一種氣體分布器的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及多晶硅生產(chǎn)設(shè)備領(lǐng)域，特別是涉及一種氣體分布器。
【背景技術(shù)】
[0002]在現(xiàn)有的多晶硅生產(chǎn)工藝中，反應(yīng)氣體在進(jìn)入反應(yīng)器進(jìn)行還原反應(yīng)之前，需要利用石墨換熱器對反應(yīng)氣體進(jìn)行換熱，待溫度升高之后再輸送至反應(yīng)器內(nèi)進(jìn)行反應(yīng)。
[0003]由于石墨具有耐高溫、耐腐蝕的優(yōu)點，可以被化工行業(yè)所廣泛應(yīng)用，因此，在多晶硅生產(chǎn)工藝中通常使用石墨換熱器。作為反應(yīng)爐內(nèi)置換熱器，管程氣體通常需要輸送至反應(yīng)器中，而殼程氣體則通常為尾氣，需要進(jìn)入回收工序，普通的管口式石墨換熱器進(jìn)出口設(shè)計不合理，進(jìn)入反應(yīng)器中的管程氣體出口與進(jìn)入回收工序的殼程氣體的出口相互干擾。
[0004]因此，亟需一種氣體分布器以解決上述技術(shù)問題。
【實用新型內(nèi)容】
[0005]本實用新型針對現(xiàn)有技術(shù)中存在的上述不足，提供一種氣體分布器，用以解決管程氣體出口與殼程氣體出口分布不合理的問題。
[0006]本實用新型為解決上述技術(shù)問題，采用如下技術(shù)方案:
[0007]本實用新型提供一種氣體分布器，包括分布器本體，分布器本體上設(shè)置有多個I型的第一通孔和多個L型的第二通孔，第一通孔貫穿氣體分布器的上、下表面，第二通孔的第一端貫穿分布器本體的上表面，且第二通孔的第二端貫穿分布器本體的側(cè)表面。
[0008]優(yōu)選的，所述第二通孔的第二端位于所述分布器本體側(cè)表面的中部。
[0009]優(yōu)選的，所述分布器本體由石墨制成。
[0010]優(yōu)選的，所述分布器本體呈圓柱狀。
[0011]優(yōu)選的，各第一通孔之間等間距排布，相鄰的第一通孔的孔間距大于第一通孔與第二通孔的直徑之和；
[0012]各第二通孔之間等間距排布，相鄰的第二通孔的孔間距大于第一通孔與第二通孔的直徑之和。
[0013]優(yōu)選的，各列第一通孔與各列第二通孔間隔設(shè)置，各行第一通孔與各行第二通孔間隔設(shè)置。
[0014]本實用新型具有如下有益效果:
[0015]本實用新型通過在分布器本體上設(shè)置I型的第一通孔和L型的第二通孔，第一通孔貫穿分布器本體的上、下表面，用于輸送殼程氣體，第二通孔分別貫穿分布器本體的上表面和側(cè)表面，用于輸送管程氣體，這樣殼程氣體與管程氣體的輸出方向各不相同，殼程氣體從石墨換熱器的底部輸出，管程氣體從石墨換熱器的側(cè)面輸出，管程氣體與殼程氣體的出口分明，互不影響。
【附圖說明】
[0016]圖1為本實用新型實施例提供的氣體分布器的立體圖；
[0017]圖2為本實用新型實施例提供的氣體分布器A-A向剖視圖；
[0018]圖3為本實用新型實施例提供的氣體分布器B-B向剖視圖；
[0019]圖4為本實用新型實施例提供的氣體分布器的側(cè)視圖；
[0020]圖5為本實用新型實施例提供的氣體分布器的俯視圖；
[0021 ]圖6為包括本實用新型的氣體分布器的安裝示意圖。
[0022]圖例說明:
[0023]1、分布器本體 2、筒體3、列管
[0024]11、第一通孔 12、第二通孔 21、封頭
[0025]22、管板121、第二通孔的第一端
[0026]122、第二通孔的第二端
【具體實施方式】
[0027]為使本領(lǐng)域技術(shù)人員更好地理解本實用新型的技術(shù)方案，下面結(jié)合附圖和【具體實施方式】對本實用新型作進(jìn)一步詳細(xì)描述。
[0028]本實用新型提供一種氣體分布器，通過在分布器本體上設(shè)置用于輸送殼程氣體的I型的第一通孔和用于輸送管程氣體的L型的第二通孔，第一通孔貫穿分布器本體的上、下表面，第二通孔分別貫穿分布器本體的上表面和側(cè)表面，用以解決管程氣體出口與殼程氣體出口分布不合理的問題。
[0029]以下結(jié)合圖1-5詳細(xì)說明本實用新型的氣體分布器的結(jié)構(gòu)。如圖1-5所示，一種體分布器，包括分布器本體1，分布器本體1上設(shè)置有多個I型的第一通孔11和多個L型的第二通孔12，第一通孔11貫穿分布器本體1的上、下表面，第二通孔的第一端121貫穿分布器本體1的上表面，且第二通孔的第二端122貫穿分布器本體的側(cè)表面。第二通孔12和列管相連通，用于輸送管程氣體，第一通孔11與筒體(即換熱器殼程)相連通，用于輸送殼程氣體。優(yōu)選的，分布器本體1的厚度為100_。
