專利名稱：氣體吸收器件的制作方法、氣體吸收器件和氣體吸收器件的使用方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及在容器內(nèi)填充氣體吸收材料的氣體吸收器件的制作方法、氣體吸收器件和氣體吸收器件的使用方法。
背景技術(shù)：
近年來，真空隔熱件、真空隔熱容器、等離子體顯示器面板等利用高度的真空環(huán)境能夠發(fā)揮性能的設(shè)備(以下記為真空設(shè)備)的開發(fā)正在盛行。對(duì)于這些真空設(shè)備來說，制造時(shí)的殘留氣體和隨時(shí)間經(jīng)過不斷侵入的氣體所引起的內(nèi)部的壓力上升是使得性能劣化的原因。因此，嘗試使用用于吸收這些氣體的氣體吸收材料。當(dāng)氣體吸收材料在大氣中與空氣接觸時(shí)，會(huì)吸收空氣，導(dǎo)致氣體的吸收能力降低。 于是，正在嘗試以氣體難透過性容器、氣體難透過性物質(zhì)進(jìn)行覆蓋的方式(例如參照專利文件1)。此外，在為了使氣體吸收材料的吸收性能發(fā)揮，需要進(jìn)行熱處理的情況下，為了以氣體難透過性容器覆蓋并密封氣體吸收材料，預(yù)先使氣體難透過性容器和密封材料成組， 再將其設(shè)置于熱處理爐中并提高溫度，從而在與氣體吸收材料的熱處理的同一工序中融解密封材料而進(jìn)行密封的方法是有效的。作為現(xiàn)有的這種密封的方法，例如有專利文獻(xiàn)2公開的方式。以下，參照?qǐng)D23A、圖 2 對(duì)現(xiàn)有的密封方法進(jìn)行說明。如圖23A所示，使內(nèi)容器1和設(shè)置有排氣孔2的外容器3 在端部4接合而成為雙層結(jié)構(gòu)，使得排氣口 2在上方，并在周圍配置密封材料5。在該密封材料5上設(shè)置密封板6之后，在真空加熱爐內(nèi)進(jìn)行真空加熱處理，在使得由內(nèi)容器1和外容器3形成的空間內(nèi)成為真空之后，使密封材料5軟化。由此，使密封板6通過自重而接近外容器3，成為圖2 的狀態(tài)，由此密封排氣孔2。但是，在專利文獻(xiàn)1所述的方法中，覆蓋氣體吸收材料的氣體難透過性物質(zhì)的氣體阻擋性并不十分足夠。因此，在將氣體吸收材料設(shè)置于存在吸收對(duì)象的氣體的空間的工序中，由于氣體吸收材料會(huì)吸收周圍的氣體，導(dǎo)致難以抑制吸收材料的劣化。此外，在專利文獻(xiàn)2所述的方法中，使用內(nèi)容器1、外容器3、密封板6這3個(gè)部件， 由此材料成本和工序數(shù)增大。因此，在該方法中難以使空氣吸收器件的價(jià)格較為便宜。專利文獻(xiàn)1 日本特表平9-512088號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2 日本特開昭58-192516號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提供一種氣體吸收器件的制作方法，其能夠降低氣體吸收器件的制作工序以及向存在吸收對(duì)象的氣體的空間進(jìn)行設(shè)置的工序中的氣體吸收材料的劣化，并能夠減少制作成本。
本發(fā)明具有如下結(jié)構(gòu)在從氣體難透過性容器的開口部填充氣體吸收材料之后， 該氣體難透過性容器由一端開口、另一端密封，從一端到另一端的主干部的長度至少為端部的最大寬度的中空的筒狀金屬部件構(gòu)成，在開口部內(nèi)的開口部附近設(shè)置密封材料，對(duì)氣體難透過性容器的內(nèi)部和氣體難透過性容器的周圍的空間進(jìn)行減壓之后，對(duì)密封材料和開口部附近進(jìn)行加熱，使得融解狀態(tài)的密封材料成為堵塞開口部附近的狀態(tài)，然后，通過對(duì)在開口部內(nèi)堵塞開口部附近的融解狀態(tài)的密封材料進(jìn)行冷卻固化，對(duì)開口部進(jìn)行密封。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，通過預(yù)先在開口部附近設(shè)置密封材料，在像真空加熱爐的內(nèi)部等那樣難以從外部操作，而且，因?yàn)槭歉邷貙?dǎo)致難以設(shè)置可動(dòng)部的狀況下，密封材料也能夠融解。之后，通過降低溫度，密封材料固化，氣體難透過性容器的開口部被密封。此外，因?yàn)椴恍枰褂闷渌芊獠牧?，所以能夠以低成本獲得氣體吸收器件。


圖1是本發(fā)明的實(shí)施方式1的氣體吸收器件的制作工序中的氣體難透過性容器的加工前的立體圖。圖2A是該實(shí)施方式的氣體吸收器件的制作工序中的氣體難透過性容器的加工后的側(cè)視圖。圖2B是該氣體難透過性容器的加工后的俯視圖。圖3是表示在該實(shí)施方式的氣體吸收器件的制作工序中的氣體難透過性容器的加工后，設(shè)置有密封材料的狀態(tài)的俯視圖。圖4A是由該實(shí)施方式的氣體吸收器件的制作方法制作出的氣體吸收器件的從長徑方向觀察的側(cè)視圖。圖4B是由該實(shí)施方式的氣體吸收器件的制作方法制作出的氣體吸收器件的俯視圖。圖5是本發(fā)明的實(shí)施方式2的氣體吸收器件的制作工序中的氣體難透過性容器的加工前的立體圖。圖6A是該實(shí)施方式的氣體吸收器件的制作工序中的氣體難透過性容器的加工后的側(cè)視圖。圖6B是該氣體難透過性容器的加工后的俯視圖。圖7是表示在該實(shí)施方式的氣體吸收器件的制作工序中的氣體難透過性容器的加工后，設(shè)置有密封材料的狀態(tài)的俯視圖。圖8A是由該實(shí)施方式的氣體吸收器件的制作方法制作出的氣體吸收器件的從長徑方向觀察的側(cè)視圖。圖8B是由該實(shí)施方式的氣體吸收器件的制作方法制作出的氣體吸收器件的俯視圖。圖9是本發(fā)明的實(shí)施方式3的氣體吸收器件的制作工序中的氣體難透過性容器的加工前的立體圖。圖IOA是該實(shí)施方式的氣體吸收器件的制作工序中的氣體難透過性容器的加工后的側(cè)視圖。圖IOB是該氣體難透過性容器的加工后的俯視圖。
圖11是表示在該實(shí)施方式的氣體吸收器件的制作工序中的氣體難透過性容器的加工后，設(shè)置有密封材料的狀態(tài)的俯視圖。圖12A是由該實(shí)施方式的氣體吸收器件的制作方法制作出的氣體吸收器件的從長徑方向觀察的側(cè)視圖。圖12B是由該實(shí)施方式的氣體吸收器件的制作方法制作出的氣體吸收器件的俯視圖。圖13是表示將由該實(shí)施方式的氣體吸收器件的制作方法制作出的氣體吸收器件應(yīng)用于真空隔熱件的狀態(tài)的概要圖。圖14是在該實(shí)施方式中從真空隔熱件的外覆件外部對(duì)密封材料進(jìn)行壓縮之后的密封材料附近的概略圖。圖15是本發(fā)明的實(shí)施方式4的氣體吸收器件的制作工序中的氣體難透過性容器的加工前的立體圖。圖16A是該實(shí)施方式的氣體吸收器件的制作工序中的氣體難透過性容器的加工后的側(cè)視圖。圖16B是該氣體難透過性容器的加工后的俯視圖。圖17是表示在該實(shí)施方式的氣體吸收器件的制作工序中的氣體難透過性容器的加工后，設(shè)置有密封材料的狀態(tài)的俯視圖。圖18是由該實(shí)施方式的氣體吸收器件的制作方法制作出的氣體吸收器件的側(cè)視圖。圖19是本發(fā)明的實(shí)施方式5的氣體吸收器件的制作工序中的氣體難透過性容器的加工前的立體圖。圖20A是該實(shí)施方式的氣體吸收器件的制作工序中的氣體難透過性容器的加工后的側(cè)視圖。圖20B是該氣體難透過性容器的加工后的俯視圖。圖21是表示在該實(shí)施方式的氣體吸收器件的制作工序中的氣體難透過性容器的加工后，設(shè)置有釬料的狀態(tài)的俯視圖。圖22A是由該實(shí)施方式的氣體吸收器件的制作方法制作出的氣體吸收器件的從長徑方向觀察的側(cè)視圖。圖22B是由該實(shí)施方式的氣體吸收器件的制作方法制作出的氣體吸收器件的俯視圖。圖23A是現(xiàn)有的容器的密封前的側(cè)視圖。圖2 是該現(xiàn)有的氣體難透過性容器的密封后的側(cè)視圖。符號(hào)說明5密封材料7氣體難透過性容器8 開口部9主干部10 底面11狹窄部
12真空隔熱件13外覆件14 芯材15 切口部16氣體吸收材料
具體實(shí)施例方式以下，參照附圖，對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說明。另外，本發(fā)明并不限定于該實(shí)施方式。(實(shí)施方式1)圖1是本發(fā)明的實(shí)施方式1的氣體吸收器件的制作工序中的氣體難透過性容器的加工前的概要圖。在圖1中，氣體難透過性容器7為有底的圓筒型的銅制容器，在一個(gè)端部 (上端)具有圓形的開口部8。此外，氣體難透過性容器7是長度為120mm，主干部9的壁厚為0.05mm，底面10的厚度為1mm，外徑為IOmm的圓筒形。從開口部8在氣體難透過性容器 7中填充有氣體吸收材料16。但是，在圖2A、圖2B之后不表示氣體吸收材料16。圖2A、圖2B是本實(shí)施方式的氣體吸收器件的制作工序中的氣體難透過性容器的加工后的概要圖。圖2A是加工后的氣體難透過性容器的側(cè)視圖，圖2B是加工后的氣體難透過性容器的俯視圖。在圖2A中，在氣體難透過性容器7的開口部8的附近設(shè)置有從在徑方向上相對(duì)的兩個(gè)方向被擠壓而成的狹窄部11。圖3是在本實(shí)施方式的氣體吸收器件的制作工序中的氣體難透過性容器的加工后，設(shè)置有密封材料的俯視圖。在圖3中，密封材料5被設(shè)置于氣體難透過性容器的上部。此外，密封材料5為直徑2mm、長度IOmm的圓柱狀、軟化溫度為530C、熱膨脹率為80X 10_7°C 的玻璃。圖4A是由該實(shí)施方式的氣體吸收器件的制作方法制作出的氣體吸收器件的從長徑方向觀察的側(cè)視圖。圖4B是由該實(shí)施方式的氣體吸收器件的制作方法制作的氣體吸收器件的俯視圖。對(duì)于以上方式構(gòu)成的本實(shí)施方式的氣體吸收器件，說明其制作方法。在圖1所示的氣體難透過性容器7中填充有通過熱處理被給予吸收特性的氣體吸收材料，對(duì)開口部8 附近進(jìn)行壓縮，以制作狹窄部11。該壓縮如下進(jìn)行將兩個(gè)直徑為3mm的圓柱狀的不銹鋼夾具(未圖示)，以在與氣體難透過性容器7垂直的方向上不銹鋼夾具彼此平行，且夾持主干部9的與開口部8距離為IOmm的位置的方式相對(duì)設(shè)置，再縮小距離。進(jìn)一步，在該過程中，預(yù)先在開口部8內(nèi)插入厚1. 2mm、寬9mm的不銹鋼板作為隔離物(未圖示)，當(dāng)隔離物與氣體難透過性容器7的內(nèi)壁接觸的時(shí)刻，完成壓縮。通過以上的工序，如圖2所示制作出狹窄部11。在此，狹窄部11以氣體吸收材料被收納于由氣體難透過性容器的主干部9、底面10、狹窄部11形成的空間的方式形成。該一系列的操作在以密封的端部作為底面進(jìn)行設(shè)置的狀態(tài)下進(jìn)行，使得填充在氣體難透過性容器7中的氣體吸收材料不會(huì)散落。在此，隨著產(chǎn)生狹窄部11引起的變形，開口部8的形狀變形為橢圓形狀。
