專利名稱：圖像顯示裝置及其拆解處理方法和元件回收方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及為保護(hù)全球環(huán)境用于使通過利用熔結(jié)玻璃用框架將兩基板氣密結(jié)合在一起構(gòu)成的平板顯示器報(bào)廢的拆解方法，所說兩基板即主要含玻璃的面板(正面玻璃基板)和背板(背面玻璃基板)，還涉及再利用平板顯示器、分離和回收用于平板顯示器的金屬元素中的作為有害金屬元素的鉛、并有效地再利用其它貴金屬元素和稀土元素的方法，還涉及拆解用熔結(jié)玻璃焊接的圖像形成裝置并回收其面板和背板的方法，還涉及回收和再利用分隔件的方法，從用于通過利用電子束或紫外線輻射涂敷了熒光物質(zhì)部分發(fā)光的平板顯示裝置或CRT(陰極射線管)回收熒光物質(zhì)的方法，顯示裝置的制造方法，適于拆除、拆解和再利用的圖像顯示裝置，用于檢測(cè)廢料等中所含有害金屬量的有害金屬量檢測(cè)裝置，用于平板顯示屏板中的熒光物質(zhì)回收方法和裝置。
背景技術(shù)：
通常，多數(shù)報(bào)廢民用裝置都被粉碎，例如金屬等有價(jià)值的物質(zhì)被回收，其余物質(zhì)作為工業(yè)廢物被清除到“最低控制的掩埋點(diǎn)”，在此這種廢物僅僅被掩埋在地下挖的洞中。
近年來，清除點(diǎn)容量的不足成為嚴(yán)重問題，有害物質(zhì)造成環(huán)境污染也成為嚴(yán)重問題。例如，電視機(jī)的陰極射線管使用了大量含鉛玻璃。根據(jù)環(huán)境機(jī)構(gòu)的試驗(yàn)計(jì)算，報(bào)廢陰極射線管中所含鉛量每年達(dá)20000t，多數(shù)鉛被掩埋在最低控制的掩埋點(diǎn)。然而，雨水自然滲透到最低控制的掩埋點(diǎn)，這些點(diǎn)未裝備任何排水裝置。已認(rèn)識(shí)到作為有害物質(zhì)的鉛會(huì)擴(kuò)散。
這種情況下，必須重新考慮常規(guī)的處理方法。關(guān)于電視機(jī)的陰極射線管，民用電子裝置協(xié)會(huì)已在將陰極射線管玻璃粉碎成碎玻璃(小玻璃片)并再將它們應(yīng)用于陰極射線管方面進(jìn)行了研究。其中，已開發(fā)出從電視機(jī)主體中取出陰極射線管，并將陰極射線管粉碎成玻璃碎片的系統(tǒng)(例如，見“Electrotechnology”1997年1月)。
例如日本公開專利申請(qǐng)61-50688中公開了一種回收作為碎片的玻璃的方法。還已知有將陰極射線管玻璃粉碎成碎片(小玻璃片)，并將它們?cè)賾?yīng)用于陰極射線管的方法(例如，日本公開專利申請(qǐng)9-193762)。例如日本公開專利申請(qǐng)05-185064中公開了一種根據(jù)材料將陰極射線管分離成面板和錐體，并將它們粉碎成碎片的方法。另外，日本公開專利申請(qǐng)7-037509中公開了一種將陰極射線管分離成面板和錐體、從面板上剝離熒光物質(zhì)和黑底(black mask)、再利用面板的方法。
為再利用陰極射線管玻璃，這種玻璃必須分離成屏板玻璃和含鉛錐體玻璃。這是由于，如果預(yù)定量以上的鉛混在屏板玻璃中，將會(huì)發(fā)生變暗現(xiàn)象，含鉛玻璃不能再用作屏板的原材料。為此，要將陰極射線管分離成屏板和錐體。因此，提出了限定切割陰極射線管的位置的方法(日本公開專利申請(qǐng)9-115449)，和熔化結(jié)合屏板和錐體的熔結(jié)玻璃，由此分開屏板和錐體的方法(日本公開專利申請(qǐng)7-45198)。
關(guān)于分離用熔結(jié)玻璃焊接的錐體和屏板的技術(shù)，已知有日本公開專利申請(qǐng)5-151898、7-029496、9-200654和9-200657中公開的利用熱處理中的熱變形分離屏板和錐體的技術(shù)。
近年來，人們非常熱衷于應(yīng)用冷陰極元件的研究。冷陰極元件的例子有表面?zhèn)鲗?dǎo)型電子發(fā)射元件、場(chǎng)發(fā)射型電子發(fā)射元件、金屬/絕緣體/金屬型電子發(fā)射元件。與熱陰極元件相比，冷陰極元件可以在低溫下發(fā)射電子。冷陰極元件不需要任何加熱器，結(jié)構(gòu)上比熱陰極元件簡(jiǎn)單，可以構(gòu)成較小元件。既便基板上高密度設(shè)置許多元件，也幾乎不會(huì)發(fā)生例如基板的熱熔化等問題。此外，由于熱陰極元件在利用加熱器加熱的條件下工作，所以響應(yīng)速率低，而冷陰極元件的響應(yīng)速度高。
冷陰極元件中，表面?zhèn)鲗?dǎo)型電子發(fā)射元件具有簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)，容易制造，允許在大面積上形成大量元件。如本申請(qǐng)人所申請(qǐng)的日本公開專利申請(qǐng)64-31332中所公開的，已開發(fā)出一種設(shè)置和驅(qū)動(dòng)大量元件的方法。
關(guān)于表面?zhèn)鲗?dǎo)型電子發(fā)射元件的應(yīng)用，例如，如圖像顯示裝置和圖像記錄裝置等圖像形成裝置，已開發(fā)出電荷束源等。
特別是關(guān)于在圖像顯示裝置中的應(yīng)用，如美國(guó)專利US5066883和日本公開專利申請(qǐng)2-257551和4-28137中所公開的，已開發(fā)出一種采用表面?zhèn)鲗?dǎo)型電子發(fā)射元件和利用電子束輻射發(fā)光的熒光物質(zhì)組合的圖像顯示裝置。預(yù)計(jì)采用表面?zhèn)鲗?dǎo)型電子發(fā)射元件和熒光物質(zhì)組合的該圖像顯示裝置，將表現(xiàn)出比常規(guī)其它類型圖像顯示裝置更優(yōu)異的特性。例如，由于這種圖像顯示裝置是自發(fā)射型，不需要任何背光，視角寬，所以優(yōu)于近年來流行的液晶顯示裝置。
例如美國(guó)專利US4904895中公開了一種驅(qū)動(dòng)并排設(shè)置的許多場(chǎng)發(fā)射型電子發(fā)射元件的方法。已知FE型電子發(fā)射元件在圖像顯示裝置中的應(yīng)用是R.Meyer等人報(bào)道的平板顯示器(R.Meyer“RecentDevelopment on Micro-tips Display at LETI”，Tech.Digest of 4thInt.Vacuum Micro-electronics Conf.，Nagahama，pp.6-9(1991))。
日本公開專利申請(qǐng)3-55738中公開了一種許多并排設(shè)置的金屬/絕緣體/金屬型電子發(fā)射元件在圖像顯示裝置中的應(yīng)用。
在采用電子發(fā)射元件的圖像形成裝置中，薄平板顯示器節(jié)省空間且重量輕，作為陰極射線管型圖像顯示裝置的替代品引起了人注的極大關(guān)注。
圖像形成裝置中氣密容器內(nèi)部保持在約10-6乇的真空。由于圖像顯示裝置的顯示面積增大，所以氣密容器需要防止背板和面板由于氣密容器內(nèi)外壓力差造成的變形或破壞。如果背板和面板制造得較厚，會(huì)增加圖像顯示裝置的重量，從對(duì)角線看時(shí)，會(huì)產(chǎn)生圖像失真和不一致。于是，氣密容器一般采用分隔件，每個(gè)分隔件都由較薄玻璃板構(gòu)成，其表面上覆蓋有抗靜電膜。
除場(chǎng)上述發(fā)射型電子源顯示器(FED)和MIM型顯示器外，包括真空熒光顯示器(VFD)、等離子顯示器(PDP)和表面?zhèn)鲗?dǎo)型電子源顯示器(SED)等平板顯示器都能節(jié)省空間且重量輕，作為陰極射線管型顯示裝置的替代品引起了人們的關(guān)注。已研制和開發(fā)了許多平板顯示器。
例如，本申請(qǐng)人提出了數(shù)種關(guān)于通過在基板上設(shè)置許多作為一種類型的冷陰格電子發(fā)射元件的表面?zhèn)鲗?dǎo)型電子發(fā)射元件構(gòu)成電子源和利用這種電子源的圖像顯示裝置的建議。
例如日本公開專利申請(qǐng)7-235255中具體介紹了表面?zhèn)鲗?dǎo)型電子發(fā)射元件的結(jié)構(gòu)、及利用它的圖像顯示裝置的結(jié)構(gòu)等，下面將作簡(jiǎn)單介紹。
圖68A和68B示出了表面?zhèn)鲗?dǎo)型電子發(fā)射元件的結(jié)構(gòu)。參考數(shù)字411表示基板，412和413是一對(duì)元件電極，414是局具有電子發(fā)射部分415的導(dǎo)電膜?；?11、元件電極412和413、導(dǎo)電膜414及電子發(fā)射部分415構(gòu)成電子發(fā)射元件416。
關(guān)于形成電子發(fā)射部分415的方法，是在一對(duì)元件電極412和413之間加電壓，使導(dǎo)電膜變形、改變導(dǎo)電膜特性或破壞導(dǎo)電膜的一部分，從而增大電阻。這稱為“起電成形加工”。為利用該方法形成具有良好電子發(fā)射特性的電子發(fā)射部分，導(dǎo)電膜較好是由細(xì)導(dǎo)電顆粒構(gòu)成。其材料的一個(gè)例子是細(xì)PdO顆粒。用于起電成形加工的電壓較好是脈沖電壓。該加工技術(shù)可采用一種如圖69A所示施加具有預(yù)定峰值的脈沖的方法或一種如圖69B所示施加其峰值逐漸增大的脈沖的方法。
為形成細(xì)導(dǎo)電顆粒膜，細(xì)導(dǎo)電顆粒可利用氣體淀積直接淀積。由于不需要真空器件，所以也可以用涂敷含導(dǎo)電膜成分元素的化合物溶液，并將涂層退火形成希望的導(dǎo)電膜的方法，制造成本低，并可以形成大電子源。關(guān)于涂敷有機(jī)金屬化合物溶液的方法，由于該方法不需要任何構(gòu)圖導(dǎo)電膜的額外步驟，所以希望采用噴墨裝置僅在需要部位涂敷溶液的方法。
形成電子發(fā)射部分后，在含有機(jī)物質(zhì)的合適氣氛中，在元件電極間加脈沖電壓(這將稱為“激活加工”)。然后，在電子發(fā)射部分及其附近形成主要含碳的淀積膜，以增大流過元件的電流，并提高電子發(fā)射特性。
然后，較好是實(shí)施所謂的“穩(wěn)定化處理”步驟。該處理步驟中，在加熱真空容器和電子發(fā)射元件的同時(shí)，保持排空真空容器，以充分去除有機(jī)物質(zhì)等，從而穩(wěn)定電子發(fā)射元件的特性。
日本公開專利申請(qǐng)8-273529中公開了一種采用噴墨裝置，利用表面?zhèn)鲗?dǎo)型電子發(fā)射元件形成電子源的導(dǎo)電膜的方法。
下面將簡(jiǎn)單介紹一下噴墨裝置。從噴墨裝置排出墨的方法大致分為兩種類型。根據(jù)第一種方法，利用設(shè)置在噴嘴處的壓電元件的收縮壓力，將液體作為液滴排出。該方法稱為壓電噴射法。該方法中，導(dǎo)電膜材料存儲(chǔ)在墨盒中，預(yù)定電壓加于電信號(hào)輸入端，使圓柱形壓電元件收縮，從而將液體作為液滴排出。
根據(jù)第二種方法，利用加熱電阻器加熱液體，使之起泡，排出液滴。該方法稱為汽泡噴射法。在汽泡噴射型噴墨裝置中，加熱電阻器產(chǎn)生熱量，以使液體起泡，從而從噴嘴排出液滴。
利用這種噴墨裝置，僅在預(yù)定位置作為液滴涂敷有機(jī)金屬化合物溶液。溶液干燥后，通過加熱處理，使有機(jī)金屬化合物熱分解，由金屬或金屬氧化物小顆粒形成導(dǎo)電膜。
圖1示出了圖像顯示裝置的結(jié)構(gòu)。圖1中，參考數(shù)字1表示背板，2是具有形成在基板2a的內(nèi)表面上的熒光膜2b、金屬敷層2c等的面板，3是支撐框架。背板1、支撐框架3和面板2利用熔結(jié)玻璃結(jié)合并氣密密封，構(gòu)成圖像顯示裝置15。
希望急劇增大具有這種結(jié)構(gòu)的平板顯示器尺寸和產(chǎn)量。在這些平板顯示器中，用于密封的熔結(jié)玻璃含鉛。作用圖像形成部件的熒光物質(zhì)2b、分隔件4等屬高成本部件。與陰極射線管玻璃類似，就“無害加工技術(shù)”、“體積減小”及“再利用”而言，回收系統(tǒng)的建立變?yōu)橹匾獑栴}。

發(fā)明內(nèi)容
下面將按以下順序介紹本發(fā)明所解決的問題，并按該順序介紹解決問題的例子和實(shí)施例。
(問題1)FPD具有不同于陰極射線管的結(jié)構(gòu)，需要其它加工方法。即，F(xiàn)PD通過利用熔結(jié)玻璃，通過框架氣密結(jié)合兩基板即主要含玻璃的面板和背面構(gòu)成。一般說，采用含大量鉛成分以便能進(jìn)行低溫焙燒的熔結(jié)玻璃。
與陰極射線管相同的理由，F(xiàn)PD也必須被分離成不含任何鉛的玻璃和含鉛玻璃，以便再利有玻璃。在再利用除玻璃外的部件時(shí)，必須除去鉛。
本發(fā)明解決了上述問題，其目的是提供一種容易再利用報(bào)廢FPD的處理方法。
(問題2)本發(fā)明另一目的是提供一種拆解處理方法，包括作為有害金屬的鉛的分離/回收方法和例如貴金屬元件和稀土元素等烯有元件的回收/再利用方法。
(問題3)在平板顯示器由于制造期間或使用壽命完結(jié)產(chǎn)生缺陷而報(bào)廢時(shí)，整個(gè)顯示器被粉碎和報(bào)廢，增加了廢品量。近年來，產(chǎn)生了將隨著工業(yè)活動(dòng)產(chǎn)生的廢物減至最少的社會(huì)需要，部件的再利用變成了迫在眉睫的問題。
在構(gòu)成材料含有有害元素等時(shí)，必須分離有害元素。具有決定圖像顯示裝置性能的電子發(fā)射元件的背板常采用高成本基板，在便實(shí)現(xiàn)一致的元件特性。特別是，首先形成于背板上的元件電極常由可以耐受隨后步驟的強(qiáng)材料構(gòu)成。
本發(fā)明解決了這個(gè)問題，其目的是提供一種容易將背板再用作已報(bào)廢圖像顯示裝置的重要構(gòu)成成分的方法，提供一種用于例如構(gòu)成材料中含鉛的元件的分離/回收方法，并有效地形成包括將要形成的多個(gè)電子發(fā)射元件的電子發(fā)射部分的導(dǎo)電膜。
(問題4)在平板顯示器由于制造期間或使用壽命完結(jié)產(chǎn)生缺陷而報(bào)廢時(shí)，整個(gè)顯示器被粉碎和報(bào)廢，由于構(gòu)成材料含較高成本材料，所以從經(jīng)濟(jì)角度出發(fā)是不希望這樣的。尤其是，屏板采用許多分隔件，由于玻璃必須形成為薄片，并必須形成導(dǎo)電膜，所以分隔件的制造需要高制造成本和長(zhǎng)時(shí)間周期。甚至在顯示器由于任何原因報(bào)廢時(shí)，分隔件有問題很少成為原因，分隔件往往沒有任何問題可以再利用。
為此，在報(bào)廢平板顯示器中，希望將分隔件與其它部件分離、回收和再利用。
如上所述，分隔件是薄板，且由玻璃基板制成，在拆除顯示器時(shí)，分隔件會(huì)被損壞。所以，希望研究一種能夠沒有任何損傷地回收分隔件的方法。
(問題5)一般說，烯土元素幾乎無法從使用后報(bào)廢物的顯示裝置中回收。
這是由于(1)每個(gè)顯示裝置中所用的稀土元素非常少，回收非常困難，(2)稀土元素不作為單質(zhì)使用，而是作為化合物或合金使用，所以分離成本高，(3)在非常希望的情況下，可以低成本得到較低成本的不重要的稀土元素。
然而，從環(huán)境保持和穩(wěn)定稀土元素源供應(yīng)的角度出發(fā)，希望促進(jìn)這些材料的回收。從工業(yè)產(chǎn)品中回收稀土元素的方法成為重要問題。注意，稀土元素主要包含在熒光物質(zhì)中。
熒光物質(zhì)還含有鉻和硫元件，從環(huán)境保持角度出發(fā)，也希望回收這些元素。
另一方面，從中回收熒光物質(zhì)的面板的內(nèi)表面光潔度幾乎完全喪失。為些，這種面板一般被粉碎成碎片，掩埋在最低控制的掩埋點(diǎn)，或再用作玻璃材料。近年來，代替將面板粉碎成碎片，提出了一種利用酸處理使內(nèi)表面光潔度復(fù)原并再利用面板的方法。然而，由于最低控制的掩埋點(diǎn)已趨于飽和，所以該方法不再有效。另外，酸處理是濕法處理，就成本和處理環(huán)境而言，不希望這樣。
考慮到上述狀況做出了本發(fā)明，其目的是提供一種有效回收顯示裝置中所含熒光物質(zhì)、在保持或使其內(nèi)表面光潔度復(fù)原的同時(shí)回收并再利用面板的方法。
(問題6)為了拆除、拆解和再利用具有保持在低于大氣壓的壓力下的氣密容器的圖像顯示裝置，必須使氣密容器內(nèi)部恢復(fù)到大氣壓。在恢復(fù)大氣壓時(shí)，由于與氣密容器內(nèi)壓的壓差較大，所以例如空氣等大量氣體常常會(huì)突然流入氣密容器內(nèi)，造成對(duì)氣密容器內(nèi)部的損傷或破壞氣密容器。從安全角度出發(fā)，不希望將氣密容器破壞成散射碎片。在CRT被粉碎成碎片并再用作玻璃材料時(shí)，這會(huì)造成嚴(yán)重問題。然而，為最大限度再利用圖像顯示裝置的每個(gè)部件，應(yīng)資源保持而言，這種破壞不僅增加了例如垃圾等廢物，而且會(huì)浪費(fèi)能量和勞動(dòng)。特別是在FPD中，容器中引入許多例如分隔件等耐大氣壓構(gòu)件。這種破壞會(huì)嚴(yán)重?fù)p傷耐大氣壓構(gòu)件，被破壞的部件會(huì)損害和破壞圖像顯示裝置氣密容器內(nèi)部，妨礙這些部分的再利用。由于分隔件側(cè)面形狀制造得均勻或分隔件上均勻涂有具有與圖像顯示裝置的規(guī)格相適應(yīng)的導(dǎo)電性的膜，以防止圖像失真，所以分隔件需要比其它部件更高的成本。
本發(fā)明解決了上述問題，其目的是通過順利地將圖像顯示裝置排空的氣密容器的內(nèi)部恢復(fù)到外壓，再利用拆除和拆解的部件。
(問題7)在平板顯示器由于制造期間或使用壽命完結(jié)產(chǎn)生缺陷而報(bào)廢時(shí)，整個(gè)顯示器被粉碎和報(bào)廢，會(huì)造成環(huán)境問題，由于元件的構(gòu)成材料包括較高成本材料，從經(jīng)濟(jì)角度考慮也是不好的。例如，屏板采用許多分隔件。由于必須將玻璃粉碎成薄片，并必須形成導(dǎo)電膜，所以分隔件需要高制造成本和長(zhǎng)時(shí)間周期。另外，適當(dāng)處理了這種狀態(tài)下需要修復(fù)的部分后，可以再利用背板、面板和支撐框架。
為此，需要沒有任何損傷地回收和再利用各部件，且在拆除由于制造或使用壽命完結(jié)而產(chǎn)生缺陷的平板顯示器時(shí)有效地回收資源。
本發(fā)明還一目的一提供一種安全、容易地將平板顯示器拆成各構(gòu)件的方法和適于這種拆解的平板顯示器。
(問題8)在拆解和分解陰極射線管、平板顯示器等時(shí)，對(duì)于回收了再利用的各分解部件后留下來的廢物，必須定量地探測(cè)有害金屬量，并且不管殘留量是否在允許值以下，必須檢測(cè)并證實(shí)殘留量，以防止環(huán)境污染/破壞。至于再利用的各分解部件，希望根據(jù)存在/不存在鉛，定量探測(cè)分解的鉛(有害金屬)殘留量。
為探測(cè)部件中的鉛，已有有采用熒光X射線等的檢測(cè)方法。然而，這種方法必須掃描被檢測(cè)部件的整個(gè)表面，對(duì)于例如玻璃碎片等被許多檢測(cè)物體來說，會(huì)變得比較麻煩。檢測(cè)物體受限，不可能進(jìn)行定量檢測(cè)，難以實(shí)施該方法。
本發(fā)明解決了該常規(guī)問題，其目的是提供一種有害金屬殘留量檢測(cè)裝置，能夠定量檢測(cè)留在例如分解的玻璃部件或廢物等檢測(cè)物體中的例如鉛等有害金屬的量，在不特別限制檢測(cè)物體的情況下能夠進(jìn)行檢測(cè)，并且容易在拆解和分解平板顯示器屏板等時(shí)沒有任何麻煩操作的情況下，能夠定量檢測(cè)有害金屬量。
(問題9)用于再利用平板顯示器屏板的拆解處理技術(shù)正在開發(fā)之中，不能直接采用常規(guī)相關(guān)技術(shù)。例如，如果采用日本公開專利申請(qǐng)9-193762中公開的陰極射線管玻璃拆解處理技術(shù)，則背板或面板的重量會(huì)加到分隔件4上，在分離分隔件4時(shí)會(huì)毀壞之。這種技術(shù)不能應(yīng)用于平板顯示器屏板的拆解。
本發(fā)明解決了該常規(guī)問題，其目的是提供一種平板顯示器拆解裝置，能夠利用合適的步驟進(jìn)行拆解處理，能夠在沒在任何損傷的情況下，回收直接可利用構(gòu)件，并且能夠再利用已回收部件。
(問題10)FPD的結(jié)構(gòu)不同于陰極射線管的結(jié)構(gòu)，需要其它處理方法。FPD通過利用熔結(jié)玻璃，通過框架氣密結(jié)合兩基板即主要含玻璃的面板和背面構(gòu)成。一般說，采用含大量鉛成分成便能進(jìn)行低溫焙燒的熔結(jié)玻璃。在某些情況下，除熔結(jié)玻璃外，布線材料和面板的構(gòu)成材料也含鉛。與陰極射線管相同的理由，必須將FPD分離成不合任何饋的玻璃和含鉛玻璃，以便再利用玻璃。另外，在再利用除玻璃外的部件時(shí)，也必須除去鉛。
為除去鉛，利用酸或堿的水溶液選擇性溶解和分離鉛成分的方法是有效的。然而，大規(guī)模實(shí)施該方法時(shí)需要大量溶解鉛的水溶液，隨后清洗步驟需要大量水。為加熱和使溶液流動(dòng)，必須用大量能量。提高了處理成本。
本發(fā)明解決了上述問題，其目的是提供一種低成本處理報(bào)廢FPD的方法。
(問題11)稀土元素幾乎無法從使用后報(bào)廢的顯示器中回收。是由于(1)每個(gè)顯示裝置中所用的稀土元素非常少，回收非常困難，且無法自動(dòng)化，(2)稀土元素不作為單質(zhì)使用，而是作為化合物或合金使用，所以分離成本高，(3)在非常希望的情況下，可以低成本得到較低成本的不重要的稀土元素。
然而，從環(huán)境保持和穩(wěn)定稀土元素源供應(yīng)的角度出發(fā)，希望促進(jìn)這些材料的回收。從工業(yè)產(chǎn)品中回收稀土元素的方法成為重要問題。某些民用產(chǎn)品制造者開始了CRTs的回收生意，因而希望立即促進(jìn)平板顯示器的回收工作。
考慮到上述問題做出了本發(fā)明，其目的是提供一種熒光物質(zhì)回收方法及裝置，能夠有效且容易地拆除平板顯示器屏板，特別是有效地回收熒光物質(zhì)。
(問題12)FPD(平板顯示器)具有不同于陰極射線管的結(jié)構(gòu)，需要其它處理方法。FPD通過利用熔結(jié)玻璃，通過框架氣密結(jié)合兩基板即主要含玻璃的面板和背面構(gòu)成。一般說，采用含大量鉛成分成便能進(jìn)行低溫焙燒的熔結(jié)玻璃。在某些情況下，除熔結(jié)玻璃外，布線材料和面板的構(gòu)成材料也含鉛。與陰極射線管相同的理由，必須將FPD分離成不含任何鉛的玻璃和含鉛玻璃，以便再利用玻璃。另外，在再利用除玻璃外的部件時(shí)，也必須除去鉛。
為除去鉛，利用酸或堿的水溶液選擇性溶解和分離鉛成分的方法是有效的。然而，大規(guī)模實(shí)施該方法時(shí)需要大量溶解鉛的水溶液，必須制備用于隨后清洗步驟的大量水。另外，為加熱和使溶液流動(dòng)，必須用大量能量。為抑制成本，在短時(shí)間內(nèi)完成處理，必須通過將它們立即放入浸泡處理槽中處理拆解報(bào)廢FPD得到的許多玻璃板。此外，在處理槽之間快速傳送玻璃板需要即時(shí)傳送大量玻璃板的傳送機(jī)構(gòu)，考慮到上述問題做出了本發(fā)明，其目的是提供一種實(shí)現(xiàn)有效且適當(dāng)浸泡處理的基板處理方法及裝置。
(問題13)在再利用基板玻璃時(shí)，要從其它部件上分離背板1和面板2，去除形成于基板上的布線、元件等，以得到單個(gè)玻璃件。玻璃件可以再用作基板，或可以粉碎成碎片，并重新用作玻璃基板或其它產(chǎn)品的材料。
然而，在玻璃基板上形成布線、電子發(fā)射元件、熔結(jié)玻璃，并用鈉鈣玻璃作基板時(shí)，可以預(yù)先在表面上形成薄膜。某些材料地會(huì)與玻璃基板緊密接觸，或某些元素會(huì)逐漸擴(kuò)散到擴(kuò)散基板中。所以，難以將薄膜從基板玻璃上完全分離下來。
在將所用玻璃粉碎成碎片并再利用它們時(shí)，如果除構(gòu)成元素外的元素混入玻璃碎片中，則混入的元素會(huì)影響玻璃的物理性質(zhì)和顏色。含雜質(zhì)元素的玻璃無法再利用。甚至在玻璃再用作基板時(shí)，也希望這種玻璃盡可能恢復(fù)到原始玻璃基板狀態(tài)。
考慮到上述問題做出了本發(fā)明，其目的是提供一種玻璃基板處理方法，實(shí)現(xiàn)基板玻璃的實(shí)際有效再利用。
下面將按利用上述本發(fā)明解決相應(yīng)問題的順序介紹本發(fā)明解決問題的方案。
(解決方案1)為實(shí)現(xiàn)上述目的，根據(jù)本發(fā)明，一種用于FPD的拆解處理方法，所說FPD具有兩基板即主要含玻璃的面板和背板利用熔結(jié)玻璃通過框架氣密結(jié)合的結(jié)構(gòu)，所說方法的特征在于，從其余部分上分離用熔線玻璃結(jié)合的框架的一部分。
根據(jù)本發(fā)明，用于引入了分隔件且在面板的內(nèi)表面上具有熒光屏的FPD的拆解處理方法，其特征在于，包括在分離用熔結(jié)玻璃結(jié)合的框架的一部分時(shí)，留下其余部分處的分隔件和熒光屏。
本發(fā)明的特征在于，切割面板和背板的一部分，從其余部分上分離用熔結(jié)玻璃結(jié)合的框架的一部分。
在本發(fā)明中，確定切割位置的方法包括探測(cè)用熔結(jié)玻璃結(jié)合的框的位置的方法(視頻攝像機(jī))。
(解決方案2)為實(shí)現(xiàn)上述目的，根據(jù)本發(fā)明一種具有以下結(jié)構(gòu)的FPD，所說FPD具有兩基板即利用熔結(jié)玻璃通過框架氣密結(jié)合的主要含玻璃的面板和背板，其特征在于，包括用硝酸溶解結(jié)合部，剝離面板與背板。在本發(fā)明中，F(xiàn)PD中可以引入利用熔結(jié)玻璃結(jié)合的分隔件。
關(guān)于用硝酸溶解熔結(jié)玻璃的方法，由于硝酸必須深深透入到熔結(jié)結(jié)合部分，所以在硝酸中浸泡結(jié)合部分的方法是安全的。本發(fā)明采用這種方法，但也可以采用例如從噴嘴向結(jié)合部分噴射硝酸的方法。
要用硝酸溶解的熔結(jié)結(jié)合部分可以采用(1)將所有結(jié)合部分全部浸入硝酸以溶解和剝離它們，并分離、粉碎和再利用各部分的方法，(2)要再利用的一部分保留，使之不被酸腐蝕，而其余部分浸入硝酸中溶解、剝離，并粉碎它們。任一種方法都可以僅分離用硝酸溶解的金屬成分中的有害鉛成分，并可以循環(huán)再利用其余元素。
(解決方案3)為實(shí)現(xiàn)上述目的，根據(jù)本發(fā)明，背板循環(huán)方法包括以下步驟在報(bào)廢圖像顯示裝置期間，將焊接部分浸在硝酸溶液中，溶解熔結(jié)玻璃；利用噴墨法形成導(dǎo)電膜；所說圖像顯示裝置至少由背板、面板和支撐框架構(gòu)成，背板具有多個(gè)電子發(fā)射元件，每個(gè)電子發(fā)射元件都由一對(duì)元件電極和導(dǎo)電膜構(gòu)成，面板具有圖像形成部件，電子發(fā)射元件發(fā)射的電子發(fā)生碰撞在圖像形成部件上形成圖像，支撐框架連接背板和面板，保持內(nèi)壓，背板、面板和支撐框架利用熔結(jié)玻璃焊接在一起。
根據(jù)本發(fā)明，通過化學(xué)溶解熔結(jié)玻璃，而不是機(jī)械切割等方法拆除背板。于是，可以在不損傷背板基板和元件電極的情況下，回收和再利用背板。廢物可以減少，可有效地利用資源，并可以降低成本。例如Pb等元素在浸泡硝酸溶液中被洗出，于是可以容易回收它們。在回收面板時(shí)，利用噴墨法形成導(dǎo)電膜。由于導(dǎo)電膜形成材料僅用在必要部分，所以導(dǎo)電膜材料的量可以減小。甚至在導(dǎo)電形成后發(fā)現(xiàn)缺陷時(shí)，也可僅再形成缺陷部分。
