專利名稱：一種潔凈室的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種潔凈室，可應(yīng)用于電子工業(yè)、精密機械工業(yè)、制藥工業(yè)等髙科技行業(yè)中。
背景技術(shù)：
潔凈室(CleanRoom)，亦稱為無塵室或清凈室，是指在一定空間范圍內(nèi)將空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等污染物減少到規(guī)定指標以下，并將室內(nèi)的溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)而特別設(shè)計的房間。即不論外在空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能維持原先所設(shè)定要求的潔凈度、溫濕度及壓力等性能。
我國凈化行業(yè)原先所安裝的百級潔凈室，主要適用于醫(yī)藥生產(chǎn)企業(yè)，根據(jù)生產(chǎn)工藝的要求，這種潔凈室對溫度的控制一般不是很嚴格，一般溫度控制要求為土2'C就足夠了。現(xiàn)有技術(shù)中，潔凈室的溫度是由組合式凈化空調(diào)器控制和調(diào)節(jié)的，這種調(diào)溫方式的精度完全能夠滿足上述要求。
然而，隨著科技日新月異的發(fā)展，尤其是集成電路生產(chǎn)技術(shù)的發(fā)展，集成電路芯片生產(chǎn)的線寬由0.45微米發(fā)展到0.11微米，甚至由微米級向納米級發(fā)展，溫度的變化可能影響生產(chǎn)工藝，導(dǎo)致成品率下降，此時潔凈室的溫度控制要求就需要達到土0.5'C,通過這種高精度的溫度控制，來消除溫度變化對生產(chǎn)的影響；同時，對于集成電路芯片生產(chǎn)廠所用的潔凈室，由于其生產(chǎn)工藝對潔凈度的要求很髙，使得其潔凈室內(nèi)排風量比較大，此外，這種潔凈室的面積一般比較大，使室內(nèi)溫度的均勻性控制難度增大，如果用原先組合式凈化空調(diào)器調(diào)溫的方式，要達到潔凈室內(nèi)土0.5"C的溫度控制是很困難的。
發(fā)明內(nèi)容
本實用新型目的是提供一種潔凈室，以達到室內(nèi)溫度士0.5'C的控制要求。
為達到上述目的，本實用新型采用的技術(shù)方案是 一種潔凈室，包括一潔凈空間、設(shè)置在潔凈空間頂部的框架、風機過濾機組和組合式凈化空調(diào)器，所述框架上配合布滿所述風機過濾機組，所述組合式凈化空調(diào)器的出風口與風機過濾機組上方的負壓空間的頂部連通，所述潔凈空間外側(cè)設(shè)有向外排風的回風通道，所述負壓空間的側(cè)壁上周向均布有至少2個通孔，各通孔內(nèi)固定設(shè)有干盤管，使負壓空間與回風通道通過干盤管連通；所述潔凈空間內(nèi)設(shè)有復(fù)數(shù)個溫度傳感器，其輸出經(jīng)控制電路連接所述干盤管的控制裝置。
上文中，所述風機過濾機組，其英文全稱為Fan Filter Unit (FFU),是現(xiàn)有技術(shù)；所述在框架上布滿FFU,可以是同一型號或不同型號的FFU。所述"干盤管"，就是沒有冷凝水的表冷盤管，要實現(xiàn)"沒有冷凝水"的干盤管，其關(guān)鍵是干盤管內(nèi)循環(huán)冷凍水的進水溫度要髙于潔凈室內(nèi)空氣的冷凝溫度，那么，在干盤管上就不會產(chǎn)生冷凝水了。 一般，冷凍水的溫度為7 'C，相對應(yīng)，溫度比之髙的冷凍水，我們稱之為"髙溫冷凍水"，高溫冷凍水由7'C的冷凍水通過不銹鋼板式熱交換器換熱制成，空氣通過干盤管的風速一般為2米/秒，由于沒有冷凝水，因此也省去了積水盤。所述溫度傳感器的輸出經(jīng)控制電路連接所述干盤管的控制裝置，這對于本領(lǐng)域技術(shù)人員來說也是清楚的，比如采用控制干盤管的進水閥等方式。本實用新型利用組合式凈化空調(diào)器對潔凈空間的進風溫度進行粗調(diào)，再利用溫度傳感器配合干盤管對循環(huán)風的溫度進行微調(diào)，并將負壓空間與回風通道連通使循環(huán)風引入潔凈室，從而達到精確控溫的目的。另一方面，在負壓空間的側(cè)壁上設(shè)有通孔而使得負壓空間與回風通道連通，使得從回風通道出來的回風可以成為進風的一部分，從而大大降低了組合式凈化空調(diào)器的輸出功率，節(jié)約了能源。所述復(fù)數(shù)個溫度傳感器優(yōu)選各自分布在不同的位置。
進一步的技術(shù)方案，所述通孔為6個，周向均布于負壓空間的側(cè)壁上，各通孔內(nèi)固定設(shè)有干盤管。
由于上述技術(shù)方案運用，本實用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有的優(yōu)點是