接著，將密封材料5設(shè)置于狹窄部11上部。進(jìn)一步，在上述的狀態(tài)下，將氣體難透過性容器7、氣體吸收材料和密封材料5設(shè)置于真空加熱爐(未圖示)。將真空加熱爐減壓至0.01 之后，升溫至550°C，使氣體吸收材料具有吸收特性。之后，升溫至60(TC。在該狀態(tài)下，玻璃熔融，流入狹窄部11，通過粘性和表面張力被保持于狹窄部11。如上所述，氣體難透過性容器7以底面10在下、開口部8在上(從開口部8朝向底面10的方向?yàn)橹亓Ψ较虻南蛳路较?的立式姿勢(shì)被真空加熱。此后，通過冷卻真空加熱爐，密封材料5固化并構(gòu)成密封。如上所述，本實(shí)施方式的氣體吸收器件的制作方法，在從氣體難透過性容器7的開口部8填充氣體吸收材料之后，該氣體難透過性容器7由一端開口、另一端密封，從一端到另一端的主干部9的長度為端部的最大寬度以上的中空的筒狀金屬部件構(gòu)成，在開口部 8內(nèi)的開口部8附近設(shè)置密封材料5，對(duì)氣體難透過性容器7的內(nèi)部和氣體難透過性容器7 的周圍的空間進(jìn)行減壓之后，對(duì)密封材料5和開口部8附近進(jìn)行加熱，使得融解狀態(tài)的密封材料5成為堵塞開口部8附近的狀態(tài)，然后，通過對(duì)在開口部8內(nèi)堵塞開口部8附近的融解狀態(tài)的密封材料5進(jìn)行冷卻固化，對(duì)開口部8進(jìn)行密封。此外，本實(shí)施方式的氣體吸收器件的制作方法，在高度的真空高溫環(huán)境下對(duì)氣體吸收材料賦予活性之后，能夠通過僅改變熱處理的溫度這樣的大致相同的工序進(jìn)行密閉而成為封閉空間，因此，能夠使得被賦予活性的氣體吸收材料與大氣的接觸非常少。此外，能夠獲得一種氣體吸收器件，其能夠抑制在氣體吸收器件的制作工序、以及向吸收對(duì)象的氣體所存在的空間設(shè)置氣體吸收器件的工序中的氣體吸收材料的劣化。作為一個(gè)例子，本實(shí)施方式的氣體吸收器件經(jīng)過如下所示的工序被密封。氣體吸收材料在大氣中填充到一方開口的氣體難透過性容器7之后，在比被填充的氣體吸收材料更靠開口部8側(cè)的位置設(shè)置狹窄部11。進(jìn)而，將與狹窄部11的間隙相比至少在一個(gè)方向上更大的熱可塑性的密封材料5設(shè)置于狹窄部11上部，在真空中對(duì)氣體難透過性容器7進(jìn)行加熱。其結(jié)果，在對(duì)氣體吸收材料賦予活性之后，密封材料5熔融并流入狹窄部11，通過表面張力、粘性而停留于狹窄部11。從而，氣體吸收材料被密閉于由氣體難透過性容器7和密封材料5形成的封閉空間。然后，通過對(duì)密封材料5進(jìn)行冷卻，密封材料5固化，被固定于狹窄部11，由此形成密封。此外，本結(jié)構(gòu)的氣體吸收器件的制作方法，僅利用密封材料5進(jìn)行密封工序，不使用密封板等部件，因此不需要花費(fèi)密封板所需要的成本。此外，不需要在真空爐內(nèi)設(shè)置進(jìn)行密封氣體難透過性容器7的操作的可動(dòng)部，密封工序變得容易，能夠降低氣體吸收器件的制作的成本。進(jìn)一步，本結(jié)構(gòu)的氣體吸收裝置的制作方法，在為了進(jìn)行氣體吸收材料的吸收特性的賦予而需要熱處理工序的情況下，能夠同時(shí)進(jìn)行氣體吸收材料的加熱和密封材料5的加熱。即，在熱處理工序之后再進(jìn)行密封工序，由此，在上升至密封工序的溫度的能量中，上升至熱處理工序的溫度的能量不再需要。從而，能夠減少氣體吸收器件的制作相關(guān)的設(shè)備運(yùn)行電力、工序數(shù)目，能夠降低氣體吸收器件制作的成本。為了將本結(jié)構(gòu)的吸收器件設(shè)置于真空設(shè)備以吸收氣體，需要采用破壞氣體難透過性容器7或形成貫通孔的方法。能夠采用使突起物等與氣體難透過性容器7鄰接并按壓突起物，從而使應(yīng)力集中的方法等。
作為一個(gè)例子，在本結(jié)構(gòu)的氣體吸收器件的制作中，在為通過真空熱處理被賦予活性的氣體吸收材料的情況下，在真空熱處理之后接著經(jīng)過適當(dāng)?shù)募訜崛廴诤屠鋮s固化， 能夠不與外部氣體接觸地制作氣體吸收器件。因此，能夠不進(jìn)行手套式操作箱內(nèi)的操作地制作氣體吸收器件，能夠抑制氣體吸收器件制作工序中的氣體吸收材料的劣化和成本增加。此外，使密封的工序僅為密封材料5附近或整體的加熱，由此，不需要在手套式操作箱中設(shè)置用于密封開口部8的可動(dòng)部，能夠容易地進(jìn)行密封，能夠使氣體吸收器件的價(jià)格變低。此處，氣體難透過性容器7為金屬制造，因此，在向真空設(shè)備設(shè)置時(shí)，難以對(duì)真空設(shè)置造成損傷。例如，在真空設(shè)備為真空隔熱件的情況下，防止來自外部的侵入的外覆件多由塑料疊合膜構(gòu)成。在此情況下，當(dāng)外覆件被從氣體難透過性容器7形成的碎片損傷時(shí)，空氣會(huì)侵入真空隔熱件的外覆件的內(nèi)部，不能夠發(fā)揮作為真空隔熱件的效果。如上所述，由于氣體難透過性容器為金屬，因此容易應(yīng)用于真空設(shè)備。此外，密封材料5只要通過在被熱融解之后進(jìn)行冷卻固化，能夠密封氣體難透過性容器7即可。而且，密封部的氣體透過量能夠小至與氣體難透過性容器7的氣體透過量同等程度即可。根據(jù)以上的結(jié)構(gòu)，從一端開口而另一端密封的、從一端至另一端的主干部的長度為端部的最大寬度以上的中空的筒狀銅部件構(gòu)成的氣體難透過性容器7的開口部8填充氣體吸收材料之后，在開口部8附近設(shè)置密封材料5，對(duì)氣體難透過性容器7的內(nèi)部和氣體難透過性容器7的周圍的空間進(jìn)行減壓之后，對(duì)密封材料5和開口部8附近進(jìn)行加熱，使得融解狀態(tài)的密封材料5成為堵塞開口部8附近的狀態(tài)，然后，在開口部8內(nèi)對(duì)堵塞開口部8附近的融解狀態(tài)的密封材料5進(jìn)行冷卻固化，由此對(duì)開口部8進(jìn)行密封，制作氣體吸收器件。結(jié)果，能夠抑制氣體吸收器件制作工序中的氣體吸收材料的劣化，得到高性能、且通過降低制作中的材料成本、工序數(shù)使得價(jià)格便宜的氣體吸收器件。此外，因?yàn)槟軌蛞种浦谱鞴ば蛑袣怏w吸收材料的劣化而具有優(yōu)異的吸收力，氣體難透過性容器7的氣體阻擋性優(yōu)異，因此，能夠得到即使長時(shí)間保存吸收力也不會(huì)降低的氣體吸收器件。此外，在本實(shí)施方式中，氣體難透過性容器7被設(shè)置為以密封的另一端作為底面， 在從開口部8填充氣體吸收材料之后，在與被填充的氣體吸收材料相比更靠近開口部8側(cè)的位置，在主干部的至少一個(gè)位置形成狹窄部11，在狹窄部11的上方設(shè)置密封材料5，對(duì)氣體難透過性容器7的內(nèi)部和氣體難透過性容器7的周圍的空間進(jìn)行減壓，之后對(duì)密封材料 5和狹窄部11附近進(jìn)行加熱，使得融解狀態(tài)的密封材料5成為通過表面張力堵塞狹窄部11 的狀態(tài)，然后，對(duì)在開口部8內(nèi)通過表面張力堵塞狹窄部11的融解狀態(tài)的密封材料5進(jìn)行冷卻固化。由密封材料5密封筒狀的氣體難透過性容器7以制作氣體吸收器件的特征之一是，能夠不進(jìn)行手套式操作箱內(nèi)的操作地將氣體吸收材料封入氣體吸收器件，能夠抑制與氣體的接觸所引起的活性失效以及劣化。通過預(yù)先使得在主干部設(shè)置有狹窄部11并在狹窄部11的上方設(shè)置有密封材料5 的氣體難透過性容器7，以底面10在下、開口部8在上(從開口部8朝向底面10的方向?yàn)橹亓Ψ较虻南蛳路较?的方式立式設(shè)置，能夠?qū)⒚芊獠牧?固定于狹窄部11的上方。進(jìn)一步，在密封材料5的量足夠的情況下，加熱融解的密封材料5以通過表面張力密封狹窄部11 的方式被固定。如上所述，無需從真空熱處理爐的外部進(jìn)行操作，就能夠在目標(biāo)的位置進(jìn)行密封。根據(jù)以上的結(jié)構(gòu)，能夠防止設(shè)置于氣體難透過性容器7的密封材料5向底面方向落下，并且在熔融后能夠固定于狹窄部11。通過在真空加熱爐內(nèi)進(jìn)行以上操作，能夠使得氣體難透過性容器7的開口部8與大氣不接觸地進(jìn)行密封，能夠抑制氣體吸收材料的劣化，得到高性能的氣體吸收器件。在本實(shí)施方式中，氣體難透過性容器7為2. Omm以下(優(yōu)選0. 5mm以下)的厚度的金屬，因此，在設(shè)置于真空設(shè)備之后，能夠容易地在氣體難透過性容器7形成貫通孔或進(jìn)行破壞。即，本來由于金屬強(qiáng)度較高，難以破壞或形成貫通孔，但由于為2. Omm以下(優(yōu)選 0. 5mm以下)，能夠進(jìn)行破壞或形成貫通孔。結(jié)果，真空設(shè)備內(nèi)的氣體能夠容易地通過氣體難透過性容器7，進(jìn)行氣體吸收，氣體吸收器件向真空設(shè)備的應(yīng)用變得容易。當(dāng)大于2. Omm 時(shí)，氣體難透過性容器7變厚，因此難以形成貫通孔或進(jìn)行破壞。此外，通過使得氣體難透過性容器7為金屬，在被破壞時(shí)，損傷真空設(shè)備等導(dǎo)致的碎片形成較少，而且，通過使得氣體難透過性容器7為金屬，能夠耐受熱處理，因此，在為了賦予氣體吸收特性而需要對(duì)氣體吸收材料進(jìn)行熱處理的情況下，也能夠應(yīng)用于氣體吸收器件的制作。在本實(shí)施方式中，氣體難透過性容器7由厚度為0. 5mm以下的銅或以銅為主要成分的合金構(gòu)成。銅的熔點(diǎn)高至1084°C，因此，即使在為了獲得氣體吸收材料的吸收特性所需要的熱處理溫度較高的情況下，也能夠應(yīng)對(duì)。進(jìn)一步，氣體難透過性容器7的厚度為0. 5mm 以下(優(yōu)選0. Imm以下)，因此能夠容易地進(jìn)行破壞，能夠容易地吸收真空設(shè)備內(nèi)部的氣體。 當(dāng)大于0. 5mm時(shí)，氣體難透過性容器7變厚，因此難以形成貫通孔或進(jìn)行破壞。此外，一般來說，作為密封材料5的以金屬的氧化物或硅的氧化物為主要成分的材料，能夠選擇其熱膨脹率與銅的熱膨脹率比較接近的材料，能夠容易地進(jìn)行接合。此外，通過使得氣體難透過性容器7為作為一種金屬的銅，在被破壞時(shí)，損傷真空設(shè)備等導(dǎo)致的碎片形成較少，而且通過使得氣體難透過性容器7為金屬，能夠耐受熱處理。 因此，在為了賦予氣體吸收特性而需要對(duì)氣體吸收材料進(jìn)行熱處理的情況下，也能夠應(yīng)用于氣體吸收器件的制作。在本實(shí)施方式中，密封材料5由玻璃形成。作為玻璃的種類并未特別指定，但該玻璃的種類是在與氣體難透過性容器7的熔點(diǎn)相比足夠低的溫度下能夠得到流動(dòng)性的種類， 優(yōu)選是熱膨脹系數(shù)與構(gòu)成氣體難透過性容器7的物質(zhì)相近的種類。玻璃以金屬的氧化物或硅氧化物為主要成分，因此，即使使得由塊狀(bulk)玻璃構(gòu)成的密封材料5與由片狀的金屬或以金屬為主要成分的合金構(gòu)成的氣體難透過性容器7 接觸，也幾乎不會(huì)奪取構(gòu)成氣體難透過性容器7的金屬原子。結(jié)果，在氣體難透過性容器7 不形成貫通孔地形成密封。此外，玻璃一般作為電子設(shè)備的密封材料被使用，因此能夠比較便宜地實(shí)現(xiàn)氣體吸收器件。本實(shí)施方式的氣體吸收器件，在制作工序中，氣體吸收材料的劣化較少，因此具有優(yōu)秀的氣體吸收特性。進(jìn)一步，在使用活化時(shí)需要進(jìn)行熱處理的氣體吸收材料的情況下，能夠以同一工序進(jìn)行熱處理和對(duì)氣體難透過性容器7內(nèi)的密封，因此具有價(jià)廉的特點(diǎn)。