(解決方案4)考慮到上述問題做出了本發(fā)明。根據(jù)本發(fā)明，提供一種平板顯示器中分隔件的回收方法，平板顯示器至少具有背板、面板框架和分隔件，所說背面具有多個(gè)電子發(fā)射元件，面板設(shè)置成面對(duì)背板，具有圖像顯示部分，分隔件用于保持背板和面板間的間隔，抗大氣壓，背板、面板、框架和分隔件利用熔結(jié)玻璃焊接在一起，其特征在于，當(dāng)在硝酸溶液中浸泡分隔件與背板或面板間的焊接部分以溶解熔結(jié)玻璃時(shí)，采用分隔件回收夾具，以避免分各隔件間或分隔件與周圍部件間的接觸。
本發(fā)明的該方案中采用的分隔件回收夾具包括具有能夠存放分隔件的一個(gè)或多個(gè)凹槽的平板。另一方案中的分隔件回收夾具包括具有能夠緊壓和固定各分隔件的末端和能夠使所說末端在任意方向移動(dòng)的臂的夾具。
根據(jù)本發(fā)明，由于在拆除平板顯示器時(shí)，可以幾乎沒有損傷地回收分隔件，所以可以容易地再利用它們，可以有效地利用資源，降低成本。此外，由于回收步驟不需要任何細(xì)致的人工加工，所以可以安全地回收分隔件。
(解決方案5)根據(jù)本發(fā)明，一種從熒光物質(zhì)涂敷在基板上并引起發(fā)光以實(shí)施顯示的顯示裝置中回收熒光物質(zhì)的方法，其特征在于，利用刷子和抽吸單元回收涂敷到基板上的熒光物質(zhì)。
根據(jù)本發(fā)明的顯示裝置制造方法，其特征在于，將從其上利用本發(fā)明的從顯示裝置上回收熒光物質(zhì)的方法去除上熒光物質(zhì)的基板再用于顯示裝置。
本發(fā)明可有效地用于回收熒光物質(zhì)和例如來自如CRT或平板顯示裝置等顯示裝置的面板等基板，所說顯示裝置中，熒光物質(zhì)涂敷到例如面板等基板上，并因電子束或紫外線的輻射而發(fā)光。用刷子刷掃涂有熒光物質(zhì)的基板表面，以掃掉熒光物質(zhì)，或熒光物質(zhì)和黑底成分。在能保持或不損害基板表面光潔度的情況下，基板可以再利用，熒光物質(zhì)和黑底成分被抽吸裝置掃掉和吸起。熒光物質(zhì)和黑底被進(jìn)一步轉(zhuǎn)移到熒光物質(zhì)分離工藝。在保持或不損害表面光潔度的同時(shí)，從該步驟取出例如面板等基板，然后，基板直接再用作例如面板等基板。
關(guān)于用于通過使熒光物質(zhì)發(fā)光進(jìn)行顯示的平板顯示裝置，用電子束輻射熒光物質(zhì)的裝置包括利用電子發(fā)射元件(以后將介紹的)和利用低速電子束發(fā)光的真空熒光顯示管的顯示裝置。利用紫外線的裝置包括等離子顯示裝置。在從背面用電子束或紫外線輻射熒光物質(zhì)時(shí)，可從正面發(fā)出可見光，熒光物質(zhì)涂敷到平板顯示裝置的面板上。在從利用低速電子束輻射熒光物質(zhì)的表面上發(fā)出可見光時(shí)，像真空熒光管，熒光物質(zhì)涂敷到背板上。
(解決方案6)根據(jù)本發(fā)明，為了實(shí)現(xiàn)上述目的，一種圖像顯示裝置的特征在于，包括顯示圖像的顯示裝置、氣密容器和用于根據(jù)需要將氣密容器內(nèi)逐漸變到接近氣密容器外壓力的裝置。
本發(fā)明的特征在于，圖像顯示裝置還包括排氣裝置，用于將氣密容器內(nèi)部變?yōu)榻咏鼩饷苋萜魍獾膲毫Φ难b置設(shè)置在氣密容器上與連接排氣裝置的裝置不同的位置。將氣密容器內(nèi)部變到接近氣密容器外壓力的裝置的特征在于，包括必需的過濾器。
本發(fā)明的特征在于，包括用于顯示圖像的顯示裝置、保持外部壓力的氣密容器、氣密容器內(nèi)耐大氣壓結(jié)構(gòu)部件、與用于排空氣密容器內(nèi)的排氣裝置連接的裝置、及用于根據(jù)需要將氣密容器內(nèi)部逐漸變到接近氣密容器外壓力的裝置。
由于具有這種結(jié)構(gòu)的圖像顯示裝置具有逐漸將氣密容器內(nèi)部壓力變?yōu)榻咏髿鈮旱难b置，所以氣密容器的內(nèi)部部件幾乎不受任何由于拆除和拆解期間壓力改變?cè)斐傻膽?yīng)力。
所以，部件很少被破壞，可以防止被破壞部件片造成的二次損傷。
(解決方案7)根據(jù)本發(fā)明，一種平板顯示器，至少具有背板、面板、支撐框架、分隔件，所說背板具有多個(gè)電子發(fā)射元件，面板設(shè)置成與背板面對(duì)，具有圖像顯示部分，分隔件用于保持背板和面板間的間隔抗大氣壓，背板、面板、支撐框架和分隔件利用熔結(jié)玻璃焊接在一起，其特征在于，背板與支撐框架的結(jié)合和面板與支撐框架的結(jié)合采用具有不同軟化溫度的熔結(jié)玻璃，分隔件和基板間的結(jié)合采用具有不低于所說兩種熔結(jié)玻璃中較高軟化溫度的軟化溫度的熔結(jié)玻璃。
多種熔結(jié)玻璃中的每種的特征在于，具有與其余熔結(jié)玻璃的軟化溫度差至少20℃的軟化溫度差。
本發(fā)明中的分隔件的特征在于，與背板和面板中任一個(gè)結(jié)合。
根據(jù)本發(fā)明的平板顯示器拆解方法的特征在于，包括將平板顯示器加熱到不低于具有最低軟化溫度的熔結(jié)玻璃的軟化溫度和不高于其余熔結(jié)玻璃的軟化溫度，僅使具有最低軟化溫度的熔結(jié)玻璃熔化，選擇性僅分離用該熔結(jié)玻璃結(jié)合的結(jié)合部分，重復(fù)相同的過程，然后從利用具有較低軟化溫度的熔結(jié)玻璃的結(jié)合部分上分離平板顯示器屏板。
分離用具有最高軟化溫度的熔結(jié)玻璃結(jié)合的結(jié)合部分的方法，包括加熱熔結(jié)玻璃到不低于熔化該熔結(jié)玻璃的軟化溫度，從而分離該結(jié)合部分的方法，或或以包括用合適的溶劑溶解該熔結(jié)玻璃，分離結(jié)合部分的方法。
一種具有氣密容器的平板顯示器，所說氣密容器內(nèi)至少存放一個(gè)具有多個(gè)電子發(fā)射元件的基板和一個(gè)設(shè)置成面對(duì)所說基板并具有圖像顯示部分的基板，其特征在于，各基板與氣密容器間的結(jié)合部分利用具有對(duì)應(yīng)不同拆解順序的軟化溫度的熔結(jié)玻璃結(jié)合。
一種平板顯示器，具有至少一個(gè)背板、一個(gè)面板和一個(gè)支撐框架作構(gòu)件，所說背板具有多個(gè)電子發(fā)射元件，所說面板設(shè)置成面對(duì)所說背板，并具有圖像顯示部分，所說支撐框架用于支撐各基板，各構(gòu)件用熔結(jié)玻璃焊接，其特征在于，背板和支撐框架的結(jié)合及面板和支撐框架的結(jié)合采用具有不同軟化溫度的熔結(jié)玻璃。
具有存放電子發(fā)射元件的外殼的平板顯示器，其特征在于，構(gòu)成外殼的背板和支撐框架間的結(jié)合和面板與支撐框架間的結(jié)合采用兩種具有不同軟化溫度的熔結(jié)玻璃，用于保持各基板間的間隔的分隔件與至少一個(gè)基板間的結(jié)合部分采用軟化溫度高于兩種熔結(jié)玻璃的軟化溫度或等于任一種熔結(jié)玻璃的軟化溫度的熔結(jié)玻璃結(jié)合。
一種平板顯示器拆解方法，其特征在于，包括在拆解平板顯示器時(shí)，逐步加熱平板顯示器，然后熔化和從利用具有較低熔結(jié)玻璃的熔結(jié)玻璃的結(jié)合部分分離平板顯示器，從而拆解平板顯示器。
在根據(jù)本發(fā)明的平板顯示器中，可以依次分離構(gòu)成外殼的部件，所以可以在拆解期間不損傷外殼和內(nèi)部部件的情況下，利用安全且簡(jiǎn)單的方法回收各部件。因此，各部件可以作為再利用部件回收，有效利用了資源，降低了成本。
(解決方案8)為實(shí)現(xiàn)上述目的，用于檢測(cè)例如為循環(huán)而拆解和分解的部件或廢物等檢測(cè)物體中所含如鉛等有害金屬的量的有害金屬殘留量檢測(cè)裝置，包括第一洗出裝置，在用于浸泡檢測(cè)物體的槽中具有用于洗出檢測(cè)物體中所含有害金屬的酸溶液；清洗裝置，用于在利用第一洗出裝置洗出后，清洗檢測(cè)物體；第二洗出裝置，在用于浸泡利用清洗裝置清洗過的檢測(cè)物質(zhì)的槽中，具有用于洗出留在檢測(cè)物體上的有害金屬的酸溶液；及定量檢測(cè)裝置，用于定量檢測(cè)第二洗出裝置的酸溶液中洗出的有害金屬量。
在本發(fā)明的有害金屬殘留量檢測(cè)裝置中，檢測(cè)物體浸泡在第一洗出裝置的槽中，以便用槽中的酸溶液洗出檢測(cè)物體中含有的有害金屬。然后，檢測(cè)物體被轉(zhuǎn)移到清洗裝置，在此進(jìn)行清洗。然后，檢測(cè)物質(zhì)浸泡在第二洗出裝置的槽中，以利用槽中的酸溶液洗出留在檢測(cè)物體上的有害金屬。這種洗出溶液提供到定量檢測(cè)裝置，在此定量檢測(cè)洗出溶液中所含有害金屬的量。
因此，在拆解和分解平板顯示器等時(shí)，可以定量檢測(cè)例如鉛等留在如分解玻璃部件等檢測(cè)物體上的有害金屬的量。
(解決方案9)根據(jù)本發(fā)明，一種平板顯示器拆解裝置，用于拆解和回收平板顯示器，所說平板顯示器中，框架部件插在背板和面板間，構(gòu)面扁平真空容器，用于保持兩板間間隙抗大氣壓的分隔件固定在兩板上或兩板之一上，所說平板顯示器拆解裝置包括第一支撐裝置，用于在固定于支撐該板的分隔件上的板上加拉力，以便進(jìn)行從真空容器上分離框架的步驟；第二支撐裝置，用于在框架分離后容納和支撐固定于分隔件上的板的一個(gè)邊緣；分隔件回收裝置，用于進(jìn)行從利用第二支撐部件容納和支撐的板上分離分隔件。
根據(jù)本發(fā)明的平板顯示器拆解裝置，還包括傳送裝置，用于在從真空容器上分離了框架部件的步驟后，容納來自第一支撐裝置的支撐板，容納和支撐該板的一個(gè)邊緣，并將該板傳送到第二支撐裝置。
在根據(jù)本發(fā)明的平板顯示器拆解裝置中，傳送裝置具有防止固定到分隔件上的板的負(fù)載加于分隔件上的結(jié)構(gòu)。
在根據(jù)本發(fā)明的具有這種設(shè)置的平板顯示器拆解裝置中，第一支撐裝置通過在從真空容器上分離框架部件的步驟中施加拉力，支撐固定于分隔件上的板。分隔件是懸空的，不受固定板的重量作用，可以在不對(duì)分隔件施加任何負(fù)載的情況下分離框架部件。
框架分離后，第二支撐裝置容納和支撐固定到分隔件上的板的邊緣。此時(shí)，分隔件是懸空的，不受固定板的重量作用。從第二支撐裝置容納和支撐的板上分離分隔件的步驟，在保持板被容納和支撐的同時(shí)，由分隔件回收裝置進(jìn)行。另外，在分隔件分離/回收步驟，分隔件不受額外的重量作用，可以防止損傷。
(解決方案10)根據(jù)本發(fā)明，一種用于平板顯示器的平板顯示器拆解處理方法，所說平板顯示器具有這樣的結(jié)構(gòu)，其中兩基板即主要含玻璃的面板和背板通過框架利用含鉛熔結(jié)玻璃被氣密結(jié)合，所說方法的特征在于，包括以下步驟從將報(bào)廢的平板顯示器上分離和取出包括面板的部分和包括背板的部分；分別收集多個(gè)包括面板的取出部分和包括背板的取出部分，分別立刻將這些部分放入處理槽中，進(jìn)行浸泡處理。
本發(fā)明還包括以下特征“浸泡處理包括利用酸或堿的水溶液處理；”“浸泡處理包括利用酸或堿的水溶液處理，和隨后用水或有機(jī)溶劑清洗；”“通過使處理槽中的處理溶液流動(dòng)進(jìn)行浸泡處理；”“通過使處理溶液在處理槽和外界間循環(huán)，進(jìn)行浸泡處理；”“通過加熱處理溶液進(jìn)行浸泡處理；”及“通過對(duì)要處理物體施加振動(dòng)或超聲波，進(jìn)行浸泡處理。”(解決方案11)根據(jù)本發(fā)明，一種用于固定通過框架結(jié)合一對(duì)彼此面對(duì)的屏板得到的平板主體的平板主體固體裝置，包括設(shè)置成相對(duì)于平板主體可收縮以便包圍設(shè)于基座上的平板主體的固定夾具，其中固定夾擺動(dòng)，并從平板主體周圍與平板主體接觸，從而固定平板主體。
根據(jù)本發(fā)明的平板主體固定裝置，其特征在于，還包括用于相對(duì)于平板主體來回移動(dòng)固定夾具的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)；用于根據(jù)固定夾具的移動(dòng)量檢測(cè)固定夾具的位置的位置檢測(cè)裝置；及用于控制驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的控制器，平板主體的尺寸由利用位置檢測(cè)裝置得到的固定夾具的位置信息檢測(cè)。
根據(jù)本發(fā)明的平板主體固定裝置，其特征在于，還包括用于通過形成于基座中的吸持孔吸持和固定平板主體的吸持裝置。
根據(jù)本發(fā)明，一種用于回收平板顯示器中的熒光物質(zhì)的平板顯示器熒光物質(zhì)回收裝置，所說平板顯示器包括面板、背板和框架，該平板顯示器由于電子輻射涂敷于面板上的熒光物質(zhì)而發(fā)光，所說裝置的特征在于，包括上述固定裝置，面板由固定夾具從四個(gè)方向被固定。
根據(jù)本發(fā)明的平板顯示器熒光物質(zhì)回收裝置，其特征在于，該裝置包括多個(gè)用于從由固定裝置固定的面板回收熒光物質(zhì)的處理裝置，所說處理裝置由控制器根據(jù)位置檢測(cè)裝置得到的位置信息進(jìn)行驅(qū)動(dòng)。
根據(jù)本發(fā)明的平板顯示器熒光物質(zhì)回收裝置，其特征在于，處理裝置包括用于分離面板與背板的切割裝置；和用于掃掉和抽吸面板上的熒光物質(zhì)的回收裝置。
根據(jù)本發(fā)明的平板顯示器熒光物質(zhì)回收裝置，其特征在于，切割裝置的切割器和回收裝置的回收刷的處理操作受所說控制器的控制，從而在預(yù)定加工范圍內(nèi)進(jìn)行加工。
根據(jù)本發(fā)明的平板顯示器熒光物質(zhì)回收裝置還包括用于檢測(cè)留在面板上的熒光物質(zhì)的量的熒光物質(zhì)檢測(cè)裝置，回收裝置的動(dòng)作根據(jù)熒光物質(zhì)檢測(cè)裝置所得到的熒光物質(zhì)量信息而受控制。
根據(jù)本發(fā)明的平板顯示器熒光物質(zhì)回收裝置，其特征在于，熒光物質(zhì)量信息由透射過面板的可見光的透射率或吸收限定。
根據(jù)本發(fā)明的平板顯示器熒光物質(zhì)回收裝置，其特征在于，熒光物質(zhì)量信息由用紫外線或可見光輻射面板的內(nèi)表面產(chǎn)生的熒光強(qiáng)度限定。
根據(jù)本發(fā)明的平板顯示熒光物質(zhì)回收裝置，其特征在于，熒光物質(zhì)檢測(cè)裝置在回收裝置的回收刷的工作范圍內(nèi)移動(dòng)。
根據(jù)本發(fā)明，一種回收平板顯示器中熒光物質(zhì)的平板顯示器熒光物質(zhì)回收方法，其中平板顯示器包括面板、背板和框架，并通過用電子輻射涂敷于面板上的熒光物質(zhì)而發(fā)光，所說方法的特征在于，包括以下步驟擺動(dòng)固定夾具，從設(shè)置于基座上的平板顯示器的四個(gè)方向固定平板顯示器；分離固定的平板顯示器的面板和背板；及掃除和抽吸面板的熒光物質(zhì)的回收步驟。
根據(jù)本發(fā)明的平板顯示器熒光物質(zhì)回收方法，其特征在于，還包括以下步驟根據(jù)用于固定平板顯示器的固定夾具的移動(dòng)量，檢測(cè)固定夾具的位置。
根據(jù)本發(fā)明的平板顯示器熒光物質(zhì)回收方法，其特征在于，還包括以下步驟通過形成于基座中的吸持孔，吸持和固定平板顯示器。
根據(jù)本發(fā)明的平板顯示器熒光物質(zhì)回收方法，其特征在于，控制利用切割器的切割工作，以便在分離面板和背板期間，根據(jù)固定夾具的位置信息，匹配面板的尺寸。
根據(jù)本發(fā)明的平板顯示器熒光物質(zhì)回收方法，其特征在于，控制利用回收刷的回收工作，以便在回收面板的熒光物質(zhì)期間，根據(jù)固定夾具的位置信息，匹配面板的尺寸。
根據(jù)本發(fā)明的平板顯示器熒光物質(zhì)回收方法，其特征在于，還包括以下步驟檢測(cè)面板上留下的熒光物質(zhì)的量，并根據(jù)所檢測(cè)熒光物質(zhì)量信息控制所說回收刷的工作。
根據(jù)本發(fā)明的平板顯示器熒光物質(zhì)回收方法，其特征在于，還包括以下步驟控制收刷，使之在回收刷工作范圍內(nèi)移動(dòng)。
根據(jù)本發(fā)明，基座上的平板顯示器通過擺動(dòng)固定夾具，由固定夾具從平板顯示器的四個(gè)方向固定。此時(shí)，根據(jù)固定夾具的移動(dòng)量，檢測(cè)移固定夾具的位置，該位置信息可有效地應(yīng)用于隨后的加工步驟。即，在驅(qū)動(dòng)用于分離面板和背板的切割器時(shí)，利用固定夾具的位置信息，控制用于掃除和抽吸面板上的熒光物質(zhì)的回收刷、切割器和回收刷的工作范圍。
結(jié)果，可以有效且可靠地回收面板上的熒光物質(zhì)。固定夾具可有效地隨平板顯示器的屏板尺寸而改變，所以非常實(shí)用。
(解決方案12)根據(jù)本發(fā)明，一種拆解主要由通過框架氣密結(jié)合的一對(duì)玻璃基板構(gòu)成的基板的基板處理方法，其特征在于，包括以下步驟分離該對(duì)結(jié)合的基板；保持多個(gè)分離的基板以預(yù)定間隙彼此平行；立即傳送多個(gè)固定的基板，進(jìn)行預(yù)定處理。
根據(jù)本發(fā)明的基板處理方法，其特征在于，固定各基板，使各基板的表面基本上垂直站立。
根據(jù)本發(fā)明的基板處理方法，其特征在于，通過線性接觸各基板的預(yù)定部分支撐各基板。
根據(jù)本發(fā)明，一種拆解主要由通過框架氣密結(jié)合的一對(duì)玻璃基板構(gòu)成的基板的基板處理方法，其特征在于，包括以預(yù)定間隙彼此平行設(shè)置有多個(gè)支撐部件，分離的各基板固定在各支撐部件之間，以便基本上垂直站立。
根據(jù)本發(fā)明的基板處理方法，其特征在于，至少與各基板接觸的支撐部件部分是圓形或弧形。
根據(jù)本發(fā)明，一種用于平板顯示器的平板顯示器拆解處理方法，所說平板顯示器具有這樣的結(jié)構(gòu)，其中由一對(duì)主要含玻璃的基板構(gòu)成的面板和背面，利用含鉛熔結(jié)玻璃，通過框架氣密結(jié)合，所方法的特征在于，包括在傳送從要拆解的平板顯示器取出的玻璃基板，并進(jìn)行浸泡處理時(shí)，利用上述基板處理方法之一處理面板或背板。
根據(jù)本發(fā)明的平板顯示器拆解處理方法，其特征在于，包括采用上述基板處理裝置。
本發(fā)明包括用于固定玻璃板以便立即傳送許多拆解報(bào)廢的FPDs得到的玻璃板，并進(jìn)行浸泡處理的裝置。由于較好是立即固定許多基板，本發(fā)明可以實(shí)現(xiàn)低成本處理報(bào)廢FPDs的方法。
(解決方案13)根據(jù)本發(fā)明，一種檢測(cè)玻璃基板的表面狀態(tài)并根據(jù)檢測(cè)結(jié)構(gòu)處理基板表面的玻璃基板處理方法，其特征在于，包括檢測(cè)步驟，用一次X射線輻射玻璃基板表面，檢測(cè)所產(chǎn)生的熒光X射線，以檢測(cè)玻璃基板表面上存在的元素；去除步驟，根據(jù)檢測(cè)步驟的檢測(cè)結(jié)果，去除玻璃基板表面上除玻璃構(gòu)成元素外的元素。
根據(jù)本發(fā)明的玻璃基板處理方法，其特征在于，檢測(cè)玻璃基板表面上存在的元素的檢測(cè)步驟，包括根據(jù)玻璃基板的尺寸改變玻璃基板與熒光X射線檢測(cè)儀的相對(duì)位置。
根據(jù)本發(fā)明的玻璃基板處理方法，其特征在于，熒光X射線檢測(cè)儀用一次X射線輻射比熒光X射線可以檢測(cè)的區(qū)域更寬的區(qū)域。
根據(jù)本發(fā)明的玻璃基板處理方法，其特征在于，在一次X射線入射到玻璃基板上時(shí)的入射角不大于一次X射線的臨界角。此外，根據(jù)本發(fā)明的玻璃基板處理方法，其特征在于，通過拋光玻璃基板表面，進(jìn)行用于玻璃基板表面的去除步驟。
根據(jù)本發(fā)明的玻璃基板處理方法，其特征在于，重復(fù)進(jìn)行用于玻璃基板表面的檢測(cè)步驟和去除步驟。
根據(jù)本發(fā)明，一種平板顯示器的玻璃基板循環(huán)處理方法，所說平板顯示器包括背板、面板和支撐框架，所說背面具有形成于玻璃基板上的多個(gè)電子發(fā)射元件，所說面板具有形成于玻璃基板上的圖像顯示部分，所說支撐框架結(jié)合各板，使它們彼此面對(duì)，所說方法的特征在于，包括在背板和面板分離和取出后，對(duì)背板或面板的基板表面進(jìn)行上述處理方法。
根據(jù)本發(fā)明的平板顯示器玻璃基板回收處理方法，其特征在于，在背板的玻璃基板上形成主要含Ag的布線。
根據(jù)本發(fā)明的平板顯示器玻璃基板回收處理方法，其特征在于，在構(gòu)成背板的玻璃基板表面上，形成含除玻璃構(gòu)成元素外的元素的薄膜。
根據(jù)本發(fā)明的玻璃基板回收處理方法，其特征在于，熔化結(jié)合背板、面板和框架的熔結(jié)玻璃，分離背板、面板和框架。
根據(jù)本發(fā)明，一種平板顯示器玻璃基板回收處理裝置，所說平板顯示器包括背板、面板和支撐框架，所說背面具有形成于玻璃基板上的多個(gè)電子發(fā)射元件，所說面板具有形成于玻璃基板上的圖像顯示部分，所說支撐框架結(jié)合各板，使它們彼此面對(duì)，所說裝置的特征在于，包括用X射輻射構(gòu)成分離/取出的背板或面板的玻璃基板的表面，并檢測(cè)所產(chǎn)生熒光X射線，以檢測(cè)存在于玻璃基板表面上的元素的機(jī)構(gòu)；去除玻璃基板表面上除玻璃構(gòu)成元素外的元素的機(jī)構(gòu)。
根據(jù)本發(fā)明，利用簡(jiǎn)單的方法便可以檢測(cè)玻璃基板表面上的殘留物，在處理所用基板玻璃的步驟中，可以去掉除玻璃構(gòu)成元素外的所有元素。因而，可以沒有浪費(fèi)地有效再利用玻璃。


圖1A是展示利用根據(jù)本發(fā)明的拆解處理方法處理過的平板顯示器的例子的局部切除透視圖；圖1B是圖1A所示平板顯示器的剖面圖；圖2是展示根據(jù)本發(fā)明的平板顯示器中表面?zhèn)鲗?dǎo)型電子源顯示器的示意圖；圖3A是展示在根據(jù)本發(fā)明的平板顯示器處理方法中平板切割位置的平面圖；圖3B是圖3A所示平板的剖面圖；圖4是展示根據(jù)本發(fā)明的FPD拆解處理方法的流程圖；圖5是展示根據(jù)本發(fā)明的報(bào)廢平板顯示器拆解方法的各步驟的流程圖；圖6A是展示利用本發(fā)明的方法同時(shí)拆解整個(gè)屏板的狀態(tài)的放大示圖；圖6B是分離圖6A所示屏板的各部分的狀態(tài)的示圖；圖7A是展示在本發(fā)明的方法中拆解屏板同時(shí)留下其某部分的示圖；圖7B是展示提拉圖7A所示配有分隔件的面板的狀態(tài)的示圖；圖8A是展示在本發(fā)明的方法中，拆解屏板同時(shí)留下其某部分的示圖；圖8B是展示提拉圖8A所示背板的狀態(tài)的示圖；圖9是示意性展示將利用本發(fā)明的方法拆解的作為FPD的表面?zhèn)鲗?dǎo)型電子源顯示器(SED)的透視圖；圖10是展示具有將根據(jù)本發(fā)明循環(huán)的背板的圖像顯示裝置的例子的局部切除透視圖；圖11A是展示根據(jù)本發(fā)明的背板回收/循環(huán)方法的各步驟的介紹圖；圖11B是展示剝離圖11A中的背板的狀態(tài)的示圖；圖12是展示利用本發(fā)明的循環(huán)方法清洗的背板基板的例子的透視圖；圖13A-13E是介紹在背板上形成電子發(fā)射元件的各步驟的示意圖；圖14是展示利用本發(fā)明的循環(huán)方法清洗的背板基板的另一例子的透視圖；圖15是展示根據(jù)本發(fā)明的分隔件回收方法的實(shí)施例的示圖；圖16A是展示本發(fā)明方法所用分隔件回收容器的平面圖；圖16B是展示圖16A中的分隔件回收容器的剖面圖；圖17A是展示本發(fā)明方法所用另一分隔件回收容器的平面圖；圖17B是展示圖17A中的分隔件回收容器的剖面圖；圖18是展示根據(jù)本發(fā)明的分隔件回收方法的另一實(shí)施例示圖；圖19A和19B是展示本發(fā)明中的分隔件的示圖；圖20A-20E是根據(jù)本發(fā)明回收分隔件時(shí)各步驟的例子的示圖；圖21是展示本發(fā)明的平板顯示器屏板切割方法的示圖；圖22a-22D是展示本發(fā)明的回收分隔件時(shí)各步驟的另一例子的示圖；圖23A-23E是展示本發(fā)明的回收分隔件時(shí)各步驟的再一例子的示圖；圖24A-24C是展示本發(fā)明的回收分隔件時(shí)各步驟的又一例子的示圖；圖25是展示根據(jù)本發(fā)明從顯示裝置回收熒光物質(zhì)的各步驟的流程圖；圖26是展示旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)型刷子的操作的示圖；圖27是展示杵搗運(yùn)動(dòng)型刷子的操作的示圖；圖28A和28B分別是展示刷子和抽吸單元的不同結(jié)構(gòu)的示圖；圖29是展示利用分隔件的顯示裝置的透視圖；圖30是展示本發(fā)明的圖像顯示裝置的結(jié)構(gòu)的示意圖；圖31是展示根據(jù)本發(fā)明作為圖像顯示裝置的一個(gè)例子的FPD的透視圖；
圖32是展示根據(jù)本發(fā)明作為圖像顯示裝置的另一個(gè)例子的SED的透視圖；圖33A和33B分別是展示本發(fā)明的平板顯示器的實(shí)施例的剖面圖和平面圖；圖34A-34D是展示本發(fā)明平板顯示器拆解方法的一個(gè)實(shí)施例的示圖；圖35A-35C是展示本發(fā)明平板顯示器拆解方法的另一實(shí)施例的示圖；圖36A-36E是展示本發(fā)明平板顯示器拆解方法的再一實(shí)施例的示圖；圖37A是展示根據(jù)本發(fā)明的電子發(fā)射元件的一個(gè)例子的示圖；圖37B是展示圖37A中電子發(fā)射元件的剖面圖；圖38A-38C是展示根據(jù)本發(fā)明的平板顯示器制造方法的一個(gè)實(shí)施例的示圖；圖39A-39C是展示根據(jù)本發(fā)明的平板顯示器制造方法的另一實(shí)施例的示圖；圖40A-40C是展示根據(jù)本發(fā)明的平板顯示器制造方法的再一實(shí)施例的示圖；圖41是展示根據(jù)本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的有害金屬殘留量檢測(cè)裝置的設(shè)置的示圖；圖42是依次介紹利用圖41所示有害金屬殘留量檢測(cè)裝置的檢測(cè)處理的流程圖；圖43A是展示平板顯示器的局部切除透視圖；圖43B是展示圖43A中平板顯示器的剖面圖；圖44A是展示根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的平板顯示器拆解裝置的設(shè)置的透視圖；圖44B是展示圖44A中的拆解裝置的平面圖；圖45是圖44A和44B中工作臺(tái)和支撐裝置的側(cè)示圖；圖46A是展示圖44中傳送裝置的正視圖；
圖46B是展示圖44中傳送裝置的側(cè)示圖；圖47A是展示圖44A和44B中傳送裝置的另一例子的正視圖；圖47B是展示圖44A和44B中傳送裝置的側(cè)示圖；圖48是展示圖44A和44B中分隔件回收夾具的側(cè)視圖；圖49是展示圖44A和44B中分隔件回收夾具的另一例子的側(cè)視圖；圖50是依次介紹利用圖44A和44B中所示平板顯示器拆解裝置的拆解步驟的流程圖；圖51A是展示根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施例的平板顯示器拆解裝置的設(shè)置的透視圖；圖51B是展示圖51A中拆解裝置的平面圖；圖52是展示根據(jù)本發(fā)明FPD拆解處理方法中液體處理槽的設(shè)置的示意圖；圖53是介紹根據(jù)本發(fā)明的FPD拆解處理方法的流程圖；圖54是展示根據(jù)本發(fā)明的熒光物質(zhì)回收處理的基本步驟的流程圖；圖55A是展示根據(jù)本發(fā)明的可移動(dòng)停止型固定夾具有設(shè)置的平面圖；圖55B是展示圖55A中可移動(dòng)停止型夾具的側(cè)示圖；圖56是展示根據(jù)本發(fā)明面板和背板的分離步驟的透視圖；圖57是展示根據(jù)本發(fā)明回收刷的結(jié)構(gòu)和操作的示圖；圖58是展示根據(jù)本發(fā)明從平板顯示器回收熒光物質(zhì)的各步驟的示圖；圖59示出了根據(jù)本發(fā)明的FPD拆解處理方法的玻璃板支撐機(jī)構(gòu)。
