設(shè)計(jì)成步進(jìn)電機(jī)，這樣可以保證電機(jī)二緩慢運(yùn)動(dòng)，從而保證夾持裝置能夠緩慢移動(dòng)；
[0025]本實(shí)用新型在滑行桿二的末端設(shè)置有限位塊，通過限位塊來控制夾持裝置橫向的運(yùn)動(dòng)距離；
[0026]本實(shí)用新型在控制箱底部安裝有萬(wàn)向剎車輪，通過萬(wàn)向剎車輪來移動(dòng)支架；
[0027]本實(shí)用新型的有益效果:
[0028]1.本實(shí)用新型對(duì)支架的水平移動(dòng)和豎直移動(dòng)進(jìn)行設(shè)計(jì)，通過滑行桿一可以保證裝置水平移動(dòng)的穩(wěn)定性，通過滑行桿二和滑行桿三可以保證裝置豎直移動(dòng)的穩(wěn)定性；
[0029]2.本實(shí)用新型對(duì)夾持裝置進(jìn)行設(shè)計(jì)，可以通過調(diào)節(jié)螺栓一和調(diào)節(jié)螺栓二進(jìn)行局部調(diào)節(jié)，方便將硅片通過推拉舟放入爐膛內(nèi)；
[0030]3.本實(shí)用新型中的電機(jī)二采用步進(jìn)電機(jī)，通過步進(jìn)電機(jī)更加便于控制夾持裝置的移動(dòng)；
[0031]4.本實(shí)用新型在滑行桿二的末端設(shè)置有限位塊，通過限位塊現(xiàn)在滑塊二的水平移動(dòng)距離，進(jìn)而控制夾持裝置的水平移動(dòng)距離；
[0032]5.本實(shí)用新型通過安裝在控制箱底部的萬(wàn)向剎車輪，通過萬(wàn)向剎車輪來移動(dòng)支架；
[0033]6.本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，操作方便，且水平、豎直方向的移動(dòng)非常穩(wěn)定，確保加工的穩(wěn)定性。
【附圖說明】
[0034]圖1為本實(shí)用新型具體實(shí)施例所述的一種擴(kuò)散爐用自動(dòng)推拉裝置的主視圖；
[0035]圖2為本實(shí)用新型具體實(shí)施例所述的一種擴(kuò)散爐用自動(dòng)推拉裝置的局部放大圖；
[0036]附圖中，各標(biāo)號(hào)所代表的部件列表如下:
[0037]1、支架；
[0038]2、電機(jī)一；
[0039]3、絲桿一；
[0040]4、絲桿螺母一；
[0041]5、支撐板；
[0042]6、滑塊一；
[0043]7、滑塊二 ；
[0044]8、滑行桿一；
[0045]9、電機(jī)二；
[0046]10、滑塊三；
[0047]11、絲桿二；
[0048]12、絲桿螺母二 ；
[0049]13、夾持裝置；
[0050]14、滑行桿二 ；
[005