當(dāng)通過本實(shí)施方式的制造方法進(jìn)行制作時(shí)，氣體吸收器件的制作工序和從對(duì)氣體吸收材料賦予吸收特性的工序到將氣體吸收材料密封于氣體難透過性容器7的操作，能夠一直在真空空間中進(jìn)行。結(jié)果，被賦予吸收特性的氣體吸收材料與空氣的接觸極少，能夠?qū)崿F(xiàn)氣體吸收材料的劣化非常少的氣體吸收器件。此外，僅利用密封材料5進(jìn)行密封工序，不使用密封板等的部件，因此不需要密封板所需的成本。此外，不需要在真空爐內(nèi)設(shè)置進(jìn)行密封氣體難透過性容器7的操作的可動(dòng)部，密封工序變得容易，能夠得到價(jià)廉的氣體吸收器件。進(jìn)一步，本結(jié)構(gòu)的氣體吸收器件的制作方法，在為了進(jìn)行氣體吸收材料的吸收特性賦予而需要熱處理工序的情況下，能夠同時(shí)進(jìn)行氣體吸收材料的加熱和密封材料5的加熱。即，通過在熱處理工序之后進(jìn)行密封工序，在上升至密封工序的溫度的能量中，上升至熱處理工序的溫度的能量不再需要。從而能夠減少氣體吸收器件的制作相關(guān)的設(shè)備運(yùn)行電力、工序數(shù)目，能夠?qū)崿F(xiàn)便宜的氣體吸收器件。此外，本結(jié)構(gòu)的氣體吸收器件的制作方法，僅利用密封材料進(jìn)行密封工序，不使用密封板等部件，因此不需要花費(fèi)密封板5所需的成本。此外，不需要在真空爐內(nèi)設(shè)置進(jìn)行密封氣體難透過性容器7的操作的可動(dòng)部，密封工序變得容易，能夠降低氣體吸收器件的制作成本。進(jìn)一步，本結(jié)構(gòu)的氣體吸收器件的制作方法，在為了進(jìn)行氣體吸收材料的吸收特性賦予而需要熱處理工序的情況下，能夠同時(shí)進(jìn)行氣體吸收材料的加熱和密封材料的加熱。即，通過在熱處理工序之后經(jīng)過密封工序，在上升至密封工序的溫度的能量中，上升至熱處理工序的溫度的能量不再需要。從而能夠降低氣體吸收器件的制作相關(guān)的設(shè)備運(yùn)行電力、工序數(shù)目，能夠降低氣體吸收器件的制作成本。為了將氣體吸收器件應(yīng)用于真空設(shè)備以吸收氣體，需要在氣體難透過性容器7形成貫通孔或進(jìn)行破壞。為了在氣體難透過性容器7形成貫通孔，能夠采用使突起物等與氣體難透過性容器鄰接再按壓突起物，從而使應(yīng)力集中的方法等。在本實(shí)施方式中作為密封材料5使用玻璃，但也能夠使用玻璃以外的金屬氧化物或硅氧化物。作為玻璃能夠使用公知的材料，玻璃是指以金屬氧化物或硅氧化物為主要成分，在常溫下具有較高剛性的非晶質(zhì)的固體，是隨著升溫其剛性降低，進(jìn)而具有玻璃轉(zhuǎn)變點(diǎn)的材料。作為玻璃的種類并未特別指定，但一般來說，定義為軟化點(diǎn)的溫度比氣體難透過性容器的熔點(diǎn)低，在保持氣體難透過性容器的形狀的溫度下能夠得到流動(dòng)性即可。進(jìn)一步，一般來說，作為密封材料的以金屬的氧化物或硅的氧化物為主要成分的材料，能夠選擇其熱膨脹率與銅的熱膨脹率比較接近的材料，能夠容易地進(jìn)行接合。此外，優(yōu)選熱膨脹系數(shù)與構(gòu)成氣體難透過性容器7的物質(zhì)接近的物質(zhì)，但在構(gòu)成氣體難透過性容器7的金屬像鋁那樣柔軟的情況下，或雖為柔軟性不足的金屬但非常薄且能夠隨著密封材料5延伸的物質(zhì)的情況下，則并不限定于此。在此，氣體難透過性容器7是，氣體透過度為104(cm7m2 · day · atm)以下，優(yōu)選為 IO3(cmVm2 · day · atm)以下，更加優(yōu)選為 IO2(cmVm2 · day · atm)以下。筒狀是指，一個(gè)方向較長的物體，且為中空。端部是指，筒狀部件的最長的方向的與周圍的邊界部分，相當(dāng)于底面、上表面。
端部的最大寬度是指，連接端部內(nèi)的某一點(diǎn)與另一點(diǎn)的線段中最長的線段的長度，例如，如果端部為橢圓形，則為長徑的長度。主干部是指，構(gòu)成筒狀部件的大部分的部分，是從距離一個(gè)端部5mm左右的部分到距離另一端部5mm左右的部分的部分。開口部8是指，中空的氣體難透過性容器7的內(nèi)部和外部能夠不經(jīng)由氣體難透過性容器7的構(gòu)成材料地相連接的部分，是從該處能夠填充氣體吸收材料的部分。狹窄部11是指，氣體難透過性容器7的與長度方向垂直的方向的截面積變小的部分，大小和形狀決定為，不會(huì)由于施加于密封材料5的重力，導(dǎo)致密封材料5向底面方向下落。由此，在密封材料5的尺寸較大的情況下，狹窄部11能夠較大，在密封材料5的尺寸較小的情況下，與此相應(yīng)地狹窄部11需要變小。此外，通過使得氣體難透過性容器7的厚度薄至0. Imm以下，具有在吸收周圍的氣體時(shí)能夠容易地進(jìn)行破壞的特征，通過使其為作為一種金屬的銅所制造，具有在破壞時(shí)難以產(chǎn)生碎片，難以對(duì)真空設(shè)備造成損傷的特征。例如，在真空設(shè)備為真空隔熱件的情況下， 防止來自外部的侵入的外覆件多由塑料疊合膜構(gòu)成。在該情況下，當(dāng)外覆件被由氣體難透過性容器7形成的碎片損傷時(shí)，空氣侵入真空隔熱件的外覆件內(nèi)部，不能夠發(fā)揮作為真空隔熱件的效果。如上所述，由于氣體難透過性容器7為金屬，因此能夠容易地應(yīng)用于真空設(shè)備。此外，氣體難透過性容器7由銅制造，因此熔點(diǎn)高至1084°C，于是，在為了獲得氣體吸收材料的吸收特性所需要的熱處理溫度較高的情況下，也能夠應(yīng)對(duì)，以銅為主要成分的合金的熱膨脹率也與銅的熱膨脹率接近，能夠選擇熱膨脹率與它們接近的密封材料。在此，銅是指銅以外的元素的物質(zhì)量為以下，以銅為主要成分的合金是指銅元素的物質(zhì)量的比例為50%以上的合金。氣體吸收材料是指，能夠吸收氣體中所包含的非凝縮性氣體的物質(zhì)，能夠使用通過物理吸收、化學(xué)吸收中的任一種進(jìn)行吸收的物質(zhì)。特別是，通過進(jìn)行加熱能夠得到氣體吸收特性的物質(zhì)適用于本發(fā)明，也能夠利用CuZSM-5等。此外，能夠利用堿金屬、堿土金屬的氧化物、或堿金屬、堿土金屬的氫氧化物等，特別是氧化鋰、氫氧化鋰、氧化鋇、氫氧化鋇等。(實(shí)施方式2)圖5是本發(fā)明的實(shí)施方式2的氣體吸收器件的制作工序中的氣體難透過性容器的加工前的概要圖。在圖5中，氣體難透過性容器7為有底的橢圓筒型的鐵制容器，在一方的端部(上端)具有長徑的長度為14mm、短徑的長度為6mm的橢圓形的開口部8。此外，氣體難透過性容器7是長度為120mm，主干部9的壁厚為0. 03mm，底面10的厚度為0. 5mm，主干部9的截面與開口部8為相同的形狀。圖6A、圖6B是本實(shí)施方式的氣體吸收器件的制作工序中的氣體難透過性容器的加工后的概要圖。圖6A是加工后的氣體難透過性容器的側(cè)視圖，圖6B是加工后的氣體難透過性容器的俯視圖。在圖6A中，在氣體難透過性容器7的開口部8的附近設(shè)置有從在徑方向上相對(duì)的兩個(gè)方向被擠壓而成的狹窄部11。狹窄部11的寬度為0. 2mm。圖7是在本實(shí)施方式的氣體吸收器件的制作工序中的氣體難透過性容器的加工后，設(shè)置有密封材料的俯視圖。在圖7中，密封材料5被設(shè)置于氣體難透過性容器7的狹窄部11的上部。
圖8A是由本實(shí)施方式的氣體吸收器件的制作方法制作出的氣體吸收器件的從長徑方向觀察的側(cè)視圖。圖8B是由本實(shí)施方式的氣體吸收器件的制作方法制作出的氣體吸收器件的俯視圖。密封材料5和熱處理工序等與實(shí)施方式1相同。本實(shí)施方式與實(shí)施方式 1相比，改變了氣體難透過性容器7的材料和形狀。在本實(shí)施方式中，氣體難透過性容器由鐵制造，熔點(diǎn)高至1535°C，因此，在為了獲得氣體吸收材料的吸收特性所需要的熱處理溫度高于銅的熔點(diǎn)的情況下，也能夠應(yīng)對(duì)。此外，氣體難透過性容器7的厚度薄至0. 03mm,因此能夠容易地形成貫通孔或進(jìn)行破壞，能夠容易地吸收真空設(shè)備內(nèi)部的氣體。在此，鐵是指鐵以外的元素的物質(zhì)量為以下，以鐵為主要成分的合金是指鐵元素的物質(zhì)量的比例為50%以上的合金。進(jìn)一步，一般來說，作為密封材料5的以金屬的氧化物或硅的氧化物為主要成分的材料的熱膨脹率，能夠選擇與銅的熱膨脹率比較接近的，由此能夠比較容易接合。進(jìn)一步，與鋁、銅相比，鐵較便宜，因此，能夠得到更為便宜的氣體吸收器件。而且， 氣體難透過性容器7的厚度為0. 25mm以下(優(yōu)選0. 05mm以下)，因此能夠容易地進(jìn)行破壞，能夠容易地吸收真空設(shè)備內(nèi)部的氣體。此外，通過使得氣體難透過性容器7為作為一種金屬的鐵，在被破壞時(shí)，損傷真空設(shè)備等導(dǎo)致的碎片形成較少，而且使得氣體難透過性容器7為金屬，由此能夠耐受熱處理， 因此在為了賦予氣體吸收特性而需要對(duì)氣體吸收材料進(jìn)行熱處理的情況下，也能夠應(yīng)用于氣體吸收器件的制作。(實(shí)施方式3)圖9是本發(fā)明的實(shí)施方式3的氣體吸收器件的制作工序中的氣體難透過性容器的加工前的概要圖。在圖9中，氣體難透過性容器7為有底的橢圓筒形的鋁制容器，在一方的端部(上端)具有長徑的長度為14mm、短徑的長度為6mm的橢圓形的開口部8。此外，氣體難透過性容器7是長度為120mm，主干部9的壁厚為0. 2mm,底面10的厚度為0. 5mm,主干部 9的截面為與開口部8相同的形狀。圖10A、圖IOB是本實(shí)施方式的氣體吸收器件的制作工序中的氣體難透過性容器的加工后的概要圖。圖IOA是加工后的氣體難透過性容器的側(cè)視圖，圖IOB是加工后的氣體難透過性容器的俯視圖。在圖IOA中，在氣體難透過性容器7的開口部8的附近設(shè)置有從在徑方向上相對(duì)的兩個(gè)方向被擠壓而成的狹窄部11。狹窄部11的寬度為0. 2mm。圖11是在本實(shí)施方式的氣體吸收器件的制作工序中的氣體難透過性容器的加工后，設(shè)置有密封材料的狀態(tài)的俯視圖。在圖11中，密封材料5被設(shè)置于氣體難透過性容器 7的狹窄部11的上部。圖12A、圖12B是由本實(shí)施方式的氣體吸收器件的制作方法制作出的氣體吸收器件的從長徑方向觀察的側(cè)視圖。圖12B是由本實(shí)施方式的氣體吸收器件的制作方法制作出的氣體吸收器件的俯視圖。圖13是在本發(fā)明的實(shí)施方式3的真空隔熱件中應(yīng)用氣體吸收器件的概要圖。在圖13中，真空隔熱件12包括由塑料疊合膜構(gòu)成的外覆件13，和由玻璃纖維集合體構(gòu)成的芯材14。圖14是從外覆件13外部壓縮密封材料5之后的密封材料5附近的概要圖。在圖14中，由于密封材料5被破壞，氣體能夠通過狹窄部11。密封材料5和熱處理工序等與實(shí)施方式1相同。本實(shí)施方式與實(shí)施方式1相比， 改變了氣體難透過性容器7的材料和形狀。在實(shí)施方式3中，通過使得熱處理后的冷卻速度為300°C /h以下，構(gòu)成氣體難透過性容器7的鋁被退火而變得柔軟。由此，在被設(shè)置于吸收對(duì)象的氣體所存在的空間時(shí)，能夠容易地通過以突起物形成貫通孔等的方法進(jìn)行開封。此外，在大氣壓下，氣體吸收器件被大氣壓壓縮，因此填充有氣體吸收材料的部分的最薄的部分的厚度為5mm。在此，作為密封材料5使用的玻璃的熱膨脹率與氣體難透過性容器7的熱膨脹率區(qū)別較大，但以下述方式被接合。在600°C下，從密封材料5和氣體難透過性容器7均軟化的狀態(tài)開始冷卻時(shí)，密封材料5與氣體難透過性容器7相比更大地收縮，但氣體難透過性容器7薄至0. 2mm,因此通過隨著密封材料5延伸而保持接合。從該觀點(diǎn)出發(fā)，也優(yōu)選構(gòu)成氣體難透過性容器的鋁或以鋁為主要成分的合金為 1. Omm以下(更加優(yōu)選0. 2mm以下)的厚度。如上所述，鋁或以鋁為主要成分的合金的熱膨脹率大于銅、鐵的熱膨脹率，作為密封材料5，難以選擇與一般使用的以金屬氧化物或硅氧化物為主要成分的物質(zhì)的熱膨脹率為同等程度的物質(zhì)，但由于氣體難透過性容器7為1. Omm以下的厚度，由此能夠進(jìn)行接合。在此，鋁是指鋁以外的元素的物質(zhì)量為以下，以鋁為主要成分的合金是指鋁的元素的物質(zhì)量的比例為50%以上的合金。接著，將本實(shí)施方式的實(shí)施例表示為實(shí)施例1至實(shí)施例6。在以下的實(shí)施例中，表示對(duì)于應(yīng)用了改變氣體難透過性容器7的材質(zhì)、厚度、密封材料5而制作出的氣體吸收器件的真空隔熱件，評(píng)價(jià)氣體吸收特性而得的結(jié)果。真空隔熱件為下述結(jié)構(gòu)，由被稱為外覆件的具有氣體阻擋性的疊合膜覆蓋被稱為芯材的板狀且多孔質(zhì)的隔離物，使外覆件內(nèi)部為真空。