圖60是展示根據(jù)本發(fā)明的FPD拆解處理方法的液體處理槽的設(shè)置的示圖。
圖61是展示根據(jù)本發(fā)明的FPD拆解處理方法的各步驟的一個(gè)例子的流程圖；圖62是展示根據(jù)本發(fā)明的平板顯示器拆解處理步驟的流程圖；圖63是展示根據(jù)本發(fā)明用于檢測(cè)玻璃基板表面上存在的元素的熒光X射線分析裝置的示圖；
圖64A和64B是展示根據(jù)本發(fā)明在全反射型熒光X射線分析裝置中改變樣品和檢測(cè)儀的相對(duì)位置的狀態(tài)的示意圖；圖65是展示根據(jù)本發(fā)明的全反射型熒光X射線分析裝置中一次X射線的輻射區(qū)的示意圖；圖66A和66B是展示根據(jù)本發(fā)明的全反反射型熒光X射線分析裝置中熒光X射線的檢測(cè)區(qū)的示意圖；圖67是展示根據(jù)本發(fā)明的玻璃基板表面拋光裝置的示意圖；圖68A是展示可用于本發(fā)明的電子發(fā)射元件的平面圖；圖68B是展示圖68A中電子發(fā)射元件的剖面圖；圖69A和69B是展示形成用于本發(fā)明的電子發(fā)射元件時(shí)施加電壓的波形順序圖。
具體實(shí)施例方式
下面將結(jié)合附圖具體介紹本發(fā)明的各實(shí)施例。各實(shí)施例和實(shí)例的數(shù)量對(duì)應(yīng)于上述問題和解決方案的數(shù)量。
(實(shí)施例1)下面將結(jié)合附圖具體介紹本發(fā)明的實(shí)施例1。該實(shí)施例將例示用于FPD的拆解處理，所說FPD中引入了分隔件，并在面板的內(nèi)表面上具有熒光屏，如圖1A、1B和2所示。
圖1A和1B中，參考數(shù)字1表示背板，2是面板，3是框架，4是分隔件。含鉛熔結(jié)玻璃5用于圖1A和1B中黑色部分所示的背板1、面板和框架3之間的結(jié)合部分。
分隔件4利用熔結(jié)玻璃等，結(jié)合到面板側(cè)和背板側(cè)的任一個(gè)上或這兩側(cè)上。該實(shí)施例中，分隔件4僅結(jié)合到面板側(cè)。背板、面板和框架材料的例子有二氧化硅玻璃、含例如Na等少量雜質(zhì)的玻璃、鈉-鈣玻璃和在鈉鈣玻璃上層疊二氧化硅層制備的玻璃。在面板上，在玻璃板2a的內(nèi)表面上形成有熒光膜2b，在熒光膜的內(nèi)表面上形成有含Al的金屬敷層2c。分隔件基本由玻璃構(gòu)成。分隔件的表面可以涂敷抗靜電膜。
此外，用于排空FPD的排氣管(未示出)一般固定在FPD上。一般說，排氣管由含鉛低熔點(diǎn)玻璃構(gòu)成。
圖2示出了作為FPD的一個(gè)例子的表面?zhèn)鲗?dǎo)型電子源顯示器(SED)、圖2中，表面?zhèn)鲗?dǎo)型電子源11及用于驅(qū)動(dòng)電子源的布線12和13形成在背板上。布線12和13是X方向(Dox1，Dox2…，Doxm)和Y方向(Doy1，Doy2…，Doyn)元素布線，由Ag、 Pd等構(gòu)成。X方向布線和Y方向布線通過至少在它們交叉點(diǎn)處的絕緣層絕緣。絕緣層由含大量鉛的玻璃構(gòu)成。
如上所述，F(xiàn)PD的各部分采用含鉛材料。這些部分中，框架上的熔結(jié)玻璃含大量鉛。本發(fā)明的特征在于，與其余部分分開處理框架。即，如圖3A和3B所示，根據(jù)本發(fā)明的FPD拆解處理方法，在切割線A-A、A’-A’、B-B、B’-B’切割FPD。
圖4是展示介紹本發(fā)明該實(shí)施例的FPD器件拆解處理方法的各步驟的流程圖。作為該方法前半部分的步驟(1)-(3)是預(yù)定處理步驟，包括從FPD器件的外殼中取出FPD，并去除附屬布線和端子。在步驟(4)-(6)，利用適當(dāng)?shù)姆椒ǎ尫臚PD中的真空，然后拆下排氣管，由于排氣管含鉛，所以處理之，并再用作含鉛玻璃。
在步驟(7)測(cè)量FPD，取得關(guān)于用熔結(jié)玻璃密封框架的區(qū)域的面積的，信息確定切割位置。一般說，熔結(jié)玻璃是黑的，它的存在可以通過玻璃基板光學(xué)探測(cè)。更具體說，通過利用視頻攝像機(jī)圖像探測(cè)FPD，可以測(cè)量用熔結(jié)玻璃密封框架的區(qū)域的面積，并對(duì)所得視頻圖像進(jìn)行圖像分析。這種情況下，切割線設(shè)在用熔結(jié)玻璃密封框架的區(qū)域內(nèi)。在已知框架的位置和寬度落入預(yù)定范圍時(shí)，簡(jiǎn)單地檢測(cè)FPD的邊緣，設(shè)定離開邊緣一定距離的線為切割線。
步驟(8)是框架和其余部分的分離步驟。沿步驟(7)設(shè)定的切割線切割框架。切割方法可以是切割玻璃的一般方法。切割方法包括(1)用硬金屬輥刻劃玻璃，并在報(bào)廢部分上施加熱應(yīng)力，(2)金剛石切割據(jù)，(3)金剛石輪，(4)激光處理，(5)超聲處理。利用該步驟，將刻劃的FPD分成四部分，即框架(9)、內(nèi)屏板部件(11)、面板(13)和背板部分(20)。下面將介紹各部件的處理方法。
粉碎框架(9)，并再用作含鉛玻璃(10)。
如果步驟(11)中存在作為內(nèi)屏板部件的分隔件(玻璃制的)、柵(金屬制的)等，則回收并再利用它們(步驟(12))。
關(guān)于步驟(13)中的面板，在步驟(14)去除熒光物質(zhì)，在步驟(15)回收之。步驟(16)是去除殘留熔結(jié)玻璃的步驟。該步驟中回收了殘留熔結(jié)玻璃中的鉛后，在步驟(18)將玻璃基板粉碎成玻璃碎片。步驟(19)可以再用這些玻璃碎片作面板和背板基板。
關(guān)于步驟(20)中的背板，在步驟(21)去掉布線，回收布線中含有金屬(Ag、Pb等)，并在步驟(23)將玻璃基板粉碎成玻璃碎片。步驟(24)可以再用這些玻璃碎片作面板和背板基板。
(例1)下面將結(jié)合圖1A和1B-4采用例1具體介紹本發(fā)明。
(例1-1)拆解圖2所示矩陣驅(qū)動(dòng)方式的表面?zhèn)鲗?dǎo)型電子源顯示器(SED)。該SED具有圖1所示含分隔件的屏板結(jié)構(gòu)。
根據(jù)圖4中FPD器件的拆解處理流程，從SED器件的外殼中取出SED，去掉附屬布線和端子。然后，取消SED中的真空，去掉排氣管。處理排氣管，并再用作含鉛玻璃。
用視頻攝像機(jī)圖像探測(cè)該SED，利用圖像處理裝置獲取其圖像。可以把施加熔結(jié)玻璃的圖像區(qū)域識(shí)別為比其余部分暗的區(qū)域。圖像被二進(jìn)制化(binarized)，以便測(cè)量施加熔結(jié)玻璃區(qū)域的面積。
執(zhí)行拆解預(yù)處理步驟(1)-(5)。從平板顯示裝置中取出平板顯示器，并裝載所得平板顯示裝置(步驟(1)和(2))。去除附屬布線和端子(步驟(3))。利用適當(dāng)?shù)奶幚砝缃獬艢夤馨惭b部分的密封，取消真空容器的真空。真空容器的內(nèi)部恢復(fù)到大氣壓(步驟(4))。然后，拆下排氣管(步驟(5))?；厥詹⒃倮门艢夤?步驟(6))。測(cè)量平板顯示器的尺寸，確定其切割線(步驟(7))。
然后，從平板顯示器20上分離框架部件3(步驟(8))。這種分離采用將楔形刀具壓進(jìn)框架部分3與兩板1和2之間的結(jié)合部分以便分離它們的方法或噴涂硝酸溶液的方法。
粉碎在步驟(7)分離的框架部件3(步驟(9))，并再用作循環(huán)使用的新玻璃材料(步驟(10))。
回收分隔件4(步驟(11))。此時(shí)，分離并回收分隔件4(步驟(12))。
回收了分隔件4后，如果板部件是面板2(步驟(13))，則從面板2上回收熒光物質(zhì)2b(步驟(14))，并粉碎面板2。同時(shí)，去除鉛成分，將面板2再用作循環(huán)再利用的新玻璃材料(步驟(15))。然后，去除殘留的熔結(jié)玻璃(步驟(16))。粉碎玻璃基板(步驟(18))，并再用作基板玻璃(步驟(19))。
如果板部件是背板1(步驟(20))，則從背板1上去除布線(步驟(21))。粉碎背板1(步驟(23))，并再用作循環(huán)再利用的新玻璃材料(步驟(24))。
根據(jù)測(cè)量結(jié)果，在用熔結(jié)玻璃密封框架的區(qū)域內(nèi)，設(shè)定切割線A-A、A’-A’、B-B、B’-B’。在施加研磨溶液的同時(shí)，用金剛石切割鋸沿切割線切割SED。
通過切割，將SED分成框架部分3、面板2、和背板1。切割中某些分隔件4脫落，某些分隔件4保持與面板2的粘附。人工回收所有分隔件4，篩選并再利用可再利用的分隔件4。
粉碎框架部件3，并再用作含鉛玻璃材料。從面板2上去除了熒光物質(zhì)后，用硝酸去除殘留的熔結(jié)玻璃，粉碎并再利用玻璃基板。從背板1上去掉布線后，粉碎并再利用玻璃基板。
(例1-2)拆解圖2所示矩陣驅(qū)動(dòng)方式的表面?zhèn)鲗?dǎo)型電子源顯示器(SED)。到設(shè)定切割線A-A、A’-A’、B-B、B’-B’的步驟為止與例1-1中的相同。用硬金屬輥沿SED的切割線刻劃SED。然后，用氣體燃燒器加熱刻劃的部分，氣體燃燒器中在城市氣(city gas)中加入氧。結(jié)果，沿切割線切割玻璃，將SED分成框架部分3、面板2和背板1。隨后的步驟與例1-1相同。
由于例1-2不采用任何研磨溶液，所以可以容易地回收和再利用各部件。
(實(shí)施例2)下結(jié)合附圖具體介紹本發(fā)明的實(shí)施例2。
圖5是展示根據(jù)本發(fā)明的本實(shí)施例的FPD拆解處理方法的流程圖。該實(shí)施例將例示如圖1所示具有分隔件的FPD的拆解處理。
圖1中，參考數(shù)字1表示背板；2是面板；3是框架；4是分隔件。含鉛熔結(jié)玻璃5用作圖1A、1B和2中黑色表示的每個(gè)結(jié)合部分。分隔件4結(jié)合到面板2和背板1的任一個(gè)上或兩者之上。該實(shí)施例中，分隔件4僅結(jié)合到面板1上。
背板1、面板2和框架3材料的例子有二氧化硅玻璃、含少量如Na等雜質(zhì)的玻璃、鈉鈣玻璃和通過在鈉鈣玻璃上如濺射淀積SiO2制備的玻璃。在面板2上，在玻璃基板2a的內(nèi)表面上，形成有含包括如Y等稀土元素的熒光物質(zhì)的熒光膜2b，熒光膜的內(nèi)表面上形成有金屬敷層2c。
分隔件4基本上由玻璃構(gòu)成。分隔件的表面涂有抗靜電膜。導(dǎo)電膜材料的例子有如Cr、Ni和Cu等金屬的氧化物、Al和過渡金屬合金的氮化物和碳。
關(guān)于熔結(jié)玻璃5的材料，采用含大量鉛成分以便能夠進(jìn)行低溫焙燒的熔結(jié)玻璃，主要含PbO。
根據(jù)本發(fā)明，用在結(jié)合部分的熔結(jié)玻璃5中的鉛(Pb)溶解于硝酸，在結(jié)合部分剝離各部件，以拆解顯示器。本發(fā)明采用的硝酸濃度在0.1N(當(dāng)量濃度)-幾N，較好是0.1N-2N。浸泡時(shí)間在幾小時(shí)-幾十小時(shí)，較好是10小時(shí)-24小時(shí)。
下面根據(jù)圖5的流程圖結(jié)合圖6具體介紹該拆解方法。
(1)拆除外殼，拆掉容器的外部端子，僅取出顯示器(S1-S3)。
(2)關(guān)于真空系統(tǒng)，泄漏真空(S4)。
(3)將整個(gè)顯示器浸入充有硝酸的槽中(S5)。此時(shí)，為防止玻璃被劃傷，在槽22中沉入由特弗隆樹脂構(gòu)成的網(wǎng)狀籠21。顯示器50沉入網(wǎng)狀籠21中(圖6A)。
(4)提拉網(wǎng)狀籠21，回收從熔結(jié)結(jié)合部分剝離的部件(S6和S7)。將各部件轉(zhuǎn)移到純水25的清洗槽中(S8)，然后，分成可再利用部件和報(bào)廢部件(圖6B)(S9和S10)。
(5)過濾硝酸溶液(S11)，將之分離為濾液和不可溶物(S12和S13)。
此時(shí)，不可溶物是熔結(jié)成分和分隔件涂敷成分的硝酸不溶物中不溶于硝酸的東西。在濾液中(S13)，溶解了鉛、貴金屬元素和稀土元素(S14和S16)。
(6)利用電解法，將濾液中的金屬分離成鉛和其它金屬。
此時(shí)，鉛作為PbO2沉積在陰極上，而含貴金屬的其它金屬沉積在陽極上。
(7)回收沉積在陰極上的PbO2，并實(shí)施有害廢物的清除(S15)。
(8)貴金屬等沉積在陽極上，回收并再利用(S16)。
(9)如果混有稀土金屬(S19)，將溶液的pH值調(diào)節(jié)為等于0，并加入草酸，使之作為草酸鹽沉積。過濾該溶液，回收草酸鹽。
根據(jù)該方法，也可以回收貴金屬。關(guān)于另一方法。在濾液(6)中加入硫酸離子，產(chǎn)生鉛成分的沉積物(PbSO4)，分離鉛。這種情況下，貴金屬元素也沉積，難以回收。當(dāng)貴金屬元素的量小，且不需要回收時(shí)或不含貴金屬時(shí)，該方法簡(jiǎn)單方便。
根據(jù)上述方法，將整個(gè)屏板浸入硝酸中。留下可再利用部件并僅將基余部件浸入硝酸的方法也基本上依據(jù)該方法。
下面結(jié)合圖7A、7B、8A和8B介紹在硝酸中局部浸泡屏板并處理的步驟。
圖7A、7B、8A和8B示出了僅在硝酸中浸泡背板1和面板2(圖7A和8A)，并拉出和再利用帶有框架的面板2和帶有框架3的背板1(圖7B和8B)的方法。硝酸溶液的處理類似于浸泡整個(gè)顯示器的方法。
這種情況下，必須精確控制浸在硝酸中的部件的位置。該方法可以根據(jù)經(jīng)驗(yàn)實(shí)施。此時(shí)，方便的是設(shè)置特弗隆臺(tái)31。在具有分隔件的顯示器中，當(dāng)分隔件將被再利用時(shí)，可以采用浸泡整個(gè)顯示器的方法和僅浸泡熔結(jié)部分的方法，它們基本上與上述方法相同。
(例2)下面通過例示例2介紹本發(fā)明。
(例2-1)-在硝酸中浸泡整個(gè)顯示器的方法-將結(jié)合圖5、6A、6B和9介紹例2-1。
圖9是展示用于例2-1的FPD的示意圖。與圖1中相同的參考數(shù)字表示相同的部件。該顯示器是在玻璃背板上具有電極、布線、絕緣層、電子發(fā)射元件等的表面?zhèn)鲗?dǎo)型電子源顯示器(SED)。背板1上在鈉鈣玻璃上涂有SiO2。在SiO2涂層上形成為彼此面對(duì)的元件電極由Pt構(gòu)成，每個(gè)形成在兩電極間的電子發(fā)射元件11由Pd構(gòu)成。另外，形成由Ag、Pb、B等構(gòu)成的上布線13和下布線12，及絕緣這些上下布線的PbO絕緣層?？蚣?也由鈉鈣玻璃構(gòu)成。參考符號(hào)Dx01-Dx0m和Dy01-Dy0n表示容器的外部端子。
在面板12上，在鈉鈣玻璃基板2a的內(nèi)表面上，形成有由黑條和熒光物質(zhì)構(gòu)成的熒光膜2b，Al金屬敷層2c形成在熒光膜的內(nèi)表面上。黑條由PbO和C(碳)構(gòu)成，而熒光物質(zhì)由ZnS和YS構(gòu)成。分隔件4利用玻璃熔結(jié)結(jié)合到顯示器的內(nèi)表面上。
分隔件4由玻璃基板構(gòu)成，其表面涂有導(dǎo)電陶瓷。
如下拆解該屏板。
(1)從外殼中僅取出顯示器，并拆掉容器的外部端子。
(2)泄漏真空，使之恢復(fù)到大氣壓。
(3)將整個(gè)顯示器浸入1.2N的硝酸槽中24小時(shí)。此時(shí)，為防止玻璃被劃傷，在硝酸槽中沉入由特弗隆樹脂構(gòu)成的網(wǎng)狀籠21。顯示器沉入網(wǎng)狀籠21中(圖6A)。
(4)從硝酸溶液中拉上從熔結(jié)結(jié)合部分剝離的背板、面板、框架和分隔件，并將它們轉(zhuǎn)移到純水清洗槽中，然后，分成可再利用部件和報(bào)廢部件(圖6B)。
(5)拉上各部件后，過濾硝酸溶液，將之分離為濾液和不可溶物。
(6)除熔結(jié)玻璃中的鉛之外，電子發(fā)射元件膜中的部分Pd和布線中的部分Ag等溶于該濾液。為分離和回收這些金屬，如下實(shí)施電解法。
參考銀/氯化銀標(biāo)準(zhǔn)電極，濾液設(shè)定在+1.4-1.7V的電位?；厥蘸驮倮贸练e在陰極上的Pd和Ag，并實(shí)施有害廢物的清除。
(7)由于用于熒光物質(zhì)的Y(釔)溶解在濾液中，所以將濾液調(diào)節(jié)到pH＝0，以便回收Y。然后，加入草酸，沉積和回收作為Y2(C2O4)3的Y。
(例2-2)-在硝酸中浸泡除面板外(帶有框架和分隔件)的顯示器的方法-下面結(jié)合圖5、7A和7B介紹例2-2。
如下拆解與例2-1中相同的FPD。
(1)進(jìn)行與例2-1中(1)和(2)相同的工藝。
(2)在與硝酸液面平行的兩個(gè)部位標(biāo)記顯示器的框架。顯示器設(shè)置在特弗隆臺(tái)31上，并被調(diào)節(jié)到使液面在面板側(cè)的標(biāo)記之下，以便僅在硝酸中浸泡框架和背板的結(jié)合部分。這種狀態(tài)下，在1.2N的硝酸槽中浸泡顯示器24小時(shí)(圖7A)。
(3)拉上帶有框架和分隔件的面板，并轉(zhuǎn)移到純水清洗槽中，清洗浸在硝酸中的部分，并再利用(圖7B)。
(4)與例2-1中(5)和(6)類似的方法處理硝酸溶液。
(例2-3)-在硝酸中浸泡除背板(帶有框架)外的顯示器的方法-下面結(jié)合圖5、8A和8B介紹例2-3。
如下拆解與圖2-1相同的FPD。
(1)進(jìn)行與例2-1中(1)和(2)相同的工藝。
(2)與例2-2類似，標(biāo)記框架。與例2-2類似，在1.2N的硝酸槽中浸泡顯示器24小時(shí)，以便僅在硝酸中浸泡框架與背板間的結(jié)合部分(圖8A)。
(3)與例2-2類似，拉上帶有框架的背板，清洗并再利用(圖8B)。
(4)過濾硝酸溶液，并在濾液中加入硫酸，產(chǎn)生PbSO4沉積物。通過過濾分離該沉積物，并實(shí)施有害廢物清除。
(5)由于硝酸溶液含熒光物質(zhì)中的Y，所以將溶液調(diào)節(jié)到pH＝0。加入草酸，沉積并回收作為Y2(C2O4)3的Y。
(比較例2)為報(bào)廢或再利用與例2-1中相同的FPD，通過加熱熔化并剝離熔結(jié)玻璃部分，作為從結(jié)合部分剝離部件的方法。
然而，為熔化作為熔結(jié)玻璃成分的PbO，熔點(diǎn)必須設(shè)為高至約900℃以上。在將熔結(jié)結(jié)合部分局部設(shè)定在諞高溫下時(shí)，在某些條件下，玻璃基板變形或龜裂。難以設(shè)定再利用基板的條件。
(實(shí)施例3)下面通過例示更優(yōu)選的另一實(shí)施例，具體介紹本發(fā)明。
更具體說，一種回收?qǐng)D像顯示裝置的背板以便回收和再利用廢棄的圖像顯示裝置中的背板的方法，所說圖像顯示裝置由背板1、面板2和支撐框架3構(gòu)成，所說背板1具有多個(gè)電子發(fā)射元件，每個(gè)電子發(fā)射元件由一對(duì)電子發(fā)射元件的元件電極和與所說元件電極對(duì)連接的導(dǎo)電膜構(gòu)成，并在導(dǎo)電膜的部分處具有電子發(fā)射部分，所說面板2具有圖像形成部件，在與電子發(fā)射元件發(fā)射的電子碰撞時(shí)形成圖像，所說支撐框架3與背板和面板連接，保持內(nèi)壓，背板1、面板2和框架3利用熔結(jié)玻璃5焊接在一起，所說方法包括以下步驟在硝酸溶液中浸泡焊接部分，溶解熔結(jié)玻璃5；利用噴墨法形成導(dǎo)電膜。
圖10是展示圖像顯示裝置的結(jié)構(gòu)的示圖。圖10中，背板1包括多個(gè)電子發(fā)射元件11。面板2包括與電子發(fā)射元件11發(fā)射的電子碰撞形成圖像的圖像形成部件。支撐框架3與背板1和面板2連接，保持內(nèi)部壓力。參考數(shù)字4表示密封背板1、面板2和支撐框架3的熔結(jié)玻璃。這些構(gòu)成元件構(gòu)成圖像顯示裝置15。
如圖11所示，在內(nèi)壓低時(shí)，泄漏從其上拆掉了容器的外部端子等的圖像顯示裝置15。然后，將圖像顯示裝置15浸泡在裝有硝酸的硝酸溶液槽6內(nèi)(圖11A)。在某些情況下，圖像顯示裝置15引入分隔件作耐大氣壓支撐部件。在浸泡在硝酸中時(shí)，根據(jù)需要調(diào)節(jié)硝酸溶液的量，從而容易剝離背板1，工作臺(tái)(未示出)設(shè)置在硝酸溶液槽6內(nèi)，以便從圖像顯示裝置15上取下背板1(圖11B)。這種情況下，涂到背板附近的熔結(jié)玻璃4溶解?；蛘撸麄€(gè)圖像顯示裝置15可以浸泡到裝有硝酸的硝酸溶液槽6，以便將裝置15分離成各構(gòu)件，從而取出背板1。此時(shí)的硝酸濃度為0.1N(當(dāng)量濃度)-幾N，較好是0.1-2N。
浸泡時(shí)間較好為幾小時(shí)到幾十小時(shí)，更好是為10小時(shí)-24小時(shí)。將取出的背板1轉(zhuǎn)移到純水清洗槽，清洗并干燥。為防止干燥時(shí)的不均勻，根據(jù)需要，可以用例如酮或醇等溶劑清洗背板1?？梢杂脤?dǎo)電膜形成液滴(以后將介紹的)清洗背板1，以便在再利用時(shí)有助于形成導(dǎo)電膜。圖12示出了以此方式取出和清洗的背板1的情況。參考數(shù)字41表示背板基板，42和43是元件電極。清洗后，去除導(dǎo)電膜和印刷布線，元件電極42和43留在背板基板41上。
用于背板1的基板41的材料的例子有二氧化硅玻璃、含少量如Na等雜質(zhì)的玻璃、鈉鈣玻璃、通過利用濺射、CVD或液相外延在鈉鈣玻璃上淀積SiO2制備的玻璃基板、及其上淀積P摻雜SiO2的玻璃基板。對(duì)元件電極的電極材料沒的特別限制，只要材料導(dǎo)電便可。在元件電極由例如Pt或Au等其特性在硝酸中不會(huì)變化的貴金屬構(gòu)成，元件電極留在清洗的背板基板上，并可以再利用。在元件電極由其特性在硝酸溶液中會(huì)改變的材料構(gòu)成時(shí)，元件電極溶解在硝酸溶液中，于是只再利用背板基板。
圖12中，與元件電極42和43電連接以驅(qū)動(dòng)它們的上布線和下布線溶解在硝酸溶液中。然而，由于元件電極和下布線中的一個(gè)可以由相同材料同時(shí)形成，所以包括元件電極的下布線可以留在背板基板上。關(guān)于用于結(jié)合部分的熔結(jié)玻璃，采用含大量鉛成分的熔結(jié)玻璃以便可以低溫焙燒，并主要含PbO。熔結(jié)玻璃中的鉛成分溶解于硝酸溶液中，可以通過電解法沉積或作為酸/堿反應(yīng)的沉積物回收。
背板1利用具有元件電極42和43的背面基板41制造。例如Y方向布線13形成于元件電極42上，形成刻槽46，并形成X方向布線12。布線和層間絕緣層可利用印刷等方法形成。然后，利用通過噴墨法排放導(dǎo)電溶液的噴墨裝置形成用作導(dǎo)電膜前體的膜。干燥了溶劑后，熱處理所得結(jié)構(gòu)，形成導(dǎo)電膜49。以此方式，便可以再利用圖像顯示裝置15的背板1。
(例3)下面利用例3具體介紹本發(fā)明。
(例3-1)下面結(jié)合圖10-13E介紹例3-1。
圖10示出了根據(jù)例3-1的圖像顯示裝置的結(jié)構(gòu)。圖10中，參考數(shù)字1表示背板；2是在基板2a的內(nèi)表面上具有熒光膜2b、金屬敷層2c等的面板；3是支撐框架。背板1、支撐框架3和面板2利用熔結(jié)玻璃密封，構(gòu)成圖像顯示裝置15。參考符號(hào)Dox1，Dox2…，Dox(m-1)，Doxm和Doy1，Doy2…，Doy(n-1)，Doyn表示容器的外部端子。
圖10中，參考數(shù)字11表示表面?zhèn)鲗?dǎo)型電子發(fā)射元件。在圖12中，參考數(shù)字42和43表示與圖13A-13E中的表面?zhèn)鲗?dǎo)電子發(fā)射元件的一對(duì)元件電極連接的Y方向布線13和X方向布線12。
背板基板41在鈉鈣玻璃上涂有SiO2。元件電極42和43由Pt構(gòu)成。Y方向布線13和X方向布線12由Ag膏構(gòu)成，層間絕緣層45由PbO玻璃膏構(gòu)成；導(dǎo)電膜49由Pd構(gòu)成。
圖11A和11B是展示根據(jù)本發(fā)明的背板回收/循環(huán)方法的示意圖。圖11A和11B中，參考數(shù)字1表示具有多個(gè)電子發(fā)射元件的背板；2表示具有通過與電子發(fā)射元件11發(fā)射的電子碰撞形成圖像的圖像形成部件的面板；3是連接背板1和面板2并保持內(nèi)壓的支撐框架；4是用于密封背板1、面板2和支撐框架3的熔結(jié)玻璃。這些構(gòu)件構(gòu)成圖像顯示裝置15。
由于低內(nèi)壓和被浸泡在裝有1.2N硝酸的硝酸溶液槽6中，泄漏了從其上拆掉了容器的外部端子等的圖像顯示裝置15。圖11A示出了該狀態(tài)。在浸泡在硝酸中時(shí)，硝酸的量調(diào)節(jié)到容易剝離背板1，并從圖像顯示裝置15取出背板1(圖11B)。將取出的背板1轉(zhuǎn)移到純水清洗槽中以清洗背板1，用再酮或異丙醇清洗并干燥。
圖12示出了以此方式取出和清洗的背板。參考數(shù)字41表示背板基板；42和43表示元件電極。清洗后，去除導(dǎo)電膜和印刷布線，元件電極42和43留在背板基板41上。
過濾硝酸溶液，如下電解濾液。
相對(duì)于銀/氯化銀標(biāo)準(zhǔn)電極，濾液設(shè)定在+1.4-1.7V的電位。于是，Pd和Ag沉積在陽極上，PbO2沉積在陰極上。回收這些金屬。再利用Pd和Ag，對(duì)PbO2實(shí)施廢物清除處理。
利用具有元件電極42和43的背板基板41制造背板1。圖13A-13E是展示制造背板1的各步驟的示圖。
Ag膏以預(yù)定形狀絲網(wǎng)印刷在具有元件電極42和43的背板基板41(圖13A)上，并被加熱和焙燒，形成Y方向布線13。注意，Y方向布線厚約20微米，寬度100微米(圖13B)。
玻璃膏印刷成預(yù)定形狀，并被加熱和焙燒，形成層間絕緣層45。此時(shí)，刻槽46形成為不覆蓋元件電極43。層間絕緣層的寬度為約250微米，在層間絕緣層與Y方向布線重疊的部分厚約20微米，在其余部件厚約35微米(圖13C)。
然后，在層間絕緣層45上印刷Ag膏，并加熱和焙燒，形成X方向布線12。注意，X方向布線的寬度約200微米，厚約15微米，(圖13D)。
壓電噴射型噴墨裝置施加有機(jī)鈀-乙醇胺配合物的溶液的液滴，從而形成作為導(dǎo)電膜前體的膜。干燥了溶劑后，在300℃加熱約10分鐘，將前體膜變成由細(xì)PdO顆粒構(gòu)成的導(dǎo)電膜49。導(dǎo)電膜大致具有圓柱形，直徑為40微米，膜厚為15微米(圖13E)。
以此方式，回收背板1。用熔結(jié)玻璃焊接背板1與面板和支撐框架。令人滿意地排空容器，并進(jìn)行成形處理和激活處理，構(gòu)成圖10所示的圖像顯示裝置15。
所制造的圖像顯示裝置沒有任何圖像方面明顯的缺陷或亮度偏差。
(例3-2)除下點(diǎn)之外，例3-2涉及與例3-1相同的循環(huán)方法。
在例3-1中，Y方向布線13是印刷電極。相反，在例3-2中，Y方向布線13由Pt構(gòu)成，與元件電極42和43同時(shí)形成，與元件電極42連接。如圖14所示，在浸泡在硝酸溶液中并被清洗后，元件電極和與元件電極之一連接的Y方向布線13留在背板上。
例3-1中用于施加液滴的噴墨裝置是壓電噴射型。例3-2不用這種噴射裝置，而用噴泡型裝置。用這種裝置，可以牡循環(huán)利用用于圖像顯示裝置15的背板1。