[0030]本實用新型通過在分布器本體上設(shè)置I型的第一通孔和L型的第二通孔，第一通孔貫穿分布器本體的上、下表面，用于輸送殼程氣體，第二通孔分別貫穿分布器本體的上表面和側(cè)表面，用于輸送管程氣體，這樣殼程氣體與管程氣體的輸出方向各不相同，殼程氣體從石墨換熱器的底部輸出，管程氣體從石墨換熱器的側(cè)面輸出，管程氣體與殼程氣體的出口分明，互不影響。
[0031]優(yōu)選的，第二通孔的第二端122位于分布器本體1側(cè)表面的中部，從而增強氣體分布器1的強度。
[0032]優(yōu)選的，分布器本體1由石墨制成，呈圓柱狀。
[0033]如圖5所示，各第一通孔11之間等間距排布，相鄰的第一通孔11的孔間距大于第一通孔11與第二通孔12的直徑之和。各第二通孔12之間等間距排布，相鄰的第二通孔12的孔間距大于第一通孔11與第二通孔12的直徑之和。
[0034]等間距分布第二通孔12，可以將管程氣體均勻輸送至反應(yīng)器內(nèi)，提高反應(yīng)速率和轉(zhuǎn)化率。
[0035]優(yōu)選的，各列第一通孔11與各列第二通孔12間隔設(shè)置，各行第一通孔11與各行第二通孔12間隔設(shè)置。也就是說，第一通孔11與第二通孔12交錯排布，第一通孔與第二通孔互相不貫通。
[0036]本實用新型的氣體分布器在使用時，放置在石墨換熱器內(nèi)，并通過列管3與石墨換熱器的管板22相連。如圖6所示，分布器本體1容置于石墨換熱器的筒體2的底部，在筒體2的封頭21處設(shè)置有管板22，列管3的一端與管板22相連，列管3的另一端與第二通孔的第一端121相連。管程氣體可以經(jīng)列管3進(jìn)入第二通孔12，從第二通孔的第二端122經(jīng)由管程出口輸出，或者直接進(jìn)入反應(yīng)器內(nèi)。殼程氣體進(jìn)入筒體腔體后，通過第一通孔11從殼程出口輸出。
[0037]當(dāng)管程出口不連接氣體收集裝置，而直接進(jìn)入反應(yīng)區(qū)域內(nèi)時，包括本實用新型的氣體分布器的石墨換熱器可以作為高溫反應(yīng)爐內(nèi)置換熱器。當(dāng)管程出口連接氣體收集裝置時，包括本實用新型的氣體分布器的石墨換熱器可以作為外置換熱器獨立使用。
[0038]可以理解的是，以上實施方式僅僅是為了說明本實用新型的原理而采用的示例性實施方式，然而本實用新型并不局限于此。對于本領(lǐng)域內(nèi)的普通技術(shù)人員而言，在不脫離本實用新型的精神和實質(zhì)的情況下，可以做出各種變型和改進(jìn)，這些變型和改進(jìn)也視為本實用新型的保護(hù)范圍。
【主權(quán)項】
1.一種氣體分布器，其特征在于，包括分布器本體，分布器本體上設(shè)置有多個I型的第一通孔和多個L型的第二通孔，第一通孔貫穿氣體分布器的上、下表面，第二通孔的第一端貫穿分布器本體的上表面，且第二通孔的第二端貫穿分布器本體的側(cè)表面。2.如權(quán)利要求1所述的氣體分布器，其特征在于，所述第二通孔的第二端位于所述分布器本體側(cè)表面的中部。3.如權(quán)利要求1所述的氣體分布器，其特征在于，所述分布器本體由石墨制成。4.如權(quán)利要求1所述的氣體分布器，其特征在于，所述分布器本體呈圓柱狀。5.如權(quán)利要求1-4任一項所述的氣體分布器，其特征在于，各第一通孔之間等間距排布，相鄰的第一通孔的孔間距大于第一通孔與第二通孔的直徑之和； 各第二通孔之間等間距排布，相鄰的第二通孔的孔間距大于第一通孔與第二通孔的直徑之和。6.如權(quán)利要求5所述的氣體分布器，其特征在于，各列第一通孔與各列第二通孔間隔設(shè)置，各行第一通孔與各行第二通孔間隔設(shè)置。
【專利摘要】本實用新型提供一種氣體分布器，通過在分布器本體上設(shè)置I型的第一通孔和L型的第二通孔，第一通孔貫穿氣體分布器的上、下表面，用于輸送殼程氣體，第二通孔分別貫穿氣體分布器的上表面和側(cè)表面，用于輸送管程氣體，這樣殼程氣體與管程氣體的輸出方向各不相同，殼程氣體從石墨換熱器的底部輸出，管程氣體從石墨換熱器的側(cè)面輸出，管程氣體與殼程氣體的出口分明，互不影響。
【IPC分類】F28F9/22, F28F21/02
【公開號】CN205102663
【申請?zhí)枴緾N201520906952
【發(fā)明人】黃彬, 王惠, 張偉, 張吉武, 侯雨, 相文強
【申請人】新特能源股份有限公司
【公開日】2016年3月23日
【申請日】2015年11月13日