一般來說，在常溫下，熱傳導(dǎo)率由固體成分和氣體成分支配。但是，在真空隔熱件中，外覆件內(nèi)部為真空，因此芯材即固體的熱傳導(dǎo)率起主導(dǎo)作用。如上所述，真空隔熱件的熱傳導(dǎo)率依存于外覆件內(nèi)的氣體壓力，因此，通過測(cè)定熱傳導(dǎo)率，能夠評(píng)價(jià)外覆件內(nèi)部的氣體量。在此，真空隔熱件的熱傳導(dǎo)率通過英弘精機(jī)株式會(huì)社制造的AUTO λ 073測(cè)定。(實(shí)施例1)在實(shí)施例1中，使得作為氣體難透過性容器7的純度為99. 7%的鋁構(gòu)成的長 120mm、外徑10mm、厚1. 5mm的圓筒狀的容器的長度方向橫置。在填充氣體吸收材料之后，將作為密封材料的由鋁95%、硅5%構(gòu)成的鋁釬料IOg設(shè)置于開口部8附近。在設(shè)置于真空爐之后，減壓至0. OlPa之后，升溫至550°C，對(duì)氣體吸收材料給予吸收特性。然后，升溫至600°C，熔融鋁釬料，密封氣體難透過性容器7的開口部8，經(jīng)由冷卻、 固化工序制作出氣體吸收器件。鋁作為金屬是軟質(zhì)的，但氣體難透過性容器7的厚度為1.5mm，稍厚，因此打開貫通孔比較困難。于是，通過在氣體難透過性容器7預(yù)先刻上切痕之后將其設(shè)置于真空設(shè)備， 能夠吸收作為真空設(shè)備的真空隔熱件內(nèi)部的氣體。即，真空隔熱件的外覆件為塑料疊合膜， 因此容易由于外力而變形，能夠容易地經(jīng)由外覆件對(duì)氣體難透過性容器7施加應(yīng)力。利用該點(diǎn)，當(dāng)按壓氣體難透過性容器7的切痕附近時(shí)，以切痕為起點(diǎn)，氣體難透過性容器7被折損即被破壞，由此能夠吸收氣體。將如上所述制作出的氣體吸收器件應(yīng)用于真空隔熱件。在破壞氣體難透過性容器 7之前，真空隔熱件的熱傳導(dǎo)率為0. 0015W/mK。該真空隔熱件保持為100°C，則明確每天侵入0. 05cc的空氣。由此，保持為100°C，熱傳導(dǎo)率開始上升的日數(shù)乘以0. 05cc所得的數(shù)值即為該氣體吸收器件的氣體吸收量。以100°C保持的結(jié)果是，經(jīng)過100天之后熱傳導(dǎo)率開始上升。由此，該氣體吸收器件的氣體吸收量判明為5cc。另一方面，在將氣體吸收材料封入石英性的容器之后，在對(duì)容器進(jìn)行過熱處理之后，利用手套式操作箱將其封入到純度為99. 7%的鋁構(gòu)成的長120mm、外徑10mm、厚度 1. 5mm的圓筒狀的容器，之后通過焊接，制作出氣體吸收器件。通過上述的方法測(cè)定該氣體吸收器件的氣體吸收量，結(jié)果為4. 7cc。如上所述，可知能夠得到一種氣體吸收器件，其能夠抑制在氣體吸收器件的制作工序以及將氣體吸收器件設(shè)置于吸收對(duì)象的氣體所存在的空間的工序中的氣體吸收材料的劣化。(實(shí)施例2)在實(shí)施例2中，使得作為氣體難透過性容器7的由Pyrex (注冊(cè)商標(biāo))玻璃構(gòu)成的長120mm、外徑10mm、厚1. 5mm的圓筒狀的容器的長度方向橫置。在填充氣體吸收材料之后， 將作為密封材料的Pyrex(注冊(cè)商標(biāo))玻璃IOg設(shè)置于開口部8附近。在與實(shí)施方式1相同的條件下進(jìn)行熱處理之后，僅將密封材料5附近加熱至700°C，對(duì)氣體難透過性容器7和密封材料5進(jìn)行接合，將氣體難透過性容器的開口部密封。在將如上所述制作出的氣體吸收器件設(shè)置于真空隔熱件之后，通過從外覆件外部進(jìn)行按壓，破壞氣體難透過性容器，從而能夠吸收氣體。此時(shí)，有的概率不能夠確認(rèn)真空隔熱件的熱傳導(dǎo)率減少。另一方面，對(duì)于能夠確認(rèn)熱傳導(dǎo)率的減少的真空隔熱件，通過與實(shí)施例1相同的方法測(cè)定氣體吸收量，結(jié)果為5cc。由此，能夠得到一種氣體吸收器件，其能夠抑制在氣體吸收器件的制作工序以及將氣體吸收器件設(shè)置于吸收對(duì)象的氣體所存在的空間的工序中的氣體吸收材料的劣化。(實(shí)施例3)在實(shí)施例3中，使得作為氣體難透過性容器7的純度為99. 7 %的鋁構(gòu)成的長 120mm、外徑10mm、厚1. 5mm的圓筒狀的容器的長度方向豎立。在填充氣體吸收材料之后，制作狹窄部11，使得在由氣體難透過性容器7和狹窄部11形成的空間內(nèi)封入有氣體吸收材料。熱處理?xiàng)l件與實(shí)施方式1相同。將作為密封材料的鋁95%、硅5%構(gòu)成的鋁釬料設(shè)置于狹窄部上部。通過與實(shí)施例1相同的方法測(cè)定氣體吸收量，結(jié)果為5cc。由此可知，能夠得到能夠抑制在氣體吸收器件的制作工序以及將氣體吸收器件設(shè)置于吸收對(duì)象的氣體所存在的空間的工序中的氣體吸收材料的劣化的氣體吸收器件。進(jìn)一步，通過預(yù)先制作狹窄部11，能夠使用0. 5g的釬料進(jìn)行密封，能夠以更低價(jià)格實(shí)現(xiàn)氣體吸收器件。(實(shí)施例4)在實(shí)施例4中，作為氣體難透過性容器7使用銅構(gòu)成的長120mm、厚0. 05mm的圓筒狀的容器。此外，作為密封材料5使用0. 2g軟化溫度為485°C的玻璃。熱處理?xiàng)l件與實(shí)施方式1相同。通過與實(shí)施例1相同的方法測(cè)定氣體吸收量，結(jié)果為5cc。由此可知，能夠得到一種氣體吸收器件，其能夠抑制在氣體吸收器件的制作工序以及將氣體吸收器件設(shè)置于吸收對(duì)象的氣體所存在的空間的工序中的氣體吸收材料的劣化。進(jìn)一步，氣體難透過性容器7由銅制造，其厚度薄至0. 05mm,因此通過以突起物進(jìn)行按壓，能夠容易地形成貫通孔。(實(shí)施例5)在實(shí)施例5中，作為氣體難透過性容器7使用由鐵構(gòu)成的長120mm、厚0. 03mm的圓筒狀的容器。此外，作為密封材料5使用0.2g軟化溫度為485°C的玻璃。熱處理?xiàng)l件與實(shí)施方式1相同。隔著真空隔熱件的外覆件對(duì)突起物施加按壓，在氣體難透過性容器7形成貫通孔。進(jìn)一步，通過與實(shí)施例1相同的方法對(duì)氣體吸收量進(jìn)行測(cè)定，結(jié)果為5cc。由此可知，能夠得到能夠抑制在氣體吸收器件的制作工序以及將氣體吸收器件設(shè)置于吸收對(duì)象的氣體所存在的空間的工序中的氣體吸收材料的劣化的氣體吸收器件。進(jìn)一步，氣體難透過性容器7為鐵制造，鐵是硬質(zhì)的，但厚度薄至0. 03mm,因此通過以突起物進(jìn)行按壓，能夠容易地形成貫通孔。進(jìn)一步，鐵的熔點(diǎn)高至1535°C，因此，即使在為了得到氣體吸收材料的吸收特性所需的熱處理溫度高于銅的熔點(diǎn)的情況下，也能夠應(yīng)對(duì)。(實(shí)施例6)在實(shí)施例6中，作為氣體難透過性容器7使用純度為99. 7%的鋁構(gòu)成的長120mm、 厚0. Imm的圓筒狀的容器。此外，作為密封材料5使用0.2g軟化溫度為485°C的玻璃。熱處理?xiàng)l件與實(shí)施方式1相同。在將氣體吸收器件設(shè)置于真空隔熱件之后，隔著外覆件對(duì)密封材料施加按壓，破壞密封材料5。進(jìn)一步，通過與實(shí)施例1相同的方法測(cè)定氣體吸收量，結(jié)果為5cc。由此可知，能夠得到能夠抑制在氣體吸收器件的制作工序和將氣體吸收器件設(shè)置于吸收對(duì)象的氣體所存在的空間的工序中的氣體吸收材料的劣化的氣體吸收器件。進(jìn)一步，不需要用于破壞氣體難透過性容器7的部件，能夠更加便宜地使用氣體吸收器件。(比較例1)在比較例1中，在將50g作為氣體吸收材料的CuZSM-5填充到石英制的容器中之后，以與實(shí)施方式1相同的熱處理?xiàng)l件進(jìn)行熱處理，賦予氣體吸收活性，之后在密封狀態(tài)下轉(zhuǎn)移到填充有氬氣的手套式操作箱內(nèi)。利用附屬于手套式操作箱的丁基橡膠制的手套從石英容器取出CuZSM-5，填充到器件容器中。熱處理后的CuZSM-5由靜電引起的聚集較強(qiáng)，因此操作困難，與實(shí)施例所示的方法相比，工序數(shù)大幅度增加。結(jié)果，氣體的吸收量為4. 7cc。這是由于直至密封為止需要較長的時(shí)間，因此會(huì)吸收氬氣中所包含的雜質(zhì)的氣體，導(dǎo)致氣體吸收特性劣化。此外，在填充之后需要密封工序，因此需要進(jìn)行密封的工序數(shù)和用于密封的裝置， 氣體吸收器件變得昂貴。進(jìn)一步，填充工序和密封程序是不同的，因此也需要設(shè)備運(yùn)行電力，結(jié)果氣體吸收器件變得昂貴。(比較例2)在比較例2中，作為密封材料使用熱可塑性的粘接劑，作為粘接劑使用乙烯醋酸共聚物樹脂。熱處理?xiàng)l件與實(shí)施方式1相同?！銇碚f，能夠使用熱可塑性粘接劑的溫度上限為200°C左右，因此，在200°C以上時(shí)流動(dòng)性過剩，密封材料不能夠停留于狹窄部進(jìn)行密封，密封產(chǎn)生不良。由此，在氣體吸收材料的熱處理溫度為200°C以上時(shí)，作為密封材料使用熱可塑性粘接材料是不適合的。(實(shí)施方式4)圖15是本發(fā)明的實(shí)施方式4的氣體吸收器件的制作工序中的氣體難透過性容器的加工前的立體圖。在圖15中，氣體難透過性容器7為有底的圓筒型的鋁制容器，在一方的端部(上端)具有圓形的開口部8。此外，氣體難透過性容器7是長度為120mm、干部9 的壁厚為0. 15mm、底面10的厚度為1mm、外徑為IOmm的圓筒形。圖16A、圖16B是本實(shí)施方式的氣體吸收器件的制作工序中的氣體難透過性容器的加工后的概要圖。圖16A是加工后的氣體難透過性容器的側(cè)視圖，圖16B是加工后的氣體難透過性容器的俯視圖。在圖16A中，在氣體難透過性容器7的開口部8的附近設(shè)置有從在徑方向上相對(duì)的兩個(gè)方向被擠壓而成的狹窄部11。此外，在開口部8，在狹窄部11的長度方向的相對(duì)位置設(shè)置有切口 15。在圖16B中，狹窄部11的寬度為1. 2mm，狹窄部11的長度方向和連接兩個(gè)切口部15的直線在同一直線上重合。圖17是表示在本實(shí)施方式的氣體吸收器件的制作工序中的氣體難透過性容器的加工后，設(shè)置有密封材料的狀態(tài)的俯視圖。在圖17中，比兩個(gè)切口部15的間隔長的密封材料5，以嵌入兩個(gè)切口部15的方式設(shè)置。此外，密封材料5是直徑為1. 5mm、長度為25mm的棒狀的形狀，為鋁95. 0%、硅5. 0%的合金。圖18是由本實(shí)施方式的氣體吸收器件的制作方法制作出的氣體吸收器件的側(cè)視圖。對(duì)由上述方式構(gòu)成的氣體吸收器件，說明其制作方法。在圖15所示的氣體難透過性容器7中，填充Ig通過熱處理顯示活性的氣體吸收材料，例如由銅進(jìn)行了離子交換的 ZSM-5型沸石即CuZSM-5(未圖示)，壓縮開口部8附近，制作狹窄部11。該壓縮如下進(jìn)行 將兩個(gè)直徑為3mm的圓柱狀的不銹鋼夾具(未圖示)，以在與氣體難透過性容器7的長度方向垂直的方向上不銹鋼夾具彼此平行，且夾持主干部9的與開口部8距離為IOmm的位置的方式，相對(duì)設(shè)置，再縮小距離。進(jìn)一步，在該過程中，預(yù)先在開口部8內(nèi)插入厚1.2mm、寬9mm 的不銹鋼板作為隔離物(未圖示)，當(dāng)隔離物與氣體難透過性容器7的內(nèi)壁接觸的時(shí)刻，完成壓縮。通過以上的工序如圖16所示制作出狹窄部11。該一系列的操作在以密封的端部作為底面進(jìn)行設(shè)置的狀態(tài)下進(jìn)行，使得填充在氣體難透過性容器7中的氣體吸收材料不會(huì)散落。在此，隨著產(chǎn)生狹窄部11引起的變形，開口部8的形狀變形為橢圓形狀。接著，在開口部8的長徑和開口部相交的兩點(diǎn)制作切口部15。