(實(shí)施例4)下面更具體地介紹本發(fā)明。
本發(fā)明的特征在于，通過利用在拆解平板顯示器時(shí)沒有任何損傷的簡(jiǎn)單方法回收分隔件，再利用之。
根據(jù)本發(fā)明的分隔件回收方法，用熔結(jié)玻璃焊接分隔件和平板或基板的部分，浸泡在硝酸溶液中，以溶解焊接部分，從而只分離分隔件。此時(shí)，采用存放或支撐分隔件的夾具，避免與其它分隔件或外圍部件接觸造成的任何損傷。
圖15是展示本發(fā)明的分隔件回收方法和回收裝置的示意圖。圖15中，參考數(shù)字151表示硝酸溶液槽；153表示硝酸溶液，153是背板或面板；154是分隔件；155是分隔件容器；156是用于背板或面板的支撐件；157是熔結(jié)玻璃。
分隔件154可焊接到面板、背板或兩塊板上。這種情況下，分隔件154焊接到面板上。
在面板與分隔件保持由熔結(jié)玻璃焊接的同時(shí)，分離背板、面板和框架。分離背板、面板和框架的方法包括切割法、通過在各部分焊接的熔結(jié)玻璃部件噴涂硝酸溶液溶解熔結(jié)玻璃或在硝酸溶液中浸泡熔結(jié)玻璃部分的方法、通過加熱溶解熔結(jié)玻璃的方法。由于用硝酸溶解的方法不會(huì)損傷分隔件，所以希望采用該方法。
然后，將分隔件和面板浸泡在硝酸溶液中。在由支撐件156支撐面板153，并且分隔件154面向下的同時(shí)，浸泡分隔件和面板，如圖15所示。
分隔件154和面板153間的熔結(jié)玻璃157溶解，分離它們。此時(shí)，圖16A和16B所示的容器155用于防止分隔件157落入硝酸溶液容器151，與其它分隔件或外圍部件接觸被損傷。
容器155的尺寸幾乎與面板153相同，根據(jù)分隔件154的布局，具有凹槽148。容器155由例如相對(duì)于硝酸穩(wěn)定的氟塑料等材料制造，不會(huì)損傷分隔件。為防止溶液留在所說凹槽，整個(gè)容器或凹槽的底部可以是網(wǎng)狀的。容器155設(shè)置在分隔件154以下，以存放從凹槽148中的面板153上分離的分隔件154，從而防止各分隔件154間接觸。
去掉面板153后，從硝酸溶液容器151中拉上容器155。然后，在存放在該容器中的同時(shí)，對(duì)分隔件進(jìn)行隨后的清洗步驟和干燥步驟。
注意，分隔件容器155的形狀不限于以上述情況。圖16A和16B所示的形狀僅是容器形狀的例子。如圖17所示，可以采用每個(gè)稍大于分隔件154的許多凹下容器149，并設(shè)置在分隔件之下，以存放從面板153上分離的分隔件154。當(dāng)采用該方法時(shí)，從硝酸溶液容器151拉上來的容器149可以集中在窄范圍內(nèi)。于是，可以減小隨后清洗槽和干燥槽的尺寸。
圖18是展示根據(jù)本發(fā)明的分隔件回收方法和回收裝置的另一實(shí)施例的示圖。圖18中，參考數(shù)字151表示硝酸溶液槽；152是硝酸溶液；153是背板或面板；154是分隔件；157是熔結(jié)玻璃；158是背板或面板的工作臺(tái)；159是分隔件支撐臂，160是各臂的末端。
分離背板、面板和框架，拆解成分隔件154保持利用熔結(jié)玻璃焊接在背板上的狀態(tài)。然后，將分隔件154浸泡在硝酸溶液槽151中。
分隔件154可以焊接在面板、基板或兩個(gè)板上。盡管本發(fā)明可應(yīng)用于任何情況，但假定分隔件154焊接在面板上。
根據(jù)浸泡法，面板153設(shè)在工作臺(tái)158上，分隔件154面朝下。然后，用相應(yīng)臂159的末端160夾緊各分隔件154的末端。工作臺(tái)158向下移動(dòng)，以便將面板153和焊接部分157浸泡在硝酸溶液152中。由于預(yù)先固定了分隔件154，以防止從面板153上分離的分隔件154落下。這可以防止分隔件受損傷。注意，臂159和其末端160必須由例如相對(duì)于硝酸穩(wěn)定的氟基化合物等材料構(gòu)成。
在利用末端160固定的同時(shí)，可以對(duì)分隔件154進(jìn)行隨后清洗步驟和于燥步驟。在清洗步驟中，留在分隔件154上的熔結(jié)玻璃157溶解，并去除從面板153和基板上溶解的再附著物質(zhì)。清洗步驟一般在新硝酸溶液槽中進(jìn)行。然后，將分隔件154轉(zhuǎn)移到純水槽中，在此最后清洗分隔件154。
干燥步驟可以采用任何方法，只要純水蒸發(fā)便可。例如，可利用熱氣干燥分隔件54。
在再利用干燥分隔件時(shí)，必須檢測(cè)它們是否被損傷?？梢圆捎煤线m的檢測(cè)方法。例如，可以采用肉眼證實(shí)缺陷的存在與否的方法，或通過加熱檢測(cè)是否存在龜裂的方法。
圖19A和19B是展示分隔件154的示圖。一般說，分隔件154具有薄板形狀，其長(zhǎng)度和寬度為幾十mm，厚度為300微米以下，通過在絕緣基板161的表面上形成各向異性導(dǎo)電膜162構(gòu)成。為達(dá)此目的而需要的大量分隔件154以需要的間隔排列，并用熔結(jié)玻璃固定到面板153的內(nèi)表面或基板的表面上。在分隔件154固定到背板上時(shí)，以與分隔件154固定到面板上的情況相同的方式處理它們。
導(dǎo)電膜材料的例子有例如鉻、鎳和銅等金屬的氧化物、鋁和過渡金屬合金的氮化物和碳。
分隔件154的絕緣基板161材料的例子有二氧化硅玻璃、含少量如Na等雜質(zhì)的玻璃、鈉鈣玻璃和通過在上述各基板上層疊SiO2絕緣層制備的基板。
如上所述，導(dǎo)電膜162形成在分隔件的表面上。根據(jù)材料，導(dǎo)電膜162可以相對(duì)于硝酸穩(wěn)定或溶解。在導(dǎo)電膜162由相對(duì)于硝酸穩(wěn)定的材料構(gòu)成時(shí)，清洗、干燥和檢測(cè)步驟后，可再利用分隔件。在導(dǎo)電膜162由溶于硝酸的材料構(gòu)成時(shí)，在進(jìn)行了膜充分溶解于硝酸溶液、清洗、干燥和檢測(cè)步驟，并再形成導(dǎo)電膜后，可以再利用分隔件。
(例4)下面利用例4具體介紹本發(fā)明。
(例4-1)利用圖15所示的根據(jù)本發(fā)明的分隔件回收裝置回收分隔件。圖15中的裝置溶解面板153和分隔件153間的結(jié)合部分的熔結(jié)玻璃157，分離面板153與分隔件154。圖15中，參考數(shù)字151表示硝酸溶液槽；152是硝酸溶液；153是面板；154是分隔件；155是分隔件容器；156是面板支撐件；157是熔結(jié)玻璃。
圖20是展示根據(jù)本發(fā)明的分隔件回收方法的各步驟狀態(tài)的示意圖。圖20A示出了分離基板、面板和框架的步驟。圖20B示出了分離面板與分隔件的步驟，圖20C和20D示出了分隔件清洗步驟，圖20E示出了分隔件干燥步驟。
例4-1采用25個(gè)分隔件154焊接到由尺寸為300mm×250mm×2.8mm的鈉鈣玻璃構(gòu)成的面板153上，。每個(gè)分隔件154通過在高為2.8mm、厚為200微米和長(zhǎng)度為40mm的鈉鈣玻璃基板上形成氮化膜作導(dǎo)電膜形成。
下面結(jié)合圖15、16A、16B和20A-20E具體介紹例4-1。
(1)拆解外殼，取出由利用熔結(jié)玻璃157焊接的背板163、面板153和框架164構(gòu)成的單元。
(2)在焊接部分上噴涂0.2N的硝酸溶液，以逐漸溶解它們。在溶解了幾乎所有熔結(jié)玻璃后，利用支撐件156將面板153拉上來，并與框架分離(圖20A)。
(3)存放分隔件的容器155沉在長(zhǎng)400mm、寬350mm的硝酸溶液槽151中，溶液槽中含0.2N的硝酸溶液。如圖16所示，該容器為長(zhǎng)300mm×寬250mm×高10mm，根據(jù)分隔件的分布，具有25個(gè)凹槽(長(zhǎng)50mm，寬5mm，深度4mm)。該容器由相對(duì)于硝酸穩(wěn)定的氟塑料構(gòu)成，不會(huì)損傷分隔件。各凹槽都是網(wǎng)狀，不能存任何溶液。
將分隔件154焊接于其上的面板153浸泡在硝酸溶液槽151中，分隔件154面向下。分隔件154和面板153間的熔結(jié)玻璃溶解，以分離它們。每個(gè)分隔件154落在容器155的相應(yīng)凹槽中。
取出了從分隔件154上分離的面板153后，從硝酸溶液槽中將容器155拉上來(圖20B)。
(4)分隔件154與容器155一起沉到裝有0.2N的硝酸溶液的清洗硝酸溶液槽中。該步驟中，留在分隔件154上的熔結(jié)玻璃溶解，并去除了從面板153和基板上溶解的再附著物質(zhì)(圖20C)。
(5)將分隔件與容器155一起轉(zhuǎn)移到純水槽中，在此用純水165最后清洗分隔件154。注意，硝酸清洗槽和純水清洗槽大小與圖20B中的硝酸槽相等(圖20D)。
(6)用熱氣166吹容器155中的分隔件154，干燥它們(圖20E)。
(7)在再利用以此方式回收的分隔件時(shí)，檢測(cè)分隔件154。關(guān)于檢測(cè)方法，用光學(xué)顯微鏡檢測(cè)導(dǎo)電膜的剝離、是否存在劃傷、沉積物和其它污物。然后，通過加熱檢測(cè)是否存在龜裂，排除具有缺陷玻璃基板的分隔件。在容納于容器中的同時(shí)或一個(gè)一個(gè)取出后，對(duì)分隔件進(jìn)行這些檢測(cè)。檢測(cè)的結(jié)果是，約有10％分隔件因?yàn)槿毕荻慌懦?，多?shù)分隔件可以再利用。直接利用無缺陷分隔件，組裝新顯示器。
(例4-2)例4-2采用具有與例4-1相同結(jié)構(gòu)的顯示器。除通過切割從外殼分離框架、背板和面板外，采用與例4-1相同的方法回收分隔件。
如圖21所示，切割框架、基板和面板，分離四個(gè)焊接部分和存在分隔件的周圍區(qū)域。切割后的分隔件回收方法與例4-1中步驟(3)-(6)相同。
檢測(cè)的結(jié)果是，約15％的分隔件由于缺陷而被排除，多數(shù)分隔件可以再利用。
(例4-3)例4-3采用具有與例4-1相同結(jié)構(gòu)的顯示器。除在分離面板和分隔件時(shí)采用圖17A和17B所示容器外，利用與例4-1相同的方法回收分隔件。
下面將結(jié)合圖15、16A、16B、17A、17B和22a-22D介紹例4-3。
面板與框架的分離采用與例4-1中的步驟(1)和(2)相同的方法。
(3)在基座168上固定25個(gè)用于存放分隔件154的容器167，數(shù)量與分隔件相等，并沉入裝有0.2N硝酸溶液的硝酸溶液槽中。
每個(gè)容器具有矩形狀，長(zhǎng)60mm，寬10mm，高10mm。如圖17A和17B所示。長(zhǎng)50mm、寬5mm，深8mm的凹槽形成在容器上面。各凹槽成網(wǎng)狀，不能存任何溶液，凹槽由相對(duì)于硝酸穩(wěn)定的氟塑料構(gòu)成，不會(huì)損傷分隔件。這些容器固定到基座上，以便設(shè)在各分隔件的正下方，并沉在硝酸溶液槽151中。
分隔件154焊接于其上的面板153浸泡在硝酸溶液槽151中，分隔件154面向下。熔結(jié)玻璃157溶解，以分離面板153和分隔件154。每個(gè)分隔件154落到相應(yīng)容器的凹槽中。
移動(dòng)從分隔件154上分離的面板153后，從硝酸溶液槽中，與基座168一起將容器167拉上來(圖22a)。
(4)彼此靠近再設(shè)置各容器后，將分隔件與各容器一起沉入裝有0.2N硝酸溶液的清洗硝酸溶液槽中。該步驟中，留在分隔件上的熔結(jié)玻璃溶解，并去除從面板和基板上溶解的再附著物質(zhì)(圖22B)。
(5)利用與例4-1相同的方法，用純水清洗分隔件、干燥并檢測(cè)。注意用于例4-3的清洗槽比用于例4-1的小，長(zhǎng)度為200mm，寬為150mm(圖22C和22D)。
檢測(cè)的結(jié)果是，約10％的分隔件由于缺陷而被排除，多數(shù)分隔件可以再利用。
(例4-4)在例4-4中，利用與例1-1相同的裝置回收分隔件。例4-4采用與例4-1中相同的25個(gè)分隔件焊接于其上的面板。每個(gè)分隔件通過在二氧化硅玻璃基板上形成氧化鎳(NiO2)膜作為導(dǎo)電膜而制備。
用與例4-1中步驟(1)-(6)相同的方法分離、清洗并干燥各分隔件。
檢測(cè)以此方式回收的分隔件。關(guān)于檢測(cè)的方法，可光學(xué)顯微鏡證實(shí)沉積物、其它污物、導(dǎo)電膜的劃傷和膜剝離。然后，通過加熱檢測(cè)是否存在龜裂，以排除缺陷分隔件。檢測(cè)的結(jié)果是，約10％的分隔件由于缺陷而被排除，多數(shù)分隔件可以再利用。
(例4-5)例4-5采用與例4-1相同結(jié)構(gòu)的平板顯示器。
關(guān)于分隔件回收裝置，例4-5采用如圖18所示裝置。圖18中，參考數(shù)字151表示硝酸溶液槽；152是硝酸溶液；153是背板或面板；154是分隔件；157是熔結(jié)玻璃；158是背板或面板的工作臺(tái)；159是分隔件支撐臂，160是各臂的末端。150是用氟塑料構(gòu)成用于支撐工作臺(tái)的彈性部件。工作臺(tái)158和臂159由相對(duì)于硝酸穩(wěn)定的氟塑料構(gòu)成，末端160由不損傷分隔件的氟橡膠構(gòu)成。
下面結(jié)合圖18和23A-23E介紹例4-5。
面板與框架的分離采用與例4-1的步驟(1)和(2)相同的方法。
(3)面板135設(shè)置在工作臺(tái)158上，分隔件面朝上，然后，用支撐臂59的末端160夾緊各分隔件154的末端(圖23A)。工作臺(tái)158向下移動(dòng)，從而在含0.2N硝酸溶液的硝酸溶液槽151中浸泡面板153的焊接部分157。證實(shí)了熔結(jié)玻璃溶解，分離了分隔件154后，從硝酸溶液槽中拉上分隔件154(圖23B)。
(4)在分隔件用支撐部件夾緊的同時(shí)，將它們沉在裝有0.2N硝酸溶液的清洗硝酸溶液槽中。該步驟中，溶解留在分隔件上的熔結(jié)玻璃，并去除從面板和基板上溶解的再附著物質(zhì)(圖23C)。
(5)將分隔件轉(zhuǎn)移到純水槽，在此進(jìn)行最后清洗(圖23D)。
(6)用熱氣干燥分隔件(圖23E)。
(7)利用與例4-1相同的方法檢測(cè)回收的分隔件，發(fā)現(xiàn)約10％的分隔件由于缺陷而被排除，多數(shù)分隔件可以再利用。
(例4-6)除分隔件焊接到基板和面板上外，例4-6采用具有與例4-1相同結(jié)構(gòu)的顯示器。
下面結(jié)合圖15和24A-24C介紹例4-6。
(1)從外殼中取出由用熔結(jié)玻璃焊接的基板163、面板153和框架164構(gòu)成的單元。
(2)利用與例4-2中相同的方法，切割框架、基板和面板間的焊接部分(圖24A)。
(3)逐漸將該單元浸泡到含0.2N硝酸溶液的硝酸溶液槽151中，基板面向下。在基板和分隔件間的焊接部分沉入溶液時(shí)，浸泡單元過程停止(圖24B)。
以此方式，僅溶解基板和分隔件間的熔結(jié)玻璃，從而將它們分離(圖24C)。
(4)從硝酸溶液槽中拉上基板后，利用與例4-1中步驟(3)-(7)相同的方法，從面板上分離且回收分隔件。
利用該方法回收后，約15％的分隔件由于缺陷而被排除，多數(shù)分隔件可以再利用。
(實(shí)施例5)圖25是展示根據(jù)本發(fā)明從顯示裝置回收熒光物質(zhì)的方法的各步驟的流程圖。下面結(jié)合圖25介紹各回收步驟。
處理過的/報(bào)廢的顯示裝置(S20)是面板上涂有熒光物質(zhì)并通過電子束或紫外線輻射熒光物質(zhì)發(fā)光的顯示器。這種顯示的例子一般有面板涂有熒光物質(zhì)的CRTs和平板顯示器。
在CRT或平板顯示器從外殼中分離之前，利用傳感器識(shí)別顯示裝置的模式。從數(shù)據(jù)庫(kù)讀取用于隨后步驟的數(shù)據(jù)(例如尺寸、顯示器拆解方法、適用于面板形狀的刷尺寸、形狀、抽吸單元的形狀)。
根據(jù)識(shí)別步驟中得到的數(shù)據(jù)，從外殼中取出顯示器，將顯示器固定到夾具上，以便容易從顯示器上拆解面板。關(guān)于此時(shí)所用的夾具，根據(jù)識(shí)別步驟所得到的數(shù)據(jù)，選用具有最佳形狀的夾具。在塑料和金屬部件附著到顯示器時(shí)，要求需要，要拆掉它們(S21)。
釋放了固定到夾具上的顯示器中的減壓狀態(tài)后，將顯示器送入下一步驟。
在面板分離(拆解)步驟(S22)，沿面板和CRT的錐體間或面板與平板顯示器的框架間的熔結(jié)玻璃部分，從顯示器上拆下面板。關(guān)于拆解方法，可以采用切割面板和錐體間的顯示器的方法、和用剝離溶液剝離密封面板與錐體的熔結(jié)玻璃部分的方法。關(guān)于CRT拆解方法，可以采用用加熱絲切割CRT的方法(日本公開專利申請(qǐng)07-029496)、引起熱變形拆解CRT的方法(日本公開專利申請(qǐng)05-151898)、在加熱的同時(shí)施加超聲振動(dòng)以拆解CRT的方法、及用硝酸作剝離溶液的方法(日本公開專利申請(qǐng)07-045198)。由于防止熱變形產(chǎn)生的濕法處理需要很長(zhǎng)時(shí)間和高成本，所以較好是用金屬絲鋸的切割。利用抽吸單元抽吸此時(shí)產(chǎn)生的玻璃灰塵并去除之。將錐體和背板粉碎成玻璃碎片。
拆除的面板固定到夾具上，內(nèi)表面向上，并送到刷掃和抽吸步驟(S28)。
如果僅回收熒光物質(zhì)，則刷掃步驟可僅利用一個(gè)掃除操作完成。為再利用面板，可以重復(fù)刷掃步驟，直到內(nèi)表面滿足規(guī)格要求為止。這種情況下，可以采取用于鏡面拋光內(nèi)表面的拋光輪代替去除熒光物質(zhì)的刷掃。
關(guān)于本發(fā)明的刷掃步驟所用的刷子，對(duì)于一般的CRT，選擇其形狀對(duì)應(yīng)于面板內(nèi)表面的R(曲度半徑)的刷子。對(duì)于平板CRT或平板顯示器，選擇與平板表面相適應(yīng)的刷子。當(dāng)采用杵搗運(yùn)動(dòng)處理(以后介紹)時(shí)，甚至在考慮了杵搗運(yùn)動(dòng)后，也在平板的處理步驟中采用隨R彎曲的刷子。
對(duì)本發(fā)明所用刷子的運(yùn)動(dòng)沒有特別限制，包括簡(jiǎn)單旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)和在面板2表面上的往復(fù)旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。如果刷子的運(yùn)動(dòng)采用引起刷子171同時(shí)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)和回轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)(圖26)，或在繞一個(gè)點(diǎn)旋轉(zhuǎn)軸的同時(shí)繞中心線沿其軸旋轉(zhuǎn)刷子的方法(圖27)，則容易快速掃除熒光物質(zhì)，平面化內(nèi)表面。
對(duì)本發(fā)明所用的抽吸單元的噴嘴形狀和抽吸力沒有限制，只要抽吸單元可以抽吸和回收利用刷子掃掉的熒光物質(zhì)2b和黑條便可。抽吸單元可安裝在刷子中，或設(shè)置在刷子周圍，以防止熒光物質(zhì)散射。為令人滿意地抽吸面板周圍的熒光物質(zhì)，抽吸單元較好是安裝在刷子內(nèi)。
利用已知采用任意裝置的方法分離和提純本發(fā)明回收的熒光物質(zhì)2b和黑條。例如，可以用含NaOH、NaClO和H2O2的水溶液處理回收的熒光物質(zhì)，并用弱酸處理(日本公開專利申請(qǐng)06-108047)。或者，可以利用弱酸處理回收的熒光物質(zhì)，從而瀝濾出稀土元素，可以加入草酸，將稀土元素轉(zhuǎn)化成草酸鹽，然后，可以焙燒草酸鹽，以得到稀土氧化物(日本公開專利申請(qǐng)08-333641)。
關(guān)于平板顯示器的例子，以下將介紹采用表面?zhèn)鲗?dǎo)型電子發(fā)射元件的平板顯示裝置的結(jié)構(gòu)。圖29是展示采用了分隔件的顯示裝置的透視圖，其中屏板被局部切除，以展示內(nèi)部結(jié)構(gòu)。
圖29中，參考數(shù)字11表示電子發(fā)射元件；1是背板；3是側(cè)壁(框架)；2是面板。背板1、側(cè)壁3和面板3構(gòu)成氣密容器(外殼15)，以保持顯示器屏板內(nèi)部真空。如果需要設(shè)置分隔件4，以防止外殼被大氣壓損害和變形。在組裝氣密容器時(shí)，必須密封各部件，以得到足夠的強(qiáng)度，保持氣密狀態(tài)。例如，在結(jié)合部位施加熔結(jié)玻璃，并空氣或氮?dú)鈿夥罩校?00-500℃下燒結(jié)10分鐘以上，以密封各部件。
基板41固定到背板1上，N×M個(gè)冷陰極型電子發(fā)射元件11形成于基板41上(N和M＝等于或大于2的正整數(shù)，可以根據(jù)希望的顯示像素?cái)?shù)設(shè)定。例如，在高分辨率電視顯示器的圖像形成裝置中，希望設(shè)定N＝3000以上，M＝1000以上)。N×M個(gè)冷陰極型電子發(fā)射元件11按簡(jiǎn)單矩陣形式排列，具有M條X方向布線12和N條Y方向布線13。
該實(shí)施例中，多電子束源基板41固定于氣密容器的背板1上。然而，如果多電子束源的基板41具有足夠的強(qiáng)度，則多電子束源的基板41可以用作氣密容器的背板1。
熒光膜2b形成于面板2的下表面上。對(duì)于彩色顯示裝置來說，熒光膜2b涂敷有用于CRT領(lǐng)域的紅、綠和藍(lán)即三原色熒光物質(zhì)。黑條形成在各熒光物質(zhì)之間。形成黑條的目的是防止即使電子束輻射位置稍有偏移，無法識(shí)別顯示器顏色。并通過防止外部光的反射，防止顯示器對(duì)比度的下降。
注意，在形成單色顯示屏板時(shí)，可以在熒光膜2b上加單色熒光材料，并不總是需要用黑條。
CRT領(lǐng)域已知的金屬敷層2c形成于背板側(cè)上的熒光膜2b的表面上。形成金屬敷層的2c的目的是利用熒光膜2b發(fā)射的光的鏡面反射部分改善光利用率，保護(hù)熒光膜2b不與負(fù)離子碰撞，采用金屬敷層2c作施加電子束加速電壓的電極，并采用金屬敷層2c作激發(fā)熒光膜2b的電子的傳導(dǎo)路徑。金屬敷層2c通過在面板基板2a上形成熒光膜2b、使熒光膜表面光滑、并利用真空淀積在光滑表面上淀積Al形成，注意，在用于低加速電壓的熒光材料用作熒光膜2b時(shí)，可以不用金屬敷層2c。
為施加加速電壓或改善熒光膜的傳導(dǎo)性，可以在面板基板2a和熒光膜2b間設(shè)置例如ITO等構(gòu)成的透明電極。
參考符號(hào)Dx1-Dxm和Dy1-Dyn及Hv表示氣密結(jié)構(gòu)的電連接端子，用于電連接顯示屏板與電子電路(未示出)。Dx1-Dxm用于電連接多電子束源的X方向布線；Dy1-Dyn用于電連接多電子束源的Y方向布線，Hv用于電連接面板的金屬黑底2c。
(例5)下面結(jié)合附圖具體介紹本發(fā)明的該實(shí)例。
(例5-1)由面板、框架和背板構(gòu)成，并采用表面?zhèn)鲗?dǎo)型電子發(fā)射元件的平板顯示裝置，固定到夾具上，面板面向下，具有橡膠吸嘴的加壓裝置與背板緊密接觸，以固定顯示器。打破排氣管的末端，釋放顯示器中的真空狀態(tài)，用能量切割器切割面板和框架間的熔結(jié)部件，拆解該顯示器。
去掉背板和框架。在用具有抽吸單元的旋轉(zhuǎn)刷(見圖27)刷掃面板2的內(nèi)表面以掃掉熒光物質(zhì)(約20分鐘)并進(jìn)行杵搗運(yùn)動(dòng)的同時(shí)，抽吸熒光物質(zhì)2b和黑條，并從抽吸孔172回收它們。
完全回收了熒光物質(zhì)2b后，拋光內(nèi)表面30分鐘，以實(shí)現(xiàn)鏡面拋光。
面板的內(nèi)表面上的黑底部分和涂有熒光物質(zhì)2b部分的波紋被抑制到15微米以下，并證實(shí)面板可直接用作循環(huán)使用的面板。
(比較例5-1)與例5-1類似，將拆解的面板浸泡在草酸水溶液中，去掉熒光物質(zhì)，然后用高壓水去掉黑底。在涂熒光物質(zhì)的部分和涂黑底的部分觀察到約85微米的波紋。
(例5-2)從由外殼上分離下的CRT上切割電子槍和偏轉(zhuǎn)線圈。CRT固定在夾具上，面板面向下。具有橡膠吸嘴的加壓裝置與錐體緊密接觸，以固定CRT。剝離繞在CRT的熔結(jié)玻璃部位的防爆帶，并通過研磨操作去掉粘合劑。用能量切割器將CRT分成面板和錐體。
去掉錐體，用具有抽吸單元的回轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)刷(見圖26，28A和28B)刷掃面板的內(nèi)表面，掃除熒光物質(zhì)，同時(shí)抽吸和回收熒光物質(zhì)和黑底。
完全去除了熒光物質(zhì)后，用拋光輪代替旋轉(zhuǎn)刷。拋光內(nèi)表面30分鐘，以實(shí)現(xiàn)鏡面拋光。
面板的內(nèi)表面上的黑底部分和涂有熒光物質(zhì)2b部分的波紋被抑制到15微米以下，并證實(shí)面板可直接用作循環(huán)使用的面板。
圖28A和28B是展示刷子和抽吸單元的結(jié)構(gòu)的剖面圖。在圖28A中，抽吸孔形成于刷子171中，灰塵被抽吸機(jī)構(gòu)173抽吸。在圖28B中，刷子171上覆蓋有抽吸單元174，用于抽吸灰塵。此外，利用抽吸的氣流被蝸輪機(jī)175改變?yōu)樾D(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，并用作刷子171的驅(qū)動(dòng)力。
(實(shí)施例6)下面結(jié)合附圖具體介紹本發(fā)明的實(shí)施例6。該實(shí)施例中，在回收面板、背板、框架、分隔件等時(shí)，F(xiàn)PD中的氣密容器必須恢復(fù)到標(biāo)準(zhǔn)大氣壓，是由于氣密容器處于低于約10-5Pa的氣壓下。這種情況下，如果在沒使氣密容器內(nèi)部恢復(fù)到標(biāo)準(zhǔn)大氣壓的情況下，直接切割、熔化等處理FPD，無法有效回收各部件。關(guān)于可再循環(huán)回收的方法的一個(gè)步驟，將介紹將真空氣密容器恢復(fù)到標(biāo)準(zhǔn)大氣壓的過程。
圖30是展示根據(jù)本發(fā)明的圖像顯示裝置的實(shí)施例的示意圖。圖30中，參考數(shù)字201表示圖像顯示器；202表示用于保持圖像顯示裝置壓力的氣密容器；203是引入氣密容器、用于保持氣密容器穩(wěn)定的耐大氣部件；204是與排氣裝置連接以實(shí)現(xiàn)壓力的裝置；205是使氣密容器內(nèi)部逐漸恢復(fù)大氣壓的裝置。
圖31是展示FPD作為根據(jù)本發(fā)明的圖像顯示裝置的實(shí)施例的例子的示意圖。圖31中，參考數(shù)字2表示用作圖像顯示器的面板，由玻璃基板2a、熒光屏2b和金屬敷層2c構(gòu)成；1是背板；3是框架。面板2、背板1和框架3構(gòu)成氣密容器202。氣密容器202包括與排氣裝置連接的裝置204，和圖30所示使氣密容器內(nèi)部恢復(fù)到大氣壓的裝置205。氣密容器202包括分隔件4，作為耐大氣壓構(gòu)件的一個(gè)例子。
適用于本發(fā)明的圖像顯示裝置是保持內(nèi)部在低于大氣壓的壓力下的顯示裝置。這種顯示裝置的例子有如CRT、等離子顯示屏板(PDP)、包括表面?zhèn)鲗?dǎo)型電子發(fā)射元件的平板圖像顯示裝置、包括場(chǎng)發(fā)射(FE)型電子發(fā)射元件的平板圖像顯示裝置、包括金屬/絕緣體/金屬(MIM)型電子發(fā)射元件的平板圖像顯示裝置、真空熒光顯示器、平板CRT及薄FPD等圖像顯示裝置。
