專(zhuān)利名稱(chēng)：185納米紫外光與膜脫氣相結(jié)合的除超純水中有機(jī)物方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種將185納米紫外有機(jī)物分解器和膜脫氣裝置相結(jié)合制造有機(jī)物含量低的超純水的工藝方法。
超純水主要用于大規(guī)模集成電路的生產(chǎn)和很多其他電子通訊器材制造業(yè)。超純水中總有機(jī)物含量，通常以總有機(jī)碳(TOC)含量來(lái)衡量，保證超純水中TOC指標(biāo)對(duì)于超純水制造工藝通常是有挑戰(zhàn)性的。
因?yàn)?85納米紫外光可以打斷有機(jī)物中大多數(shù)化學(xué)鍵，所以可以用185納米紫外光分解純水中殘留有機(jī)物。純水中殘留有機(jī)物在185納米紫外光作用下分解后可能以三種形式存在，即帶電小分子有機(jī)物、不帶電小分子有機(jī)物和被氧化成二氧化碳。
已知技術(shù)中在185納米紫外后安裝連續(xù)電除鹽裝置或混合離子交換裝置以除去被分解的有機(jī)物。但是連續(xù)電除鹽裝置或混合離子交換裝置只對(duì)清除帶電有機(jī)物和二氧化碳有效，卻不能清除不帶電小分子有機(jī)物。因此，不能使有機(jī)物含量降低到較高水準(zhǔn)。
本發(fā)明的目的是提供一種有機(jī)物含量低的超純水工藝，該工藝簡(jiǎn)便，效果好。
為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案這種185納米紫外光與膜脫氣相結(jié)合的除超純水中有機(jī)物方法，它包括水凈化處理工藝，所述水凈化處理工藝中，在185納米紫外裝置處理工序之后，為膜脫氣處理工序。
本發(fā)明人利用了科學(xué)知識(shí)，即不帶電小分子有機(jī)物具有揮發(fā)性，而脫氣膜膜可以進(jìn)行氣水分離等技術(shù)方案，并將這些技術(shù)方案應(yīng)用到超純水制造工藝中，所以在185納米紫外裝置后安裝膜脫氣裝置和連續(xù)電除鹽裝置或混合離子交換裝置，利用膜脫氣裝置脫出小分子不帶電有機(jī)物和大部分的二氧化碳，再用連續(xù)電除鹽裝置或混合離子交換裝置清除帶電有機(jī)物和殘余二氧化碳。
另外，本發(fā)明中使用過(guò)的脫氣裝置以脫氣裝置為佳，在脫氣過(guò)程中純水不應(yīng)該與空氣接觸。185納米紫外裝置只適用于經(jīng)過(guò)凈化處理，有機(jī)物含量較低的純化水，純化水中總有機(jī)碳含量小于500ppb。本實(shí)施中，膜脫氣裝置為已有產(chǎn)品，(見(jiàn)US5938922)，工藝條件中，真空度為＜50mmHg，其余為常規(guī)操作。
實(shí)施例一城市自來(lái)水經(jīng)過(guò)過(guò)濾、活性炭吸附器、雙級(jí)反滲透、連續(xù)電除鹽、185納米紫外裝置、精密混床，產(chǎn)品水總有機(jī)碳含量穩(wěn)定值為12-26ppb。同源地下水經(jīng)過(guò)過(guò)濾、雙級(jí)反滲透、連續(xù)電除鹽、185納米紫外裝置、膜脫氣裝置、精密混床。產(chǎn)品水總有機(jī)碳含量穩(wěn)定值為0.1-0.2ppb。
實(shí)施例二地下水自來(lái)水經(jīng)過(guò)過(guò)濾、單級(jí)反滲透、連續(xù)電除鹽、185納米紫外裝置、精密混床，產(chǎn)品水總有機(jī)碳含量穩(wěn)定值為30-35ppb。同源地下水經(jīng)過(guò)過(guò)濾、單級(jí)反滲透、185納米紫外裝置、膜脫氣裝置、連續(xù)電除鹽、精密混床。產(chǎn)品水總有機(jī)碳含量穩(wěn)定值為0.5±0.1ppb。
優(yōu)點(diǎn)本發(fā)明中在185納米紫外線工序之后，為膜脫氣處理工序，從中可以去除小分子不帶電有機(jī)物和大部分二氧化碳，從而明顯降低了超純水中總有機(jī)碳含量，擴(kuò)大了超純水的用途，滿足不同需求，而且工藝簡(jiǎn)便。
權(quán)利要求
1.一種185納米紫外光與膜脫氣相結(jié)合的除超純水中有機(jī)物方法，它包括水凈化處理工藝，其特征在于所述水凈化處理工藝中，在185納米紫外裝置處理工序之后，為膜脫氣處理工序。
全文摘要
一種185納米紫外光與膜脫氣相結(jié)合的除超純水中有機(jī)物方法，它包括水凈化處理工藝，其特征在于所述水凈化處理工藝中，在185納米紫外裝置處理工序之后，為膜脫氣處理工序。優(yōu)點(diǎn)本發(fā)明中在185納米紫外線工序之后，為膜脫氣處理工序，從中可以去除小分子不帶電有機(jī)物和大部分二氧化碳，從而明顯降低了超純水中總有機(jī)碳含量，擴(kuò)大了超純水的用途，滿足不同需求，而且工藝簡(jiǎn)便。
文檔編號(hào)C02F9/08GK1438188SQ0210369
公開(kāi)日2003年8月27日 申請(qǐng)日期2002年2月10日 優(yōu)先權(quán)日2002年2月10日
發(fā)明者聞瑞梅, 孟廣禎 申請(qǐng)人:孟廣禎