在此，切口部15的大小形成為，切口部15的最下部和狹窄部11的端部接近。接著，以切口部15為支點(diǎn)，設(shè)置密封材料5。而且，在該狀態(tài)下，將氣體難透過性容器7、氣體吸收材料和密封材料5設(shè)置于真空加熱爐(未圖示)。將真空加熱爐減壓至0. 01 之后，升溫至600°C。在該狀態(tài)下，密封材料5在鋁和硅的合金的液體中析出鋁，呈半熔融狀態(tài)。半熔融狀態(tài)的密封材料5流動(dòng)性小，但以利用表面張力(毛細(xì)管現(xiàn)象)密封狹窄部11的方式流入。進(jìn)一步，通過冷卻真空加熱爐，密封材料5固化而形成密封。通過使得此時(shí)的冷卻速度在300°C /h以下，構(gòu)成氣體難透過性容器7的鋁被退火而變得柔軟。由此，在被設(shè)置于吸收對(duì)象的氣體所存在的空間時(shí)，能夠容易地進(jìn)行開封。此外，在大氣壓下，氣體吸收器件被大氣壓壓縮，因此填充有氣體吸收材料的部分的最薄的部分的厚度為5mm。在制造一小時(shí)之后進(jìn)行如上所述制作出的氣體吸收器件的空氣吸收量的測(cè)定，得出吸收量為5cc。此外，在制造30日之后進(jìn)行同樣的測(cè)定，同樣得出吸收量為5cc。結(jié)果可知，即使該氣體吸收器件長時(shí)間保存，也會(huì)不產(chǎn)生性能的劣化。如上所述，本實(shí)施方式的氣體吸收器件的制作方法，在從氣體難透過性容器7的開口部8填充氣體吸收材料之后，該氣體難透過性容器7由一端開口、另一端密封，從一端到另一端的主干部9的長度為端部的最大寬度以上的中空的筒狀金屬部件構(gòu)成，在開口部 8內(nèi)的開口部8附近設(shè)置密封材料5，對(duì)氣體難透過性容器7的內(nèi)部和氣體難透過性容器7 的周圍的空間進(jìn)行減壓之后，對(duì)密封材料5和開口部8附近進(jìn)行加熱，使得融解狀態(tài)的密封材料5成為堵塞開口部8附近的狀態(tài)，然后，通過對(duì)在開口部8內(nèi)堵塞開口部8附近的融解狀態(tài)的密封材料5進(jìn)行冷卻固化，對(duì)開口部8進(jìn)行密封。結(jié)果，能夠抑制氣體吸收器件制作工序中的氣體吸收材料的劣化，得到高性能、且通過降低制作中的材料成本、工序數(shù)使得價(jià)格便宜的氣體吸收器件。此外，因?yàn)槟軌蛞种浦谱鞴ば蛑袣怏w吸收材料的劣化而具有優(yōu)異的吸收力，氣體難透過性容器7的氣體阻擋性優(yōu)異，因此，能夠得到即使長時(shí)間保存吸收力也不會(huì)降低的氣體吸收器件。此外，本實(shí)施方式的氣體吸收器件的制作方法中，氣體難透過性容器7被設(shè)置為以密封的另一端作為底面，在從開口部8填充氣體吸收材料之后，在與被填充的氣體吸收材料相比更靠近開口部8側(cè)的位置，在主干部9的至少一個(gè)位置形成狹窄部11，在狹窄部 11的上方設(shè)置密封材料5，對(duì)氣體難透過性容器7的內(nèi)部和氣體難透過性容器7的周圍的空間進(jìn)行減壓，之后對(duì)密封材料5和狹窄部11附近進(jìn)行加熱，使得融解狀態(tài)的密封材料5 成為通過表面張力堵塞狹窄部11的狀態(tài)，然后，對(duì)在開口部8內(nèi)通過表面張力堵塞狹窄部 11的融解狀態(tài)的密封材料5進(jìn)行冷卻固化，密封開口部8。通過預(yù)先使得在主干部設(shè)置有狹窄部11并在狹窄部11的上方設(shè)置有密封材料5 的氣體難透過性容器7，以底面10在下、開口部8在上(從開口部8朝向底面10的方向?yàn)橹亓Ψ较虻南蛳路较?的方式立式設(shè)置，能夠?qū)⒚芊獠牧?固定于狹窄部11的上方。進(jìn)一步，在密封材料5的量足夠的情況下，加熱融解的密封材料5以通過表面張力密封狹窄部11 的方式被固定。如上所述，無需從真空熱處理爐的外部進(jìn)行操作，就能夠在目標(biāo)的位置進(jìn)行密封。根據(jù)本實(shí)施方式，能夠防止設(shè)置于氣體難透過性容器7的密封材料5向底面方向落下，并且在熔融后能夠固定于狹窄部11。通過在真空加熱爐內(nèi)進(jìn)行以上操作，能夠使得氣體難透過性容器7的開口部8與大氣不接觸地進(jìn)行密封，能夠抑制氣體吸收材料的劣化，得到高性能的氣體吸收器件。
在本實(shí)施方式中，氣體難透過性容器7是鋁或以鋁為主要成分的合金，密封材料5 是由鋁和硅構(gòu)成的合金。因此，能夠獲得能夠抑制氣體吸收器件的制作工序以及向吸收對(duì)象的氣體所存在的空間設(shè)置氣體吸收器件的工序中的氣體吸收材料的劣化的氣體吸收器件，通過同時(shí)進(jìn)行氣體吸收材料的加熱和密封材料5的加熱，能夠減少氣體吸收器件的制作相關(guān)的設(shè)備運(yùn)行電力、工序數(shù)目，能夠降低氣體吸收器件制作的成本。此外，密封材料5為含有88. 4百分比以上的鋁的合金，因此，即使氣體難透過性容器7的厚度變薄，在氣體難透過性容器7也不會(huì)發(fā)生生成貫通孔的現(xiàn)象，因此在吸收對(duì)象的氣體所存在的空間中，容易破壞氣體難透過性容器7以確保通氣性。由此，能夠獲得一種氣體吸收器件，其能夠抑制氣體吸收器件的制作工序以及向吸收對(duì)象的氣體所存在的空間設(shè)置氣體吸收器件的工序中的氣體吸收材料的劣化。此外，由本實(shí)施方式的氣體吸收器件的制作方法制作出的氣體吸收器件，在制作工序中，氣體吸收材料的劣化較少，因此具有優(yōu)異的氣體吸收特性。進(jìn)一步，在使用活化時(shí)需要進(jìn)行熱處理的氣體吸收材料的情況下，能夠以同一工序進(jìn)行熱處理和對(duì)氣體難透過性容器7內(nèi)的密封，因此具有價(jià)廉的特點(diǎn)。(實(shí)施方式5)圖19是本發(fā)明的實(shí)施方式5的氣體吸收器件的制作工序中的氣體難透過性容器的加工前的概略圖。在圖19中，氣體難透過性容器7為有底的橢圓筒形的鋁制容器，在一方的端部(上端)具有長徑的長度為14mm、短徑的長度為6mm的橢圓形的開口部8。此外， 氣體難透過性容器7的長度為120mm，主干部9的壁厚為0. 08mm，底面10的厚度為1mm，主干部9的截面為與開口部8相同的形狀。圖20A、圖20B是本實(shí)施方式的氣體難透過性容器的加工后的概要圖。圖20A是加工后的氣體難透過性容器的側(cè)視圖，圖20B是加工后的氣體難透過性容器的俯視圖。在圖20A中，在氣體難透過性容器7的開口部8的附近設(shè)置有從在徑方向上相對(duì)的兩個(gè)方向被擠壓而成的狹窄部11。狹窄部11的寬度為0. 2mm。圖21是表示在該實(shí)施方式的氣體吸收器件的制作工序中的氣體難透過性容器的加工后，設(shè)置有密封材料的狀態(tài)的俯視圖。在圖21中，密封材料5收納設(shè)置于氣體難透過性容器7的狹窄部11的上部。此外，密封材料5為直徑2mm、長IOmm的棒狀，是軟化點(diǎn)為 485°C的低熔點(diǎn)玻璃。在此，低熔點(diǎn)玻璃是指軟化點(diǎn)在鋁的熔點(diǎn)660°C以下的玻璃，在為660°C附近的情況下，流動(dòng)性較小，因此原理上能夠進(jìn)行密封，但流入狹窄部11需要耗費(fèi)時(shí)間，不能夠確保足夠的生產(chǎn)性。因此，為了確保生產(chǎn)性，軟化點(diǎn)優(yōu)選在600°c以下，更加優(yōu)選在500°C以下。此外，一般來說優(yōu)選密封對(duì)象物和密封材料的熱膨脹率一致，另一方面，作為氣體難透過性容器7的鋁的熱膨脹率大于玻璃的熱膨脹率。因此，當(dāng)密封對(duì)象物質(zhì)為塊狀時(shí)密封比較困難，但在本發(fā)明中，作為密封對(duì)象物質(zhì)的氣體難透過性容器7的鋁材較薄，因此， 認(rèn)為能夠隨著作為密封材料5的低熔點(diǎn)玻璃進(jìn)行變形而進(jìn)行密封。圖22A、圖22B是由本實(shí)施方式的氣體吸收器件的制作方法制作出的氣體吸收器件的概要圖。圖22A是從長徑方向觀察氣體吸收器件的側(cè)視圖，圖22B是氣體吸收器件的俯視圖。
對(duì)以上方式構(gòu)成的氣體吸收器件，說明其制作方法。在如圖19所示的氣體難透過性容器7中，填充Ig通過熱處理顯示活性的氣體吸收材料，例如由銅進(jìn)行了離子交換的 ZSM-5型沸石即CuZSM-5 (未圖示)，壓縮開口部8附近，制作狹窄部11。該壓縮如下進(jìn)行將兩個(gè)直徑為3mm的圓柱狀的不銹鋼夾具(未圖示)，以在與氣體難透過性容器7垂直的方向上，不銹鋼夾具彼此平行，并且不銹鋼夾具與氣體難透過性容器7的長徑方向平行，且夾持主干部9的與開口部8距離為IOmm的位置的方式，相對(duì)設(shè)置，再縮小距離。進(jìn)一步，在該過程中，預(yù)先在開口部8內(nèi)插入厚200 μ m、寬9mm的不銹鋼板作為隔離物(未圖示)，在隔離物與氣體難透過性容器7的內(nèi)壁接觸的時(shí)刻，完成壓縮。通過以上的工序如圖20所示制作出狹窄部11。該一系列的操作在以密封的端部作為底面進(jìn)行設(shè)置的狀態(tài)下進(jìn)行，使得填充在氣體難透過性容器7中的氣體吸收材料不會(huì)散落。接著，在氣體難透過性容器7的狹窄部11上方設(shè)置密封材料5。在此，由于密封材料5的直徑大于狹窄部11的寬度，因此密封材料5被設(shè)置于狹窄部11的上方。而且，在該狀態(tài)下，將氣體難透過性容器7、氣體吸收材料和密封材料5設(shè)置于真空加熱爐(未圖示)。 將真空加熱爐減壓至0. OlPa之后升溫至600°C。在該狀態(tài)下，密封材料5的粘度充分低，即成為充分確保流動(dòng)性的狀態(tài)，因此流入狹窄部11。進(jìn)一步，通過冷卻真空加熱爐，密封材料 5固化并構(gòu)成密封。通過使得此時(shí)的冷卻速度在300°C /h以下，構(gòu)成氣體難透過性容器7的鋁被退火而變得柔軟。由此，在被設(shè)置于吸收對(duì)象的氣體所存在的空間時(shí)，能夠容易地進(jìn)行開封。以上方式制作出的氣體吸收器件，在主干部9的壁厚薄至0. 08mm的情況下，也不會(huì)產(chǎn)生微細(xì)孔，能夠確保優(yōu)異的密封性。在制造一小時(shí)之后進(jìn)行氣體吸收器件的空氣吸收量的測(cè)定，得出吸收量為5cc。此外，在制造30日之后進(jìn)行同樣的測(cè)定時(shí)，同樣得出吸收量為5cc。結(jié)果可知，即使該氣體吸收器件長時(shí)間保存，也不會(huì)產(chǎn)生性能的劣化。如上所述，本實(shí)施方式的氣體吸收器件的制作方法是，在從氣體難透過性容器7 的開口部8填充氣體吸收材料之后，該氣體難透過性容器7由一端開口、另一端密封，從一端到另一端的主干部9的長度為端部的最大寬度以上的中空的筒狀金屬部件構(gòu)成，在開口部8內(nèi)的開口部8附近設(shè)置密封材料5，對(duì)氣體難透過性容器7的內(nèi)部和氣體難透過性容器 7的周圍的空間進(jìn)行減壓之后，對(duì)密封材料5和開口部8附近進(jìn)行加熱，使得融解狀態(tài)的密封材料5成為堵塞開口部8附近的狀態(tài)，然后，通過對(duì)在開口部8內(nèi)堵塞開口部8附近的融解狀態(tài)的密封材料5進(jìn)行冷卻固化，對(duì)開口部8進(jìn)行密封。結(jié)果，能夠抑制氣體吸收器件制作工序中的氣體吸收材料的劣化，得到高性能、且通過降低制作中的材料成本、工序數(shù)使得價(jià)格便宜的氣體吸收器件。此外，因?yàn)槟軌蛞种浦谱鞴ば蛑袣怏w吸收材料的劣化而具有優(yōu)異的吸收力，氣體難透過性容器7的氣體阻擋性優(yōu)異，因此，能夠得到即使長時(shí)間保存吸收力也不會(huì)降低的氣體吸收器件。