與液晶顯示裝置和電致發(fā)光屏板相比，例如CRT等圖像顯示裝置的圖像顯示器15保持在遠(yuǎn)低于標(biāo)準(zhǔn)大氣壓下的壓力。這是由于電子輻射細(xì)熒光物質(zhì)等發(fā)光，光被控制為顯示圖像信息的緣故。換言之，除非將壓力減低到能設(shè)定能令人滿意地消除作為與電子碰撞的障礙物的氣氛，否則無法控制電子軌道。可以控制電子軌道的壓力最好根據(jù)圖像顯示裝置的結(jié)構(gòu)選擇，較好是10Pa以下，更好為1Pa以下。
關(guān)于保持圖像顯示器15內(nèi)部壓力的氣密容器的材料，面板2主要由能夠外部顯示內(nèi)部圖像信息并強(qiáng)到足以保持內(nèi)壓力的透射可見光的各種玻璃材料構(gòu)成。面板2?？蚣?和背板1較好由熱膨脹系數(shù)幾乎相同的材料構(gòu)成，以保持內(nèi)部氣密，并可以用具有幾乎相同熱膨脹系數(shù)的熔結(jié)玻璃等密封。
在內(nèi)壓力與外部大氣壓極為不同時(shí)，采用例如分隔件4等耐大氣壓構(gòu)件，以增加氣密容器202的強(qiáng)度，防止氣密容器202變形。具體說，在大屏幕圖像顯示裝置中，如果氣密容器202制作得厚，來增加容器的強(qiáng)度，則圖像顯示裝置的重量加大，圖像顯示裝置難以用于民用。
為減小圖像顯示裝置的重量，除氣密容器202的外壁外，采用耐大氣壓構(gòu)件。在薄FPD中，用作構(gòu)成氣密容器202的屏板的內(nèi)圖像顯示部分的面板2和背板1間的間隔可以保持一致，從而在整個(gè)圖像顯示裝置的表面上獲得一致的圖像。為此，設(shè)置許多分隔件4作為耐大氣構(gòu)件，保持面板2和用作氣密容器202的屏板內(nèi)的背板1間的距離基本一致。
屏板變得較大時(shí)，必須在屏板內(nèi)許多位置采用分隔件4，以抑制面板2和背板1間的形變。分隔件4的形狀和數(shù)量等根據(jù)面板2和背板1的尺寸、強(qiáng)度和之間的距離、框架3的強(qiáng)度等決定。
由于具有以此方式構(gòu)成的圖像顯示器的氣密容器202具有與例如真空泵等排氣裝置連接的裝置204，可以降低氣密容器202的內(nèi)壓。將氣密容器202抽空到充分的低壓后，可以密封氣密容器，以保持氣密容器202的內(nèi)部在低壓。然后，驅(qū)動(dòng)圖像顯示裝置的圖像顯示。
氣密容器202連接到使氣密容器202的內(nèi)部逐步恢復(fù)到大氣壓的裝置。一般說，泄漏時(shí)流動(dòng)的氣體的量Q由下式給出Q＝C(P1-P0)[Pa·m2/s]…(1)其中C是傳導(dǎo)率[m2/s]P1大氣壓[Pa]P0氣密容器的內(nèi)壓[Pa]P1-P0大氣壓與氣密容器內(nèi)壓間的差[Pa]為防止對(duì)氣密容器和內(nèi)部構(gòu)件的損害，必須防止氣體突然流入氣密容器。為此目的，希望將氣體的量Q抑制到約101Pam2/s以下。從方程(1)，將帶有具有約10-4m2/s以下的傳導(dǎo)率C的泄漏裝置的機(jī)構(gòu)附著到氣密容器202，作為使氣密容器內(nèi)部逐步恢復(fù)到大氣壓的裝置205。
關(guān)于使氣密容器內(nèi)部逐步恢復(fù)到大氣壓的裝置205，給氣密容器提供慢泄漏閥、與其規(guī)格相適應(yīng)的細(xì)長(zhǎng)的管道或多孔材料。使氣密容器內(nèi)部逐步恢復(fù)到大氣壓的裝置205附著到裝置205將氣密容器202與外部空氣側(cè)連接的位置。裝置205還從外部空氣側(cè)連接到排氣裝置，以密封氣密容器。利用該結(jié)構(gòu)，在氣密容器202保持低壓時(shí)，氣密容器202也與外部空氣側(cè)緊密封閉。在泄漏氣密容器的內(nèi)部以便再利用圖像顯示裝置時(shí)，取消外部空氣側(cè)上的密封接點(diǎn)，以使氣密容器的內(nèi)壓逐步恢復(fù)到大氣壓。
該實(shí)施例中，使氣密容器內(nèi)部逐步恢復(fù)到大氣壓的裝置205附著到氣密容器202的側(cè)面上。然而，裝置205的位置不限于此，裝置205附著到例如拐角、下表面、或氣密容器202的側(cè)表面的位置上，在此裝置205不會(huì)妨礙圖像顯示部分的工作。
如果需要，可以設(shè)置過濾器等，并將之連接到逐步引入氣體的機(jī)構(gòu)。
在再利用所用圖像顯示裝置時(shí)，根據(jù)隨后的處理，逐漸引入惰性氣體、氮、空氣、沒有濕汽的空氣等。
在制造期間產(chǎn)生的缺陷需要修復(fù)時(shí)，合適地選擇引入氣體，以便不影響隨后的制造步驟，保持在低壓的氣密容器202逐步恢復(fù)到大氣壓，拆解并修復(fù)圖像顯示器。
(例6)下面利用例6具體介紹本發(fā)明。
(例6-1)下面結(jié)合圖30和31介紹例6-1。圖30是展示本發(fā)明的圖像顯示裝置的結(jié)構(gòu)的平面圖。圖31示出了FPD作為本發(fā)明圖像顯示裝置的例子。
作用耐大氣壓結(jié)構(gòu)的分隔件214設(shè)置在用作圖像顯示器的氣密容器202中，圖像顯示器由面板2、背板1和框架3構(gòu)成。氣密容器202與連接到排氣裝置的排氣連接裝置204連接。內(nèi)部保持在低壓后，密封氣密容器。在例6-1中，在排空到約5×10-2Pa后，密封氣密容器。氣密容器202連接到大氣壓恢復(fù)裝置205，用于使氣密容器內(nèi)部逐步恢復(fù)到大氣壓。例6-1采用具有約10-7m2/s的傳導(dǎo)率C的慢泄漏閥。在空氣側(cè)也被排空到約5×10-2Pa后，密封這種慢泄漏閥。為拆解圖像顯示裝置，用于使氣密容器內(nèi)部逐步恢復(fù)到大氣壓的裝置205的外部空氣側(cè)打開，使氣密容器202泄漏。拆解和拆除后，證實(shí)屏板內(nèi)部沒發(fā)現(xiàn)分隔件4被損害，特別是氣密容器202內(nèi)部部件沒有被劃傷。
作為比較，打開與相同圖像顯示裝置的排氣裝置連接的排氣連接裝置204，泄漏氣密容器202中的氣體。屏板內(nèi)部被快速向大氣壓敞開。然而，內(nèi)部分隔件4被損傷，碎片會(huì)在面板2、背板1和框架3上產(chǎn)生許多劃傷。
(例6-2)例6-2將例示如圖32所示用矩陣驅(qū)動(dòng)方式的表面?zhèn)鲗?dǎo)型電子源顯示器(SED)作為圖像顯示裝置。用于驅(qū)動(dòng)表面?zhèn)鲗?dǎo)型電子源的電子源的布線12和13形成于背板1。布線12和13是X方向(Dox1，Dox2，...，Doxm)和Y方向(Doy1，Doy2，...，Doyn)元件布線。SED具有包括分隔件4的結(jié)構(gòu)，如圖31所示。與例6-1類似，例6-2也采用大氣壓恢復(fù)裝置205，用于使氣密容器的內(nèi)部逐步恢復(fù)到大氣壓。
屏板基本上完成后，發(fā)現(xiàn)部分屏板有缺陷。于是，用于使氣密容器的內(nèi)部逐步恢復(fù)到大氣壓的大氣壓恢復(fù)裝置205的外空氣側(cè)敞開，使屏板泄漏，并修復(fù)缺陷。然后，排空屏板內(nèi)部，并再利用與排氣裝置連接的排氣連接裝置204再密封。同時(shí)，排空并密封用于使氣密容器的內(nèi)部逐步恢復(fù)到大氣壓的大氣壓恢復(fù)裝置205的外空氣側(cè)，完成圖像顯示裝置。在圖像顯示裝置被驅(qū)動(dòng)顯示圖像時(shí)，發(fā)現(xiàn)已修復(fù)了缺陷，沒有缺陷產(chǎn)生。
(實(shí)施例7)下面結(jié)合附圖介紹本發(fā)明的實(shí)施例7。
圖33A是展示根據(jù)本發(fā)明的平板顯示器的實(shí)施例剖面圖，圖33B是圖33A所示平板顯示器的局部切掉的平面圖。
本發(fā)明的平板顯示器至少包括背板222、面板224、支撐框架225和分隔架226，所說背板具有許多設(shè)置在玻璃基板上的電子發(fā)射元件221，面板204設(shè)置成面對(duì)背板222，并具有圖像顯示部分223，分隔件226用于保持背板222和面板224間的間隔抗大氣壓。背板222、面板224、支撐框架225和分隔件226利用熔結(jié)玻璃229氣密地結(jié)合，構(gòu)成平板顯示器。熔結(jié)玻璃229一般是主要含氧化鉛等的低熔點(diǎn)玻璃。
在結(jié)合各部件時(shí)，分隔件和基板利用第一熔結(jié)玻璃結(jié)合，背板和支撐框架利用第二熔線玻璃228結(jié)合，面板和支撐框架利用第三熔結(jié)玻璃229結(jié)合。三種熔結(jié)玻璃中，熔結(jié)玻璃228和229具有不同的軟化溫度。結(jié)合分隔件226的第一熔結(jié)玻璃227具有等于或高于第二和第三熔結(jié)玻璃228和229中任一和中的較高軟化溫度。任何軟化溫度都落在350℃-470℃，較好是與其余熔結(jié)玻璃的溫度相差20℃以上。
在多種熔結(jié)玻璃中，第二和第三熔結(jié)玻璃228和229中的任一種具有根據(jù)工藝確定的較高軟化溫度。分隔件226結(jié)合到背板222和面板224的任一種上，所結(jié)合的板可以任意確定。
在制造過程中，通過用熔結(jié)玻璃涂敷結(jié)合部分，并加熱熔結(jié)玻璃到其軟化溫度以上，結(jié)合各部件。在實(shí)際操作中，在約300℃下在空氣中進(jìn)行加熱處理，以去除熔結(jié)玻璃中所謂的粘合劑成分(該步驟是所謂的煅燒)。然后，在400℃以上，在惰性氣體Ar中，進(jìn)行加熱處理，以焊接結(jié)合部分。對(duì)結(jié)合部件的過程沒有特別限制。多種熔結(jié)玻璃可以同時(shí)施加，并被加熱到高于所有熔結(jié)玻璃的軟化溫度的溫度，從而立刻結(jié)合各部件?？梢圆捎秒S后利用具有較高軟化溫度的熔結(jié)玻璃結(jié)合各部分的方法。優(yōu)選該方法的原因是可以以先前結(jié)合部分的熔結(jié)玻璃不熔化的溫度依次結(jié)合各部件。
本發(fā)明的軟化溫度對(duì)應(yīng)于107.65dPa.s(泊)的熔結(jié)玻璃粘度。各部件可以通過將熔結(jié)玻璃加熱到高于軟化溫度的溫度(焙燒溫度)結(jié)合。
分隔件一般具有薄板形，長(zhǎng)度和寬度約為幾十mm，厚為300微米以下，并通過在絕緣基板的表面上形成抗靜電膜構(gòu)成。為此目的需要的大量分隔件按需要的間隔排列。
分隔件的絕緣材料的例子有二氧化硅玻璃、含例如Na等少量雜質(zhì)的玻璃、鈉-鈣玻璃和在上述鈉鈣玻璃上層疊如二氧化硅層等制備的基板。
導(dǎo)電膜材料的例子有例如鉻、鎳和銅等金屬的氧化物、鋁和過渡金屬合金的氮化物和碳。
下面將介紹面板224的結(jié)構(gòu)。圖33A和33B中，通過在玻璃基板上形成熒光膜230和金屬敷層231構(gòu)成面板。該部分用作圖像顯示區(qū)。關(guān)于單色圖像顯示裝置，熒光膜230僅由熒光物質(zhì)構(gòu)成。為顯示彩色圖像，由三原色即紅、綠和藍(lán)熒光物質(zhì)形成圖像形成部分(此后也稱作像素)，熒光物質(zhì)用黑導(dǎo)電部件隔離。黑導(dǎo)電部件根據(jù)其形狀被稱作黑條或黑底。金屬敷層231由Al等導(dǎo)電薄膜形成。金屬敷層231通過反射熒光物質(zhì)產(chǎn)生的光到玻璃基板增加亮度，光向著由電子發(fā)射元件221構(gòu)成的電子源前進(jìn)。同時(shí)，金屬敷層231可以防止熒光物質(zhì)因電子束電離留在屏板內(nèi)的氣體產(chǎn)生的離子轟擊而受損害。
金屬敷層231使面板224的圖像顯示區(qū)導(dǎo)電，以防止電荷累積，并相對(duì)于電子源用作陽極。注意，金屬敷層231電連接到高壓端Hv，并可以通過高壓端Hv施加外部電壓。
下面介紹根據(jù)本發(fā)明的平板顯示器的拆解方法。
圖34A-34D是展示根據(jù)本發(fā)明的拆解方法的實(shí)施例。圖34A-34D中，參考數(shù)字222表示背板；224表面面板；225是支撐框架；226是分隔件；227是第一熔結(jié)玻璃；228是第二熔結(jié)玻璃；229是第三熔結(jié)玻璃。在圖34中，用于各結(jié)合部分的第一、第二和第三熔結(jié)玻璃是三種具有不同軟化溫度的熔結(jié)玻璃(圖34A)。例如，假定較高軟化溫度順序是第一熔結(jié)玻璃227＞第二熔結(jié)玻璃228＞第三熔結(jié)玻璃229。
拆解過程如下。將屏板裝入合適的加熱爐中。加熱屏板到等于或高于第三熔結(jié)玻璃229的軟化溫度、并等于或低于其余熔結(jié)玻璃的軟化溫度的溫度，從而只熔化第三熔結(jié)玻璃229。在保持該溫度的同時(shí)，從支撐框架225上分離面板224(圖34B)。加熱溫度升高到等于或高于第二熔結(jié)玻璃228的軟化溫度且等于或低于第一熔結(jié)玻璃227的軟化溫度的溫度。在第二熔結(jié)玻璃228熔化時(shí)，支撐框架225和背板222分離(圖34C)。加熱溫度進(jìn)一步升高，熔化第一熔結(jié)玻璃227，從而分離分隔件226與背板222。
分離利用第一熔結(jié)玻璃227的結(jié)合部分的方法不限于加熱方法。例如，如圖35所示，在分離屏板后到圖34C所示狀態(tài)，屏板可以浸入熔結(jié)玻璃溶解溶液239中，以溶解熔結(jié)玻璃，分離分隔件226和背板222。優(yōu)選的溶液是硝酸溶液。
分離后，用硝酸等去除殘留的熔結(jié)玻璃，并進(jìn)行清洗步驟，回收各部件?；厥盏母鞑考D(zhuǎn)移到再利用步驟或更精確的加收步驟。
圖36是展示根據(jù)本發(fā)明的拆解方法的另一實(shí)施例的示意圖。在圖36中，在各結(jié)合部分，采用三種具有不同軟化溫度的熔結(jié)玻璃(圖36A)。例如，假定較高軟化溫度的順序是第一熔結(jié)玻璃227＞第三熔結(jié)玻璃229＞第二熔結(jié)玻璃228。
拆解過程如下。將屏板裝入合適的加熱爐中。加熱屏板到等于或高于第二熔結(jié)玻璃228的軟化溫度、并等于或低于其余熔結(jié)玻璃的軟化溫度的溫度，從而只熔化第二熔結(jié)玻璃229。在在加熱屏板的同時(shí)，屏板分成面板224、支撐框架225、背板222和分隔件226(圖36B)。關(guān)于前一種情況，加熱溫度升高到等于或高于第二熔結(jié)玻璃228的軟化溫度。由于第二熔結(jié)玻璃228熔化，支撐框架225和背板222分離(圖36C)。注意，背板222和分隔件226利用與第一實(shí)施例相同的方法分離。
(例7)下面利用例7具體介紹本發(fā)明。例7中，熔結(jié)玻璃從表1所列的熔結(jié)玻璃中適當(dāng)選擇
表1

(例7-1)圖33A是展示根據(jù)本發(fā)明的平板顯示器的設(shè)置的剖面圖，圖33B是圖33A所示平板顯示器的局部切割的平面圖。本發(fā)明的平板顯示器至少包括背板222、面板224、支撐框架225和分隔件226，背板222具有許多排列在玻璃基板上的電子發(fā)射元件221，面板204設(shè)置成面對(duì)背板222，并具有圖像顯示部分223，分隔件226用于保持背板222和面板224間的間隔抗大氣壓。背板222、面板224、支撐框架225和分隔件226利用熔結(jié)玻璃229氣密地結(jié)合，構(gòu)成平板顯示器。
例7-1中，制造其中25個(gè)分隔件226焊接到由尺寸為300mm×250mm×2.8mm的鈉鈣玻璃形成的背板222上。每個(gè)分隔件通過在高度為2.8mm、厚度為200微米、長(zhǎng)度為40mm的鈉鈣玻璃基板上形成厚約100nm作為導(dǎo)電膜的氮化鋁膜制備。
表1中的III(軟化溫度410℃)用作分隔件26和背板222間的熔結(jié)玻璃227。表1中的II(軟化溫度390℃)用作背板222和支撐框架225間的熔結(jié)玻璃228。表1中的I(軟化溫度365℃)熔結(jié)玻璃229用作面板224和支撐框架225間的熔結(jié)玻璃229。
關(guān)于電子發(fā)射元件221，形成圖37A和37B所示的表面?zhèn)鲗?dǎo)型電子發(fā)射元件。
下面結(jié)合圖33A、33B、37A、37B、38A和38B介紹根據(jù)本發(fā)明的例7-1的平板顯示器。
(1)用鈉鈣玻璃作背板，利用Pt在基板上形成元件電極235和236。此時(shí)，元件電極間隔L1設(shè)定為10微米；元件電極寬度W1設(shè)定為500微米，元件電極厚度d設(shè)定為100nm。在包括元件電極的希望的位置施加了有機(jī)含鈀溶液后，在300℃進(jìn)行加熱處理10分鐘，由細(xì)鈀氧化物(PdO)顆粒形成細(xì)顆粒膜234(平均直徑7nm)。
多個(gè)電子發(fā)射元件221形成于基板上，得到背板222。通過在玻璃基板上涂敷熒光物質(zhì)作圖像顯示部件223，制備面板。
(2)下面介紹例7-1中的密封方法。分隔件226利用熔結(jié)玻璃III(軟化溫度410℃)焊接到背板222(圖38A)。
(3)在背板222的外緣(圖33B中涂熔結(jié)玻璃的部分240)涂敷熔結(jié)玻璃II(軟化溫度390℃)。另外，在面板224上類似部位上涂敷熔結(jié)玻璃(軟化溫度365℃)。然后，在精確對(duì)準(zhǔn)的同時(shí)，重疊面板224、支撐框架225、和背板222(圖38B)。面板224、支撐框架225和背板222利用夾具固定在一起，從而使面板224和背板222不移動(dòng)，在400℃下，在爐中焙燒10分鐘以上。
以此方式，結(jié)合面板、背板和支撐框架(圖38C)。
(4)為排空上述步驟中制造的容器內(nèi)部，在密封處理后，通過附著在支撐框架225等上的排氣管(未示出)排空容器。然后，密封排氣管。
(例7-2)在例7-2中，制造具有與例7-1相同結(jié)構(gòu)的顯示器。在例7-2中，利用熔結(jié)玻璃III(軟化溫度410℃)結(jié)合分隔件與背板。利用熔結(jié)玻璃I(軟化溫度365℃)結(jié)合背板222與支撐框架225，利用熔結(jié)玻璃II(軟化溫度390℃)結(jié)合面板224與支撐框架225。
例7-2中平板顯示器的制造采用與例7-1中相同的方法。
(例7-3)在例7-3中，制造具有與例7-1相同結(jié)構(gòu)的顯示器。在例7-3中，利用熔結(jié)玻璃IV(軟化溫度450℃)結(jié)合分隔件226與背板222。利用熔結(jié)玻璃III(軟化溫度410℃)結(jié)合背板222與支撐框架225，利用熔結(jié)玻璃II(軟化溫度390℃)結(jié)合面板224與支撐框架225。
例7-3中平板顯示器的背板222和面板224的制造采用與例7-1中的(1)相同的方法。
(2)下面介紹例7-3中的密封方法。利用熔結(jié)玻璃IV(軟化溫度450℃)焊接分隔件226與背板222(圖38A)。
(3)熔結(jié)玻璃III(軟化溫度410℃)涂敷在背板222上的外緣(圖33B中涂有熔結(jié)玻璃的部分240)。另外，熔結(jié)玻璃II(軟化溫度390℃)涂敷在面板224上的類似部位。然后，在精確對(duì)準(zhǔn)的同時(shí)，重疊面板224和支撐背板222(圖33B)。面板224和背板222利用夾具固定，以便不使它們移動(dòng)，在420℃的爐中焙燒10分鐘以上。
結(jié)果，結(jié)合面板224、背板222和支撐框架225(圖38C)。
(4)為排空上述步驟制造的容器的內(nèi)部，在密封處理后，通過附著在支撐框架225等上的排氣管(未示出)排空容器。然后，密封排氣管。
(例7-4)在例7-4中，制造具有與例7-1相同結(jié)構(gòu)的顯示器。在例7-4中，利用熔結(jié)玻璃III(軟化溫度410℃)結(jié)合分隔件226與面板224。利用熔結(jié)玻璃II(軟化溫度390℃)結(jié)合背板222與支撐框架225，利用熔結(jié)玻璃I(軟化溫度365℃)結(jié)合面板224與支撐框架225。
例7-4中平板顯示器的背板22和面板224的制造采用與例7-1中的(1)相同的方法。
(2)下面結(jié)合圖39介紹例7-4中的密封方法。利用熔結(jié)玻璃III(軟化溫度410℃)焊接分隔件226與面板224(圖39A)。
(3)熔結(jié)玻璃II(軟化溫度390℃)涂敷在背板222上的外緣上。另外，熔結(jié)玻璃I(軟化溫度365℃)涂敷在面板上的類似部位。然后，在精確對(duì)準(zhǔn)的同時(shí)，重疊面板224、支撐框架225和支撐背板222(圖39B)。面板224、支撐框架225和背板222利用夾具固定，以便不使面板224和背板222移動(dòng)，并在420℃的爐中焙燒10分鐘以上。
以此方式，結(jié)合面板224、背板222和支撐框架225(圖39C)。
(4)為排空上述步驟制造的容器的內(nèi)部，在密封處理后，通過附著在支撐框架225等上的排氣管(未示出)排空容器。然后，密封排氣管。
(例7-5)在例7-5中，制造具有與例7-1相同結(jié)構(gòu)的顯示器。在例7-5中，利用熔結(jié)玻璃II(軟化溫度390℃)結(jié)合分隔件226與背板222。利用熔結(jié)玻璃II(軟化溫度390℃)結(jié)合背板222與支撐框架225，利用熔結(jié)玻璃I(軟化溫度365℃)結(jié)合面板224與支撐框架225。
例7-5中平板顯示器的背板222和面板224的制造采用與例7-1中的(1)相同的方法。
(2)下面結(jié)合圖40A-40C介紹例7-5中的密封方法。利用熔結(jié)玻璃II(軟化溫度390℃)焊接分隔件226和支撐框架225與背板222(圖40A)。
(3)熔結(jié)玻璃I(軟化溫度365℃)涂敷在面板224上的外緣上。在精確對(duì)準(zhǔn)的同時(shí)，重疊面板224和支撐框架225(圖40B)。面板224和支撐框架225利用夾具固定，以便不使它們移動(dòng)，在420℃的爐中焙燒10分鐘以上。
以此方式，結(jié)合面板224和支撐框架225(圖40C)。
(4)為排空上述步驟制造的容器的內(nèi)部，在密封處理后，通過附著在支撐框架225等上的排氣管(未示出)排空容器。然后，密封排氣管。
(例7-6)例7-6涉及例7-1中所述的拆解平板顯示器的方法。下面結(jié)合圖34A-34D介紹該拆解方法。
(1)解除對(duì)排氣管的密封部分的密封，引入空氣，從而消除容器內(nèi)的真空(未示出)。
(2)將顯示器裝入加熱爐中，背板222和面板224利用合適的夾具固定，然后，將顯示器加熱到380℃。在加熱溫度超過365℃時(shí)，結(jié)合面板224與支撐框架225的熔結(jié)玻璃I逐漸熔化。提拉固定面板224的夾具，分離面板224與支撐框架225(圖34A和34B)。
(3)用合適的夾具固定支撐框225后，加熱溫度升高到400℃。在加熱溫度超過390℃時(shí)，結(jié)合背板222與支撐框架225的熔結(jié)玻璃II逐漸熔化。提拉固定支撐框架225的夾具，分離支撐框架225與背板222(圖34C)。
(4)用合適的夾具固定分隔件226后，加熱溫度升高到450℃。在加熱溫度超過410℃時(shí)，結(jié)合背板222與分隔件226的熔結(jié)玻璃III逐漸熔化。提拉固定分隔件226的夾具，分離背板222與分隔件226(圖34D)。
用0.2N的硝酸溶液清洗每個(gè)回收的部件，去掉殘留熔結(jié)玻璃，然后清洗部件并干燥。通過檢測(cè)步驟篩選分隔件和支撐框架，沒有缺陷的送到再利用步驟。背板和面板被送到用于形成于這些基板上的資源的回收步驟、用于基板自身的再利用步驟等。在根據(jù)例7-6拆解的平板顯示器中，處理過程中，面板224、背板222、支撐框架7-6和分隔件226幾乎未受損傷。
(例7-7)例7-7涉及例7-2中所述的平板顯示器的拆解方法。下面結(jié)合圖36A-36E介紹該拆解方法。
(1)解除對(duì)排氣管的密封部分的密封，引入空氣，從而消除容器內(nèi)的真空(未示出)。
(2)將顯示器裝入加熱爐中，背板222和面板224利用合適的夾具固定，然后，將顯示器加熱到380℃。在加熱溫度超過365℃時(shí)，結(jié)合面板224與支撐框架225的熔結(jié)玻璃I逐漸熔化。提拉固定面板224的夾具，分離兩部件，即面板224與支撐框架225及背板222和分隔件226(圖36A、36B和36C)。
(3)在分離的兩部件中，面板224和支撐框架225在爐中被加熱到410℃，以逐漸熔化熔結(jié)玻璃II，提拉固定支撐框架225的夾具，按與例7-6中類似的方法分離面板224與支撐框架225(圖36E)。
(4)另一方面，用與例7-6中(4)相同的方法分離背板222和分隔件226(圖3D)。用0.2N的硝酸溶液清洗每個(gè)回收的部件，去掉殘留熔結(jié)玻璃，然后清洗部件并干燥。通過檢測(cè)步驟篩選分隔件226和支撐框架，沒有缺陷的送到再利用步驟。背板222和面板224被送到用于形成于這些基板上的資源的回收步驟、用于基板自身的再利用步驟等。在根據(jù)例7-7拆解的平板顯示器中，處理過程中，面板、背板、支撐框架和分隔件幾乎未受損傷。
(例7-8)例7-8涉及例7-3中所述的平板顯示器的拆解方法。下面結(jié)合圖34A-34D及35A-35C介紹該拆解方法。
利用例7-6中步驟(1)-(3)，從顯示器上分離面板224和支撐框架225直到圖34C所示狀態(tài)。
(4)背板用合適的夾具固定，并將背板222和分隔件226的結(jié)合部分浸在裝有0.2N的硝酸溶液239的溶液槽237中(圖35A)。溶液槽237中引入網(wǎng)狀特弗隆容器238。在該結(jié)合部分浸入硝酸溶液239中時(shí)，熔結(jié)玻璃IV熔解，分隔件226回收到容器238中。證實(shí)了所有分隔件226被分離后，提拉背板222(圖35B)。也從硝酸溶液239中與容器238一起提拉分隔件226。
從每個(gè)回收部件上去除殘留熔結(jié)玻璃，清洗部件并干燥。通過檢測(cè)步驟篩選每個(gè)部件，并送到再利用或更精確的回收步驟。在根據(jù)例7-8拆解的平板顯示器中，在處理過程中，面板、背板、支撐框架和分隔件幾乎未受損傷。
(例7-9)例7-7涉及例7-4中所述的平板顯示器的拆解方法。利用與例7-7中所述的(1)-(2)相同的，將顯示器加熱到360℃，分離兩部件即背背222和支撐框架225及面板224和分隔件226。
在兩分離的部件中，利用與例7-7中(3)相同的方法分離背板225和支撐框架225。
利用與例7-6中(4)相同的方法分離面板224和分隔件226。
在根據(jù)例7-9拆解的平板顯示器中，在處理過程中，面板、背板、支撐框架和分隔件幾乎未受損傷。
(例7-10)例7-10涉及拆解例7-5所述平板顯示器的方法。利用例7-6中(1)和(2)從顯示器上分離面板224直到圖34B所示狀態(tài)。
(3)用合適夾具同時(shí)固定支撐框架225和分隔件226后，加熱溫度升高到410℃。在加熱溫度超過390℃時(shí)，結(jié)合背板222與支撐框架225及背板與分隔件226的熔結(jié)玻璃II逐漸熔化。提拉固定支撐框架225與分隔件226的夾具，分離各部件。
在根據(jù)例7-10拆解的平板顯示器中，在處理過程中，面板224、背板222、支撐框架225和分隔件226幾乎未受損傷。
(比較例7-1)除分隔件226和背板222、背板222和支撐框架225及面板和支撐框架225利用熔結(jié)玻璃II(軟化溫度390℃)結(jié)合外，比較例7-1中拆解的平板顯示器用與例7-1相同的方法制造。
如下拆解這種平板顯示器。
排空容器后，將顯示器裝入加熱爐中。背板222、面板224和支撐框架225利用合適夾具固定后，顯示器被加熱到410℃。在加熱溫度超過390℃時(shí)，熔結(jié)玻璃II開始熔化。由于背板、框架和面板間的結(jié)合部分同時(shí)熔化，盡管背板、框架和面板由夾具固定，但固定狀態(tài)變得不穩(wěn)定。某些情況下，這些部件彼此接觸或夾具與它們接觸，會(huì)損傷部件。具體說，損傷了具有薄板形的許多分隔件。
