專利名稱：二氧化碳離子水發(fā)泡機(jī)混合單元的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及芯片制造加工領(lǐng)域，特別的涉及一種用于芯片清洗的二氧化碳離子水 發(fā)泡機(jī)。
背景技術(shù)：
在芯片制造設(shè)備中，為防止靜電對(duì)被加工的芯片產(chǎn)生破壞，需要對(duì)去離子水進(jìn)行 離子化處理，以消除靜電。在常溫下，二氧化碳可部分溶解于去離子水中產(chǎn)生氫離子和碳酸 根離子形成離子水。由于該離子水干燥后，其中的離子變?yōu)槎趸己髶]發(fā)掉，在被處理的 芯片上不會(huì)殘留任何雜質(zhì)。因此二氧化碳離子水被廣泛應(yīng)用到芯片制造的各個(gè)工藝步驟 中。由于芯片制造對(duì)離子水的純度要求十分嚴(yán)格，因此在離子水制備過(guò)程中不得使用機(jī)械 手段來(lái)促使二氧化碳在水中的溶解。目前制備二氧化碳離子水都有專用的發(fā)泡機(jī)，二氧化 碳?xì)怏w通過(guò)進(jìn)氣管經(jīng)電磁閥與通過(guò)進(jìn)液管內(nèi)去離子水在三通管內(nèi)進(jìn)行混合，再經(jīng)過(guò)一段較 長(zhǎng)的混合管道使二氧化碳?xì)怏w溶解在水中形成離子水，然后通過(guò)電導(dǎo)率探頭檢測(cè)離子水的 電導(dǎo)率，即檢測(cè)水中的離子濃度，并將該電導(dǎo)率反饋到一個(gè)控制器內(nèi)，控制器根據(jù)檢測(cè)信號(hào) 調(diào)整電磁閥的通斷頻率以調(diào)整二氧化碳的進(jìn)氣量，從而控制制成的離子水的離子濃度。上述發(fā)泡機(jī)獲得的離子水直接來(lái)自二氧化碳與去離子水的混合三通管，離子水的 濃度波動(dòng)較大，而且離子水中氣泡較多，不利于直接用來(lái)進(jìn)行芯片清洗。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，能夠有效提高所制備離子水的離子濃度穩(wěn)定 性的二氧化碳離子水發(fā)泡機(jī)混合單元。本發(fā)明為達(dá)到上述目的的技術(shù)方案是一種二氧化碳離子水發(fā)泡機(jī)混合單元，具有去離子水進(jìn)口、二次離子水出口、一次 離子水進(jìn)口和混合腔體，上述混合腔體與上述去離子水口、二次離子水出口及一次離子水 進(jìn)口都分別連通。上述去離子水進(jìn)口與混合腔體之間設(shè)有只能去離子水通過(guò)的單向閥。上述混合腔體內(nèi)設(shè)有螺旋形的混合通道，上述混合通道的進(jìn)口端分別與單向閥、 一次離子水進(jìn)口連通，混合通道的出口端與混合腔體連通。上述二次離子水出口處設(shè)有用來(lái)檢測(cè)離子濃度的電導(dǎo)率探頭。本發(fā)明混合單元作為獲得二氧化碳離子水后的二次處理單元，有利于獲得濃度穩(wěn) 定的離子水，而且經(jīng)過(guò)混合單元后離子水中氣泡可以盡量釋放出去，方便了芯片的清洗作 業(yè)。


下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施例做進(jìn)一步的詳細(xì)描述。圖1是本發(fā)明混合單元的結(jié)構(gòu)示意圖。
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圖2是圖1的剖面示意圖。圖3是圖1中A-A向剖面示意圖。圖4是圖1中B-B向剖面示意圖。