此外，本實(shí)施方式的氣體吸收器件的制作方法中，氣體難透過性容器7被設(shè)置為以密封的另一端作為底面，在從開口部8填充氣體吸收材料之后，在與被填充的氣體吸收材料相比更靠近開口部8側(cè)的位置，在主干部9的至少一個(gè)位置形成狹窄部11，在狹窄部 11的上方設(shè)置密封材料5，對(duì)氣體難透過性容器7的內(nèi)部和氣體難透過性容器7的周圍的空間進(jìn)行減壓，之后對(duì)密封材料5和狹窄部11附近進(jìn)行加熱，使得融解狀態(tài)的密封材料5 成為通過表面張力堵塞狹窄部11的狀態(tài)，然后，對(duì)在開口部8內(nèi)通過表面張力堵塞狹窄部 11的融解狀態(tài)的密封材料5進(jìn)行冷卻固化，密封開口部8。通過預(yù)先使得在主干部設(shè)置有狹窄部11并在狹窄部11的上方設(shè)置有密封材料5 的氣體難透過性容器7，以底面10在下、開口部8在上(從開口部8朝向底面10的方向?yàn)橹亓Ψ较虻南蛳路较?的方式立式設(shè)置，能夠?qū)⒚芊獠牧?固定于狹窄部11的上方。進(jìn)一步，在密封材料5的量足夠的情況下，加熱融解的密封材料5以通過表面張力密封狹窄部11 的方式被固定。因此，無需從真空熱處理爐的外部進(jìn)行操作，就能夠在目標(biāo)的位置進(jìn)行密封。根據(jù)本實(shí)施方式，能夠防止設(shè)置于氣體難透過性容器7的密封材料5向底面方向落下，并且在熔融后能夠固定于狹窄部11。通過在真空加熱爐內(nèi)進(jìn)行以上操作，能夠使得氣體難透過性容器7的開口部8與大氣不接觸地進(jìn)行密封，能夠抑制氣體吸收材料的劣化，得到高性能的氣體吸收器件。在本實(shí)施方式中，通過使得密封材料5為玻璃(低熔點(diǎn)玻璃)，能夠抑制釬料和玻璃的合金化，使得氣體難透過性容器7變薄。當(dāng)鋁和含有硅的鋁合金在高溫下接觸時(shí)，鋁進(jìn)入含有鋁的合金，在鋁容器產(chǎn)生微細(xì)孔，但通過使釬料為玻璃，即使氣體難透過性容器7為薄的鋁或薄的銅等薄的金屬，也能夠抑制與密封材料5的合金化引起的微細(xì)孔的生成。由此，通過使得密封材料5為玻璃，能夠使得氣體難透過性容器7變薄。此外，由本實(shí)施方式的氣體吸收器件的制作方法制作出的氣體吸收器件，在制作工序中氣體吸收材料的劣化較少，因此具有優(yōu)異的氣體吸收特性。進(jìn)一步，在使用活化時(shí)需要進(jìn)行熱處理的氣體吸收材料的情況下，能夠在同一工序進(jìn)行熱處理和對(duì)氣體難透過性容器7內(nèi)的密封，因此變得便宜。以上所說明的本發(fā)明的氣體吸收器件的制作方法包括下述特征在從氣體難透過性容器的開口部填充氣體吸收材料之后，該氣體難透過性容器由一端開口、另一端密封，從一端到另一端的主干部的長度至少為端部的最大寬度的中空的筒狀金屬部件構(gòu)成，在開口部內(nèi)的開口部附近設(shè)置密封材料，對(duì)氣體難透過性容器的內(nèi)部和氣體難透過性容器的周圍的空間進(jìn)行減壓之后，對(duì)密封材料和開口部附近進(jìn)行加熱，使得融解狀態(tài)的密封材料成為堵塞開口部附近的狀態(tài)，然后，通過對(duì)在開口部內(nèi)堵塞開口部附近的融解狀態(tài)的密封材料進(jìn)行冷卻固化，對(duì)開口部進(jìn)行密封。氣體吸收材料如果在使用時(shí)之前與目標(biāo)之外的氣體接觸，則會(huì)吸收該氣體，吸收容量減少(劣化)，失去吸收能力(失活)，因此，在使用時(shí)之前需要密封氣體吸收器件使得其不與外部氣體接觸。據(jù)此，氣體吸收器件的重要功能之一是，抑制在使用時(shí)之前與氣體的接觸，保持氣體吸收材料的氣體吸收能力。從而，氣體吸收器件的制作需要在真空中，或者在氣體吸收材料不吸收的氣體例如氬氣等惰性氣體中進(jìn)行。一般來說，多在充滿氬氣等惰性氣體的手套式操作箱中實(shí)施，但其操作性不好，處理需要耗費(fèi)時(shí)間，而且氬氣的消耗量多等，成為對(duì)成本方面不利的條件。此外，在手套式操作箱內(nèi)存在從外部侵入的空氣等雜質(zhì)氣體，而導(dǎo)致氣體吸收材料劣化也是問題之一。如上所述，當(dāng)被賦予了活性的氣體吸收材料與空氣接觸時(shí)，吸收特性受到損失，因此，希望不與空氣接觸地，盡可能快速地被密閉到空氣的侵入速度非常慢的空間即密閉空間。如下所述，本發(fā)明的氣體吸收器件的制作方法，能夠得到一種氣體吸收器件，其能夠抑制在氣體吸收器件的制作工序以及將氣體吸收器件設(shè)置于吸收對(duì)象的氣體所存在的空間的工序中的氣體吸收材料的劣化。S卩，在高度的真空高溫環(huán)境下對(duì)氣體吸收材料給予活性之后，能夠通過僅改變熱處理的溫度這樣的大致相同的工序進(jìn)行密閉而成為封閉空間，因此，能夠使得被賦予活性的氣體吸收材料與大氣的接觸非常少。作為一個(gè)例子，經(jīng)過如下所示的工序進(jìn)行密封。氣體吸收材料在大氣中填充到一方開口的容器中之后，在比被填充的氣體吸收材料更靠近開口部側(cè)的位置設(shè)置狹窄部。進(jìn)而，將與狹窄部的間隙相比至少在一個(gè)方向上更大的熱可塑性的密封材料設(shè)置于狹窄部上部，在真空中進(jìn)行加熱。其結(jié)果，在對(duì)氣體吸收材料賦予活性之后，密封材料熔融并流入狹窄部，通過表面張力、粘性而停留于狹窄部。從而，氣體吸收材料被密閉于由氣體難透過性容器和密封材料形成的封閉空間。然后，通過對(duì)密封材料進(jìn)行冷卻，密封材料固化，被固定于狹窄部，由此形成密封。此外，本結(jié)構(gòu)的氣體吸收器件的制作方法，僅利用密封材料進(jìn)行密封工序，不使用密封板等部件，因此不需要花費(fèi)密封板所需的成本。此外，不需要在真空爐內(nèi)設(shè)置進(jìn)行密封氣體難透過性容器的操作的可動(dòng)部，密封工序變得容易，能夠降低氣體吸收器件的制作成本。進(jìn)一步，本結(jié)構(gòu)的氣體吸收器件的制作方法，在為了進(jìn)行氣體吸收材料的吸收特性賦予而需要熱處理工序的情況下，能夠同時(shí)進(jìn)行氣體吸收材料的加熱和密封材料的加熱。即，通過在熱處理工序之后經(jīng)過密封工序，在上升至密封工序的溫度的能量中，上升至熱處理工序的溫度的能量不再需要。從而能夠降低氣體吸收器件的制作相關(guān)的設(shè)備運(yùn)行電力、工序數(shù)目，能夠降低氣體吸收器件的制作成本。為了將本結(jié)構(gòu)的吸收器件應(yīng)用于真空設(shè)備以吸收氣體，需要采用破壞氣體難透過性容器或在氣體難透過性容器形成貫通孔的方法。能夠采用使突起物等與氣體難透過性容器鄰接再按壓突起物，從而使應(yīng)力集中等的方法。作為一個(gè)例子，在本結(jié)構(gòu)的氣體吸收器件的制作中，在為通過真空熱處理被賦予活性的氣體吸收材料的情況下，在真空熱處理之后接著經(jīng)過適當(dāng)?shù)募訜崛廴诤屠鋮s固化， 能夠不與外部氣體接觸地制作氣體吸收器件。因此，能夠不進(jìn)行手套式操作箱內(nèi)的操作地制作氣體吸收器件，能夠抑制氣體吸收器件制作工序中的氣體吸收材料的劣化和成本增加。此外，使密封的工序僅為密封材料附近或整體的加熱，由此，不需要在手套式操作箱中設(shè)置用于密封開口部的可動(dòng)部，能夠容易地進(jìn)行密封，能夠使氣體吸收器件的價(jià)格變低。在此，氣體難透過性容器是指，容器的氣體透過度為104(cm7m2 · day · atm)以下， 更加優(yōu)選為103(cm7m2 · day · atm)以下。此外，構(gòu)成氣體難透過性容器的金屬并未特別指定，例如能夠使用鐵、銅、鋁等。此外，也能夠使用鋁合金、銅合金等合金。
氣體吸收材料是指能夠吸收氣體中所包含的非凝縮性氣體的物質(zhì)，能夠利用以銅對(duì)ZSM-5型沸石進(jìn)行了離子交換而得的CuZSM-5，或堿金屬、堿土金屬的氧化物，堿金屬、堿土金屬的氫氧化物等，特別能夠使用氧化鋰、氫氧化鋰、氧化鋇、氫氧化鋇等。此外，氣體吸收器件需要在設(shè)置于吸收對(duì)象的氣體所存在的空間之后，能夠破壞氣體難透過性容器以確保通氣性而吸收外部的氣體。由此，氣體吸收器件容器材質(zhì)的厚度， 優(yōu)選薄至下述程度在設(shè)置于真空隔熱件內(nèi)時(shí)，通過在大氣壓下按壓圖釘那樣的突起物能夠容易地地破壞。例如，在使用鋁時(shí)厚度為Imm以下的情況較好，優(yōu)選為0. 5mm以下，更加優(yōu)選為0. 15mm以下。在此，氣體難透過性容器優(yōu)選是在破壞時(shí)難以產(chǎn)生碎片的金屬制品。由此，在設(shè)置于真空設(shè)備時(shí)，難以對(duì)真空設(shè)備造成損傷。例如，在真空設(shè)備為真空隔熱件的情況下，防止來自外部的侵入的外覆件多由塑料疊合膜構(gòu)成。在該情況下，如果外覆件被由氣體難透過性容器形成的碎片損傷，則空氣侵入真空隔熱件的外覆件內(nèi)部，不能夠發(fā)揮作為真空隔熱件的效果。如上所述，由于氣體難透過性容器為金屬，所以能夠容易地應(yīng)用于真空設(shè)備。此外，密封材料只要通過在被熱融解之后進(jìn)行冷卻固化，能夠密封氣體難透過性容器即可。而且，密封部的氣體透過量能夠小至與氣體難透過性容器的氣體透過量同等的程度即可。密封材料一般為合金材料，并未特別指定，但能夠使用銅釬料、鋁釬料等。此外，作為密封材料也能夠使用能夠得到流動(dòng)性的溫度比氣體難透過性容器的熔點(diǎn)低的玻璃，這樣的玻璃作為一般用于密封的低熔點(diǎn)玻璃是公知的。從溫度控制的觀點(diǎn)出發(fā)，密封材料的熔融溫度優(yōu)選比鋁的融解溫度低30°C以上， 在能夠進(jìn)行精密的溫度控制的情況下并不限定于此。冷卻固化的溫度控制條件并未特別指定，能夠在過熱爐內(nèi)進(jìn)行自然冷卻。此外，在氣體難透過性容器較厚，難以破壞的情況下，為了通過退火進(jìn)行軟化，能夠以300°C /h左右進(jìn)行冷卻。而且，在氣體難透過性容器較薄，容易破壞時(shí)，為了提高氣體吸收器件的生產(chǎn)性，可以以10°C /min左右進(jìn)行冷卻。筒狀是指，一個(gè)方向較長的物體，且為中空。端部是指，筒狀部件的最長方向的與周圍的邊界部分，相當(dāng)于底面、上表面。端部的最大寬度是指，連接端部內(nèi)的某一點(diǎn)與另一點(diǎn)的線段中最長的線段的長度，例如，如果端部為橢圓形，則為長徑的長度。主干部是指，構(gòu)成筒狀部件的大部分的部分，例如從距離一個(gè)端部5mm左右的部分到距離另一端部5mm左右的部分的部分。開口部是指，中空的氣體難透過性容器的內(nèi)部和外部能夠不經(jīng)由氣體難透過性容器的構(gòu)成材料地相連接的部分，是從該處能夠填充氣體吸收材料的部分。根據(jù)以上的結(jié)構(gòu)，氣體難透過性容器由一端開口、另一端密封，從所述一端到所述另一端的主干部的長度為最大寬度以上的中空的筒狀金屬部件構(gòu)成，在從該氣體難透過性容器的上述開口部填充氣體吸收材料之后，在上述開口部附近設(shè)置密封材料，對(duì)上述氣體難透過性容器的內(nèi)部和上述氣體難透過性容器的周圍的空間進(jìn)行減壓之后，對(duì)上述密封材料和上述開口部附近進(jìn)行加熱，使得融解狀態(tài)的上述密封材料成為堵塞上述開口部附近的狀態(tài)，然后，通過對(duì)在上述開口部內(nèi)堵塞上述開口部附近的融解狀態(tài)的密封材料進(jìn)行冷卻固化，對(duì)上述開口部進(jìn)行密封，由此制作氣體吸收器件。結(jié)果，能夠抑制氣體吸收器件制作工序中的氣體吸收材料的劣化，得到高性能、且通過降低制作中的材料成本、工序數(shù)使得價(jià)格便宜的氣體吸收器件。此外，本發(fā)明的氣體吸收器件的制作方法中，氣體難透過性容器被設(shè)置為以密封的另一端作為底面，在從開口部填充氣體吸收材料之后，在與被填充的氣體吸收材料相比更靠近開口部一側(cè)且在主干部的至少一個(gè)位置形成狹窄部，在狹窄部的上方設(shè)置密封材料，使密封材料加熱熔融。以密封材料密封筒狀的氣體難透過性容器而制作氣體吸收器件的一個(gè)特征是，能夠不在手套式操作箱內(nèi)進(jìn)行操作地將氣體吸收材料封入氣體吸收器件，抑制與氣體的接觸導(dǎo)致的失活和劣化。