(實(shí)施例8)下面結(jié)合附圖介紹根據(jù)本發(fā)明有害金屬殘留量檢測(cè)裝置的實(shí)施例。
圖41是展示根據(jù)本發(fā)明有害金屬殘留量檢測(cè)裝置的示圖。
如圖41所示，該檢測(cè)裝置檢測(cè)例如拆解和拆分用于再利用的部件、廢物等檢測(cè)物體X中所含有害金屬鉛等的量。該檢測(cè)裝置主要由用于洗出和回收鉛的鉛洗出/回收部130、清洗部分131、殘留鉛洗出部分132和殘留鉛量檢測(cè)部分133構(gòu)成。
由于檢測(cè)物體X包括拆解和拆分主要含玻璃部件的器件后得到的部件或廢物，所說玻璃部件例如為由背板1、面板2、框架3和分隔件4構(gòu)成的平板顯示器或陰極射線管。如下所述，該檢測(cè)裝置利用硝配洗出鉛。因此，該裝置可以檢測(cè)對(duì)硝酸溶液的不溶性，檢測(cè)物體X不限于玻璃部件。
圖41中，鉛洗出/回收部分130在用于浸泡檢測(cè)物體X的浸泡槽100中充有酸溶液A，該部分洗出檢測(cè)物體中所含的有害金屬(鉛)。浸泡槽100與回收槽102通過管道101相連。鉛洗出溶液通過開/關(guān)閥103供應(yīng)到回收槽102，溶液傳送泵104設(shè)置在管道101的中間部位。
傳送器105的傳送出口設(shè)在當(dāng)浸泡槽100的上緣處，例如拆分的部件等檢測(cè)物體X從拆解處理部分(未示出)裝載。浸泡槽100中設(shè)置網(wǎng)狀籠106。檢測(cè)物體X從傳送器105落到網(wǎng)狀籠106中，預(yù)定洗出時(shí)間過去后，通過提拉網(wǎng)狀籠106的手柄，取出檢測(cè)物體。
清洗部分131在用于浸泡檢測(cè)物體X的清洗槽110中裝有純水B，用于在利用鉛洗出/回收部分130洗出后，清洗檢測(cè)物體X。即，從浸泡槽100中提拉的網(wǎng)狀籠106放置在清洗槽110中。
殘留鉛洗出部分132在用于浸泡檢測(cè)物體X的浸泡槽120中裝有酸溶液C，用于洗出留在利用清洗部分131清洗過的檢測(cè)物體X上的鉛。浸泡槽120與開/關(guān)閥122、溶液輸送泵123和轉(zhuǎn)換閥124通過管道121相連。殘留鉛洗出溶液供應(yīng)到殘留鉛量檢測(cè)部分133。在浸泡槽120之下設(shè)置超聲振動(dòng)器125，在浸泡槽120中對(duì)酸溶液C施加超聲振動(dòng)，以促進(jìn)洗出。
轉(zhuǎn)換閥124的另一端與延伸到浸泡槽100中的管道126相連。裝在浸泡槽120中的酸溶液C的殘留物供應(yīng)到浸泡槽100，在此再利用該殘留物。利用酸溶液C和再利用酸溶液C的酸溶液A是例如硝酸溶液，硝酸溶液的濃度較好是0.1N(當(dāng)量濃度)-1N。
殘留鉛量檢測(cè)部分133采用定量檢測(cè)(以后將介紹)的合適設(shè)置，用于從所接受的洗出溶液中定量檢測(cè)鉛。
槽100、102、110和120的材料的優(yōu)選例子有例如特弗隆等樹脂和不含鉛的玻璃，必須耐存儲(chǔ)和裝在這些槽中的酸溶液A和C。類似地，網(wǎng)狀籠106的材料必須耐網(wǎng)狀籠106浸入其中的酸溶液A和C，優(yōu)選例子是例如特弗隆等樹脂。
更具體說，該檢測(cè)裝置中，檢測(cè)物體X浸泡在浸泡槽100的酸溶液A(硝酸溶液)中，以洗出檢測(cè)物體X中所含的鉛成分。然后，用清洗槽110中的純水B清洗檢測(cè)物體X，并浸泡在浸泡槽120的酸溶液C(新硝酸溶液)中洗出殘留鉛。利用殘留鉛量檢測(cè)部分133，進(jìn)行鉛量定量檢測(cè)，以檢測(cè)殘留鉛量。
圖42是依次介紹利用圖41所示有害金屬殘留量檢測(cè)裝置的檢測(cè)過程的流程圖。下面介紹拆解圖43所示平板顯示器的情況。
進(jìn)行拆解的預(yù)處理步驟(1)-(3)。從平板顯示裝置的外殼上拆下例如端子等接點(diǎn)(步驟(1))，并僅取出顯示器主體(步驟(2))。取消構(gòu)成顯示器主體的氣密容器中的真空，恢復(fù)到大氣壓(步驟(3))。
用合適的裝置拆解顯示器主體，并拆分。拆分的各部件和其余廢物用作檢測(cè)物體X。
用傳送器105將這種檢測(cè)物體X傳送到鉛洗出/回收部分130，浸泡在浸泡槽100的酸溶液A(硝酸溶液)中(步驟(4))。
在預(yù)定時(shí)間過去后，提拉網(wǎng)狀籠106，取出從熔結(jié)玻璃上剝離的部件(步驟(5))。
提拉起來的網(wǎng)狀籠被轉(zhuǎn)移到清洗部分131，并沉入清洗槽110，以便用純水清洗附著到檢測(cè)物體X上的硝酸溶液(步驟(6))。
清洗后，網(wǎng)狀籠106被轉(zhuǎn)移到殘留鉛洗出部分132，沉入浸泡槽120，并浸泡在硝酸溶液C中(步驟(7))。此時(shí)，激發(fā)超聲振動(dòng)器125，在浸泡槽120上加振動(dòng)，從而提高洗出效率。
然后，開/關(guān)閥122工作，將浸泡槽120中的洗出溶液供應(yīng)到殘留鉛量檢測(cè)部分133，在此取出供應(yīng)的洗出溶液(步驟(8))。提取量達(dá)幾十cc。
殘留鉛量檢測(cè)部分133在所接收的洗出溶液中加入碘化物，產(chǎn)生顏色，并測(cè)量吸收(步驟(9))。測(cè)量波長(zhǎng)較好是340nm左右，以實(shí)現(xiàn)高分析精度。殘留鉛量檢測(cè)部分133從所測(cè)吸收到得鉛離子濃度。
取得鉛離子濃度，以便預(yù)先得到標(biāo)準(zhǔn)樣品的鉛離子濃度與吸收間的關(guān)系(標(biāo)準(zhǔn)曲線)，標(biāo)準(zhǔn)曲線是指獲得鉛離子濃度的吸收。此時(shí)，采用使用中的硝酸溶液中鉛的定量值作參考值。
或者，殘留鉛量檢測(cè)部分133可進(jìn)行所接收洗出溶液的等離子發(fā)射波譜分析(ICP)，以檢測(cè)鉛離子濃度。此時(shí)，就靈敏度而言，測(cè)量波長(zhǎng)較好是220.4nm。
利用吸收方法的鉛量下限是約1ppm，而利用ICP法的鉛量下限下約為0.05ppm。
注意，通過操作轉(zhuǎn)換閥124，為檢測(cè)而取出的洗出溶液的殘留硝酸溶液供應(yīng)到浸泡100，在此再利用硝酸溶液。這樣可以有利地減少浪費(fèi)。
如果上述方式得到的鉛離子濃度值等于或小于預(yù)定容差(例如幾十ppm)，認(rèn)為檢測(cè)物體X沒有任何殘留鉛。對(duì)于鉛離子濃度高于容差的情況，處理返回到步驟(7)，在新硝酸溶液中再浸泡檢測(cè)物體X，并重復(fù)步驟(8)-(10)(步驟(10))。這種情況下，在步驟(8)中的所有硝酸溶液排放掉后，浸泡槽120中可以裝入新硝酸溶液，或可提供大量浸泡槽120備用。由于鉛離子濃度是根據(jù)溶液量的增加/減少而改變的相對(duì)量，則為浸泡槽120準(zhǔn)備的新硝酸溶液必須保持該溶液量和濃度值恒定。
另一方面，步驟(4)后，通過操作開/關(guān)閥103，向回收槽102供應(yīng)浸泡槽100的硝酸溶液(步驟(11))。在回收槽102中額外加入硫酸離子，使硝酸溶液中的鉛與硫酸離子反應(yīng)，從而沉積作為硫酸鉛的鉛。過濾、回收所得溶液，并對(duì)含鉛有害物質(zhì)進(jìn)行適當(dāng)?shù)膹U物清除。
利用上述設(shè)置，在實(shí)施例8的有害金屬殘留量檢測(cè)裝置中，在檢測(cè)物體X浸泡在鉛洗出/回收部分130的浸泡槽100中時(shí)，利用浸泡槽100中的硝酸溶液(酸溶液)洗出檢測(cè)物體X中所含鉛(有害金屬)。檢測(cè)物體X供應(yīng)到清洗部分131，在此清洗檢測(cè)物質(zhì)X。然后，檢測(cè)物體X浸泡在殘留鉛洗出部分132的浸泡槽120中，以便利用浸泡槽120中的硝酸溶液(酸溶液C)，洗出留在檢測(cè)物體X上的鉛(有害金屬)。洗出溶液供應(yīng)到殘留鉛量檢測(cè)部分133，定量檢測(cè)洗出溶液中所含鉛離子濃度(有害金屬量)。
因此，在拆解和拆分平板顯示器等時(shí)，可以定量檢測(cè)如鉛等留在如玻璃拆分件或廢物等檢測(cè)物體X上的有害金屬。這種情況下，檢測(cè)物體簡(jiǎn)單地浸泡在裝有酸溶液A和C的浸泡槽100和120中，于是可以在不需要任何煩瑣操作的情況下，容易定量檢測(cè)有害金屬量。只要檢測(cè)物體X不溶解于酸溶液A和C，便可以洗出例如鉛等有害金屬。對(duì)檢測(cè)物體X的材料、形狀等沒有特別限制，可以檢測(cè)各種部件。
(實(shí)施例9)下面結(jié)合附圖介紹根據(jù)本發(fā)明平板顯示器屏板拆解裝置的實(shí)施例。
(實(shí)施例9-1)圖44A和44B-49示出了本發(fā)明的第一實(shí)施例。圖44A是展示平板顯示器拆解裝置的設(shè)置的透視圖，圖44B是其平面圖。圖45是展示圖44A和44B中工作臺(tái)和支撐裝置的平面圖。圖46A是展示圖44A和44B中傳輸裝置的平面圖，圖46B是展示傳輸裝置的側(cè)示圖。圖47A是展示圖44A和44B中的傳輸裝置的另一例子平面圖，圖47B是展示該傳輸裝置的側(cè)視圖。圖48是展示圖44A和44B中分隔件回收夾具有側(cè)視圖。圖49是展示圖44A和44B中分隔件回收夾具的另一例子的側(cè)視圖。
在圖44A和44B中，參考數(shù)字50表示平板顯示器；57是設(shè)置平板顯示器50的工作臺(tái)；54是通過在平板顯示器50上加拉力支撐平板顯示器50的支撐裝置；55是在支撐裝置54上產(chǎn)生拉力的控制器；71(72)是分隔件回收夾具；300是傳輸裝置。
要拆解的平板顯示器50具有上述圖43所示結(jié)構(gòu)。平板顯示器50設(shè)置在工作臺(tái)57上，板部件固定到面向上的分隔件4上。支撐裝置54與平板顯示器50的上表面接觸，在平板顯示器50上施加預(yù)定拉力，以固定之。圖45示出了分隔件4固定到至少一個(gè)面板2上的例子。當(dāng)在其上設(shè)置平板顯示器50時(shí)，工作臺(tái)57可以垂直升高。
支撐裝置54與控制器55相連。平板顯示器50的類型是輸入型，控制器55使支撐裝置54產(chǎn)生預(yù)定拉力，支撐上表面的重量。
利用支撐裝置54產(chǎn)生拉力的裝置采用例如抽空裝置等裝置，來通過從抽空裝置的抽空力產(chǎn)生提拉力支撐平板顯示器50，或采用例如抽吸裝置等裝置，用于通過從抽吸器的抽吸力產(chǎn)生拉力支撐平板顯示器50。實(shí)施例8采用抽空裝置的設(shè)置，支撐裝置54與抽空裝置56相連。注意，支撐裝置54的拉力不設(shè)定為能夠支撐設(shè)置于工作臺(tái)57上的平板顯示器50的總重量的值，但設(shè)定到足以支撐從其上分離了框架部件3的平板顯示器50的重量的值，即，足以支撐固定到分隔件4上的板部分的值。拉力較好設(shè)定為大于該重量1kg。
在框架部件3從平板顯示器50上分離后，傳輸裝置300將固定到分隔件4上的板部件傳輸?shù)椒指艏厥諉卧?3(74)。傳送裝置300沿導(dǎo)軌100移動(dòng)，以傳輸板部件。圖46A和46B中所示裝置用于分隔件4固定到兩個(gè)板1和2中任一個(gè)上的顯示器。圖47A和47B所示裝置用于分隔件4固定到兩板1和2上的顯示器。
傳輸裝置300的柱61可以在工作臺(tái)60上前后左右運(yùn)動(dòng)。柱61裝備有臂63，臂63的水平可以調(diào)節(jié)。臂63配有加壓夾具62。
加壓夾具62通過從兩側(cè)夾緊板部件將固定到分隔件4上的板部件固定。更具體說，一對(duì)右和左吊柱321R和321L及322R和322L附著到臂63的前后。吊柱321R、321L、322R和322L具有卡爪321R1和321R2、321L1和321L2及322R1和322R2及322L1和322L2，每對(duì)卡爪以垂直間隔d1隔開。垂直間隔d1設(shè)定為大到足以安裝背板1或面板2。附著到63臂上的加壓夾具62的水平開口角和前/后位置可以調(diào)節(jié)。
分隔件回收夾具71(72)容納和支撐固定于分隔件4上的板的邊緣。具有圖48所示設(shè)置的分隔件回收夾具71，用于分隔件4固定到兩板1和2中任一個(gè)上的顯示器。具有圖49所示設(shè)置的分隔件回收夾具72，用于分隔件4固定到兩板1和2上的顯示器。
容納和支撐板部件的分隔件回收夾具71(72)存放在分隔件回收單元73(74)中，在此分隔件4被分離和回收。
關(guān)于分隔件回收夾具71，溝槽深度d2設(shè)為等于或大于每個(gè)分隔件4的高度，溝槽寬度d3設(shè)為等于或大于分隔件4的面積的距離，接收開口d4設(shè)為等于或大于分隔件回收夾具71容納和支撐的板部件的寬度。對(duì)于分隔件回收夾具72來說，下溝槽深度d5設(shè)為等于或大于板部件的厚度，支架厚度d6設(shè)為等于或小于背板1和面板2間的間隔，即，在先前步驟中分離的框架部件3的厚度。負(fù)載避免夾具70設(shè)置在分隔件回收夾具72的溝槽的底部，以防止任何負(fù)載加于所容納/支撐的板部件上的分隔件上。
分隔件回收單元73(74)存放容納和支撐板部件的分隔件回收夾具71(72)。在分隔件回收單元73(74)中，分離和回收分隔件4。
為分離和回收分隔件4，將分隔件4浸泡在例如硝酸溶液等酸溶液中或被加熱。換言之，利用酸溶液浸泡槽73實(shí)現(xiàn)分隔件回收單元。分隔件回收夾具71(72)浸泡在酸溶液中，以便從所容納/支撐的板部件上分離分隔件4，并回收集中在溝槽底部的分隔件4。另外，分隔件回收單元利用加熱爐74實(shí)現(xiàn)。分隔件回收夾具71(72)被加熱，以便從所容納/支撐的板部件上分離分隔件4。分隔件夾具71(72)被取出，以回收集中在溝槽底部的分隔件4。
酸溶液的一個(gè)例子是0.2N硝酸溶液。在分隔件回收夾具采用在酸溶液中浸泡分隔件的配置時(shí)，分隔件回收夾具71(72)由如塑料等耐酸材料構(gòu)成。在分隔件回收夾具采用加熱分隔件的配置時(shí)，分隔件回收夾具71(72)由如金屬等耐熱材料構(gòu)成。
圖50示出了依次介紹利用圖44A和44B所示平板顯示器拆解裝置的拆解工藝的流程圖。
進(jìn)行拆解的預(yù)處理步驟(1)-(5)。從平板顯示器裝置的外殼中拆掉平板顯示器50(步驟(1))，并設(shè)置在工作臺(tái)57上，板部件固定到面向上的分隔件4上(步驟(2))。拆掉附屬布線和端子(步驟(3))。進(jìn)行例如拆開排氣管的附著部件的密封的合適處理，從而使真空容器內(nèi)部恢得到大氣壓(步驟(4))。然后，拆掉排氣管(步驟(5))。
如圖45所示，支撐裝置54與工作臺(tái)57上的平板顯示器50的上表面接觸，以利用預(yù)定拉力固定平板顯示器50(步驟(6))。
然后從平板顯示器50上分離框架部件3，分離采用簡(jiǎn)單切割平板顯示器50、在框架部件3和兩板1和2間壓插楔形工具或噴射硝酸溶液的方法，以分離它們。
粉碎在步驟(7)分離的框架部件3(步驟(8))。同時(shí)，去除鉛成分，所得材料作為循環(huán)使用的新玻璃材料再利用(步驟(9))。
利用圖46A和46B所示的傳輸裝置300將固定到分隔件4上的板部件固定(步驟(10))，沒導(dǎo)軌100移動(dòng)，并傳輸?shù)椒指艏厥諍A具71(72)。更具體說，調(diào)節(jié)吊柱321L和321R及322L和322R的開口角度，并由卡爪321L1和321L2、321R1和321R2及322L1和322L2、322R1和322R2夾緊、懸掛和支撐。工作臺(tái)60沿導(dǎo)軌100移動(dòng)，利用與懸掛/支撐程序相反的程序，將板部件轉(zhuǎn)移到分隔件回收夾具71(72)上。
然后，回收分隔件4(步驟(12))。為此，容納和支撐固定到分隔件4上的板部件的分隔件回收夾具71(72)存放在分隔件回收單元73(74)中，在此分離和回收分隔件4。
分隔件4回收后，在板部件是面板2(步驟(13))時(shí)，從面板2上回收熒光物質(zhì)(步驟(14))。粉碎面板2，去除鉛成分，所得材料再用作循環(huán)利用的新玻璃材料(步驟(15))。
在板部件是背板1(步驟(16))時(shí)，從背板1上去掉布線(步驟(17))。粉碎背板1，去除鉛成分，所得材料再用作循環(huán)利用的新玻璃材料(步驟(18))。
利用上述裝置，在實(shí)施例9的平板顯示器拆解裝置中，通過在從顯示主體(真空容器)分離框架部件3時(shí)，從支撐裝置54施加拉力，支撐固定到分隔件4上的板部件。分隔件4被懸掛，不承受所固定板部件的重量，可以在不在分隔件4上施加任何負(fù)載情況下分離框架3。這可以防止對(duì)分隔件4的任何損傷。
分離了框架部分3后，分隔件夾具71(72)容納和支撐固定到分隔件4的板的邊緣。此時(shí)，分隔件4被懸掛，不承受所固定板部件的重量。在分隔件回收單元73(74)容納和支撐板部件的同時(shí)，進(jìn)行從被分隔件回收夾具71(72)容納和支撐的板部件上分離分隔件4的步驟。另外，在分隔件4的分離/回收步驟，分隔件4不承受任何額外的重量，可以防止受損傷。
換言之，可以利用合適的步驟進(jìn)行拆解處理，并可以在沒有任何損傷的情況下回收例如分隔件4等可直接再利用構(gòu)件。結(jié)果，可以有利地循環(huán)利用各構(gòu)件。
(實(shí)施例9-2)圖51A和51B示出了本發(fā)明的實(shí)施例9-2。圖51A是展示平板顯示器拆解裝置的設(shè)置的透視圖，圖51B是其平面圖。
在實(shí)施例9-2中，通過在平板顯示器50的上表面上施加拉力，支撐平板顯示器50的支撐裝置，由抽吸裝置240實(shí)現(xiàn)，用于通過從抽吸器的抽吸力產(chǎn)生拉力，支撐平板顯示器50。傳輸裝置301繞柱61旋轉(zhuǎn)附著到其上部的臂63。在臂63的旋轉(zhuǎn)范圍內(nèi)，設(shè)置工作臺(tái)57、分隔件回收單元73(74)和分隔件回收夾具71(72)。注意，與實(shí)施例9-1中相同的參考數(shù)字表示相同部件，將省略對(duì)它們的介紹。
這種情況下的拆解工藝與實(shí)施例9-1中的相同。在每個(gè)步驟，分隔4可以被懸掛?？梢栽诓皇┘尤魏沃亓康那闆r下，分離和回收分隔件4，并可防止其受損傷?？梢圆鸾飧鞑考?，并將它們?cè)儆米餮h(huán)使用的新玻璃材料。即，拆解處理可利用合適的步驟進(jìn)行，可有利用地循環(huán)利用各構(gòu)件。
(實(shí)施例10)下面結(jié)合附圖具體介紹本發(fā)明的實(shí)施例10。實(shí)施例10將例示引入分隔件并在面板的內(nèi)表面上具有熒光屏的FPD的拆解處理，如圖43A、43B和32所示。
圖43A是展示FPD的局部切除透視圖，圖43B是剖面圖。在圖43A和43B中，參考數(shù)字1表示背板；2是面板；3是框架；4是分隔件。含鉛熔結(jié)玻璃5用作圖43A和43B中黑色表示的每個(gè)結(jié)合部分。
背板1、面板2和框架3材料的例子有二氧化硅玻璃、含例如Na等少量雜質(zhì)的玻璃、鈉-鈣玻璃和在鈉鈣玻璃上層疊二氧化硅層制備的玻璃。
在面板2上，在玻璃板2a的內(nèi)表面上形成有熒光膜2b，在熒光膜的內(nèi)表面上形成有含Al的金屬敷層2c。
分隔件4與面板和背板中的任一個(gè)或兩者結(jié)合。在該實(shí)施例中，分隔件4僅與面板結(jié)合。分隔件4基本由玻璃構(gòu)成。分隔件的表面可以涂敷抗靜電膜。
此外，用于抽空FPD的排氣管(未示出)一般附著到FPD上。一般說，排氣管由含鉛低熔點(diǎn)玻璃構(gòu)成。
圖32所示FPD是矩陣驅(qū)動(dòng)方式的表面?zhèn)鲗?dǎo)型電子源顯示器的一個(gè)例子。圖32是展示FPD的局部切除的透視圖。圖32中，背板1上形成有表面?zhèn)鲗?dǎo)型電子源11及布線12和13，用于驅(qū)動(dòng)電子源。布線12和13是X方向(Dox1，Dox2，...Doxm)Y方向(Doy1，Doy2，...Doyn)元件布線，由Ag、Pd等構(gòu)成。X方向布線12和Y方向布線13通過至少位于它們的交叉點(diǎn)處的絕緣層(未示出)絕緣。該絕緣層由含大量鉛的玻璃構(gòu)成。
如上所述，F(xiàn)PD的各部分采用含鉛材料。本發(fā)明的目標(biāo)是通過適用于要處理的部件的形狀的方法，有效地進(jìn)行去除鉛的處理和將玻璃等處理成可再利用狀態(tài)。
圖53是展解釋本發(fā)明的實(shí)施例的FPD器件拆解方法的各步驟的流程圖。與該方法的前半部分一樣，步驟(1)-(3)是預(yù)處理步驟，包括從FPD器件的外殼中取出FPD，并去掉附屬的布線和端子的步驟。在步驟(4)-(6)，利用適當(dāng)?shù)姆椒ㄈ∠鸉PD中的真空，然后拆掉排氣管。由于排氣管含鉛，所以處理之，并將之再用作含鉛玻璃。
在步驟(7)，通過切割框架，將屏板分離成各部件?；蛘撸?8)，熔化結(jié)合部分的熔結(jié)玻璃，分離各部件。通過步驟(7)或(8)，報(bào)廢的FPD被分成框架、內(nèi)屏板部件、面板和背板。下面將介紹各部件的處理方法。
粉碎框架部分，并再用作含鉛玻璃。
如果分隔件(玻璃制的)或柵極(金屬制的)等作為內(nèi)屏板部件存在，則回收并再利用它們(步驟(9))。
關(guān)于面板，去掉(步驟(10))并回收(步驟(11))熒光物質(zhì)。在步驟(12)，將面板放入液體處理槽中，以去除殘熔結(jié)玻璃。圖52是展示此時(shí)所用處理槽的設(shè)置的示意圖。處理槽81可以同時(shí)處理大量面板82。面板82借支撐框架(未示出)，以一定間距平行設(shè)置于處理槽81中，以防止它們的表面間發(fā)生接觸。面板82浸泡在溶解熔結(jié)玻璃的液體83(例如稀硝酸)中。注意，處理槽81由例如不銹鋼等耐侵蝕材料制成。
為加速熔結(jié)玻璃溶解，適當(dāng)?shù)姆椒ㄓ?1)使液體流動(dòng)；(2)在面板上施加振動(dòng)或聲波；或(3)通過加熱機(jī)構(gòu)升高液體溫度。將熔結(jié)玻璃洗出用的處理溶液從該處理槽81中引到處理溶液循環(huán)再利用用裝置86，在此回收鉛和洗出物質(zhì)(步驟(13))。結(jié)果，循環(huán)再利用了處理溶液，并將它們返回處理槽81。通過利用處理溶液循環(huán)機(jī)構(gòu)，處理槽內(nèi)部環(huán)境幾乎可以保持恒定，可以連續(xù)進(jìn)行從面板82上去除殘留熔結(jié)玻璃的處理。圖52中的箭頭示意性示出了處理溶液的流動(dòng)。
然后，將面板從處理槽轉(zhuǎn)移到清洗槽，在此清洗面板(步驟(14))。在清洗步驟中，清洗所用液體(例如水)用于去掉附著到面板上的處理溶液。清洗槽的結(jié)構(gòu)和作用基本上與圖52所示的處理槽的相同。已經(jīng)過清洗步驟的玻璃，通過粉碎或再熔結(jié)步驟，可再用作面板基板。
關(guān)于背板，在步驟(15)，將背板放入圖52所示液體處理槽中，以去掉布線。與面板類似，背板借支撐框架(未示出)，以一定間隔平行設(shè)置于處理槽81中。背板浸泡在溶解布線材料的液體83(例如稀硝酸)中，可以同時(shí)處理許多背板。背板處理槽的結(jié)構(gòu)和作用基本上與面板處理槽的相同。在該處理槽中去掉一布線后，回收布線中所含金屬(Ag、Pb等)(步驟(16))。
然后，將背板從處理槽轉(zhuǎn)移到清洗槽，在此清洗背板(步驟(17))。在清洗步驟中，清洗所用液體(例如水)用于去掉附著到背板上的處理溶液。清洗槽的結(jié)構(gòu)和作用基本上與上述處理槽的相同。已經(jīng)過清洗步驟的玻璃，通過粉碎或再熔化步驟，可再用作背板基板。
(例10)下面結(jié)合圖32、43A、43B、52和53利用例10具體介紹本發(fā)明。
(例10-1)(切割和分離后進(jìn)行槽處理的方法)拆解10個(gè)圖32所示矩陣驅(qū)動(dòng)模式的表面?zhèn)鲗?dǎo)型電子源顯示器(SED)、每個(gè)SED具有包括分隔件的圖43A和43B所示屏板結(jié)構(gòu)。
根據(jù)圖53中FPD器件的拆解處理流程，從SED器件的外殼中取出SED，將去掉附屬布線和端子。取消SED中的真空，拆掉排氣管。處理排氣管，并再用作含鉛玻璃。
切割線設(shè)定在施加熔結(jié)玻璃的SED屏板區(qū)內(nèi)，并在施加研磨溶液的同時(shí)，用金剛石切割鋸，沿切割線切割SED。
對(duì)10個(gè)SEDs進(jìn)行該操作。通過切割，每個(gè)SED被分成框架、面板和背板。切割中某些分隔件脫落，某些分隔件仍與面板結(jié)合在一起。人工回收所有分隔件，并篩選和再利用可循環(huán)分隔件。
粉碎框架部分，并再用作含鉛玻璃材料。去除了金屬敷層和熒光物質(zhì)后，將10個(gè)面板立刻放入液體處理槽。圖52是展示此時(shí)所用處理槽的設(shè)置的示意圖。處理槽81中裝有0.2-N的硝酸作為處理溶液83。各面板82平行設(shè)置并浸泡在處理溶液83中。處理槽81中引入支撐框架(未示出)，以使以一定間隔平行設(shè)置面板82。處理溶液83在液體流動(dòng)裝置84的作用下，沿面板82的表面流動(dòng)。同時(shí)，在用加熱器85將處理溶液加熱到50℃的同時(shí)，處理面板82一小時(shí)。
同時(shí)，處理溶液83供應(yīng)到處理溶液循環(huán)裝置86，在此循環(huán)處理溶液83，并使之返回到處理槽81。處理溶液循環(huán)裝置86用過濾器去掉固態(tài)成分，并利用電解法分離和回收溶解的成分。
將10個(gè)面板82立刻從處理槽81轉(zhuǎn)移到清洗槽，在此進(jìn)行清洗。清洗槽的結(jié)構(gòu)基本上與處理槽的相同。用水作清洗溶液，清洗面板30分鐘。粉碎或熔化已經(jīng)過清洗步驟的玻璃，并再用作面板基板。
將10個(gè)背板放入圖52所示的液體處理槽，以便去除殘留熔結(jié)玻璃和布線。處理溶液是0.2-N的硝酸。在將處理溶液加熱到50℃的同時(shí)，利用超聲波施加裝置87，施加超聲波，處理背板2小時(shí)。
將10個(gè)背板立刻從處理槽轉(zhuǎn)移到清洗槽，在此進(jìn)行清洗。清洗槽的結(jié)構(gòu)與處理槽的基本相同。用水作清洗溶液，清洗背板30分鐘。粉碎或熔化已經(jīng)過清洗步驟的玻璃，并再用作背板基板。
(例10-2)(溶解和分離后進(jìn)行批處理的方法)根據(jù)圖53中FPD器件的拆解處理流程，從SED器件的外殼中取出SED，將去掉附屬布線和端子。取消SED中的真空，拆掉排氣管。處理排氣管，并再用作含鉛玻璃。
將每個(gè)SED屏板浸泡在硝酸溶液中，以溶解屏板結(jié)合部分的熔結(jié)玻璃。結(jié)果，每個(gè)屏板被分成框架、面板和背板。
對(duì)10個(gè)SEDs進(jìn)行該操作。
到面板和背板的清洗步驟都與例10-1相同。干燥已經(jīng)過清洗步驟的玻璃，并再用作面板或背板基板。
由于例10-2中不切割玻璃基板，所以可以直接將回收的玻璃基板再用作SED部件。
(實(shí)施例11)下面結(jié)合附圖介紹根據(jù)本發(fā)明的平板顯示器的熒光物質(zhì)回收方法和裝置的優(yōu)選實(shí)施例。
實(shí)施例11中，要處理的顯示器是由面板、背板和框架制成的平板顯示器，其中熒光物質(zhì)涂敷在面板的內(nèi)表面上，并借電子束的輻射發(fā)光。
本發(fā)明的熒光物質(zhì)回收裝置采用一固定裝置，該裝置具有設(shè)置成相對(duì)于平板顯示器可伸縮以便圍繞設(shè)置在例如工作臺(tái)或工作帶上等基座上的平板顯示器的固定夾具，該固定裝置通過擺動(dòng)固定夾具，使之從平板顯示器的四個(gè)方向與平板顯示器接觸，來固定平板顯示器。
圖54示出本發(fā)明中處理的各基本步驟。