1、本實用新型利用組合式凈化空調(diào)器對潔凈室的進風溫度進行粗調(diào)，再利用干盤管對循環(huán)風的溫度進行微調(diào)，同時在負壓空間的側(cè)壁上設(shè)置通孔而使負壓空間與回風通道連通，通過將微調(diào)后的循環(huán)風引入潔凈空間，來實 現(xiàn)精確控溫的目的，試驗證明，這種方式可實現(xiàn)潔凈空間內(nèi)溫度土0.5'C的 控制要求。
2、由于本實用新型在負壓空間的側(cè)壁上開設(shè)通孔，使負壓空間與回風 通道連通，使得從潔凈空間出來的回風可以成為進風的一部分，從而大大降 低了組合式凈化空調(diào)器的輸出功率，節(jié)約了能源。


圖1是本實用新型實施例一的結(jié)構(gòu)示意圖2是本實用新型實施例一中干盤管的分布示意圖。
其中1、潔凈空間；2、框架；3、組合式凈化空調(diào)器；4、負壓空間 5、回風通道；6、風機過濾機組；7、干盤管。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖及實施例對本實用新型作進一步描述 實施例一
參見圖1 2所示， 一種潔凈室，包括一潔凈空間1、設(shè)置在潔凈空間頂 部的框架2、風機過濾機組6和組合式凈化空調(diào)器3，所述框架2上配合布 滿所述風機過濾機組6，所述組合式凈化空調(diào)器3的出風口與風機過濾機組 上方的負壓空間4的頂部連通，所述潔凈空間1外側(cè)設(shè)有向外排風的回風通 道5，所述負壓空間4的側(cè)壁上周向均布有6個通孔，各通孔內(nèi)固定設(shè)有干 盤管7，使負壓空間4與回風通道5通過干盤管連通；所述潔凈空間內(nèi)設(shè)有 復(fù)數(shù)個溫度傳感器，其輸出經(jīng)控制電路連接所述干盤管的控制裝置。
上文中，所述風機過濾機組，其英文全稱為Fan Filter Unit (FFU)，是 現(xiàn)有技術(shù)所述在框架上布滿FFU,可以是同一型號或不同型號的FFU。
所述溫度傳感器的輸出經(jīng)控制電路連接所述干盤管的控制裝置，是指采 用控制干盤管的進水閥以及調(diào)節(jié)干盤管內(nèi)循環(huán)冷凍水的進水溫度實現(xiàn)溫度 的調(diào)節(jié)。
本實用新型利用組合式凈化空調(diào)器對潔凈空間的進風溫度進行粗調(diào)，再利用溫度傳感器配合干盤管對循環(huán)風的溫度進行微調(diào)，并將負壓空間與回風 通道連通使循環(huán)風引入潔凈空間，從而達到精確控溫的目的，這種方式可實 現(xiàn)室內(nèi)溫度土0.5'C的控制要求。另一方面，在負壓空間的側(cè)壁上設(shè)有通孔 而使得負壓空間與回風通道連通，使得從回風通道出來的回風可以成為進風 的一部分，從而大大降低了組合式凈化空調(diào)器的輸出功率，節(jié)約了能源。
權(quán)利要求1. 一種潔凈室，包括一潔凈空間(1)、設(shè)置在潔凈空間頂部的框架(2)、風機過濾機組(6)和組合式凈化空調(diào)器(3)，所述框架(2)上配合布滿所述風機過濾機組(6)，所述組合式凈化空調(diào)器(3)的出風口與風機過濾機組上方的負壓空間(4)的頂部連通，所述潔凈空間(1)外側(cè)設(shè)有向外排風的回風通道(5)，其特征在于所述負壓空間(4)的側(cè)壁上周向均布有至少2個通孔，各通孔內(nèi)固定設(shè)有干盤管(7)，使負壓空間(4)與回風通道(5)通過干盤管連通；所述潔凈空間內(nèi)設(shè)有復(fù)數(shù)個溫度傳感器，其輸出經(jīng)控制電路連接所述干盤管的控制裝置。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的潔凈室，其特征在于所述通孔為6個，周向均布于負壓空間的側(cè)壁上，各通孔內(nèi)固定設(shè)有干盤管。
專利摘要本實用新型公開了一種潔凈室，包括一潔凈空間、設(shè)置在潔凈空間頂部的框架、風機過濾機組和組合式凈化空調(diào)器，所述框架上配合布滿所述風機過濾機組，所述組合式凈化空調(diào)器的出風口與風機過濾機組上方的負壓空間的頂部連通，所述潔凈空間外側(cè)設(shè)有向外排風的回風通道，所述負壓空間的側(cè)壁上周向均布有至少2個通孔，各通孔內(nèi)固定設(shè)有干盤管，使負壓空間與回風通道通過干盤管連通；所述潔凈空間內(nèi)設(shè)有復(fù)數(shù)個溫度傳感器，其輸出經(jīng)控制電路連接所述干盤管的控制裝置。本實用新型可實現(xiàn)室內(nèi)溫度±0.5℃的控制要求，可應(yīng)用于晶圓生產(chǎn)廠等高科技行業(yè)中。
文檔編號B01L1/04GK201279461SQ200820161618
公開日2009年7月29日 申請日期2008年10月9日 優(yōu)先權(quán)日2008年10月9日
發(fā)明者荃 葉, 吳衛(wèi)國, 姚育才, 趙金權(quán) 申請人:蘇州克林絡(luò)姆空調(diào)系統(tǒng)工程有限公司