于是，為了進(jìn)行沒有外部氣體侵入的密閉密封，將融解前和融解狀態(tài)的密封材料固定于適當(dāng)?shù)奈恢檬呛苤匾?。例如，如果以從開口部朝向底面的方向與重力方向大致垂直的方式使氣體難透過性容器橫向放平地橫直，并使密封材料融解，則密封材料僅附著于氣體難透過性容器內(nèi)側(cè)壁面的與密封材料接觸的部分，不能夠?qū)﹂_口部進(jìn)行密封。此外，在以底面在上、開口部在下(從開口部朝向底面的方向?yàn)橹亓Ψ较虻某戏较?的方式使氣體難透過性容器上下顛倒地縱向設(shè)置的情況下，密封材料不能夠固定于氣體難透過性容器的開口部附近，在設(shè)置密封材料之前填充有氣體吸收材料的情況下，密封材料從上方與氣體吸收材料接觸，在氣體吸收材料為粉末狀的情況下，存在埋入氣體吸收材料內(nèi)部的情況。另一方面，在密封材料的設(shè)置為氣體吸收材料的設(shè)置之前的工序的情況下，密封材料會(huì)埋沒于氣體吸收材料，不能夠?qū)怏w難透過性容器的開口部進(jìn)行密封。另一方面，通過預(yù)先使得在主干部設(shè)置有狹窄部并在狹窄部的上方設(shè)置有密封材料的氣體難透過性容器，以底面在下、開口部在上(從開口部朝向底面的方向?yàn)橹亓Ψ较虻南蛳路较?的方式立式設(shè)置，能夠?qū)⒚芊獠牧瞎潭ㄓ讵M窄部的上方。進(jìn)一步，在密封材料的量足夠的情況下，加熱融解的密封材料以通過表面張力密封狹窄部的方式被固定。如上所述，無需從真空熱處理爐的外部進(jìn)行操作，就能夠在目標(biāo)的位置進(jìn)行密封。底面是指密封的端部中設(shè)置于下側(cè)即重力方向的面。底面能夠?yàn)槠矫鏍?、半球狀等，從真空密封時(shí)的強(qiáng)度的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選為簡單的形狀。狹窄部是指，與氣體難透過性容器的長度方向垂直的方向的截面積變小的部分， 大小和形狀決定為，不會(huì)由于施加于密封材料的重力，導(dǎo)致密封材料向底面方向下落。由此，在密封材料的尺寸較大的情況下，狹窄部能夠較大，在密封材料的尺寸較小的情況下， 與此相應(yīng)地狹窄部需要變小。根據(jù)以上的結(jié)構(gòu)，能夠防止設(shè)置于氣體難透過性容器的密封材料向底面方向落下，并且在熔融后能夠固定于狹窄部。通過在真空加熱爐內(nèi)進(jìn)行以上操作，能夠使得氣體難透過性容器的開口部與大氣不接觸地進(jìn)行密封，能夠抑制氣體吸收材料的劣化，得到高性能的氣體吸收器件。此外，本發(fā)明的氣體吸收器件的制作方法中，氣體難透過性容器為鋁或以鋁為主要成分的合金，上述密封材料為由鋁和硅構(gòu)成的合金。鋁較柔軟，在設(shè)置于真空設(shè)備之后容易進(jìn)行破壞，因此，能夠?qū)崿F(xiàn)處理性優(yōu)異的氣體吸收器件。進(jìn)一步，由鋁和硅構(gòu)成的合金的密封材料與作為氣體難透過性容器使用的鋁或鋁合金的親合性優(yōu)異，因此適合。此外，根據(jù)相圖，如果選擇鋁和硅的合金的熔點(diǎn)低于鋁或鋁合金的熔點(diǎn)的材料，則能夠使密封的加熱所需要的能量少于使鋁或鋁合金融解接合的密封的加熱所需要的能量。根據(jù)以上結(jié)構(gòu)，能夠獲得能夠抑制氣體吸收器件的制作工序以及向吸收對(duì)象的氣體所存在的空間設(shè)置氣體吸收器件的工序中的氣體吸收材料的劣化的氣體吸收器件。進(jìn)一步，通過同時(shí)進(jìn)行氣體吸收材料的加熱和密封材料的加熱，能夠降低氣體吸收器件的制作涉及的設(shè)備運(yùn)行電力、工序數(shù)目，能夠降低氣體吸收器件制作的成本。此外，本發(fā)明的氣體制作器件的制作方法中，密封材料為至少包含88. 4%的鋁的
I=I 巫 O在氣體難透過性容器的開口部附近設(shè)置密封材料，對(duì)氣體難透過性容器的內(nèi)部和氣體難透過性容器的周圍的空間進(jìn)行減壓之后，對(duì)密封材料和開口部附近進(jìn)行加熱，使得成為融解狀態(tài)的密封材料堵塞開口部附近的狀態(tài)，然后，通過對(duì)在開口部內(nèi)堵塞開口部附近的融解狀態(tài)的密封材料進(jìn)行冷卻固化，對(duì)開口部進(jìn)行密封，在上述的過程中，密封材料以熔融狀態(tài)(液相或固相-液相的混合狀態(tài))與氣體難透過性容器接觸。但是，當(dāng)處于液相狀態(tài)的密封材料與構(gòu)成氣體難透過性容器的鋁或鋁合金接觸時(shí)，氣體難透過性容器和密封材料所包含的鋁和硅在系統(tǒng)整體變得穩(wěn)定(=均勻的組成)。能夠確認(rèn)，通過該作用會(huì)出現(xiàn)下述現(xiàn)象密封材料獲得氣體難透過性容器的鋁，結(jié)果在氣體難透過性容器產(chǎn)生貫通孔。此外，已知密封材料的硅的比例越多該現(xiàn)象越容易產(chǎn)生，為了使得在氣體難透過性容器不產(chǎn)生貫通孔，減少密封材料的硅的比例是有效的。認(rèn)為使硅減少的比例，在由鋁和硅構(gòu)成的液相中以已析出有鋁的程度含有鋁的狀態(tài)下，是充分的。根據(jù)鋁和硅的相圖，該比例是指在液相內(nèi)存在鋁的固相的狀態(tài)，是鋁至少為88. 4%的情況。根據(jù)以上的結(jié)構(gòu)，即使氣體難透過性容器的厚度變薄，也不會(huì)出現(xiàn)在氣體難透過性容器產(chǎn)生貫通孔的現(xiàn)象，因此，在吸收對(duì)象的氣體所存在的空間中，能夠容易地破壞氣體難透過性容器以確保通氣性。由此，能夠獲得能夠抑制氣體吸收器件的制作工序以及向吸收對(duì)象的氣體所存在的空間設(shè)置氣體吸收器件的工序中的氣體吸收材料的劣化的氣體吸收器件。此外，本發(fā)明的氣體吸收器件的制作方法中，氣體難透過性容器由厚度為2. Omm 或比2. Omm薄的金屬構(gòu)成。氣體難透過性容器是2. Omm以下(優(yōu)選0.5mm以下)的厚度的金屬，因此，在設(shè)置于真空設(shè)備之后，能夠容易地在氣體難透過性容器形成貫通孔或進(jìn)行破壞。即，本來金屬強(qiáng)度較高，因此難以破壞或形成貫通孔，但由于為2. Omm以下(優(yōu)選0. 5mm以下)，因此能夠進(jìn)行破壞或形成貫通孔。結(jié)果，真空設(shè)備內(nèi)的氣體能夠容易地通過氣體難透過性容器，以吸收氣體，氣體吸收器件向真空設(shè)備的應(yīng)用變得容易。此外，通過使氣體難透過性容器為金屬，在被破壞時(shí)，損傷真空設(shè)備等導(dǎo)致的碎片形成較少，而且，通過使得氣體難透過性容器為金屬，能夠耐受熱處理，因此，在為了賦予氣體吸收特性而需要對(duì)氣體吸收材料進(jìn)行熱處理的情況下，也能夠應(yīng)用于氣體吸收器件的制作。此外，本發(fā)明的氣體吸收器件的制作方法中，氣體難透過性容器由厚度為0.5mm 或比0. 5mm薄的銅或以銅為主要成分的合金構(gòu)成。
銅的熔點(diǎn)為1084°C，較高，因此，即使在為了獲得氣體吸收材料的吸收特性所需要的熱處理溫度較高的情況下，也能夠應(yīng)對(duì)。進(jìn)一步，氣體難透過性容器的厚度為0. 5mm以下 (優(yōu)選0. Imm以下)，因此能夠容易地進(jìn)行破壞，能夠容易地吸收真空設(shè)備內(nèi)部的氣體。當(dāng)大于0. 5mm時(shí)，氣體難透過性容器變厚，因此難以形成貫通孔或進(jìn)行破壞。此外，一般來說，作為密封材料的以金屬的氧化物或硅的氧化物為主要成分的材料，能夠選擇其熱膨脹率與銅的熱膨脹率比較接近的材料，能夠容易地進(jìn)行接合。此外，通過使得氣體難透過性容器為作為一種金屬的銅，在被破壞時(shí)，損傷真空設(shè)備等導(dǎo)致的碎片形成較少，而且通過使得氣體難透過性容器為金屬，能夠耐受熱處理。因此，在為了賦予氣體吸收特性而需要對(duì)氣體吸收材料進(jìn)行熱處理的情況下，也能夠應(yīng)用于氣體吸收器件的制作。此外，本發(fā)明的氣體吸收器件的制作方法中，氣體難透過性容器由厚度為0. 25mm 或比0. 25mm薄的鐵或以鐵為主要成分的合金構(gòu)成。鐵的熔點(diǎn)為1535°C，較高，因此，在為了獲得氣體吸收材料的吸收特性所需要的熱處理溫度高于銅的熔點(diǎn)時(shí)，也能夠應(yīng)對(duì)。進(jìn)一步，與鋁、銅相比，鐵比較便宜，因此能夠更加價(jià)廉地得到氣體吸收器件。而且，氣體難透過性容器的厚度為0. 25mm以下(優(yōu)選0. 05mm以下)，因此能夠容易地進(jìn)行破壞，能夠容易地吸收真空設(shè)備內(nèi)部的氣體。當(dāng)大于0. 25mm時(shí)，氣體難透過性容器7變厚，因此難以形成貫通孔或進(jìn)行破壞。此外，一般來說，作為密封材料的以金屬的氧化物或硅的氧化物為主要成分的材料，能夠選擇其熱膨脹率與鐵的熱膨脹率為同等程度的材料，能夠更容易地進(jìn)行接合。此外，通過使得氣體難透過性容器為作為一種金屬的鐵，在被破壞時(shí)，損傷真空設(shè)備等導(dǎo)致的碎片形成較少，而且通過使得氣體難透過性容器為金屬，能夠耐受熱處理。因此，在為了賦予氣體吸收特性而需要對(duì)氣體吸收材料進(jìn)行熱處理的情況下，也能夠應(yīng)用于氣體吸收器件的制作。此外，本發(fā)明的氣體吸收器件的制作方法中，氣體難透過性容器由厚度為1.0mm 或比1. Omm薄的鋁或以鋁為主要成分的合金構(gòu)成。鋁在作為一般的工業(yè)材料使用的金屬中也屬于特別柔軟的類型，能夠在真空設(shè)備內(nèi)容易地在氣體難透過性容器產(chǎn)生貫通孔。鋁在構(gòu)成氣體難透過性容器的合金中所占的比例沒有特別指定，但鋁的比例越高則開封性越好。因此，優(yōu)選是所謂的純鋁，更優(yōu)選鋁所占的比例在99. 7%以上，更加優(yōu)選為99. 85%以上。在此，鋁的熱膨脹率為230 X IO-V0C，一般作為密封材料的以金屬氧化物或硅氧化物為主要成分的材料的熱膨脹率為100X 10_7°C左右。像這樣熱膨脹率不同的部件一般難以接合。但是，鋁或以鋁為主要分成的合金為1.0mm以下(優(yōu)選0.2mm以下)的厚度，因此