圖54中，從外殼中分離要處理/報(bào)廢的顯示器(S40)。這種情況下，顯示器設(shè)在工作臺(tái)上，顯示器的面板面向下。顯示器的外圍暫時(shí)用本發(fā)明的可移動(dòng)念型固定夾具固定。另外，附著到工作臺(tái)上的吸盤工作，以充分固定平板顯示器。
根據(jù)移動(dòng)距離檢測(cè)所用固定夾具的位置，從該位置信息檢測(cè)平板顯示器的尺寸信息(S41)。該信息被送到控制端(控制器)，該控制端決定切割框(以后將介紹)時(shí)所用切割器的移動(dòng)范圍或隨后熒光物質(zhì)回收刷(回收裝置)的工作范圍。橡膠或塑料密封件附著到吸盤的吸附口周圍，以更緊密地接觸面板。
抽吸器向下移動(dòng)，以抽吸上背板，并根據(jù)來自控制端的信息切割框架(S44)。利用例如熱熔化框架處的熔結(jié)玻璃的方法，分離面板、背板、框架(S45和S49)。從面板上去掉了背板和框架(S45)。去除了例如金、銀和鈀等貴金屬元素(S47)后，將背板和框架轉(zhuǎn)移到碎片形成步驟(S48)。
關(guān)于面板，帶有吸附機(jī)構(gòu)的熒光物質(zhì)回收刷多次向下移動(dòng)到面板，并在面板上多次做往復(fù)運(yùn)動(dòng)(S50)，從而回收熒光物質(zhì)(S51)。這種情況下，使用熒光物質(zhì)檢測(cè)裝置，用于檢測(cè)留在面板上的熒光物質(zhì)的量。根據(jù)熒光物質(zhì)檢測(cè)裝置得到的熒光物質(zhì)量信息，控制用作回收裝置的回收刷的操作。
關(guān)于根據(jù)本發(fā)明利用用熒光物質(zhì)檢測(cè)裝置決定熒光物質(zhì)回收工作的終點(diǎn)的方法，例如可以在工作臺(tái)上附著發(fā)射可見光并檢測(cè)透射率的裝置來確定工作的終點(diǎn)?；蛘?，可在回收刷后，設(shè)置熒光譜檢測(cè)單元，在熒光物質(zhì)的熒光強(qiáng)度變?yōu)槌跏贾档?.5％以下，或較好是0.2％以下時(shí)，可以確定工作終點(diǎn)。
或者，背板和框架分離后，可以將面板與夾具一起反過來，可以從面板下操作刷子，使熒光物質(zhì)落下并回收之。這種方法不需要任何刷子吸附機(jī)構(gòu)的能量和回收管的布局，并可以更有效地工作。
利用蒸餾水或能夠容易溶解熒光物質(zhì)的例如草酸水溶液等水溶液，對(duì)從其上去掉了多數(shù)熒光物質(zhì)的面板進(jìn)行清洗步驟。結(jié)果，可以充分回收并去除熒光物質(zhì)。考慮到隨后草酸回收步驟的成本，希望在刷掃步驟中令人滿意地刷掃熒光物質(zhì)，以便只用蒸餾水清洗面板(S52)。
對(duì)已經(jīng)過清洗步驟的面板進(jìn)行干燥步驟，以便再用之作面板(S53)，并將之送到面板制造步驟(S55)。在內(nèi)表面未達(dá)到面板標(biāo)準(zhǔn)時(shí)，將面板粉碎成碎片，熔化并再用作一般玻璃(S54)，或再用作面板部件的一部分。
利用已知方法分離和提純回收的熒光物質(zhì)。對(duì)該方法沒有特別限制。例如，用含NaOH、NaCl和H2O2的水溶液處理回收的熒光物質(zhì)，并用弱酸處理(日本公開專利申請(qǐng)6-108047)?；蛘?，可以用弱酸處理回收的熒光物質(zhì)，以瀝濾稀土元素，可以加入草酸，將稀土元素轉(zhuǎn)變成草酸鹽。然后焙燒草酸鹽，得到稀土氧化物(日本公開專利申請(qǐng)8-333641)。
這種情況下，根據(jù)預(yù)定程序，利用具有CPU的控制器，驅(qū)動(dòng)和控制本發(fā)明裝置中所包括的固定裝置、切割器或刷子等。即，控制器通過根據(jù)固定夾具的位置信息和熒光物質(zhì)檢測(cè)裝置的熒光物質(zhì)量信息，對(duì)相應(yīng)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)發(fā)布合適的驅(qū)動(dòng)指令控制處理工作，所說指令是關(guān)于例如切割器或刷子等部件的移動(dòng)量和ON/OFF操作的指令。
(例11)下面介紹本發(fā)明的具體例子。
(例11-1)圖58示出了根據(jù)例11-1從平板顯示器回收熒光物質(zhì)的各步驟。
從平板顯示器260上拆下外圍屏板元件。用螺絲起子等起出顯示器外圍的固定螺絲，以拆掉顯示器外殼。拆掉電源電纜、高壓功率供應(yīng)單元、調(diào)節(jié)器和柔性電纜，分別存放金屬和塑料，僅留下屏板。
如圖55A、55B和56所示，將取出的屏板(平板顯示器260)設(shè)置在具有真空吸盤271的工作臺(tái)上，同時(shí)面板2面向下。平板顯示器260由與控制端連接的可動(dòng)停止型夾具270固定。如圖55A所示，固定屏板上下端的夾具270a和270b在垂直方向上逐步移動(dòng)，直到它們接觸屏板。同時(shí)，固定屏板左右端的夾具270c和270d在水平方向逐步移動(dòng)，直到它們與屏板接觸。即，夾具270移動(dòng)，直到它探測(cè)到屏板的上下端和左右端為止。
實(shí)際上，屏板的上下端的探測(cè)/移動(dòng)和屏板的左右端的探測(cè)/移動(dòng)交替進(jìn)行。這些操作交替進(jìn)行，直到探測(cè)到任一端為止，探測(cè)到一端后，沒有探測(cè)到端部的方向上的探測(cè)/移動(dòng)繼續(xù)。觀察夾具270的移動(dòng)，以便在逐漸減小間隔的同時(shí)，用夾具270固定屏板。夾具270的位置信息送到控制端，控制端用于確定切割器(以后將介紹)的移動(dòng)范圍和帶有吸附機(jī)構(gòu)的刷子的工作范圍。
屏板通過形成于工作臺(tái)261上的吸附孔262a，通過吸盤完全固定到工作臺(tái)261上。這種情況下，吸盤262的吸附口和其附近用密封件263充分密封。
如圖55A和55B所示，用具有四個(gè)外圍部分270a，270b，270c，270d的抽吸器270，按抽吸方式固定背板1。如圖58所示，用其移動(dòng)范圍受控制端控制的切割器272，在面板2和框架間切割和分離屏板。背板1和框架3靠抽吸器移開，并被送到布線所用貴金屬回收步驟。背板主要作為玻璃碎片存儲(chǔ)。
關(guān)于面板2，如圖57所示，用刷子273刷掃熒光物質(zhì)，并進(jìn)行吸附并回收。這種情況下，利用熒光光譜儀(未示出)證實(shí)面板2上熒光物質(zhì)的殘留量，并用控制端處理該信息，以確定刷子273的工作時(shí)間。在此階段，可以去除制造時(shí)所用熒光物質(zhì)的99.5％，并可以回收99.2％。
回收已經(jīng)過清洗步驟的面板2和作為粉塵留下的熒光物質(zhì)。在此階段，面板2上不存在可檢測(cè)到的熒光物質(zhì)。此外，可以回收制造時(shí)所用熒光物質(zhì)的99.4％。檢測(cè)面板2是否可以再用作面板，如果面板2通過實(shí)驗(yàn)，則可以再利用。否則將面板2被送到將之粉碎成玻璃碎片的步驟，并再用作玻璃來源。
(例11-2)下面介紹例11-2。
在例11-2中，除背板1和框架3分離后面板2與夾具一起反過來之外，與例11-1類似地回收熒光物質(zhì)。
與你11-1類似，面板2上不存在可檢測(cè)到的熒光物質(zhì)。熒光物質(zhì)的回收率為99.6％。
(例11-3)在例11-3中，除用可見光的透射率作為熒光物質(zhì)檢測(cè)手段外，與例11-1類似地回收熒光物質(zhì)。這種情況下，在透射率不改變時(shí)，完成刷掃步驟。
處理步驟后，用熒光光譜儀測(cè)量殘留熒光物質(zhì)量，證實(shí)殘留了約1％的熒光物質(zhì)。熒光物質(zhì)的回收率為99.2％。
(實(shí)施例12)下面結(jié)合附圖介紹根據(jù)本發(fā)明的基板處理方法和裝置的優(yōu)選實(shí)施例。
實(shí)施例12將例示引入了分隔件，且在面板內(nèi)表面上具有熒光屏的FPD的拆解處理，如圖43A、43B和32所示。
在圖43A和43B中，參考數(shù)字1表示背板；2是面板；3是框架；4是分隔件。在圖43A和43B中黑色表示的結(jié)合部分，用含鉛熔結(jié)玻璃5。
分隔件4與面板2和背板1中的一個(gè)或兩個(gè)結(jié)合。該實(shí)施例中，分隔件4僅結(jié)合到面板2上。背板1、面板2和框架3材料的例子有二氧化硅玻璃、含例如Na等少量雜質(zhì)的玻璃、鈉-鈣玻璃和在鈉鈣玻璃上層疊二氧化硅層制備的玻璃。在面板2上，在玻璃板2a的內(nèi)表面上形成有熒光膜2b，在熒光膜2b的內(nèi)表面上形成有含Al的金屬敷層2c。
分隔件4基本由玻璃構(gòu)成。在某些情況下，分隔件4的表面可以涂敷抗靜電膜。除這些構(gòu)件外，用于排空FPD的排氣管(未示出)一般固定在FPD上。一般說，排氣管由含鉛低熔點(diǎn)玻璃構(gòu)成。
如圖32所示，F(xiàn)PD的一個(gè)例子是矩陣驅(qū)動(dòng)模式的表面?zhèn)鲗?dǎo)型電子源顯示器(SED)。圖32中，表面?zhèn)鲗?dǎo)型電子源11及用于驅(qū)動(dòng)電子源的布線12和13形成在背板上。圖32中布線12和13是X方向(Dox1，Dox2…，Doxm)和Y方向(Doy1，Doy2…，Doym)元件布線，由Ag、Pd等構(gòu)成。X方向布線和Y方向布線通過至少在它們交叉點(diǎn)處的絕緣層絕緣。絕緣層由含大量鉛的玻璃構(gòu)成。
如上所述，F(xiàn)PD的各部分采用含鉛材料。根據(jù)本發(fā)明，利用適于要處理部件的形狀的方法進(jìn)行有效處理，以去除鉛，并將玻璃等轉(zhuǎn)變?yōu)榭衫脿顟B(tài)。
圖61是展示介紹本發(fā)明該實(shí)施例的FPD器件拆解處理方法的各步驟的流程圖。
作為該方法前半部分的步驟(1)-(3)是預(yù)定處理步驟，包括從FPD器件的外殼中取出FPD，并去除附屬布線和端子。在步驟(4)-(6)，利用適當(dāng)?shù)姆椒?，取消FPD中的真空，然后拆下排氣管，由于排氣管含鉛，所以處理之，并再用作含鉛玻璃。
在步驟(7)，通過切割框架，將屏板分離成各部件。或者，利用溶解結(jié)合部分的熔結(jié)玻璃的步驟(8)將屏板分離成各部件。通過步驟(7)或(8)，報(bào)廢的FPD被分離成框架部分(9)、內(nèi)屏板部件(11)、面板(13)和背板(20)。下面介紹各部件的處理方法。
粉碎框架部分(9)，并再用作含鉛玻璃(步驟(10))。如果分隔件(玻璃制)、柵極(金屬制)等作為內(nèi)屏板部件(11)存在，，則回收并再利用它們(步驟(12))。
關(guān)于面板，在步驟(14)去除熒光物質(zhì)，在步驟(15)回收之。在用作本發(fā)明的基板處理裝置的玻璃板固定裝置中存儲(chǔ)作為面板基板的玻璃板，并將它們放入液體處理槽中，以去除殘留熔結(jié)玻璃(步驟(16))。
圖59A和59B是介紹此時(shí)所用玻璃板固定裝置的設(shè)置的示圖。下面結(jié)合圖59A和59B介紹該玻璃板固定裝置的設(shè)置和作用。存儲(chǔ)在該裝置中的多個(gè)玻璃板286以一定間隔保持平行。在溶液處理槽中，這可以使處理溶液沿玻璃表面充分流動(dòng)。為令人滿意地去除溶液，使從自處理槽中帶走的處理溶液最少，玻璃板286較好是固定為使玻璃板286的表面幾乎垂直站立。如鏈線所示，玻璃板286可以保持適當(dāng)?shù)膬A斜。
與相應(yīng)在玻璃板286接觸的支撐件287一般具有柱形，由于與基板接觸的支撐部件287具有圓形或弧形，所以支撐部件287與玻璃板286成線性接觸，以固定之。這種結(jié)構(gòu)也可以減少處理溶液的帶走量。
在這種玻璃板固定裝置中，處理溶液的去除會(huì)由于支撐部件287等的形狀而改善，除此之外，可以用吹空氣等方法從玻璃板上去除處理溶液。在固定多個(gè)等尺寸玻璃板時(shí)，和固定不同尺寸的多個(gè)玻璃板時(shí)，都可以采用固定裝置。
在存儲(chǔ)許多玻璃板286時(shí)，玻璃板固定裝置必須在液體處理槽之間迅速移動(dòng)。為此，該裝置作為一個(gè)整體必須非常牢固。此外。該裝置必須抗侵蝕，以便與利用酸和堿溶液的處理相適應(yīng)。例如，玻璃板固定裝置可由例如不銹鋼、特弗隆或聚丙烯等材料構(gòu)成。
圖60是展示此時(shí)所用處理槽的設(shè)置。在處理槽81中，玻璃板利用固定裝置以預(yù)定間隔平行設(shè)置，以便防止它們表面的任何接觸。玻璃板浸泡在溶解熔結(jié)玻璃的處理液83(例如稀硝酸)中。
為加速熔結(jié)玻璃的溶解，合適的方法有(1)使處理液體83流動(dòng)；(2)在玻璃板上施加振動(dòng)或超聲波；或(3)通過加熱機(jī)構(gòu)升高液體溫度。將熔結(jié)玻璃洗出用的處理溶液從該處理槽81中取出。在步驟(17)回收鉛和洗出物質(zhì)(見圖61)。結(jié)果，循環(huán)再處理溶液，并將它們返回處理槽81。通過利用處理溶液83的循環(huán)機(jī)構(gòu)，處理槽81的內(nèi)部環(huán)境幾乎可以保持恒定，可以連續(xù)進(jìn)行從玻璃板上去除殘留熔結(jié)玻璃的處理。圖60中的箭頭示意性示出了處理溶液83的流動(dòng)。注意，處理槽81由例如不銹鋼等耐侵蝕材料構(gòu)成。
把作為面板2的玻璃板存儲(chǔ)在玻璃板固定裝置中，同時(shí)將它們從處理槽81轉(zhuǎn)移到清洗槽，在此清洗玻璃板(步驟(18))。在清洗步驟，用于清洗的液體(例如水)用于去除處理溶液83。清洗槽的結(jié)構(gòu)和作用基本上與處理槽81的相同。已經(jīng)過清洗步驟的玻璃，通過粉碎或再熔化步驟，可再用作面板基板(步驟(19))。
在圖61中的背板1(20)中，用作背板1的玻璃板存儲(chǔ)在玻璃板固定裝置中，并被放在液體處理槽中，以去掉布線(步驟(16))。玻璃板固定裝置的結(jié)構(gòu)和作用基本上與用于面板的裝置相同。
玻璃板借玻璃板固定裝置，以一定間隔平行設(shè)置在處理槽81中，以防止它們表面間的任何接觸。玻璃板浸泡在溶解布線材料的液體(例如稀硝酸)中。背板處理槽的結(jié)構(gòu)和作用基本上與面板處理槽的結(jié)構(gòu)相同，在步驟(21)中，在處理槽中去掉了布線后，回收布線中所含的金屬(Ag、Pb等)。
把作為背板1的玻璃板存儲(chǔ)在玻璃板固定裝置中，同時(shí)將它們從處理槽81轉(zhuǎn)移到清洗槽，在此清洗玻璃板。在清洗步驟(步驟(23))，用于清洗的液體(例如水)用于去除處理溶液。清洗槽的結(jié)構(gòu)和作用基本上與上述處理槽的相同。已經(jīng)過清洗步驟的玻璃，通過粉碎或再熔化步驟，可再用作面板背板(步驟(24))。
(例12)下面結(jié)合圖43A、43B、32、59A和59B-61，介紹本發(fā)明的具體例子。
(例12-1)在本發(fā)明的例12-1中，存儲(chǔ)在圖59A和59B所示的玻璃板固定裝置的多個(gè)玻璃板286以一定間隙平行放置。每塊玻璃板固定成使玻璃板286的表面幾乎垂直站立。
在例12-1中，可以存儲(chǔ)10塊厚3mm的玻璃板286。與相應(yīng)的玻璃板286接觸的支撐部件287具有柱形，與玻璃板286成線性接觸，以固定之。與玻璃板286接觸的該部件由特弗隆制成。
例12-1的玻璃板固定裝置由不銹鋼構(gòu)成的許多橫梁加固，以便允許在存儲(chǔ)10塊玻璃板286時(shí)在液體處理槽間的快速移動(dòng)。這些橫梁具有不妨礙液體處理槽中處理溶液流動(dòng)的形狀和布局。每根橫梁的水平面限制得很小，以便在從液體處理槽中提拉例12-1的玻璃板固定裝置時(shí)，帶走的處理溶液最少。
(例12-2)例12-2將例示如圖32所示的矩陣驅(qū)動(dòng)模式的10塊表面?zhèn)鲗?dǎo)型電子源顯示器的拆解處理。
該SED具有包括分隔件的屏板結(jié)構(gòu)，如圖43A和43B所示。根據(jù)圖61中FPD器件的拆解處理步驟，從SED器件的外殼中取出SED，并去掉附屬布線和端子。取消SED中的真空，拆掉排氣管。處理排氣管，并再用作含鉛玻璃。
切割線設(shè)定在施加熔結(jié)玻璃的SED屏板區(qū)內(nèi)，并在施加研磨溶液的同時(shí)，用金剛石切割鋸，沿切割線切割SED。對(duì)10個(gè)SEDs進(jìn)行該操作。
通過切割，每個(gè)SED被分成框架、面板和背板。切割中某些分隔件脫落，某些分隔件仍與面板結(jié)合在一起。人工回收所有分隔件，并篩選和再利用可循環(huán)分隔件。粉碎框架部分，并再用作含鉛玻璃材料。去除了金屬敷層和熒光物質(zhì)后，將10個(gè)面板存儲(chǔ)在如圖59A和59B所示的玻璃板固定裝置282中。
為去除殘留鉛成分，將玻璃板固定282放入液體處理槽。圖60是展示此時(shí)所用處理槽的設(shè)置的示意圖。處理槽中裝有0.2-N的硝酸作為處理溶液。處理溶液在液體流動(dòng)裝置84的作用下，沿面板的表面流動(dòng)。
在用加熱器85將處理溶液加熱到50℃的同時(shí)，處理面板一小時(shí)。
同時(shí)，處理溶液供應(yīng)到處理溶液循環(huán)裝置，在此循環(huán)處理溶液，并使之返回到處理槽。處理溶液循環(huán)裝置用過濾器去掉固態(tài)成分，并利用電解法分離和回收溶解的成分。然后，將例12-2的玻璃板固定裝置從處理槽轉(zhuǎn)移到清洗槽，在此進(jìn)行清洗。清洗槽的結(jié)構(gòu)基本上與處理槽的相同。用水作清洗溶液，清洗面板30分鐘。從玻璃板固定裝置中取出已經(jīng)過清洗步驟的玻璃，粉碎并再熔化之，并再用作面板基板。
將10個(gè)背板存儲(chǔ)在圖59A和59B所示玻璃板固定裝置282中。將玻璃板固定裝置282放入圖60所示的液體處理槽，以便去除殘留熔結(jié)玻璃和布線。處理溶液是0.2-N的硝酸。在將處理溶液加熱到50℃的同時(shí)，利用超聲波施加裝置87，施加超聲波，處理背板2小時(shí)。
將存儲(chǔ)10個(gè)背板的玻璃板固定裝置282從處理槽轉(zhuǎn)移到清洗槽，在此進(jìn)行清洗。清洗槽的結(jié)構(gòu)與處理槽的基本相同。用水作清洗溶液，清洗背板30分鐘。從玻璃板固定裝置282中取出已經(jīng)過清洗步驟的玻璃，粉碎或熔化之，并再用作背板基板。
下面將介紹具有許多表面?zhèn)鲗?dǎo)型電子發(fā)射元件的電子源基板形成于利用本發(fā)明的方法處理的玻璃板上，并利用該電子源基板制造圖像形成裝置的情況。
通過真空膜形成和光刻，在循環(huán)使用的玻璃基板上，按矩陣形式形成Pt電極。這種情況下，元件電極間的間隔是20微米；每個(gè)元件電極的寬度是500微米；厚為100nm；元件的布局間距是1mm。然后，通過印刷按矩陣形式形成Ag布線。
利用旋涂機(jī)，在元件電極間施加乙酸鈀-乙醇胺的溶液，并在270℃進(jìn)行加熱和焙燒10分鐘，從而得到由細(xì)氧化鈀(PdO)顆粒構(gòu)成的薄膜。通過光刻和干法腐蝕，將該膜加工成300微米寬的導(dǎo)電薄膜。
在真空中，在元件電極間加電壓，進(jìn)行成形處理，從而在導(dǎo)電膜中形成狹縫狀電子發(fā)射部分。
對(duì)已經(jīng)過電成形的元件進(jìn)行激發(fā)處理。該實(shí)施例中，在真空中引入乙烯氣體，并在元件電極間重復(fù)加峰值為20V的脈沖30分鐘。通過該激發(fā)步驟，在電子發(fā)射部分附近，淀積約10nm的主要含碳的化合物。
用具有許多表面?zhèn)鲗?dǎo)電子發(fā)射元件的電子源基板作背板，該背板與面板和支撐框架一起構(gòu)成外殼。抽空外殼內(nèi)部，并密封，得到具有顯示板和用于實(shí)現(xiàn)電視顯示的驅(qū)動(dòng)電路的圖像形成裝置。該圖像形成裝置形成沒有任何非發(fā)射部分(像素缺陷)的高質(zhì)量圖像。
(實(shí)施例13)下面結(jié)合附圖介紹本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例。實(shí)施例13將例示圖29所示平板顯示器的拆解處理。
圖62是展示根據(jù)實(shí)施例13拆解處理方法的各步驟的流程圖。將從外殼中取出(S60)的平板顯示器的布線、端子等拆掉(S61)后，取消平板顯示器中的真空，拆掉排氣管(S62)。將平板顯示器分離成各構(gòu)件，即，面板(S64)、背板(S70)和框架等(S63)。一般說，結(jié)合這些部件的熔結(jié)玻璃由主要含氧化鉛的低熔點(diǎn)玻璃構(gòu)成。關(guān)于分離方法，可通過加熱或用合適溶劑熔化熔結(jié)玻璃。
利用適當(dāng)?shù)姆椒?S65)，從分離的面板(S64)上去除了熒光物質(zhì)、黑物質(zhì)和金屬敷層后，用例如硝酸和水等溶劑，清洗面板，以去掉殘留的熔結(jié)玻璃。并清洗玻璃表面(S66)。另外，用合適的溶劑和水(S71和S72)清洗分離的背板(S70)，去掉形成于基板上的部分或所有構(gòu)成材料。
檢測(cè)已經(jīng)過去除步驟的玻璃板的表面上存在的元素。
圖63是展示用于檢測(cè)玻璃表面上存在的元素的本發(fā)明熒光X射線分析儀的示意圖。圖63中，參考數(shù)字301是用于玻璃板302的工作臺(tái)；302是作為樣品的玻璃基板；303是X射線源；304是單色儀；305是一次X射線；306是熒光X射線；307是半導(dǎo)體探測(cè)器；308是冷卻裝置；309是預(yù)放大器；310是放大器；311是多信道分析儀；312計(jì)算機(jī)。
通過以下程序檢測(cè)元素。單色儀304將X射線源303發(fā)射的一次X射線305單色化。并以θ角入射到工作臺(tái)301上的玻璃基板302的表面上。X射線源具有大到足以激發(fā)玻璃板302上存在的元素的能量。例如，采用W-La射線、Au-La射線、Mo-Ka射線等。利用一次X射線305輻射的玻璃基板302的表面產(chǎn)生熒光X射線，設(shè)置在玻璃基板302上的半導(dǎo)體探測(cè)器307能夠檢測(cè)到該熒光X射線。關(guān)于所說探測(cè)器，采用Si(Li)半導(dǎo)體探測(cè)器。通過預(yù)放大器309、放大器310和多信道分析儀311，利用計(jì)算機(jī)312，處理來自半導(dǎo)體探測(cè)器307的檢測(cè)信號(hào)。計(jì)算機(jī)312得到對(duì)應(yīng)于玻璃基板302的表面上的元素的類型和濃度的信號(hào)強(qiáng)度。注意，半導(dǎo)體探測(cè)器307和預(yù)放大器309由液氮冷卻。
如果一次X射線305的入射角θ設(shè)定為全部反射X射線的角度，即等于或小于全反射的臨界角的小角度，則X射線只進(jìn)入樣品表面約幾nm，可有效地產(chǎn)生熒光X射線。由此，可以在樣品表面上幾nm以下的區(qū)域中，以約109原子/cm2的低探測(cè)極限，進(jìn)行敏感元素分析。全反射的臨界角可以由θc≅1.64×105×ρ1/2×λ]]>(ρ基板密度(g/cm3)，λX射線的波長(zhǎng)(cm))。
該實(shí)施例中的大玻璃基板302具有幾十厘米的側(cè)邊長(zhǎng)度。本發(fā)明目的是以低成本對(duì)這種大面積進(jìn)行有效地元素分析。為利用該方法，以高靈敏度測(cè)量元素，探測(cè)器一般較好盡可能接觸樣品表面。這種情況下，分析區(qū)基本上取決于探測(cè)器的直徑，該直徑一般約為幾十mmφ。然而，在測(cè)量大面積時(shí)，樣品和探測(cè)器彼此靠得非常近時(shí)，必須在許多點(diǎn)掃描樣品，得到數(shù)據(jù)，或必須設(shè)置許多探測(cè)器。這樣便造成了長(zhǎng)時(shí)間周期和高安裝成本。
為防止這樣的事情發(fā)生，本發(fā)明采用一種根據(jù)基板的尺寸改變樣品表面和探測(cè)器相對(duì)位置，以便在不降低靈敏度的情況下，有效地進(jìn)行元素分析的方法。下面結(jié)合圖64介紹本發(fā)明的改變相對(duì)位置的方法。
圖64A和64B中，參考數(shù)字310表示用于玻璃基板302的工作臺(tái)；302是作為樣品的玻璃基板；307是半導(dǎo)體檢探測(cè)器；314是半導(dǎo)體元件；315是X射透射窗；316是準(zhǔn)直儀。半導(dǎo)體探測(cè)器307具有圖64A和64B所示設(shè)置。半導(dǎo)體元件314可以接收來自虛線所表示的區(qū)即具有由X射透射窗315的尺寸和與半導(dǎo)體元件314等的相對(duì)位置及取決于半導(dǎo)體元件314自身的尺寸I的面積決定的角度φ的區(qū)的X射線。
在半導(dǎo)體探測(cè)器307移動(dòng)接近樣品表面時(shí)，如圖64A所示，分析區(qū)變得幾乎等于X射透射窗315的直徑。與此相反，在半導(dǎo)體探測(cè)器307遠(yuǎn)離樣品表面移動(dòng)到圖64B所示狀態(tài)時(shí)，可從單元面積檢測(cè)的X射線強(qiáng)度下降，但可探測(cè)區(qū)加寬。因此，在熒光X射將從具有側(cè)邊長(zhǎng)度L的玻璃基板302探測(cè)時(shí)，玻璃基板302和半導(dǎo)體探測(cè)器307間的距離d設(shè)定為得到2d·tanφL。在一次X射線輻射玻璃基板302的整個(gè)表面時(shí)，測(cè)量熒光X射線。結(jié)果，從整個(gè)玻璃基板302上接收X射線，同時(shí)不會(huì)使靈敏度下降。
為用X射線輻射希望的區(qū)域，一次X射線的束直徑a根據(jù)從要輻射區(qū)W和一次X射線的入射角θ得到的W·sinθ決定，如圖65所示。注意，當(dāng)玻璃基板302太大時(shí)，就安裝來說，相應(yīng)的距離d難以確保，可以將玻璃基板302分成多個(gè)區(qū)和并重復(fù)測(cè)量。
半導(dǎo)體探測(cè)器307的X射線透射窗315較好是具有類似于玻璃基板302的形狀的矩形。例如，圖66A和66B示出了X射透射窗315具有圓形形狀(見圖66A)時(shí)和窗315具有類似于玻璃基板302的形狀(見圖66B)時(shí)，熒光X射線的探測(cè)區(qū)間的差異。圖66中，參考數(shù)字302表示玻璃基板(平面圖)，虛線或虛線區(qū)表示X射線探測(cè)區(qū)。在X射線透射窗315是圓形是，其形狀與玻璃基板302不一致，所以探測(cè)效率總是不高。相反，圖66B中，可有效地探測(cè)X射線。盡管玻璃基板302的高寬比不恒定，但根據(jù)玻璃基板的類型和要用玻璃基板的數(shù)量，選擇合適的透射窗形狀，可以實(shí)現(xiàn)更高效率的探測(cè)步驟。通過利用該方法探測(cè)玻璃基板93表面產(chǎn)生的熒光X射線，可以檢測(cè)基板表面上的殘留元素和擴(kuò)散到基板中的元素的存在與否，及形成于基板表面上的薄膜的存在與否。
當(dāng)在上述步驟中檢測(cè)到除玻璃構(gòu)成元素外的元素時(shí)，進(jìn)行去除檢測(cè)到的元素的步驟。盡管可以采用各種方法作去除方法，但尤其優(yōu)選玻璃基板302的表面拋光法。
圖67是展示本發(fā)明的拋光裝置的例子的示意圖。在圖67中，參考數(shù)字327表示用于玻璃基板328的工作臺(tái)；328是玻璃基板；329是拋光頭；330是旋轉(zhuǎn)支撐棒；331是支撐臂；332是電機(jī)；333是柱；334是拋光表面。要拋光的玻璃基板328放置在工作臺(tái)327上，拋光面面向上。拋光頭329壓到拋光表面上。電機(jī)332工作，使旋轉(zhuǎn)支撐棒和拋光頭329旋轉(zhuǎn)。同時(shí)，含例如氧化銫等拋光劑的漿料供應(yīng)到拋光表面334上，開始拋光玻璃基板表面334。
