專利名稱：化學氣相沉積硫化鋅系統(tǒng)中的除塵過濾裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及化學氣相沉積硫化鋅系統(tǒng)中的除塵過濾裝置。
背景技術：
目前，除塵過濾技術是化學氣相沉積系統(tǒng)中至關重要的一環(huán)，它穩(wěn)定工作是沉積得以長時間穩(wěn)定進行的關鍵。
在化學氣相沉積硫化鋅系統(tǒng)中的沉積過程中，不可避免的會產(chǎn)生大量的ZnS及Zn粉，沉積室內(nèi)反應。氬氣作為載氣攜帶Zn蒸氣和H2S氣體進入沉積室，未參與反應的原料離開沉積室后進入排氣管道，尤其是超細的Zn粉，一般過濾手段很難攔截，會直接堵塞抽氣管道、閥門，進而進入真空泵造成卡泵迫使沉積中斷。

發(fā)明內(nèi)容
本實用新型的目的是提供一種經(jīng)過三道過濾作用后保證真空泵長期穩(wěn)定運行，還具有清理簡便，成本低廉特點的除塵過濾裝置。
為實現(xiàn)上述目的，本實用新型采取以下設計方案一種化學氣相沉積硫化鋅系統(tǒng)中的除塵過濾裝置，其特征在于它包括有冷凝室、過濾室、吸附室，所述的冷凝室上連接有冷凝室進氣管和冷凝室出氣管，在冷凝室內(nèi)設置有螺旋水冷管，該螺旋水冷管上連接有進水管和出水管；所述的過濾室內(nèi)設置有帶支架的過濾罩，該過濾罩上部穿入有過濾室進氣管，在過濾罩的底部設置有粉塵收集罐，在過濾罩外部的過濾室側壁上設有過濾室出氣管；所述的吸附室內(nèi)設置有吸附劑層，在吸附室的頂部設置有吸附室出氣管，在吸附劑層下部設置有吸附室進氣管。
在該吸附劑層的上端設置有絲網(wǎng)，在該絲網(wǎng)上設置有重物塊。
使用時，剛從沉積室出來的氣體在冷凝室中進行降溫冷卻處理，使氣體中Zn原子在急冷下形成顆粒狀粉塵沉降到冷卻室的底部；然后從冷凝室出來的含有粉塵的氣體(主要是Zn粉)還要經(jīng)過過濾室及吸附室的雙層過濾最后才進入真空泵。
本實用新型的優(yōu)點是經(jīng)過三道過濾作用后保證了真空泵長期穩(wěn)定運行，還具有清理簡便，成本低廉特點。


圖1為本實用新型的冷凝室結構示意圖圖2為本實用新型的過濾室結構示意圖圖3為本實用新型的吸附室結構示意圖具體實施方式
參見圖1、圖2、圖3所示一種化學氣相沉積硫化鋅系統(tǒng)中的除塵過濾裝置，它包括有冷凝室2、過濾室11、吸附室17，所述的冷凝室2上連接有冷凝室進氣管1和冷凝室出氣管5，在冷凝室內(nèi)設置有螺旋水冷管3，該螺旋水冷管3上連接有進水管4和出水管6；所述的過濾室11內(nèi)設置有帶支架的過濾罩8，該過濾罩8上部穿入有過濾室進氣管7，在過濾罩8的底部設置有粉塵收集罐9，在過濾罩外部的過濾室側壁上設有過濾室出氣管10；所述的吸附室17內(nèi)設置有吸附劑層15，在吸附室的頂部設置有吸附室出氣管12，在吸附劑層下部設置有吸附室進氣管16。
在該吸附劑層15的上端設置有絲網(wǎng)14，在該絲網(wǎng)14上設置有重物塊13。
使用時，冷凝室進氣管1連接沉積室出來的氣體，冷凝室出氣管5連接濾室進氣管7，濾室出氣管10連接吸附室進氣管16，吸附室出氣管12連接真空泵，經(jīng)過上述三道過濾的作用后保證了真空泵長期穩(wěn)定運行。
冷卻室的結構是在一個金屬箱體內(nèi)通有螺旋型冷卻水對氣體進行充分冷卻，使大部分Zn粉會降到冷凝室的底部。
過濾室結構，其中過濾罩8由過濾布及支撐它的金屬框架構成。從冷凝室出來的氣體將在經(jīng)過過濾罩8的時候，其中顆粒相對較大的粉塵將被粘附在過濾布上，而最為細小的顆粒將透過過濾罩。過濾室11的下端是起收集過濾罩內(nèi)壁上多余粉末作用的富集的收集罐9。
針對顆粒最為細小的Zn粉所采用的最后一道手續(xù)是活性吸附。在吸附室17內(nèi)放置大量小顆粒吸附材料層，它們對進入的氣體中小顆粒Zn粉進行充分的吸附吸收。
權利要求1.一種化學氣相沉積硫化鋅系統(tǒng)中的除塵過濾裝置，其特征在于它包括有冷凝室(2)、過濾室(11)、吸附室(17)，所述的冷凝室(2)上連接有冷凝室進氣管(1)和冷凝室出氣管(5)，在冷凝室內(nèi)設置有螺旋水冷管(3)，該螺旋水冷管(3)上連接有進水管(4)和出水管(6)；所述的過濾室(11)內(nèi)設置有帶支架的過濾罩(8)，該過濾罩(8)上部穿入有過濾室進氣管(7)，在過濾罩(8)的底部設置有粉塵收集罐(9)，在過濾罩外部的過濾室側壁上設有過濾室出氣管(10)；所述的吸附室(17)內(nèi)設置有吸附劑層(15)，在吸附室的頂部設置有吸附室出氣管(12)，在吸附劑層下部設置有吸附室進氣管(16)。
2.根據(jù)權利要求1所述的化學氣相沉積硫化鋅系統(tǒng)中的除塵過濾裝置，其特征在于在該吸附劑層(15)的上端設置有絲網(wǎng)(14)，在該絲網(wǎng)(14)上設置有重物塊(13)。
專利摘要一種化學氣相沉積硫化鋅系統(tǒng)中的除塵過濾裝置，它包括有冷凝室、過濾室、吸附室，所述的冷凝室上連接有冷凝室進氣管和冷凝室出氣管，在冷凝室內(nèi)設置有螺旋水冷管，該螺旋水冷管上連接有進水管和出水管；所述的過濾室內(nèi)設置有帶支架的過濾罩，該過濾罩上部穿入有過濾室進氣管，在過濾罩的底部設置有粉塵收集罐，在過濾罩外部的過濾室側壁上設有過濾室出氣管；所述的吸附室內(nèi)設置有吸附劑層，在吸附室的頂部設置有吸附室出氣管，在吸附劑層下部設置有吸附室進氣管。在該吸附劑層的上端設置有絲網(wǎng)，在該絲網(wǎng)上設置有重物塊。本實用新型的優(yōu)點是經(jīng)過三道過濾作用后保證了真空泵長期穩(wěn)定運行，還具有清理簡便，成本低廉特點。
文檔編號B01D35/00GK2780292SQ20052001805
公開日2006年5月17日 申請日期2005年5月9日 優(yōu)先權日2005年5月9日
發(fā)明者蘇小平, 楊海, 余懷之, 黎建明, 霍承松, 付利剛 申請人:北京有色金屬研究總院, 北京國晶輝紅外光學科技有限公司