具體實(shí)施例方式本發(fā)明二氧化碳離子水發(fā)泡機(jī)混合單元用來(lái)進(jìn)行二氧化碳離子水的二次混合，即 將第一次獲得的離子水再次與去離子水進(jìn)行混合，得到穩(wěn)定的最終所需濃度的離子水，同 時(shí)去除一次離子水中的氣泡。見(jiàn)圖1、圖2、圖3和圖4，混合單元大體呈“L”型，具有去離子水進(jìn)口 1、二次離子 水出口 2、一次離子水進(jìn)口 7和混合腔體4，上述去離子水進(jìn)口、二次離子水出口和一次離子 水進(jìn)口分別與混合腔體連通，第一次混合得到的離子水通過(guò)一次離子水進(jìn)口進(jìn)入混合腔體 與去離子水進(jìn)行第二混合，然后從二次離子水出口出去，獲得所需濃度的離子水。為了防止混合腔體4中的離子水倒流進(jìn)入去離子水管道，在去離子水進(jìn)口 1與混 合腔體之間設(shè)有單向閥5，單向閥只能允許去離子水通過(guò)進(jìn)入混合腔體中?；旌锨惑w內(nèi)還設(shè) 有螺旋形的混合通道6，上述混合通道的進(jìn)口端分別與單向閥5、一次離子水進(jìn)口 7連通，混 合通道的出口端與混合腔體連通，混合通道可以保證第一次混合獲得的離子水與去離子水 充分混合。經(jīng)過(guò)二次混合的離子水由混合腔體從二次離子水出口 2流出，二次離子水出口處 設(shè)有電導(dǎo)率探頭3用來(lái)檢測(cè)第二次混合過(guò)的離子水濃度，確保達(dá)到設(shè)定的濃度值。為了方 便本新型混合單元在液路中的連接使用，混合單元上與去離子水進(jìn)口 1相對(duì)側(cè)還設(shè)有去離 子水出口 11。顯然，本發(fā)明的上述具體實(shí)施方式
僅是為清楚地說(shuō)明本發(fā)明所作的舉例，而并非 是對(duì)本發(fā)明實(shí)施方式的限定。對(duì)于所屬領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在上述說(shuō)明的基礎(chǔ)上還 可以容易的做出其它形式上的變化或者替代，而這些改變或者替代也將包含在本發(fā)明確定 的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種二氧化碳離子水發(fā)泡機(jī)混合單元，其特征在于具有去離子水進(jìn)口(1)、二次離 子水出口 O)、一次離子水進(jìn)口(7)和混合腔體G)，上述混合腔體與上述去離子水口、二次 離子水出口及一次離子水進(jìn)口都分別連通。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的二氧化碳離子水發(fā)泡機(jī)混合單元，其特征在于上述去離子 水進(jìn)口(1)與混合腔體(4)之間設(shè)有只能去離子水通過(guò)的單向閥(5)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的二氧化碳離子水發(fā)泡機(jī)混合單元，其特征在于上述混合腔 體內(nèi)設(shè)有螺旋形的混合通道(6)，上述混合通道的進(jìn)口端分別與單向閥(5)、一次離子水進(jìn) 口(7)連通，混合通道的出口端與混合腔體連通。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的二氧化碳離子水發(fā)泡機(jī)混合單元，其特征在于上述二次離 子水出口(2)處設(shè)有用來(lái)檢測(cè)離子濃度的電導(dǎo)率探頭(3)。
全文摘要
本發(fā)明涉及芯片制造加工領(lǐng)域，特別的涉及一種用于芯片清洗的二氧化碳離子水發(fā)泡機(jī)。目的是提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，能夠有效提高所制備離子水的離子濃度穩(wěn)定性的二氧化碳離子水發(fā)泡機(jī)混合單元。一種二氧化碳離子水發(fā)泡機(jī)混合單元，具有去離子水進(jìn)口、二次離子水出口、一次離子水進(jìn)口和混合腔體，上述混合腔體與上述去離子水口、二次離子水出口及一次離子水進(jìn)口都分別連通。本發(fā)明混合單元作為獲得二氧化碳離子水后的二次處理單元，有利于獲得濃度穩(wěn)定的離子水，而且經(jīng)過(guò)混合單元后離子水中氣泡可以盡量釋放出去，方便了芯片的清洗作業(yè)。
文檔編號(hào)C02F1/68GK102145262SQ20111003032
公開(kāi)日2011年8月10日 申請(qǐng)日期2011年1月28日 優(yōu)先權(quán)日2011年1月28日
發(fā)明者吉保國(guó), 徐飛, 鄔治國(guó), 金海濤 申請(qǐng)人:常州瑞擇微電子科技有限公司