清洗拋光過的玻璃基板328，并再進(jìn)行上述元素分析。重復(fù)元素檢測(cè)和對(duì)拋光表面334的拋光，直到除玻璃基板的玻璃構(gòu)成元素外，檢測(cè)不到其它元素時(shí)為止。將已經(jīng)過該步驟的玻璃基板328粉碎成碎片，可以通過再熔化步驟再用作平板顯示器基板或其它產(chǎn)品的材料。
(例13)下面利用例13更具體地介紹本發(fā)明。例13將介紹如圖29所示矩陣驅(qū)動(dòng)模式的表面?zhèn)鲗?dǎo)型電子源顯示器的拆解處理。
(例13-1)在13-1，面板2和背板基板由每塊大小為800mm×800mm×2.8mm的二氧化硅玻璃基板形成。通過在基板上形成主要含Pd的冷陰極元件11、主要含Ag、Pt電極的布線12等，構(gòu)成背板。通過在基板上形成熒光物質(zhì)2b、黑物質(zhì)、金屬敷層2c等，形成面板2。下面結(jié)合圖63、64A、64B、67和29介紹具有該設(shè)置的顯示器的拆解方法。
(1)拆下外殼，取出由用熔結(jié)玻璃焊接在一起的背板1、面板2和框架3構(gòu)成的單元。
(2)背板1、面板2和框架3構(gòu)成的單元浸入0.2N的硝酸溶液中，逐漸溶解焊接部分，從而分離各部件。
(3)實(shí)際上報(bào)廢了形成于背板1和面板2上的構(gòu)件后，再將背板1和面板2浸0.2N的硝酸溶液中，并在其上施加超聲振動(dòng)。用純水清洗背板1和面板2，去掉基板上的熔結(jié)玻璃和其它溶解物質(zhì)。
(4)如圖63所示，利用熒光X射線分析儀檢測(cè)每個(gè)基板表面上存在的元素。用Aul-La射線(λ＝0.12764nm)，作X射線源，基板上的X射線入射角θ設(shè)定為全反射的臨界角以上。為用X射線輻射玻璃基板的整個(gè)表面，圖65所示具有0.15mm以上束寬和80nm以上深度的X射線輻射基板。X射線透射窗為方形，圖64A和64B所示玻璃基板和探測(cè)器間的距離d設(shè)定為40mm。
利用這些設(shè)定，在200秒時(shí)間內(nèi)接收玻璃基板整個(gè)表面上產(chǎn)生的熒光X射線，進(jìn)行測(cè)量。結(jié)果，除作為基板元素的Si外，從背板基板上檢測(cè)到Pt和Ag，而除Si外，從面板上沒有檢測(cè)到其它元素。
(5)利用圖67所示拋光裝置，拋光從其上檢測(cè)到Pt和Ag的背板基板的表面。拋光頭329壓在基板的拋光表面上，在旋轉(zhuǎn)拋光頭，并供應(yīng)具有平均直徑為10微米的氧化銫漿料的同時(shí)，拋光整個(gè)基板5分鐘。
(6)用純水清洗拋光過的背板基板，并再進(jìn)行元素分析。結(jié)果，證實(shí)Pt和Ag已被去除到檢測(cè)極限以下，去除了基板上的所有殘留物。
(7)不需要將背板粉碎成碎片，便可以將已經(jīng)過上述步驟的背板基板與不需要拋光步驟的面板一起再用作基板。
(例13-2)在例13-2中，面板基板由每塊大小為80mm×800mm×2.8mm的鈉鈣玻璃基板形成，而背面基板由通過在鈉鈣玻璃基板上層疊大小與背板基板相同的100nm的SiO2薄膜形成。通過在基板上形成主要含Pd的冷陰極元件11、主要含Ag、Pt電極的布線12等，構(gòu)成背板。通過在基板上形成熒光物質(zhì)、黑物質(zhì)、金屬敷層等，形成面板。下面介紹介紹該顯示器的拆解方法。
利用與例13-1中步驟(1)-(3)相同的方法，分離背板、面板和框架，去除形成于基板上的元件的一些構(gòu)成材料。
(4)然后，檢測(cè)每個(gè)基板表面上存在的元素。在例13-2中，用Au-La射線(λ＝0.12764nm)，作X射線源，基板上的X射線入射角θ設(shè)定為等于或小于全反射的臨界角的0.1度。為用X射線輻射玻璃基板的整個(gè)表面，圖65所示具有0.15mm以上束寬和80nm以上深度的X射線輻射基板。X射線透射窗為方形，圖64A和64B所示玻璃基板和探測(cè)器間的距離d設(shè)定為40mm。
利用這些設(shè)定，在200秒時(shí)間內(nèi)接收玻璃基板整個(gè)表面上產(chǎn)生的熒光X射線，進(jìn)行元素測(cè)量。結(jié)果，除作為基板元素外，從背板基板上檢測(cè)到Pt、Ag和Pb，除構(gòu)成元素外，從面板上檢測(cè)到Pb。
(5)利用圖67所示拋光裝置，拋光背板和面板基板的表面。拋光頭329壓在每個(gè)基板的拋光表面上。在旋轉(zhuǎn)拋光頭，并供應(yīng)具有平均直徑為10微米的氧化銫漿料的同時(shí)，拋光整個(gè)基板5分鐘。
(6)用純水清洗拋光過的背板基板，并再進(jìn)行元素分析。結(jié)果，證實(shí)Pt和Ag已被去除到檢測(cè)極限以下，而仍檢測(cè)到具有低密度的Ag，除基板構(gòu)成元素外，從面板上沒有檢測(cè)其它元素。
(7)利用圖67所示的拋光裝置，再拋光背板基板的表面。利用與步驟(5)相的方法，拋光整個(gè)基板15分鐘。
(8)用純水清洗拋光過的背板基板，并再進(jìn)行元素分析。結(jié)果，證實(shí)，除基板構(gòu)成元素外，沒有檢測(cè)到其它元素，可以去除基板上的殘留物和擴(kuò)散到基板內(nèi)的元素。
(9)將已經(jīng)過這些步驟的背板基板和面板基板粉碎成碎片，并進(jìn)行熔化步驟，再用作平板顯示器基板。
(例13-3)在例13-3中，面板和背板基板由每塊大小為300mm×250mm×2.8mm的二氧化硅玻璃基板形成。下面介紹具有除此之外與例13-1相同設(shè)置的平板顯示器的拆解處理方法。
利用與例13-1中步驟(1)-(3)相同的方法，分離背板、面板和框架，用硝酸溶液，去除形成于基板上的一些元件構(gòu)成材料。
(4)然后，如圖63所示，利用全反射型熒光X射線分析儀檢測(cè)每個(gè)基板表面上存在的元素。在例13-3中，用Au-La射線(λ＝0.12764nm)，作X射線源，基板上的X射線入射角θ設(shè)定為0.1度。為用X射線輻射玻璃基板的整個(gè)表面，圖65所示具有0.6mm以上束寬和300mm以上深度的X射線輻射基板。X射線透射窗為方形，圖64A和64B所示玻璃基板和探測(cè)器間的距離d設(shè)定為150mm。
利用這些設(shè)定，在200秒時(shí)間內(nèi)接收玻璃基板整個(gè)表面上產(chǎn)生的熒光X射線，進(jìn)行元素測(cè)量。結(jié)果，除作為基板元素的Si外，從背板基板上檢測(cè)到Pt和Ag。對(duì)面板基板，除Si外，沒有檢測(cè)到其它元素。
利用與例13-1中步驟(5)-(7)相同的方法，拋光玻璃表面，去除基板上所有殘留物。將已經(jīng)過上述各步驟的背板基板與不需要拋光步驟的面板基板一起再用作基板，而不需要將背板基板粉碎成碎片。
(例13-4)
在例13-4中，背板基板通過在每塊大小為300mm×250mm×2.8mm鈉鈣玻璃基板上層疊1微米厚的P摻雜SiO2薄膜形成。下面介紹除此之外具有與例13-1相同設(shè)置的顯示器的拆解方法。
利用與例13-1中步驟(1)-(3)相同的方法，分離背板、面板和框架，去除形成于基板上的元件的一些構(gòu)成材料。
(4)然后，如圖63所示，利用全反射型熒光X射線分析儀檢測(cè)每個(gè)基板表面上存在的元素。用Ao-Ka射線(λ＝0.07107nm)，作X射線源，基板上的X射線入射角θ設(shè)定為0.1度。為用X射線輻射玻璃基板的整個(gè)表面，圖65所示具有0.6mm以上束寬和300mm以上深度的X射線輻射基板。X射線透射窗為方形，圖64A和64B所示玻璃基板和探測(cè)器間的距離d設(shè)定為150mm。
利用這些設(shè)定，在200秒時(shí)間內(nèi)接收玻璃基板整個(gè)表面上產(chǎn)生的熒光X射線，進(jìn)行元素測(cè)量。結(jié)果，從背板基板上檢測(cè)到Si、P、Pt、Ag和Pb，除基板構(gòu)成元素外，從面板上檢測(cè)到Pb。
(5)利用圖67所示拋光裝置，拋光背板和面板基板的表面。拋光頭329壓在每個(gè)基板的拋光表面上，在旋轉(zhuǎn)拋光頭，并供應(yīng)具有平均直徑為10微米的氧化銫漿料的同時(shí)，拋光整個(gè)基板5分鐘。
(6)用純水清洗拋光過的背板基板，并再進(jìn)行元素分析。結(jié)果，證實(shí)Pt、Ag和Pb已被去除到檢測(cè)檢限以下，只有Si和P仍能檢測(cè)到，除基板構(gòu)成元素外，從面板上沒有檢測(cè)到其它元素。
(7)利用圖67所示的拋光裝置，再拋光背板基板的表面。利用與步驟(5)相同的方法，拋光整個(gè)表面5分鐘。
(8)用純水清洗拋光過的背板基板，并再進(jìn)行元素分析。結(jié)果，P去除到了檢測(cè)極限以下，但仍能檢測(cè)到作為玻璃構(gòu)成元素的K、Ca等。由此證實(shí)去除了P摻雜SiO2層，并去除了基板上所有殘留物。
(9)將已經(jīng)過這些步驟的背板基板和面板基板粉碎成碎片，并進(jìn)行熔化步驟，再用作平板顯示器基板。
下面介紹一種情況，即，利用本發(fā)明的方法在玻璃基板上形成具有許多表面?zhèn)鲗?dǎo)型電子發(fā)射元件的電子源基板，和利用該電子源基板制造的圖像形成裝置。
通過真空膜形成和光刻，在循環(huán)使用的玻璃基板上，按矩陣形式形成Pt電極。這種情況下，元件電極間的間隔是20微米；每個(gè)元件電極的寬度是500微米；厚為100nm；元件的布局間距是1mm。然后，通過印刷按矩陣形式形成Ag布線。
利用旋涂機(jī)，在元件電極間施加乙酸鈀-乙醇胺的溶液，并在270℃進(jìn)行加熱和焙燒10分鐘，從而得到由細(xì)氧化鈀(PdO)顆粒構(gòu)成的薄膜。通過光刻和干法腐蝕，將該膜加工成300微米寬的導(dǎo)電薄膜。
在真空中，在元件電極間加電壓，進(jìn)行成形處理，從而在導(dǎo)電膜中形成狹縫狀電子發(fā)射部分。
對(duì)已經(jīng)過電致成形的元件進(jìn)行激發(fā)處理。該實(shí)施例中，在真空中引入乙烯氣體，并在元件電極間重復(fù)加峰值為20V的脈沖30分鐘。通過該激發(fā)步驟，在電子發(fā)射部分附近，淀積約10nm的主要含碳的化合物。
用具有許多表面?zhèn)鲗?dǎo)電子發(fā)射元件的電子源基板作背板，該背板與面板和支撐框架一起構(gòu)成外殼。抽空外殼內(nèi)部，并密封，得到具有顯示板和用于實(shí)現(xiàn)電視顯示的驅(qū)動(dòng)電路的圖像形成裝置。該圖像形成裝置形成沒有任何任何非發(fā)射部分(像素缺陷)的高質(zhì)量圖像。
下面將根據(jù)上述實(shí)施例和實(shí)例的數(shù)目列出本發(fā)明的效果。
(本發(fā)明的效果1)根據(jù)本發(fā)明，在拆解處理中，可以將報(bào)廢FPD分離成不含任何鉛的玻璃和含鉛玻璃，有助拆解和再利用。另外，可以防止鉛污染環(huán)境。
(本發(fā)明的效果2)本發(fā)明有助于FPD的報(bào)廢和再利用需要的拆解處理。
由于可分離和回收作為引起嚴(yán)重問題的有害金屬的鉛，所以可以減少?gòu)U品造成的環(huán)境負(fù)擔(dān)。由于可以回收和再利用例如貴金屬等所用稀有元素和稀土元素，所以有效地節(jié)約了資源。
(本發(fā)明的效果3)根據(jù)本發(fā)明的再利用方法，可以再利用作為報(bào)廢屏板顯示器的重要構(gòu)件的背板，所以可有效利用資源，降低成本。
(本發(fā)明的效果4)根據(jù)本發(fā)明，由于在拆掉平板顯示器期間，可以幾乎沒有損傷地回收和再利用分隔件，所以可有效利用資源，降低成本。此外，由于回收步驟不需要任何精細(xì)人工加工，所以可以安全回收分隔件。
(本發(fā)明的效果5)本發(fā)明可以提供一種方法，無論器件類型如何，都能夠從CRT和平板顯示器有效回收熒光物質(zhì)和幾乎沒有波紋的可再利用面板。
(本發(fā)明的效果6)根據(jù)本發(fā)明的圖像顯示裝置，包括與保持在低于大氣壓下的氣密容器和排氣裝置連接的裝置；用于逐步將所說容器內(nèi)部恢復(fù)到大氣壓的裝置。在使氣密容器恢復(fù)到大氣壓時(shí)，基本上不會(huì)破壞和損傷耐大氣壓結(jié)構(gòu)部件和圖像顯示裝置。所以，容易利用拆下后的部件。另外，容易修復(fù)制造期間產(chǎn)生的缺陷。
(本發(fā)明的效果7)在根據(jù)本發(fā)明的平板顯示器中，可以依次分離構(gòu)成外殼的各部件，所以可以在拆解工藝期間不損傷外殼和內(nèi)部部件的情況下，利用簡(jiǎn)單的方法安全回收各部件。因此，可以將各部件作為可再利用的部件回收，可以有效地利用資源，可以降低成本。
(本發(fā)明的效果8)根據(jù)本發(fā)明的有害金屬殘留量檢測(cè)裝置表現(xiàn)出以下優(yōu)益效果。
在本發(fā)明的有害金屬殘留量檢測(cè)裝置中，檢測(cè)物體浸泡在第一洗出裝置的槽中，以便用槽中的酸溶液洗出檢測(cè)物體中所含的有害金屬。將檢測(cè)物體轉(zhuǎn)移到清洗裝置中，在此進(jìn)行清洗。然后，檢測(cè)物質(zhì)浸泡第二洗出裝置的槽中，以便用槽中的酸溶液洗出留在檢測(cè)物體上的有害金屬。所說洗出溶液供應(yīng)到定量檢測(cè)裝置中，定量檢測(cè)洗出溶液中所含的有害金屬量。因此，在拆解和拆分平板顯示器等時(shí)，可以定量檢測(cè)留在例如拆分玻璃部件或廢物等檢測(cè)物體上的例如鉛等有害金屬的量。
這種情況下，檢測(cè)物體簡(jiǎn)單地浸泡在裝有酸溶液的浸泡槽中，于是，在沒有任何煩瑣操作的條件下，可以定量檢測(cè)其量。只要檢測(cè)物體不溶解于酸溶液中，便可以洗出檢測(cè)物體中所含的例如鉛等有害金屬。對(duì)檢測(cè)的材料、形狀等沒有特別限制，可以檢測(cè)各種部件。
(本發(fā)明的效果9)根據(jù)本發(fā)明的平板顯示器拆解裝置表現(xiàn)出以下優(yōu)異效果。
在本發(fā)明的平板顯示器拆解裝置中，在從顯示器主體(真空容器)上分離框架部件的步驟中，第一支撐裝置通過加拉力，支撐固定到分隔件上的板。分隔件懸空，不受固定的板的重量，可以不在分隔件上施加任何負(fù)載的條件下，分離框架部件。所以可以防止對(duì)分隔件的任何損傷。
分離了框架后，第二支撐裝置容納和支撐固定到分隔上的板的邊緣。此時(shí)，分隔件懸空，不受固定的板的重量。在板被容納和支撐的同時(shí)，利用分隔件回收裝置，從由第二支撐裝置容納和支撐的板上分離分隔件的步驟。另外，在分隔件分離/回收步驟，分隔件不受任何重量，可防止受損傷。
即，可以利用合適步驟進(jìn)行拆解處理，可以沒有任何損傷地回收例如分隔件等可直接再利用的構(gòu)件。結(jié)果，可以循環(huán)再利用各構(gòu)件。
(本發(fā)明的效果10)本發(fā)明可以在拆解報(bào)廢FPD期間，在利用浸泡處理從玻璃板上分離例如鉛等成分的步驟中，即時(shí)處理大量玻璃基板。因此，(1)處理溶液的需求量小，(2)處理所需要的能量少，(3)可以在短時(shí)間內(nèi)處理許多玻璃。因此，可以大大減少處理報(bào)廢FPD的成本。
(本發(fā)明的效果11)本發(fā)明改善了用于從該類平板顯示器中回收熒光物質(zhì)的回收工作中的面板固定夾具和固定方法。此外，根據(jù)固定夾具的位置信息，驅(qū)動(dòng)用于回收熒光物質(zhì)的刷子?？梢杂行铱煽康鼗厥諢晒馕镔|(zhì)。
(本發(fā)明的效果12)本發(fā)明可以容易地在拆解報(bào)廢FPD期間，在利用浸泡處理從玻璃板上分離例如鉛等成分的步驟中，即時(shí)處理大量玻璃基板。本發(fā)明可以安全且快速地回收大量玻璃基板，容易使處理自動(dòng)化。因此，可以極大地降低處理報(bào)廢FPD的成本。
(本發(fā)明的效果13)本發(fā)明可以利用簡(jiǎn)單地方法，檢測(cè)基板表面上的殘留物及擴(kuò)散到基板中的元素。同時(shí)，除玻璃構(gòu)成元素外，本發(fā)明可以去除所有元素。所以可以有效地再利用玻璃，不浪費(fèi)報(bào)廢品。
權(quán)利要求
1.一種用于平板顯示器的平板顯示器拆解處理方法，所述平板顯示器具有以下結(jié)構(gòu)，主要含玻璃的面板和背板利用熔結(jié)玻璃通過框架氣密地結(jié)合在一起，其特征在于，包括利用硝酸溶解熔結(jié)玻璃的步驟。
2.根據(jù)權(quán)利要求1的平板顯示器拆解處理方法，其中所述平板顯示器引入了分隔件。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2的平板顯示器拆解處理方法，其中熔結(jié)玻璃含鉛。
4.根據(jù)權(quán)利要求1的平板顯示器拆解處理方法，其中用硝酸溶解熔結(jié)玻璃的步驟包括將整個(gè)平板顯示器浸泡在硝酸中，以分離面板、框架、背板和分隔件的各部分。
5.根據(jù)權(quán)利要求4的平板顯示器拆解處理方法，其中在硝酸中浸泡平板顯示器的步驟包括只浸泡背板和框架間的結(jié)合部分，以便再利用帶有框架的面板。
6.根據(jù)權(quán)利要求4的平板顯示器拆解處理方法，其中在硝酸中浸泡平板顯示器的步驟包括只浸泡面板和框架間的結(jié)合部分，以便再利用帶有框架的背板。
7.根據(jù)權(quán)利要求4的平板顯示器拆解處理方法，其中在硝酸中浸泡平板顯示器的步驟包括溶解背板或面板和框架間的結(jié)合部分中一個(gè)或兩個(gè)，從而再利用分隔件。
8.根據(jù)權(quán)利要求1的平板顯示器拆解處理方法，其中分離和回收熔結(jié)玻璃中的鉛的方法包括電解法或沉積法。
9.根據(jù)權(quán)利要求1的平板顯示器拆解處理方法，其中回收和再利用平板顯示器中所用的貴金屬元素和稀土元素。
10.一種用于圖像顯示裝置的背板循環(huán)方法，其中所述圖像顯示裝置至少由背板、面板和支撐框架構(gòu)成，所述背板具有多個(gè)由一對(duì)元件電極和導(dǎo)電膜構(gòu)成的電子發(fā)射元件，所述面板具有圖像形成部件，圖像通過電子發(fā)射元件發(fā)射的電子形成在圖像形成部件上，所述支撐框架連接背板和面板，用于保持內(nèi)部壓力，在報(bào)廢通過用熔結(jié)玻璃焊接面板、背板和支撐框架構(gòu)成的圖像顯示裝置時(shí)，回收和再利用所述背板，其特征在于，包括將焊接部分浸在硝酸溶液中，溶解熔結(jié)玻璃，從而回收面板；及利用噴墨法在回收的背板上形成導(dǎo)電膜。
11.根據(jù)權(quán)利要求10的用于圖像顯示裝置的背板循環(huán)方法，其中圖像顯示裝置引入了用作耐大氣壓結(jié)構(gòu)部件的分隔件。
12.根據(jù)權(quán)利要求10的用于圖像顯示裝置的背板循環(huán)方法，其中背板的基板包括玻璃。
13.根據(jù)權(quán)利要求10的用于圖像顯示裝置的背板循環(huán)方法，其中熔結(jié)玻璃含氧化鉛。
14.根據(jù)權(quán)利要求10的用于圖像顯示裝置的背板循環(huán)方法，其中導(dǎo)電膜利用噴泡法形成。
15.根據(jù)權(quán)利要求10的用于圖像顯示裝置的背板循環(huán)方法，在將焊接部分浸在硝酸溶液中以溶解熔結(jié)玻璃的步驟后，還包括去掉導(dǎo)電膜的步驟。
16.一種平板顯示器，至少具有背板、面板、支撐框架和分隔件，所述背板具有多個(gè)電子發(fā)射元件，面板設(shè)置成與背板面對(duì)并具有圖像顯示部分，分隔件用于保持背板和面板間的間隔，背板、面板、支撐框架和分隔件利用熔結(jié)玻璃焊接在一起，其特征在于，背板與支撐框架的結(jié)合和面板與支撐框架的結(jié)合采用具有不同軟化溫度的熔結(jié)玻璃，分隔件和基板間的結(jié)合采用軟化溫度不低于所述兩種熔結(jié)玻璃中較高軟化溫度的熔結(jié)玻璃。
17.根據(jù)權(quán)利要求16的平板顯示器，其特征在于，分隔件與背板和面板之一結(jié)合。
18.根據(jù)權(quán)利要求16的平板顯示器，其特征在于，具有不同軟化溫度的多種熔結(jié)玻璃中的每種，具有與其余熔結(jié)玻璃的軟化溫度至少為20℃的軟化溫度差。
19.一種平板顯示器拆解方法，其特征在于，在拆解權(quán)利要求46限定的平板顯示器的過程中，包括將平板顯示器屏板加熱到不低于所用熔結(jié)玻璃中具有最低軟化溫度的熔結(jié)玻璃的軟化溫度和不高于其余熔結(jié)玻璃的軟化溫度，僅使具有最低軟化溫度的熔結(jié)玻璃熔化，選擇性僅分離用該熔結(jié)玻璃結(jié)合的結(jié)合部分，重復(fù)相同的過程，然后從利用具有較低軟化溫度的熔結(jié)玻璃的結(jié)合部分上分離平板顯示器屏板。
20.根據(jù)權(quán)利要求19的平板顯示器拆解方法，其特征在于，分離利用具有最高軟化溫度的熔結(jié)玻璃結(jié)合的結(jié)合部分的方法，包括將熔結(jié)玻璃加熱到不低于熔化該熔結(jié)玻璃的軟化溫度，從而分離該結(jié)合部分的方法。
21.根據(jù)權(quán)利要求19的平板顯示器拆解方法，其特征在于，分離利用具有最高軟化溫度的熔結(jié)玻璃結(jié)合的結(jié)合部分的方法，包括用合適的溶劑溶解該熔結(jié)玻璃，分離結(jié)合部分的方法。
22.根據(jù)權(quán)利要求21的平板顯示器拆解方法，其特征在于，熔結(jié)玻璃含氧化鉛。
23.根據(jù)權(quán)利要求21的平板顯示器拆解方法，其特征在于，熔結(jié)玻璃的溶劑包括硝酸。
24.一種平板顯示器，具有至少存儲(chǔ)一個(gè)帶有多個(gè)電子發(fā)射元件的基板和設(shè)置成與所述基板面對(duì)并具有圖像顯示部分的基板的氣密容器，其特征在于，兩基板與氣密容器間的結(jié)合部分利用具有相應(yīng)于拆解順序的不同軟化溫度的熔結(jié)玻璃結(jié)合。
25.一種平板顯示器，具有至少一個(gè)背板、一個(gè)面板和一個(gè)支撐框架作構(gòu)件，所述背板具有多個(gè)電子發(fā)射元件，所述面板設(shè)置成面對(duì)所述背板并具有圖像顯示部分，所述支撐框架用于支撐各基板，各構(gòu)件用熔結(jié)玻璃焊接，其特征在于，背板和支撐框架的結(jié)合與面板和支撐框架的結(jié)合采用具有不同軟化溫度的熔結(jié)玻璃。
26.一種平板顯示器，具有存放電子發(fā)射元件的外殼，其特征在于，構(gòu)成外殼的背板和支撐框架間的結(jié)合部分和面板與支撐框架間的結(jié)合部分采用兩種具有不同軟化溫度的熔結(jié)玻璃，用于保持各基板間的間隔的分隔件與至少一個(gè)基板間的結(jié)合部分采用軟化溫度高于兩種熔結(jié)玻璃的軟化溫度或等于任一種熔結(jié)玻璃的軟化溫度的熔結(jié)玻璃結(jié)合。
27.一種平板顯示器拆解方法，其特征在于，包括在拆解權(quán)利要求35所限定的平板顯示器時(shí)，逐步加熱平板顯示器，然后熔化和從利用具有較低軟化溫度的熔結(jié)玻璃的結(jié)合部分分離平板顯示器，從而拆解平板顯示器。
28.一種用于平板顯示器的報(bào)廢平板顯示器拆解處理方法，所述平板顯示器具有這樣的結(jié)構(gòu)，其中兩基板即主要含玻璃的面板和背板通過框架利用含鉛熔結(jié)玻璃被氣密結(jié)合，所述方法的特征在于，包括以下步驟從將報(bào)廢的平板顯示器上分離和取出包括面板的一部分和包括背板的一部分；分別收集多個(gè)包括面板的取出部分和包括背板的取出部分，分別同時(shí)將這些部分放入處理槽中，進(jìn)行浸泡處理。
29.根據(jù)權(quán)利要求28的報(bào)廢平板顯示器拆解處理方法，其特征在于，浸泡處理包括利用酸或堿的水溶液處理。
30.根據(jù)權(quán)利要求28的報(bào)廢平板顯示器拆解處理方法，其特征在于，浸泡處理包括利用酸或堿的水溶液處理，和隨后用水或有機(jī)溶劑清洗。
31.根據(jù)權(quán)利要求28的報(bào)廢平板顯示器拆解處理方法，其特征在于，通過使處理槽中的處理溶液流動(dòng)進(jìn)行浸泡處理。
32.根據(jù)權(quán)利要求28的報(bào)廢平板顯示器拆解處理方法，其特征在于，通過使處理溶液在處理槽和外界間循環(huán)，進(jìn)行浸泡處理。
33.根據(jù)權(quán)利要求28的報(bào)廢平板顯示器拆解處理方法，其特征在于，通過加熱處理溶液進(jìn)行浸泡處理。
34.根據(jù)權(quán)利要求28的報(bào)廢平板顯示器拆解處理方法，其特征在于，通過對(duì)要處理物體傳播振動(dòng)或超聲波，進(jìn)行浸泡處理。
35.一種基板處理方法，用于拆解主要由通過框架氣密結(jié)合的一對(duì)玻璃基板構(gòu)成的基板，其特征在于，包括以下步驟分離該對(duì)結(jié)合的基板；保持多個(gè)分離的基板以預(yù)定間隙彼此平行；同時(shí)傳送多個(gè)保持的基板，進(jìn)行預(yù)定處理。
36.根據(jù)權(quán)利要求35的基板處理方法，其特征在于，固定各基板，使各基板的表面基本上垂直站立。
37.根據(jù)權(quán)利要求35的基板處理方法，其特征在于，通過線性接觸各基板的預(yù)定部分支撐各基板。
38.一種基板處理裝置，用于拆解主要由通過框架氣密結(jié)合的一對(duì)玻璃基板構(gòu)成的基板，其特征在于，包括以預(yù)定間隙彼此平行設(shè)置的多個(gè)支撐部件，分離的各基板固定在各支撐部件之間，以便基本上垂直站立。
39.根據(jù)權(quán)利要求38的基板處理裝置，其特征在于，至少與各基板接觸的支撐部件部分是圓形或弧形。
40.一種用于平板顯示器的平板顯示器拆解處理方法，所述平板顯示器具有這樣的結(jié)構(gòu)，其中由一對(duì)主要含玻璃的基板構(gòu)成的面板和背板，利用含鉛熔結(jié)玻璃，通過框架氣密結(jié)合，所述方法的特征在于，在傳送從要拆解的平板顯示器取出的玻璃基板，并進(jìn)行浸泡處理時(shí)，利用權(quán)利要求35限定的基板處理方法處理面板或背板。
41.根據(jù)權(quán)利要求40的平板顯示器拆解處理方法，其特征在于，包括采用權(quán)利要求38或39中的基板處理裝置。
42.一種平板顯示器玻璃基板循環(huán)處理裝置，所述平板顯示器包括背板、面板和支撐框架，所述背板具有形成于玻璃基板上的多個(gè)電子發(fā)射元件，所述面板具有形成于玻璃基板上的圖像顯示部分，所述支撐框架結(jié)合各板，使它們彼此面對(duì)，所述裝置的特征在于，包括用X射線輻射構(gòu)成分離/取出的背板或面板的玻璃基板的表面，并檢測(cè)所產(chǎn)生的熒光X射線，以檢測(cè)存在于玻璃基板表面上的元素的機(jī)構(gòu)；從玻璃基板表面去除玻璃構(gòu)成元素之外的元素的機(jī)構(gòu)。
全文摘要
為再利用平板顯示器所用玻璃，必須實(shí)現(xiàn)例如分離鉛成分的處理等有益于全球環(huán)境的處理方法。用于具有主要含玻璃的面板和背板通過框架由熔結(jié)玻璃氣密結(jié)合的結(jié)構(gòu)的平板顯示器的拆解處理方法，其特征在于，包括分離用熔結(jié)玻璃結(jié)合的面板和背面的步驟。分離步驟的特征在于，通過切割、溶解或熔化，分離面板和背板。
文檔編號(hào)B09B3/00GK1870207SQ20061007358
公開日2006年11月29日 申請(qǐng)日期1999年9月8日 優(yōu)先權(quán)日1998年9月9日
發(fā)明者野間敬, 小林登代子, 元井泰子, 高瀨博光, 三浦直子, 小林辰 申請(qǐng)人:佳能株式會(huì)社