由于剪應(yīng)力其容易變形。由此，在高溫下進(jìn)行密封之后，在冷卻過程中，鋁或以鋁為主要分成的合金比較具有伸縮性，因此能夠接合。從該觀點(diǎn)出發(fā)，也優(yōu)選構(gòu)成氣體難透過性容器的鋁或以鋁為主要分成的合金為1. Omm以下(優(yōu)選0. 2mm以下)的厚度。當(dāng)厚度大于1. Omm時(shí)，氣體難透過性容器7變厚，因此難以形成貫通孔或進(jìn)行破壞。如上所述，鋁或以鋁為主要成分的合金的熱膨脹率比銅或鐵的熱膨脹率大，難以選擇與以作為密封材料一般使用的金屬的氧化物或硅的氧化物為主要成分的材料的熱膨脹率為同等程度的材料，但通過使氣體難透過性容器為1. Omm以下(優(yōu)選為0. 2mm以下) 的厚度，能夠進(jìn)行接合。此外，通過使得氣體難透過性容器為作為一種金屬的鋁，在被破壞時(shí)損傷真空設(shè)備導(dǎo)致的碎片形成較少，而且通過使得氣體難透過性容器為金屬，能夠耐受熱處理，因此， 在為了賦予氣體吸收特性而需要對(duì)氣體吸收材料進(jìn)行熱處理的情況下，也能夠應(yīng)用于氣體吸收器件的制作。此外，本發(fā)明的氣體吸收器件的制作方法中，密封材料以金屬氧化物或硅氧化物為主要成分。如果作為密封材料使用金屬或以金屬為主要成分的釬料并進(jìn)行加熱，例如作為氣體難透過性容器使用鋁、作為密封材料使用鋁釬料并進(jìn)行加熱，則在接觸部進(jìn)行原子的移動(dòng)，形成熱力學(xué)穩(wěn)定的組成。在此，在塊狀的以金屬為主要成分的釬料與厚度0. 5mm以下的片狀金屬接觸的情況下，僅通過從片狀金屬移動(dòng)少量的原子，在片狀金屬就會(huì)產(chǎn)生貫通孔。 由此，使相對(duì)于片狀金屬的密封材料為以金屬為主要成分的釬料是不適當(dāng)?shù)摹Ａ硪环矫?，在使密封材料為氧化物的情況下，即使片狀金屬和熔融狀態(tài)的氧化物接觸，這些原子的移動(dòng)也非常少。這是因?yàn)?，氧原子與金屬原子的鍵非常強(qiáng)，因此即使氧化物在熔融狀態(tài)下與其它的金屬的原子接觸，氧化物中的金屬原子為了與其它的金屬原子進(jìn)行交換，需要超越與氧原子的鍵這樣的大能量位壘(energy barrier)。由此，在使用氧化物作為密封材料的情況下，不會(huì)從0. 5mm以下的金屬奪取原子，不會(huì)產(chǎn)生貫通孔。如上所述，根據(jù)本結(jié)構(gòu)能夠同時(shí)滿足氣體吸收器件所必需的相反的特性。S卩，通過使氣體難透過性容器的厚度為0. 5mm以下，在設(shè)置于真空設(shè)備之后，為了吸收周圍的氣體，能夠容易地在氣體難透過性容器形成貫通孔或進(jìn)行破壞。與此同時(shí)，通過使密封材料為以金屬的氧化物或硅氧化物為主要成分的材料，在氣體難透過性容器為0. 5mm以下的情況下，也不會(huì)由于與密封材料的接觸導(dǎo)致開有貫通孔。能夠同時(shí)滿足這些條件的結(jié)構(gòu)中，利用以金屬的氧化物或硅氧化物為主要成分的材料對(duì)金屬制的氣體難透過性容器進(jìn)行密封。此外，本發(fā)明的氣體吸收器件的制作方法中，密封材料由玻璃構(gòu)成。在此，玻璃是指，以硅酸鹽為主要成分，在常溫下具有較高剛性的非晶質(zhì)的固體，是隨著升溫其剛性降低，進(jìn)而具有玻璃轉(zhuǎn)變點(diǎn)的物質(zhì)。作為玻璃的種類并未特別指定，但優(yōu)選是在與氣體難透過性容器的熔點(diǎn)相比充分低的溫度下能夠得到流動(dòng)性的種類，是熱膨脹系數(shù)與構(gòu)成氣體難透過性容器的物質(zhì)相近的種類。玻璃以金屬的氧化物或硅氧化物為主要成分，因此，即使使得由塊狀玻璃構(gòu)成的密封材料和由片狀的金屬或以金屬為主要成分的合金構(gòu)成的氣體難透過性容器接觸，構(gòu)成氣體難透過性容器的金屬原子也幾乎不會(huì)被奪取。結(jié)果，能夠不在氣體難透過性容器形成貫通孔地形成密封。此外，玻璃一般作為電子設(shè)備的密封材料被使用，因此能夠比較便宜地實(shí)現(xiàn)氣體吸收器件。進(jìn)一步，本發(fā)明的氣體吸收器件由上述任一項(xiàng)記載的氣體吸收器件的制作方法制作而成。在制作工序中，氣體吸收材料的劣化較少，因此具有優(yōu)異的氣體吸收特性。進(jìn)一步，在使用活化時(shí)需要進(jìn)行熱處理的氣體吸收材料的情況下，能夠在同一工序中進(jìn)行熱處理和對(duì)氣體難透過性容器內(nèi)的密封，因此具有價(jià)廉的特點(diǎn)。當(dāng)通過本發(fā)明的方法進(jìn)行制作時(shí)，從氣體吸收器件的制作工序和對(duì)氣體吸收材料賦予吸收特性的工序到將氣體吸收材料密封于氣體難透過性容器的操作，能夠始終在真空空間中進(jìn)行。結(jié)果，被賦予吸收特性的氣體吸收材料與空氣的接觸極少，能夠?qū)崿F(xiàn)氣體吸收材料的劣化非常少的氣體吸收器件。此外，僅利用密封材料進(jìn)行密封工序，不使用密封板等的部件，因此不需要密封板所需的成本。此外，不需要在真空爐內(nèi)設(shè)置進(jìn)行密封氣體難透過性容器的操作的可動(dòng)部，密封工序變得容易，能夠得到價(jià)廉的氣體吸收器件。進(jìn)一步，本結(jié)構(gòu)的氣體吸收器件的制作方法，在為了進(jìn)行氣體吸收材料的吸收特性賦予而需要熱處理工序的情況下，能夠同時(shí)進(jìn)行氣體吸收材料的加熱和密封材料的加熱。即，通過在熱處理工序之后進(jìn)行密封工序，在上升至密封工序的溫度的能量中，上升至熱處理工序的溫度的能量不再需要。從而能夠減少氣體吸收器件的制作相關(guān)的設(shè)備運(yùn)行電力、工序數(shù)目，能夠?qū)崿F(xiàn)便宜的氣體吸收器件。進(jìn)一步，本發(fā)明的氣體吸收器件的制作方法，通過破壞密封材料或密封材料與氣體難透過性容器的界面的至少一方，對(duì)周圍的氣體進(jìn)行吸收。在將氣體吸收器件設(shè)置于真空設(shè)備時(shí)，為了吸收氣體，需要在氣體難透過性容器形成貫通孔或進(jìn)行破壞。因此，能夠采用使突起物與氣體吸收器件鄰接，在設(shè)置于真空隔熱件等真空設(shè)備中之后按壓突起物，從而形成貫通孔的方法等。另一方面，在本結(jié)構(gòu)中，一般來說，利用當(dāng)施加應(yīng)力時(shí)氧化物容易脆性破壞的特性，通過對(duì)氣體難透過性容器的被密封材料密封的部分施加應(yīng)力，通過破壞密封材料或密封材料與氣體難透過性容器的界面的至少一方，氣體吸收器件能夠吸收空氣。由此，無需用于破壞氣體難透過性容器的突起物等，能夠降低在真空設(shè)備中使用氣體吸收器件時(shí)的成本。如以上所說明的那樣，本發(fā)明的氣體吸收器件的制作方法是，在從氣體難透過性容器的開口部填充氣體吸收材料之后，該氣體難透過性容器由一端開口、另一端密封，從一端到另一端的主干部的長度與端部的最大寬度相同或大于端部的最大寬度的中空的筒狀金屬部件構(gòu)成，在開口部內(nèi)的開口部附近設(shè)置密封材料，對(duì)氣體難透過性容器的內(nèi)部和氣體難透過性容器的周圍的空間進(jìn)行減壓之后，對(duì)密封材料和開口部附近進(jìn)行加熱，使得融解狀態(tài)的密封材料成為堵塞開口部附近的狀態(tài)，然后，通過對(duì)在開口部內(nèi)堵塞開口部附近的融解狀態(tài)的密封材料進(jìn)行冷卻固化，對(duì)開口部進(jìn)行密封。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，能夠獲得能夠抑制氣體吸收器件的制作工序以及向吸收對(duì)象的氣體所存在的空間設(shè)置氣體吸收器件的工序中的氣體吸收材料的劣化的氣體吸收器件。進(jìn)一步，僅利用密封材料進(jìn)行密封工序，不使用密封板等部件，密封工序變得容易，能夠降低氣體吸收器件的制作成本。此外，在為了賦予氣體吸收材料的吸收特性而需要熱處理工序的情況下，通過同時(shí)進(jìn)行氣體吸收材料的加熱和密封材料的加熱，能夠降低氣體吸收器件的制作相關(guān)的設(shè)備運(yùn)行電力、工序數(shù)目，能夠降低氣體吸收器件制作的成本。產(chǎn)業(yè)上的可利用性本發(fā)明的氣體吸收器件的制作方法、氣體吸收器件和氣體吸收器件的使用方法，能夠不在真空熱處理爐內(nèi)設(shè)置可動(dòng)部地完成氣體吸收器件的制作，該氣體吸收器件能夠抑制如果在制作工序中與空氣接觸會(huì)失去吸收特性的氣體吸收材料的劣化，便宜地獲得氣體吸收器件。而且，能夠用于需要進(jìn)行熱處理且在熱處理后如果與氣體接觸則會(huì)發(fā)生劣化的藥品等的熱處理以及密封。因此，能夠應(yīng)用于真空隔熱件、真空隔熱容器、等離子體顯示面板等，特別是能夠在高度的真空環(huán)境下進(jìn)一步發(fā)揮性能的設(shè)備。
權(quán)利要求
1.一種氣體吸收器件的制作方法，其特征在于在從由一端開口、另一端密封，從所述一端到所述另一端的主干部的長度為端部的至少最大寬度的中空的筒狀金屬部件構(gòu)成的氣體難透過性容器的所述開口部填充氣體吸收材料之后，在所述開口部內(nèi)的所述開口部附近設(shè)置密封材料，對(duì)所述氣體難透過性容器的內(nèi)部和所述氣體難透過性容器的周圍的空間進(jìn)行減壓之后，對(duì)所述密封材料和所述開口部附近進(jìn)行加熱，使得融解狀態(tài)的所述密封材料成為堵塞所述開口部附近的狀態(tài)，然后，通過對(duì)在所述開口部內(nèi)堵塞所述開口部附近的融解狀態(tài)的所述密封材料進(jìn)行冷卻固化，對(duì)所述開口部進(jìn)行密封。
2.如權(quán)利要求1所述的氣體吸收器件的制作方法，其特征在于所述氣體難透過性容器被設(shè)置為以密封的所述另一端作為底面，在從所述開口部填充所述氣體吸收材料之后，在與被填充的所述氣體吸收材料相比更靠近所述開口部側(cè)的位置，在所述主干部的至少一個(gè)位置形成狹窄部，在所述狹窄部的上方設(shè)置所述密封材料，對(duì)所述氣體難透過性容器的內(nèi)部和所述氣體難透過性容器的周圍的空間進(jìn)行減壓，之后對(duì)所述密封材料和所述狹窄部附近進(jìn)行加熱，使得融解狀態(tài)的所述密封材料成為通過表面張力堵塞所述狹窄部的狀態(tài)，然后，對(duì)在所述開口部內(nèi)通過表面張力堵塞所述狹窄部的融解狀態(tài)的所述密封材料進(jìn)行冷卻固化。
3.如權(quán)利要求1所述的氣體吸收器件的制作方法，其特征在于將所述氣體難透過性容器設(shè)置于真空加熱爐內(nèi)，在對(duì)所述真空加熱爐內(nèi)進(jìn)行減壓后的狀態(tài)下，進(jìn)行所述真空加熱爐的升溫和冷卻。
4.如權(quán)利要求1所述的氣體吸收器件的制作方法，其特征在于所述氣體吸收材料由通過熱處理被活化的材料構(gòu)成，同時(shí)進(jìn)行用于使所述密封材料融解的加熱和用于對(duì)所述氣體吸收材料進(jìn)行熱處理的加熱。
5.如權(quán)利要求1所述的氣體吸收器件的制作方法，其特征在于所述氣體難透過性容器由厚度為2. Omm或比2. Omm薄的金屬構(gòu)成。
6.如權(quán)利要求5所述的氣體吸收器件的制作方法，其特征在于 所述氣體難透過性容器由厚度為0. 5mm或比0. 5mm薄的銅或以所述銅為主要成分的合金構(gòu)成。
7.如權(quán)利要求5所述的氣體吸收器件的制作方法，其特征在于所述氣體難透過性容器由厚度為0. 25mm或比0. 25mm薄的鐵或以所述鐵為主要成分的合金構(gòu)成。
8.如權(quán)利要求5所述的氣體吸收器件的制作方法，其特征在于所述氣體難透過性容器由厚度為1. Omm或比1. Omm薄的鋁或以所述鋁為主要成分的合金構(gòu)成。
9.如權(quán)利要求5所述的氣體吸收器件的制作方法，其特征在于所述密封材料以金屬的氧化物或硅的氧化物為主要成分。
10.如權(quán)利要求9所述的氣體吸收器件的制作方法，其特征在于所述密封材料由玻璃構(gòu)成。
11.一種氣體吸收器件，其特征在于由權(quán)利要求1 10中任一項(xiàng)所述的氣體吸收器件的制作方法制作而成。
12.如權(quán)利要求11所述的氣體吸收器件的使用方法，其特征在于通過破壞密封材料、所述密封材料與氣體難透過性容器的界面和氣體難透過性容器中的至少一個(gè)，吸收周圍的氣體。
13.如權(quán)利要求12所述的氣體吸收器件的使用方法，其特征在于以突起物的按壓破壞所述氣體難透過性容器，在所述氣體難透過性容器形成貫通孔， 由此對(duì)所述周圍的氣體進(jìn)行吸收。
全文摘要
本發(fā)明提供氣體吸收器件的制作方法、氣體吸收器件和氣體吸收器件的使用方法。該氣體吸收器件的制作方法中，在從氣體難透過性容器(7)的開口部(8)填充氣體吸收材料之后，該氣體難透過性容器(7)由一端開口、另一端密封，從一端到另一端的主干部(9)的長度為端部的至少最大寬度的中空的筒狀金屬部件構(gòu)成，在開口部(8)內(nèi)的開口部(8)附近設(shè)置密封材料，再使密封材料加熱熔融。之后，通過對(duì)開口部(8)內(nèi)的密封材料進(jìn)行冷卻固化，密封開口部(8)，由此能夠得到能夠降低氣體吸收材料的劣化和制作成本的氣體吸收器件。
文檔編號(hào)B01D53/04GK102361679SQ201080013069
公開日2012年2月22日 申請(qǐng)日期2010年3月23日 優(yōu)先權(quán)日2009年3月24日
發(fā)明者橋田昌道 申請(qǐng)人:松下電器產(chǎn)業(yè)株式會(huì)社